JPH0921631A - 超音波センサ - Google Patents

超音波センサ

Info

Publication number
JPH0921631A
JPH0921631A JP19121095A JP19121095A JPH0921631A JP H0921631 A JPH0921631 A JP H0921631A JP 19121095 A JP19121095 A JP 19121095A JP 19121095 A JP19121095 A JP 19121095A JP H0921631 A JPH0921631 A JP H0921631A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
cone portion
ultrasonic sensor
ultrasonic wave
wave propagation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP19121095A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Ichikawa
晃 市川
Toshiyuki Furuta
敏之 古田
Shogo Kida
正吾 木田
Toshiya Omura
俊哉 大村
Fujiko Kikuchi
富士子 菊地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzuki Motor Corp
Original Assignee
Suzuki Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzuki Motor Corp filed Critical Suzuki Motor Corp
Priority to JP19121095A priority Critical patent/JPH0921631A/ja
Publication of JPH0921631A publication Critical patent/JPH0921631A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 ホーン部の配設方向に沿う方向の超音波を良
好に受信する。 【解決手段】 超音波の送受信を行う超音波振動子1
と、この超音波振動子1を保持する保持部2と、この保
持部2を介して超音波振動子1の超音波の送受信側に装
備した管状のコーン部3とを有し、コーン部3を複数の
超音波伝播通路5により構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波センサに係
り、超音波距離測定装置の利用に好適な超音波センサに
関する。
【0002】
【従来の技術】従来例を図9及び図10に示す。図9
は、従来の超音波センサ50を示している。これによる
と、この超音波センサ50は、超音波の送受信を行う超
音波振動子51と、この超音波振動子51を保持する保
持部52と、超音波振動子51の超音波の送受信側に一
端を対向させた管状のコーン部53とを備えている。
【0003】このコーン部53は、内部を超音波の伝搬
通路とする一様な径の円筒状部材であり、その一端を超
音波振動子51に対向させ、他端を開口状態にしてい
る。符号53Aは開口端である。
【0004】図10は、従来の超音波センサ50を装備
した超音波距離測定装置60である。この超音波距離測
定装置60は、電気的な送信信号aを出力する発振器6
1と、この送信信号aを周期的な波形を有する信号bに
変換し出力するドライブ回路62と、信号bを超音波c
に変換してを発生させると共に,被測定物Kからの反射
波dを受けて電気的な受信信号eを出力する超音波セン
サ50と、この受信信号eを入力する受信回路63と、
ドライブ回路62から信号bが出力された時から受信回
路63で受信信号eが入力された時までの時間tを測定
し出力する時間計測回路64とを備えている。
【0005】被測定物は、試験管等の有底の容器70に
入った液体の液面Wであり、容器70は、超音波センサ
50のコーン部53の開口端53A側にその開口端71
を対向させた状態で図示しない保持部材に保持されてい
る。そして、超音波振動子51からこの液体の液面Wま
での距離の測定が行われる。
【0006】上記従来例の動作を説明すると、発振器6
1から発生した送信信号aがドライブ回路62を介して
所定間隔を有する波形の信号bとして超音波センサ50
及び受信回路63に伝達される。
【0007】超音波センサ50では、信号bを受けて超
音波振動子51から超音波cが送信される。この超音波
cはコーン部53の内部空間を通って容器70内部の液
体の液面Wに向かって伝播し、この液面Wに反射し反射
波dとなって超音波振動子51に戻ってくる。
【0008】超音波振動子51では、反射波dを受けて
受信信号eを受信回路63に出力する。一方、時間計測
