JPH09206926A - Inert atmosphere producing device - Google Patents

Inert atmosphere producing device

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Publication number
JPH09206926A
JPH09206926A JP8013208A JP1320896A JPH09206926A JP H09206926 A JPH09206926 A JP H09206926A JP 8013208 A JP8013208 A JP 8013208A JP 1320896 A JP1320896 A JP 1320896A JP H09206926 A JPH09206926 A JP H09206926A
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JP
Japan
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inert gas
blow
pipe
processing area
inert atmosphere
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP8013208A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koichi Hoshino
浩一 星野
Kimihiko Nakamura
公彦 中村
Hirosuke Horii
宏祐 堀井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make up a stable atmosphere by an inert gas in non-contact soldering or the like using a laser beam. SOLUTION: The inert gas such as nitrogen or the like introduced from an inlet 1b into an annular blowing pipe 1 is not immediately discharged from blowing holes 1a and the gas pressure within the blowing pipe 1 is risen because blowing holes la are perpendicularly arranged to the inlet 1b. The inert gas is about uniformly blot from many blowing holes 1a, arranged with about equal intervals facing to a processing area A, into the processing area A by this pressure. The gas existing within the processing area A from the first is ejected from gaps g1, g2 arranged between an upper and lower shielding plate 3a, 3b forming the processing area A and the annular blowing pipe 1, and replaced by the inert gas. Furthermore, the stable inert atmosphere within the processing area A is always secured by continuously feeding the inert gas.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばレーザー
ビームを用いる非接触半田付け等において、不活性ガス
による雰囲気を作成する不活性雰囲気作成装置に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inert atmosphere creating apparatus for creating an atmosphere of an inert gas in, for example, non-contact soldering using a laser beam.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば次のような文献に記載されるものがあった。 文献1;特開平5−347476号公報 文献2;特開平6−77638号公報 文献1に記載されたレーザリフロー装置は、レーザービ
ームを照射して半田付けを行う装置において、不活性雰
囲気を必要とする半田付け箇所に、ヒーターで熱した窒
素ガス等の不活性ガスを、ノズルから直接吹き付けると
いうものであった。また、文献2に記載されたレーザー
半田付け装置は、不活性雰囲気を必要とする半田付け部
分を透明ケースで覆い、この透明ケースの上部の一か所
から導入管により透明ケース内に不活性ガスを注入して
透明ケース内を不活性雰囲気とし、透明ケースの外部か
ら半田付け箇所にレーザービームを照射するというもの
であった。
2. Description of the Related Art Conventionally, techniques in such a field include:
For example, there is one described in the following literature. Document 1; Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-347476 Document 2; Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-77638 The laser reflow device described in Document 1 requires an inert atmosphere in a device that irradiates a laser beam for soldering. The inert gas such as nitrogen gas heated by the heater was directly blown from the nozzle to the soldering location. Further, the laser soldering device described in Reference 2 covers a soldering portion requiring an inert atmosphere with a transparent case, and an inert gas is introduced into the transparent case from one place on the transparent case by an introduction pipe. Was injected to make the inside of the transparent case an inert atmosphere, and the soldering spot was irradiated with a laser beam from the outside of the transparent case.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
不活性雰囲気作成装置では、次のような課題があった。
前記文献1のレーザリフロー装置では1つのノズルによ
り、前記文献2のレーザー半田付け装置では1本の導入
管により、不活性ガスを半田付け等の処理領域へ注入し
ているため、処理領域の形状や被処理物の影響で、ガス
の流れを均一にすることが困難であった。このため、不
活性ガスの濃度が不安定となり、酸素等の活性ガスが一
部に残存してしまった。半田付けは、通常180℃以上
の高温で行うため、特に酸素の介在する雰囲気では、半
田や半田接合部の酸化が生じる。これは、半田付け品質
上不可とされる、不濡れ(半田接合部の接触面積が小さ
くなること)や半田ボール(半田接合部から半田が漏れ
て球状になったもの)の発生の原因となる。不濡れが生
ずると接続不良や接続強度の不足等の障害を引き起こ
し、半田ボールが生ずると短絡障害を引き起こすおそれ
があった。本発明は、前記従来技術が持っていた課題と
して、不活性雰囲気の不安定性について解決した不活性
雰囲気作成装置を提供するものである。
However, the conventional inert atmosphere creating apparatus has the following problems.
