JPH09210577A

JPH09210577A - 流体の温度制御装置

Info

Publication number: JPH09210577A
Application number: JP18010396A
Authority: JP
Inventors: Kanichi Kadotani; ▲かん▼一門谷
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1995-11-30
Filing date: 1996-06-20
Publication date: 1997-08-12
Anticipated expiration: 2016-06-20
Also published as: JP3033047B2

Abstract

(57)【要約】【課題】構造的に簡素であって、流体の温度むらが少
なく、かつ光吸収率の小さい流体でも加熱できる流体温
度制御装置を提供する。【解決手段】筒状の外側容器２内に、熱伝導の良い金
属製の筒状の内側容器１が挿入され、内側容器１内に光
透過性の極めて高い透明筒４が挿入され、透明筒４内に
赤外線を多く発するヒーティングランプ５が挿入されて
いる。内側容器１の内側の空間３ａに、温度制御したい
流体が流され、外側の空間３ｂに、冷却液が流される。
内側容器１の内周面と外周面には、熱伝導性の良い金属
製のフィン８ａ、８ｂが立設されている。フィン８ａ、
８ｂは、内側と外側の空間３ａ、３ｂの全体にわたって
ほぼ一様の密度で配置され、かつ流体及び冷却液の流れ
る方向に沿って伸びている。流体の加熱はランプ５から
の放射熱で行い、冷却は冷却水で行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の技術分野】本発明は、流体の温度制御装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】恒温室へ供給される空気の温度や、半導
体デバイスや液晶デバイスなどを処理するためのチャン
バの空調や壁面温度制御に用いられる液体の温度は、そ
れぞれの目的に応じた目標温度に制御される必要があ
る。この種の流体の温度制御装置の従来例が、特開昭５
８−２１９３７４号、特開平７−２８０４７０号及び特
開平５−２３１７１２号に開示されている。

【０００３】特開昭５８−２１９３７４号の装置は、水
が螺旋状に流れるように細かく仕切られた、全体として
円筒形の水流路を有する。この円筒形水流路の中心に
は、細長い電気ヒータが挿入されている。更に、この円
筒形水通路の外周面は、凝縮冷媒が螺旋状に流れるよう
に仕切られた、やはり全体として円筒形の冷媒通路によ
って覆われている。電気ヒータと凝縮冷媒とにより、水
流路を流れる水が加熱される。

【０００４】特開平７−２８０４７０号の装置では、温
度制御したい流体の流れるパイプの中心に電気ヒータが
挿入され、かつ、そのパイプの外周に冷却水の流れる大
きいパイプが被せられている。電気ヒータと冷却水とに
より、パイプ内の流体の温度が制御される。

【０００５】特開平５−２３１７１２号の装置では、温
度制御したい流体の流れる円筒形の容器の中心に、石英
ガラス製の中空管が配置され、この中空管の内部に赤外
線ランプが挿入されている。ランプからの放射熱で容器
内の流体が加熱される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】特開平７−２８０４７
０号の装置では、ヒータや冷却水からの熱伝導を利用し
ているため、熱源からの距離に応じた流体の温度むらが
存在する。例えば、ヒータに近い場所では温度が高く、
ヒータから遠い場所では温度が低い。

【０００７】特開昭５８−２１９３７４号に開示された
装置は、熱伝導を利用しているが、流体が螺旋状に流れ
て攪拌されるから、温度むらの問題は実質的にないであ
ろう。しかし、螺旋状の流路は構造的に複雑であるか
ら、その製造及びメンテナンスが面倒である。

【０００８】さらに、熱伝導を利用した場合、ヒータの
近傍は局所的に高温になる。そのため、ヒータの近傍を
通る流体が沸騰しないよう、かつヒータやその近傍部分
の材料の耐熱限界を越えないよう、ヒータの温度を抑え
る必要がある。結果として、多量の熱を供給することが
難しく、流体の目標温度を余り高くすることも難しい。

