JP2001113696A - Ink-jet head and its manufacturing method - Google Patents

Ink-jet head and its manufacturing method

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JP2001113696A
JP2001113696A JP29369099A JP29369099A JP2001113696A JP 2001113696 A JP2001113696 A JP 2001113696A JP 29369099 A JP29369099 A JP 29369099A JP 29369099 A JP29369099 A JP 29369099A JP 2001113696 A JP2001113696 A JP 2001113696A
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JP
Japan
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adhesive
piezoelectric element
diaphragm
jet head
film
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JP29369099A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuo Miyoshi
康雄 三好
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To ease a positioning accuracy between a piezoelectric element and an adhesive layer on the piezoelectric element and eliminate problems in relation to a liquid adhesive in the prior art, etc., in an on-demand type ink-jet head with the piezoelectric element. SOLUTION: A plurality of piezoelectric elements 2 are arranged in parallel and a diaphragm part 3 of a diaphragm is joined between the piezoelectric elements in the ink-jet head. The diaphragm part is joined to the piezoelectric elements by a film-like adhesive having two slits 5b and 5b formed opposite to each other (more correctly, an adhesive 5a which is a body of the film-like adhesive). The slits 5b and 5b are formed in parallel to an arrangement direction of the piezoelectric elements while spaced by a larger distance D than a breadth W of the diaphragm part. According to the head, high-quality images can be stably formed even when nozzles are set with a high density.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録を必要とする
時にのみインク液滴を形成・吐出させて所望の記録体に
インク記録を行うドロップ・オン・デマンド型のインク
ジェットヘッドに関し、特に、多数のインク液滴吐出ノ
ズルを有するマルチノズルヘッドの構造および、その製
造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drop-on-demand type ink-jet head which forms and discharges ink droplets only when recording is required and performs ink recording on a desired recording medium. The present invention relates to a structure of a multi-nozzle head having the above-described ink droplet discharge nozzle and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、インクジェット式記録用ヘッドと
して連続噴射型、間欠噴射型、インクミスト型、オンデ
マンド型などが知られている。また、オンデマンド型の
インクジェットヘッドには、駆動手段として圧電素子を
用いるもの(特公平2−51734号公報)や、インク
を加熱して気泡を発生させ、その圧力によってインクを
吐出させるもの(特公昭61−59911号公報)があ
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, continuous jet type, intermittent jet type, ink mist type, on-demand type and the like are known as ink jet recording heads. Further, an on-demand type ink jet head uses a piezoelectric element as a driving means (Japanese Patent Publication No. 2-51734), or a type which heats ink to generate bubbles and discharges ink by the pressure (special purpose). Japanese Patent Publication No. 61-59911).

【0003】圧電素子を用いるインクジェットヘッド
は、圧電素子に電気信号を印加して圧力波を発生させ、
この圧力波によりインク液滴を噴射するものであるた
め、インク液滴を必要時にのみ吐出させることができる
という長所がある。また、このインクジェットヘッドで
は、電気信号に応じた圧力パルスを発生させることがで
きるため、駆動回路および全体構造が簡単であるという
利点がある。
An ink jet head using a piezoelectric element generates a pressure wave by applying an electric signal to the piezoelectric element.
Since the ink droplet is ejected by the pressure wave, there is an advantage that the ink droplet can be ejected only when necessary. Further, in this ink jet head, since a pressure pulse corresponding to an electric signal can be generated, there is an advantage that a driving circuit and an entire structure are simple.

【0004】図7は、このようなインクジェットヘッド
の典型的な従来例を示す概略断面図である。このヘッド
では、基板41上に圧電素子42と、フレーム50およ
び電極(図略)などから構成されたアクチュエータ部4
0とが接合され、このアクチュエータ部40上に、振動
板44の要部であるダイアフラム部43が接着剤45に
より接合され、さらにこの振動板44上に液室47、共
通液室49およびノズルプレート46が設けられてい
る。符号48は流体抵抗、符号46aはノズルである。
上記アクチュエータ部40では、フレーム50が圧電素
子42の周囲を囲み、さらにフレーム50は、液室47
と接合されてこれを支持している。
FIG. 7 is a schematic sectional view showing a typical conventional example of such an ink jet head. In this head, a piezoelectric element 42, a frame 50, an electrode (not shown), and the like
And a diaphragm portion 43, which is a main part of a vibration plate 44, is bonded on the actuator portion 40 with an adhesive 45. Further, on the vibration plate 44, a liquid chamber 47, a common liquid chamber 49, and a nozzle plate 46 are provided. Reference numeral 48 denotes a fluid resistance, and reference numeral 46a denotes a nozzle.
In the actuator section 40, the frame 50 surrounds the periphery of the piezoelectric element 42, and the frame 50 further includes a liquid chamber 47.
It is joined with and supports this.

【0005】そして、上記ヘッドにおいては、電圧印加
による圧電素子42の体積変化により、振動板44上
(より正確には ダイアフラム部43上)に接合する液
室47に圧力が加わり、共通液室49から流入するイン
クで満たされた液室47のインクがノズル46aからイ
ンク液滴となって吐出される。
In the above-mentioned head, a pressure is applied to a liquid chamber 47 joined on the diaphragm 44 (more precisely, on the diaphragm 43) due to a volume change of the piezoelectric element 42 due to voltage application, and a common liquid chamber 49 is formed. The ink in the liquid chamber 47 filled with the ink flowing from the nozzle 46a is ejected from the nozzle 46a as ink droplets.

【0006】図7に示すようなインクジェットヘッドを
作製する場合、圧電素子42を振動板44(ダイアフラ
ム部43)に接合するときには、圧電素子42とダイア
フラム部43との位置合わせを精確に行うとともに、こ
れらの接着をムラなく確実に行うことが重要である。ま
た、ノズルを高密度に設けた場合には、上記位置合わせ
の精度を特に高くする必要がある。そうでないと、圧電
素子42の振動がダイアフラム部43に正確に伝わらな
いため、安定したインク液滴の吐出が得られなくなる。
In manufacturing an ink jet head as shown in FIG. 7, when the piezoelectric element 42 is joined to the diaphragm 44 (diaphragm 43), the positioning between the piezoelectric element 42 and the diaphragm 43 is performed accurately. It is important to ensure that these bonds are made evenly. Further, when the nozzles are provided at a high density, it is necessary to particularly increase the accuracy of the alignment. Otherwise, since the vibration of the piezoelectric element 42 is not accurately transmitted to the diaphragm 43, stable ejection of ink droplets cannot be obtained.