Since the inert gas is injected into the processing region for soldering or the like by one nozzle in the laser reflow device of Document 1 and by one introduction pipe in the laser soldering device of Document 2, the shape of the processing region It was difficult to make the gas flow uniform due to the influence of the material to be processed. For this reason, the concentration of the inert gas became unstable, and some of the active gas such as oxygen remained. Since soldering is usually performed at a high temperature of 180 ° C. or higher, oxidation of solder and solder joints occurs particularly in an atmosphere in which oxygen is present. This causes non-wetting (small contact area of solder joint) and solder balls (solder leaks into a spherical shape from the solder joint), which is not possible in terms of soldering quality. . If non-wetting occurs, it may cause a failure such as poor connection or insufficient connection strength, and if a solder ball occurs, it may cause a short-circuit failure. The present invention provides an inert atmosphere creating apparatus that solves the instability of an inert atmosphere as a problem of the above-mentioned conventional technique.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、第1の発明は、不活性雰囲気作成装置において、不
活性ガスによる不活性雰囲気の処理領域を形成するよう
に対向して配置された第1及び第2の遮蔽板と、前記処
理領域に前記不活性ガスを供給する複数の供給管と、前
記第1と第2の遮蔽板の間において該遮蔽板の少なくと
も一方とは間隙を有しかつ前記処理領域を取り囲むよう
に配置された環状の吹出管とを有している。そしてこの
吹出管には、前記各供給管から供給される前記不活性ガ
スを該吹出管内に導入する複数の注入口と、前記各注入
口に対してほぼ垂直でかつ前記処理領域に向かって前記
吹出管内の不活性ガスをほぼ均一に吹き付けるための複
数の吹出孔とが形成されている。第2の発明では、第1
の発明の吹出管をほぼ矩形の環状をなし、前記注入口は
前記矩形の四隅に形成され、前記複数の吹出孔は前記吹
出管における前記処理領域側の面にほぼ均一の間隔で形
成されている。第3の発明では、第1又は第2の発明の
第1及び第2の遮蔽板を光透過性の材料で形成してい
る。
In order to solve the above-mentioned problems, a first aspect of the present invention is an apparatus for producing an inert atmosphere, which is arranged so as to face each other so as to form a processing region of an inert atmosphere by an inert gas. There is a gap between the first and second shield plates, a plurality of supply pipes for supplying the inert gas to the processing region, and at least one of the shield plates between the first and second shield plates, and And an annular blowing pipe arranged so as to surround the processing region. In addition, a plurality of inlets for introducing the inert gas supplied from the supply pipes into the outlet pipes are provided in the outlet pipes, and the inlets that are substantially perpendicular to the inlets and face the processing region. A plurality of blow holes for blowing the inert gas in the blow pipe almost uniformly are formed. In the second invention, the first
The blow-out pipe of the invention of the present invention has a substantially rectangular annular shape, the injection ports are formed at the four corners of the rectangle, and the plurality of blow-out holes are formed at substantially uniform intervals on the surface of the blow-out pipe on the side of the processing region. There is. In the third invention, the first and second shielding plates of the first or second invention are formed of a light transmissive material.

