JP3028787B2 - Optical module assembling method, optical module and optical module assembling apparatus - Google Patents

Optical module assembling method, optical module and optical module assembling apparatus

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JP3028787B2
JP3028787B2 JP9185157A JP18515797A JP3028787B2 JP 3028787 B2 JP3028787 B2 JP 3028787B2 JP 9185157 A JP9185157 A JP 9185157A JP 18515797 A JP18515797 A JP 18515797A JP 3028787 B2 JP3028787 B2 JP 3028787B2
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fiber
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • G02B6/4237Welding

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光モジュール組立
方法、光モジュール及び光モジュール組立装置に関し、
特にフェルールファイバとLD(半導体レーザ)との光
軸調整を容易にするために有効利用できる技術に関す
る。
The present invention relates to an optical module assembling method, an optical module and an optical module assembling apparatus.
In particular, the present invention relates to a technique that can be effectively used to facilitate optical axis adjustment between a ferrule fiber and an LD (semiconductor laser).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の技術としては、実開平5ー187
85号公報に示されている光モジュール組立装置があ
る。図9に従来の光モジュール組立装置の一例を示す。
この光モジュール組立装置は、LD901を固定してX
Y方向に移動させるXYステージ902と、LD901
から発光される光を受光するフェルールファイバ903
と、フェルールファイバ903をサポートするファイバ
ーサポート904と、フェルールファイバ903を固定
しZ方向に移動させるZステージ905と、ファイバー
サポート904の周りに等間隔で複数配置されかつファ
イバサポート904をLD901の方向に加圧する加圧
ツメ906とを含んで構成される。
2. Description of the Related Art A conventional technique is disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 5-187.
There is an optical module assembling apparatus disclosed in Japanese Patent Publication No. 85. FIG. 9 shows an example of a conventional optical module assembling apparatus.
This optical module assembling apparatus fixes the LD 901 and
XY stage 902 for moving in the Y direction, LD 901
Fiber 903 for receiving light emitted from
A fiber support 904 for supporting the ferrule fiber 903, a Z stage 905 for fixing the ferrule fiber 903 and moving the fiber support 903 in the Z direction, and a plurality of fiber supports 904 arranged at equal intervals around the fiber support 904 and moving the fiber support 904 toward the LD 901. And a pressing claw 906 for applying pressure.

【0003】従来の光モジュール組立装置では、LD9
01を発光させながらXYステージ902とZステージ
905を移動させ、フェルールファイバ903が受光し
た光の強度が最大になるように光軸調整を行い、光軸調
整後、加圧ツメ906でファイバサポート904を均等
に加圧しYAGレーザでファイバサポート904とフェ
ルールファイバ903を溶接固定する。
In a conventional optical module assembling apparatus, an LD 9
The XY stage 902 and the Z stage 905 are moved while emitting light 01, and the optical axis is adjusted so that the intensity of the light received by the ferrule fiber 903 is maximized. Is pressed uniformly, and the fiber support 904 and the ferrule fiber 903 are welded and fixed by the YAG laser.

【0004】次に、フェルールファイバ903をZステ
ージ905から外して、加圧ツメ906で加圧しながら
光軸調整を行い、再びファイバーサポート904を均等
に加圧して溶接固定を行い製品を組み立てる。
[0004] Next, the ferrule fiber 903 is detached from the Z stage 905, the optical axis is adjusted while pressing with the pressing claw 906, and the fiber support 904 is again pressed evenly and fixed by welding to assemble the product.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の光モジュール組
立装置は、ファイバサポートとフェルールファイバの溶
接固定後、ファイバサポートとLDとの接触面を密着さ
せるため、ファイバーサポートを加圧ツメで加圧したま
ま光軸調整を行なっている。加圧しながら光軸調整を行
うと、摩擦力の影響でLDがスムーズに動かなくなり、
光軸調整をスムーズに行うことができなかったり最悪の
場合には光軸調整ができないという問題点があった。
In the conventional optical module assembling apparatus, after the fiber support and the ferrule fiber are welded and fixed, the fiber support is pressed with a pressing claw in order to bring the contact surface between the fiber support and the LD into close contact. The optical axis is adjusted as it is. If the optical axis is adjusted while applying pressure, the LD will not move smoothly due to the frictional force,
There has been a problem that the optical axis cannot be adjusted smoothly or in the worst case, the optical axis cannot be adjusted.