【0007】ところで、従来技術においては、圧電素子
とダイアフラム部との接合に液状の接着剤が用いられて
きた。しかし、この液状接着剤では、(1)硬化時に硬
化成分がはみ出し、圧電素子を汚染させてしまう、
(2)硬化させるためには通常、高温で長時間加熱する
必要がある、(3)本接合の前に、圧電素子とダイアフ
ラム部との位置合わせ状態を維持するための接着工程が
必要である、(4)そのため、高品質のヘッドを歩留り
良く量産するのが難しいという問題があった。
In the prior art, a liquid adhesive has been used for joining the piezoelectric element and the diaphragm. However, with this liquid adhesive, (1) the cured component protrudes at the time of curing and contaminates the piezoelectric element.
(2) In order to cure, it is usually necessary to heat at a high temperature for a long time. (3) Before the actual bonding, a bonding step for maintaining the alignment state between the piezoelectric element and the diaphragm is required. (4) Therefore, there is a problem that it is difficult to mass-produce a high-quality head with good yield.

【0008】この問題を解決するための手段として、い
わゆるフィルム状接着剤を用いることが提案されてい
る。このフィルム状接着剤の一例としては、剥離紙の片
面に例えば加熱反応型(熱硬化型)の接着剤を、液状で
はなくフィルム状(薄膜状)に塗布したものが知られて
おり、この接着剤がフィルム状接着剤の本体となってい
る。
As a means for solving this problem, it has been proposed to use a so-called film adhesive. As an example of the film-like adhesive, a heat-reactive (thermosetting) adhesive is coated on one side of a release paper in a film (thin film) form instead of a liquid state. The agent is the body of the film adhesive.

【0009】上記フィルム状接着剤を使用するには、一
方の部材Aの被接合面に上記本体側の面を貼り付け、剥
離紙を除去することにより、上記接着剤本体を上記被接
合面にフィルム状に転写塗布した形態とした後、他方の
部材Bを部材A上の接着剤本体に重ね合わせ、ついで部
材AとBを熱圧着により接合する。
In order to use the film adhesive, the surface of the main body is adhered to the surface to be joined of one member A, and the release paper is removed. After the film is transferred and applied, the other member B is overlaid on the adhesive body on the member A, and then the members A and B are joined by thermocompression bonding.

【0010】ところが、フィルム状接着剤を用いた場
合、上記熱圧着の荷重によりフィルム(フィルム状接着
剤の本体、すなわち接着剤)が変形するため、接着剤の
はみ出しが生じたり、均一に接合することができなかっ
たりするという、新たな問題が発生した。
However, when a film-like adhesive is used, the film (the main body of the film-like adhesive, that is, the adhesive) is deformed by the load of the thermocompression bonding, so that the adhesive is protruded or uniformly bonded. A new problem has arisen, such as the inability to do so.

【0011】特開平9−39243号公報(発明の名
称:積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造
方法、及び記録装置)に開示されたヘッドでは、通孔を
設けたフィルム状接着剤を用いることで、上記ような接
着剤はみ出しの問題を解決している。しかしながら、こ
のヘッドにおいては、被接着部材と上記通孔との位置合
わせが必要になり、ノズルが高密度化した場合には、高
精度の位置合わせが要求されるうえ、熱圧着により位置
合わせ状態に狂いが生じやすくなる(位置ずれを起こし
やすい)恐れがあった。
In the head disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-39243 (Title of Invention: Laminated ink jet recording head, its manufacturing method, and recording apparatus), a film-like adhesive provided with through holes is used. This solves the problem of the adhesive protruding as described above. However, in this head, it is necessary to align the member to be bonded and the through hole, and when the nozzles have a high density, high-precision alignment is required, and the alignment state is determined by thermocompression bonding. There was a risk that the data could easily become out of order (prone to misalignment).

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術の
上記問題点に鑑みなされたもので、その目的は、インク
吐出用の駆動部材として圧電素子を備えたオンデマンド
型のインクジェットヘッドにおいて、圧電素子と、振動
板のダイアフラム部とを所定のフィルム状接着剤を用い
て接合することにより、圧電素子と圧電素子上の接着剤
層との位置合わせ精度を緩和するとともに、従来技術に
おける液状接着剤に伴う問題や、従来のフィルム状接着
剤を用いた場合の接着剤はみ出しなどのトラブルを防止
することができ、しかも信頼性が高く、量産性に優れた
安価なインクジェットヘッドを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has as its object to provide an on-demand type ink jet head having a piezoelectric element as a driving member for ink ejection. By joining the piezoelectric element and the diaphragm of the diaphragm using a predetermined film adhesive, the alignment accuracy between the piezoelectric element and the adhesive layer on the piezoelectric element can be reduced, and the liquid bonding in the conventional technology can be reduced. To provide an inexpensive inkjet head that is highly reliable, mass-producible, and can prevent problems associated with the adhesive and troubles such as sticking out of the adhesive when using a conventional film adhesive. is there.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載のインク
ジェットヘッド(図1〜図3参照)は、圧電素子2を複
数並列に配備し、これらの圧電素子2に対応する位置に
振動板4のダイアフラム部3を接合し、圧電素子2の体
積変化を利用してノズル6aからインク液滴を吐出させ
るようにしたインクジェットヘッドにおいて、ダイアフ
ラム部3は、2条のスリット5b,5bが互いに対向し
て形成されたフィルム状接着剤5(より正確には、フィ
ルム状接着剤5の本体、すなわち接着剤5a)により圧
電素子2に接合され、かつ上記スリット5b,5bが圧
電素子2の配列方向に平行になっていることを特徴とす
る。
According to the first aspect of the present invention, there is provided an ink jet head (see FIGS. 1 to 3) in which a plurality of piezoelectric elements 2 are arranged in parallel, and a diaphragm 4 is provided at a position corresponding to the piezoelectric elements 2. In the ink jet head in which the diaphragm portions 3 are joined and the ink droplets are ejected from the nozzles 6a using the volume change of the piezoelectric element 2, the diaphragm portion 3 has two slits 5b, 5b facing each other. The piezoelectric element 2 is bonded to the piezoelectric element 2 by a film-like adhesive 5 formed more precisely (more precisely, the main body of the film-like adhesive 5, that is, the adhesive 5a), and the slits 5b, 5b are arranged in the direction in which the piezoelectric element 2 is arranged. It is characterized by being parallel.

【0014】請求項1の発明によれば、圧電素子上に形
成する接着剤層の位置精度が緩和され、高密度のノズル
を備え、かつ画像品質に優れたヘッドを生産性良く製造
することができる。
According to the first aspect of the present invention, the positional accuracy of the adhesive layer formed on the piezoelectric element is reduced, and a head having high-density nozzles and excellent in image quality can be manufactured with high productivity. it can.