【０００９】特開平５−２３１７１２号の装置は、熱伝
導でなく熱放射（つまり、電磁波、主として赤外線、に
よる熱供給）を利用している。赤外線による放射熱は流
体内の各場所へ平等に行き渡るから、温度むらの問題は
ほとんどない。また、放射熱量を増大させても、光源の
近くだけが局所的に高温になるということはないから、
多量の熱を供給でき且つ目標温度を容易に高くできる。
しかしながら、流体が光吸収率の極めて低い物質である
場合には、放射熱による加熱は難しい。

【００１０】従って、本発明の目的は、構造的に簡素で
あって、流体の温度むらが少なく、かつ光吸収率の小さ
い流体でも加熱できる流体温度制御装置を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に従う流体温度制
御装置は、透明筒と、この透明筒内に配置された、赤外
線を放射するためのランプと、透明筒を囲繞し、透明筒
との間に内側空間を有した筒状の容器と、内側空間に流
体を流入させるための流体入口と、内側空間から流体を
流出させるための流体出口と、上記容器の内周面に接触
し、内側空間内に配置された内側フィンとを備える。

【００１２】この装置は、内側空間を流れる流体を、ラ
ンプからの放射熱で加熱することができる。放射熱を利
用するために温度むらは小さい。内側空間にフィンがあ
るため、流体が光吸収率の極めて低い物質であっても、
フィンが放射熱を受けて流体に伝達するから、そのよう
な流体も加熱できる。

【００１３】加熱効率を高め且つ温度むらを一層無くす
ためには、フィンが内側空間のほぼ全体領域にわたって
分散されて配置されていることが望ましく、更に、フィ
ンが内側空間のほぼ全体領域にわたって実質的に一様の
密度で配置されていれば一層好ましい。

【００１４】また、流体が光吸収率のある程度良好な物
質である場合は、フィンがランプからの赤外線の放射方
向にほぼ沿って立っていることが望ましい。それによ
り、赤外線がフィンに遮られずに流体の全体に行き渡る
ので、流体全体が一様に加熱できる。

【００１５】また、フィンの流体に及ぼす圧損を小さく
するためには、フィンが流体の流れる方向にほぼ沿って
伸びていることが望ましい。

【００１６】本発明の装置は、上記構成に加えて、更
に、上記容器を囲繞し、容器との間に外側空間を有した
外筒と、外側空間に冷却液を流入させるための冷却液入
口と、外側空間から冷却液を流出させるための冷却液出
口とを更に備えることができる。これにより、流体の加
熱だけでなく冷却も行える。

【００１７】その場合、冷却の効率を高め且つ冷却時の
温度むらを小さくするために、上記容器の外周面に接触
して外側空間内に配置された外側フィンを更に備えるこ
とが望ましい。この外側フィンは、外側空間のほぼ全体
領域にわたって分散され且つ実質的に一様の密度で配置
されていれば一層望ましい。

【００１８】本発明のその他の特徴と目的は、以下の実
施形態の説明の中で明らかにする。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の幾つかの実施形態を図面
を参照して説明する。

【００２０】図１は本発明の一実施形態の縦断面図であ
り、図２は同装置のＡ−Ａ線での横断面図である。

【００２１】これらの図に示すように、内側容器１は円
筒形の形状で、内側に空間３ａを有し、かつ塞がれた両
端面を有する。外側容器２も円筒形の形状で、塞がれた
両端面を有し、かつ内側容器１を囲繞して内側容器１の
外側に空間３ｂを有している。内側容器１は、その周壁
の一端に近い箇所に、温度を制御される流体の入口１ａ
を有し、かつ、周壁の他端に近い箇所であって入口１ａ
とは中心軸に対して対称な箇所に、その流体の出口１ｂ
を有する。また、外側容器２は、その周壁の一端に近い
箇所に、冷却液（例えば水）の入口２ａを有し、かつ、
周壁の他端に近い箇所であって入口２ａとは中心軸に対
して対称な箇所に、冷却液の出口２ｂを有する。