回路64では、前述した信号bの入力から受信子信号e
が受信回路63に入力されるまでの時間tを測定し出力
する。この時間tは、受信回路63から図示しない上位
装置等に出力され、時間tに基づいて超音波振動子51
から被測定物までの距離が換算される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ここで、超音波による
距離測定においては、図10に示した超音波c及び反射
波dのように超音波振動子51と液面Wとの間を最短距
離で往復することが望ましい。
【0010】しかしながら、実際上は、図11に示すよ
うに超音波振動子から発生した超音波はコーン部53の
開口端53Aから一定の角度で広がって伝播し、超音波
の一部は容器70内の液面Wに到達する前に容器の開口
端71及び容器の内壁面に衝突し反射され、複雑な多数
方向に伝播する状態となる。また、液面Wに反射した反
射波も同様にして、容器70の開口端71から一定の角
度で広がって伝播し、これがコーン部53内に衝突して
複雑な多数方向に伝播する。
【0011】このため、これらの複雑方向に伝播する超
音波が最短距離で往復する超音波の受信に影響を及ぼ
し、超音波距離測定装置による正確な距離の測定の妨げ
となる不都合が生じていた。
【0012】
【発明の目的】この発明の目的は、係る従来例の有する
不都合を改善し、特に、複雑な多数方向の超音波の受信
を排除し,コーン部の配設方向に沿う方向の超音波を良
好に受信する超音波センサを提供することを、その目的
とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明の場
合は、超音波の受信を行う超音波振動子と、この超音波
振動子を保持する保持部と、この保持部を介して超音波
振動子の超音波の送受信側に装備した管状のコーン部と
を有する超音波センサにおいて、コーン部を複数の超音
波伝播通路により構成する手法を採っている。
【0014】請求項2記載の発明の場合には、請求項1
記載の本発明と同様の構成に加えて、コーン部が,円筒
状部材からなり、この円筒状部材の内側に当該円筒状部
材の内側を超音波の伝播方向に沿って仕切る仕切板を設
ける構成を採っている。
【0015】請求項3記載の発明の場合には、請求項1
記載の本発明と同様の構成に加えて、コーン部が,複数
の細管部材を束ねて構成する手法を採っている。
【0016】請求項4記載の発明の場合には、請求項
1,2又は3記載の本発明と同様の構成に加えて、コー
ン部の内,当該コーン部全体の長さのほぼ3分の2の長
さを複数の超音波伝播通路とし,残るほぼ3分の1を一
本の管状に形成すると共に、複数の超音波伝播通路を超
音波振動子と反対側端部に配設するという構成を採って
いる。
【0017】上記構成の動作を説明すると、まず、コー
ン部は複数の超音波伝播通路により構成されており、こ
れら複数の超音波伝播通路の各開口端側はその面積が,
コーン部全体の断面積に比べて超音波伝播通路の個数分
に分割された面積となっている。
【0018】超音波振動子から発生した超音波は、コー
ン部内の各導通領域内を介して開口端から、一定の角度
で広がりながら伝播する。
【0019】一方、外部からの超音波を受けた場合に
は、上述のように分割された各超音波伝播通路の開口端
からは、当該超音波伝播通路に沿った中心部分の超音波
のみが受信される。
【0020】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図1乃至図
8に基づいて説明する。
【0021】図1は本発明の実施の形態である超音波セ
ンサ10を示し、図1(A)は斜視図であり,図1
(B)は図1(A)の超音波センサ10の軸方向に沿っ
た断面図である。
【0022】この超音波センサ10は、超音波の送受信
を行う超音波振動子1と、この超音波振動子1を保持す
る保持部2と、超音波振動子1の超音波の送受信側に一
端を対向させた管状のコーン部3とを備えている。
【0023】そして、コーン部3が,円筒状部材からな
り、このコーン部3の内側に当該円筒状部材の内側を超
音波の伝播方向に沿って仕切る仕切板4を備えている。
【0024】保持部2は超音波振動子1の超音波の振動
を妨げない手法を用いて保持している。この保持部2は
併設されたコーン部3よりやや大きな円筒状に形成され
ている。
【0025】コーン部3は、内部を超音波が伝播する一
様な径の円筒状部材であり、一端を超音波振動子1の送
受信面1Aに対向させ、他端を開口状態にしている。符
号3Aは開口端である。
【0026】仕切板4は、コーン部3の軸方向に沿って
このコーン部3の内側を四分割する板部材であり、コー
ン部3の軸に垂直な断面における形状が十字形となって
いる。そして、この仕切板4のコーン部3の軸方向にお
ける長さが、当該コーン部3の長さのほぼ3分の2に設
定されている。また、この仕切板4はコーン部3の内部
において開口端3A側に配設されている。この仕切板4
