JPH091796A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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JPH091796A
JPH091796A JP14992195A JP14992195A JPH091796A JP H091796 A JPH091796 A JP H091796A JP 14992195 A JP14992195 A JP 14992195A JP 14992195 A JP14992195 A JP 14992195A JP H091796 A JPH091796 A JP H091796A
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JP
Japan
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ink
piezoelectric element
recording head
jet recording
ink jet
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Application number
JP14992195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ryuichi Asai
隆一 浅井
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH091796A publication Critical patent/JPH091796A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide an ink jet recording head capable of transmitting the displacement of a plurality of piezoelectric elements into the pressure chamber quite efficiently having no dispersion, and having even ink ejecting characteristics. CONSTITUTION: The recording head includes a substrate 9 with a plurality of ink flow passages 1 divided from an ink reservoir 7 via a filter flow passage 6, a vibration plate 10 covering these passages, and a piezoelectric element 12 being in press contact with the fixed position of the surface opposite to the ink pressure chamber 4 of the vibration plate, and the head is a plastic ink jet recording head formed so that ink is ejected from the nozzle by making use of electric field inductive distortion as a driving source in the direction parallel to the adhering surface of the piezoelectric element. The vibration plate 10 has a recess 10A with a predetermined dimensional allowance with respect to the outer periphery of the piezoelectric element 12 at the fixed position of the surface opposite to the ink pressure chamber 4, and the piezoelectric element 12 is adhered to the recess, holding an adhesive reservoir 15 therearound.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、卓上プリンタ,ファ
ックスなどに印字装置,あるいは印刷装置として使用さ
れるインクジェット記録ヘッド、特に良好な印字品質を
得るために圧電素子の変位伝達機構部に特徴をもつイン
クジェット記録ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is characterized by a printing device for a desk-top printer, a fax machine or the like, or an ink jet recording head used as a printing device, and particularly a displacement transmission mechanism portion of a piezoelectric element for obtaining good printing quality. The present invention relates to an inkjet recording head.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、微細なノズルからインク滴を吐出
して紙などの記録媒体上に点着させ、情報の記録を行う
印字または印刷方法は、インクジェット記録方式として
知られており、その1つとしてオンデマンド型インクジ
ェット記録ヘッドが知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a printing or printing method in which ink droplets are ejected from fine nozzles and spotted on a recording medium such as paper to record information is known as an ink jet recording method. On-demand type ink jet recording heads are known.

【0003】図3は従来のインクジェット記録ヘッドの
一例をインク流路に沿った方向に模式化して示す断面
図、図4は従来のインクジェット記録ヘッドのインク流
路の一例を模式化して示す平面図である。図において、
ガラス板,Si ウェハー,金属板,あるいはプラスチッ
ク成形品からなる基板9は、互いに連通する凹溝として
形成されたノズル2,ノズル流路3,インク加圧室4,
およびインク供給路5からなる複数のインク流路1と、
これに逆流防止用のフィルタ流路6を介して連通するイ
ンク溜まり7とを備え、そのシ−ル面8に平板状の振動
板10を気密に接合または接着することにより、シ−ル
面8により画成され,フィルタ流路6によりインクの流
通方向が規制された複数のインク流路1が形成される。
また、インク流路1のインク加圧室4に対向する振動板
10の表面には複数のインク加圧室4に跨がって共通電
極11が金属蒸着膜または導電性塗料の印刷膜として形
成され、かつ共通電極11の個々のインク加圧室4に対
応する部分には、電気機械変換素子としての直方体状の
圧電素子12の一方の電極13が共通電極11に導電接
触するよう極めて薄い接着剤層14によって固定され、
インクジェット記録ヘッドが形成される。
FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing an example of a conventional ink jet recording head in a direction along an ink flow path, and FIG. 4 is a plan view schematically showing an example of an ink flow path of a conventional ink jet recording head. Is. In the figure,
A substrate 9 made of a glass plate, a Si wafer, a metal plate, or a plastic molded product has a nozzle 2, a nozzle flow path 3, an ink pressurizing chamber 4, which are formed as concave grooves communicating with each other.
And a plurality of ink flow paths 1 each including an ink supply path 5,
This is provided with an ink reservoir 7 communicating with the backflow prevention filter channel 6, and a flat vibration plate 10 is airtightly joined or bonded to the seal surface 8 of the ink reservoir 7 to form a seal surface 8. And a plurality of ink flow paths 1 defined by the filter flow paths 6 and in which the flow direction of the ink is regulated is formed.
A common electrode 11 is formed on the surface of the vibrating plate 10 facing the ink pressurizing chamber 4 of the ink flow path 1 as a metal vapor deposition film or a printed film of a conductive coating material across the plurality of ink pressurizing chambers 4. In addition, the electrode 13 of the rectangular parallelepiped piezoelectric element 12 as an electromechanical conversion element is extremely thinly adhered to the portion of the common electrode 11 corresponding to each ink pressurizing chamber 4 so as to make conductive contact with the common electrode 11. Fixed by the agent layer 14,
An inkjet recording head is formed.

【0004】このように構成されたインクジェット記録
ヘッドは、圧電素子12の他方の電極13と共通電極1
1との間に例えば方形波の駆動電圧を印加すると、圧電
素子12がその接着面に平行な面方向に伸縮(電界誘起
歪み)する。このとき、圧電素子12は接着剤層14お
よび共通電極11を介して振動板10に拘束された状態
になっているので、圧電素子の面方向の伸縮は振動板1
0に対して垂直な方向の変位に変換されて振動板をイン
ク加圧室側に押し曲げることになり、インク加圧室の容
積が瞬間的に減少して、その減少分に相当する量のイン
クがノズル流路3を介してノズル2から吐出し、それが
インク滴となって対向する記録紙に点着し、圧電素子1
2に印加する駆動電圧の大きさに比例した量のインク濃
度で印字が行われる。
The ink jet recording head having the above-mentioned structure includes the other electrode 13 of the piezoelectric element 12 and the common electrode 1.
When a driving voltage of, for example, a square wave is applied between the piezoelectric element 12 and 1, the piezoelectric element 12 expands and contracts (electric field induced strain) in the plane direction parallel to the bonding surface. At this time, since the piezoelectric element 12 is in a state of being restrained by the vibration plate 10 via the adhesive layer 14 and the common electrode 11, the expansion and contraction of the piezoelectric element in the surface direction causes the vibration plate 1 to contract.
It is converted into a displacement in the direction perpendicular to 0, and the vibration plate is pushed and bent toward the ink pressurizing chamber side, and the volume of the ink pressurizing chamber is instantaneously reduced. Ink is ejected from the nozzle 2 through the nozzle flow path 3 and becomes an ink droplet, which is spotted on the opposite recording paper.
Printing is performed with an ink density of an amount proportional to the magnitude of the drive voltage applied to 2.