【００２２】内側容器１は、熱伝導性、耐食性及び成形
性の良好な材料、例えばアルミニューム、銅、ステンレ
ススチールなどで作られる。外側容器２も同様な材料で
作られてよいし、或は、耐食性及び成形性は良好である
が熱伝導性の高くない別の材料、例えばプラスチックや
塩化ビニルやセラミックスなどで作ることもできる。内
側容器１と外側容器２との接合部は、溶接やロウ付けや
その他の適当な方法により、液を洩らさないようシール
される。

【００２３】内側容器１の内側空間３ａ内には、中心軸
に沿って透明筒４が配置され、この透明筒４は内側容器
１の両端の壁６、６を貫通している。この透明筒４内
に、ヒーティングランプ５が挿入されている。透明筒４
は、石英ガラスのような光透過性の極めて高い耐熱性の
材料で作られている。ヒーティングランプ５には、赤外
線を多く出すものが好ましく、例えばヒータ用のハロゲ
ンランプが用いられる。このランプ５は、ブッシュ９に
よって透明筒４に接触しないように、透明筒４内の中心
軸位置に支持されている。

【００２４】内側容器６の両端の壁６、６は、硬質ゴム
やプラスチックや金属のように適度な弾性と十分な耐熱
性とをもつ材料によって作られている。端壁６、６と内
側容器１及び透明筒４との間の隙間をシールするため
に、端壁６、６の外周面と内周面にはそれぞれＯリング
のようなシールリングが填め込まれている。

【００２５】内側容器１の内周面には、容器１の中心軸
に平行に伸びた多数本の内側フィン８ａが固定されてお
り、外周面にも中心軸に平行に伸びた多数本の外側フィ
ン８ｂが固定されている。内側フィン８ａは、内側空間
３ａの半径の方向に、つまり、ランプ５からの赤外線の
放射方向に、真っ直ぐに立っている。外側フィン８ｂも
同様に、半径の方向に放射状に直立しているが、必ずし
もそうである必要はない。内側フィン８ａも外側フィン
８ｂも、内側空間３ａ及び外側空間３ｂのほぼ全体領域
にわたって分散されて配置されており、且つその全体領
域にわたって実質的に一様の密度（つまり、概略的に一
様の間隔）で配置されている。これらのフィン８ａ、８
ｂは、熱伝導率が高く、耐食性及び成形性も良好な、例
えばアルミニューム、銅、ステンレススチールのような
材料で作られる。更に、赤外線の吸収率も良い材料であ
ることが望ましい。

【００２６】内側フィン８ａの先端と透明筒４の外周面
との間には僅かな隙間がある。外側フィン８ｂの先端と
外側容器２の内周面との間にも僅かな隙間がある。

【００２７】上述した構成において、温度を制御される
流体は、入口１ａから内側空間３ａに流入し内側空間３
ａを通って出口１ｂから流出する。また、冷却液は、入
口２ａから外側空間３ｂに流入し外側空間３ｂを通って
出口２ｂから流出する。

【００２８】流体の入口１ａでの温度（例えば２５℃）
より目標温度が高い（例えば１００℃）場合、ランプ５
が点灯される。この場合、冷却液の流れは原則として停
止される。ランプ５から放射された赤外線は透明筒４を
通過して内側空間３ａに入射する。もし、流体が光吸収
性の極めて低い物質（例えばフロリナート（登録商
標））であれば、赤外線の大部分はフィン８ａに吸収さ
れ、そこで生じた放射熱がフィン８ａから流体へと伝え
られて、流体が加熱される。もし、流体が光吸収性を適
度にもつ物質（例えば水、エチレングリコールなど）で
あれば、赤外線はフィン８ａだけでなく流体自体にも直
接吸収され、その放射熱で流体の温度が上昇する。