により四分割されたコーン部3の内部がそれぞれこのコ
ーン部3の軸方向に沿った四つの超音波伝播通路5とな
る。
【0027】この超音波振動子10を装備した超音波距
離測定装置20を図2に示す。この超音波距離測定装置
20に備えられた超音波センサ10の超音波振動子1
は、圧電振動子を備えたいわゆる超音波トランスデュー
サと呼ばれるものであり、電気的な送信信号を受けて受
信面1Aから超音波を発生させ,逆に超音波を受信面1
Aに受けると電気的な受信信号を生じる性質を有してい
る。
【0028】図2は、上述の超音波センサ10を装備し
た超音波距離測定装置20である。この超音波距離測定
装置20は、超音波センサ10を除き,従来例で示した
超音波距離測定装置60と同様の構成となっている。
【0029】すなわち、電気的な送信信号aを出力する
発振器61と、この送信信号aを周期的な波形を有する
信号bに変換し出力するドライブ回路62と、信号bを
超音波cに変換してを発生させると共に,被測定物から
の反射波dを受けて電気的な受信信号eを出力する超音
波センサ10と、この受信信号eを入力する受信回路6
3と、ドライブ回路62から信号bが出力された時から
受信回路63で受信信号eが入力された時までの時間t
を測定し出力する時間計測回路64とを備えている。
【0030】被測定物は、試験管等の有底の容器70に
入った液体の液面Wであり、容器70は、超音波センサ
10のコーン部3の開口端3A側にその開口端71を対
向させた状態で図示しない保持部材に保持されている。
そして、超音波振動子1からこの液体Wの液面までの距
離の測定が行われる。
【0031】以下、この超音波距離測定装置20の動作
を図2及び図3に基づいて説明する。
【0032】発振器61から送信信号aが発生する。送
信信号aは、ドライブ回路62により所定間隔を有する
波形の信号bに変換される。このとき、信号bは超音波
センサ10と受信回路63とに入力される。
【0033】超音波センサ10に入力された信号bは、
超音波振動子1により超音波に変換されて発信される。
超音波は、超音波振動子1からコーン部3内の各超音波
伝播通路5内を介して開口端3Aから一定の角度をもっ
て広がりながら空中に伝播する。
【0034】このうち開口端3Aから図2における鉛直
下方に伝播する超音波cは液面に到達して反射波とな
る。この反射波は、容器70の開口端71で再び一定の
角度で広がりながら空中に伝播を行う。
【0035】このとき、コーン部3は、四つの超音波伝
播通路5により構成されているために,コーン部3の開
口端3Aは四分割された状態となっている。このため、
これら広がる反射波の内、超音波伝播通路5に沿った方
向の特に中心部に伝播する反射波dのみが、開口端3A
から各超音波伝播通路5の内部に伝播され、超音波振動
子に到達する(図3)。
【0036】一方、容器70の開口端71及び内部に衝
突して複雑な方向に伝播する超音波は、開口端3Aから
この超音波伝播通路5に伝搬されない。
【0037】超音波振動子1では、反射波dを受けて受
信信号eを出力する。この受信信号eは受信回路63に
入力される。このとき、時間計測回路で64は、前述し
たドライブ回路62から出力された信号bが受信回路6
3に入力された時から受信信号eが受信回路63に入力
されるまでの時間tを測定する。この時間tは、受信回
路63から図示しない上位装置等に出力され、時間tに
基づいて超音波振動子1から液面Wまでの距離が換算さ
れる。
【0038】上述のように、超音波センサ10を装備し
た超音波距離測定装置20は、受信の際に、複数の方向
に広がる超音波及び、容器の各部に反射される超音波
が、コーン部3の開口端3Aから伝播せず、超音波振動
子1と液面Wとの間を最短距離で往復する超音波のみが
伝搬するために、よりこれらの距離を正確に測定するこ
とが可能となる。
【0039】図4に本実施の形態の他の例を示す。この
超音波センサ30は、コーン部33の形状のみが超音波
センサ10と異なっており、他の構成は同様である。
【0040】すなわち、コーン部33は、前述のコーン
部3とほぼ同径の円筒状部材33Aと、この円筒状部材
33Aより径の小さい三本の細管部材34とにより構成
されている。円筒状部材33Aは、一端が超音波振動子
1に対向状態にあり、他端には三本の細管部材34が嵌
挿されている。
【0041】この細管部材34は三本が束ねられた状態
で一端部が円筒状部材33Aに嵌挿されている。そし
て、この円筒状部材33Aの内部に設けられた当該円筒
状部材33Aを途中で塞いだ状態にある内部壁33B
に,各細管部材34はその管の内部を超音波振動子1側
に導通させた状態で、円筒状部材33Aに固定されてい
る。
【0042】各細管部材34はその軸方向の長さが、コ
ーン部33の全体的な長さのほぼ3分の2に設定されて
いる。そして、この各細管部材34の内側が超音波伝播
通路35となる構成となっている。
【0043】超音波センサ30は、上記の構成により、