【0005】等しい濃度の印字を行う為には、一定の駆
動電圧に対して複数のノズルから吐出されるインク滴の
吐出初速度,インク滴量などの吐出特性が揃っているこ
とが求められる。吐出特性を揃えるためには、まず複数
の圧電素子の特性が同一でなければならず、次に圧電素
子の変位が応答よくインク加圧室内に伝わる構造が必要
である。このため、従来のインクジェット記録ヘッドで
は、圧電素子12を共通電極11を介して振動板10に
押圧接着するに際して、圧電素子の周側面と振動板との
間に跨がる断面三角形状の接着剤溜まり15を形成し、
圧電素子の変位が接着剤溜まり15を介して振動板10
に効率よく伝達されるよう構成されている。また、圧電
素子の変位が効率よく,かつばらつきなくインク加圧室
に伝わるためには、インク加圧室に対する圧電素子の位
置精度が鍵となる。このような観点から、圧電素子接着
時の位置精度を向上するために、振動板上の圧電素子接
着位置に凸部または凹部を設けたインクジェット記録ヘ
ッドが特開平6−286137号公報により提案されて
いる。
In order to print with the same density, it is required that the ejection characteristics such as the initial ejection velocity of ink droplets ejected from a plurality of nozzles and the ink droplet amount are uniform with respect to a constant drive voltage. In order to make the ejection characteristics uniform, first, the characteristics of the plurality of piezoelectric elements must be the same, and then a structure in which the displacement of the piezoelectric elements is transmitted to the ink pressurizing chamber with good response is required. Therefore, in the conventional ink jet recording head, when the piezoelectric element 12 is pressure-bonded to the vibration plate 10 via the common electrode 11, an adhesive having a triangular cross section that extends between the peripheral side surface of the piezoelectric element and the vibration plate. Forming a puddle 15,
The displacement of the piezoelectric element causes the vibration plate 10 to pass through the adhesive reservoir 15.
It is configured to be efficiently transmitted to. Further, in order for the displacement of the piezoelectric element to be efficiently and uniformly transmitted to the ink pressurizing chamber, the positional accuracy of the piezoelectric element with respect to the ink pressurizing chamber is a key. From this point of view, an inkjet recording head provided with a convex portion or a concave portion at a piezoelectric element bonding position on a vibration plate has been proposed by Japanese Patent Laid-Open No. 6-286137 in order to improve the positional accuracy when bonding the piezoelectric element. There is.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】図3に示す従来のイン
クジェット記録ヘッドにおいては、インク加圧室4に対
する圧電素子12の位置決め精度が悪く、振動板への圧
電素子の変位の伝達効率にばらつきが生じやすく、これ
が原因で各ノズル間でインク滴の吐出特性が不揃いにな
るという問題が発生する。また、圧電素子12を共通電
極11を介して振動板10に押圧接着する際、接着剤の
量を一定量に管理しても、接着剤溜まり15の振動板1
0に対する広がりまでを管理することは困難であり、こ
れが原因で、インク滴の吐出特性にノズル毎の差が生じ
やすくなるという問題がある。一方、特開平6−286
137号公報で提案のインクジェット記録ヘッドでは、
凸部または凹部を圧電素子の位置決めのために設けてお
り、接着剤溜まりの寸法精度およびその作用には触れら
れていない。
In the conventional ink jet recording head shown in FIG. 3, the positioning accuracy of the piezoelectric element 12 with respect to the ink pressurizing chamber 4 is poor, and the transmission efficiency of the displacement of the piezoelectric element to the diaphragm varies. This is liable to occur, which causes a problem that the ejection characteristics of the ink droplets become uneven among the nozzles. Further, when the piezoelectric element 12 is pressure-bonded to the vibration plate 10 via the common electrode 11, even if the amount of the adhesive is controlled to be a constant amount, the vibration of the vibration plate 1 of the adhesive reservoir 15 is reduced.
It is difficult to control the spread to 0, and this causes a problem that a difference easily occurs between nozzles in the ejection characteristics of ink droplets. On the other hand, JP-A-6-286
In the inkjet recording head proposed in Japanese Patent No. 137,
The convex portion or the concave portion is provided for positioning the piezoelectric element, and the dimensional accuracy of the adhesive agent reservoir and its action are not mentioned.

【0007】この発明の目的は、複数の圧電素子の変位
をばらつきなく,効率よくインク加圧室に伝達でき、従
ってインク吐出特性が揃ったインクジェット記録ヘッド
を提供することにある。
An object of the present invention is to provide an ink jet recording head which can efficiently transfer the displacements of a plurality of piezoelectric elements to the ink pressurizing chamber without variations and therefore have uniform ink ejection characteristics.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明は、フイルタ流路を介して
インク溜まりから分岐した一連のインク加圧室,ノズル
流路,およびノズルからなるインク流路を複数備えた基
板と、インク溜まりおよびインク流路を覆う振動板と、
この振動板の前記インク加圧室に対向する表面の定位置
にそれぞれ接着された直方体状の圧電素子とを備え、こ
の圧電素子の接着面に平行な方向の電界誘起歪みを駆動
源としてインクを前記ノズルから噴射するプラスチック
製のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記振動板が
前記インク加圧室に対向する表面の定位置に圧電素子の
外周に対して所定の寸法裕度を有する凹部を備え、この
凹部内に前記圧電素子がその周囲に接着剤溜まりを保持
して接着される。
In order to solve the above-mentioned problems, a first aspect of the present invention relates to a series of ink pressurizing chambers, nozzle flow paths, and a series of ink pressurizing chambers branched from an ink reservoir via a filter flow path. A substrate provided with a plurality of ink flow paths formed of nozzles, a vibration plate covering the ink reservoir and the ink flow paths,
A rectangular parallelepiped piezoelectric element bonded at a fixed position on the surface of the vibrating plate facing the ink pressurizing chamber is provided, and ink is generated by using electric field induced strain in a direction parallel to the bonding surface of the piezoelectric element as a driving source. In the plastic ink jet recording head ejecting from the nozzle, the vibrating plate is provided with a concave portion having a predetermined dimensional margin with respect to the outer circumference of the piezoelectric element at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber. The piezoelectric element is adhered therein while holding a pool of adhesive around it.