【００２９】加熱量の制御は、出口１ｂに配置した温度
センサとコントローラ（いずれも図示せず）とにより、
ランプ５の点灯時間のデューティ比や発光量を調節する
ことにより行われる。例えば、出口温度が目標温度に一
致するように、ランプ５への供給電力をフィードバック
制御する。過加熱や外的な原因などにより流体の出口温
度が目標温度を越えてしまった場合、ランプ５は消灯さ
れる。また、ランプ消灯だけでは十分でない場合、冷却
液が流される。

【００３０】また、流体の入口温度（例えば８０℃）よ
り目標温度が低い（例えば３０℃）場合には、冷却液が
流され、ランプ５は通常は消灯される。流体が保有する
熱が内側フィン８ａ、内側容器１及び外側フィン８ｂを
通じて冷却液に伝えられ、流体が冷却される。上述した
コントローラが、冷却液の流量の調節を行って、流体の
出口温度を目標温度に一致させる。過冷却により流体の
出口温度が目標温度を下回った場合は、ランプ５が点灯
されたり、冷却液の流量が絞られたりする。

【００３１】このように、コントローラがランプ５の点
灯と冷却液の流量とを制御して、加熱と冷却とを使い分
けたり併用したりすることにより、流体の温度を目標温
度に制御する。

【００３２】上の説明から分るように、加熱は主として
赤外線の放射熱により行われる。放射熱は、その本来の
性質故に、ランプ５からの距離に関わらず内側空間３ａ
内のどの場所にある光吸収物質へも平等に供給される。
それに加え、内側空間３ａ内でフィン８ａがランプ５か
らの赤外線の放射方向に向いて立っているため、赤外線
はフィン８ａに遮られずに、内側空間３ａの全ての場所
に平等に入射し得る。結果として、もし流体が光を適度
に吸収する物質ならば、内側空間３ａ内の全ての場所で
その流体は実質的に平等に放射熱を受けて一様に温度が
上昇する。また、流体が光を殆ど吸収しない物質である
場合は、内側空間３ａの全体領域にほぼ一様密度で存在
する多数のフィン８ａが、その全ての箇所にて平等に放
射熱を受け取ってこれを流体に伝達するから、やはり流
体は一様に近い態様で加熱される。

【００３３】上記のようにランプ５の出力の多くは、放
射熱として内側空間３ａ内の流体全体にほぼ平等に供給
されるので、熱が特定の局所に集中することがない。ま
た、ランプ５と透明筒４との間には間隔が空いているた
め、熱伝導によって透明筒４やその近傍を通る流体だけ
が特別に高温になることもない。これらのことから、ラ
ンプ２５の出力熱量をかなり増大させることが可能であ
り、結果として、サイズは小型でも大きい加熱能力を発
揮することができる。

【００３４】また、前述したように、外側フィン８ｂと
外側容器２との間に隙間があるため、加熱の際に内側容
器１内の放射熱が外側フィン８ｂから直接に外側容器２
へと逃げることがない。このことは加熱効率の観点から
好ましい。同じ観点から、外側容器２をセラミックスや
プラスチックのような熱伝導性の悪い材料で作ることも
好ましい。但し、加熱効率に特に問題が無ければ、外側
フィン８ｂと外側容器２とが接触していても、あるい
は、外側容器２が熱伝導性の高い材料（例えば内側容器
１と同じ材料）で作られていていても構わない。

【００３５】冷却は、フィン８ａ、８ｂを通じた熱伝導
を利用して行われる。フィン８ａ、８ｂが内側及び外側
空間３ａ、３ｂの全体領域にわたり概略一様の密度で分
散配置されているから、冷却効率が良好であると共に、
熱伝導を利用するが故の温度むらも小さい。外側フィン
８ｂと外側容器２との間に隙間があることは、外側フィ
ン８ｂが外気温度の影響を受けにくいので、冷却効率の
観点からも好ましい。