前述した超音波センサ10とほぼ同様の効果を得ること
ができる。ここで、超音波センサ30では、細管部材3
4の本数を3本に設定したが、より多くても良い。ま
た、他の細管部材として、断面形状が三角形,四角形,
六角形等の多角形形状であるものを使用しても良い。こ
れらにより断面円形の細管部材34とほぼ同様の効果を
得ることができる。
【0044】図5にさらに他の例を示す。この超音波セ
ンサ40は、コーン部43の形状のみが超音波センサ1
0と異なっており、他の構成は同様である。
【0045】すなわち、コーン部43は、円筒状部材4
4と、この円筒状部材44の内側に配設されるより径の
小さい円筒状部材45とから構成される。円筒状部材4
5は、円筒状部材44の軸方向長さのほぼ3分の2の長
さに設定されており、固定部材46によりこれらの円筒
状部材44,45が同軸となるよう且つ円筒状部材45
が超音波振動子1の反対側端部に位置するように固定さ
れている。
【0046】これにより、コーン部43内において、円
筒状部材45の内側空間と、円筒状部材44と円筒状部
材45との間の空間とにそれぞれ超音波伝播通路47,
48が形成される。
【0047】超音波センサ40は、上記の構成により、
前述した超音波センサ10とほぼ同様の効果を得ること
ができる。ここで、超音波センサ40では、円筒状部材
を二つに設定したが、より多くの円筒状部材を同様に配
置しても良い。
【0048】ここで、他の超音波距離測定装置の例とし
て超音波センサを二つ装備した超音波距離測定装置10
0を図6に示す。この超音波距離測定装置100は、電
気的な送信信号aを出力する発振器61と、この送信信
号aを周期的な波形を有する信号bに変換し出力するド
ライブ回路62と、信号bを超音波cに変換して発生さ
せる送信専用の超音波センサ10Aと、被測定物からの
反射波dを受けて電気的な受信信号eを出力する受信専
用の超音波センサ10Bと、この受信信号eを入力する
受信回路63と、ドライブ回路62から信号bが出力さ
れた時から受信回路63で受信信号eが入力された時ま
での時間tを測定し出力する時間計測回路64とを備え
ている。
【0049】この超音波距離測定装置100の場合に
は、超音波の送信側と受信側とにそれぞれ独立して超音
波センサを設けているために、送信側には、送信のみが
可能な構造の超音波センサを使用し、受信側には受信の
みが可能な構造の超音波センサを使用することができ
る。
【0050】ここで、図6に示した他の超音波距離測定
装置100のように両方の超音波センサ10A,10B
の両方にコーン部を設けなくとも良い。即ち、超音波セ
ンサ10Aと超音波センサ10Bとのどちらか一方の超
音波センサのみに仕切り板を内側に有するコーン部を設
ける構成としても良い。
【0051】超音波センサの指向性を示す試験を図7及
び図8に基づいて説明する。本試験は、超音波センサ1
0と超音波センサ50とをそれぞれ装備する超音波距離
測定装置20,60により距離の測定を行った。ここ
で、使用する超音波センサ50は、図8で示されたコー
ン部53の内側に仕切り板を設けていない超音波センサ
である。
【0052】この試験では、超音波センサ10のコーン
部3の寸法を、直径8[mm],長さを35[mm]と
し、また、超音波センサ50のコーン部53の直径を8
[mm],長さを58[mm]とした。
【0053】そして、各コーン部3,53の開口端3
A,53Aから容器70の開口端71までの間隔(以
下、これをギャップとする)を1[mm]ずつ離間させ
た場合において、容器70内の液体を100[μl]ず
つ増加させて、超音波振動子1,51の受信面1A,5
1Aから液面Wまでの距離をそれぞれ測定した。この試
験結果を図7及び図8に示す。
【0054】図7は超音波センサ50による測定結果で
あり、図8は超音波センサ10による測定結果である。
これによると、超音波センサ50ではギャップが2[m
m]までは測定が可能であったが,3[mm]以上とす
ると測定不能となった。これに対して、超音波センサ1
0ではギャップが4[mm]となるまで測定が可能であ
った。すなわち、コーン部を複数の超音波伝播通路によ
り構成することにより従来の超音波センサと比較してギ
ャップを大きく設定することが可能であることを示して
いる。
【0055】また、本試験では、容器70内の液体を一
定量ずつ増加させて測定を行っているため、超音波振動
子と液面との間の距離は一定の割合で変化するが、超音
波距離測定装置60による測定結果では、図7に示され
るHの範囲で測定数値のばらつきが生じており、これに
対して超音波距離測定装置20による測定結果は図8に
示されるように、測定数値の変化がほぼ直線状となって
いる。これにより、超音波センサ10を装備した超音波
距離測定装置20による測定は、実際の距離変化に近い
結果を示している。
【0056】さらに、前述したように本試験では,超音
波センサ10のコーン部3が,超音波センサ50のコー
ン部53よりも短いものを使用しているが、コーン部3