【0006】よって、本発明では、ファイバサポートを
加圧したままで光モジュールの光軸調整を確実に行い、
かつ光軸調整に要する時間を短縮することができる技術
を提供しようとするものである。
Therefore, according to the present invention, the optical axis of the optical module is reliably adjusted while the fiber support is being pressed.
Another object of the present invention is to provide a technique capable of reducing the time required for optical axis adjustment.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明では、フェルールファイバのファイバーサポ
ートをLD(半導体レーザ)に対して加圧状態で接触さ
せつつ光軸調整を行う工程を有する光モジュール組立方
法において、ファイバーサポートとLDとの接触面にエ
アーを供給しながら光軸調整を行う工程を含む方法とし
た。ここで、ファイバーサポートとLDとの接触面にエ
アーを供給する際に、ファイバーサポートがLDから微
少量浮く状態に又は接触抵抗が低減する状態となるよう
にエアー供給圧力を制御する方法とするのが大変好適で
ある。その場合、ファイバーサポート又はLDの何れか
一方から他方に向けてエアーを供給することもできる。
また、ファイバーサポート又はLDの何れか一方にエア
ー供給口を設けておき、そのエアー供給口を利用して一
方から他方に向けてエアーを供給することもできる。本
発明に係る光モジュールでは、フェルールファイバをサ
ポートする筒部と、LDへの接触面となるフランジ部と
を有するファイバーサポートを備え、フランジ部に、L
Dとの接触面に向かってエアーを供給するためのエアー
供給口を1つ又は複数設けてある構成とした。その場
合、フランジ部のLDとの接触面に、エアー供給口とつ
ながる円周状の溝を設けた構成とすることもできる。さ
らに、本発明に係る光モジュールでは、フェルールファ
イバをサポートするファイバサポートとの接触面に向か
ってエアーを供給するためのエアー供給口を1つ又は複
数設けたLDを備えている構成を採用することができ
る。その場合、エアー供給口とつながる円周状の溝をフ
ァイバサポートとの接触面に設けてある構成とすること
もできる。本発明に係る光モジュール組立装置では、L
Dを固定するLDホルダと、そのLDホルダを固定して
XY方向に移動させるXYステージと、LDとの接触面
に向かってエアーを供給するエアー供給口を1つ又は複
数個フランジ面に有しかつエアー供給口とつながる円周
状の溝をLDとの接触面に有するファイバサポートと、
そのファイバサポートにサポートされかつLDから発光
された光を受光するフェルールファイバと、フェルール
ファイバを固定しZ方向に移動させるZステージと、フ
ァイバサポートの周りに放射状に均等な間隔で配置され
かつファイバサポートのエアー供給口にエアーを供給す
るエアー供給口をファイバサポートとの接触面に有しか
つファイバサポートをLDの方向に加圧する加圧ツメと
を含む構成とした。さらに、本発明に係る光モジュール
組立装置では、フェルールファイバと、そのフェルール
ファイバをサポートするファイバサポートと、フェルー
ルファイバに向かって投光しかつファイバサポートとの
接触面に向かってエアーを供給するエアー供給口を1つ
又は複数個有しかつエアー供給口とつながる円周状の溝
をファイバサポートとの接触面に有するLDと、そのL
Dを固定しかつLDのエアー供給口にエアーを供給する
ためのエアー供給口を有するLDホルダと、LDホルダ
を固定してXY方向に移動させるXYステージと、フェ
ルールファイバを固定しZ方向に移動させるZステージ
と、ファイバサポートの周りに放射状に均等な間隔で配
置されかつファイバサポートをLDの方向に加圧する加
圧ツメとを含む構成とした。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention has a step of adjusting an optical axis while bringing a fiber support of a ferrule fiber into contact with an LD (semiconductor laser) in a pressurized state. The method for assembling an optical module includes a step of adjusting the optical axis while supplying air to the contact surface between the fiber support and the LD. Here, when supplying air to the contact surface between the fiber support and the LD, a method of controlling the air supply pressure such that the fiber support floats slightly from the LD or the contact resistance is reduced. Is very suitable. In this case, air can be supplied from one of the fiber support and the LD to the other.
Alternatively, an air supply port may be provided in one of the fiber support and the LD, and air may be supplied from one side to the other using the air supply port. The optical module according to the present invention includes a fiber support having a cylindrical portion for supporting a ferrule fiber and a flange portion serving as a contact surface with the LD.
One or more air supply ports for supplying air toward the contact surface with D were provided. In that case, a configuration in which a circumferential groove connected to the air supply port is provided on the contact surface of the flange portion with the LD may be adopted. Furthermore, the optical module according to the present invention employs a configuration including an LD provided with one or more air supply ports for supplying air toward a contact surface with a fiber support that supports a ferrule fiber. Can be. In that case, a configuration in which a circumferential groove connected to the air supply port is provided on the contact surface with the fiber support may be adopted. In the optical module assembling apparatus according to the present invention, L
D has an LD holder for fixing D, an XY stage for fixing the LD holder and moving in the XY direction, and one or more air supply ports for supplying air toward the contact surface with the LD on the flange surface. And a fiber support having a circumferential groove connected to the air supply port on a contact surface with the LD,
A ferrule fiber supported by the fiber support and receiving light emitted from the LD, a Z stage for fixing the ferrule fiber and moving in the Z direction, and a fiber support arranged radially and evenly around the fiber support And a pressure claw for pressing the fiber support in the direction of the LD. Further, in the optical module assembling apparatus according to the present invention, a ferrule fiber, a fiber support that supports the ferrule fiber, and an air supply that emits light toward the ferrule fiber and supplies air toward a contact surface with the fiber support An LD having one or a plurality of ports and having a circumferential groove connected to the air supply port on a contact surface with the fiber support;
An LD holder having an air supply port for fixing D and supplying air to the air supply port of the LD, an XY stage for fixing the LD holder and moving in the XY direction, and fixing a ferrule fiber and moving in the Z direction And a pressing claw radially arranged around the fiber support at equal intervals and pressing the fiber support in the direction of the LD.