【0015】請求項2に記載のインクジェットヘッド
は、請求項1においてフィルム状接着剤を構成する接着
剤本体が、加熱反応型接着剤であることを特徴とする。
この発明によれば圧電素子と、振動板のダイアフラム部
とを短時間に強固に接合することができ、画像品質に優
れたヘッドを生産性良く製造することが可能となる。
According to a second aspect of the present invention, in the inkjet head according to the first aspect, the adhesive body constituting the film adhesive is a heat-reactive adhesive.
According to the present invention, the piezoelectric element and the diaphragm of the diaphragm can be firmly joined in a short time, and a head having excellent image quality can be manufactured with high productivity.

【0016】請求項3に記載のインクジェットヘッド
は、請求項1において、フィルム状接着剤を構成する接
着剤本体が、エポキシ系接着剤であることを特徴とす
る。この発明によれば圧電素子と、振動板のダイアフラ
ム部とを特に強固に接合することができ、画像品質に優
れたヘッドを生産性良く製造することが可能となる。
According to a third aspect of the present invention, in the ink jet head according to the first aspect, the adhesive body constituting the film adhesive is an epoxy-based adhesive. According to the present invention, the piezoelectric element and the diaphragm of the diaphragm can be particularly firmly joined, and a head having excellent image quality can be manufactured with high productivity.

【0017】請求項4に記載のインクジェットヘッド
は、請求項2において、エポキシ系接着剤が加熱反応型
接着剤であることを特徴とする。この発明によれば圧電
素子と、振動板のダイアフラム部とを短時間に特に強固
に接合することができ、画像品質に優れたヘッドを、よ
り生産性良く製造することが可能となる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the ink jet head according to the second aspect, the epoxy adhesive is a heat-reactive adhesive. According to the present invention, the piezoelectric element and the diaphragm of the diaphragm can be particularly firmly joined in a short time, and a head having excellent image quality can be manufactured with higher productivity.

【0018】請求項5に記載のインクジェットヘッド
は、請求項1〜4のいずれかにおいて、振動板の圧電素
子と対向する側の面のうち、互いに隣接する圧電素子間
に対応する部分に溝が形成されていることを特徴とす
る。この発明によれば、隣接するダイアフラム部が相互
に分離されるため、ノズルの高密度化に際して多数のダ
イアフラム部を小さいピッチで配列したときでも、ダイ
アフラム部相互間の干渉が小さくなるので、画像品質に
優れたヘッドを歩留り良く製造することができる。ま
た、余分な接着剤が上記溝に逃げ込むので、接着剤のは
み出しが防止されるとともに、振動板と圧電素子とのギ
ャップ(間隔)が均一になり、このことも画像品質の向
上に寄与する。
According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet head according to any one of the first to fourth aspects, a groove is formed in a portion corresponding to a space between the piezoelectric elements adjacent to each other on a surface of the vibration plate facing the piezoelectric element. It is characterized by being formed. According to the present invention, since the adjacent diaphragm portions are separated from each other, even when a large number of diaphragm portions are arranged at a small pitch in increasing the density of the nozzles, interference between the diaphragm portions is reduced, so that image quality is reduced. A head excellent in quality can be manufactured with good yield. Further, since the excess adhesive escapes into the groove, the adhesive is prevented from protruding, and the gap (interval) between the vibration plate and the piezoelectric element becomes uniform, which also contributes to the improvement of image quality.

【0019】請求項6に記載のインクジェットヘッド
は、請求項1〜5のいずれかにおいて、圧電素子表面の
フィルム状接着剤との接合面の表面粗さが、フィルム状
接着剤を構成する接着剤本体の厚さよりも小さいことを
特徴とする。この発明によれば、圧電素子表面の凹凸部
分に流れ込む接着剤量が少なくなるため、ダイアフラム
部を圧電素子にムラなく接合することができるうえ、振
動板と圧電素子とのギャップが均一になるので、画像品
質に優れたヘッドを製造することができる。
According to a sixth aspect of the present invention, in the ink jet head according to any one of the first to fifth aspects, the surface roughness of the bonding surface of the piezoelectric element surface with the film adhesive is such that the adhesive constitutes the film adhesive. It is characterized by being smaller than the thickness of the main body. According to the present invention, the amount of adhesive flowing into the uneven portion on the surface of the piezoelectric element is reduced, so that the diaphragm portion can be joined to the piezoelectric element without unevenness, and the gap between the diaphragm and the piezoelectric element becomes uniform. Thus, a head having excellent image quality can be manufactured.

【0020】請求項7に記載のインクジェットヘッド
は、請求項1〜6のいずれかにおいて、ダイアフラム部
の圧電素子と対向する側の面に溝が形成されていること
を特徴とする。この発明によれば、請求項5に記載のイ
ンクジェットヘッドと同様の作用効果が得られる。
According to a seventh aspect of the present invention, in the ink jet head according to any one of the first to sixth aspects, a groove is formed on a surface of the diaphragm portion on a side facing the piezoelectric element. According to this invention, the same operation and effect as those of the ink jet head according to claim 5 can be obtained.

【0021】請求項8に記載のインクジェットヘッド
は、請求項1〜7のいずれかにおいて、フィルム状接着
剤の接着剤本体の厚さがダイアフラム部の厚さよりも薄
いことを特徴とする。この発明によれば、余分な接着剤
量が少なくなるため、接着剤のはみ出しに起因する圧電
素子等の汚染が防止されとともに、振動板・圧電素子間
のギャップ均一化が容易になるので、画像品質に優れた
ヘッドを得ることができる。
According to an eighth aspect of the present invention, in any one of the first to seventh aspects, the thickness of the adhesive body of the film adhesive is smaller than the thickness of the diaphragm. According to the present invention, the amount of excess adhesive is reduced, so that contamination of the piezoelectric element and the like due to the protrusion of the adhesive is prevented, and the uniformity of the gap between the diaphragm and the piezoelectric element is facilitated. A head with excellent quality can be obtained.

