JPH09204050A - Photoirradiation device - Google Patents
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- JPH09204050A JPH09204050A JP8161189A JP16118996A JPH09204050A JP H09204050 A JPH09204050 A JP H09204050A JP 8161189 A JP8161189 A JP 8161189A JP 16118996 A JP16118996 A JP 16118996A JP H09204050 A JPH09204050 A JP H09204050A
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光照射装置に係
り、その目的は、ＵＶ接着剤、光硬化接着剤等の硬化や
シリコンウエハの露光などに用いられる光照射装置にお
いて、高速且つ広範囲の光出力制御が可能であるととも
に、照射光強度を連続的に管理することができる光照射
装置を提供することにある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light irradiation device, and an object thereof is a high-speed and wide-range light irradiation device used for curing a UV adhesive, a photo-curing adhesive or the like and exposing a silicon wafer. An object of the present invention is to provide a light irradiation device that can control the light output and can continuously control the irradiation light intensity.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ＵＶ接着剤、光硬化接着剤等の接
着剤の硬化やシリコンウエハの露光などの用いられる光
照射装置においては、発光ランプの電流を増減すること
により照射光強度の制御を行っていた。また、ファイバ
ーバンドルライトガイドを用いた光照射装置において、
照射光強度の測定、管理を行う際には、ライトガイドの
出射光端に光強度測定器を設置することにより照射光強
度の測定を行うのが一般的であった。2. Description of the Related Art Conventionally, in a light irradiation device used for curing an adhesive such as a UV adhesive or a photo-curing adhesive and exposing a silicon wafer, the irradiation light intensity is controlled by increasing or decreasing the current of a light emitting lamp. Was going on. Moreover, in the light irradiation device using the fiber bundle light guide,
When measuring and managing the irradiation light intensity, it is common to measure the irradiation light intensity by installing a light intensity measuring device at the exit light end of the light guide.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たようなランプ電流の増減により照射光出力を制御する
従来の光照射装置では、以下のような欠点が存在した。
すなわち、このような光照射装置装置に用いられるアー
ク放電ランプは、ランプの点灯を維持するために定格の
８０％以上の放電電流が必要であるため、光出力の可変
範囲は必然的に約８０〜１００％に制限されてしまう。
更に、ランプの光出力の変化が、ランプ電流の変化に伴
うランプ内の水銀蒸気圧変化の後に起こるものであるた
め、例えば光出力を１００％から８０％に変化させよう
とすると数分もの時間を要する。一方、ファイバーバン
ドルライトガイドを用いた光照射装置において照射光強
度の測定、管理を行うためには、光強度測定器をライト
ガイドの出射光端に持ってきて設置するか、又は、固定
されているライトガイドを取り外して出射光端を光強度
測定器の位置までもってくる必要があり、面倒で操作性
が悪いとともに連続的に光強度の測定を行うことができ
なかった。本発明は上記従来の課題に鑑みてなされたも
のであって、ＵＶ接着剤、光硬化接着剤等の硬化やシリ
コンウエハの露光などに用いられる光照射装置におい
て、高速且つ広範囲の光出力制御が可能であるととも
に、照射光強度を連続的に管理することができる光照射
装置を提供することにある。However, the conventional light irradiation device for controlling the irradiation light output by increasing or decreasing the lamp current as described above has the following drawbacks.
That is, since the arc discharge lamp used in such a light irradiation device requires a discharge current of 80% or more of the rating to maintain the lighting of the lamp, the variable range of the light output is necessarily about 80%. It will be limited to ~ 100%.