【0008】本発明の方法によれば、フェルールファイ
バのファイバーサポートをLDに対して加圧状態で接触
させつつ光軸調整を行う際に、ファイバーサポートとL
Dとの接触面にエアーを供給しながら行うようにしして
いるので、両者の接触抵抗を小さくすることができ、そ
の分、光軸調整作業が行いやすくなる。即ち、例えばフ
ェルールファイバとファイバサポートの溶接固定後、L
Dを発光させながらXYステージを移動させ、フェルー
ルファイバが受光する光の強度が最大になるように加圧
ツメでファイバサポートを加圧しながら光軸調整を行う
時に、LDとファイバサポートの接触面にエアーを供給
しエアーによる薄膜を形成することによって、LDをス
ムーズに動かすことができ、光軸調整を確実にかつ短時
間で行うことができる。
According to the method of the present invention, when the optical axis is adjusted while the fiber support of the ferrule fiber is brought into contact with the LD in a pressurized state, the fiber support and the L are adjusted.
Since air is supplied to the contact surface with D, the contact resistance between the two can be reduced, and the optical axis adjustment work can be performed easily. That is, for example, after welding and fixing the ferrule fiber and the fiber support, L
When the XY stage is moved while emitting D, and the optical axis is adjusted while pressing the fiber support with a pressing claw so that the intensity of light received by the ferrule fiber is maximized, the contact surface between the LD and the fiber support By supplying air and forming a thin film by air, the LD can be moved smoothly, and the optical axis adjustment can be performed reliably and in a short time.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発
明の実施の形態1に係る光モジュール組立装置の斜視図
であり、図2は図1に示すファイバーサポートと加圧ツ
メ先端部の分解斜視図、図3はファイバーサポートのL
Dとの接触面を示す底面図、図4は光モジュール組立装
置による光軸調整作業時の側面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an optical module assembling apparatus according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a fiber support and a tip portion of a pressing claw shown in FIG. 1, and FIG.
D is a bottom view showing a contact surface with D, and FIG. 4 is a side view at the time of optical axis adjustment work by the optical module assembling apparatus.

【0010】(実施の形態1)本実施の形態に係る光モ
ジュール組立装置は、図1に示すように、LD101を
固定するLDホルダ102と、LDホルダ102を固定
してXY方向に移動させるXYステージ103と、LD
101との接触面に向かってエアーを供給するエアー供
給口104を放射状に均等な間隔でフランジ部分106
2に有しかつエアー供給口104をつなぐ溝105をL
D101との接触面に有するファイバサポート106
と、ファイバサポート106にサポートされかつLD1
01から発光された光を受光するフェルールファイバ1
07と、フェルールファイバ107を固定しZ方向に移
動させるZステージ108と、ファイバサポート106
の周りに放射状に均等な間隔で配置されかつファイバサ
ポート106のエアー供給口104にエアーを供給する
エアー供給口109をファイバサポート106との接触
面に有しかつファイバサポート106をLD101の方
向に加圧する加圧ツメ110とを含んで構成される。
(Embodiment 1) As shown in FIG. 1, an optical module assembling apparatus according to the present embodiment includes an LD holder 102 for fixing an LD 101 and an XY for fixing the LD holder 102 and moving the LD holder 102 in the XY directions. Stage 103 and LD
The air supply ports 104 for supplying air toward the contact surface with the air supply 101 are radially spaced at equal intervals by flange portions 106.
2 and the groove 105 connecting the air supply port 104 is L
Fiber support 106 on the contact surface with D101
LD1 supported by the fiber support 106
Ferrule fiber 1 for receiving light emitted from 01
07, a Z stage 108 for fixing the ferrule fiber 107 and moving it in the Z direction, and a fiber support 106
And an air supply port 109 for supplying air to the air supply port 104 of the fiber support 106 at a contact surface with the fiber support 106, and the fiber support 106 is applied in the direction of the LD 101. And a pressing claw 110 for pressing.

【0011】ここで、ファイバサポート106と加圧ツ
メ110の構造について、図2および図3を用いて詳細
に説明する。図2はファイバサポート106と加圧ツメ
110の先端部の分解斜視図であり、図3はファイバサ
ポート106のLD101との接触面の底面図である。
Here, the structures of the fiber support 106 and the pressing claw 110 will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 2 is an exploded perspective view of the fiber support 106 and the distal end of the pressing claw 110, and FIG. 3 is a bottom view of the contact surface of the fiber support 106 with the LD 101.

