JPH09209149A - Apparatus for managing process stage of continuous strip and method therefor - Google Patents

Apparatus for managing process stage of continuous strip and method therefor

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JPH09209149A
JPH09209149A JP8019984A JP1998496A JPH09209149A JP H09209149 A JPH09209149 A JP H09209149A JP 8019984 A JP8019984 A JP 8019984A JP 1998496 A JP1998496 A JP 1998496A JP H09209149 A JPH09209149 A JP H09209149A
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JP
Japan
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processing
data
manufacturing process
roll
event
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Withdrawn
Application number
JP8019984A
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Japanese (ja)
Inventor
Fumito Takada
文人 高田
Toshio Akiyama
敏雄 秋山
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

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  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To execute adequate management while specifying stages in case of the occurrence of abnormality, etc., during the stages by detecting the change in the prescribed event which occurs in the working stage of a blank and storing the events before and after this change. SOLUTION: A map 3000 displays the summary of the errors of a web in management of the working stages for the blanks. Error signals are displayed on this map 3000 in order of the occurrence of the errors. The reversal region 3001 in the map 3000 and the cursor 4001 in the map 4000 are made correspondent. When, for example, the operator selects the specific error code in the map 3000, the line direction corresponding to the error code is displayed in reversal and the bar display 4002 corresponding to the selected error code in the map 4000 is so displayed as to be conspicuous. When the operator selects the specific position 4001 by the cursor on the arbitrary bar display 4002, the error region including this position is displayed in reversal. As a result, the adequate management of the production of the continuous strip is made possible.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば帯状の連
続体等のような連続体の製造管理装置及び管理方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for manufacturing and managing a continuous body such as a belt-shaped continuous body.

【0002】[0002]

【従来の技術】1つのユニットを大量生産する所謂単品
生産と帯状に長い連続体を製造する場合とにおいて、大
きく異なる点は、単品製造においては、個々の単品を特
定することが容易であるのに対し、連続体では、単位が
存在しないので、従来では、加工条件の管理のみを行っ
たり、或いは、連続体のロット単位で管理を行ったりし
ていた。
2. Description of the Related Art A big difference between so-called single-piece production in which one unit is mass-produced and in the case of producing a strip-shaped long continuous body is that in individual-piece production, it is easy to specify each individual piece. On the other hand, since there is no unit in the continuous body, conventionally, only the processing conditions are managed, or the continuous body is managed in lot units.

【0003】加工条件を管理するとは、加工時の温度、
気圧、湿度などを記録し、爾後それらのデータを検証す
るというものである。また、ロット管理とは、連続体1
つのまとまりに対して、番号を付して、同じ番号を有す
るロットは同じ製造条件で製造されたものと考え、ある
ロットの一部に不良が発見された場合は、そのロットの
全てに不良が発生しているであろうと考えるものであ
る。
Managing the processing conditions means the temperature at the time of processing,
It records atmospheric pressure, humidity, etc., and then verifies those data. In addition, lot management is a continuum 1
It is considered that lots with the same number are numbered to one group, and that lots with the same number are manufactured under the same manufacturing conditions.If a defect is found in a part of a lot, all of the lots have defects. I think that it is occurring.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】すなわち、連続体の製
造における従来の管理方法では、連続体のどの位置にど
のような加工不良があるかということまではわからなか
った。そのため、加工が施された連続体を切断して各固
体に分離する工程においても、連続体を目視あるいは自
動で検査し、不良箇所を排除しながら切断を行ったり、
または無条件で切断されたものを後工程で検査し、不良
品を排除するのが通例であった。
That is, in the conventional control method in the production of a continuous body, it was not possible to know at which position of the continuous body there was a processing defect. Therefore, even in the step of cutting the processed continuous body into individual solids, the continuous body is visually or automatically inspected, and the cutting is performed while eliminating defective portions,
Alternatively, it has been customary to inspect uncut parts in a subsequent process to eliminate defective products.

【0005】帯状の連続体の製造を、従来の人手による
不良品の検査から脱皮して、コンピュータなどで管理す
る場合には、従来にはないデータの収集方法が必要とな
る。本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは、異常事象などが発生した
場合において、その前後の事象データを収集することの
できる製造工程管理装置及び方法を提供することにあ
る。
In the case of manufacturing a strip-shaped continuous body from the conventional manual inspection of defective products and managing it with a computer or the like, an unprecedented data collection method is required. The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a manufacturing process control apparatus and method capable of collecting event data before and after an abnormal event occurs. To do.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明の、加工素材としての連
続体が加工工程を渡り歩く生産プロセスを管理する連続
体の製造工程管理装置及ぶ方法は、前記加工工程におい
て発生した所定の事象の変化を検出し、その変化の前後
における種々の事象をデータとして記憶し、記憶された
事象データを処理する、ことを特徴とする。
Means for Solving the Problems The above-mentioned problems are solved,
In order to achieve the object, a continuous body manufacturing process management apparatus and method for managing a production process in which a continuous body as a processing material walks through a processing step, according to the present invention, changes a predetermined event occurring in the processing step. It is characterized by detecting, storing various events before and after the change as data, and processing the stored event data.

【0007】加工工程において発生した所定の事象の変
化の前後において収集される種々の事象データは、前記
所定の事象と密接な関係にあり、従って、これらの事象
データによって前記連続体を適切に管理することができ
る。本発明の好適な一態様に拠れば、前記加工工程は複
数あり、個々の加工工程の識別子を含めて事象データが
記憶される。異常などの発生を加工工程を特定しながら
管理することができる。
The various event data collected before and after the change of the predetermined event that occurred in the processing step is closely related to the predetermined event, and therefore the event data appropriately manages the continuum. can do. According to a preferred aspect of the present invention, there are a plurality of processing steps, and event data is stored including an identifier of each processing step. It is possible to manage the occurrence of abnormalities while specifying the machining process.

【0008】本発明の好適な一態様に拠れば、異常事象
の発生をトリガとして前記種々の事象データの記憶を開
始する。本発明の好適な一態様に拠れば、異常事象の終
了をトリガとして前記種々の事象データの記憶を開始す
る。本発明の好適な一態様に拠れば、前記所定の事象の
変化時点における前記種々の事象データと、前記処理さ
れた前記種々の事象をデータとを併せて表示することを
特徴とする。変化時点と、その変化の前後に亙る過去と
未来の事象データとが並列的に表示される。
According to a preferred aspect of the present invention, the storage of the various event data is started with the occurrence of an abnormal event as a trigger. According to a preferred aspect of the present invention, the storage of the various event data is started with the end of the abnormal event as a trigger. According to a preferred aspect of the present invention, the various event data at the time of change of the predetermined event and the processed various events are displayed together. The time of change and past and future event data before and after the change are displayed in parallel.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0010】〈太陽電池の製造システム〉図1は本発明
に係わる工程管理方法が適用されるアモルファスシリコ
ン太陽電池の製造工程の一実施形態を示す構成図であ
る。本実施形態で製造される製品すなわち太陽電池の製
造工程は、ステンレス薄板をロール状に巻いた加工素材
22を1単位として、図5に示す様に、(I)洗浄、(II)
成膜A、(III)成膜B、(IV)成膜C、(V)切断の工程を順
に行い、全工程が終了するものである。各成膜工程で
は、(2)スパッタ法によるAl/ZnO裏面反射層、
(3)プラズマCVD法によるn/i/p型アモルファ
スシリコン半導体層、(4)スパッタ法によるITO透
明導電層、の形成がなされる。また、(V)の切断の工程
は、2〜4の成膜工程によって3層が成膜された加工素
材22をシャーリング装置30にかけて定尺に切断する
もので、この定尺スラブが後の実装工程を経て最終製品
として完成する。
<Solar Cell Manufacturing System> FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a manufacturing process of an amorphous silicon solar cell to which the process control method according to the present invention is applied. In the manufacturing process of the product manufactured in the present embodiment, that is, the solar cell, as shown in FIG. 5, (I) cleaning, (II)
The steps of film formation A, (III) film formation B, (IV) film formation C, and (V) cutting are sequentially performed, and all steps are completed. In each film forming step, (2) Al / ZnO back surface reflection layer by sputtering method,
(3) An n / i / p type amorphous silicon semiconductor layer is formed by the plasma CVD method, and (4) an ITO transparent conductive layer is formed by the sputtering method. Further, in the cutting step (V), the processing material 22 having the three layers formed by the film forming steps 2 to 4 is cut into a fixed length by applying the shearing device 30, and this fixed length slab is mounted later. Through the process, it is completed as a final product.

【0011】図1を参照すると、本実施形態の製造装置
10における各工程の加工装置12,14,16,18
の各々は、実際の加工を行うプロセス部Pと、その前後
に配置されロール状に巻かれた薄板状の加工素材22を
プロセス部Pを通過させながら搬送するための搬送部T
とから概略構成されている。即ち、図1における各加工
装置12,14,16,18の夫々には、最初に加工素
材22の巻出し装置24が配置されており、洗浄、成膜
等のプロセス部Pを経て、最後に加工素材22の巻取り
装置26が配置されている。具体的には、洗浄装置12
では、巻出し装置24にセットされた加工素材22が、
溶剤洗浄槽、純水洗浄槽、ベーパー置換槽、乾燥等のプ
ロセス部Pを経て、巻取り装置26によって巻き取られ
る。かくして、搬送部Tは、巻き出し装置24と巻き取
り装置26とを含む。なお、駆動系としては、巻取り装
置26に順回転モーターが配置されているとともに、巻
出し装置24には逆回転モーターが配置されており、一
定のテンションが保たれるようになされている。
Referring to FIG. 1, processing devices 12, 14, 16, 18 for each step in the manufacturing apparatus 10 of this embodiment.
Each of them is a process section P for performing actual processing, and a transfer section T for transferring the thin plate-shaped processing material 22 arranged in front of and behind the process section 22 while passing through the process section P.
It is schematically composed of That is, in each of the processing devices 12, 14, 16 and 18 in FIG. 1, the unwinding device 24 for the processing material 22 is arranged first, and after passing through the process part P such as cleaning and film forming, finally, A winding device 26 for the work material 22 is arranged. Specifically, the cleaning device 12
Then, the processing material 22 set in the unwinding device 24 is
After passing through a solvent cleaning tank, a pure water cleaning tank, a vapor replacement tank, and a process section P such as drying, it is wound by a winding device 26. Thus, the transport section T includes the unwinding device 24 and the winding device 26. As a drive system, a forward rotation motor is disposed in the winding device 26, and a reverse rotation motor is disposed in the unwinding device 24, so that a constant tension is maintained.

【0012】(V)の切断工程ではロール状の加工素材2
2をセットした後にNCフィーダ28で定量の送り出し
を行い、シャーリング装置30で切断を行う。
In the cutting step (V), the roll-shaped workpiece 2
After setting 2, the NC feeder 28 sends out a fixed amount, and the shearing device 30 cuts.

【0013】ある加工装置(12,14,16,18)
で加工された加工素材22は人手によって或いはロボッ
ト(不図示)によって次の加工装置にまで搬送される。
即ち、ある加工装置の巻取り装置26によって巻き取ら
れロール状にされた加工素材22は、人手によってある
いはロボット等によって、次の工程の加工装置の巻出し
装置24にセットされる。そして、その次の工程の加工
装置の巻出し装置24から再び加工素材22が巻き出さ
れて、その次の工程におけるプロセスの加工が行われ
る。従って、1つの加工装置における加工素材22の巻
出し回転方向と、それに隣り合う加工装置におけるロー
ルの巻出し回転方向とは必然的に互いに逆方向となる。
即ち、加工素材22は、各工程を経る毎に加工素材22
の始点と終点が逆転する。
Certain processing equipment (12, 14, 16, 18)
The processing material 22 processed in (1) is conveyed to the next processing device by hand or by a robot (not shown).
That is, the work material 22 wound into a roll by being wound by the winding device 26 of a certain processing device is set manually or by a robot or the like in the unwinding device 24 of the processing device of the next step. Then, the processing material 22 is unwound again from the unwinding device 24 of the processing device of the next step, and the processing of the process in the next step is performed. Therefore, the unwinding rotation direction of the processing material 22 in one processing device and the unwinding rotation direction of the roll in the processing device adjacent thereto are necessarily opposite to each other.
That is, the processing material 22 is processed material 22 at each step.
Start point and end point are reversed.

【0014】各加工装置12,14,16,18で加工
素材22に所定の加工が施されると、この加工が施され
た加工素材は(V)の最終工程で定尺に切断される。
When the processing material 22 is subjected to a predetermined processing in each of the processing devices 12, 14, 16 and 18, the processed processing material is cut to a fixed length in the final step (V).

【0015】加工装置12,14,16,18の各巻取
り装置26には、図2に示すように、加工素材22の巻
取りと同期して回転する折返し回転ローラ33と、この
ローラ33に直結したロータリーエンコーダ34が備え
られており、加工素材22の巻き取りスピードを一定に
制御すると共に、PLC内ではそのパルス信号をカウン
トすることにより、加工素材22の巻き取り量(原点か
らの距離)を把握する。
As shown in FIG. 2, the winding device 26 of each of the processing devices 12, 14, 16 and 18 is provided with a turn-back rotary roller 33 that rotates in synchronization with the winding of the processing material 22, and is directly connected to this roller 33. The rotary encoder 34 is provided to control the winding speed of the processing material 22 at a constant level, and by counting the pulse signal in the PLC, the winding amount (distance from the origin) of the processing material 22 is measured. Figure out

【0016】ここでPLCとはプログラマブル・ロジッ
ク・コントローラの略称であり、多種類の制御がプログ
ラム次第で可能である。基本構成は、INPUTボー
ド、コンピュータユニット、OUTPUTボード、通信
モジュール等であり、信号・情報の収集はINPUTボ
ードか通信モジュールを介して行う。また、そのタイミ
ングも夫々アットランダムである。コンピュータユニッ
トでは一定時間毎に、それらの入力状態をチェックし、
該当するプログラム化されたロジックに従い、OUTP
UTボードか通信モジュールから所定の出力動作を行っ
たり、レジスターと呼ばれる固定番地のメモリー上に情
報を書き込んだりする。
Here, PLC is an abbreviation for programmable logic controller, and various kinds of control are possible depending on a program. The basic configuration is an INPUT board, a computer unit, an OUTPUT board, a communication module, and the like. Collection of signals and information is performed via the INPUT board or the communication module. In addition, the timing is also at random. The computer unit checks the input status at regular intervals,
According to the corresponding programmed logic, OUTP
A predetermined output operation is performed from a UT board or a communication module, and information is written in a fixed address memory called a register.

【0017】〈PLCの構成〉次に、図3は、各加工装
置のPLCの接続状態を示した図であり、図4は、製造
装置10に何らかの異常が発生した場合の管理コンピュ
ータ36内の情報処理の流れを示した図である。
<PLC Configuration> Next, FIG. 3 is a diagram showing a PLC connection state of each processing apparatus, and FIG. 4 is a diagram showing the inside of the management computer 36 when some abnormality occurs in the manufacturing apparatus 10. It is a figure showing the flow of information processing.

【0018】図3に示すように、各々の加工装置のPL
Cは、上位の管理コンピュータ36に接続されている。
また、切断加工を除く、(I)洗浄、(II)成膜装置A、(II
I)成膜装置B、(IV)成膜装置Cの各加工装置には、搬送
部Tを制御するモーションコントロール用PLCとプロ
セス部Pを制御するプロセスコントロール用PLCの2
台が接続されている。モーションコントロール用PLC
は、主に走行系異常や加工素材の巻取り量といった搬送
系にかかわる動作や、稼動開始時にオペレータが操作盤
に入力する情報などを扱う。また、プロセスコントロー
ル用PLCでは、センサーや下位の制御機器からの異常
信号を受け、真空圧、放電電圧・電流、ガス圧、温度等
の監視を行っている。これらの入力に対しては、各加工
装置毎に、各々決められたレジスターが用意されてお
り、それがエラーコードとして外部に対しての出力に用
いられる。PLCの別のレジスターには、上記監視のた
めのデータ入力と並行して、加工素材22の巻取り量
(ローラ33の回転量)が入力されており、加工素材の
搬送に伴いその数値は刻々と変化する。
As shown in FIG. 3, the PL of each processing apparatus is
C is connected to an upper management computer 36.
Also, except for cutting, (I) cleaning, (II) film forming apparatus A, (II
Each of the processing devices of I) the film forming apparatus B and (IV) the film forming apparatus C includes a motion control PLC for controlling the transfer section T and a process control PLC for controlling the process section P.
The stand is connected. PLC for motion control
Mainly handles operations related to the transport system such as running system abnormalities and the amount of material to be wound, and information that the operator inputs to the operation panel at the start of operation. Moreover, the PLC for process control receives an abnormal signal from a sensor or a lower-level control device to monitor the vacuum pressure, the discharge voltage / current, the gas pressure, the temperature, and the like. With respect to these inputs, a register determined for each processing device is prepared and used as an error code for output to the outside. In another register of the PLC, the winding amount of the processing material 22 (rotation amount of the roller 33) is input in parallel with the data input for the above monitoring, and the numerical value is incremented as the processing material is conveyed. And changes.