【0005】第1、第2及び第3の発明によれば、以上
のように不活性雰囲気作成装置を構成したので、次のよ
うに不活性雰囲気が形成される。吹出管に形成された注
入口と吹出孔は互いに垂直になっているので、供給管か
ら注入口を通して吹出管内に供給された不活性ガスは、
直ちに吹出孔から排出されず、一旦吹出管内に充満し、
吹出管内の圧力を上昇させる。吹出管内の不活性ガスの
圧力はほぼ均一に管内に伝わるので、複数の吹出孔から
ほぼ均一に処理領域に不活性ガスが吹き出される。環状
の吹出管と第1及び第2の遮蔽板とで囲まれた処理領域
内に存在する気体は、吹出孔から吹き出される不活性ガ
スによって、吹出管と遮蔽板との間隙から押し出され、
処理領域内は不活性ガスによって充満される。更に不活
性ガスの供給を続けることにより、処理領域は常に安定
した不活性雰囲気となる。
According to the first, second and third aspects of the invention, since the inert atmosphere creating apparatus is constructed as described above, the inert atmosphere is formed as follows. Since the inlet and the outlet formed in the outlet pipe are perpendicular to each other, the inert gas supplied from the supply pipe through the inlet into the outlet pipe is
Immediately, the air is not discharged from the blowout hole, but fills the blowout pipe once,
Increase the pressure in the blow pipe. Since the pressure of the inert gas in the blowing pipe is transmitted to the inside of the pipe almost uniformly, the inert gas is blown out to the processing region from the plurality of blowing holes substantially uniformly. The gas existing in the processing region surrounded by the annular blow-out pipe and the first and second shield plates is pushed out from the gap between the blow-out pipe and the shield plate by the inert gas blown out from the blow-out holes,
The processing area is filled with an inert gas. Further, by continuing the supply of the inert gas, the processing area always becomes a stable inert atmosphere.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施形態を示す
不活性雰囲気作成装置の一部を破断した斜視図である。
この不活性雰囲気作成装置は、例えば、1辺16mm程
度の矩形の中空断面を有する角チューブを、約300m
m×400mmの長方形の環状にして、不活性雰囲気を
必要とする処理領域Aを取り囲むように形成された吹出
管1を有している。この吹出管1の処理領域Aに面した
内面1-1には、窒素ガス等の不活性ガス吹出用の吹出孔
1aが約4mm間隔で均一に配置されている。また、こ
の吹出管1の下面1-2の四隅には、不活性ガスをこの吹
出管の内部に導入するための注入口1bが設けられてい
る。この様に、吹出孔1aと注入口1bは互いに垂直に
なるように配置されている。複数の注入口1bには、図
示されていない不活性ガス供給装置からそれぞれ不活性
ガスを管内に供給する複数の供給管2が接続されてい
る。また、吹出管1が取り囲こむ処理領域Aの上部及び
下部には、吹出管1の上面1-3,下面1-2とそれぞれ5
mm程度の間隙g1,g2をもってガラス等の透明な第
1及び第2の遮蔽板(例えば、上部及び下部遮蔽板)3
a,3bが配置されている。図2は、図1の不活性雰囲
気作成装置の使用状態を示す断面図である。この図を参
照しつつ、この不活性雰囲気作成装置を使用して行う半
田付け作業を説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a partially cutaway perspective view of an inert atmosphere producing apparatus showing an embodiment of the present invention.
This inert atmosphere generating device is, for example, a square tube having a rectangular hollow cross section of about 16 mm on a side of about 300 m.