Furthermore, since the change in the light output of the lamp occurs after the change in the mercury vapor pressure in the lamp due to the change in the lamp current, it takes several minutes to change the light output from 100% to 80%, for example. Requires. On the other hand, in order to measure and manage the irradiation light intensity in the light irradiation device using the fiber bundle light guide, the light intensity measuring instrument is brought to the exit light end of the light guide and installed, or fixed. Since it was necessary to remove the existing light guide and bring the end of the emitted light to the position of the light intensity measuring device, it was cumbersome, the operability was poor, and the light intensity could not be continuously measured. The present invention has been made in view of the above conventional problems, and in a light irradiation device used for curing a UV adhesive, a photo-curing adhesive or the like or exposing a silicon wafer, high-speed and wide-range light output control can be performed. An object of the present invention is to provide a light irradiation device that is capable of continuously controlling the irradiation light intensity.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたものであって、請求項１の光照射装
置では、発光ランプからの光を集光する反射鏡と、この
反射鏡の集光部に受光端が位置されかつこの集光された
光を導く光ファイバーと、この光ファイバーから取り出
された１本又は複数本のファイバーからなり集光された
光の一部を光強度センサーへと導くセンサーファイバー
と、該センサーファイバーにより導かれた光の強度を測
定する光強度センサーを備えた光強度モニターと、前記
光ファイバー受光端前方に設けられ光ファイバーに入光
する光量を変化させるシャッター装置を備えてなること
とした。請求項２の光照射装置では、発光ランプからの
光を集光する反射鏡と、この反射鏡の集光部に受光端が
位置されかつこの集光された光を導く光ファイバーと、
前記集光された光の一部の光強度を測定するとともに光
強度の制御信号を出力する制御装置と、前記光ファイバ
ー受光端前方に設けられ且つ前記制御装置からの制御信
号に基づいて光ファイバーに入光する光量を変化させる
シャッター装置を備えてなることとした。請求項３の光
照射装置では、請求項１又は２記載の光照射装置におい
て、前記シャッター装置がスリット又は孔を設けたシャ
ッター板をモータにより回転させるように構成されてな
ることとした。請求項４の光照射装置では、請求項１乃
至３いずれかに記載の光照射装置において、前記光強度
モニター又は制御装置に光強度データ通信機能が備えら
れてなることとした。The present invention has been made to achieve the above object, and in the light irradiating device of claim 1, a reflecting mirror for condensing the light from the light emitting lamp and the reflecting mirror. A light intensity sensor that consists of an optical fiber whose light-receiving end is located at the condensing portion of the mirror and guides this condensed light, and one or more fibers extracted from this optical fiber To the optical fiber, a light intensity monitor equipped with a light intensity sensor for measuring the intensity of the light guided by the sensor fiber, and a shutter device provided in front of the optical fiber receiving end for changing the amount of light entering the optical fiber. It will be equipped with. The light irradiating device according to claim 2, wherein a reflecting mirror that collects light from the light emitting lamp, an optical fiber that has a light receiving end located at a light collecting portion of the reflecting mirror, and guides the collected light.
A control device that measures the light intensity of a part of the condensed light and outputs a control signal of the light intensity, and a control device that is provided in front of the optical fiber light-receiving end and that enters the optical fiber based on the control signal from the control device. It was decided to be equipped with a shutter device that changes the amount of light emitted. According to a third aspect of the light irradiating device, in the light irradiating device according to the first or second aspect, the shutter device is configured to rotate a shutter plate provided with slits or holes by a motor. A light irradiation device according to a fourth aspect is the light irradiation device according to any one of the first to third aspects, wherein the light intensity monitor or the control device is provided with a light intensity data communication function.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光照射装置の
実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図１
は、本発明に係る光照射装置の第１実施例を示す構成図
である。第１実施例に係る光照射装置は、発光ランプ１
からの光を集光する反射鏡２と、この反射鏡２の集光部
に受光端が位置されかつこの集光された光を導く光ファ
イバー３と、この光ファイバーから取り出された１本又
は複数本のファイバーからなり集光された光の一部を光
強度センサーへと導くセンサーファイバー４と、該セン
サーファイバー４により導かれた光の強度を測定する光
強度センサー５１を備えた光強度モニター５と、前記光
ファイバー３の受光端前方に設けられ光ファイバー３に
入光する光量を変化させるシャッター装置６を備えてい
る。また、シャッター装置６は、シャッター板８がモー
タ７により回転されるように構成されている。光強度モ
ニター５には、光強度設定スイッチ５２及び表示部５３
が設けられ、光強度設定スイッチ５２により設定された
光強度値と測定された光強度値が表示される。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a light irradiation device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a light irradiation device according to the present invention. The light irradiation device according to the first embodiment includes a light emitting lamp 1
A reflecting mirror 2 for collecting the light from the optical fiber, an optical fiber 3 having a light receiving end located at the light collecting portion of the reflecting mirror 2 and guiding the collected light, and one or a plurality of the optical fibers extracted from the optical fiber. And a light intensity monitor 5 having a light intensity sensor 51 for measuring the intensity of the light guided by the sensor fiber 4. A shutter device 6 provided in front of the light receiving end of the optical fiber 3 for changing the amount of light entering the optical fiber 3 is provided. Further, the shutter device 6 is configured such that the shutter plate 8 is rotated by the motor 7. The light intensity monitor 5 includes a light intensity setting switch 52 and a display unit 53.