【0019】図4は、加工素材認識番号(ID=“A940
11”)という加工素材22について、成膜装置Bの第2
チャンバーの水素ガス流量低下という事態が発生した場
合における、その事象の処理の手法の一例を示す。この
例の場合、該当するマスフローコントローラから予め設
定されている圧力下限値を下回ったことを伝えるアラー
ム信号がPLCに入力され、PLCは即座にそのエラー
に割り当てられた固有レジスターにフラグを立てる。な
お、これらのアラーム信号やレジスターフラグは、この
異常が回復するまで出力され続ける。これらの情報を上
位の管理コンピュータ36は一定の間隔で収集してい
る。
FIG. 4 shows a processing material identification number (ID = “A940
For the processing material 22 called “11”),
An example of a method of processing the event when the hydrogen gas flow rate decrease in the chamber occurs will be shown. In the case of this example, an alarm signal from the corresponding mass flow controller indicating that the preset lower pressure limit has been exceeded is input to the PLC, and the PLC immediately flags the specific register assigned to the error. These alarm signals and register flags are continuously output until the abnormality is recovered. The upper management computer 36 collects these pieces of information at regular intervals.

【0020】図4における異常処理の第1ステップは、
成膜装置Bの第2チャンバーの水素ガス流量低下という
異常(エラーコードを仮に“M12”とする)と、異常
が起きたときの加工素材22の巻取り量(l)と、異常
が回復したときの加工素材の巻取り量(l’)とを、1
次データとして認識することである。また他には、この
該当加工素材のID番号(仮にA94011とする)や
時刻なども対応付けて記憶保存される。
The first step of the abnormality processing in FIG.
An abnormality that the flow rate of hydrogen gas in the second chamber of the film forming apparatus B is low (the error code is “M12”), the winding amount (l) of the processing material 22 when the abnormality occurs, and the abnormality is recovered. The winding amount (l ') of the processed material is 1
It is to recognize it as the next data. In addition, the ID number (provisionally A94011) and time of this processing material are also stored in association with each other.

【0021】なお、加工素材のID番号は、各加工装置
の巻出し装置24に加工素材22を装着する度に、加工
素材交換時作業としてオペレーターがPLCに直接入力
し、その情報が管理コンピュータ36で収集される。
The ID number of the processing material is input by the operator directly to the PLC as the processing material replacement work each time the processing material 22 is mounted on the unwinding device 24 of each processing device, and the information is stored in the management computer 36. Collected in.

【0022】〈異常発生位置の認識〉各加工装置のPL
Cが認識した加工素材22の巻取り量は、その加工装置
(図4の例では成膜装置B)の巻取り装置26における
折り返し回転ローラ33が検出した自身の回転量であ
る。この回転量が示す値は、ローラ33の位置における
素材22の部位の位置を示すに過ぎない。一方、各加工
装置においては、巻き出し装置24と巻き取り装置26
の間には複数のチャンバーが存在するものであるから、
ローラ33の回転量は、これらチャンバーのどこで異常
が発生したかを示すものではない。図4の第2ステップ
から第4ステップは、ローラ33の回転量から、実際に
異常の発生した位置(図4,図6の例では第2チャンバ
ー)を特定する方法を説明するものである。
<Recognition of abnormal position> PL of each processing device
The winding amount of the processing material 22 recognized by C is the amount of rotation of itself that is detected by the folding rotation roller 33 in the winding device 26 of the processing device (the film forming device B in the example of FIG. 4). The value indicated by this rotation amount merely indicates the position of the part of the material 22 at the position of the roller 33. On the other hand, in each processing device, the unwinding device 24 and the winding device 26
Since there are multiple chambers between
The rotation amount of the roller 33 does not indicate where in these chambers the abnormality has occurred. The second to fourth steps of FIG. 4 describe a method of identifying the position where the abnormality actually occurs (the second chamber in the example of FIGS. 4 and 6) from the rotation amount of the roller 33.

【0023】管理コンピュータ36内では、各異常に対
応した次の2つの固有値が予め「エラーコードテーブ
ル」内に用意されている。1つの固有値は「ずれ量」
(本例ではgで表す)であり、このgは、ローラ33
(巻取り量計測地点)から異常を検出した信号に関連す
るチャンバーの先端までの距離を示す。換言すれば、g
は、巻取り量計測地点から、この異常が影響を及ぼす先
端位置までの距離を意味し、本例では成膜装置Bの巻取
り装置26における折り返し回転ローラ33の地点から
第2チャンバーの先端までの距離となる。もう1つの固
有値は、検出した異常が影響を及ぼすであろう最大範囲
を示す量(これを、記号aで表す)であり、図4,図6
の例では、異常が水素ガス流量低下であり、かかる異常
事態は、その時点で第2チャンバー内にあった素材が全
て影響をうけるものであるので、第2チャンバー長がa
となる。
In the management computer 36, the following two unique values corresponding to each abnormality are prepared in advance in the "error code table". One eigenvalue is "deviation"
(Represented by g in this example), which is g
It shows the distance from the (winding amount measurement point) to the tip of the chamber related to the signal that detected the abnormality. In other words, g
Means the distance from the winding amount measurement point to the tip position affected by this abnormality, and in this example, from the point of the folding rotary roller 33 in the winding device 26 of the film forming apparatus B to the tip of the second chamber. It becomes the distance. The other eigenvalue is a quantity (which is represented by the symbol a) indicating the maximum range in which the detected abnormality will have an influence, and is shown in FIGS.
In the above example, the abnormality is a decrease in the flow rate of hydrogen gas, and since all the materials in the second chamber at that time are affected by the abnormality, the second chamber length is a
Becomes

【0024】そこで、異常処理の第2ステップ(図4)
では、すみやかにエラーコードテーブルの検索を行いそ
れらの固有値を得る。
Then, the second step of the abnormality processing (FIG. 4)
Then, the error code table is searched promptly and their eigenvalues are obtained.

【0025】異常処理の第3ステップは、これらの1次
データ(異常を示す信号と巻き取り量)と固有値(gと
a)を使って、相対的な不良ポジションを算出すること
である。異常を最初に検出したときのローラ33が検出
した巻き取り量(lとする)は、図6の例では、異常が
最初に検知された時点でローラ33の位置で計測したと
ころの、巻き取り装置26が巻きとった素材22の量を
意味し、正常に回復したと検出した時点でのローラ33
の巻き取り量(l’)は、その時点までに巻き取り装置
26が巻きとった素材22の量を意味する。従って、加
工素材A94011の相対的な不良位置は、加工素材A
94011のl+gからl’+g+aの範囲において、
M12のエラーが発生したという2次データとして表さ
れる。
The third step of the abnormality processing is to calculate a relative defective position using these primary data (signal indicating abnormality and winding amount) and eigenvalues (g and a). In the example of FIG. 6, the winding amount detected by the roller 33 when the abnormality is first detected (referred to as 1) is the winding amount measured at the position of the roller 33 when the abnormality is first detected. It means the amount of the material 22 wound up by the device 26, and the roller 33 at the time when it is detected that the material 22 has recovered normally.
The winding amount (l ′) of 1 means the amount of the material 22 wound by the winding device 26 up to that point. Therefore, the relative defective position of the processing material A94011 is
In the range of l + g to l ′ + g + a of 94011,
It is represented as secondary data that an error of M12 has occurred.

【0026】一般的には、i番目の加工装置のj番目の
チャンバーにおいて、異常が検出された場合には、lは
その加工装置iに固有の値であり、a,gはその加工装
置iの特定のチャンバーjに固有の値であるから、 不良の開始位置=li+gij 不良の終了位置=l'i+gij+aij となる。
Generally, when an abnormality is detected in the j-th chamber of the i-th processing apparatus, l is a value unique to the processing apparatus i, and a and g are the processing apparatus i. Is a value peculiar to the specific chamber j of, the defect start position = l i + g ij defect end position = l ′ i + g ij + a ij .

【0027】第3ステップで検出された不良位置は、そ
の加工装置内における相対的な不良位置に過ぎない。換
言すれば、異常が検出された加工装置に素材が到着する
までに、当該素材(識別コード“A94011”)が通
過してきた加工装置の特性によって距離算出に与える受
ける影響は考慮されていない。
The defective position detected in the third step is merely a relative defective position in the processing apparatus. In other words, before the material arrives at the processing device in which the abnormality is detected, the influence of the characteristics of the processing device through which the material (identification code “A94011”) has on the distance calculation is not considered.

【0028】図4の第4ステップは、異常が検出された
工程に固有の相対的な不良ポジションを、その加工素材
固有の絶対的な不良ポジションに補正・変換する処理と
なる。これには各加工素材ごとの全長値Lと、次の2つ
の要素: (1)巻取り量の計測を開始した原点の、各工程(加工
装置)間のばらつきbと、(2)奇数番目の加工工程
(図1の例では工程1と3)と偶数番目の加工工程(図
1の例では工程2と4)での、加工素材22の巻き出し
回転方向の相違とを考慮して行う。
The fourth step in FIG. 4 is processing for correcting and converting the relative defective position peculiar to the process in which the abnormality is detected to the absolute defective position peculiar to the processing material. This includes the total length value L for each processing material and the following two elements: (1) Variation b between each process (processing device) of the origin at which the measurement of the winding amount is started, and (2) Odd number In consideration of the difference in the unwinding rotation direction of the processing material 22 between the processing step (steps 1 and 3 in the example of FIG. 1) and the even-numbered processing step (steps 2 and 4 in the example of FIG. 1). .

【0029】図6から分かるように、加工素材22の端
点(絶対値0)から、巻取り量計測原点(ローラ33の
位置)までの距離bは各加工装置によってバラバラであ
る。この距離bをオフセット値として加算する。距離b
は加工装置iに固有の値であるから、biとして表す。
奇数番目の工程(図1の例では工程1と3)での素材2
2の加工素材22の回転方向は、偶数番目の工程(図1
の例では工程2と4)での回転方向と逆転する。即ち、
長さLの素材が巻きとられ、その後に巻き出されていく
場合において、巻き取り過程においてその素材の先端か
らxの位置は、巻き出し過程においては、巻き出し過程
における先端からL−xの位置となる。従って、巻き取
りが逆転した場合には、異常発生位置を特定するために
は、加工素材22の巻取り量を全長値Lから差し引く必
要がある。従って、(2)の回転方向を考慮する必要が
あるのである。
As can be seen from FIG. 6, the distance b from the end point (absolute value 0) of the processing material 22 to the winding amount measurement origin (position of the roller 33) varies depending on each processing device. This distance b is added as an offset value. Distance b
Is a value peculiar to the processing apparatus i, and is represented as b i .
Material 2 in odd-numbered steps (steps 1 and 3 in the example of FIG. 1)
The rotation direction of the second processing material 22 is an even-numbered process (see FIG. 1).
In this example, the rotation direction is opposite to the rotation direction in steps 2 and 4). That is,
When a material having a length L is wound and then unwound, the position x from the tip of the material in the winding process is L-x from the tip in the unwinding process in the unwinding process. The position. Therefore, when the winding is reversed, it is necessary to subtract the winding amount of the processing material 22 from the total length L in order to specify the abnormal position. Therefore, it is necessary to consider the rotation direction of (2).

【0030】管理コンピュータ36内では、加工素材2
2毎の全長値(識別番号pの素材の長さをLpとする)
と、工程毎の巻取り量計測原点のオフセット値(本例で
はbiとする)が予めテーブルとして用意されている。
異常発生があった加工装置が偶数番目の加工工程であっ
た場合には、第3ステップで得られた2次データは次の
ように変換される。
In the management computer 36, the processing material 2
Total length value for each 2 (the length of the material identification number p and L p)
Then, the offset value (b i in this example) of the winding amount measurement origin for each process is prepared in advance as a table.
When the machining device in which the abnormality has occurred is an even-numbered machining process, the secondary data obtained in the third step is converted as follows.

【0031】 li+gij → Lp−(li+gij+bi) l'i+gij+aij → Lp−(l'i+gij+aij+bi) よって、加工素材A94011が偶数番目の加工工程で
異常検出された場合における絶対位置換算の不良ポジシ
ョンは、「加工素材A94011の(Lp−(l'i+g
ij+aij+bi))から(Lp−(li+gij+bi))の
範囲にM12のエラーが生じた」という結果になる。
L i + g ij → L p − (l i + g ij + b i ) l ′ i + g ij + a ij → L p − (l ′ i + g ij + a ij + b i ) Therefore, the processing material A94011 is an even number If an abnormal position is detected in the machining process, the defective position converted to the absolute position is “(L p − (l ′ i + g of machining material A94011.
ij + a ij + b i )) to (L p − (l i + g ij + b i )) in the range of M12 error ”.

【0032】最終的に第5ステップで、この結果を加工
実績ファイルに書き込み、データ保存する。
Finally, in a fifth step, this result is written in the processing result file and the data is saved.

【0033】加工素材22が工程(IV)を終了した時点
で、オペレーターは管理コンピュータ36内の各加工実
績データの統合された結果をチェックする。ここでは予
め設定された各異常内容の軽重により、実装工程に流す
べきでない不良排出領域が自動的に選択されている。
When the processing material 22 finishes the step (IV), the operator checks the integrated result of each processing result data in the management computer 36. Here, a defective discharge area that should not be sent to the mounting process is automatically selected depending on the weight of each abnormality set in advance.

【0034】最終の(V)の切断工程では、管理コンピュ
ータ36内の加工実績データを用いて、定尺に切断され
た個々のスラブが加工素材22の不良排出領域を含んで
いるかどうか判断し、不良排出領域を含んでいる場合に
は自動的に選別排除される。これら一連のシステムによ
って、品質上問題のないスラブのみが後の実装工程へ送
られるので、無駄な実装コストの削減、または検査コス
トの削減を図ることができる。
In the final (V) cutting step, it is judged whether or not each slab cut into a regular size includes the defective discharge area of the processing material 22 by using the processing result data in the management computer 36. If the defective discharge area is included, it is automatically sorted out. With these series of systems, only slabs having no problem in quality are sent to the subsequent mounting process, so that it is possible to reduce useless mounting costs or inspection costs.

【0035】最終の切断工程における、不良素材の判断
は、本システムが、自動的に行うが、併せてその不良個
所や不良データの表示を行うことによって、操作者の便
宜に供している。この表示については、図XXを用いて
後に詳しく説明する。
Although the present system automatically determines the defective material in the final cutting step, the defective portion and the defective data are also displayed for the convenience of the operator. This display will be described later in detail with reference to FIG. XX.

【0036】〈有効長の変化〉次に、各加工装置間での
加工素材を交換したときの有効長の変化について説明す
る。
<Change in Effective Length> Next, the change in effective length when the processing material is exchanged between the processing devices will be described.