【0022】請求項9に記載のインクジェットヘッドの
製造方法は、請求項2に記載のインクジェットヘッドを
作製するに際し、剥離紙上に加熱反応型接着剤が塗布さ
れ、2条のスリットが互いに対向して形成されたフィル
ム状接着剤を用意し、このフィルム状接着剤を圧電素子
に加熱により接着積層したのち剥離紙を除去し、圧電素
子上に転写されて残る加熱反応型接着剤に対して振動板
のダイアフラム部を位置合わせし、これらダイアフラム
部と圧電素子を、上記加熱反応型接着剤を介して熱圧着
(加圧下で加熱する)により接合することを特徴とす
る。この発明によれば、請求項2に記載のインクジェッ
トヘッドを簡便な工程により、歩留り良く製造すること
ができる。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing an ink jet head according to the second aspect, wherein a heat-reactive adhesive is applied on release paper, and two slits face each other. Prepare the formed film adhesive, bond the film adhesive to the piezoelectric element by heating, remove the release paper, remove the release paper, and transfer the vibration-sensitive adhesive to the remaining heat-reactive adhesive transferred to the piezoelectric element. And the piezoelectric elements are joined by thermocompression bonding (heating under pressure) via the heat-reactive adhesive. According to the present invention, the inkjet head according to the second aspect can be manufactured with a high yield by a simple process.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら説明する。 第1の実施の形態 図1はインクジェットヘッドの要部構造を示す概略断面
図、図2は図1の平面図である。図3は、上記インクジ
ェットヘッドの作製に用いたフィルム状接着剤を示す平
面図である。図4は、上記インクジェットヘッドを構成
する振動板のダイアフラム部の説明図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First Embodiment FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a main structure of an ink jet head, and FIG. 2 is a plan view of FIG. FIG. 3 is a plan view showing a film adhesive used for manufacturing the above-described inkjet head. FIG. 4 is an explanatory diagram of a diaphragm portion of a diaphragm constituting the inkjet head.

【0024】図1,2に示すように、このインクジェッ
トヘッドでは基板1上に、圧電素子2、フレームおよび
電極(図略)などから構成されたアクチュエータ部が接
合されている。圧電素子2は基板1上に多数、等間隔で
1列に配列され、これら圧電素子2の上面に、振動板4
の要部であるダイアフラム部3が多数、図3に示すフィ
ルム状接着剤5により形成された接着剤層5aによって
接合されている。振動板4は、下面側にダイアフラム部
3を備えているとともに、上面が液室7aの底面を形成
している。それぞれのダイアフラム部3は、互いにほぼ
合同な楕円形のものである(図2、図4)。
As shown in FIGS. 1 and 2, in this ink jet head, an actuator section composed of a piezoelectric element 2, a frame, electrodes (not shown) and the like is joined on a substrate 1. A large number of piezoelectric elements 2 are arranged on the substrate 1 in a line at equal intervals.
Are joined together by an adhesive layer 5a formed by the film adhesive 5 shown in FIG. The diaphragm 4 has the diaphragm portion 3 on the lower surface side, and the upper surface forms the bottom surface of the liquid chamber 7a. Each of the diaphragm portions 3 is an elliptical shape that is substantially congruent with each other (FIGS. 2 and 4).

【0025】また、圧電素子2とダイアフラム部3と
は、1対1で対応している。さらに、振動板4における
ダイアフラム部3直上位置に液室7aが、ダイアフラム
部3と1対1で対応して配列されている。したがって、
液室7aは圧電素子2の直上に位置している。このよう
にダイアフラム部3は、振動板4の一部であって圧電素
子2との接合部となっている。図1において符号6はノ
ズルプレート、符号6aはノズル、符号8は共通流路、
符号9はインク供給路であり、図3,4において符号3
aはダイアフラム部3を包囲する環状溝である。
The piezoelectric element 2 and the diaphragm 3 correspond one to one. Further, the liquid chambers 7 a are arranged on the diaphragm 4 directly above the diaphragm 3 so as to correspond to the diaphragm 3 on a one-to-one basis. Therefore,
The liquid chamber 7a is located immediately above the piezoelectric element 2. As described above, the diaphragm 3 is a part of the vibration plate 4 and serves as a joint with the piezoelectric element 2. In FIG. 1, reference numeral 6 denotes a nozzle plate, reference numeral 6a denotes a nozzle, reference numeral 8 denotes a common flow path,
Reference numeral 9 denotes an ink supply path.
a is an annular groove surrounding the diaphragm portion 3.

【0026】上記フィルム状接着剤5は、図3に示すよ
うに剥離紙の片面に、例えば加熱反応型(熱硬化型)の
接着剤を塗布してフィルム状の接着剤層5aを形成する
とともに、2条のスリット5b,5bを互いに平行な状
態で対向させて形成したものである。したがって、上記
接着剤層5aがフィルム状接着剤5の本体となってい
る。図3において符号5cは帯状部である。
As shown in FIG. 3, the film adhesive 5 is coated on one side of a release paper with, for example, a heat-reactive (thermosetting) adhesive to form a film-like adhesive layer 5a. The two slits 5b, 5b are formed so as to face each other in a parallel state. Therefore, the adhesive layer 5a is the main body of the film adhesive 5. In FIG. 3, reference numeral 5c denotes a belt-like portion.

【0027】図1のインクジェットヘッドを作製するに
際しては、基板1上に多数の圧電素子2を一列に配列し
た形態のものを用意する。ついで、フィルム状接着剤5
における接着剤層5a側の面を圧電素子2,2,…の上
面に重ね、熱ロールで加熱加圧して圧電素子2の上面に
フィルム状接着剤5を貼り付ける。この場合、上記スリ
ット5b,5b間の帯状部分5cを圧電素子2の上面に
位置合わせする。ついで上記剥離紙を剥がすことによ
り、接着剤層5aの他側の面を露出させ、振動板4のダ
イアフラム部3を上記帯状部5cに位置合わせした状態
で上記露出した接着剤層5aに重ね、熱ロールで加圧加
熱することにより、圧電素子2とダイアフラム部3を、
接着剤層5aを介して仮接着する。これにより、液室7
aが圧電素子2の直上に配置される。その後、パルスヒ
ータを備えたプレス機により圧電素子2とダイアフラム
部3を、接着剤層5aを介して熱圧着することで本接着
を行う。パルスヒータによれば、接着剤層5aを短時間
で所定温度に加熱することが可能である。
In manufacturing the ink jet head shown in FIG. 1, an ink jet head having a form in which a number of piezoelectric elements 2 are arranged in a line on a substrate 1 is prepared. Then, the film adhesive 5
Are placed on the upper surfaces of the piezoelectric elements 2, 2,..., And heated and pressed by a hot roll to adhere the film-like adhesive 5 to the upper surface of the piezoelectric elements 2. In this case, the band-shaped portion 5c between the slits 5b, 5b is aligned with the upper surface of the piezoelectric element 2. Then, by peeling the release paper, the other surface of the adhesive layer 5a is exposed, and the diaphragm portion 3 of the diaphragm 4 is overlapped with the exposed adhesive layer 5a in a state where the diaphragm portion 3 is aligned with the band portion 5c. The piezoelectric element 2 and the diaphragm unit 3 are pressed and heated by the heat roll,
Temporary bonding is performed via the adhesive layer 5a. Thereby, the liquid chamber 7
a is disposed directly above the piezoelectric element 2. Thereafter, the piezoelectric element 2 and the diaphragm portion 3 are thermocompression-bonded to each other via an adhesive layer 5a by a press equipped with a pulse heater to perform the actual bonding. According to the pulse heater, the adhesive layer 5a can be heated to a predetermined temperature in a short time.