【0009】ここで、請求項2に記載の発明は、凹部の
所定の大きさが、直方体状の圧電素子の短辺の長さおよ
び長辺の長さに対して1.05〜1.2倍の大きさを持
ち、直方体状の圧電素子の厚みに対して0.2〜0.5
倍の大きさを持ち、かつ、この凹部と圧電素子の外周面
との間に圧電素子の厚みの50〜80%の範囲で圧電素
子に結合した接着剤溜まりを設けると良い。
According to the second aspect of the invention, the predetermined size of the recess is 1.05 to 1.2 with respect to the length of the short side and the length of the long side of the rectangular parallelepiped piezoelectric element. 0.2 to 0.5 with respect to the thickness of a rectangular parallelepiped piezoelectric element having a double size.
It is advisable to provide an adhesive reservoir having a size twice that of the piezoelectric element and bonded to the piezoelectric element in the range of 50 to 80% of the thickness of the piezoelectric element between the recess and the outer peripheral surface of the piezoelectric element.

【0010】また、請求項3に記載の発明は、接着剤溜
まりを形成する圧電素子の接着剤を紫外線・熱硬化併用
型接着剤とすると良い。さらに、請求項4に記載の発明
は、振動板がインク加圧室に対向する表面の定位置に所
定の大きさの凹所を備えた補強金属板とプラスチック板
との張り合わせ材からなり、プラスチック板側を基材の
表面に接着するようにすると良い。
According to the third aspect of the invention, the adhesive for the piezoelectric element forming the adhesive reservoir may be an ultraviolet / thermosetting adhesive. Further, the invention according to claim 4 is characterized in that the vibrating plate is made of a bonding material of a reinforcing metal plate and a plastic plate having a recess of a predetermined size at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber. It is advisable to adhere the plate side to the surface of the base material.

【0011】一方、請求項5に記載の発明は、振動板を
インク加圧室に対向する表面の定位置に所定の大きさの
凹所を備えた金属板とすると良い。
On the other hand, in the fifth aspect of the invention, the vibrating plate may be a metal plate having a recess of a predetermined size at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber.

【0012】[0012]

【作用】請求項1に記載の発明では、インク加圧室に対
向する振動板の表面の定位置に設けた凹部が圧電素子の
外周に対して所定の寸法裕度を有するようにしたので、
圧電素子の接着工程に際して上記寸法裕度の部分が接着
剤溜まりとなって振動板表面への接着剤の広がりを規制
するので、複数の圧電素子と振動板との機械的結合状態
が均等化され、複数の圧電素子の面方向の電界誘起歪み
が均等かつ効率よく振動板を介してインク加圧室に伝達
される。したがって、複数のノズルから吐出されるイン
ク滴の吐出初速度,インク滴の量などの吐出特性を向
上,かつ均等化する作用が得られる。
According to the first aspect of the invention, since the concave portion provided at a fixed position on the surface of the vibration plate facing the ink pressurizing chamber has a predetermined dimensional margin with respect to the outer circumference of the piezoelectric element,
In the process of bonding the piezoelectric element, the above-mentioned dimensional tolerance portion serves as an adhesive agent reservoir and restricts the spread of the adhesive agent on the surface of the diaphragm, so that the mechanical coupling state between the plurality of piezoelectric elements and the diaphragm is equalized. The electric field induced strain in the surface direction of the plurality of piezoelectric elements is evenly and efficiently transmitted to the ink pressurizing chamber through the vibrating plate. Therefore, it is possible to improve and equalize the ejection characteristics such as the ejection initial velocity of the ink droplets ejected from the plurality of nozzles and the amount of the ink droplets.

【0013】ここで、凹部および接着剤溜まりの寸法を
請求項2に記載の発明のように保持すれば、複数の圧電
素子と振動板との機械的結合状態が均等化され、複数の
圧電素子の面方向の電界誘起歪みが均等かつ効率よく振
動板を介してインク加圧室に伝達される。また、請求項
3に記載の発明では、接着剤溜まりを形成する圧電素子
の接着剤を紫外線・熱硬化併用型接着剤としたことによ
り、加熱のみの硬化時に生ずる接着剤の流れだしが防止
され、接着剤の表面張力で形成される一様な接着剤溜ま
りの形状を保持して硬化させることができ、圧電素子の
被拘束性が適切で一様なものとなり、したがってインク
ジェット記録ヘッドのインク吐出特性を揃えることがで
きる。
If the dimensions of the recess and the adhesive reservoir are maintained as in the second aspect of the present invention, the mechanical coupling state between the plurality of piezoelectric elements and the vibration plate is equalized, and the plurality of piezoelectric elements are provided. The electric field induced strain in the plane direction is uniformly and efficiently transmitted to the ink pressurizing chamber through the vibrating plate. Further, in the invention according to claim 3, since the adhesive of the piezoelectric element forming the adhesive reservoir is an ultraviolet / thermosetting combined type adhesive, the flow-out of the adhesive which occurs during curing only by heating is prevented. , The uniform shape of the adhesive pool formed by the surface tension of the adhesive can be retained and cured, and the constrained property of the piezoelectric element becomes appropriate and uniform. The characteristics can be made uniform.