【0037】図7は、前述した(I)の洗浄工程における
加工素材の交換方法を模式的に示した図である。図1の
例では、洗浄工程は最初の工程であるので、この時の加
工素材22の長さはLpである。洗浄工程では、長さの
pの長さの素材(巻き出し装置24にセットされてい
る)の先端が半自動送りで巻き取り装置26側に送られ
て、その先端が巻き取り装置26に巻き付けられる。一
旦巻き付けられると、その後は、システムが所定の速度
で巻き出し装置24及び巻き取り装置26を制御しなが
ら、素材22を順々に巻き取り装置26側へ送ってい
く。この送りの過程で、素材22は洗浄される。
FIG. 7 is a diagram schematically showing the method of exchanging the processing material in the above-mentioned washing step (I). In the example of FIG. 1, since the cleaning process is the first process, the length of the processing material 22 at this time is L p . In the cleaning process, the tip of the material of length L p (set in the unwinding device 24) is sent to the winding device 26 side by semi-automatic feeding, and the leading end is wound around the winding device 26. To be Once wound, the material is sequentially fed to the winding device 26 side while the system controls the unwinding device 24 and the winding device 26 at a predetermined speed. The material 22 is washed in the course of this feeding.

【0038】図7(a)に示すように、加工素材22の
洗浄が進み、巻出し装置24側の加工素材ロール32の
残量がわずかになると、残量がわずかになったことを不
図示の残量検出装置が検出し、加工素材の巻出し及び巻
取りが停止される。この残量検出装置は、例えば、加工
素材ロール32の厚みを検出するセンサー等から構成さ
れる。
As shown in FIG. 7A, when the cleaning of the processing material 22 progresses and the remaining amount of the processing material roll 32 on the unwinding device 24 side becomes small, it is not shown that the remaining amount becomes small. Is detected by the remaining amount detection device, and the unwinding and winding of the processed material is stopped. This remaining amount detection device is constituted by, for example, a sensor for detecting the thickness of the work material roll 32 and the like.

【0039】次に、オペレータは、巻出し装置24側の
加工素材ロール32の残量を目視で確認しながら、巻出
し装置24及び巻取り装置26をマニュアルで動かすこ
とができるボタン等を操作し、図7(b)に示すように
半自動送りで加工素材22の先端部を巻出し装置24か
らリリースさせる。
Next, the operator operates a button or the like that can manually move the unwinding device 24 and the winding device 26 while visually confirming the remaining amount of the work material roll 32 on the unwinding device 24 side. As shown in FIG. 7B, the tip of the processing material 22 is released from the unwinding device 24 by semi-automatic feeding.

【0040】次に、オペレータは、図7(c)に示すよ
うに新たな加工素材ロール32’を巻出し装置24に装
着し、この新たな加工素材ロール32’の先端部と、加
工素材22の後端部を34において溶接する。この時点
で、
Next, as shown in FIG. 7 (c), the operator mounts a new processing material roll 32 'on the unwinding device 24, and the tip of this new processing material roll 32' and the processing material 22. The trailing end is welded at 34. at this point,

【0041】次に、オペレータは、図7(d)に示すよ
うに、再び目視で確認しながら半自動送りで加工素材2
2を移動させ、溶接部34を巻取り装置26側に移動さ
せる。そして、図7(e)に示すように加工素材22を
溶接部34の位置で切断する。
Next, as shown in FIG. 7D, the operator semi-automatically feeds the workpiece 2 while visually confirming it again.
2 to move the welding portion 34 to the winding device 26 side. Then, as shown in FIG. 7E, the work material 22 is cut at the position of the welding portion 34.

【0042】その後、オペレータは、図7(f)に示す
ように、巻取り装置26側に巻き取られた加工素材ロー
ル36を巻取り装置26から取り外し、新たな加工素材
ロール32’の先端部を人手により巻取り装置26に巻
き付ける。
Thereafter, as shown in FIG. 7 (f), the operator removes the processing material roll 36 wound on the winding device 26 side from the winding device 26 and ends the new processing material roll 32 '. Is manually wound on the winding device 26.

【0043】以上により、洗浄工程(I)における加工素
材ロールの交換を終了する。なお、この洗浄工程では、
前述した折り返し回転ローラ33に直結されたロータリ
ーエンコーダ34の回転数により、加工素材22の全長
を測定しておく。
With the above, the replacement of the work material roll in the cleaning step (I) is completed. In addition, in this cleaning process,
The total length of the processing material 22 is measured by the number of rotations of the rotary encoder 34 directly connected to the folding rotation roller 33 described above.

【0044】次に、前述した(II)の成膜A工程〜(IV)の
成膜C工程の各工程における加工素材の交換方法につい
て説明する。図8は、(II)の成膜A工程乃至(IV)の成膜
C工程における加工素材の交換方法を模式的に示した図
である。なお、(II)乃至(IV)の工程における加工素材の
交換方法は共通であるので、(II)の成膜A工程における
加工素材の交換、即ち、成膜装置Aの巻き出し装置24
から巻き取り装置26に素材22を送り出し、巻きとっ
た素材を巻き取り装置26において交換する方法を、そ
れらの代表として説明する。
Next, a method of exchanging the processing material in each of the above-mentioned film forming A step (II) to film forming C step (IV) will be described. FIG. 8 is a diagram schematically showing a method of exchanging the processing material in the film formation A step (II) to the film formation C step (IV). Since the method of exchanging the processing material in the steps (II) to (IV) is the same, the method of exchanging the processing material in the step A of the film formation of (II), that is, the unwinding device 24
A method of sending the material 22 from the winding device 26 to the winding device 26 and exchanging the wound material in the winding device 26 will be described as a representative thereof.

【0045】この成膜A工程においては、成膜加工が真
空中で行われるため、巻出し装置24、加工装置(プロ
セス部)P、巻取り装置26は、それぞれ真空チャンバ
ー36,38,40に収納されている。そして、成膜加工
が行われている状態では、夫々の真空チャンバー36,
38,40は全て空気を吸引されて真空状態とされてい
る。一方、巻き出し装置と巻き取り装置における素材ロ
ールの交換は人手で行われるために、交換時は、少なく
とも、チャンバ36,40を大気圧側に解放する必要が
ある。また、チャンバ36内の素材は膜形成加工の前で
あるので、大気に解放しても問題はない。また、チャン
バ40内の素材22は膜形成処理後であるので、大気に
解放しても問題はない。一方、成膜加工は、加工装置P
内を素材が移動していく過程において行われるために、
ロール交換時といえども、チャンバー38を大気に解放
することは、チャンバ38内に現に残っている素材にお
ける成膜を不良にならしめる。即ち、チャンバ38内に
現に残っている素材は不良部分となって、膜形成工程B
において加工処理を行う意味がなくなる。図8に示され
た実施形態の交換方法は、ロール交換過程において、膜
形成の不良部分が極力発生しないための工夫と、さら
に、交換操作を短時間に終了させるための工夫がなされ
ている。
In the film forming process A, since the film forming process is performed in a vacuum, the unwinding device 24, the processing device (process section) P, and the winding device 26 are placed in the vacuum chambers 36, 38 and 40, respectively. It is stored. In a state where the film forming process is being performed, the respective vacuum chambers 36,
All 38 and 40 are in a vacuum state by sucking air. On the other hand, since the material rolls in the unwinding device and the winding device are manually replaced, it is necessary to release at least the chambers 36 and 40 to the atmospheric pressure side at the time of replacement. Further, since the material in the chamber 36 is before the film forming process, there is no problem even if it is opened to the atmosphere. Further, since the material 22 in the chamber 40 has been subjected to the film forming process, there is no problem even if it is opened to the atmosphere. On the other hand, the film forming process is performed by the processing device P
In order for the material to move in the process,
Opening the chamber 38 to the atmosphere, even when the rolls are replaced, causes the film formation on the material actually remaining in the chamber 38 to become defective. That is, the material actually remaining in the chamber 38 becomes a defective portion, and the film forming process B
There is no point in performing processing in. The exchange method of the embodiment shown in FIG. 8 is devised so that defective portions of film formation do not occur as much as possible in the roll exchange process, and further, the exchange operation is completed in a short time.

【0046】まず、図8(a)に示すように、加工素材
22の加工が進み、巻出し装置24側の加工素材ロール
32の残量がわずかになると、残量がわずかになったこ
とを不図示の残量検出装置が検出し、加工素材の巻出し
及び巻取りが停止される。この残量検出装置は、洗浄加
工におけるのと同じように、例えば、加工素材ロール3
2の厚みを検出するセンサー等から構成される。
First, as shown in FIG. 8 (a), when the processing of the processing material 22 progresses and the remaining amount of the processing material roll 32 on the unwinding device 24 side becomes small, the remaining amount becomes small. The remaining amount detection device (not shown) detects and the unwinding and winding of the processing material is stopped. This remaining amount detecting device is, for example, the same as in the cleaning process, for example, the processing material roll
2 is composed of a sensor or the like for detecting the thickness.

【0047】次に、オペレータは、図8(b)に示すよ
うに、加工装置Pが収納されている真空チャンバー38
の両端に配置されたピンチバルブ42,44を閉鎖す
る。この状態では、真空チャンバー38は気密状態にな
り真空が保たれるとともに、加工装置Pの両側における
加工素材22の部分は、ピンチバルブ42,44に挟ま
れて動けない状態となっている。そして、巻出し装置2
4及び巻取り装置26が収納されている真空チャンバー
36,40のみを大気に開放して真空状態を解除する。
Next, as shown in FIG. 8B, the operator uses the vacuum chamber 38 in which the processing apparatus P is housed.
Are closed, the pinch valves 42 and 44 arranged at both ends. In this state, the vacuum chamber 38 is in an airtight state and a vacuum is maintained, and the portions of the processing material 22 on both sides of the processing apparatus P are sandwiched between the pinch valves 42 and 44 and are immovable. And the unwinding device 2
Only the vacuum chambers 36 and 40 in which 4 and the winding device 26 are housed are opened to the atmosphere to release the vacuum state.

【0048】次に、オペレータは、図8(c)に示すよ
うに、加工装置Pの両側の加工素材22の部分を位置1
00と101において切断する。この切断により、ロー
ルは、巻き出し装置24と巻き取り装置26の両方にお
いて取り外しが可能となる。
Next, as shown in FIG. 8 (c), the operator positions the portions of the processing material 22 on both sides of the processing apparatus P at position 1.
Cut at 00 and 101. This cutting allows the roll to be removed by both the unwinding device 24 and the winding device 26.

【0049】次に、操作者は、図8(d)に示すよう
に、巻取り装置26側の加工の終了した加工素材ロール
46を巻取り装置26から取り外す。取り外した素材ロ
ール46は、成膜処理Bを行うために、加工装置Bに移
動する。また、操作屋は、巻出し装置24側のわずかに
残った未加工の加工素材ロール32を取り外し、その取
り外したロール32を巻取り装置26に装着する。ま
た、操作者は、空になった巻出し装置24に、新たな加
工素材ロール32’(このロール32’は、洗浄工程に
おいて洗浄処理がなされたばかりのロールである)を装
着する。そして、図8の(d)に示すように、ピンチバ
ルブ42,44に挟まされている加工素材22の後端部
には新たな加工素材ロール32’の先端部を溶接すると
ともに、前端部には巻取り装置26に装着された加工素
材ロール32の先端部を溶接する。これで新たな加工素
材ロール32’が巻取り可能な状態となる。
Next, as shown in FIG. 8D, the operator removes the processed material roll 46 on the winding device 26 side, which has been processed, from the winding device 26. The removed material roll 46 moves to the processing apparatus B in order to perform the film forming process B. Further, the operator removes the slightly remaining unprocessed raw material roll 32 on the unwinding device 24 side, and mounts the removed roll 32 on the winding device 26. Further, the operator mounts a new processing material roll 32 ′ (this roll 32 ′ is a roll that has just been washed in the washing process) on the unwinding device 24. Then, as shown in FIG. 8 (d), the front end of a new work material roll 32 'is welded to the rear end of the work material 22 sandwiched between the pinch valves 42 and 44, and Welds the tip of the work material roll 32 mounted on the winding device 26. Thus, a new work material roll 32 'can be wound.

【0050】図8の(c)の時点で巻き出し装置24の
ロールに残っている素材の長さをqとすると、この長さ
qの素材はそのまま巻き取り装置26側に移動されるの
で、膜形成処理Aが行われることはない。換言すれば、
図8の(d)で巻き取り装置側に移動された長さqの部
分は、図6に関連して説明して説明したオフセットbと
して処理する。
Assuming that the length of the material remaining on the roll of the unwinding device 24 at the time of FIG. 8C is q, the material of this length q is moved to the winding device 26 side as it is. The film forming process A is not performed. In other words,
The portion having the length q moved to the winding device side in FIG. 8D is processed as the offset b described and described with reference to FIG. 6.

【0051】なお、図8の例では、ここでは、巻取り装
置26側に巻出し装置24側に残った加工素材ロール3
2を装着したが、これは、廃材を有効に利用するための
もので、加工素材を少量巻いた別のロールを用意して巻
取り装置26に装着するようにしても良い。
In the example of FIG. 8, the work material roll 3 left on the winding device 26 side remains on the winding device 24 side in this example.
Although No. 2 is mounted, this is for effectively utilizing the waste material, and another roll in which a small amount of the processing material is wound may be prepared and mounted on the winding device 26.

【0052】次に、巻出し装置24と巻取り装置26が
収納された真空チャンバー36,40から空気を吸引
し、真空チャンバー36,40を再び真空状態とする。
これにより、巻き出し装置24にセットされたロール3
2’の素材が新たに処理可能となる。この場合、ロール
交換時において、チャンバ38内に残されていた素材2
2も、膜形成処理Aを終了されて巻き取り26側に巻き
とられるので、無駄になることはない。
Next, air is sucked from the vacuum chambers 36 and 40 in which the unwinding device 24 and the winding device 26 are housed, and the vacuum chambers 36 and 40 are brought into a vacuum state again.
Thereby, the roll 3 set in the unwinding device 24
2'material can be newly processed. In this case, the material 2 left in the chamber 38 during the roll replacement
No. 2 is not wasted because the film forming process A is completed and the film is wound around the winding 26 side.

【0053】尚、第2加工工程における加工処理が、処
理時間の長短によって処理内容に影響が出るのであれ
ば、チャンバ38の内の素材22も処理未了部分として
処理しなければならない。真空チャンバー36,40
は、巻出し装置24と巻取り装置26を収納するだけの
容積があれば、ロールの交換は可能である。換言すれ
ば、真空チャンバー36,40は比較的容積が小さくて
もよく、そのために、ロール交換後において、再度真空
にさせるまでの時間は短くてすむ。真空チャンバー3
6,40が真空となった時点で、ピンチバルブ42,44
を開き、真空チャンバー36,38,40が連通した状態
とする。この時点で、加工素材22は、ピンチバルブ4
2,44による拘束が解かれるので、自由に搬送される
ことが可能となり、加工装置Pによる加工が再開され
る。
If the processing in the second processing step affects the processing content due to the length of the processing time, the material 22 in the chamber 38 must be processed as an unfinished portion. Vacuum chamber 36,40
The roll can be exchanged as long as it has a capacity for accommodating the unwinding device 24 and the winding device 26. In other words, the vacuum chambers 36, 40 may have a relatively small volume, and therefore, after the rolls are exchanged, it takes a short time to make the vacuum again. Vacuum chamber 3
When 6 and 40 become vacuum, pinch valves 42 and 44
Is opened to bring the vacuum chambers 36, 38 and 40 into communication with each other. At this point, the processing material 22 is the pinch valve 4
Since the constraint by 2,44 is released, it can be freely transported, and the processing by the processing apparatus P is restarted.

【0054】すなわち、上記のような方法で、加工素材
ロールの交換を行えば、容積の大きい真空チャンバー3
8の真空状態を保ったまま、加工素材の交換が行えるの
で、真空チャンバー36,38,40全体の真空を回復す
るまでの時間が短くてすみ、製造装置の停止時間を短縮
することが可能となる。また、図8の例では、膜形成処
理のためのチャンバは38の1つであったが、ロールの
この交換方法は複数のチャンバがあっても同じように適
用できる。
That is, if the material roll is exchanged by the above method, the vacuum chamber 3 having a large volume can be obtained.
Since the processing materials can be exchanged while maintaining the vacuum state of No. 8, it is possible to shorten the time until the vacuum of the entire vacuum chambers 36, 38, 40 is restored, and to shorten the downtime of the manufacturing equipment. Become. Further, in the example of FIG. 8, the number of chambers for the film forming process is one, but this method of exchanging the rolls can be similarly applied even when there are a plurality of chambers.