The blow-out pipe 1 has a rectangular ring shape of m × 400 mm and is formed so as to surround a processing region A that requires an inert atmosphere. On the inner surface 1-1 of the blow-out pipe 1 facing the processing area A, blow-out holes 1a for blowing out an inert gas such as nitrogen gas are uniformly arranged at intervals of about 4 mm. Further, at the four corners of the lower surface 1-2 of the blow-out pipe 1, there are provided inlets 1b for introducing an inert gas into the blow-out pipe. In this way, the blowout hole 1a and the inlet 1b are arranged so as to be perpendicular to each other. A plurality of supply pipes 2 for supplying an inert gas into the pipes from an inert gas supply device (not shown) are connected to the plurality of inlets 1b. In addition, in the upper part and the lower part of the processing area A surrounded by the blow-out pipe 1, the upper surface 1-3 and the lower surface 1-2 of the blow-out pipe 1 are respectively 5
Transparent first and second shielding plates (eg, upper and lower shielding plates) 3 made of glass or the like with gaps g1 and g2 of about mm
a and 3b are arranged. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a usage state of the inert atmosphere creating apparatus of FIG. With reference to this figure, the soldering work performed using this inert atmosphere creating apparatus will be described.

【0007】まず、半田供給、部品搭載を済ませたプリ
ント配線板4を、吹出管1、上部遮蔽板3a及び下部遮
蔽板3bで囲まれた処理領域Aに配置する。次に、不活
性ガス供給装置から供給管2を通して、窒素ガス等の不
活性ガスを注入口1bから吹出管1に供給する。注入口
1bと吹出孔1aとは互いに垂直に設けられているの
で、供給管2から矢印xの方向に注入口1bを通して供
給された不活性ガスは、吹出管1の吹出孔1aに直接吹
き付けられることはない。吹出管1の内部に導入された
不活性ガスが吹出孔1aから出る際には、矢印yのよう
に流れの方向を変える必要がある。このため、吹出管1
内に導入された不活性ガスは直ちに吹出孔1bから排出
されず、一旦吹出管1内に充満し、吹出管1の内部のガ
ス圧を上昇させる。このようにして、吹出管1の内部の
ガス圧は、注入口1bから供給される不活性ガスによ
り、ほぼ均一に上昇する。圧力の高くなった吹出管1内
の不活性ガスは、処理領域Aに向かって形成された複数
の吹出孔1aからほぼ均一に吹き出され、処理領域Aに
均一に供給される。この様に、処理領域Aの周囲から不
活性ガスが供給されるため、当初この処理領域Aに存在
していた酸素ガス等は、処理領域A内に配置されたプリ
ント配線板4や搭載された部品の形状等の影響を受ける
ことなく、吹き出された不活性ガスによって、吹出管1
と上部及び下部遮蔽板3a,3bとの間隙g1,g2を
通して追い出され、不活性ガスと入れ替わる。
First, the printed wiring board 4 on which the solder has been supplied and the components have been mounted is placed in the processing area A surrounded by the blow-out tube 1, the upper shielding plate 3a and the lower shielding plate 3b. Next, an inert gas such as nitrogen gas is supplied to the blow-out pipe 1 from the injection port 1b through the supply pipe 2 from the inert gas supply device. Since the inlet 1b and the blowout hole 1a are provided perpendicular to each other, the inert gas supplied from the supply pipe 2 through the inlet 1b in the direction of the arrow x is directly blown to the blowout hole 1a of the blowout pipe 1. There is no such thing. When the inert gas introduced into the blow-out pipe 1 exits from the blow-out hole 1a, it is necessary to change the flow direction as indicated by an arrow y. Therefore, the blow pipe 1
The inert gas introduced therein is not immediately discharged from the blowout hole 1b but once fills the blowout pipe 1 to increase the gas pressure inside the blowout pipe 1. In this way, the gas pressure inside the blow-out pipe 1 rises almost uniformly due to the inert gas supplied from the inlet 1b. The inert gas in the blowout pipe 1 having a high pressure is blown out almost uniformly from the plurality of blowout holes 1 a formed toward the processing area A, and is uniformly supplied to the processing area A. In this way, since the inert gas is supplied from the periphery of the processing area A, the oxygen gas or the like originally present in the processing area A is mounted on the printed wiring board 4 arranged in the processing area A or mounted. The blow-out pipe 1 is made by the blown out inert gas without being affected by the shape of parts.
Is expelled through the gaps g1 and g2 between the upper and lower shield plates 3a and 3b, and is replaced with the inert gas.