Is provided, and the light intensity value set by the light intensity setting switch 52 and the measured light intensity value are displayed.
【０００６】本発明においては上記した如く、集光され
た光を導く光ファイバー３から１本又は複数本のファイ
バーをセンサーファーバー４として取り出して、この取
り出された光の強度を光強度センサー５１で測定するよ
うに光照射装置を構成したので、従来のファイバーバン
ドルライトガイドを用いた光照射装置のように光強度測
定器をライトガイドの出射光端に持ってきて設置した
り、固定されているライトガイドを取り外して出射光端
を光強度測定器の位置までもってきたりする必要が無
く、操作性に優れるとともに光強度を常時連続的に管理
することができる。In the present invention, as described above, one or more fibers are taken out as the sensor fiber 4 from the optical fiber 3 which guides the collected light, and the intensity of the taken out light is measured by the light intensity sensor 51. Since the light irradiation device is configured so that the light intensity measuring device is brought to the exit light end of the light guide and installed or fixed like the light irradiation device using the conventional fiber bundle light guide. It is not necessary to remove the guide to bring the end of the emitted light to the position of the light intensity measuring instrument, which is excellent in operability and allows the light intensity to be continuously controlled at all times.
【０００７】なお、図示例においては、光強度モニター
５にＲＳ２３２Ｃインターフェイス５４が備えられてお
り、通信ケーブルを介してパソコン等の外部機器（図示
せず）と接続することにより、光強度データ、即ち、設
定光強度データ及び測定光強度データを外部機器と光強
度モニター５との間で送受信することができるように構
成されている。In the illustrated example, the RS232C interface 54 is provided in the light intensity monitor 5, and by connecting to an external device (not shown) such as a personal computer via a communication cable, the light intensity data, that is, The setting light intensity data and the measurement light intensity data can be transmitted and received between the external device and the light intensity monitor 5.
【０００８】図２は、本発明に係る光照射装置の第２実
施例を示す構成図である。第２実施例に係る光照射装置
においては、センサーファイバー４により導かれた光強
度の測定値に基づいて、照射光強度がフィードバック制
御されるように構成されている。すなわち、センサーフ
ァイバー４により導かれた光強度が制御装置９に備えら
れた光強度センサー９１により測定されると、強度設定
スイッチ９２により設定された光強度値と測定された光
強度値に基づいて制御装置９からシャッター装置６に光
強度制御信号が送られ、この制御信号に基づきシャッタ
ー装置６が光ファイバー３に入光する光量を変化させ
る。なお、この第２実施例においても、制御装置９にＲ
Ｓ２３２Ｃインターフェイス等の外部機器との光強度デ
ータの通信を行うための機能を持たせることが好まし
い。FIG. 2 is a block diagram showing a second embodiment of the light irradiation apparatus according to the present invention. The light irradiation device according to the second embodiment is configured so that the irradiation light intensity is feedback-controlled based on the measured value of the light intensity guided by the sensor fiber 4. That is, when the light intensity guided by the sensor fiber 4 is measured by the light intensity sensor 91 provided in the control device 9, based on the light intensity value set by the intensity setting switch 92 and the measured light intensity value. A light intensity control signal is sent from the control device 9 to the shutter device 6, and the shutter device 6 changes the amount of light entering the optical fiber 3 based on this control signal. In the second embodiment as well, the control device 9 uses the R
It is preferable to have a function for communicating the light intensity data with an external device such as an S232C interface.