【0012】ファイバサポート106は、フェルールフ
ァイバ107を保持する筒状部1061と、フランジ部
1062とを有する。そして、そのフランジ部1062
部分に、放射状に均等な間隔でLD101との接触面に
向かってエアーを供給するためのエアー供給口104が
設けられている(図2参照)。エアー供給口104は等
間隔で3つ設けられ、フランジ部1062の厚さ方向に
貫通している。さらに、このフランジ部1062のLD
101との接触面には、エアー供給口104より供給さ
れたエアーの圧力がファイバサポート106とLD10
1との接触面に均等にかかるようにするために、各エア
ー供給口104をつなぐ溝105が設けられている(図
3参照)。
The fiber support 106 has a cylindrical portion 1061 for holding the ferrule fiber 107 and a flange portion 1062. Then, the flange portion 1062
An air supply port 104 for supplying air toward the contact surface with the LD 101 at radially uniform intervals is provided in the portion (see FIG. 2). Three air supply ports 104 are provided at equal intervals and penetrate in the thickness direction of the flange portion 1062. Further, the LD of the flange portion 1062
The pressure of the air supplied from the air supply port 104 is applied to the contact surface with the fiber support 106 and the LD 10.
A groove 105 connecting the air supply ports 104 is provided so as to evenly cover the contact surface with the contact surface 1 (see FIG. 3).

【0013】一方、各エアー供給口104に対して実際
にエアーを供給する手段としては、ここでは、各加圧ツ
メ110を介して供給する例を示している。即ち、各加
圧ツメ110の先端には、ファイバサポート106のエ
アー供給口104にエアーを供給するエアー供給口10
9がそれぞれ設けられている(図2)。この加圧ツメの
エアー供給口109は、いわゆるエアーの吐出口であ
り、加圧ツメ110の内部を通ってそのエアー供給口1
09から吐出される。したがって、加圧ツメ110に
は、図示しないエアーポンプからのホースが接続され
る。また、加圧ツメ110先端のエアー供給口109
は、加圧ツメ110でファイバーサポート106を加圧
する際に、そのファイバーサポート106のエアー供給
口104と接続されるように設計されている。
On the other hand, as a means for actually supplying air to each of the air supply ports 104, an example in which the air is supplied through each of the pressure claws 110 is shown. That is, the air supply port 10 for supplying air to the air supply port 104 of the fiber support 106 is provided at the tip of each pressure claw 110.
9 are provided (FIG. 2). The air supply port 109 of the pressure claw is a so-called air discharge port, and passes through the inside of the pressure claw 110 to form the air supply port 1.
09 is discharged. Therefore, a hose from an air pump (not shown) is connected to the pressing claw 110. In addition, the air supply port 109 at the tip of the pressure claw 110
Is designed to be connected to the air supply port 104 of the fiber support 106 when the fiber support 106 is pressurized by the pressing claw 110.

【0014】この実施の形態1に係るに光モジュール組
立装置では、LD101とフェルールファイバ107の
XYステージ103およびZステージ108による光軸
調整後、フェルールファイバ107とファイバサポート
106を溶接固定し、その後XYステージ103を動か
して光軸調整を行うが、この時、加圧ツメ110でファ
イバサポート106のエアー供給口104にエアーを供
給しながら加圧をして光軸調整を行うため、ファイバー
サポート106とLD101との接触面に供給されたエ
アーによってエアーの薄膜111が形成され、LD10
1とファイバサポート106との接触面の摩擦抵抗を小
さくすることができる。これにより、LD101をスム
ーズに動かすことができ、加圧ツメ110で加圧したま
ま光軸調整を確実に短時間で行うことができる。
In the optical module assembling apparatus according to the first embodiment, after adjusting the optical axis of the LD 101 and the ferrule fiber 107 by the XY stage 103 and the Z stage 108, the ferrule fiber 107 and the fiber support 106 are fixed by welding, and then XY. The optical axis is adjusted by moving the stage 103. At this time, the optical axis is adjusted by applying pressure while supplying air to the air supply port 104 of the fiber support 106 with the pressing claw 110. The air supplied to the contact surface with the LD 101 forms an air thin film 111, and the LD 10
The frictional resistance of the contact surface between the fiber support 1 and the fiber support 106 can be reduced. Accordingly, the LD 101 can be moved smoothly, and the optical axis adjustment can be reliably performed in a short time while being pressed by the pressing claw 110.