【0014】さらに、請求項4に記載の発明では、振動
板を凹所を備えた金属板とプラスチック板との張り合わ
せ材としたことにより、振動板の剛性が増して振動板の
変位を効率よくインク加圧室に伝達できるので、振動板
の変位量が増し、インク吐出特性がより一層向上すると
ともに、振動板の歪み回復力が向上してノズル端面にお
けるインク先端の振動周期(メニスカス周期と呼ぶ)が
短縮されるので、インク滴の吐出に際して主滴に微細な
インク滴が付随して発生する(サテライトと呼ぶ)現象
を抑制する作用も得られる。
Further, in the invention according to the fourth aspect, the vibrating plate is made of a laminated material of a metal plate having a recess and a plastic plate, so that the rigidity of the vibrating plate is increased and the displacement of the vibrating plate is efficiently performed. Since it can be transmitted to the ink pressurizing chamber, the displacement amount of the vibrating plate is increased, the ink ejection characteristics are further improved, and the strain recovery force of the vibrating plate is improved to increase the vibration period of the ink tip at the nozzle end face (called the meniscus period). ) Is shortened, it is possible to obtain an effect of suppressing a phenomenon (called a satellite) in which a fine ink droplet is accompanied by a main ink droplet when the ink droplet is ejected.

【0015】さらにまた、請求項5に記載の発明では、
振動板をインク加圧室に対向する表面の定位置に所定の
大きさの凹所を備えた金属板としたことにより、振動板
の剛性の向上により振動板の変位量が増し、インク吐出
特性がより一層向上するとともに、振動板の歪み回復力
の向上によりメニスカス周期短縮され、サテライト数の
を抑制する作用が得られる。
Furthermore, in the invention described in claim 5,
By using a metal plate with a recess of a predetermined size in a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber, the rigidity of the vibration plate is improved and the displacement amount of the vibration plate is increased, resulting in ink ejection characteristics. Is further improved, and the meniscus period is shortened by improving the strain recovery force of the diaphragm, and the effect of suppressing the number of satellites is obtained.

【0016】[0016]

【実施例】以下この発明を実施例に基づいて説明する。
なお、従来例と同じ参照符号を付けた部材は従来例のそ
れと同じ機能をもつので、以下その説明を省略する。 (実施例1)図1はこの発明の実施例1になるインクジ
ェット記録ヘッドを模式化して示す断面図である。図に
おいて、インク流路1,フィルタ流路6,およびインク
溜まり7が凹溝として形成された基板9はポリエーテル
イミドの射出成形品として製作され、インク加圧室4に
対向する表面の定位置に凹部10Aを有する振動板10
は、厚み0.35mmのポリエーテルイミドの射出成形
品として、その外周寸法が基板9の外周寸法と一致する
よう製作される。また、振動板10に形成する凹部10
Aの寸法はこれに接着する圧電素子12の寸法に対応し
て次式を目安として決定し、かつ凹部10Aの位置は振
動板10の外周面を基準にしてインク加圧室4の中心に
凹部10Aの中心が一致するよう決定される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on embodiments.
Since the members having the same reference numerals as those of the conventional example have the same functions as those of the conventional example, the description thereof will be omitted below. (Embodiment 1) FIG. 1 is a schematic sectional view showing an ink jet recording head according to Embodiment 1 of the present invention. In the figure, a substrate 9 in which the ink flow path 1, the filter flow path 6, and the ink reservoir 7 are formed as concave grooves is manufactured as a polyetherimide injection-molded product, and is placed at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber 4. A diaphragm 10 having a recess 10A in its
Is manufactured as a polyetherimide injection-molded product having a thickness of 0.35 mm so that the outer peripheral dimension thereof matches the outer peripheral dimension of the substrate 9. In addition, the concave portion 10 formed in the diaphragm 10
The size of A is determined by using the following formula as a guide in accordance with the size of the piezoelectric element 12 adhered thereto, and the position of the recess 10A is recessed in the center of the ink pressurizing chamber 4 with the outer peripheral surface of the diaphragm 10 as a reference. The centers of 10A are determined so that they coincide.

【0017】凹部の短辺の長さ=圧電素子の短辺の長さ
×(1.05〜1.2) 凹部の調辺の長さ=圧電素子の長辺の長さ×(1.05
〜1.2) 凹部の深さ=圧電素子の厚み×(0.2〜0.5) この実施例では圧電素子として3.0×1.5×0.1
5mmのPZT圧電素子(比誘電率=5000)を用い
たので、凹部10Aの寸法は3.3×1.7×0.05
mmとした。
Length of short side of concave portion = length of short side of piezoelectric element × (1.05 to 1.2) Length of adjusting side of concave portion = length of long side of piezoelectric element × (1.05
~ 1.2) Depth of recess = thickness of piezoelectric element x (0.2 to 0.5) In this example, 3.0 x 1.5 x 0.1 as a piezoelectric element.
Since a 5 mm PZT piezoelectric element (relative permittivity = 5000) was used, the size of the recess 10A was 3.3 × 1.7 × 0.05.
mm.

【0018】振動板と基板の接合方法は、両者の接合面
をクロロホルム蒸気中に暴露して膨潤層を形成し、両者
を重ね合わせた状態で平板間に挟んで加圧する。このと
きのクロロホルム蒸気の濃度,曝露時間,および加圧
力,加圧時間は膨潤層の厚みが10μm程度になるよう
調整した。また、膨潤層に残留したクロロホルム蒸気を
除去するために、真空雰囲気中でガラス板に挟んだ状態
で加熱乾燥した。
The method of joining the vibrating plate and the substrate is such that the joining surface of both is exposed to chloroform vapor to form a swelling layer, and the two are superposed and sandwiched between flat plates to apply pressure. At this time, the concentration of chloroform vapor, the exposure time, the applied pressure, and the pressurization time were adjusted so that the thickness of the swelling layer was about 10 μm. Further, in order to remove the chloroform vapor remaining in the swollen layer, it was heated and dried in a state of being sandwiched between glass plates in a vacuum atmosphere.