【0008】実験によれば、例えば、上記の構成の装置
で、不活性ガスの供給量を20l/minとした場合、
供給開始から約1分後には、この処理領域Aはほぼ完全
に不活性ガスで充満されている。また、吹出管1の吹出
孔1aを有する内面1-1から50mm以上離れた処理領
域Aの内部では、不活性ガスの流れによるガス濃度の変
化は極めて少ないことが実験結果から得られている。以
上のように、不活性ガスで処理領域Aを充満した後、更
に不活性ガスの供給を続けながら、透明な上部遮蔽板3
aの外側から半田付け箇所5に対し、光ファイバー6で
レーザビーム7を照射し、半田付けを行う。この様に、
本実施形態の不活性雰囲気作成装置は、次の(1)〜
(3)のような利点がある。
According to the experiment, for example, in the case of the apparatus having the above-mentioned configuration, when the supply amount of the inert gas is 20 l / min,
About 1 minute after the start of the supply, the processing area A is almost completely filled with the inert gas. Further, it has been obtained from the experimental results that inside the processing region A, which is 50 mm or more away from the inner surface 1-1 having the blowout hole 1a of the blowout pipe 1, the change of the gas concentration due to the flow of the inert gas is extremely small. As described above, after the processing area A is filled with the inert gas, the transparent upper shielding plate 3 is continuously supplied while further supplying the inert gas.
A laser beam 7 is irradiated from an optical fiber 6 to the soldering portion 5 from the outside of a to perform soldering. Like this
The inert atmosphere creating device of the present embodiment has the following (1)-
There are advantages such as (3).

【0009】(1)処理領域Aを取り囲む環状の吹出管
1において、不活性ガスの注入口1bと吹出孔1aを互
いに垂直になるように設けたので、注入口1bから供給
された不活性ガスは、吹出管1内のガス圧をほぼ均一に
上昇させ、作業領域Aの周囲の吹出孔1aからほぼ均一
に吹き出される。このため、作業領域Aには常に安定し
た不活性雰囲気が確保できる。 (2)矩形断面を有する角チューブを用いて、長方形の
環状に形成した吹出管1を使用したので、所要の処理領
域Aの大きさに合わせた不活性雰囲気作成装置を簡単に
制作できる。 (3)上部遮蔽板3aを光透過性の材料を用いて形成し
たので、レーザービーム7を効率良く半田付け箇所5に
照射できる。 なお、本発明は、前記実施形態に限定されず、種々の変
形が可能である。この変形例としては、例えば、次の
(a)〜(g)のようなものがある。
(1) In the annular blow-out pipe 1 surrounding the processing area A, since the inert gas inlet 1b and the blow-out hole 1a are provided so as to be perpendicular to each other, the inert gas supplied from the inlet 1b. Causes the gas pressure in the blowout pipe 1 to rise almost uniformly, and is blown out almost uniformly from the blowout holes 1a around the work area A. Therefore, a stable inert atmosphere can always be secured in the work area A. (2) Since the blowing tube 1 formed in a rectangular ring shape is used by using the rectangular tube having the rectangular cross section, it is possible to easily manufacture the inert atmosphere creating device according to the size of the required processing area A. (3) Since the upper shielding plate 3a is formed using a light-transmissive material, the laser beam 7 can be efficiently irradiated to the soldering points 5. The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. Examples of this modification include the following (a) to (g).