【0015】また、光軸調整後のLD101とファイバ
サポート106との溶接は、ファイバサポート106へ
のエアーの供給を止め、LD101とファイバーサポー
ト106を密着させて行うが、エアーの薄膜111の厚
さを適切な厚さにすることによって、エアーの薄膜11
1の厚さ分の変動によるZ方向の光軸ずれの影響をほと
んど受けないようにすることができる。
The welding of the LD 101 and the fiber support 106 after the optical axis adjustment is performed by stopping the supply of air to the fiber support 106 and bringing the LD 101 and the fiber support 106 into close contact with each other. To an appropriate thickness, the air thin film 11
It is possible to make it hardly affected by the deviation of the optical axis in the Z direction due to the fluctuation of the thickness of 1.

【0016】さらに、このようにエアーを供給すること
によって、ファイバーサポート106とLD101との
間の接触面間に万一小さなゴミや塵埃などが存在してい
ても、これを吹き飛ばして良好な溶接形態とすることが
できる利点も生じる。
Further, by supplying air as described above, even if small dust or dust is present between the contact surfaces between the fiber support 106 and the LD 101, the dust is blown off to obtain a good welding form. There is also an advantage that can be made.

【0017】[0017]

【実施の形態2】次に、本発明の実施の形態2について
図5〜図8を参照して説明する。図5は、本発明の実施
の形態2に係る光モジュール組立装置を示す斜視図であ
る。この図5に示す光モジュール組立装置は、フェルー
ルファイバ501と、そのフェルールファイバ501を
サポートするファイバサポート502と、フェルールフ
ァイバ501に向かって投光しかつファイバサポート5
02との接触面に向かってエアーを供給するエアー供給
口503を放射状に均等な間隔で有しかつエアー供給口
503をつなぐ溝504をファイバサポート502との
接触面に有するLD505と、そのLD505を固定し
かつLD505のエアー供給口503にエアーを供給す
るエアー供給口506を有するLDホルダ507と、L
Dホルダ507を固定してXY方向に移動させるXYス
テージ508と、フェルールファイバ501を固定しZ
方向に移動させるZステージ509と、ファイバサポー
ト502の周りに放射状に均等な間隔で配置されかつフ
ァイバサポート502をLD505の方向に加圧する加
圧ツメ510とを含む構成としている。
Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a perspective view showing an optical module assembling apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. The optical module assembling apparatus shown in FIG. 5 includes a ferrule fiber 501, a fiber support 502 that supports the ferrule fiber 501, and a light source that projects light toward the ferrule fiber 501.
An LD 505 having air supply ports 503 for supplying air toward a contact surface with the fiber support 502 at radially uniform intervals, and a groove 504 connecting the air supply ports 503 on the contact surface with the fiber support 502, and the LD 505. An LD holder 507 fixed and having an air supply port 506 for supplying air to an air supply port 503 of the LD 505;
An XY stage 508 for fixing the D holder 507 and moving in the XY directions, and a ferrule fiber 501 for fixing the Z
A Z stage 509 for moving the fiber support 502 in the direction and a pressing claw 510 that is radially arranged around the fiber support 502 at an equal interval and presses the fiber support 502 in the direction of the LD 505.

【0018】ここで、LD505とLDホルダ507の
構造について、図6および図7を用いて詳細に説明す
る。図6はLD505とLDホルダ507の分解斜視図
であり、図7はLD505のファイバサポート502と
の接触面を示す斜視図である。
Here, the structures of the LD 505 and the LD holder 507 will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 6 is an exploded perspective view of the LD 505 and the LD holder 507, and FIG. 7 is a perspective view showing a contact surface of the LD 505 with the fiber support 502.

【0019】LD505には、ファイバサポート502
との接触面に放射状に均等な間隔でファイバサポート5
02との接触面に向かってエアーを供給するエアー供給
口503が設けられており(図6)、かつ、ファイバサ
ポート502との接触面にはエアー供給口503より供
給されたエアーの圧力がLD505とファイバサポート
502との接触面に均等にかかるようにエアー供給口5
03をつなぐ溝504が設けられている(図7)。
The LD 505 includes a fiber support 502
Fiber support 5 at radially uniform intervals on the contact surface with
An air supply port 503 for supplying air toward the contact surface with the fiber support 502 is provided (FIG. 6), and the pressure of the air supplied from the air supply port 503 is supplied to the LD 505 on the contact surface with the fiber support 502. Air supply port 5 so as to evenly cover the contact surface between
A groove 504 connecting the first and second channels 03 is provided (FIG. 7).

【0020】LD505のエアー供給口503は、その
外周面に開口する横穴5031と、LD505の上面
(ファーバーサポート502との接触面)に開口する縦
穴5032とからなる。
The air supply port 503 of the LD 505 includes a horizontal hole 5031 opened on the outer peripheral surface thereof and a vertical hole 5032 opened on the upper surface of the LD 505 (contact surface with the fiber support 502).