【0019】凹部への圧電素子の接着方法は、まず振動
板10の要部に共通電極11としての厚み1μmのアル
ミニウム薄膜をスパッタ蒸着し、次いで凹部の共通電極
上に加熱硬化型のエポキシ樹脂系接着剤をディスペンサ
ーを用いて一定量滴下する。この状態で凹部の定位置に
圧電素子を載せ、所定の荷重を加えて余分な接着剤を接
着面から追い出す。このとき、追い出された接着剤はそ
の表面張力によって図に示すような接着剤溜まり15を
形成する。そこで、所定の温度と時間で接着剤を加熱硬
化させる。このときの接着剤の滴下量は図に示す接着剤
溜まり15の上部の縁が圧電素子12の厚みの50〜8
0%の位置にあって圧電素子の外周面に結合するに適し
た量とする。この実施例では圧電素子1つあたり120
μccの接着剤を滴下した。なお、圧電素子12および
凹部10Aはその長辺がインクの通流方向に並行するよ
う接着する。
The method of adhering the piezoelectric element to the concave portion is as follows. First, an aluminum thin film having a thickness of 1 μm as the common electrode 11 is sputter-deposited on the main portion of the vibration plate 10, and then a thermosetting epoxy resin system is formed on the common electrode of the concave portion. A certain amount of adhesive is dropped using a dispenser. In this state, the piezoelectric element is placed on the fixed position of the concave portion, and a predetermined load is applied to expel excess adhesive from the bonding surface. At this time, the expelled adhesive forms an adhesive pool 15 as shown in the figure due to its surface tension. Therefore, the adhesive is heated and cured at a predetermined temperature and time. The amount of adhesive dropped at this time is 50 to 8 of the thickness of the piezoelectric element 12 at the upper edge of the adhesive reservoir 15 shown in the figure.
The amount is set to 0% and suitable for bonding to the outer peripheral surface of the piezoelectric element. In this embodiment, 120 per piezoelectric element
A μcc adhesive was dropped. The piezoelectric element 12 and the recess 10A are bonded so that their long sides are parallel to the ink flow direction.

【0020】表1はこの発明の実施例1になるインクジ
ェット記録ヘッドの振動板の変位量とインク滴の吐出速
度の測定結果を従来技術のそれと比較して示すデータ表
であり、供試体としてマルチノズル数5のインクジェッ
ト記録ヘッド10個を用い、圧電素子の駆動電圧として
電圧値100V,パルス幅80μs,圧電素子の変位周
波数4kHZ の矩形波電圧を共通に印加して得られたデ
ータである。なお、比較例として図3に示すように凹部
なしのヘッドを用いた。
Table 1 is a data table showing the measurement results of the displacement amount of the vibrating plate of the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention and the ejection speed of ink droplets in comparison with that of the prior art. using 10 ink jet recording heads of the nozzle number 5 is a voltage value 100 V, data obtained by applying pulse width 80 [mu] s, a rectangular wave voltage of the displacement frequency 4KH Z of the piezoelectric element in common as the driving voltage of the piezoelectric element. As a comparative example, as shown in FIG. 3, a head having no recess was used.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】表1において、振動板の変位量は圧電素子
中心の最大変位量をインク加圧室側から測定した値であ
り、実施例1になるインクジェット記録ヘッドの振動板
の変位量が凹部なしのヘッド(比較例)のそれに比べて
1割高くなっており、実施例では振動板に凹部を設けて
圧電素子の位置精度および接着剤溜まりの形状寸法を制
御したことにより、振動板の変位量の向上効果が得られ
るとともに、その標準偏差が比較例の3分の2程度に低
減されている。また、インク滴の吐出速度はインク滴の
初速度を示しており、実施例ではその標準偏差が比較例
の3分の1程度にまで低減されている。以上の結果か
ら、この実施例によれば、従来に比べてインクジェット
記録ヘッド間およびマルチノズル間でインク吐出特性の
揃ったインクジェット記録ヘッドを提供できることが実
証された。
In Table 1, the displacement amount of the diaphragm is a value obtained by measuring the maximum displacement amount of the center of the piezoelectric element from the ink pressurizing chamber side, and the displacement amount of the diaphragm of the ink jet recording head according to the first embodiment has no recess. Is 10% higher than that of the head (comparative example). In the example, the displacement amount of the diaphragm is controlled by providing a concave portion in the diaphragm to control the positional accuracy of the piezoelectric element and the shape and size of the adhesive reservoir. And the standard deviation thereof is reduced to about two-thirds of that of the comparative example. Further, the ejection speed of the ink droplets indicates the initial speed of the ink droplets, and the standard deviation thereof in the example is reduced to about one third of that of the comparative example. From the above results, it was proved that this embodiment can provide an ink jet recording head in which the ink ejection characteristics are uniform between the ink jet recording heads and between the multi-nozzles, as compared with the related art.

【0023】(実施例2)表2はこの発明の実施例2に
なるインクジェット記録ヘッドの振動板の変位量とイン
ク滴の吐出速度の測定結果を示すデータ表であり、この
実施例2が図1に示す実施例1と異なるところは、圧電
素子を紫外線・熱硬化併用型接着剤を用いて振動板に接
着した点にある。表2のデータを表1に示すの実施例1
のデータと比較すると、振動板の変位量,インク滴の吐
出速度ともに平均値に大きな差は認められないものの、
それぞれの標準偏差が大幅に低減されている。このこと
から、紫外線・熱硬化併用型接着剤を用いて接着剤溜ま
りの形状,寸法を実施例1に比べてさらに一様なものと
することにより、インク滴吐出特性が従来のそれより揃
ったインクジェット記録ヘッドが得られることが実証さ
れた。また、この実施例では接着剤の硬化処理に要する
電力を従来のそれより節約でき、かつ歩留りの向上によ
ってインクジェット記録ヘッドの製造コストを低減でき
る利点が得られる。
(Embodiment 2) Table 2 is a data table showing the measurement results of the displacement amount of the vibration plate of the ink jet recording head and the ejection speed of ink droplets according to Embodiment 2 of the present invention. The difference from the first embodiment shown in FIG. 1 is that the piezoelectric element is bonded to the diaphragm by using an ultraviolet / thermosetting adhesive. Example 1 of the data of Table 2 is shown in Table 1
Compared with the data of, although there is no significant difference in the average value of the displacement of the diaphragm and the ejection speed of the ink droplets,
Each standard deviation is greatly reduced. From this, by using an ultraviolet / thermosetting type adhesive to make the shape and size of the adhesive reservoir more uniform as compared with the first embodiment, the ink droplet ejection characteristics are more uniform than those of the conventional one. It was demonstrated that an inkjet recording head was obtained. In addition, in this embodiment, the electric power required for the curing process of the adhesive can be saved more than the conventional one, and the yield can be improved, and the manufacturing cost of the inkjet recording head can be reduced.