が短い状態でなお、超音波センサ10は、超音波センサ
50よりも良好に測定が行われている。これにより、本
発明の超音波センサは、そのコーン部をより短いものを
使用することを可能とすることが分かる。
【0057】また、他の試験により、コーン部の仕切板
の長さをコーン部全体の長さのほぼ3分の2に設定する
ことにより複雑な多数方向の超音波の受信を排除し,コ
ーン部の配設方向に沿う方向の超音波を受信する効果が
確認されている。しかし、これはコーン部の形状及び寸
法により変更しても良い。
【0058】また、さらに他の試験により超音波伝播通
路の数が3〜4にした場合が良好であることが判明して
おり、本実施の形態ではこの結果に従い,十字の仕切板
によりコーン部の内部に4つの超音波伝播通路を備える
構成としたが、この個数は、より多くするか、或いはよ
り少なくしても良い。
【0059】以上のように、本実施の形態では、コーン
部に仕切り板を設け、コーン部を複数の超音波伝播通路
から構成することにより、複雑な多数方向の超音波の受
信を排除し,コーン部の配設方向に沿う方向の超音波を
良好に受信する。
【0060】ここで、本実施の形態中では、超音波セン
サを装備した超音波距離測定装置を容器内に入っている
液面までの距離の測定に用いる場合を例にして説明した
が、他の対象物に対する距離を測定する場合に使用して
も良い。例えば、自立走行ロボット等の走行時に障害物
までの距離を測定する場合に使用される超音波距離測定
装置として、この自立走行ロボットに搭載しても良い。
【0061】
【発明の効果】本発明は、コーン部を複数の超音波伝播
通路により構成しており、これにより、複雑な多数方向
の超音波の受信を排除し,コーン部の配設方向に沿う方
向の超音波を良好に受信することが可能となった。
【0062】また、上記の構成により従来の指向性を保
持した状態でコーン部の超音波伝播方向の長さを短く形
成することが可能となる。これにより、超音波センサを
小型化することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る超音波センサを示す図であり、図
1(A)は斜視図であり、図1(B)は超音波の伝播方
向に沿った図1(A)の断面図である。
【図2】図1に開示した超音波センサを装備した超音波
距離測定装置の概略構成を示すブロック図である。
【図3】図2の超音波距離測定装置の動作を示す説明図
である。
【図4】図1に開示した超音波センサの他の例を示す斜
視図である。
【図5】図1に開示した超音波センサのさらに他の例を
示す斜視図である。
【図6】図1に開示した超音波センサによる他の測定方
法を示す説明図である。
【図7】従来の超音波センサを装備した超音波距離測定
装置による測定試験の結果を示す線図ある。
【図8】本発明に係る超音波センサを装備した超音波距
離測定装置による測定試験の結果を示す線図ある。
【図9】従来の超音波センサを示す図であり、図9
(A)は斜視図であり、図9(B)は超音波の伝播方向
に沿った図9(A)の断面図である。
【図10】従来の超音波センサを装備した超音波距離測
定装置の概略構成を示すブロック図である。
【図11】従来の超音波センサを装備した超音波距離測
定装置の測定の際に生じる干渉の原因となる超音波を示
す説明図である。
【符号の説明】
1 超音波振動子 2 保持部 3 コーン部 4 仕切板 5 超音波伝播通路 10 超音波センサ 34 細管部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大村 俊哉 神奈川県横浜市都筑区桜並木2番1号 ス ズキ株式会社技術研究所内 (72)発明者 菊地 富士子 神奈川県横浜市都筑区桜並木2番1号 ス ズキ株式会社技術研究所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波の送受信を行う超音波振動子と、
    この超音波振動子を保持する保持部と、この保持部を介
    して前記超音波振動子の超音波の送受信側に装備した管
    状のコーン部とを有する超音波センサにおいて、 前記コーン部を複数の超音波伝播通路により構成したこ
    とを特徴とする超音波センサ。
  2. 【請求項2】 前記コーン部が,円筒状部材からなり、
    この円筒状部材の内側に当該円筒状部材の内側を前記超
    音波の伝播方向に沿って仕切る仕切板を設けたことを特
    徴とする請求項1記載の超音波センサ。
  3. 【請求項3】 前記コーン部が,複数の細管部材を束ね
    てなることを特徴とする請求項1記載の超音波センサ。
  4. 【請求項4】 前記コーン部の内,当該コーン部全体の
    長さのほぼ3分の2の長さを複数の超音波伝播通路と
    し,残るほぼ3分の1を一本の管状に形成すると共に、
    前記複数の超音波伝播通路を超音波振動子と反対側端部
    に配設したことを特徴とする請求項1,2又は3記載の