【0010】(a)前記実施形態では、半田付けの例を
用いて不活性雰囲気作成装置の使用例を説明したが、半
田付けに限ることはなく、セラミック封止工程、キャン
シール工程等にも使用することができる。 (b)前記実施形態の吹出管1の寸法は、一般的なプリ
ント配線板を想定したものであるが、この寸法に限定さ
れるものではなく、実際に必要となる処理領域Aの寸法
に合わせることができる。 (c)図1の吹出管1の形状は、四角形の環状を成して
いるが、四角形に限らず円形、楕円形、あるいは三角形
その他の多角形の環状を成すものでもよい。 (d)図1の吹出管1の断面は、矩形を成しているが、
矩形に限らず円形等の断面を有する管でも良い。 (e)図1の注入口1b及び供給管2は、四角形の環状
の吹出管1の四隅に配置されているが、これに限定され
るものではなく、吹出管1の形状や寸法に合わせて適宜
配置することができる。 (f)図1の注入口1b及び供給管2は、吹出管1の下
面1-2に配置されているが、これに限定されるものでは
なく、吹出管1の上面1-3に配置することもできるし、
また上面1-2及び下面1-3の両方に配置することもでき
る。 (g)図1の上部遮蔽板3a及び下部遮蔽板3bは、い
ずれも吹出管1とは密着しない状態に配置されている
が、いずれか一方を吹出管1に密着して配置しても良
い。
(A) In the above-described embodiment, the example of using the inert atmosphere creating apparatus has been described by using the example of soldering, but the invention is not limited to soldering, and may be applied to a ceramic sealing step, a can seal step, etc. Can be used. (B) The size of the blow-out pipe 1 of the above embodiment is based on the assumption of a general printed wiring board, but the size is not limited to this size and is adjusted to the size of the processing area A that is actually required. be able to. (C) The shape of the blow-out pipe 1 in FIG. 1 is a quadrangular ring, but is not limited to a quadrangle, and may be a circle, an ellipse, a triangle, or another polygonal ring. (D) The cross section of the outlet pipe 1 in FIG. 1 has a rectangular shape,
The tube is not limited to a rectangle, and may be a tube having a circular cross section. (E) The inlet 1b and the supply pipe 2 in FIG. 1 are arranged at the four corners of the quadrangular ring-shaped blow-out pipe 1, but the present invention is not limited to this, and may be adjusted according to the shape and size of the blow-out pipe 1. It can be arranged as appropriate. (F) The inlet 1b and the supply pipe 2 in FIG. 1 are arranged on the lower surface 1-2 of the blow-out pipe 1, but not limited to this, and they are arranged on the upper face 1-3 of the blow-out pipe 1. You can also
It can also be arranged on both the upper surface 1-2 and the lower surface 1-3. (G) Although both the upper shield plate 3a and the lower shield plate 3b in FIG. 1 are arranged so as not to be in close contact with the blow-out pipe 1, either one may be arranged in close contact with the blow-out pipe 1. .

【0011】[0011]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1の発明
によれば、環状の不活性ガス吹出管に、不活性ガスの注
入口と吹出孔を互いに垂直となるように形成したので、
注入口から吹出管内に導入された不活性ガスは、直ちに
吹出孔から排出されず、一旦吹出管内に充満し、吹出管
内の圧力を上昇させる。この吹出管内の不活性ガスの圧
力はほぼ均一に管内に伝わるので、処理領域を取り囲む
複数の吹出孔からほぼ均一に不活性ガスを吹き出すこと
が可能となり、処理領域内に安定した不活性雰囲気を作
成することができる。第2の発明によれば、ほぼ矩形の
環状に形成した吹出管を使用したので、第1の発明の効
果が得られるとともに、吹出管の構造が簡単であり、必
要とする処理領域に合わせた不活性雰囲気の空間を容易
に作成することができる。第3の発明によれば、第1及
び第2の遮蔽板を光透過性の材料で形成したので、第1
及び第2の発明の効果が得られるとともに、処理領域に
収納された被処理物に対して外部からレーザービーム等
を効率良く照射することができる。
As described above in detail, according to the first aspect of the invention, the inert gas injection pipe is formed so that the inert gas inlet and the outlet are perpendicular to each other.