【0024】[0024]

【表2】 [Table 2]

【0025】(実施例3)図2はこの発明の実施例3に
なるインクジェット記録ヘッドを模式化して示す断面図
である。この実施例が図1に示す実施例1と異なるとこ
ろは、振動板10がインク加圧室4に対向する表面の定
位置に所定の大きさの凹部10Aを備えた補強金属板1
0Bとプラスチック板10Dとを接着剤層10Cで張り
合わせた積層材からなり、プラスチック板10D側が基
材9の表面に接着された点にある。すなわち、補強金属
板10Bにはエッチング加工で凹部10Aを形成した厚
み0.2mmのニッケル板を用い、厚み0.05mmの
ポリエーテルイミドからなるプラスチック板10Dとの
間に厚み30μmのホットメルト接着剤を介在させた状
態で所定の面圧を加えて接着層の厚みが均一になるよう
加熱,接着した。なお、補強金属板10Bが共通電極の
機能を兼ねる他は、凹部10Aの決め方,基板9との接
合方法等は図1に示す実施例と同様であり、詳しい説明
は省略する。
(Embodiment 3) FIG. 2 is a sectional view schematically showing an ink jet recording head according to Embodiment 3 of the present invention. The difference between this embodiment and the first embodiment shown in FIG. 1 is that the vibrating plate 10 has a recess 10A of a predetermined size at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber 4, and the reinforcing metal plate 1 is provided.
0B and the plastic plate 10D are laminated by an adhesive layer 10C, and the plastic plate 10D side is bonded to the surface of the base material 9. That is, as the reinforcing metal plate 10B, a nickel plate having a thickness of 0.2 mm in which a recess 10A is formed by etching is used, and a hot melt adhesive having a thickness of 30 μm is formed between the reinforcing metal plate 10B and a plastic plate 10D made of polyetherimide having a thickness of 0.05 mm. A predetermined surface pressure was applied in the state of interposing the above to heat and bond so that the thickness of the adhesive layer became uniform. In addition, except that the reinforcing metal plate 10B also has the function of the common electrode, the method of determining the recess 10A, the method of joining the substrate 9 and the like are the same as those in the embodiment shown in FIG.

【0026】表3は図2に示すインクジェット記録ヘッ
ドの振動板の変位量とインク滴の吐出速度の測定結果を
従来技術のそれと比較して示すデータ表、表4は図2に
示すインクジェット記録ヘッドの振動板のメニスカス周
期の測定結果を従来技術のそれと比較して示すデータ表
であり、測定条件は表1における測定条件と同じであ
る。また、表5は図2に示すインクジェット記録ヘッド
のサテライト数の測定結果を実施例1のインクジェット
記録ヘッド(金属板なしのヘッド)のそれと比較して示
すデータ表であり、マルチノズル数5のインクジェット
記録ヘッド5個について、100ドットあたりのサテラ
イト数で示した。
Table 3 is a data table showing the measurement results of the displacement amount of the vibrating plate of the ink jet recording head shown in FIG. 2 and the ejection speed of the ink droplets in comparison with that of the prior art, and Table 4 is the ink jet recording head shown in FIG. 3 is a data table showing the measurement result of the meniscus period of the diaphragm of FIG. 3 in comparison with that of the conventional technique, and the measurement conditions are the same as those in Table 1. Table 5 is a data table showing the results of measuring the number of satellites of the inkjet recording head shown in FIG. 2 in comparison with that of the inkjet recording head of Example 1 (head without a metal plate). The number of satellites per 100 dots is shown for five recording heads.

【0027】[0027]

【表3】 [Table 3]

【0028】[0028]

【表4】 [Table 4]

【0029】[0029]

【表5】 [Table 5]

【0030】表3において、実施例3のヘッドの振動板
の変位量,インク滴の吐出量ともに凹部なしの従来のヘ
ッド(図3に示すヘッド)に比べてその平均値が3割程
度大きくなっている。これは、ニッケル板からなる補強
金属板により振動板の剛性が向上したためと考えられ
る。この反面、従来のヘッドと比べた平均値の標準偏差
は小さくなっているものの、実施例1,実施例2に比べ
て標準偏差がやや大きくなっている。これは、振動板を
積層材としたため、接着層の存在によりデータのばらつ
きがやや増加したものと考えられる。一方、表4におい
ては、凹部なしの従来のヘッドではメニスカス周期が圧
電素子の変位周期(1/4kHZ =250μs)に近い
241μsであるのに対して実施例3のヘッドでは19
7μsに短縮されており、振動板の剛性の向上により変
位の回復が速くなっていることを表している。メニスカ
ス周期の短縮効果は表5におけるサテライト数の低減効
果として明確に表れており、比較例として示す実施例1
のヘッドのサテライト数が29であるのに対して実施例
3のヘッドのそれは3.1に低減されており、主インク
滴に付随するサテライトにより印字品質が低下すること
を防止できることを示している。以上の測定データか
ら、凹部を形成した補強金属板をプラスチック製の振動
板上に接着して振動板の剛性を高めることにより、イン
ク吐出特性はもとより、印字品質も従来のヘッドのそれ
より高いレベルで揃ったマルチノズルタイプのインクジ
ェット記録ヘッドを得られることが実証された。
In Table 3, both the displacement amount of the vibrating plate of the head of the third embodiment and the ejection amount of the ink droplets are about 30% larger in average value than the conventional head having no recess (head shown in FIG. 3). ing. It is considered that this is because the rigidity of the diaphragm is improved by the reinforcing metal plate made of a nickel plate. On the other hand, the standard deviation of the average value is smaller than that of the conventional head, but the standard deviation is slightly larger than those of the first and second embodiments. It is considered that this is because the diaphragm was made of a laminated material, and thus the variation in data was slightly increased due to the existence of the adhesive layer. On the other hand, in Table 4, in the head of Example 3 while the meniscus period in the conventional head without recess is 241μs close to the displacement cycle of the piezoelectric element (1 / 4kH Z = 250μs) 19
It is shortened to 7 μs, which shows that the displacement recovery is faster due to the improvement of the rigidity of the diaphragm. The effect of shortening the meniscus cycle is clearly shown as the effect of reducing the number of satellites in Table 5, and Example 1 shown as a comparative example.
The number of satellites of the head of No. 3 is 29, while that of the head of Example 3 is reduced to 3.1, which shows that it is possible to prevent the print quality from being deteriorated by the satellites attached to the main ink droplets. . From the above measurement data, by reinforcing the rigidity of the diaphragm by adhering the reinforcing metal plate with the recess to the plastic diaphragm, not only the ink ejection characteristics but also the print quality is higher than that of the conventional head. It was proved that a multi-nozzle type ink jet recording head that was completed in 1 can be obtained.