【0055】次に、図9乃至図13は、上記のような加
工素材の交換方法を、図1に示した4つの加工工程(洗
浄、成膜A、成膜B、成膜C)行った場合に各々におい
て生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示した
図である。図9は洗浄工程を、図10は成膜Aを、図1
1は成膜Bを、図12は成膜Cを示す。
Next, in FIG. 9 to FIG. 13, the above-mentioned method of exchanging the processing material is performed by the four processing steps (cleaning, film formation A, film formation B, film formation C) shown in FIG. It is the figure which showed the gap of the origin of the processing material which arises in each case, and the relationship of the total length value. 9 shows the cleaning step, FIG. 10 shows the film formation A, and FIG.
1 shows the film formation B, and FIG. 12 shows the film formation C.

【0056】洗浄工程 まず、図9及び図13(a)を参照して(I)の洗浄工程
における原点位置と全長値の関係について説明する。
Cleaning Process First, the relationship between the origin position and the total length value in the cleaning process (I) will be described with reference to FIGS. 9 and 13A.

【0057】洗浄の工程では、加工素材ロール32は、
巻出し装置24にセットされた後、人手によりその先端
部(原点O)が巻き出されて図9(a)に示すように巻
取り装置26側に巻き付けられる。前述したように、巻
き取り装置26側にはローラ33(図2を参照)が設け
られ、その位置(図9ではM1)で、このローラを通過
した素材22の長さを計測することが可能である。そこ
で、素材ロール32の先端を人手によって巻き取り装置
26側に巻き付けたときに、その先端から、ローラ33
の位置(点M1)までの距離を「巻き付け長」として定
義し、それをWTで示す。ローラ33の回転計が検出し
た素材22のこのローラ33を通過した距離をWMとす
ると、ローラ33の回転量の検出によって、原点O(ロ
ールの先端)からWTだけずれた位置M1からの、加工
素材22の有効なロール長WMの測定が可能となる。図
13の(a)に示すように、巻き取り装置26のロール
の先端からWTの距離にある素材部分から、さらに、距
離WMだけ離れた位置の素材部分は洗浄が済んでいるこ
とになる。
In the washing process, the processing material roll 32 is
After being set in the unwinding device 24, the tip (origin O) is unwound by hand and wound around the winding device 26 as shown in FIG. 9A. As described above, the roller 33 (see FIG. 2) is provided on the winding device 26 side, and the length of the material 22 that has passed through this roller can be measured at that position (M 1 in FIG. 9). It is possible. Therefore, when the tip end of the material roll 32 is manually wound around the winding device 26 side, the roller 33 is wound from the tip end thereof.
The distance to the position (point M 1 ) is defined as the “winding length”, which is indicated by WT. Assuming that the distance of the material 22 passing through the roller 33 detected by the tachometer of the roller 33 is WM, the processing from the position M1 deviated from the origin O (the tip of the roll) by WT by the detection of the rotation amount of the roller 33 The effective roll length WM of the material 22 can be measured. As shown in (a) of FIG. 13, the material portion located at a distance WM from the material portion located at the distance WT from the tip of the roll of the winding device 26 has been cleaned.

【0058】なお、巻出し装置24側の加工素材32の
終端点をL点(この点の原点Oからの座標をLとする)
とする。
The end point of the processing material 32 on the unwinding device 24 side is L point (the coordinate from this origin O is L).
And

【0059】その後、洗浄が進み、図9(b)に示すよ
うに巻出し装置24側の加工素材ロール32の残量が少
なくなると洗浄が停止される。この時点で、加工素材2
2の有効なロール長WM(tx)の測定を終了する。従
って、この時点では、巻取り装置26側には、WT+W
M(tx)の長さの加工素材22が巻き取られている。
ここで、巻き取りが停止した時点(時刻tx)において
洗浄装置内に残されている加工素材の長さを洗浄インラ
イン長WIとし、巻出し装置側に残されている加工素材
の長さを洗浄残長WRとすると、加工素材22のロール
の全長すなわち先端点Lの原点Oからの座標位置につい
ては、 L=WT+WM+WI+WR が成立している。ここで、洗浄装置の形状は既知なの
で、WI,WRは既知の値である。
Then, the cleaning proceeds, and when the remaining amount of the work material roll 32 on the unwinding device 24 side becomes small as shown in FIG. 9B, the cleaning is stopped. At this point, processing material 2
The measurement of the effective roll length WM (t x ) of 2 is completed. Therefore, at this point, WT + W
The processing material 22 having a length of M (t x ) is wound up.
Here, the length of the processing material remaining in the cleaning device at the time when the winding is stopped (time t x ) is defined as the cleaning inline length WI, and the length of the processing material remaining on the unwinding device side is set. Assuming the remaining cleaning length WR, L = WT + WM + WI + WR holds for the entire length of the roll of the work material 22, that is, the coordinate position of the tip point L from the origin O. Here, since the shape of the cleaning device is known, WI and WR are known values.

【0060】この後、オペレータは目視による半自動送
りで図9(c)に示すような位置まで加工素材22を位
置34まで移動させる。そして、新たな加工素材ロール
32’を巻出し装置24側にセットし、元の加工素材2
2の先端点Lと新たな加工素材ロール32’の先端点
O’とを図9(d)に示すように溶接する。
After this, the operator visually moves the workpiece 22 to the position 34 by semi-automatic feeding to the position shown in FIG. 9C. Then, a new processing material roll 32 'is set on the unwinding device 24 side, and the original processing material 2
The tip point L of 2 and the tip point O ′ of the new work material roll 32 ′ are welded as shown in FIG. 9D.

【0061】次に、図9(e)に示すように加工素材2
2を半自動送りで移動させ、新たな加工素材22の先端
点(座標位置はL)を巻取り装置26側に移動させる。
そして、図9(f)に示すように、加工素材22をL点
とO’点の接合部において切断する。これで、巻き取り
装置26において、洗浄の済んだ素材ロールが取り外し
可能となる。ここで、巻き取り装置26に巻きとられた
ロール36は、長さがLであり、そのうち、 0〜WT: 巻き付け長 WT〜WT+WM(t): 洗浄された部分 WT+WM(t)〜WT+WM(t)+WI: インラ
イン長 WT+WM(t)+WI〜WT+WM(t)+WI+W
R: 残長 となる。
Next, as shown in FIG. 9 (e), the processing material 2
2 is moved by semi-automatic feeding, and the tip point (coordinate position is L) of the new processing material 22 is moved to the winding device 26 side.
Then, as shown in FIG. 9 (f), the processing material 22 is cut at the joint between the point L and the point O '. With this, in the winding device 26, the cleaned material roll can be removed. Here, the roll 36 wound around the winding device 26 has a length of L, of which 0 to WT: winding length WT to WT + WM (t): washed portion WT + WM (t) to WT + WM (t ) + WI: inline length WT + WM (t) + WI to WT + WM (t) + WI + W
R: Remaining length.

【0062】以上のようにして、加工素材ロール32の
洗浄工程が終了する。そして、この洗浄工程では、切断
や溶着などが行われるものの、上記の説明からわかるよ
うに、巻き出し装置24の取り付けられたときのロール
32の長さと、そのロールがま26にロール36として
巻きとられたときの長さとにおいて、変動はなく、Lで
ある。
The cleaning process of the work material roll 32 is completed as described above. Then, in this cleaning step, although cutting and welding are performed, as can be seen from the above description, the length of the roll 32 when the unwinding device 24 is attached and the length of the roll 32 wound around the rotary hook 26 as the roll 36. There is no change in the length when taken, and it is L.

【0063】成膜A工程 次に、図10及び図13(b)を参照して(II)の成膜A
工程における原点位置と全長値の関係について説明す
る。
Film Forming A Process Next, referring to FIGS. 10 and 13B, the film forming A of (II)
The relationship between the origin position and the total length value in the process will be described.

【0064】図10(a)は、あるロール36”につい
て成膜A工程を終了し、そのロール36”の加工素材2
2がロール50’として巻き取り装置26に巻きとられ
いる状態を示す。この時点では、図10(a)に示すよ
うに、成膜A工程の巻出し装置24側には、残量である
長さARの加工素材ロール36”が残されている。ま
た、巻取り装置26側に成膜Aが終了した加工素材ロー
ル50’が残されている。また成膜装置内には、成膜A
のインライン長AIの長さの加工素材22が残されてい
る。巻き出し装置24側において、ロール36”の端点
から長さARの位置において素材22をカットし、巻き
取り装置26において、ローラ33(図10(a)では
不図示)の位置において素材22を同じくカットすれ
ば、成膜Aが形成されたロール50’は取り外し可能で
ある。
In FIG. 10A, the film forming step A is finished for a certain roll 36 ", and the processing material 2 for the roll 36" is finished.
2 shows a state in which the roll 2 is wound around the winding device 26 as a roll 50 ′. At this point, as shown in FIG. 10A, the work material roll 36 ″ having the remaining length AR is left on the unwinding device 24 side in the film forming A step. The processing material roll 50 ′ for which the film formation A has been completed is left on the apparatus 26 side.
The processing material 22 having the length of the in-line length AI is left. On the unwinding device 24 side, the material 22 is cut at a position of a length AR from the end point of the roll 36 ″, and at the winding device 26, the material 22 is also cut at the position of a roller 33 (not shown in FIG. 10A). If cut, the roll 50 'on which the film A has been formed can be removed.

【0065】この状態で、次のロールの加工のために必
要な操作を説明する。図10(b)に示すように、巻出
し装置24側に残された加工素材ロール36”を巻取り
装置26側に装着する。次に、先の洗浄工程の終了した
長さLの新たな加工素材ロール36を巻出し装置24側
に装着する。そして、加工素材ロール36の先端点と成
膜装置内にある加工素材22(これは前回のロール5
0’から残された素材である)の後端部とを溶接すると
ともに、加工素材ロール36”の端部と加工素材22の
前端部M2とを溶接する。この時点で、溶接された加工
素材22の全長は、L+AI+ARとなる。このうち、 長さL: 洗浄工程からの素材、 長さAI+AR: 前回のロールの残り部分(成膜Aは
行われていない) である。成膜A工程は、偶数番目の工程であるから、図
10(b)に示すように、原点を巻き出し装置24のロ
ール36の最後端にとる。すると、巻き出し装置24の
ロール36と巻き取り装置26のロール36”を含めた
全素材に関して、その先端点(ロール36”の先頭であ
って、図12(b)において黒の星印で示されている
点)の座標位置は、L+AI+ARとなる。
In this state, operations required for processing the next roll will be described. As shown in FIG. 10 (b), the work material roll 36 ″ left on the unwinding device 24 side is mounted on the winding device 26 side. The processing material roll 36 is mounted on the unwinding device 24. Then, the processing material roll 36 and the processing material 22 in the film forming device (this is the last one
The rear end of the work material roll 36 ″ and the front end M2 of the work material 22 are welded together with the rear end of the work material 22). The total length of 22 is L + AI + AR, of which length L: the material from the cleaning step, length AI + AR: the remaining portion of the previous roll (deposition A has not been performed). 10 (b), the origin is set at the rear end of the roll 36 of the unwinding device 24. Then, the roll 36 of the unwinding device 24 and the roll of the winding device 26 are set. For all the materials including 36 ", the coordinate position of the leading end point (the head of the roll 36", which is indicated by a black star in FIG. 12B) is L + AI + AR.

【0066】この全長がL+AI+ARである加工素材
の有効ロール長AMの計測はM2点から開始される。
The measurement of the effective roll length AM of the processing material whose total length is L + AI + AR is started from point M2.

【0067】成膜Aの加工は、加工素材22が巻取り装
置26側に巻き取られる過程で行われる。最終的に図1
0(c)に示したように、加工素材ロール36の残量が
わずかになった時点で、成膜A工程の加工ユニットは停
止される。
The processing of the film formation A is performed in the process of winding the processing material 22 on the winding device 26 side. Finally Figure 1
As shown in 0 (c), when the remaining amount of the processing material roll 36 becomes small, the processing unit in the film formation A process is stopped.

【0068】次に、図10(d)に示すように成膜装置
内にある加工素材22の前後を切断する。切断された時
点では、巻き出し装置24側における加工素材ロール3
6の残量長は、図10(a)の場合と同様に、ARであ
り、処理装置内に残っている素材22のインライン長は
AIである。従って、切断された後の時点では、巻取り
装置26側に巻き取られている加工素材ロール50の先
端点(黒星印で示す)を原点とした場合のからの座標
は、 L+AI+AR であり、後端点(図10(d)において白星印で示す)
の座標は AI+AR となっている。この様子を図13(b)に示す。
Next, as shown in FIG. 10D, the front and rear of the processing material 22 in the film forming apparatus are cut. At the time of cutting, the processing material roll 3 on the unwinding device 24 side
The remaining length of 6 is AR, as in the case of FIG. 10A, and the in-line length of the material 22 remaining in the processing device is AI. Therefore, at the time point after the cutting, the coordinates from when the origin point (indicated by a black star) of the processing material roll 50 wound on the winding device 26 side is the origin is L + AI + AR, and End point (indicated by white star in FIG. 10 (d))
The coordinates are AI + AR. This state is shown in FIG.

【0069】図10の(a)〜(d)の一連の処理にお
いて、AI,ARは不変であるから、長さLのロールが
洗浄側から供給される限りは、この成膜A装置から成膜
B装置に供給されるロールの長さは常にLである。
In the series of processes shown in FIGS. 10A to 10D, since AI and AR are unchanged, as long as the roll having the length L is supplied from the cleaning side, the film forming A apparatus is used. The length of the roll fed to the Membrane B device is always L.

【0070】成膜B工程 次に、図11及び図13(c)を参照して(III)の成膜
B工程における原点位置と全長値の関係について説明す
る。
Film Forming Process B Next, the relationship between the origin position and the total length value in the film forming process B of (III) will be described with reference to FIGS. 11 and 13C.

【0071】まず、成膜B工程の前回の加工の終了時点
では、図11(a)に示すように、成膜B工程の巻出し
装置24側には、前回の処理の残量である長さBRの加
工素材ロール50”が残されており、巻取り装置26側
には成膜B処理が終了した加工素材ロール52’が残さ
れている。また成膜装置内には、成膜Bのインライン長
BIの長さの加工素材22が残されている。
First, at the end of the previous processing of the film forming B step, as shown in FIG. 11A, the unwinding device 24 side of the film forming B step has a long remaining amount of the previous processing. The processing material roll 50 ″ of BR is left, and the processing material roll 52 ′ for which the film forming B process is completed is left on the winding device 26 side. Processing material 22 having a length of in-line length BI is left.

【0072】ここで、加工素材ロール50”の残量長B
Rは、 BR>AR+AI となるように設定されている。これは次の理由による。
成膜B工程の前工程であるところの成膜A工程では、前
述したように、ロール50の後端の長さAR+AIの部
分の素材については成膜Aは未処理である。この未処理
の部分に成膜Bを施しても意味がないから、この未処理
部分を避けるために、 BR>AR+AI となるように設定されているのである。
Here, the remaining amount B of the processing material roll 50 "
R is set so that BR> AR + AI. This is for the following reason.
In the film formation A step, which is a pre-process of the film formation B step, as described above, the film formation A is not processed for the material of the portion of the length AR + AI at the rear end of the roll 50. Since there is no point in applying the film formation B to this unprocessed portion, BR> AR + AI is set so as to avoid this unprocessed portion.