【０００９】図３乃至図８は、シャッター装置６のシャ
ッター板８の実施形態の例を示す平面図である。なお、
図３乃至図８において、ａはモータ７の回転軸が取り付
けられる部分を示し、シャッター板８はａ部を中心に回
転する。図３のシャッター板８では、スリット１０がス
リット幅を変化させながら設けられており、例えば、ｂ
の破線円の部分に光が当たっているときは光透過率１０
０％となり、ｃの破線円の部分に光が当たっているとき
は光透過率０％となり、ｄの破線円の部分に光が当たっ
ているときはスリット１０の隙間の分だけ光を透過す
る。すなわち、スリット幅が広い箇所に光が当たってい
る場合には透光率が高くなり、スリット幅が狭い箇所に
光が当たっている場合には透光率が低くなる。3 to 8 are plan views showing examples of embodiments of the shutter plate 8 of the shutter device 6. In addition,
3 to 8, a indicates a portion to which the rotary shaft of the motor 7 is attached, and the shutter plate 8 rotates around the portion a. In the shutter plate 8 of FIG. 3, the slit 10 is provided while changing the slit width, and for example, b
When the light is shining on the part of the broken line circle, the light transmittance is 10
It becomes 0%, and the light transmittance is 0% when the light is applied to the portion of the broken line circle of c, and the light is transmitted by the gap of the slit 10 when the light is applied to the portion of the broken line circle of d. . That is, the light transmittance is high when the light hits a portion having a wide slit width, and the light transmittance is low when the light hits a portion having a narrow slit width.
【００１０】図４のシャッター板８では、スリット１０
がスリット同士の間隔を変化させながら設けられてい
る。従って、スリット１０の間隔が狭くなっている箇所
に光が当たっている場合には透光率が高くなり、スリッ
ト１０の間隔が広くなっている箇所に光が当たっている
場合には透光率が低くなる。更に、図５のシャッター板
８では、孔１１が孔径を変化させながら設けられている
ため、孔径が大きい箇所に光が当たっている場合には透
光率が高くなり、孔径が小さい箇所に光が当たっている
場合には透光率が低くなる。また、図６及び図７のよう
に、シャッター板８の回転中心から周縁部までの距離を
変化させることによっても、シャッター板８の回転に伴
って透光率を変化させることができる。In the shutter plate 8 of FIG. 4, the slit 10
Are provided while changing the interval between the slits. Therefore, the light transmittance is high when the light is applied to the portion where the slits 10 are narrow, and the light transmittance is high when the light is applied to the portion where the slits 10 are wide. Will be lower. Further, in the shutter plate 8 of FIG. 5, since the holes 11 are provided while changing the hole diameter, when the light hits a portion having a large hole diameter, the light transmittance is high and the light having a small hole diameter is exposed. When it hits, the light transmittance becomes low. Further, as shown in FIGS. 6 and 7, by changing the distance from the rotation center of the shutter plate 8 to the peripheral portion, the light transmittance can be changed with the rotation of the shutter plate 8.
【００１１】図８のシャッター板８は略扇形形状をした
ものであり、孔１１が大きさを変化させながら網目状に
設けられている。このシャッター板８では、ｂの部分に
光が当たっているときは光透過率１００％となり、ｃの
部分に光が当たっているときは光透過率０％となり、
ｂ，ｃ以外の部分に光が当たっているときは孔１１の面
積分だけ光を透過する。なお、シャッター板８の形状及
びスリットや孔の設け方については上記例に限定される
ものではなく、回転により光の透過率を変化させること
ができれば適宜任意の形状及びスリットや孔の設け方を
採用することができる。また図示しないが、シャッター
板８を一枚の板とせずにアイリスシャッターとする構成
を採用することもできる。The shutter plate 8 shown in FIG. 8 is substantially fan-shaped, and the holes 11 are provided in a mesh shape while changing the size. In this shutter plate 8, the light transmittance is 100% when the light is applied to the portion b, and the light transmittance is 0% when the light is applied to the portion c.
When the light is shining on the portions other than b and c, the light is transmitted by the area of the hole 11. The shape of the shutter plate 8 and the method of providing the slits or holes are not limited to the above examples, and any shape and the method of providing the slits or holes can be appropriately used as long as the light transmittance can be changed by rotation. Can be adopted. Although not shown, the shutter plate 8 may be an iris shutter instead of a single plate.