【0031】(実施例4)表6はこの発明の実施例4に
なるインクジェット記録ヘッドの振動板の変位量とイン
ク滴の吐出速度の測定結果を示すデータ表である。この
実施例が図1に示す実施例1と異なるところは、振動板
10がインク加圧室4に対向する表面の定位置に所定の
大きさの凹所10Aを備えた金属板(この場合ニッケル
板)からなり、基材9の表面に厚み30μmのホットメ
ルト接着材を用いて接着された点にある。すなわち、図
2におけるプラスチック板10Dを取り除き、補強金属
板10Bを基板9に直接接着したような構造となってい
る。この実施例4の場合、ホットメルト接着材がインク
流路内に入り込むことを考慮して、予めインク流路1の
深さを20μm程度深く形成している。また、接着時の
加熱条件は実施例3に比べて緩やかに制御した。なお、
表6における測定条件は実施例1のそれと同じ条件とし
た。
(Embodiment 4) Table 6 is a data table showing the measurement results of the displacement amount of the vibrating plate of the ink jet recording head and the ejection speed of ink droplets according to Embodiment 4 of the present invention. This embodiment is different from the embodiment 1 shown in FIG. 1 in that the vibrating plate 10 is provided with a recess 10A having a predetermined size at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber 4 (in this case, nickel). Plate) and is bonded to the surface of the base material 9 using a hot melt adhesive having a thickness of 30 μm. That is, the structure is such that the plastic plate 10D in FIG. 2 is removed and the reinforcing metal plate 10B is directly bonded to the substrate 9. In the case of the fourth embodiment, the depth of the ink flow path 1 is formed to be deeper by about 20 μm in consideration of the hot melt adhesive entering the ink flow path. In addition, the heating conditions during adhesion were controlled more gently than in Example 3. In addition,
The measurement conditions in Table 6 were the same as those in Example 1.

【0032】[0032]

【表6】 [Table 6]

【0033】表6のデータを表3(実施例3)のデータ
と比較すると、振動板の変位量に関して平均値が2割程
度大きくなっている。これは、実施例3で補強金属板と
プラスチック板との接着に必要とした接着層10Cが排
除され、圧電素子の変位がインク加圧室により直接伝わ
るためと考えられる。一方、インク吐出速度は基板との
シール面にホットメルト接着材層が介在するため、実施
例3に比べてデータの標準偏差が大きくなっている。し
かし従来の凹部なしのインクジェット記録ヘッドに比べ
て優れた特性を示し、実施例1,3のようにクロロホル
ム蒸気による接合工程やポリエステルイミド製の振動板
が不要になるため、製造コストの低減が可能であり、印
字品質の仕様が緩やかなインクジェット記録ヘッドを経
済的に有利に提供できる利点が得られる。
Comparing the data of Table 6 with the data of Table 3 (Example 3), the average value of the displacement of the diaphragm is increased by about 20%. It is considered that this is because the adhesive layer 10C necessary for bonding the reinforcing metal plate and the plastic plate in Example 3 is eliminated, and the displacement of the piezoelectric element is directly transmitted to the ink pressurizing chamber. On the other hand, the ink ejection speed has a larger standard deviation of the data as compared with the third embodiment because the hot melt adhesive layer is present on the sealing surface with the substrate. However, it shows excellent characteristics compared to the conventional inkjet recording head without recesses, and the manufacturing process can be reduced because the joining process with chloroform vapor and the diaphragm made of polyesterimide as in Examples 1 and 3 are unnecessary. Therefore, it is possible to economically provide an inkjet recording head with moderate specifications of printing quality.

【0034】[0034]

【発明の効果】この発明のインクジェット記録ヘッドは
前述のように、振動板の変位量およびインク滴の吐出速
度が圧電素子の変位伝達機構部に依存する傾向が強いこ
とに着目し、振動板の凹部と振動板外周面との間に設け
た一定の寸法裕度を利用して接着剤溜まりの形状,寸法
のばらつきを抑制するよう構成した。その結果、凹部な
しの従来のヘッドに比べて振動板の変位量およびインク
滴の吐出速度の平均値の向上と,標準偏差の大幅な低減
が可能となり、したがってインク吐出特性の不揃いがな
く,高い印字品質が得られるインクジェット記録ヘッド
を提供することができる。
As described above, the ink jet recording head of the present invention has a strong tendency that the displacement amount of the vibration plate and the ejection speed of the ink droplets depend on the displacement transmission mechanism portion of the piezoelectric element. By using a certain dimensional margin provided between the recess and the outer peripheral surface of the diaphragm, it was configured to suppress variations in the shape and dimensions of the adhesive reservoir. As a result, it is possible to improve the displacement amount of the vibrating plate and the average value of the ink droplet ejection speed and to significantly reduce the standard deviation, as compared with the conventional head having no concave portion, and therefore, there is no unevenness in the ink ejection characteristics and it is high. It is possible to provide an inkjet recording head that can obtain printing quality.

【0035】また、圧電素子の接着に紫外線・熱硬化併
用型接着剤を用いたことにより、振動板の変位量および
インク滴の吐出速度の標準偏差の一層の低減が可能にな
り、インク吐出特性の不揃いがより少なく,より高い印
字品質が得られるインクジェット記録ヘッドを提供する
ことができる。さらに、振動板を凹部を有する補強金属
板とプラスチック板との張り合わせ材とすれば、振動板
の変位量およびインク滴の吐出速度の平均値の向上効
果、およびサテライト数の低減効果が得られ、従ってイ
ンク滴の吐出特性および印字性能の高いインクジェット
記録ヘッドを提供することができる。
Further, by using the ultraviolet / thermosetting adhesive for bonding the piezoelectric element, it becomes possible to further reduce the displacement amount of the vibration plate and the standard deviation of the ink droplet ejection speed, and the ink ejection characteristics. It is possible to provide an ink jet recording head which has less unevenness of printing and can obtain higher printing quality. Furthermore, if the vibrating plate is a bonding material of a reinforcing metal plate having a recess and a plastic plate, the effect of improving the displacement amount of the vibrating plate and the average value of the ejection speed of ink drops, and the effect of reducing the number of satellites can be obtained. Therefore, it is possible to provide an ink jet recording head having high ink droplet ejection characteristics and high printing performance.