【0021】一方、LDホルダ507には、LD505
のエアー供給口503にエアーを供給するためのエアー
供給口506が3つ設けられている(図6)。このLD
ホルダ507のエアー供給口503は、LDホルダ50
7の周壁部分を貫通する形態で設けられており、LD5
05のエアー供給口503における横穴5031に連通
する構成としている。なお、LDホルダ507の横穴5
031には、図示しないエアーポンプにからのエアー供
給管5061が接続されている。
On the other hand, the LD holder 507 has an LD 505
Three air supply ports 506 for supplying air to the air supply port 503 are provided (FIG. 6). This LD
The air supply port 503 of the holder 507 is
7 is provided so as to penetrate the peripheral wall portion of LD5.
05 is connected to the horizontal hole 5031 in the air supply port 503. Note that the side hole 5 of the LD holder 507
031 is connected to an air supply pipe 5061 from an air pump (not shown).

【0022】この実施の形態2に係る光モジュール組立
装置では、LD505とフェルールファイバ501のX
Yステージ508およびZステージ509による光軸調
整後、フェルールファイバ501とファイバサポート5
02を溶接固定し、その後、XYステージ508を動か
して光軸調整を行うが、LDホルダ507のエアー供給
口506よりLD505のエアー供給口503にエアー
を供給しながら加圧ツメ510で加圧をして光軸調整を
行うため、LD505とファイバーサポート502との
接触面に供給されたエアーによってエアーの薄膜511
が形成され、LD505とファイバサポート502との
接触面の摩擦抵抗を小さくすることができる。これによ
り、LD505をスムーズに動かすことができ、加圧ツ
メ510で加圧したまま光軸調整を確実に短時間で行う
ことができる。
In the optical module assembling apparatus according to the second embodiment, the LD 505 and the X
After optical axis adjustment by Y stage 508 and Z stage 509, ferrule fiber 501 and fiber support 5
02 is fixed by welding, and then the XY stage 508 is moved to adjust the optical axis. The pressurizing claw 510 supplies air from the air supply port 506 of the LD holder 507 to the air supply port 503 of the LD 505. In order to adjust the optical axis, the air supplied to the contact surface between the LD 505 and the fiber support 502 is used to adjust the optical thin film 511.
Is formed, and the frictional resistance of the contact surface between the LD 505 and the fiber support 502 can be reduced. Thus, the LD 505 can be moved smoothly, and the optical axis adjustment can be performed reliably in a short time while the pressure is applied by the pressing claw 510.

【0023】また、光軸調整後のLD505とファイバ
サポート502の溶接は、LD505へのエアーの供給
を止め、LD505とファイバーサポート502を密着
させて行うが、エアーの薄膜508の厚さを適切な厚さ
にすることによって、エアーの薄膜508の厚さ分の変
動によるZ方向の光軸ずれの影響をほとんど受けないよ
うにすることができる。
The welding of the LD 505 and the fiber support 502 after the optical axis adjustment is performed by stopping the supply of air to the LD 505 and bringing the LD 505 and the fiber support 502 into close contact with each other. By setting the thickness, the influence of the optical axis shift in the Z direction due to the variation of the thickness of the air thin film 508 can be almost eliminated.

【0024】さらに、本実施の形態によれば、LD50
5及びLD507にそれぞれエアー供給口を設けている
ので、エアーの力を利用してLD505をLD507か
ら取り出しやすくすることもできる。
Further, according to the present embodiment, the LD 50
Since the air supply port is provided in each of the LD 5 and the LD 507, the LD 505 can be easily removed from the LD 507 by using the force of air.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ファイ
バーサポートとLDとの接触面にエアーを供給すること
によって、ファイバサポートを加圧したままで光モジュ
ールの光軸調整を確実に行い、かつ光軸調整に要する時
間を短縮することができる。この理由は、LDとファイ
バサポートの接触面に供給されたエアーによって、それ
らLDとファイバサポートとの間にエアーの薄膜が形成
されるため、LDとファイバーサポートとの接触面の摩
擦抵抗が小さくなり、ファイバサポートを加圧したまま
でLDをスムーズに動かすことができるからである。
As described above, according to the present invention, by supplying air to the contact surface between the fiber support and the LD, the optical axis of the optical module can be surely adjusted while the fiber support is pressed. In addition, the time required for optical axis adjustment can be reduced. The reason is that the air supplied to the contact surface between the LD and the fiber support forms a thin film of air between the LD and the fiber support, thereby reducing the frictional resistance of the contact surface between the LD and the fiber support. This is because the LD can be smoothly moved while the fiber support is being pressed.