【００３６】本実施形態の組み立て時には、透明筒４が
内側空間３ａ内へ挿入される。また、メンテナンス時に
も、透明筒４が内側空間３ａから引出されたり再び挿入
されたりする。この挿入・引出し作業では、透明筒４と
内側フィン８ａとの間の隙間がクリアランスとなって、
この作業をスムーズに行わせしめる。勿論、作業に支障
が無ければ、内側フィン８ａと透明筒４とが接触してい
ても構わない。

【００３７】上述した構成は、発明の要旨を変更しない
範囲内で、様々に変更することができる。

【００３８】例えば、図３に示すように、透明筒４の外
側に設けたブラケット１０によりヒーティングランプ５
を支持してもよい。ブラケット１０は、外側容器２のよ
うな本装置の適当な部分に取付けられてもよいし、本装
置以外の固定物に取付けられてもよい。

【００３９】また、図４に示す別の実施形態では、円筒
状の外側容器２内に円筒状の内側容器１が同軸の配置で
挿入され、かつ外側容器３の両端にドーナツ形のブッシ
ュ４１が填め込まれている。それらブッシュ４１は、そ
の側面で外側空間３ｂを閉塞すると共に、内周面で透明
筒４を支持している。ブッシュ４１と透明筒４との接合
部はＯリング４２によってシールされている。さらに、
外側容器２の両端のブッシュ４１の更に外側に、中心に
円孔をもつ円板形のブッシュ４３がネジで固定されてい
る。この外側のブッシュ４３は、側面で透明筒４の両端
面と当接し、かつ、内周面でヒーティングランプ５を支
持している。

【００４０】透明筒４とランプ５との間には十分な間隔
があり、そのため、透明筒４がランプからの伝導熱で局
所的に高温になる虞がない。

【００４１】流体の入口１ａと冷却液の入口２ａとは、
装置の反対側の端部に設けられている。よって、流体と
冷却液は互いに逆の方向に流れる。この方が、同一方向
に流れる場合より、一般に冷却効率が良い。

【００４２】図４ではシンボルマークで略記してある
が、内側容器１の内周面と外周面には、それぞれの全面
にわたって、内側フィン４４ａと外側フィン４４ｂとが
固定されている。内側フィン４４ａの先端と透明筒４と
の間、及び外側フィン４４ｂの先端と外側容器２との間
にはそれぞれ僅かな隙間がある。その理由は、前の実施
形態に関して既に述べた通りである。

【００４３】これらのフィン４４ａ、４４ｂには、図５
（Ａ）〜（Ｇ）に示すような種々の形態のものが採用で
きる。図５（Ａ）は薄板を断面四角形の波形に折り曲げ
たものであり、図５（Ｂ）は断面三角形の波形に折り曲
げたもの、図５（Ｃ）は波形の各尾根をさらに波型にう
ねらせたもの、図５（Ｄ）は波形に折り曲げたベルト状
の薄板を複数個、波の位置を互いに違えて並べたもので
ある。図５（Ｅ）は波形の薄板の表面に多数の細かい凹
部又は突起を形成したもの、図５（Ｆ）は波形の薄板の
表面にルーバ様の切れ込みを形成したものである。ま
た、図５（Ｇ）はピン形のフィンである。図６中の矢印
は、内側容器１の中心軸に平行な方向、つまり流体又は
冷却液の流れる方向を示す。流れ方向に対して図示の姿
勢でフィンを配置することは、フィンが冷却液や流体の
流れを邪魔しないようにするために重要である。

【００４４】内側フィン４４ａ及び外側フィン４４ｂの
個々の波部分（図５（Ｇ）の場合は個々のピン）は内側
空間３ａ及び外側空間３ｂの全体領域にわたって、実質
的に一様な密度で分散されて配置されている。従って、
それらのフィン４４ａ、４４ｂは、空間３ａ、３ｂ内の
全ての場所の流体及び冷却液に一様に作用する。よっ
て、加熱及び冷却が、効率良くかつ実質的に温度むらな
く行われる。この観点から、フィン４４ａ、４４ｂの個
々の波部分（又は個々のピン）の配置密度は、フィンが
流れに及ぼす圧損が問題にならない範囲内で、できるだ
け密であることが望ましい。