【0036】さらにまた、振動板を凹部を有する金属板
とすることにより、振動板の変位量およびインク滴の吐
出速度の平均値がより高く、インク滴の吐出特性に優れ
たインクジェット記録ヘッドを、簡略化した製造工程に
よって経済的に有利に提供することができる。
Furthermore, by forming the vibrating plate as a metal plate having a concave portion, an ink jet recording head having a higher displacement amount of the vibrating plate and an average value of ink droplet ejection speed and excellent ink droplet ejection characteristics can be obtained. It can be economically provided by a simplified manufacturing process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例1になるインクジェット記録
ヘッドを模式化して示す断面図
FIG. 1 is a sectional view schematically showing an inkjet recording head according to a first embodiment of the present invention.

【図2】この発明の実施例3になるインクジェット記録
ヘッドを模式化して示す断面図
FIG. 2 is a sectional view schematically showing an inkjet recording head according to a third embodiment of the present invention.

【図3】従来のインクジェット記録ヘッドの一例をイン
ク流路に沿った方向に模式化して示す断面図
FIG. 3 is a sectional view schematically showing an example of a conventional inkjet recording head in a direction along an ink flow path.

【図4】従来のインクジェット記録ヘッドのインク流路
の一例を模式化して示す平面図
FIG. 4 is a plan view schematically showing an example of an ink flow path of a conventional inkjet recording head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インク流路 2 ノズル 3 ノズル流路 4 インク加圧室 5 インク供給路 6 フィルタ流路 7 インク溜まり 8 シール面 9 基板 10 振動板 10A 凹部 10B 補強金属板 10C 接着層 10D プラスチック板 11 共通電極 12 圧電素子 13 電極 14 接着剤層 15 接着剤溜まり DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ink flow path 2 Nozzle 3 Nozzle flow path 4 Ink pressurizing chamber 5 Ink supply path 6 Filter flow path 7 Ink pool 8 Sealing surface 9 Substrate 10 Vibration plate 10A Recess 10B Reinforcing metal plate 10C Adhesive layer 10D Plastic plate 11 Common electrode 12 Piezoelectric element 13 Electrode 14 Adhesive layer 15 Adhesive reservoir

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】フイルタ流路を介してインク溜まりから分
岐した一連のインク加圧室,ノズル流路,およびノズル
からなるインク流路を複数備えた基板と、インク溜まり
およびインク流路を覆う振動板と、この振動板の前記イ
ンク加圧室に対向する表面の定位置にそれぞれ接着され
た直方体状の圧電素子とを備え、この圧電素子の接着面
に平行な方向の電界誘起歪みを駆動源としてインクを前
記ノズルから噴射するプラスチック製のインクジェット
記録ヘッドにおいて、前記振動板が前記インク加圧室に
対向する表面の定位置に圧電素子の外周に対して所定の
寸法裕度を有する凹部を備え、この凹部内に前記圧電素
子がその周囲に接着剤溜まりを保持して接着されてなる
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
1. A substrate having a plurality of ink pressurization chambers branched from an ink reservoir via a filter channel, a nozzle channel, and a plurality of ink channels consisting of nozzles, and a vibration covering the ink reservoir and the ink channel. A plate and a rectangular parallelepiped piezoelectric element bonded at a fixed position on the surface of the vibration plate facing the ink pressurizing chamber, and a driving source for electric field induced strain in a direction parallel to the bonding surface of the piezoelectric element. In the plastic ink jet recording head for ejecting ink from the nozzle as described above, the vibrating plate is provided with a concave portion having a predetermined dimensional margin with respect to the outer circumference of the piezoelectric element at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber. An ink jet recording head characterized in that the piezoelectric element is adhered to the inside of the concave portion while holding an adhesive reservoir around the piezoelectric element.
【請求項2】請求項1記載のインクジェット記録ヘッド
において、凹部の所定の大きさが、直方体状の圧電素子
の短辺の長さおよび長辺の長さに対して1.05〜1.
2倍の大きさを持ち、直方体状の圧電素子の厚みに対し
て0.2〜0.5倍の大きさを持ち、かつ、この凹部と
圧電素子の外周面との間に圧電素子の厚みの50〜80
%の範囲で圧電素子に結合した接着剤溜まりを備えたこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the predetermined size of the concave portion is 1.05 to 1.5 with respect to the length of the short side and the length of the long side of the rectangular parallelepiped piezoelectric element.
The piezoelectric element has a size twice as large as that of the rectangular parallelepiped piezoelectric element and is 0.2 to 0.5 times the thickness of the rectangular parallelepiped piezoelectric element, and the thickness of the piezoelectric element is between the recess and the outer peripheral surface of the piezoelectric element. 50 to 80
An ink jet recording head having an adhesive reservoir bonded to a piezoelectric element in the range of%.
【請求項3】請求項1記載のインクジェット記録ヘッド
において、接着剤溜まりを形成する圧電素子の接着剤が
紫外線・熱硬化併用型接着剤であることを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。
3. The inkjet recording head according to claim 1, wherein the adhesive of the piezoelectric element forming the adhesive reservoir is an ultraviolet / thermosetting adhesive.
【請求項4】請求項1記載のインクジェット記録ヘッド
において、振動板がインク加圧室に対向する表面の定位
置に所定の大きさの凹部を備えた補強金属板とプラスチ
ック板との張り合わせ材からなり、プラスチック板側が
基材の表面に接着されてなることを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド。
4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the vibrating plate has a recessed portion of a predetermined size at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber, and the vibrating plate is made of a laminated material of a reinforcing metal plate and a plastic plate. The inkjet recording head is characterized in that the plastic plate side is adhered to the surface of the base material.
【請求項5】請求項1記載のインクジェット記録ヘッド
において、振動板がインク加圧室に対向する表面の定位
置に所定の大きさの凹所を備えた金属板であることを特
徴とするインクジェット記録ヘッド。
5. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the vibrating plate is a metal plate having a recess of a predetermined size at a fixed position on the surface facing the ink pressurizing chamber. Recording head.
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