【0028】なお、上記接着剤層5aとして加熱反応型
のエポキシ系接着剤を用い、150℃に加熱した場合に
は数分でその硬化が完了し、十分な接着剤硬度を得るこ
とができる。また、接着剤層5aを硬化させるためには
加圧しなくても、例えば、ダイアフラム部3と圧電素子
2を150℃×2分の条件で仮接着した後、ヘッドカバ
ーの接合を120℃×1時間の条件で行うことにより接
着剤層5aの硬化が進行し、耐振動性の良好な接着強度
を得ることができる。
When a heat-reactive epoxy adhesive is used as the adhesive layer 5a and is heated to 150 ° C., the curing is completed within a few minutes, and a sufficient adhesive hardness can be obtained. Further, even if no pressure is applied to cure the adhesive layer 5a, for example, the diaphragm portion 3 and the piezoelectric element 2 are temporarily bonded at 150 ° C. × 2 minutes, and then the head cover is bonded at 120 ° C. × 1 hour. Under the conditions described above, the curing of the adhesive layer 5a progresses, and good adhesive strength with vibration resistance can be obtained.

【0029】フィルム状接着剤5は、1枚の剥離紙の片
面に接着剤層が形成されているものであるが、上記接合
作業は圧電素子2上に、ダイアフラム部3を備えた振動
板4を接着剤層5aにより接合するものであるから、上
記フィルム状接着剤5に代えて、剥離紙/接着剤層/剥
離紙からなる3層構造のフィルム状接着剤を使用するこ
ともできる。
The film-like adhesive 5 is one in which an adhesive layer is formed on one surface of one piece of release paper, and the above-mentioned joining operation is performed on the vibration plate 4 having the diaphragm 3 on the piezoelectric element 2. Is bonded by the adhesive layer 5a, so that a film adhesive having a three-layer structure of release paper / adhesive layer / release paper can be used instead of the film adhesive 5.

【0030】上記ヘッドの作用は図7のヘッドと同様で
あり、図1において、インクがインク供給口9から共通
流路8を介して各液室7aに供給される。そして、電圧
印加による圧電素子2の体積変化によって、ダイアフラ
ム部3上の液室7aに圧力が加わり、この液室7a内の
インクが、ノズルプレート6のノズル6aからインク液
滴となって吐出される。
The operation of the head is the same as that of the head shown in FIG. 7. In FIG. 1, ink is supplied from an ink supply port 9 to each liquid chamber 7a through a common flow path 8. Then, due to a change in volume of the piezoelectric element 2 due to the application of a voltage, a pressure is applied to the liquid chamber 7 a on the diaphragm portion 3, and the ink in the liquid chamber 7 a is ejected from the nozzle 6 a of the nozzle plate 6 as an ink droplet. You.

【0031】また、図2に示すように、スリット5b,
5b間の帯状部5cはダイアフラム部3の全体を被覆し
ており(ダイアフラム部3の幅方向両端側の外側にスリ
ット5bを配置する)、スリット5bでは、ダイアフラ
ム部3を包囲する環状溝3aの一部と、圧電素子2の幅
方向両端部が露出している。上記フィルム状接着剤5を
使用するとともに、この接着剤5と、圧電素子2および
ダイアフラム部3との位置関係を上記のように設定する
ことで、接着剤の侵入や接着剤との接触を避けるべき箇
所への接着剤のはみ出しが抑えられるうえ、接着剤によ
る接合面積が小さくなるため、はみだし量も少なくな
る。また、接着剤層5aの位置精度はヘッドのノズル密
度に依存しなくなるという利点がある。
As shown in FIG. 2, the slits 5b,
The band-like portion 5c between 5b covers the entire diaphragm portion 3 (slits 5b are arranged outside both ends in the width direction of the diaphragm portion 3). In the slit 5b, the annular groove 3a surrounding the diaphragm portion 3 is formed. A part and both ends in the width direction of the piezoelectric element 2 are exposed. By using the film adhesive 5 and by setting the positional relationship between the adhesive 5 and the piezoelectric element 2 and the diaphragm portion 3 as described above, intrusion of the adhesive and contact with the adhesive are avoided. Extrusion of the adhesive to a desired portion is suppressed, and the bonding area by the adhesive is reduced, so that the protruding amount is also reduced. Further, there is an advantage that the positional accuracy of the adhesive layer 5a does not depend on the nozzle density of the head.

【0032】図2において、上記スリット5b,5b間
の間隔Dは、ダイアフラムの幅Wより大きくするのが好
ましい。こうすれば、接着剤層5aの位置精度は圧電素
子2の長手方向のみが必要となり、短手方向の位置精度
は必要なくなる。
In FIG. 2, the interval D between the slits 5b is preferably larger than the width W of the diaphragm. In this case, the positional accuracy of the adhesive layer 5a is required only in the longitudinal direction of the piezoelectric element 2, and the positional accuracy in the lateral direction is not required.

【0033】本発明のインクジェットヘッドでは、圧電
素子2とダイアフラム部3とを強固に接合することが重
要であり、そのためにはフィルム状接着剤の本体である
接着剤をエポキシ系接着剤とすることが好ましく、なか
でも加熱反応型のエポキシ系接着剤が特に好ましい。こ
の加熱反応型エポキシ系接着剤は、加熱するだけで接着
剤の硬化が進行するため、特に荷重をかけて加圧接着す
ることなく、接着強度の高い接合を得ることができる。
市販されているフイルム状接着剤としては、例えば、
(株)スリーボンド社製の「フレキシブルプリント基板
用加熱反応型フィルム状接着剤:スリーボンド1650
(商品名)が挙げられる。これは、厚さ30μmの剥離
紙の片面に、加熱反応型のエポキシ系接着剤を厚さ5μ
mで塗布したものである。
In the ink jet head of the present invention, it is important that the piezoelectric element 2 and the diaphragm portion 3 are firmly joined to each other. For this purpose, the adhesive, which is the main body of the film adhesive, is an epoxy adhesive. Is preferable, and a heat reaction type epoxy adhesive is particularly preferable. With this heat-reactive epoxy-based adhesive, the curing of the adhesive proceeds only by heating, so that a bond having high adhesive strength can be obtained without applying pressure and applying a load.
Commercially available film adhesives include, for example,
"Heat-reactive film adhesive for flexible printed circuit boards: ThreeBond 1650" manufactured by ThreeBond Co., Ltd.
(Product name). In this method, a heat-reactive epoxy-based adhesive is applied to one side of a 30 μm-thick release paper with a thickness of 5 μm.
m.