【００１２】次に、本発明に係る光照射装置の作用につ
いて説明する。先ず、第１実施例に係る光照射装置の作
用について説明する。発光ランプ１からの光は反射鏡２
により集光され、この反射鏡２により集光された光は光
ファイバー３により導かれ、被加工物に照射される。こ
のとき、集光された光の一部はセンサーファイバー４に
より取り出され、光光強度モニター５に導かれる。光強
度モニター５に導かれた光は、バンドパスフィルター５
５を介してホトダイオード等の光強度センサー５１で受
光されて電流へと変換され、増幅器５６により増幅され
た後Ａ／Ｄ変換器５７を介してＣＰＵ５８へと送られ
る。ＣＰＵ５８は、測定された光強度値が強度設定スイ
ッチ５２により設定された設定強度よりも小さい場合に
は、アラーム信号を出力しランプの点灯やブザー等によ
り測定者にその旨を知らせる。測定者はアラーム信号を
受けると、光源本体の光源制御回路１２を駆動し、シャ
ッター装置６を作動させてシャッター板８を回転させ光
ファイバー３に入光する光量を変化させることにより、
光照射装置の出力光を制御する。Next, the operation of the light irradiation device according to the present invention will be described. First, the operation of the light irradiation device according to the first embodiment will be described. Light from the light emitting lamp 1 is reflected by the reflecting mirror 2.
The light collected by the reflecting mirror 2 is guided by the optical fiber 3 and is applied to the workpiece. At this time, a part of the collected light is taken out by the sensor fiber 4 and guided to the light intensity monitor 5. The light guided to the light intensity monitor 5 is the bandpass filter 5
The light intensity sensor 51 such as a photodiode receives the light via 5 and converts it into a current, which is amplified by an amplifier 56 and then sent to a CPU 58 via an A / D converter 57. When the measured light intensity value is smaller than the set intensity set by the intensity setting switch 52, the CPU 58 outputs an alarm signal to notify the measurer by lighting a lamp or a buzzer. When the measurer receives the alarm signal, the light source control circuit 12 of the light source body is driven to operate the shutter device 6 to rotate the shutter plate 8 to change the amount of light entering the optical fiber 3.
The output light of the light irradiation device is controlled.
【００１３】次に、第２実施例に係る光照射装置の作用
について説明する。先ず、発光ランプ１からの光は反射
鏡２により集光され、この反射鏡２により集光された光
は光ファイバー３により導かれ、被加工物に照射され
る。このとき、集光された光の一部はセンサーファイバ
ー４により取り出され、制御装置９に導かれる。制御装
置９に導かれた光は、バンドパスフィルター９３を介し
てホトダイオード等の光強度センサー９１で受光されて
電流へと変換され、増幅器９４により増幅された後Ａ／
Ｄ変換器９５を介してＣＰＵ９６へと送られる。ＣＰＵ
９６は、測定された光強度値と強度設定スイッチ９２に
よる設定強度に基づき、モータ７に制御信号を送る。Ｃ
ＰＵ９６からの制御信号に基づきシャッター板８が回転
して、光ファイバー３に入光する光量を変化させること
により、光照射装置の出力光を制御する。Next, the operation of the light irradiation apparatus according to the second embodiment will be described. First, the light from the light emitting lamp 1 is condensed by the reflecting mirror 2, and the light condensed by the reflecting mirror 2 is guided by the optical fiber 3 to be irradiated on the workpiece. At this time, a part of the collected light is taken out by the sensor fiber 4 and guided to the control device 9. The light guided to the control device 9 is received by a light intensity sensor 91 such as a photodiode through a bandpass filter 93, converted into a current, amplified by an amplifier 94, and then A / A.
It is sent to the CPU 96 via the D converter 95. CPU
96 sends a control signal to the motor 7 based on the measured light intensity value and the intensity set by the intensity setting switch 92. C
The shutter plate 8 rotates based on a control signal from the PU 96 to change the amount of light entering the optical fiber 3 to control the output light of the light irradiation device.