【0073】次に、巻き取り装置26のロール52’
(このロールは前回に成膜B処理を施されたものであ
る)を取り外し、続いて、巻出し装置24側に残された
加工素材ロール50”を外してから巻取り装置26側に
装着する。さらに、前工程の成膜A工程の終了した加工
素材ロール50を巻出し装置24側に装着する。そし
て、加工素材ロール50の先端点と、成膜B装置内に残
されている加工素材22の後端部とを溶接するととも
に、巻き取り装置26に装着された加工素材ロール5
0”の端部と加工素材22の前端部M32とを溶接す
る。成膜B装置内に残されている加工素材22の長さを
BIとする。図10(d)で説明したように、成膜A処
理を行われたロール50の固定端の座標位置はL+AI
+ARとすれば、同ロール50の自由端の座標はAI+
ARとなる。この自由端からさらに右方向に距離BIだ
け離間した位置、即ち、図11(b)のM3点の座標位
置は、AI+AR−BIとなる。このM3点は、成膜B
装置における加工素材の有効長を計測するローラ33
(図2の33)が設置された位置であり、また、ロール
50”の自由端が位置する位置でもある。従って、図1
1(b)の時点で、巻取り装置26側に巻き取られてい
る加工素材22の固定端点(白菱形印で示す)の原点O
からの座標は、 AR+AI−BI−BR である。
Next, the roll 52 'of the winding device 26.
(This roll has been subjected to the film formation B process last time), and subsequently, the work material roll 50 ″ left on the unwinding device 24 side is removed and then mounted on the winding device 26 side. Further, the processing material roll 50 for which the film forming A step of the previous step is completed is mounted on the unwinding device 24. Then, the leading end of the processing material roll 50 and the processing material remaining in the film forming B apparatus. The work material roll 5 mounted on the winding device 26 while welding the rear end of the roll 22
The end portion of 0 ″ and the front end portion M32 of the processing material 22 are welded. The length of the processing material 22 left in the film forming B apparatus is BI. As described with reference to FIG. The coordinate position of the fixed end of the roll 50 that has undergone the film formation A process is L + AI.
If + AR, the coordinates of the free end of the roll 50 are AI +
AR. The position further away from the free end by the distance BI to the right, that is, the coordinate position of point M3 in FIG. 11B is AI + AR-BI. This M3 point is film formation B
Roller 33 for measuring the effective length of the processing material in the device
(33 in FIG. 2) is the installed position and also the position where the free end of the roll 50 ″ is located.
At the time of 1 (b), the origin O of the fixed end point (indicated by a white diamond mark) of the work material 22 wound on the winding device 26 side.
The coordinates from are AR + AI-BI-BR.

【0074】その後、加工素材22が巻取り装置26側
に巻き取られながら成膜Bの加工が行われ、最終的に図
11(c)に示したように、加工素材ロール50の残量
がわずかになった時点で、成膜B工程の加工ユニットは
停止される。この残量の検出を、ロール毎に同じ手法で
行えば、図11(d)におけるロール50の素材の残量
は図11(a)における残量と同じであり、即ち、その
長さはBRである。
Thereafter, the processing material 22 is processed while the processing material 22 is being wound up on the winding device 26 side, and finally, as shown in FIG. 11C, the remaining amount of the processing material roll 50 is reduced. When the number becomes small, the processing unit in the film forming B step is stopped. If the remaining amount is detected by the same method for each roll, the remaining amount of the material of the roll 50 in FIG. 11D is the same as the remaining amount in FIG. 11A, that is, its length is BR. Is.

【0075】次に、図11(d)に示すように成膜装置
内にある加工素材22の前後を切断する。このときの加
工素材ロール50の残量長は、図11(a)の場合と同
様にBRであり、インライン長はBIである。従って、
切断された後の時点では、巻取り装置26側に巻き取ら
れている加工素材ロール52の固定端点(切断点であ
り、白菱形印で示す)の原点Oからの座標は、 AR+AI−BR−BI であり、自由端点(黒菱形印で示す)の座標は L+AI+AR−BR−BI となっている。この様子を図13(c)に示す。
Next, as shown in FIG. 11D, the front and rear of the processing material 22 in the film forming apparatus are cut. At this time, the remaining length of the work material roll 50 is BR as in the case of FIG. 11A, and the in-line length is BI. Therefore,
After the cutting, the coordinates of the fixed end point (the cutting point, which is indicated by the white diamond mark) of the work material roll 52 wound on the winding device 26 side from the origin O is AR + AI-BR-. BI, and the coordinates of the free end point (indicated by a black diamond mark) are L + AI + AR-BR-BI. This state is shown in FIG.

【0076】かくして、巻き取り装置26には、成膜B
が形成されたロールが残る。
Thus, the film forming B is formed in the winding device 26.
The formed roll remains.

【0077】成膜C工程 次に、図12及び図13(d)を参照して(IV)の成膜C
工程における原点位置と全長値の関係について説明す
る。
Film Forming C Step Next, referring to FIG. 12 and FIG. 13D, film forming C of (IV)
The relationship between the origin position and the total length value in the process will be described.

【0078】まず、成膜C工程の前回の加工の終了時点
では、図12(a)に示すように、成膜C工程の加工ユ
ニットには、巻出し装置24側に、長さCRの加工素材
ロール52”が残されており、巻取り装置26側に成膜
Cが終了した加工素材ロール54’が残されている。ま
た成膜装置内には、成膜Cのインライン長CIの長さの
加工素材22が残されている。なお、ここで、加工素材
ロール52”の残量長CRは、前工程である成膜B工程
の未加工部分(長さがBR+BI)を避けるために CR>BR+BI となるように設定されている。
First, at the end of the previous processing of the film forming C step, as shown in FIG. 12A, the processing unit of the film forming C step has a length CR on the unwinding device 24 side. The material roll 52 ″ is left, and the processing material roll 54 ′ for which the film formation C is completed is left on the winding device 26 side. Further, the in-line length CI of the film formation C is set in the film formation device. Processing material 22 is left. Here, the remaining amount CR of the processing material roll 52 ″ is set to avoid an unprocessed portion (length BR + BI) in the film forming B step which is the previous step. It is set so that CR> BR + BI.

【0079】図12の(b)に示すように、巻出し装置
24側に残された加工素材ロール52”を巻取り装置2
6側に装着し、成膜B工程の終了した加工素材ロール5
2を成膜C工程の巻出し装置24側に装着する。そし
て、加工素材ロール52の先端点(座標L+AI+AR
−BR−BIにある自由端)と成膜装置内にある加工素
材22の後端部とを溶接するとともに、加工素材ロール
52”の端部(自由端)と成膜装置内にある加工素材2
2の前端部M4とを溶接する。この時点で、巻取り装置
26側に巻き取られている加工素材22の自由端点(黒
四角印で示す)の原点Oからの座標は、 L+AI+AR−BR−BI+CI+CR となっている。なお、加工素材の有効ロール長CMの計
測は、加工素材22の前端部であるM4点から開始され
る。
As shown in FIG. 12B, the work material roll 52 ″ left on the unwinding device 24 side is taken up by the winding device 2
Processed material roll 5 mounted on side 6 and completed the film formation B process
2 is attached to the unwinding device 24 side in the film forming C step. Then, the leading end point of the processing material roll 52 (coordinates L + AI + AR
While welding the free end in BR-BI and the rear end of the work material 22 in the film forming apparatus, the end (free end) of the work material roll 52 ″ and the work material in the film forming apparatus Two
The front end portion M4 of No. 2 is welded. At this point, the coordinates of the free end point (indicated by a black square mark) of the work material 22 wound on the winding device 26 side from the origin O are L + AI + AR-BR-BI + CI + CR. The measurement of the effective roll length CM of the processing material is started from point M4 which is the front end of the processing material 22.

【0080】加工素材22が巻取り装置26側に巻き取
られながら、成膜Cの加工が行われる。最終的に図12
(c)に示したように、加工素材ロール52の残量がわ
ずかになった時点で、成膜C工程の加工ユニットは停止
される。
The film C is processed while the processing material 22 is being wound on the winding device 26 side. Finally Figure 12
As shown in (c), when the remaining amount of the processing material roll 52 becomes very small, the processing unit of the film forming C step is stopped.

【0081】次に、図12(d)に示すように成膜装置
内にある加工素材22の前後を切断する。このときの加
工素材ロール52の残量長は、図12(a)の場合と同
様にCRであり、インライン長はCIである。従って、
切断された後の時点では、巻取り装置26側に巻き取ら
れている加工素材ロール54の自由端点(黒四角印で示
す)の原点Oからの座標は、 L+AI+AR−BR−BI+CI+CR であり、固定端点(白四角印で示す)の座標は AR+AI−BI−BR+CI+CR となっている。この様子を図13Dに示す。
Next, as shown in FIG. 12D, the front and rear of the processing material 22 in the film forming apparatus are cut. At this time, the remaining length of the work material roll 52 is CR as in the case of FIG. 12A, and the in-line length is CI. Therefore,
After the cutting, the coordinates of the free end point (indicated by a black square mark) of the work material roll 54 wound on the winding device 26 side from the origin O is L + AI + AR-BR-BI + CI + CR, which is fixed. The coordinates of the end points (indicated by white squares) are AR + AI-BI-BR + CI + CR. This state is shown in FIG. 13D.

【0082】以上のようにして、各加工工程毎に変化す
る加工素材の座標が絶対座標に換算されることとなる。
As described above, the coordinates of the processing material that changes for each processing step are converted into absolute coordinates.

【0083】〈各工程における欠陥位置の検出〉次に、
上記のような加工素材の交換方法を適用した場合の製造
欠陥位置を算出する方法について説明する。
<Detection of Defect Position in Each Step>
A method of calculating the manufacturing defect position when the above-described method of exchanging the processing material is applied will be described.

【0084】図14は、洗浄工程、成膜A工程、成膜B
工程、成膜C工程の夫々における、巻き付け長、残長、
インライン長、ロール長の値を記憶するテーブルの構成
を示す図である。かかるテーブルは、管理コンピュータ
36内の不図示のメモリに前もって記憶されている。図
15は、各工程で製造欠陥が起きた場合の、その欠陥の
座標の算出のしかたを示した図である。
FIG. 14 shows a cleaning process, a film forming process A, and a film forming process B.
The winding length, the remaining length, and
It is a figure which shows the structure of the table which memorize | stores the value of in-line length and roll length. Such a table is stored in advance in a memory (not shown) in the management computer 36. FIG. 15 is a diagram showing a method of calculating coordinates of a manufacturing defect when a manufacturing defect occurs in each process.

【0085】図15においては、各工程での有効ロール
長の計測原点、すなわち洗浄工程でのM1点、成膜A工
程でのM2点、成膜B工程でのM3点、成膜C工程での
M4点を、加工素材の長さの計測値スケールの原点とし
て示してある。かくして、M1点、M2点、M3点、M
4点を各々の工程における原点とすれば、洗浄工程、成
膜A工程、成膜B工程、成膜C工程の全てを統一的に把
握すること、即ち、1つのロールの各工程における変遷
を把握し、必要によっては表示することが可能になる。
In FIG. 15, the measurement origin of the effective roll length in each step, that is, the M1 point in the cleaning step, the M2 point in the film forming A step, the M3 point in the film forming B step, and the film forming C step. Point M4 is shown as the origin of the measurement value scale of the length of the processed material. Thus, M1, M2, M3, M
If four points are set as the starting points in each process, the cleaning process, the film forming A process, the film forming B process, and the film forming C process should be understood in a unified manner, that is, the transition in each process of one roll. It becomes possible to grasp and display it if necessary.

【0086】ここで、1つの例として、成膜装置Bの第
2チャンバーに時刻t0において異常が発生し、時刻t0
において装置を停止させたとする。この場合、図15
(c)及び図16に示すように、巻取り装置26側には
時刻t0においては、長さ AR+AI−BI+BM(t0) の加工素材が巻き取られている。ここで、BM(t0
とは、時刻t0におけるM3点から計測した、加工素材
の巻取り量を示す。また、第2チャンバーが、基準位置
(M3点)から計測して、EL〜ETの位置に存在すると
すると、加工欠陥は、 AR+AI−BI+BM(t0)+EL の地点から始まることとなる。一方、装置が停止した時
刻t0においては、巻取り装置26側には、 AR+AI−BI+BM(t0) だけの加工素材が巻き取られている。ここで、BM(t
0)とは、時刻t0におけるM3点からの加工素材の巻取
り量を示す。従って、加工欠陥は、 AR+AI−BI+BM(t)+ET の地点で終了することとなる。従って、このような計算
を行うことにより、加工素材のどの地点にどれだけの長
さの加工欠陥が発生したかを正確に把握することができ
る。
Here, as an example, an abnormality occurs in the second chamber of the film forming apparatus B at time t 0 , and the abnormality occurs at time t 0.
It is assumed that the device is stopped at. In this case, FIG.
As shown in (c) and FIG. 16, at the time t 0 , the work material having the length AR + AI−BI + BM (t 0 ) is wound on the winding device 26 side. Where BM (t 0 )
Is the winding amount of the processing material measured from the M3 point at time t 0 . If the second chamber is measured from the reference position (M3 point) and exists at the positions E L to E T , the processing defect starts from the point AR + AI-BI + BM (t 0 ) + E L. . On the other hand, at time t 0 when the apparatus is stopped, only AR + AI-BI + BM (t 0 ) of processing material is wound on the winding apparatus 26 side. Where BM (t
0 ) indicates the winding amount of the processing material from point M3 at time t 0 . Thus, the processing defects, so that the ends at a point AR + AI-BI + BM ( t) + E T. Accordingly, by performing such a calculation, it is possible to accurately grasp at which point of the processing material and how long a processing defect has occurred.

【0087】他の洗浄工程、成膜A工程、成膜C工程に
おいても同様の計算を行うことにより、加工素材のどの
位置に加工欠陥が発生したかを把握することができる。
このデータは管理コンピュータ36内のメモリに記憶し
ておく。
By performing similar calculations in other cleaning steps, film formation A step, and film formation C step, it is possible to grasp at which position of the processing material the processing defect has occurred.
This data is stored in a memory in the management computer 36.

【0088】図14のテーブルの各々のデータに、図1
7に示すような具体的な値をあてたときに、全長800
mのロールを洗浄工程から成膜C工程に適用した場合
に、各工程においてなされたロールに対する処理結果を
示すと図18のようになる。 〈切断工程〉次に、上記のようにして求められ、管理コ
ンピュータ36内に記憶された加工欠陥の位置情報をも
とに、Vの切断工程で、成膜C加工が終了した加工素材
ロール54を各単品(以下スラブと呼ぶ)に切断する方
法について説明する。
The data shown in FIG.
When a specific value as shown in 7 is applied, the total length is 800
When the m roll is applied from the cleaning process to the film forming C process, the processing result for the rolls performed in each process is shown in FIG. <Cutting Step> Next, based on the position information of the processing defect obtained as described above and stored in the management computer 36, the processing material roll 54 in which the film-forming C processing is completed in the V cutting step. A method of cutting each into individual pieces (hereinafter referred to as slabs) will be described.

【0089】図19は、切断工程を行うシャーリング装
置30の構成を示した概略図である。図19において、
全ての成膜工程の終了した加工素材ロール54は、巻出
し装置60に装着されたる。そして、巻出し装置60か
ら巻き出されたロール54からの素材は、送りガイド6
2を介してグリッパー64まで搬送される。グリッパー
64は、送りガイド62から加工素材22の先端部をグ
リップして引き出し、この加工素材22をプレス機66
に送り出す。プレス機66は、切断型68により加工素
材22を定尺に切断し、単品のスラブに分離する。単品
に分離されたスラブは、分別装置70により分別され、
良品は収納箱72に収納されると共に、不良品は不図示
の回収ストッカーに廃棄される。
FIG. 19 is a schematic diagram showing the structure of the shearing device 30 for performing the cutting step. In FIG.
The processing material roll 54 that has undergone all the film forming steps is mounted on the unwinding device 60. Then, the material from the roll 54 unwound from the unwinding device 60 is fed by the feed guide 6
It is conveyed via 2 to the gripper 64. The gripper 64 grips and pulls out the tip of the processing material 22 from the feed guide 62, and the processing material 22 is pressed by the press 66.
To send out. The press machine 66 cuts the work material 22 into a fixed size with a cutting die 68 and separates the work material 22 into single slabs. The slab separated into a single item is sorted by the sorting device 70,
Non-defective products are stored in the storage box 72, and defective products are discarded in a recovery stocker (not shown).

【0090】なお、巻出し装置60、送りガイド62、
グリッパー64、プレス機66及び分別装置70は、図
3に示したNCコントローラによりその動作を制御され
る。
The unwinding device 60, the feed guide 62,
The operations of the gripper 64, the press 66, and the sorting device 70 are controlled by the NC controller shown in FIG.