【0034】上記圧電素子2の材料としては、PZTす
なわちPb(Zr,Ti)O3 系セラミックスの積層体
が使用できる。また基板1の材質や厚さは特に限定され
るものではないが、材質は圧電素子2と類似し、圧電素
子と同時に切削できるものが好適であり、例えばアルミ
ナ、ジルコニア、チタン酸バリウム等のセラミックスが
挙げられる。なお、基板厚さは0.5〜2mm程度が好
ましい。
As the material of the piezoelectric element 2, a laminate of PZT, that is, Pb (Zr, Ti) O 3 ceramics can be used. The material and thickness of the substrate 1 are not particularly limited, but the material is similar to the piezoelectric element 2 and can be cut at the same time as the piezoelectric element. For example, ceramics such as alumina, zirconia, and barium titanate are preferable. Is mentioned. Note that the substrate thickness is preferably about 0.5 to 2 mm.

【0035】第2の実施の形態 図5はインクジェットヘッドの要部構造を示す概略平面
図、図6は図5のA−A線断面図である。図6に示すよ
うに隣接するダイアフラム部3,3間に溝5dを形成す
ることで振動板4,4が互いに分離され、チャンネル間
で振動が伝わらないようになる。また、ノズルを高密度
化した場合、振動板4と液室壁部7bとの接合強度が低
下するおそれがあるが、この場合には、分離された振動
板同士を、図5,6に示すようにフィルム状接着剤(の
接着剤層5a)を介して接着することで、振動板を分離
しても安定したインク吐出を得ることができる。また、
上記溝5dにより接着剤のはみ出しが防止されるため、
良好な接合状態を得ることができる。すなわち、振動板
間に溝5dを形成するとともに、これらの振動板に跨が
って接着剤層5aを積層することで、加圧下での加熱に
より本接着を行うときの余分な接着剤が溝5dに逃げ込
むため、周辺を汚染させることなく振動板4(ダイアフ
ラム部3)と液室壁部7bとの接合強度を十分なものと
することができる。
Second Embodiment FIG. 5 is a schematic plan view showing a main structure of an ink jet head, and FIG. 6 is a sectional view taken along line AA of FIG. As shown in FIG. 6, by forming a groove 5d between the adjacent diaphragm portions 3, 3, the diaphragms 4, 4 are separated from each other, so that vibration is not transmitted between the channels. Also, when the nozzles are increased in density, the bonding strength between the diaphragm 4 and the liquid chamber wall 7b may be reduced. In this case, the separated diaphragms are shown in FIGS. Thus, by adhering via the film-like adhesive (the adhesive layer 5a thereof), stable ink ejection can be obtained even when the diaphragm is separated. Also,
Since the protrusion of the adhesive is prevented by the groove 5d,
A good bonding state can be obtained. That is, by forming the grooves 5d between the diaphragms and laminating the adhesive layer 5a across these diaphragms, the excess adhesive when performing the actual bonding by heating under pressure is formed. Since it escapes into 5d, the joint strength between diaphragm 4 (diaphragm section 3) and liquid chamber wall section 7b can be made sufficient without contaminating the surroundings.

【0036】[0036]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。 実施例1 図1に示すインクジェットヘッドを作製した。PZTか
らなる幅96μm、長さ2.5mmの圧電素子をピッチ
165μmで基板上に配置した。厚さ5μmのステンレ
ス製振動板の所定箇所をエッチングすることにより楕円
形のダイアフラム部(図4)を形成し、その寸法を幅2
mm×長さ45μm×厚さ35μmとした。振動板上
(ダイアフラム部3直上位置)にステンレス製の液室
を、加熱反応型のエポキシ系接着剤によるフィルム状接
着剤を用いて接合した。圧電素子とダイアフラム部との
接合および、ヘッドカバーの接合にも、上記フィルム状
接着剤を用いた。
Embodiments of the present invention will be described below. Example 1 An ink jet head shown in FIG. 1 was produced. Piezoelectric elements made of PZT and having a width of 96 μm and a length of 2.5 mm were arranged on the substrate at a pitch of 165 μm. An elliptical diaphragm portion (FIG. 4) is formed by etching a predetermined portion of a stainless steel diaphragm having a thickness of 5 μm, and its dimension is set to width 2
mm × length 45 μm × thickness 35 μm. A liquid chamber made of stainless steel was joined on the diaphragm (at a position directly above the diaphragm portion 3) using a film-like adhesive made of a heat-reactive epoxy adhesive. The film adhesive was also used for joining the piezoelectric element to the diaphragm and joining the head cover.

【0037】すなわち、液室を形成した後、振動板上に
液室を上記フィルム状接着剤を用いて仮接着した。この
仮接着は、熱ローラにより110℃で行った。このとき
の接着剤の位置ずれは、圧電素子の長手方向に20μm
生じていた。その後、液室と圧電素子とを位置合わせし
てから本接着を行った。この本接着の加熱条件は160
℃×2分とした。ついで、ヘッドカバーの接合を160
℃で2時間行った。このようにして作製したヘッドでイ
ンクの吐出を行ったところ、良好な印字が得られた。こ
のときのインク吐出速度のビット間ばらつきは11%で
あり、また両側のチャンネルを駆動したときには、吐出
速度が6%増加した。
That is, after the liquid chamber was formed, the liquid chamber was temporarily bonded on the vibration plate using the film adhesive. This temporary bonding was performed at 110 ° C. using a heat roller. The displacement of the adhesive at this time was 20 μm in the longitudinal direction of the piezoelectric element.
Had occurred. Thereafter, the liquid chamber and the piezoelectric element were aligned, and then the actual bonding was performed. The heating condition for this permanent bonding is 160
C. × 2 minutes. Then, the head cover was joined to 160
C. for 2 hours. When the ink was ejected with the head manufactured in this manner, good printing was obtained. At this time, the variation in the ink ejection speed between bits was 11%, and when the channels on both sides were driven, the ejection speed increased by 6%.