【００１４】このように、本発明に係る光照射装置は、
従来の装置のようにランプ電流を変化させることなく光
照射装置の出力光を制御するものである。従って、出力
光の変化に要する時間は、モータ７の回転速度のみに依
存することとなり、極めて優れた制御応答性を有する。
また、出力光の可変範囲もシャッター板８の形状及びス
リット又は孔の設け方により、０〜１００％の可変範囲
を有することができる。As described above, the light irradiation device according to the present invention is
The output light of the light irradiation device is controlled without changing the lamp current as in the conventional device. Therefore, the time required for the change of the output light depends only on the rotation speed of the motor 7, and the control response is extremely excellent.
Also, the variable range of the output light can have a variable range of 0 to 100% depending on the shape of the shutter plate 8 and the way of providing the slits or holes.
【００１５】図９は、従来のランプ電流制御方式による
光照射装置と、本発明に係る光照射装置の制御応答性を
比較した実験結果を示すグラフである。尚、この実験
は、発光ランプとして水銀キセノンランプ（２００Ｗ）
を用い、光ファイバー出光端での出力光強度を光強度メ
ータにより測定したものである。図示の如く、出力光を
１００％から９０％に変化させるのに、従来の装置では
２５０秒要しているのに対し、本発明に係る光照射装置
では僅か４秒程しか要しておらず、本発明に係る光照射
装置の制御応答性が極めて優れていることが分かる。FIG. 9 is a graph showing the experimental results comparing the control responsiveness of the light irradiation device according to the conventional lamp current control system and the light irradiation device according to the present invention. In this experiment, a mercury xenon lamp (200 W) was used as a light emitting lamp.
Was measured with an optical intensity meter at the light output end of the optical fiber. As shown in the figure, in order to change the output light from 100% to 90%, it takes 250 seconds in the conventional device, but only 4 seconds in the light irradiation device according to the present invention. It can be seen that the control response of the light irradiation device according to the present invention is extremely excellent.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明は、発光ランプからの光を集光する反射鏡と、この反
射鏡の集光部に受光端が位置されかつこの集光された光
を導く光ファイバーと、この光ファイバーから取り出さ
れた１本又は複数本のファイバーからなり集光された光
の一部を光強度センサーへと導くセンサーファイバー
と、該センサーファイバーにより導かれた光の強度を測
定する光強度センサーを備えた光強度モニターと、前記
光ファイバー受光端前方に設けられ光ファイバーに入光
する光量を変化させるシャッター装置を備えてなること
を特徴とする光照射装置であるから、以下に述べる効果
を奏する。すなわち、従来のファイバーバンドルライト
ガイドを用いた光照射装置のように照射光強度の測定が
必要となる度に光強度測定器を持ってきてライトガイド
の出射光端に設置したり、固定されているライトガイド
を取り外して出射光端を光強度測定器の位置までもって
きたりせずとも、光強度を常時連続的に管理することが
できる。また、ランプ電流を変化させることなく光出力
を変化させることができるので、光出力の制御応答性に
優れるとともに広い制御範囲を有することができる。As described above, in the invention according to claim 1, the reflecting mirror for condensing the light from the light emitting lamp, the light receiving end is located at the condensing portion of the reflecting mirror, and the condensing light is collected. An optical fiber for guiding light, a sensor fiber for guiding a part of the condensed light to a light intensity sensor, which is composed of one or a plurality of fibers extracted from the optical fiber, and a light for guiding the light by the sensor fiber. A light intensity monitor having a light intensity sensor for measuring the intensity, and a light irradiation device characterized by comprising a shutter device provided in front of the optical fiber light receiving end to change the amount of light entering the optical fiber, The following effects are achieved. That is, like the light irradiation device using the conventional fiber bundle light guide, bring the light intensity measuring instrument every time it is necessary to measure the irradiation light intensity and install it at the exit end of the light guide, or fix it. The light intensity can always be continuously controlled without removing the existing light guide and bringing the outgoing light end to the position of the light intensity measuring device. Moreover, since the light output can be changed without changing the lamp current, the control response of the light output is excellent and a wide control range can be provided.