The inert gas introduced from the inlet into the blow-out pipe is not immediately discharged from the blow-out hole, but once fills the blow-out pipe to increase the pressure in the blow-out pipe. Since the pressure of the inert gas in the blow-out pipe is almost evenly transmitted into the pipe, the inert gas can be blown out almost uniformly from the plurality of blow-out holes surrounding the processing area, and a stable inert atmosphere can be created in the processing area. Can be created. According to the second invention, since the blowing pipe formed in a substantially rectangular annular shape is used, the effect of the first invention is obtained, and the structure of the blowing pipe is simple, and the blowing pipe is adapted to the required processing area. A space with an inert atmosphere can be easily created. According to the third invention, the first and second shielding plates are made of a light-transmissive material.
The effect of the second invention can be obtained, and the object to be processed housed in the processing area can be efficiently irradiated with a laser beam or the like from the outside.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施形態を示す不活性雰囲気作成装置
の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of an inert atmosphere creation device showing an embodiment of the present invention.

【図2】使用状態における図1の不活性雰囲気作成装置
の断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the inert atmosphere creating device of FIG. 1 in a use state.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A 処理領域 g1,g2 間隙 1 吹出管 1a 吹出孔 1b 注入口 2 供給管 3a 上部遮蔽板 3b 下部遮蔽板 A Processing area g1, g2 Gap 1 Blow pipe 1a Blow hole 1b Injection port 2 Supply pipe 3a Upper shield plate 3b Lower shield plate

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 不活性ガスによる不活性雰囲気の処理領
域を形成するように対向して配置された第1及び第2の
遮蔽板と、 前記処理領域に前記不活性ガスを供給する複数の供給管
と、 前記第1と第2の遮蔽板の間において、該遮蔽板の少な
くとも一方とは間隙を有しかつ前記処理領域を取り囲む
ように配置された環状の吹出管と、 前記吹出管に形成され、前記各供給管から供給される前
記不活性ガスを該吹出管内に導入する複数の注入口と、 前記各注入口に対してほぼ垂直でかつ前記処理領域に向
かって前記吹出管内の不活性ガスをほぼ均一に吹き付け
るように前記吹出管に形成された複数の吹出孔とを、 有することを特徴とする不活性雰囲気作成装置。
1. A first shielding plate and a second shielding plate, which are arranged so as to face each other so as to form a processing region of an inert gas atmosphere, and a plurality of supplies for supplying the inert gas to the processing region. A pipe, an annular blow-out pipe disposed between the first and second shield plates and having a gap with at least one of the shield plates and surrounding the processing region; A plurality of inlets for introducing the inert gas supplied from each of the supply pipes into the outlet pipe, and an inert gas in the outlet pipe that is substantially perpendicular to the inlets and faces the processing region. An inert atmosphere creating device, comprising: a plurality of blow holes formed in the blow pipe so as to blow substantially uniformly.
【請求項2】 前記吹出管は、ほぼ矩形の環状をなし、
前記注入口は前記矩形の四隅に形成され、前記複数の吹
出孔は前記吹出管における前記処理領域側の面にほぼ均
一の間隔で形成された請求項1記載の不活性雰囲気作成
装置。
2. The blow-out pipe has a substantially rectangular ring shape,
2. The inert atmosphere creating apparatus according to claim 1, wherein the inlets are formed at four corners of the rectangle, and the plurality of outlets are formed on the surface of the outlet pipe on the side of the processing region at substantially uniform intervals.
【請求項3】 前記第1及び第2の遮蔽板は、光透過性
の材料で形成された請求項1又は請求項2記載の不活性
雰囲気作成装置。
3. The inert atmosphere creating apparatus according to claim 1, wherein the first and second shielding plates are made of a light transmissive material.
JP8013208A 1996-01-29 1996-01-29 Inert atmosphere producing device Withdrawn JPH09206926A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH11110925A (en) * 1997-09-26 1999-04-23 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Arm assembly for disk driving device and production therefor
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