【００４５】内側フィン４４ａに関しては、図５に示す
いずれのフィン形態も、フィン自身が赤外線を吸収して
放射熱を効率良く受け取るのに適している。流体が光吸
収率の極めて小さい物質である場合、ランプからの赤外
線は、フィンの随所に入射して一部は吸収され一部は反
射され、反射された光はフィンの別の箇所に入射して一
部は吸収され一部は反射され、…という過程を繰り返し
て、最終的に多くの赤外線がフィンに吸収されて放射熱
となる。結果として、流体は効率良くかつ一様に加熱さ
れる。

【００４６】一方、流体が水のように光を相当に吸収す
る物質の場合、図５（Ｇ）のピン形フィンでは赤外線は
流体の全体に行き渡るので問題はないが、図５（Ａ）〜
（Ｆ）のフィンを用いると、フィンの内側を通る流体だ
けに赤外線が当たり、フィンの外側を通る流体には赤外
線が当たらないため、加熱効率が低下する虞がある。

【００４７】よって、光吸収率がある程度良い流体を用
いる装置では、図５（Ｇ）や前の実施形態のフィンのよ
うに、ランプからの光が流体全体に行き渡る形態のフィ
ンを採用することが望ましい。一方、光吸収率の極めて
低い流体のみを用いる装置では、図５（Ａ）〜（Ｇ）の
フィン及び前の実施形態のようなフィンのいずれもが採
用できる。

【００４８】ところで、図５（Ａ）〜（Ｆ）のような波
型のフィンは、それ自体の製造や内側容器への取付けが
比較的容易であるという利点がある。

【００４９】図６は、本発明の流体温度制御装置Ａを用
いた温度制御システム例の回路を示す。

【００５０】温度制御装置Ａの冷却液入口２ａに、開閉
弁１１を介して冷却液供給管１２が接続され、冷却液出
口２ｂに、冷却液排出管１３が接続されている。冷却液
排出管１３は逃がし弁１４を有している。冷却液供給管
１２にも、開閉弁１１の前又は後の位置に逃がし弁を設
けてもよい。

【００５１】装置Ａの流体入口１ａには、温度制御対象
１５から流体が戻るための流体戻り管１６が接続され、
流体出口１ｂには、温度制御対象１５へ流体を供給する
ための流体供給管１７が接続されている。温度制御対象
１５は、恒温槽やプラズマＣＶＤ装置のチャンバなどの
ような温度制御が必要な設備であって、ここでは、流体
供給管１７から供給された流体によって温度制御が行わ
れる。

【００５２】流体戻り管１６と流体供給管１７にはぞれ
ぞれ、開閉弁１８ａ、１８ｂと、流体温度を測る温度セ
ンサ１９ａ、１９ｂとが設けれられている。また、流体
供給管１７には、流体からイオンを除去するための脱イ
オン装置２０が設けられている。更に、流体を循環させ
るためのポンプ２１が、流体供給管１７と流体戻り管１
６の何れか一方に設けられている。

【００５３】この回路において、開閉弁１８ａ、１８ｂ
が開かれポンプ２１が運転されると、流体が温度制御装
置Ａと温度制御対象１５との間を循環する。流体の入口
温度と出口温度とが温度センサ１９ａと１９ｂとによっ
て検出され、図示しないコントローラに送られる。コン
トローラは、前述したように、出口温度が目標温度に一
致するように、ランプの点灯時間又は通電量、及び冷却
液の流量などを制御する。

【００５４】以上の実施形態の説明は本発明の理解のた
めのものであって、それら実施形態のみに本発明の範囲
を限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨を逸脱し
ない範囲内で、上記実施形態に変更、修正、改良などを
加えた他の種々の形態においても実施することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す縦断面図。