【0026】また、フェルールファイバとファイバサポ
ートとの溶接固定後、フェルールファイバが受光する光
の強度が最大になるように光軸調整を行う時に、加圧ツ
メでファイバサポートのエアー供給口にエアーを供給し
て加圧をしながら光軸調整を行う場合でも、ファイバー
サポートとLDとの接触面には供給されたエアーによる
薄膜が形成され、LDをスムーズに動かすことができる
ため、光軸調整を確実にかつ短時間で行うことができ
る。その場合、特に、加圧ツメを利用することによっ
て、エアーの供給をより有効に行うことができる。
After the ferrule fiber and the fiber support are fixed by welding, when the optical axis is adjusted so that the intensity of light received by the ferrule fiber is maximized, air is supplied to the air supply port of the fiber support with a pressure claw. Even when the optical axis is adjusted while supplying and applying pressure, a thin film is formed by the supplied air on the contact surface between the fiber support and the LD, and the LD can be moved smoothly. It can be performed reliably and in a short time. In that case, the supply of air can be performed more effectively by using the pressure claw.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態1に係る光モジュール組立
装置を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an optical module assembling apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】同実施の形態1に係る光モジュール組立装置の
ファイバサポートと加圧ツメの先端部の分解斜視図であ
る。
FIG. 2 is an exploded perspective view of a fiber support and a distal end of a pressing claw of the optical module assembling apparatus according to the first embodiment.

【図3】同実施の形態1に係る光モジュール組立装置の
ファイバサポートのLDとの接触面の底面図である。
FIG. 3 is a bottom view of a contact surface between the fiber support and the LD of the optical module assembling apparatus according to the first embodiment;

【図4】同実施の実施の形態1に係る光モジュール組立
装置の加圧ツメで加圧をしながら光軸調整を行っている
ときの側面図である。
FIG. 4 is a side view of the optical module assembling apparatus according to the first embodiment when the optical axis is adjusted while applying pressure with a pressing claw.

【図5】本発明の実施の形態2に係る光モジュール組立
装置を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing an optical module assembling apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.

【図6】同実施の形態2に係る光モジュール組立装置の
LDとLDホルダの分解斜視図である。
FIG. 6 is an exploded perspective view of an LD and an LD holder of the optical module assembling apparatus according to the second embodiment.

【図7】同実施の形態2に係る光モジュール組立装置の
LDの斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view of an LD of the optical module assembling apparatus according to the second embodiment.

【図8】同実施の形態2に係る光モジュール組立装置の
加圧ツメで加圧をしながら光軸調整を行っているときの
側面図である。
FIG. 8 is a side view of the optical module assembling apparatus according to the second embodiment when the optical axis is adjusted while applying pressure with a pressing claw.

【図9】従来の光モジュール組立装置の一例を示す斜視
図である。
FIG. 9 is a perspective view showing an example of a conventional optical module assembling apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101、501、901 LD 102、507 LDホルダ 103、508、902 XYステージ 104、109、503、506 エアー供給口 105、504 溝 106、502、904 ファイバサポート 107、501、903 フェルールファイバ 108、509、905 Zステージ 110、510、906 加圧ツメ 111、511 エアーの薄膜 1061 筒部 1062 フランジ部 5031 横溝 5032 縦溝 5061 エアー供給管 101, 501, 901 LD 102, 507 LD holder 103, 508, 902 XY stage 104, 109, 503, 506 Air supply port 105, 504 Groove 106, 502, 904 Fiber support 107, 501, 903 Ferrule fiber 108, 509, 905 Z stage 110, 510, 906 Pressing claw 111, 511 Air thin film 1061 Cylindrical part 1062 Flange part 5031 Horizontal groove 5032 Vertical groove 5061 Air supply pipe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/42 G02B 7/00 H01S 5/30 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02B 6/42 G02B 7/00 H01S 5/30