【0038】実施例2 ダイアフラム部同士間に幅30μmの溝を形成した以外
は、実施例1と同様にしてヘッドを作製した。両側のチ
ャンネルを駆動したときの吐出速度の増加率は1%以下
であった。
Example 2 A head was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a groove having a width of 30 μm was formed between the diaphragm portions. The rate of increase in the ejection speed when the channels on both sides were driven was 1% or less.

【0039】実施例3 ダイアフラム部(自体)に幅5μm、深さ8μmの溝を
形成した以外は、実施例1と同様にしてヘッドを作製し
た。この場合、インク吐出速度のビット間ばらつきは3
%以下であった。
Example 3 A head was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a groove having a width of 5 μm and a depth of 8 μm was formed in the diaphragm portion (self). In this case, the variation of the ink ejection speed between bits is 3
% Or less.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、以下の効果が得られる。 (1)請求項1の発明による効果 圧電素子上に形成する接着剤層の位置精度が緩和され、
ノズルを高密度に備え、かつ画像品質に優れたヘッドを
生産性良く製造することができる。 (2)請求項2の発明による効果 圧電素子と、振動板のダイアフラム部とを短時間に強固
に接合することができ、画像品質に優れたヘッドを生産
性良く製造することが可能となる。
As is clear from the above description, the following effects can be obtained according to the present invention. (1) Effect of the invention of claim 1 Positional accuracy of an adhesive layer formed on a piezoelectric element is relaxed,
A head having high density nozzles and excellent image quality can be manufactured with high productivity. (2) Effect of the Second Invention The piezoelectric element and the diaphragm of the diaphragm can be firmly joined in a short time, and a head having excellent image quality can be manufactured with high productivity.

【0041】(3)請求項3の発明による効果 圧電素子と、振動板のダイアフラム部とを特に強固に接
合することができ、画像品質に優れたヘッドを生産性良
く製造することが可能となる。 (4)請求項4の発明による効果 圧電素子と振動板のダイアフラム部とを短時間に特に強
固に接合することができ、画像品質に優れたヘッドを、
より生産性良く製造することが可能となる。 (5)請求項5の発明による効果 隣接するダイアフラム部が相互に分離されるため、ノズ
ルの高密度化に際して多数のダイアフラム部を小さいピ
ッチで配列したときでも、ダイアフラム部相互間の干渉
が小さくなるので、画像品質に優れたヘッドを歩留り良
く製造することができる。また、余分な接着剤が上記溝
に逃げ込むので、接着剤のはみ出しが防止されるととも
に、振動板・圧電素子間のギャップ(間隔)が均一にな
り、このことも画像品質の向上に寄与する。
(3) Advantageous Effects of the Third Embodiment The piezoelectric element and the diaphragm of the diaphragm can be particularly firmly joined to each other, and a head having excellent image quality can be manufactured with high productivity. . (4) Advantageous Effect of the Invention According to Claim 4 A head excellent in image quality, in which a piezoelectric element and a diaphragm portion of a diaphragm can be particularly firmly joined in a short time,
It becomes possible to manufacture with higher productivity. (5) Advantageous Effects of the Invention Since the adjacent diaphragm portions are separated from each other, even when a large number of diaphragm portions are arranged at a small pitch in increasing the density of the nozzle, interference between the diaphragm portions is reduced. Therefore, a head having excellent image quality can be manufactured with good yield. Further, since the excess adhesive escapes into the groove, the adhesive is prevented from protruding, and the gap (interval) between the vibration plate and the piezoelectric element becomes uniform, which also contributes to the improvement of image quality.

【0042】(6)請求項6の発明による効果 圧電素子表面の凹凸部分に流れ込む接着剤量が少なくな
るため、ダイアフラム部を圧電素子にムラなく接合する
ことができるうえ、振動板・圧電素子間のギャップが均
一になるので、画像品質に優れたヘッドを製造すること
ができる。 (7)請求項7の発明による効果 請求項5に記載のインクジェットヘッドと同様の作用効
果が得られる。 (8)請求項8の発明による効果 余分な接着剤量が少なくなるため、接着剤のはみ出しに
起因する圧電素子等の汚染が防止されとともに、振動板
・圧電素子間のギャップ均一化が容易になるので、画像
品質に優れたヘッドを得ることができる。
(6) Effect of the invention of claim 6 Since the amount of adhesive flowing into the uneven portion on the surface of the piezoelectric element is reduced, the diaphragm portion can be joined to the piezoelectric element without unevenness, and the gap between the diaphragm and the piezoelectric element can be improved. Is uniform, so that a head having excellent image quality can be manufactured. (7) Effects of the Invention of Claim 7 The same effects as those of the ink jet head of claim 5 can be obtained. (8) Effect of the invention of claim 8 Since the amount of excess adhesive is reduced, contamination of the piezoelectric element and the like due to the protrusion of the adhesive is prevented, and the uniformity of the gap between the diaphragm and the piezoelectric element is easily achieved. Therefore, a head having excellent image quality can be obtained.

【0043】(9)請求項9の発明による効果 請求項2に記載のインクジェットヘッドを簡便な工程に
より、歩留り良く製造することができる。
(9) Effect of the invention of claim 9 The inkjet head according to claim 2 can be manufactured with a high yield by simple steps.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施の形態に係るインクジェットヘッド
の要部構造を示す概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a main part structure of an inkjet head according to a first embodiment.

【図2】図1の平面図である。FIG. 2 is a plan view of FIG.

【図3】図1のインクジェットヘッド作製に用いたフィ
ルム状接着剤を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing a film adhesive used for manufacturing the ink jet head of FIG.

【図4】図1のインクジェットヘッドを構成する振動板
のダイアフラム部の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a diaphragm portion of a diaphragm constituting the ink jet head of FIG. 1;

【図5】第2の実施の形態に係るインクジェットヘッド
の要部構造を示す概略平面図である。
FIG. 5 is a schematic plan view illustrating a main structure of an inkjet head according to a second embodiment.