【0091】〈スラブの採取〉次に、図20Aは、不良
のスラブを選別する方法を説明するための図である。本
実施形態においては、加工素材ロール22は、800m
程度の長さがあり、各スラブは300mm四方のものであ
る。そのため、1つの加工素材ロールからは、約250
0枚程度のスラブを採ることができる。本実施形態で
は、この2500枚程度のスラブを例えば50枚ずつの
ロットに分けて、良・不良の選別を行う。
<Slab Sampling> Next, FIG. 20A is a diagram for explaining a method of selecting defective slabs. In the present embodiment, the processing material roll 22 has a length of 800 m.
Each slab has a length of about 300 mm. Therefore, from one processing material roll, about 250
You can take about 0 slabs. In this embodiment, about 2500 slabs are divided into, for example, 50 lots each, and good / defective is selected.

【0092】各ロットは、50枚のスラブとその最後の
スラブに連続する1枚のQAクーポンとから構成され
る。ここで、QAクーポンとは、クオリティアシュアラ
ンスクーポンを略したものであり、そのロットを代表す
る検査用サンプルのことを意味する。QAクーポンは、
通常のスラブよりも小さい検査専用のサンプル(長さ約
60mm)であり、検査後は廃棄される。
Each lot is composed of 50 slabs and one QA coupon consecutive to the last slab. Here, the QA coupon is an abbreviation of a quality assurance coupon, and means a test sample representative of the lot. QA coupon is
It is a sample for inspection (length about 60 mm) smaller than a normal slab and is discarded after the inspection.

【0093】本実施形態では、既に説明したような方法
により、加工素材ロール54のどの部分にどれだけの長
さの不良が存在するかということが、データとして記憶
されている。そのため、各ロットのスラブの個数は、こ
のデータに基づいて不良部分を避けながら設定される。
このロットの設定は、実際の切断加工を行う前に、管理
コンピュータ36によって行われ、図20Bに示すよう
にディスプレイ上に表示される。
In the present embodiment, by the method as described above, it is stored as data which part of the work material roll 54 has a defect of what length. Therefore, the number of slabs of each lot is set based on this data while avoiding defective portions.
The setting of this lot is performed by the management computer 36 before the actual cutting process and is displayed on the display as shown in FIG. 20B.

【0094】図20Bは、ディスプレイの画面上に表示
される各ロットへのスラブの個数の割り付け方を具体的
に示したものである。図20Bにおいて、300は、1
つのロールの全長を示すバーである。バー300中の黒
い帯は欠陥部分を示す。リスト301は、バー300に
よって表されたIDが非950025”というロールか
ら生成された7つのロット部分を示す。各ロットについ
て、QTYはそのロットのスラブの枚数を、SLAB NOは.
そのロットの先頭のスラブの番号を、FIRST POSITION
は、このロットの先頭位置のこのロールの先頭からの距
離、DEFECTS AFTER LOTはFIRST POSITIONから始まる欠
陥の長さをスラブの枚数で示したものである。
FIG. 20B specifically shows how to allocate the number of slabs to each lot displayed on the screen of the display. In FIG. 20B, 300 is 1
It is a bar showing the total length of one roll. The black band in bar 300 indicates the defect. List 301 shows a portion of seven lots generated from rolls with IDs non-950025 "represented by bar 300. For each lot, QTY is the number of slabs in that lot and SLAB NO is.
First slab number of the lot, FIRST POSITION
Is the distance from the beginning of this roll to the starting position of this lot, and DEFECTS AFTER LOT is the length of the defect starting from FIRST POSITION in slabs.

【0095】図20Cを参照しながら、図20Bのロー
ルについて説明する。この例でいえば、加工素材の端か
ら24mの位置から有効加工領域が始まっている。第1
ロットは、この24mの地点から1枚目のスラブを採り
始め、合計50枚のスラブとこれに加えて1枚のQAク
ーポンを含む。第2ロットは、第1ロットの終了地点か
ら、第1ロットと同様に50枚のスラブと1枚のQAク
ーポンを採る。以下同様に50枚のスラブと1枚のQA
クーポンからなるロットを順次採っていく。
The roll of FIG. 20B will be described with reference to FIG. 20C. In this example, the effective processing area starts 24 m from the edge of the processing material. First
The lot begins to pick the first slab from this 24m point and contains a total of 50 slabs plus one QA coupon. The second lot takes 50 slabs and one QA coupon from the end point of the first lot, like the first lot. Similarly, 50 slabs and 1 QA
Take lots of coupons one after another.

【0096】ここで、例えば3番目のロットには、36
枚目のスラブの途中からスラブ7枚分の加工欠陥がある
ことがわかる。その第3ロットは、35枚のスラブで終
了させ、35枚目のスラブの終了点と加工欠陥が始まる
点の間の部分からQAクーポンを1枚採る。尚、もしス
ラブの終了点(上記例では35枚目)と加工欠陥が始ま
る点までの間隔が、QAクーポンを採るのに足りない場
合は、1つ前のスラブ(上記例では34枚目のスラブ)
を終了点とし、その次の(35枚目の)部分からQAク
ーポンを採る。
Here, for example, in the third lot, 36
It can be seen from the middle of the first slab that there are processing defects for seven slabs. The third lot ends with 35 slabs, and one QA coupon is taken from the portion between the end of the 35th slab and the point where the processing defect begins. If the interval between the end point of the slab (the 35th sheet in the above example) and the point where the processing defect begins is not enough to take the QA coupon, the slab immediately before (the 34th sheet in the above example) Slab)
Is the end point, and the QA coupon is taken from the next (35th) part.

【0097】同様に、図20Bの例で、例えば4番目の
ロットの21枚目のスラブの途中からスラブ21枚分の
加工欠陥があった場合には、そのロットは、20枚のス
ラブで終了させ、20枚目のスラブの終了点と加工欠陥
が始まる点の間の部分からQAクーポンを1枚採る。こ
のようにして、各ロットへのスラブ枚数の割り付けが行
われる。
Similarly, in the example of FIG. 20B, for example, if there is a processing defect for 21 slabs in the middle of the 21st slab of the 4th lot, the lot ends with 20 slabs. Then, one QA coupon is taken from a portion between the end point of the 20th slab and the start point of the processing defect. In this way, the number of slabs is assigned to each lot.

【0098】なお、ディスプレイの画面上には、図示し
たように、加工素材ロールのID番号、1枚のスラブの
長さ、QAクーポンの長さ、1ロットの基本的なスラブ
枚数、加工素材ロールの有効加工領域の長さ、ロット割
り付け後の総ロット数(図20Bの例では47個)、総
スラブ数(図20Bの例では1880個)、総欠陥スラ
ブ数(図20Bの例では93個)、不良品率(図20B
の例では4.7%)等が表示される。
On the screen of the display, as shown, the ID number of the processing material roll, the length of one slab, the length of the QA coupon, the basic number of slabs in one lot, and the processing material roll. Of the effective processing area, total lot number after lot allocation (47 in the example of FIG. 20B), total slab number (1880 in the example of FIG. 20B), total defective slab number (93 in the example of FIG. 20B) ), Defective product rate (Fig. 20B
In the example, 4.7%) or the like is displayed.

【0099】このようにディスプレイ上にロット割り付
けが表示されると、オペレータはそれで問題がないかど
うかを判断し、問題ない場合は、画面上のCONFIR
Mボタンをクリックして、ロット割り付けを確定する。
また、例えば、ある1ロットが始まった部分の直後から
加工欠陥が始まって、1ロットが数枚で終了してしまう
ような場合は、オペレータの判断により、そのロットを
前のロットあるいは次のロットに含めてしまうような操
作も可能である。
When the lot allocation is displayed on the display in this way, the operator judges whether or not there is a problem, and if there is no problem, the CONFIR on the screen is displayed.
Click the M button to confirm lot allocation.
Further, for example, in the case where a processing defect starts immediately after a part where one certain lot has started and one lot ends with several sheets, the lot is determined to be the previous lot or the next lot by the judgment of the operator. It is also possible to perform such an operation as to be included in the.

【0100】また、切断工程の前の洗浄工程及び成膜工
程では、既に述べたように加工素材ロールの位置及び欠
陥位置を計測しているが、この計測値には若干の誤差が
含まれている。そのため、測定値を完全に正しいものと
してロットの割り付けを行うと、不良品と判断された加
工素材の範囲に良品が含まれる可能性があり、材料の無
駄が発生する。そのため、本実施形態では、加工欠陥の
ある領域が例えば3m以上連続した場合に不良部分があ
ると判断し、その上で、その3m以上の不良領域の例え
ば前後1mずつを除いた範囲(即ち、中央の1m部分)
を確実な不良部分と判断する。すなわち、丁度3mの不
良範囲があった場合には、その中央部の1mの部分のみ
を確実な不良領域としてロット割り付けから除外する。
この中央部の1mの範囲の前後1mは、良品であるか不
良品であるかはっきりとはわからない部分であるが、と
りあえず、良品として扱っておく。そして、製品が完成
した時点で、全数検査を行い、不良であると判断された
場合には、あらためて廃棄される。
Further, in the cleaning process and the film forming process before the cutting process, the position of the work material roll and the defect position are measured as described above, but the measured values include some errors. There is. Therefore, if the lots are allocated with the measured values being completely correct, there is a possibility that non-defective products may be included in the range of the processed material determined to be defective, resulting in waste of materials. Therefore, in the present embodiment, it is determined that there is a defective portion when a region having a processing defect continues for, for example, 3 m or more, and then a range excluding, for example, 1 m before and after the defective region of 3 m or more (that is, (1m part in the center)
Is determined to be a reliable defective part. That is, when there is a defect range of just 3 m, only the central portion of 1 m is excluded from the lot allocation as a reliable defect area.
The portion 1 m before and after the 1 m range at the center is a portion where it is not clearly known whether it is a good product or a defective product, but it is treated as a good product for the time being. When the product is completed, a 100% inspection is performed, and if it is determined that the product is defective, the product is discarded again.

【0101】上記のようなロット割り付けが終了する
と、この割り付けデータに従って、シャーリング装置3
0により実際の切断が行われる。ここで、オペレータ
は、加工素材ロール54を巻出し装置60にセットする
ときに、加工素材ロールのID番号及びスラブ長をNC
コントローラに入力する。これにより、NCコントロー
ラと管理コンピュータ36の交信が行われる。管理コン
ピュータでは、図20Bに示したように設定されたロッ
ト割り付けの情報と、入力された情報の照合を行い、差
異がなければ切断指示情報をNCコントローラ側に一括
してダウンロードする。もし異常があれば、NCコント
ローラ側に異常信号を出力すると共にディスプレイ上に
エラーを表示する。
When the lot allocation as described above is completed, the shearing device 3 is operated according to this allocation data.
0 causes the actual disconnection to take place. Here, when setting the work material roll 54 in the unwinding device 60, the operator sets the ID number and the slab length of the work material roll to NC.
Input to the controller. Thus, communication between the NC controller and the management computer 36 is performed. In the management computer, the lot allocation information set as shown in FIG. 20B is collated with the input information, and if there is no difference, the cutting instruction information is collectively downloaded to the NC controller side. If there is an error, an error signal is output to the NC controller and an error is displayed on the display.

【0102】その後、実際の切断作業が開始されると、
NCコントローラからは1ロットの加工が終了するごと
に、ロットナンバー、ロット枚数、及び先頭スラブナン
バーを実績データとして送り返してくるので、管理コン
ピュータ36は、そのデータをファイルすると共にディ
スプレイ上に表示する。また、切断作業中においては、
ロット割り付けの対象外となった不良部分は、定尺単位
で切断されず、まとめて切断される。
After that, when the actual cutting work is started,
Each time the processing of one lot is completed from the NC controller, the lot number, the number of lots, and the leading slab number are sent back as actual data, so the management computer 36 files the data and displays it on the display. Also, during the cutting work,
Defective parts that are not subject to lot allocation are not cut in fixed-size units, but are cut together.

【0103】図21は、このように切断作業の進行につ
れて、リアルタイムにディスプレイ上に表示されるデー
タを示したものである。図21に示すように、ディスプ
レイ上には、加工実績データとして、加工素材ロールの
IDナンバー、スラブ長、ロットナンバー、ロット枚
数、先頭スラブナンバー、ロットの先頭座標、及び欠陥
スラブ枚数等が表示される。
FIG. 21 shows data displayed on the display in real time as the cutting work progresses. As shown in FIG. 21, the ID number of the work material roll, the slab length, the lot number, the number of lots, the start slab number, the start coordinate of the lot, the number of defect slabs, and the like are displayed on the display as the processing result data. You.

【0104】なお、切断作業の進行につれて、分別装置
70は、NCコントローラの制御に従って、良品スラブ
は収納箱72に収納し、不良品スラブは廃棄するように
選別作業を行う。以上説明したように、上記の実施形態
によれば、切断工程の前に計測された加工素材ロールの
どの位置にどれだけの長さの加工欠陥が存在するかとい
う情報に基づいて、各スラブの切断動作を制御するよう
にしている。従って、切断工程では、真の不良部分のみ
を切断して廃棄することができるので、材料の無駄が減
少される。
As the cutting work progresses, the sorting apparatus 70 carries out the sorting work so that the good slabs are stored in the storage box 72 and the defective slabs are discarded under the control of the NC controller. As described above, according to the above-mentioned embodiment, based on the information on which position of the processing material roll measured before the cutting step and how long the processing defect exists, each slab The cutting operation is controlled. Therefore, in the cutting step, only the true defective portion can be cut and discarded, so that waste of material is reduced.

【0105】〈監視〉次に、図20B,図20C等の監
視チャートを表示するシステムについて説明する。この
システムは、図2の生産管理システムにおいて、管理コ
ンピュータ36によって主に制御されるシステムであ
る。管理コンピュータ36は、各PLCから工程データ
を収集する。
<Monitoring> Next, a system for displaying the monitoring charts shown in FIGS. 20B and 20C will be described. This system is a system mainly controlled by the management computer 36 in the production management system of FIG. The management computer 36 collects process data from each PLC.

【0106】図22は、コンピュータ36内のメモリ
(不図示)に設けられた加工実績ファイルの構造を示
す。このファイルのデータは、後述するように、PLC
が検出した信号の変化(変化の発生した時刻と共に)
と、変化したときの信号の値と、その信号の加工装置の
ローラ33が検出した巻き取り長(M)とを記憶する。
コンピュータ36は、図23に示すように、各PLCが
検出する信号を、その信号の値が許容できるか否かを判
断するための下限値と上限値とを、前もってテーブルと
して記憶している。従って、いずれのPLCから何らか
の信号の変化が検出されても、その信号の変化はどのP
LCで検出され、その信号の示す値は加工作業が不良で
あったか否かを直ちに判断することができるものであ
る。
FIG. 22 shows the structure of a processing result file provided in a memory (not shown) in the computer 36. The data of this file is PLC
Change in signal detected by (with time of change)
And the value of the signal at the time of change and the winding length (M) detected by the roller 33 of the processing device of the signal.
As shown in FIG. 23, the computer 36 stores in advance a lower limit value and an upper limit value for a signal detected by each PLC as a table for determining whether or not the value of the signal is acceptable. Therefore, no matter which PLC detects a change in some signal, the change in that signal is
The value detected by the LC and the signal thereof can immediately determine whether or not the machining operation is defective.

【0107】図24は、エラー信号などの加工管理デー
タの収集ルーチンを示す制御手順である。ステップS1
0は管理データの読み込みステップである。ステップS
12では、フラグFLGの値をチェックする。このフラ
グについては後述する。ステップS14では、読み取っ
た管理データと前に読み取った管理データとを比較して
変化があるか否かを判断する。エラー信号に変化(値の
変化、又は、正常→異常への変化、または異常→正常へ
の復帰など)があれば、ステップS16で、その時刻
と、信号名と、そのときの加工部材の移動量M等をディ
スクに書き込む。
FIG. 24 is a control procedure showing a routine for collecting processing management data such as error signals. Step S1
0 is a step of reading management data. Step S
At 12, the value of the flag FLG is checked. This flag will be described later. In step S14, the read management data and the previously read management data are compared to determine whether there is a change. If there is a change in the error signal (change in value, or change from normal → abnormal, or abnormal → return to normal), in step S16, the time, signal name, and movement of the processing member at that time Write quantity M etc. to disk.