【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面矢視図。

【図３】ランプを支持する部分の変形例を示す部分断面
図。

【図４】別の実施形態を示す縦断面図。

【図５】フィンの形態のバリエーションを示す斜視図。

【図６】本発明の温度制御装置を用いた温度制御システ
ムの回路図。

【符号の説明】

１内側容器２外側容器３ａ内側空間３ｂ外側空間４透明筒５ヒーティングランプ８ａ、４４ａ内側フィン８ｂ、４４ｂ外側フィン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明筒と、前記透明筒内に配置された、赤外線を放射するためのラ
ンプと、前記透明筒を囲繞し、前記透明筒との間に内側空間を有
した筒状の容器と、前記内側空間に流体を流入させるための流体入口と、前記内側空間から流体を流出させるための流体出口と、前記容器の内周面に接触し、前記内側空間内に配置され
た内側フィンと、を備えたことを特徴とする流体の温度
制御装置。
【請求項２】請求項１記載のものにおいて、前記容器を囲繞し、前記容器との間に外側空間を有した
外筒と、前記外側空間に冷却液を流入させるための冷却液入口
と、前記外側空間から冷却液を流出させるための冷却液出口
とを更に備えたことを特徴とする流体の温度制御装置。
【請求項３】請求項１及び２のいずれか一項記載のも
のにおいて、前記内側フィンが、前記内側空間のほぼ全体領域にわた
って分散されて配置されていることを特徴とする流体の
温度制御装置。
【請求項４】請求項３記載のものにおいて、前記内側フィンが、前記内側空間のほぼ全体領域にわた
って実質的に一様の密度で配置されていることを特徴と
する流体の温度制御装置。
【請求項５】請求項１及び２のいずれか一項記載のも
のにおいて、前記内側フィンが、前記ランプからの赤外線の放射方向
にほぼ沿って立っていることを特徴とする流体の温度制
御装置。
【請求項６】請求項１及び２のいずれか一項記載のも
のにおいて、前記内側フィンが、前記流体の流れる方向にほぼ沿って
伸びていることを特徴とする流体の温度制御装置。
【請求項７】請求項１及び２のいずれか一項記載のも
のにおいて、前記内側フィンの先端が前記透明筒から離れていること
を特徴とする流体の温度制御装置。
【請求項８】請求項１及び２のいずれか一項記載のも
のにおいて、前記透明筒が前記ランプから離れていることを特徴とす
る流体の温度制御装置。
【請求項９】請求項２記載のものにおいて、前記容器の外周面に接触し、前記外側空間内に配置され
た外側フィンを更に備えたことを特徴とする流体の温度
制御装置。
【請求項１０】請求項９記載のものにおいて、前記外側フィンが、前記外側空間のほぼ全体領域にわた
って分散されて配置されていることを特徴とする流体の
温度制御装置。
【請求項１１】請求項１０記載のものにおいて、前記外側フィンが、前記外側空間のほぼ全体領域にわた
って実質的に一様の密度で配置されていることを特徴と
する流体の温度制御装置。
【請求項１２】請求項９記載のものにおいて、前記外側フィンが、前記冷却液の流れる方向にほぼ沿っ
て伸びていることを特徴とする流体の温度制御装置。
【請求項１３】請求項９記載のものにおいて、前記外側フィンの先端が前記外筒から離れていることを
特徴とする流体の温度制御装置。
【請求項１４】請求項９記載のものにおいて、前記外筒が、前記内側フィン及び外側フィンより熱伝導
性の悪い材料で作られていることを特徴とする流体の温
度制御装置。
【請求項１５】請求項２記載のものにおいて、前記流体と前記冷却液とが互いに逆方向へ流れるよう
に、前記流体入口、流体出口、冷却液入口及び冷却液出
口が配置されていることを特徴とする流体の温度制御装
置。
【請求項１６】請求項９記載のものにおいて、前記内側フィン及び外側フィンが、それぞれ、前記内側
空間及び外側空間のほぼ全体領域にわたって分散されて
配置されていることを特徴とする流体の温度制御装置。