【図6】図5のA−A線断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line AA of FIG. 5;

【図7】従来のインクジェットヘッドの要部構造を示す
概略断面図である。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view illustrating a main part structure of a conventional ink jet head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 圧電素子 3 ダイアフラム部 3a 環状溝 4 振動版 5 フィルム状接着剤 5a 接着剤層(フィルム状接着剤本体) 5b スリット 5c 帯状部 5d 溝 6 ノズルプレート 6a ノズル 7a 液室 7b 液室壁部 8 共通流路 9 インク供給口 40 アクチュエータ部 41 基板 42 圧電素子 43 ダイアフラム部 44 振動版 45 接着剤 46 ノズルプレート 46a ノズル 47 液室 48 流体抵抗 49 共通液室 50 フレーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Piezoelectric element 3 Diaphragm part 3a Annular groove 4 Vibration plate 5 Film adhesive 5a Adhesive layer (film adhesive main body) 5b Slit 5c Band 5d Groove 6 Nozzle plate 6a Nozzle 7a Liquid chamber 7b Liquid chamber wall Reference Signs List 8 common flow path 9 ink supply port 40 actuator section 41 substrate 42 piezoelectric element 43 diaphragm section 44 vibrating plate 45 adhesive 46 nozzle plate 46a nozzle 47 liquid chamber 48 fluid resistance 49 common liquid chamber 50 frame

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電素子を複数並列に配備し、該圧電素
子に対応する位置に振動板のダイアフラム部を接合し、
前記圧電素子の体積変化を利用してノズルからインク液
滴を吐出させるようにしたインクジェットヘッドにおい
て、前記ダイアフラム部は、2条のスリットが互いに対
向して形成されたフィルム状接着剤により前記圧電素子
に接合され、かつ前記2条のスリットは前記複数の圧電
素子の配列方向に平行になっていることを特徴とするイ
ンクジェットヘッド。
1. A plurality of piezoelectric elements are arranged in parallel, and a diaphragm portion of a diaphragm is joined to a position corresponding to the piezoelectric elements.
In the ink jet head configured to eject ink droplets from a nozzle using a change in volume of the piezoelectric element, the diaphragm portion is formed by a film-like adhesive in which two slits are formed facing each other. Wherein the two slits are parallel to an arrangement direction of the plurality of piezoelectric elements.
【請求項2】 前記フィルム状接着剤を構成する接着剤
本体が、加熱反応型接着剤であることを特徴とする請求
項1に記載のインクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the adhesive body constituting the film adhesive is a heat-reactive adhesive.
【請求項3】 前記フィルム状接着剤を構成する接着剤
本体が、エポキシ系接着剤であることを特徴とする請求
項1に記載のインクジェットヘッド。
3. The ink jet head according to claim 1, wherein the adhesive body constituting the film adhesive is an epoxy adhesive.
【請求項4】 前記エポキシ系接着剤が、加熱反応型接
着剤であることを特徴とする請求項3に記載のインクジ
ェットヘッド。
4. The ink jet head according to claim 3, wherein the epoxy adhesive is a heat-reactive adhesive.
【請求項5】 前記振動板の前記圧電素子と対向する側
の面のうち、互いに隣接する圧電素子間に対応する部分
に溝が形成されていることを特徴とする請求項1〜4の
いずれかに記載のインクジェットヘッド。
5. The groove according to claim 1, wherein a groove is formed in a portion of the surface of the vibrating plate facing the piezoelectric element, the groove corresponding to a portion between the piezoelectric elements adjacent to each other. An inkjet head according to any one of the above.
【請求項6】 前記圧電素子表面の前記フィルム状接着
剤との接合面の表面粗さが、前記フィルム状接着剤を構
成する接着剤本体の厚さよりも小さいことを特徴とする
請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッ
ド。
6. The method according to claim 1, wherein the surface roughness of the surface of the piezoelectric element joined to the film adhesive is smaller than the thickness of an adhesive body constituting the film adhesive. 5. The inkjet head according to any one of 5.
【請求項7】 前記ダイアフラム部の前記圧電素子と対
向する側の面に溝が形成されていることを特徴とする請
求項1〜6のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
7. The ink jet head according to claim 1, wherein a groove is formed on a surface of the diaphragm portion facing the piezoelectric element.
【請求項8】 前記フィルム状接着剤の接着剤本体の厚
さがダイアフラム部の厚さよりも薄いことを特徴とする
請求項1〜7のいずれかに記載のインクジェットヘッ
ド。
8. The ink jet head according to claim 1, wherein the thickness of the adhesive body of the film adhesive is smaller than the thickness of the diaphragm.
【請求項9】 請求項2に記載のインクジェットヘッド
を作製するに際し、剥離紙上に加熱反応型接着剤が塗布
され、2条のスリットが互いに対向して形成されたフィ
ルム状接着剤を前記圧電素子に加熱により接着積層して
剥離紙を除去し、前記圧電素子上に残る加熱反応型接着
剤に対し前記振動板のダイアフラム部を位置合わせした
後、これらダイアフラム部と圧電素子を、前記加熱反応
型接着剤を介して熱圧着により接合することを特徴とす
るインクジェットヘッドの製造方法。
9. When manufacturing the ink jet head according to claim 2, a heat-sensitive adhesive is applied on a release paper, and a film-like adhesive having two slits formed opposite to each other is used as the piezoelectric element. Then, the release paper is removed by heating and laminating to remove the release paper, and the diaphragm portion of the vibration plate is aligned with the heat-reactive adhesive remaining on the piezoelectric element. A method for manufacturing an ink jet head, wherein the bonding is performed by thermocompression bonding via an adhesive.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008526553A (en) * 2005-01-10 2008-07-24 シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド Inkjet printhead manufacturing method
JP2014223802A (en) * 2013-05-14 2014-12-04 ゼロックス コーポレイションXerox Corporation Process for bonding interstitial epoxy adhesive for fabrication of printhead structures in high density printheads
US10589528B2 (en) 2018-03-15 2020-03-17 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge head, method for producing the same, liquid discharge apparatus, and image forming apparatus

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008526553A (en) * 2005-01-10 2008-07-24 シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド Inkjet printhead manufacturing method
US7736458B2 (en) 2005-01-10 2010-06-15 Silverbrook Research Pty Ltd Method of attaching fluidic MST devices to a support member
US7776175B2 (en) 2005-01-10 2010-08-17 Silverbrook Research Pty Ltd Method of sealing a face of a MST device
US8087168B2 (en) 2005-01-10 2012-01-03 Silverbrook Research Pty Ltd Method of supplying ink to ink ejection nozzles
US8308273B2 (en) 2005-01-10 2012-11-13 Zamtec Limited Printhead assembly incorporating plural printhead integrated circuits sealed to support member with polymer sealing film
JP2014223802A (en) * 2013-05-14 2014-12-04 ゼロックス コーポレイションXerox Corporation Process for bonding interstitial epoxy adhesive for fabrication of printhead structures in high density printheads
US10589528B2 (en) 2018-03-15 2020-03-17 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge head, method for producing the same, liquid discharge apparatus, and image forming apparatus

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