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 フェルールファイバのファイバーサポー
トをLD(半導体レーザ)に対して加圧状態で接触させ
つつ光軸調整を行う工程を有する光モジュール組立方法
において、前記ファイバーサポートとLDとの接触面に
エアーを供給しながら光軸調整を行う工程を含むことを
特徴とする、光モジュール組立方法。
1. A method for assembling an optical module, comprising: adjusting an optical axis while bringing a fiber support of a ferrule fiber into contact with an LD (semiconductor laser) in a pressurized state. An optical module assembling method, comprising a step of adjusting an optical axis while supplying air.
【請求項2】 前記ファイバーサポートとLDとの接触
面にエアーを供給する際に、ファイバーサポートがLD
から微少量浮く状態に又は接触抵抗が低減する状態とな
るようにエアー供給圧力を制御することを特徴とする、
請求項1に記載の光モジュール組立方法。
2. When supplying air to a contact surface between the fiber support and the LD, the fiber support
Characterized in that the air supply pressure is controlled so as to be in a state in which the contact resistance is reduced or in a state in which the contact resistance is reduced,
An optical module assembling method according to claim 1.
【請求項3】 前記ファイバーサポート又はLDの何れ
か一方から他方に向けてエアーを供給することを特徴と
する、請求項1又は2に記載の光モジュール組立方法。
3. The optical module assembling method according to claim 1, wherein air is supplied from one of the fiber support and the LD to the other.
【請求項4】 前記ファイバーサポート又はLDの何れ
か一方にエアー供給口を設けておき、そのエアー供給口
を利用して一方から他方に向けてエアーを供給すること
を特徴とする、請求項3に記載の光モジュール組立方
法。
4. An air supply port is provided in one of the fiber support and the LD, and air is supplied from one to the other using the air supply port. The optical module assembling method according to 1.
【請求項5】 フェルールファイバをサポートする筒部
と、LDへの接触面となるフランジ部とを有するファイ
バーサポートを備え、前記フランジ部に、LDとの接触
面に向かってエアーを供給するためのエアー供給口を1
つ又は複数設けてあることを特徴とする、光モジュー
ル。
5. A fiber support having a cylindrical portion supporting a ferrule fiber and a flange portion serving as a contact surface with the LD, for supplying air to the flange portion toward a contact surface with the LD. 1 air supply port
An optical module, wherein one or more optical modules are provided.
【請求項6】 前記フランジ部の前記LDとの接触面
に、前記エアー供給口とつながる円周状の溝を設けたこ
とを特徴とする、請求項5に記載の光モジュール。
6. The optical module according to claim 5, wherein a circumferential groove connected to the air supply port is provided on a contact surface of the flange portion with the LD.
【請求項7】 フェルールファイバをサポートするファ
イバサポートとの接触面に向かってエアーを供給するた
めのエアー供給口を1つ又は複数設けたLDを備えてい
ることを特徴とする、光モジュール。
7. An optical module, comprising: an LD provided with one or more air supply ports for supplying air toward a contact surface with a fiber support that supports a ferrule fiber.
【請求項8】 前記エアー供給口とつながる円周状の溝
を前記ファイバサポートとの接触面に設けてあることを
特徴とする、請求項7に記載の光モジュール。
8. The optical module according to claim 7, wherein a circumferential groove connected to the air supply port is provided on a contact surface with the fiber support.
【請求項9】 LDを固定するLDホルダと、前記LD
ホルダを固定してXY方向に移動させるXYステージ
と、LDとの接触面に向かってエアーを供給するエアー
供給口を1つ又は複数個フランジ面に有しかつ前記エア
ー供給口とつながる円周状の溝を前記LDとの接触面に
有するファイバサポートと、そのファイバサポートにサ
ポートされかつ前記LDから発光された光を受光するフ
ェルールファイバと、前記フェルールファイバを固定し
Z方向に移動させるZステージと、前記ファイバサポー
トの周りに放射状に均等な間隔で配置されかつ前記ファ
イバサポートの前記エアー供給口にエアーを供給するエ
アー供給口を前記ファイバサポートとの接触面に有しか
つ前記ファイバサポートを前記LDの方向に加圧する加
圧ツメとを含んで構成されることを特徴とする光モジュ
ール組立装置。
9. An LD holder for fixing an LD, and the LD
An XY stage for fixing the holder and moving in the XY directions, and one or more air supply ports for supplying air toward the contact surface with the LD on the flange surface, and a circumferential shape connected to the air supply port A fiber support having a groove on the contact surface with the LD, a ferrule fiber supported by the fiber support and receiving light emitted from the LD, and a Z stage for fixing the ferrule fiber and moving the ferrule fiber in the Z direction. An air supply port that is radially arranged around the fiber support and that supplies air to the air supply port of the fiber support at a contact surface with the fiber support; and An optical module assembling apparatus comprising: a pressing claw for pressing in the direction of.
【請求項10】 フェルールファイバと、そのフェルー
ルファイバをサポートするファイバサポートと、前記フ
ェルールファイバに向かって投光しかつ前記ファイバサ
ポートとの接触面に向かってエアーを供給するエアー供
給口を1つ又は複数個有しかつ前記エアー供給口とつな
がる円周状の溝を前記ファイバサポートとの接触面に有
するLDと、そのLDを固定しかつLDのエアー供給口
にエアーを供給するためのエアー供給口を有するLDホ
ルダと、前記LDホルダを固定してXY方向に移動させ
るXYステージと、前記フェルールファイバを固定しZ
方向に移動させるZステージと、前記ファイバサポート
の周りに放射状に均等な間隔で配置されかつ前記ファイ
バサポートを前記LDの方向に加圧する加圧ツメとを含
んで構成されることを特徴とする光モジュール組立装
置。
10. A ferrule fiber, a fiber support for supporting the ferrule fiber, and one or more air supply ports for projecting light toward the ferrule fiber and supplying air toward a contact surface with the fiber support. An LD having a plurality of grooves and a circumferential groove connected to the air supply port on the contact surface with the fiber support; and an air supply port for fixing the LD and supplying air to the air supply port of the LD. An LD holder having the same, an XY stage for fixing the LD holder and moving in the XY directions, and a Z for fixing the ferrule fiber.
A Z stage for moving the fiber support in a direction, and a pressing claw radially disposed around the fiber support at an equal interval and pressing the fiber support in the direction of the LD. Module assembly equipment.
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