    超音波センサ。
JP19121095A 1995-07-04 1995-07-04 超音波センサ Withdrawn JPH0921631A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19121095A JPH0921631A (ja) 1995-07-04 1995-07-04 超音波センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19121095A JPH0921631A (ja) 1995-07-04 1995-07-04 超音波センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0921631A true JPH0921631A (ja) 1997-01-21

Family

ID=16270744

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19121095A Withdrawn JPH0921631A (ja) 1995-07-04 1995-07-04 超音波センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0921631A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021067543A (ja) * 2019-10-23 2021-04-30 株式会社東芝 センサ及び検査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021067543A (ja) * 2019-10-23 2021-04-30 株式会社東芝 センサ及び検査装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1610587B1 (en) Ultrasonic sensor
US7069793B2 (en) Ultrasonic flow meter and ultrasonic sensor
Weight et al. Observations of the propagation of very short ultrasonic pulses and their reflection by small targets
US5280728A (en) Ultrasonic flow velocity measurement method and apparatus thereof
US11982647B2 (en) Ultrasonic measuring device
US20040050165A1 (en) Method for determining the wall thickness and the speed of sound in a tube from reflected and transmitted ultrasound pulses
US3540265A (en) Dual ultrasonic sensors employing differing modes of ultrasonic transmission
JPH10122923A (ja) 超音波流量計
JPS6219695B2 (ja)
US4894806A (en) Ultrasonic imaging system using bundle of acoustic waveguides
JP2005188974A (ja) 超音波流量計
WO1997021985A1 (en) Ultrasonic flowmeter and ultrasonic generator/detector
US4462256A (en) Lightweight, broadband Rayleigh wave transducer
US4610551A (en) Ultrasonic temperature sensor
JP2002135894A (ja) 超音波センサ及びそれを用いた電子装置
US4541732A (en) Ultrasonic temperature sensor
JPH022927A (ja) 音響反射を検出する方法および装置
JPH0921631A (ja) 超音波センサ
JPH11118457A (ja) アレイ型超音波被膜厚測定装置及び超音波探傷装置
JP3328505B2 (ja) 超音波流量計
JPH05180810A (ja) 液体濃度計用超音波送受波器
JP3341824B2 (ja) 電子走査式超音波探傷装置
JP3948335B2 (ja) 超音波流量計
US3540279A (en) Acoustic sensing system
JP3650509B2 (ja) 超音波プローブおよびその用途

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20021001