【0108】ステップS18では、エラー信号の変化
が、正常→異常への変化、または異常→正常への復帰の
いずれかであったかを判断する。この実施形態では、信
号の変化が、正常→異常への変化、または異常→正常へ
の復帰のいずれかであった場合は、その変化の前後の夫
々の5分間データをディスクにログファイルとして記憶
する。即ち、ステップS20では、変化があったことを
示すフラグFLGをセットし、ステップS22で、RA
Mに記憶していた5分間分の管理データをディスクに記
憶する。
In step S18, it is determined whether the change in the error signal is a change from normal to abnormal, or a change from abnormal to normal. In this embodiment, when the signal change is either normal → abnormal, or abnormal → return to normal, the respective 5 minutes of data before and after the change are stored in the disk as a log file. To do. That is, in step S20, a flag FLG indicating that there is a change is set, and in step S22, RA is set.
The management data for 5 minutes stored in M is stored in the disk.

【0109】尚、ステップS18における正常→異常へ
の変化、または異常→正常の変化は、可変の閾値を用い
て判断される。この閾値は、図23の上限値と下限値と
に従って決定される。即ち、ある信号の値が異常である
か正常であるかの判断は、上記上限値と下限値の間にあ
れば、正常(又は異常)と判断される。この閾値は、図
25の「閾値変更アイコン」を操作することにより変更
することができる。エラー信号は、例えば、圧力信号な
どのようにアナログ値を有するものがあり、その信号の
値に基づいて正常異常を判断する場合には、一義的に正
常/異常を判定することは困難である。そこで、本実施
形態では、閾値を変更可能にしている。閾値を変更する
場合には、例えば図32のマップに示されているエラー
信号をマウスなどで選択し、前述の「閾値変更アイコ
ン」を操作すると、選択されたエラー信号の閾値をテー
ブル(図23)中で変更するようにする。
It should be noted that the change from normal to abnormal or the change from abnormal to normal in step S18 is judged using a variable threshold value. This threshold value is determined according to the upper limit value and the lower limit value in FIG. That is, the judgment as to whether the value of a certain signal is abnormal or normal is judged to be normal (or abnormal) if it is between the upper limit value and the lower limit value. This threshold can be changed by operating the "threshold change icon" in FIG. Some error signals have an analog value such as a pressure signal, and it is difficult to uniquely determine normality / abnormality when determining normality / abnormality based on the value of the signal. . Therefore, in this embodiment, the threshold can be changed. When changing the threshold value, for example, by selecting the error signal shown in the map of FIG. 32 with a mouse or the like and operating the aforementioned “threshold change icon”, the threshold value of the selected error signal is displayed in the table (FIG. 23). ) Change it in

【0110】一旦、事象データの変化が検出されると、
その後は、ステップS12→ステップS24に進んで、
5分間の経過を監視(ステップS24)しながら、定期
的に収集した管理データの5分間のデータを、ディスク
に書き込む。5分が経過したならば、ステップS28で
フラグFLGをリセットする。本実施形態では、図24
の制御手順で収集した管理データを、どのように表示す
るかについては、3つのモードが用意されている。1つ
はリアルタイム表示モード、他は、トレンド表示モード
とエラーマップ表示モードである。これらの3つのモー
ドは相反するものではなく、同じ画面に、ある時点での
リアルタイム表示と、その時点までのトレンドとを表示
させても良い。
Once a change in event data is detected,
After that, the process proceeds from step S12 to step S24,
While monitoring the progress for 5 minutes (step S24), the 5-minute data of the management data collected periodically is written to the disk. When 5 minutes have elapsed, the flag FLG is reset in step S28. In the present embodiment, FIG.
Three modes are prepared for how to display the management data collected in the control procedure. One is a real-time display mode, and the other is a trend display mode and an error map display mode. These three modes are not contradictory, and the real-time display at a certain time point and the trend up to that time point may be displayed on the same screen.

【0111】図25は、CRT上に表示されている3種
類のアイコン(リアルタイム表示、トレンド表示、エラ
ーマップ表示)を示す。図26は、本実施形態の表示の
ための制御手順を示すフローチャートである。同図のス
テップS30では、図25のいずれかのアイコンが操作
されたかのトリガを調べる。この操作がリアルタイム表
示のアイコン操作であれば、ステップS36において、
メモリに一時的に記憶されている作業管理データを読み
取って「リアルタイム表示」する。リアルタイム表示の
一例として、図20Bのロット番号が1880が検出さ
れたときのものを示す。
FIG. 25 shows three types of icons (real time display, trend display, error map display) displayed on the CRT. FIG. 26 is a flowchart showing the control procedure for display of this embodiment. In step S30 of the figure, a trigger for checking whether any icon in FIG. 25 has been operated is checked. If this operation is a real-time display icon operation, in step S36,
The work management data temporarily stored in the memory is read and "real time display" is performed. As an example of the real-time display, the one when the lot number 1880 in FIG. 20B is detected is shown.

【0112】アイコン操作がトレンド表示であれば、ス
テップS40でディスクから過去に記憶しておいた管理
データを読み取ってトレンド表示を行う。トレンド表示
の例を図27,図28に示す。図27において、A,
B,…P等はチャンバを示す。RTと示されているアイ
コンを選択すると、そのRTに対応するチャンバについ
てのリアルタイム表示がなされる。また、各チャンバア
イコンの下のB,C等のアイコンは、当該チャンバのヒ
ストリカルトレンド表示を促すアイコンである。
If the icon operation is trend display, the management data stored in the past is read from the disk in step S40 to display the trend. 27 and 28 show examples of trend display. In FIG. 27, A,
B, ... P indicate chambers. Selecting the icon labeled RT will give a real-time display of the chamber corresponding to that RT. Further, icons such as B and C below each chamber icon are icons for prompting the historical trend display of the chamber.

【0113】図29は、エラーマップ表示アイコンが操
作されたときの制御手順を示す。同図において、ステッ
プS50は上記アイコンが操作されるのを監視してい
る。このアイコンが操作されると、ステップS56でエ
ラー範囲を演算する。エラー範囲の演算については図1
5に関連して説明した。ステップS58では、マップを
生成して、ステップS60ではマップを表示する。
FIG. 29 shows a control procedure when the error map display icon is operated. In the figure, step S50 monitors the operation of the icon. When this icon is operated, the error range is calculated in step S56. Figure 1 shows the calculation of the error range
5 has been described. A map is generated in step S58, and the map is displayed in step S60.

【0114】図30,図32は、エラーマップの表示例
を示す。図30のエラーマップは2つのマップ部分10
00と2000を含む。マップ1000は、個々のウエ
ッブ毎の統計的なデータを表示する。図30の例では、
ウエッブは、940010〜940060という識別番号を有する6
つである。個々のウエッブに対して、そのウエッブを加
工した日付(Date)、そのウエッブの加工を開始した時
間(Start)、加工終了時間(End)、ウエッブの識別子(Web
ID)、処理に要した時間(RunTime)、前処理に要した時間
(PreRunTime)、停止した時間(StopTime)、停止回数(Sto
pNo)、停止率(StopRatio=StopTime/RunTime)、エラー回
数(ErrorNo)を表示する。
30 and 32 show display examples of error maps. The error map in FIG. 30 has two map parts 10.
Includes 00 and 2000. Map 1000 displays statistical data for each individual web. In the example of FIG. 30,
The web has 6 identification numbers 940010-940060
One. For each web, the date when the web was processed (Date), the time when the web was processed (Start), the processing end time (End), and the web identifier (Web
ID), time required for processing (RunTime), time required for pre-processing
(PreRunTime), stop time (StopTime), stop count (Sto
pNo), stop ratio (StopRatio = StopTime / RunTime), and error count (ErrorNo) are displayed.

【0115】マップ2000は、マップ1000で得ら
れた情報を、ウエッブ毎にグラフ毎に表示する。マップ
2000の横軸の“0010”等はWebIDの末尾4桁からも
ってきている。マップ2000で表示可能な項目は、一
例として、停止した時間(StopTime)、停止回数(StopN
o)、停止率(StopRatio=StopTime/RunTime)、エラー回数
(ErrorNo)の4項目である。これら4項目のうちどの項
目を領域2000に表示するかは、チェックボックス2
001にX印を付する。図30の例では、4つの項目が
全て表示対象になっており、停止した時間(StopTime)は
線Iによって、停止回数(StopNo)は線IIによって、停
止率(StopRatio=StopTime/RunTime)は線IIIによっ
て、エラー回数(ErrorNo)は線IVによって示されてい
る。
The map 2000 displays the information obtained by the map 1000 for each web for each graph. "0010" and the like on the horizontal axis of the map 2000 are obtained from the last four digits of the WebID. The items that can be displayed on the map 2000 include, for example, a stop time (StopTime) and a stop count (StopN).
o), stop ratio (StopRatio = StopTime / RunTime), error count
There are 4 items of (Error No). Checkbox 2 determines which of these four items is displayed in area 2000.
Mark X with 001. In the example of FIG. 30, all four items are displayed, the stop time (StopTime) is indicated by the line I, the number of stops (StopNo) is indicated by the line II, and the stop ratio (StopRatio = StopTime / RunTime) is indicated by the line. By III, the error number (ErrorNo) is indicated by line IV.

【0116】図30において、マップ1000ではWebI
Dが“940040”が反転表示となっている。WebIDが“9400
40”であるウエッブについての加工記録は、マップ20
00においては、領域2002によって明示されてい
る。換言すれば、マップ100内の反転領域と、マップ
2000内の枠2002とは一致する。さらに、操作者
が、マップ1000内で反転領域を移動させれば、その
移動に応じて、マップ2000において枠2002も移
動する。表マップ1000とマップ2000とが反転領
域と枠とによって関連づけられることによって、操作者
は、個々のウエッブと他のウエッブとの関係、ある特定
のウエッブのエラーと他のウエッブのエラーとの関係を
目視で確認することができる。
In FIG. 30, the map 1000 shows WebI.
D is "940040" is highlighted. Web ID is "9400
Process records for the 40 "web are on map 20
In 00, it is specified by the area 2002. In other words, the inversion area in the map 100 and the frame 2002 in the map 2000 match. Further, if the operator moves the reversal area in the map 1000, the frame 2002 in the map 2000 also moves according to the movement. By associating the table map 1000 and the map 2000 with the inversion area and the frame, the operator can determine the relation between each web and another web, and the relation between the error of one specific web and the error of another web. It can be confirmed visually.

【0117】図31は、図30のエラーマップ表示を実
現する制御手順を示すフローチャートである。ステップ
S100ではグラフカーソル(図30の枠2002)が
操作者によって動かされたかを調べ、ステップS102
では、一覧表カーソル(マップ1000内の反転領域)
が動かされたかを検出する。グラフカーソル2002が
操作者によって動かされた場合は、ステップS104で
何番目の識別子のウエッブに移動されたかを調べる。ス
テップS1106では、移動先の識別子の番地をマップ
1000のオブジェクトに送る。このオブジェクトへの
転送は、例えばマイクロソフト社のWINDOWSのOLEによっ
て実現される。マップ1000側では、送られてきた番
地に従って、一覧表カーソルを移動する。
FIG. 31 is a flow chart showing a control procedure for realizing the error map display of FIG. In step S100, it is checked whether the graph cursor (frame 2002 in FIG. 30) has been moved by the operator, and step S102
Then, the list cursor (inversion area in map 1000)
To detect if was moved. When the graph cursor 2002 is moved by the operator, it is checked in step S104 which web of the identifier is moved. In step S1106, the address of the destination identifier is sent to the object of map 1000. The transfer to this object is realized, for example, by OLE of Microsoft Windows. On the map 1000 side, the list cursor is moved according to the sent address.

【0118】一方、一覧表カーソルが移動された場合に
は、ステップS110で、その一覧表カーソルが一覧表
1000の何行目に移動されたかを調べる。ステップS
112では移動先の行の番号(ウエッブの識別子)をマ
ップ2000側に送る。マップ2000側はグラフカー
ソルを移動先の行に対応して移動させる。図32は、図
30のマップにおいて、特定のウエッブを選択した上
で、「拡大」アイコン2003を押すと得ることができ
る、個々のウエッブについてのエラーマップ表示であ
る。特に、図32は、識別子が“940010”のウエ
ッブを拡大表示した例である。
On the other hand, when the list cursor is moved, it is checked in step S110 which line of the list 1000 the cursor is moved to. Step S
At 112, the line number of the destination (web identifier) is sent to the map 2000 side. On the map 2000 side, the graph cursor is moved in correspondence with the destination line. FIG. 32 is an error map display for individual webs that can be obtained by selecting a specific web and then pressing the “magnify” icon 2003 in the map of FIG. In particular, FIG. 32 is an example in which the web having the identifier “940010” is enlarged and displayed.

【0119】図32において、マップ3000は、ウエ
ッブ“940010”のエラーのサマリを表示する。マ
ップ3000では、エラーの発生順に、上から下に向け
てエラー信号が表示されている。個々のエラー信号につ
いては、エラーコード(ErrorCode)、そのエラーの発生
したスタート位置(Start)、そのエラーの終了した位置
(End)、そのエラーの長さ(Length)、そのエラーに対す
るコメント(Comment)が併せて表示される。図32の例
では、緊急停止を意味するエラーコード"B0301"が113.9
mの位置において発生し、圧力低下を意味する"W0201"が
200.0mの位置において発生し、温度異常を意味する"C05
07"が398.9mの位置において発生し、ピンチバルブエラ
ーを意味する"C0802"が513.2mの位置において発生し
た。
In FIG. 32, the map 3000 displays a summary of the error of the web "940010". In the map 3000, error signals are displayed from top to bottom in the order of error occurrence. For each error signal, the error code (ErrorCode), the start position where the error occurred (Start), the position where the error ended
(End), the length of the error (Length), and the comment (Comment) for the error are displayed together. In the example of FIG. 32, the error code "B0301" meaning emergency stop is 113.9
"W0201" that occurs at the position of m and means a pressure drop
It occurs at the position of 200.0m, which means abnormal temperature. "C05
"07" occurred at 398.9m and "C0802" which means pinch valve error occurred at 513.2m.

【0120】マップ4000は、マップ3000におい
て挙げられたエラーについての、そのエラーが発生した
位置を示すグラフである。マップ4000では表示の便
宜上マップ3000のエラーコードの頭文字(W、B、
C、T)を識別子として用いている。図32の例では、
緊急停止エラー(B)が最初に発生し、位置200mに
おいて圧力低下エラーが緊急停止エラーと重畳して発生
し、400mの位置と513mの位置では温度エラーが
発生している。マップ4000においては、個々のエラ
ーコードに対して、エラーの発生箇所から終了箇所まで
が色を付されて表示される。
Map 4000 is a graph showing the position where the error has occurred for the errors listed in map 3000. On the map 4000, for the convenience of display, the initials (W, B,
C, T) are used as identifiers. In the example of FIG. 32,
The emergency stop error (B) occurs first, the pressure drop error occurs at the position 200 m in combination with the emergency stop error, and the temperature error occurs at the positions 400 m and 513 m. In the map 4000, each error code is displayed in color from an error occurrence point to an end point.

【0121】マップ3000内の反転領域3001とマ
ップ4000内のカーソル4001は操作者の関心領域
を示す。即ち、反転領域3001とカーソル4001と
は対応する。図32の例では、操作者がマップ3000
内で特定のエラーコード"C0802"を選択すると、そのエ
ラーコードに対応する行方向が反転表示されると共に、
マップ4000において選択されたエラーコードに対応
するバー表示4002が他のバー表示から目立つように
表示される。逆に、操作者が任意のバー表示(例えば4
002)上の特定位置(例えば4001)を選択する
と、その特定位置を含むエラー領域が反転表示される。
The reverse area 3001 in the map 3000 and the cursor 4001 in the map 4000 indicate the area of interest of the operator. That is, the inversion area 3001 and the cursor 4001 correspond to each other. In the example of FIG. 32, the operator selects the map 3000.
When a specific error code "C0802" is selected in, the line direction corresponding to that error code is highlighted and
The bar display 4002 corresponding to the error code selected in the map 4000 is displayed so as to stand out from the other bar displays. On the contrary, the operator displays an arbitrary bar (for example, 4
002) When a specific position (for example, 4001) is selected, the error area including the specific position is highlighted.