【００１７】請求項２に係る発明は、発光ランプからの
光を集光する反射鏡と、この反射鏡の集光部に受光端が
位置されかつこの集光された光を導く光ファイバーと、
前記集光された光の一部の光強度を測定するとともに光
強度の制御信号を出力する制御装置と、前記光ファイバ
ー受光端前方に設けられ且つ前記制御装置からの制御信
号に基づいて光ファイバーに入光する光量を変化させる
シャッター装置を備えてなることを特徴とする光照射装
置であるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、
従来の光照射装置のようにランプ電流を変化させること
なく光出力を変化させることができるので、光出力の制
御応答性に優れるとともに広い制御範囲を有することが
できる。しかも、照射光強度を測定強度と設定強度に基
づいてフィードバック制御させることができるので、照
射光強度を正確且つ容易に制御管理することができるAccording to a second aspect of the present invention, a reflector for condensing light from the light emitting lamp, an optical fiber having a light receiving end located at the condensing portion of the reflector and guiding the condensed light,
A control device that measures the light intensity of a part of the condensed light and outputs a control signal of the light intensity, and a control device that is provided in front of the optical fiber light-receiving end and that enters the optical fiber based on the control signal from the control device. Since the light irradiation device is characterized by including a shutter device that changes the amount of light emitted, the following effects are achieved. That is,
Since the light output can be changed without changing the lamp current as in the conventional light irradiation device, it is possible to have excellent control response of the light output and have a wide control range. Moreover, since the irradiation light intensity can be feedback-controlled based on the measured intensity and the set intensity, the irradiation light intensity can be accurately and easily controlled and managed.
【００１８】請求項３に係る発明は、請求項１又は２記
載の光照射装置において、前記シャッター装置がスリッ
ト又は孔を設けたシャッター板をモータにより回転させ
るように構成されてなるものであるから、以下に述べる
効果を奏する。すなわち、シャッター板を回転させるこ
とにより光透過率を変化させることができるため、出力
光の変化に要する時間はモータの回転速度のみに依存
し、極めて優れた制御応答性を得ることができる。ま
た、シャッター板のスリット又は孔の設け方により、０
〜１００％の出力光の可変範囲を有することができる。According to a third aspect of the present invention, in the light irradiating device according to the first or second aspect, the shutter device is configured such that a shutter plate provided with slits or holes is rotated by a motor. The following effects are achieved. That is, since the light transmittance can be changed by rotating the shutter plate, the time required for changing the output light depends only on the rotation speed of the motor, and extremely excellent control responsiveness can be obtained. Also, depending on how the slits or holes are provided on the shutter plate, 0
It may have a variable range of output light of -100%.
【００１９】請求項４に係る発明は、前記光強度モニタ
ー又は制御装置に制御装置に光強度データ通信機能が備
えられていることを特徴とする請求項１乃至３いずれか
に記載の光照射装置であるから、以下に述べる効果を奏
する。すなわち、パソコン等の外部機器により照射光強
度を設定しその設定データを制御装置に送信し、測定光
強度データを制御装置から外部機器に送信することによ
り、外部から光照射装置の照射光強度の制御を行うこと
ができ、操作性に優れ照射光強度の管理が容易である。The invention according to claim 4 is characterized in that the light intensity monitor or control device is provided with a light intensity data communication function in the control device. Therefore, the following effects are achieved. That is, by setting the irradiation light intensity by an external device such as a personal computer, transmitting the setting data to the control device, and transmitting the measured light intensity data from the control device to the external device, the irradiation light intensity of the light irradiation device It is possible to control, the operability is excellent, and the control of the irradiation light intensity is easy.
【図１】本発明に係る光照射装置の第１実施例を示す構
成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a light irradiation device according to the present invention.
【図２】本発明に係る光照射装置の第２実施例を示す構
成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a second embodiment of a light irradiation device according to the present invention.
【図３】シャッター板の実施形態の一例を示す平面図で
ある。FIG. 3 is a plan view showing an example of an embodiment of a shutter plate.
【図４】シャッター板の実施形態の一例を示す平面図で
ある。FIG. 4 is a plan view showing an example of an embodiment of a shutter plate.
【図５】シャッター板の実施形態の一例を示す平面図で
ある。FIG. 5 is a plan view showing an example of an embodiment of a shutter plate.
【図６】シャッター板の実施形態の一例を示す平面図で
ある。FIG. 6 is a plan view showing an example of an embodiment of a shutter plate.