【0122】図33は、図32のエラーマップ表示を実
現する制御手順を示すフローチャートである。ステップ
S200ではエラーマップカーソル(図32のカーソル
4001)が操作者によって動かされたかを調べ、ステ
ップS202では、一覧表カーソル(マップ3000内
の反転表示領域)が動かされたかを検出する。エラーマ
ップカーソル4001が操作者によって動かされた場合
は、ステップS204で何番目の識別子のエラーに移動
されたかを調べる。ステップS206では、移動先の識
別子の番地をマップ3000のオブジェクトに送る。マ
ップ3000側では、送られてきた番地に従って、一覧
表カーソルを移動する。
FIG. 33 is a flow chart showing the control procedure for realizing the error map display of FIG. In step S200, it is checked whether the error map cursor (cursor 4001 in FIG. 32) has been moved by the operator. In step S202, it is detected whether the list table cursor (reverse display area in the map 3000) has been moved. When the error map cursor 4001 is moved by the operator, it is checked in step S204 which identifier error has been moved. In step S206, the address of the destination identifier is sent to the object of map 3000. On the map 3000 side, the list table cursor is moved according to the sent address.

【0123】一方、一覧表カーソルが移動された場合に
は、ステップS210で、その一覧表カーソルが一覧表
3000の何行目に移動されたかを調べる。ステップS
212では移動先の行の番号(エラーの識別子)をマッ
プ4000側に送る。マップ4000側はエラーマップ
カーソルを移動先の行に対応して移動させる。なお、本
発明はその主旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態を修
正または変形したものに適用可能である。
On the other hand, when the list cursor is moved, it is checked in step S210 which line of the list 3000 the cursor is moved to. Step S
At 212, the line number (error identifier) of the destination line is sent to the map 4000 side. On the map 4000 side, the error map cursor is moved corresponding to the destination line. The present invention can be applied to a modified or modified version of the above embodiment without departing from the spirit of the invention.

【0124】例えば、上記の実施形態では、太陽電池を
製造する場合について説明したが、本発明はこれに限定
されることなく、連続体を加工素材として複数の物品を
製造するものであれば何にでも適用可能である。
For example, in the above-described embodiment, the case of manufacturing a solar cell has been described, but the present invention is not limited to this, as long as a plurality of articles are manufactured using a continuous body as a processing material. It is also applicable to.

【0125】[0125]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の、加工素
材としての連続体が加工工程を渡り歩く生産プロセスを
管理する連続体の製造工程管理装置及ぶ方法は、前記加
工工程において発生した所定の事象の変化を検出し、そ
の変化の前後における種々の事象をデータとして記憶
し、その記憶された事象データを処理することを特徴と
する。
As described above, the continuous body manufacturing process control apparatus and method of the present invention for controlling a production process in which a continuous body as a processing material travels through a working process is provided. It is characterized in that a change in an event is detected, various events before and after the change are stored as data, and the stored event data is processed.

【0126】即ち、加工工程において発生した所定の事
象の変化の前後において収集される種々の事象データ
は、前記所定の事象と密接な関係にあり、従って、これ
らの事象データによって前記連続体を適切に管理するこ
とができる。
That is, the various event data collected before and after the change of the predetermined event occurring in the processing step is closely related to the predetermined event. Can be managed.

【0127】[0127]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係わる連続体の製造装置及び製造方法
を太陽電池の製造に適用した場合の製造工程の一実施形
態を示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a manufacturing process when a manufacturing apparatus and a manufacturing method for a continuous body according to the present invention is applied to manufacturing a solar cell.

【図2】実施形態の巻き取り装置の構成を示した図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a winding device according to an embodiment.

【図3】図1の各加工装置のPLCの接続状態を示した
図である。
FIG. 3 is a diagram showing a connection state of PLCs of the respective processing apparatuses of FIG.

【図4】図1のシステムにおいて製造装置に何らかの異
常が発生した場合の処理の流れを示した図である。
4 is a diagram showing a flow of processing in the system of FIG. 1 when some abnormality occurs in a manufacturing apparatus.

【図5】太陽電池の製造工程の流れを示した図である。FIG. 5 is a view showing a flow of a manufacturing process of the solar cell.

【図6】帯状連続体の位置関係を示した図である。FIG. 6 is a diagram showing a positional relationship of a belt-shaped continuum.

【図7】洗浄工程における加工素材の交換方法を模式的
に示した図である。
FIG. 7 is a diagram schematically showing a method of exchanging the processing material in the cleaning step.

【図8】成膜A工程乃至成膜C工程における加工素材の
交換方法を模式的に示した図である。
FIG. 8 is a diagram schematically showing a method of exchanging a processing material in the film forming A step to the film forming C step.

【図9】一実施形態の加工素材の交換方法を行った場合
に生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示した
図である。
FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the deviation of the origin of the processing material and the total length value, which occurs when the processing material replacement method according to the embodiment is performed.

【図10】一実施形態の加工素材の交換方法を行った場
合に生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示し
た図である。
FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the deviation of the origin of the processing material and the total length value, which occurs when the method of exchanging the processing material according to the embodiment is performed.

【図11】一実施形態の加工素材の交換方法を行った場
合に生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示し
た図である。
FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the deviation of the origin of the processing material and the total length value, which occurs when the method of exchanging the processing material according to the embodiment is performed.

【図12】一実施形態の加工素材の交換方法を行った場
合に生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示し
た図である。
FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the deviation of the origin of the processing material and the total length value, which occurs when the method of exchanging the processing material according to the embodiment is performed.

【図13A】洗浄工程における加工素材の原点のずれと
全長値の関係を示した図である。
FIG. 13A is a diagram showing the relationship between the deviation of the origin of the processing material and the total length value in the cleaning process.

【図13B】成膜A工程における加工素材の原点のずれ
と全長値の関係を示した図である。
FIG. 13B is a diagram showing the relationship between the deviation of the origin of the processing material and the total length value in the film forming A step.

【図13C】成膜B工程における加工素材の原点のずれ
と全長値の関係を示した図である。
FIG. 13C is a diagram showing the relationship between the deviation of the origin of the processing material and the total length value in the film forming B step.

【図13D】成膜C工程における加工素材の原点のずれ
と全長値の関係を示した図である。
FIG. 13D is a diagram showing the relationship between the deviation of the origin of the processing material and the total length value in the film forming C step.

【図14】洗浄工程、成膜A工程、成膜B工程、成膜C
工程の夫々における巻き付け長、残長、インライン長、
ロール長を示した図である。
FIG. 14: Cleaning process, film formation A process, film formation B process, film formation C
Winding length, remaining length, in-line length in each process,
It is a figure showing roll length.

【図15】各工程で製造欠陥が起きた場合の、その欠陥
の座標の算出のしかたを示した図である。
FIG. 15 is a diagram showing a method of calculating coordinates of a manufacturing defect when a manufacturing defect occurs in each process.

【図16】各工程で製造欠陥が起きた場合の、その欠陥
の座標の算出のしかたを示した図である。
FIG. 16 is a diagram showing a method of calculating coordinates of a manufacturing defect when a manufacturing defect occurs in each process.

【図17】図14に実際の数値をあてはめた例を示した
図である。
FIG. 17 is a diagram showing an example in which actual numerical values are applied to FIG.

【図18】図15に実際の数値をあてはめた例を示した
図である。
FIG. 18 is a diagram showing an example in which actual numerical values are applied to FIG. 15.

【図19】切断工程を行うシャーリング装置の構成を示
した概略図である。
FIG. 19 is a schematic view showing a configuration of a shearing device that performs a cutting step.

【図20A】不良のスラブを選別する方法を説明するた
めの図である。
FIG. 20A is a diagram for explaining a method of selecting a defective slab.

【図20B】ディスプレイの画面上に表示される各ロッ
トへのスラブの個数の割り付け方を具体的に示した図で
ある。
FIG. 20B is a diagram specifically showing how to allocate the number of slabs to each lot displayed on the screen of the display.

【図20C】1つのスラブにおいて発生したエラー位置
を示す図。
FIG. 20C is a diagram showing an error position occurring in one slab.

【図21】切断作業の進行につれて、リアルタイムにデ
ィスプレイ上に表示されるデータを示した図である。
FIG. 21 is a diagram showing data displayed on the display in real time as the cutting work progresses.

【図22】エラー信号を記憶するログファイルの構成を
示す図。
FIG. 22 is a diagram showing the configuration of a log file that stores error signals.

【図23】エラー信号と、そのエラー信号が発生する筈
のPLCとの関係を説明する図。
FIG. 23 is a diagram illustrating a relationship between an error signal and a PLC that should generate the error signal.

【図24】事象データを収集する制御手順を示すフロー
チャート。
FIG. 24 is a flowchart showing a control procedure for collecting event data.

【図25】実施形態に用いられているアイコンの種類を
示す図。
FIG. 25 is a diagram showing types of icons used in the embodiment.

【図26】リアルタイム表示とヒストリカルトレンド表
示とを切り分ける制御手順を示すフローチャート。
FIG. 26 is a flowchart showing a control procedure for separating real-time display and historical trend display.

【図27】リアルタイム表示とヒストリカルトレンド表
示とをリクエストするアイコンの表示画面を示す図。
FIG. 27 is a view showing a display screen of an icon requesting real-time display and historical trend display.

【図28】ヒストリカルトレンド表示の例を示す図。FIG. 28 is a diagram showing an example of a historical trend display.

【図29】エラーマップ表示の制御手順を示すフローチ
ャート。
FIG. 29 is a flowchart showing a control procedure of error map display.

【図30】エラーマップ表示の一形態を示す図。FIG. 30 is a diagram showing an example of an error map display.

【図31】図30の表示を得るための制御手順を示すフ
ローチャート。
FIG. 31 is a flowchart showing a control procedure for obtaining the display of FIG. 30.

【図32】エラーマップ表示の一形態を示す図。FIG. 32 is a diagram showing one form of error map display.

【図33】図32の表示を得るための制御手順を示すフ
ローチャート。
FIG. 33 is a flowchart showing a control procedure for obtaining the display of FIG. 32.

【符号の説明】 10 製造装置 12,14,16,18 加工装置 22 加工素材 24 巻出し装置 26 巻取り装置 28 NCフィーダ 30 シャーリング装置 33 折返し回転ローラ 34 ロータリーエンコーダ 36 管理コンピュータ P プロセス部 T 搬送部[Explanation of reference numerals] 10 manufacturing device 12, 14, 16, 18 processing device 22 processing material 24 unwinding device 26 winding device 28 NC feeder 30 shearing device 33 folding back rotary roller 34 rotary encoder 36 management computer P process unit T transport unit

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 加工素材としての連続体が加工工程を渡
り歩く生産プロセスを管理する連続体の製造工程管理装
置であって、 前記加工工程において発生した所定の事象の変化を検出
する検出手段と、 その変化の前後における種々の事象をデータとして記憶
する記憶手段と、 記憶された事象データを処理する処理手段とを具備する
製造工程管理装置。
1. A manufacturing process management apparatus for a continuous body, wherein a continuous body as a processing material manages a production process that travels across processing steps, and a detecting means for detecting a change in a predetermined event that has occurred in the processing step. A manufacturing process control apparatus comprising: a storage unit that stores various events before and after the change as data, and a processing unit that processes the stored event data.
【請求項2】 前記加工工程は複数あり、前記記憶手段
には、個々の加工工程の識別子を含めて事象データが記
憶されることを特徴とする請求項1に記載の製造工程管
理装置。
2. The manufacturing process management apparatus according to claim 1, wherein there are a plurality of processing processes, and the storage unit stores event data including an identifier of each processing process.
【請求項3】 前記検出手段は異常事象の発生を検知
し、前記記憶手段は、異常事象の発生をトリガとして前
記種々の事象データの記憶を開始することを特徴とする
請求項1に記載の製造工程管理装置。
3. The detection means detects the occurrence of an abnormal event, and the storage means starts the storage of the various event data triggered by the occurrence of the abnormal event. Manufacturing process control equipment.
【請求項4】 前記検出手段は異常事象の終了を検知
し、前記記憶手段は、異常事象の終了をトリガとして前
記種々の事象データの記憶を開始することを特徴とする
請求項1に記載の製造工程管理装置。
4. The detection means detects the end of an abnormal event, and the storage means starts the storage of the various event data triggered by the end of the abnormal event. Manufacturing process control equipment.
【請求項5】 前記記憶手段は、前記所定の事象のデー
タを、前記種々の事象データとして記憶することを特徴
とする請求項1乃至4のいずれかに記載の製造工程管理
装置。
5. The manufacturing process control apparatus according to claim 1, wherein the storage unit stores data of the predetermined event as the various event data.
【請求項6】 さらに表示手段を具備し、 この表示手段に、前記所定の事象の変化時点における前
記種々の事象データと、前記処理手段によって処理され
た前記種々の事象をデータとを併せて表示することを特
徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の製造工程管
理装置。
6. A display means is further provided, and the display means displays the various event data at the time of change of the predetermined event and the various events processed by the processing means together with the data. The manufacturing process control apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein
【請求項7】 前記種々の事象データは、前記加工工程
における環境に関するデータを含むことを特徴とする請
求項1乃至6のいずれかに記載の製造工程管理装置。
7. The manufacturing process control apparatus according to claim 1, wherein the various event data includes data relating to the environment in the processing process.
【請求項8】 加工素材としての連続体が加工工程を渡
り歩く生産プロセスを管理する連続体の製造工程管理方
法であって、 前記加工工程において発生した所定の事象の変化を検出
し、 その変化の前後における種々の事象をデータとして記憶
し、 記憶された事象データを処理することを特徴とする製造
工程管理方法。
8. A manufacturing process control method for a continuous body, wherein a continuous body as a processing material manages a production process that travels across processing steps, wherein a change in a predetermined event occurring in the processing step is detected and the change is detected. A manufacturing process management method characterized in that various events before and after are stored as data, and the stored event data is processed.
【請求項9】 前記加工工程は複数あり、個々の加工工
程の識別子を含めて前記種々の事象データが記憶される
ことを特徴とする請求項8に記載の製造工程管理方法。
9. The manufacturing process management method according to claim 8, wherein there are a plurality of the processing processes, and the various event data including the identifiers of the individual processing processes are stored.
【請求項10】 前記検出手段は異常事象の発生を検知
し、前記記憶手段は、異常事象の発生をトリガとして前
記種々の事象データの記憶を開始することを特徴とする
請求項8に記載の製造工程管理方法。
10. The method according to claim 8, wherein the detection means detects the occurrence of an abnormal event, and the storage means starts the storage of the various event data triggered by the occurrence of the abnormal event. Manufacturing process control method.
【請求項11】 異常事象の終了をトリガとして前記種
々の事象データの記憶を開始することを特徴とする請求
項8に記載の製造工程管理方法。
11. The manufacturing process control method according to claim 8, wherein the storage of the various event data is started by using an end of an abnormal event as a trigger.
【請求項12】 前記所定の事象のデータを、前記種々
の事象データの一部として記憶することを特徴とする請
求項8乃至11のいずれかに記載の製造工程管理方法。
12. The manufacturing process control method according to claim 8, wherein the data of the predetermined event is stored as a part of the various event data.
【請求項13】 前記所定の事象の変化時点における前
記種々の事象データと、前記処理された前記種々の事象
をデータとを併せて表示することを特徴とする請求項8
乃至12のいずれかに記載の製造工程管理方法。
13. The various event data at the time of change of the predetermined event and the processed various events are displayed together with the data.
13. The manufacturing process control method according to any one of 1 to 12.
【請求項14】 前記種々の事象データは、前記加工工
程における環境に関するデータを含むことを特徴とする
請求項8乃至13のいずれかに記載の製造工程管理方
法。
14. The manufacturing process control method according to claim 8, wherein the various event data includes data relating to the environment in the processing process.
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