【図７】シャッター板の実施形態の一例を示す平面図で
ある。FIG. 7 is a plan view showing an example of an embodiment of a shutter plate.
【図８】シャッター板の実施形態の一例を示す平面図で
ある。FIG. 8 is a plan view showing an example of an embodiment of a shutter plate.
【図９】本発明に係る光照射装置と従来の光照射装置の
制御応答性を比較した実験結果を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing experimental results comparing the control responsiveness of the light irradiation device according to the present invention and the conventional light irradiation device.
【符号の説明】 １ 発光ランプ ２ 反射鏡 ３ 光ファイバー ４ センサーファイバー ５ 制御装置 ５１ 光強度センサー ６ シャッター装置 ７ モータ ８ シャッター板 １０ スリット １１ 孔[Explanation of reference symbols] 1 light-emitting lamp 2 reflecting mirror 3 optical fiber 4 sensor fiber 5 control device 51 light intensity sensor 6 shutter device 7 motor 8 shutter plate 10 slit 11 hole
Claims (4)
と、この反射鏡の集光部に受光端が位置されかつこの集
光された光を導く光ファイバーと、この光ファイバーか
ら取り出された１本又は複数本のファイバーからなり集
光された光の一部を光強度センサーへと導くセンサーフ
ァイバーと、該センサーファイバーにより導かれた光の
強度を測定する光強度センサーを備えた光強度モニター
と、前記光ファイバー受光端前方に設けられ光ファイバ
ーに入光する光量を変化させるシャッター装置を備えて
なることを特徴とする光照射装置。1. A reflecting mirror for condensing light from a light emitting lamp, an optical fiber having a light receiving end located at a condensing portion of the reflecting mirror and guiding the condensed light, and 1 extracted from the optical fiber. A sensor fiber comprising a book or a plurality of fibers for guiding a part of the condensed light to a light intensity sensor, and a light intensity monitor equipped with a light intensity sensor for measuring the intensity of the light guided by the sensor fiber, A light irradiating device comprising a shutter device provided in front of the optical fiber light receiving end for changing the amount of light entering the optical fiber.
と、この反射鏡の集光部に受光端が位置されかつこの集
光された光を導く光ファイバーと、前記集光された光の
一部の光強度を測定するとともに光強度の制御信号を出
力する制御装置と、前記光ファイバー受光端前方に設け
られ且つ前記制御装置からの制御信号に基づいて光ファ
イバーに入光する光量を変化させるシャッター装置を備
えてなることを特徴とする光照射装置。2. A reflecting mirror for condensing light from a light emitting lamp, an optical fiber having a light receiving end located at a condensing portion of the reflecting mirror and guiding the condensed light, and A control device that measures a part of the light intensity and outputs a control signal of the light intensity, and a shutter that is provided in front of the optical fiber light-receiving end and that changes the amount of light entering the optical fiber based on the control signal from the control device. A light irradiation device comprising a device.
設けたシャッター板をモータにより回転させるように構
成されてなることを特徴とする請求項１又は２記載の光
照射装置。3. The light irradiation device according to claim 1, wherein the shutter device is configured to rotate a shutter plate provided with slits or holes by a motor.
度データ通信機能が備えられていることを特徴とする請
求項１乃至３いずれかに記載の光照射装置。4. The light irradiation device according to claim 1, wherein the light intensity monitor or control device has a light intensity data communication function.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8161189A JPH09204050A (en) | 1995-11-24 | 1996-05-30 | Photoirradiation device |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32992395 | 1995-11-24 | ||
| JP7-329923 | 1995-11-24 | ||
| JP8161189A JPH09204050A (en) | 1995-11-24 | 1996-05-30 | Photoirradiation device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09204050A true JPH09204050A (en) | 1997-08-05 |
Family
ID=26487414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8161189A Pending JPH09204050A (en) | 1995-11-24 | 1996-05-30 | Photoirradiation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09204050A (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7173266B2 (en) | 2003-06-04 | 2007-02-06 | Keyence Corporation | Ultraviolet irradiating device |
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-
1996
- 1996-05-30 JP JP8161189A patent/JPH09204050A/en active Pending
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