JPH09170999A - Manufacture of oxygen sensor - Google Patents

Manufacture of oxygen sensor

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JPH09170999A
JPH09170999A JP7332154A JP33215495A JPH09170999A JP H09170999 A JPH09170999 A JP H09170999A JP 7332154 A JP7332154 A JP 7332154A JP 33215495 A JP33215495 A JP 33215495A JP H09170999 A JPH09170999 A JP H09170999A
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JP
Japan
Prior art keywords
porous layer
slurry
sheet
layer
exhaust gas
Prior art date
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Pending
Application number
JP7332154A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoshi Kikuchi
智志 菊池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
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Publication of JPH09170999A publication Critical patent/JPH09170999A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an oxygen sensor whereby a porous layer can be formed on the surface of an element main body of the sensor easily without a gap. SOLUTION: A platinum paste is printed at both faces of a solid electrolytic sheet 12 thereby forming an atmospheric electrode and an exhaust gas electrode 19. After the solid electrolytic sheet 12, a frame body 16, a bottom sheet 15 and a protecting sheet 20 are sequentially laminated, the laminate is pressed and bonded with a predetermined pressure into one body. A slurry P for forming a porous layer is stirred under predetermined conditions to adjust a viscosity. A front end part of an element main body 13 is dipped in the slurry P, and then raised up, so that the slurry P is adhered to the front end part. A porous layer 21 is thus formed. An unnecessary part of the porous layer 21 is cut and removed by a scraper B. The element main body 13 is, after being degreased, baked in a predetermined temperature pattern. A spray layer and a trap layer are formed on the porous layer 21. Then, a heater is bonded to the bottom sheet 15.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、内燃機関等から
排出される排ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサの
製造法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an oxygen sensor for detecting the oxygen concentration in exhaust gas discharged from an internal combustion engine or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、内燃機関における排ガス中の
酸素濃度を検出するために酸素センサが用いられてい
る。例えば、図6(a),図7(a)に示すように、酸
素センサ40は、酸素イオンが透過可能な固体電解質シ
ート12を含む素子本体13と、同素子本体13を所定
の温度以上に加熱するためのヒータ14とを備えてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, oxygen sensors have been used to detect the oxygen concentration in exhaust gas from internal combustion engines. For example, as shown in FIGS. 6 (a) and 7 (a), the oxygen sensor 40 includes an element body 13 including a solid electrolyte sheet 12 through which oxygen ions can permeate, and the element body 13 at a predetermined temperature or higher. And a heater 14 for heating.

【0003】より詳細に説明すると、前記素子本体13
は前記固体電解質シート12、保護シート20、枠体1
6、及び基底シート15等によって構成されている。ヒ
ータ14の上面には基底シート15及び枠体16が順に
積層され、更に、枠体16の上面には固体電解質シート
12が積層されている。そして、これら基底シート1
5、枠体16、及び固体電解質シート12の内壁面によ
って大気導入用空間17が区画形成されている。この大
気導入用空間17には酸素濃度が既知である大気が導入
されるようになっている。
More specifically, the element body 13 will be described.
Is the solid electrolyte sheet 12, the protective sheet 20, the frame 1
6 and the base sheet 15 and the like. The base sheet 15 and the frame body 16 are sequentially stacked on the upper surface of the heater 14, and the solid electrolyte sheet 12 is further stacked on the upper surface of the frame body 16. And these base sheets 1
An atmosphere introducing space 17 is defined by the inner wall surfaces of the frame 5, the frame body 16 and the solid electrolyte sheet 12. The atmosphere having a known oxygen concentration is introduced into the atmosphere introducing space 17.

【0004】又、固体電解質シート12は白金(Pt)
からなる一対の電極18,19を有している。固体電解
質シート12の内面(図6(a)での下面)には、一方
の電極(以下、「大気側電極」という)18が配設され
るとともに、その内面には大気導入用空間17内に導入
された大気が接触するようになっている。これに対し
て、他方の電極(以下、「排ガス側電極」という)19
は、固体電解質シート12の外面(図6(a)での上
面)に配設されている。排ガス側電極19はその先端側
(図6(a)の左端側)の部分を除き、固体電解質シー
ト12の外面に積層された保護シート20により覆われ
ており、排ガスが接触しないようになっている。
The solid electrolyte sheet 12 is made of platinum (Pt).
And has a pair of electrodes 18 and 19. One electrode (hereinafter, referred to as “atmosphere side electrode”) 18 is provided on the inner surface of the solid electrolyte sheet 12 (the lower surface in FIG. 6A), and the inside of the atmosphere introducing space 17 is provided on the inner surface thereof. The atmosphere introduced into the air comes into contact with it. On the other hand, the other electrode (hereinafter referred to as “exhaust gas side electrode”) 19
Is disposed on the outer surface (the upper surface in FIG. 6A) of the solid electrolyte sheet 12. The exhaust gas side electrode 19 is covered with a protective sheet 20 laminated on the outer surface of the solid electrolyte sheet 12 except for the tip side (the left end side in FIG. 6A), so that exhaust gas does not come into contact with it. There is.

【0005】固体電解質シート12の先端側(図6
(a)の左端側)の外面には、前記排ガス側電極19を
覆うようにして、セラミック粉末をシート状に成形した
材料からなる多孔質層41と、セラミック材料を溶射し
てなる溶射層42とが順に積層されている。更に、この
溶射層42上には、排ガス中に含まれる鉛等の被毒成分
が溶射層42内部に浸入することを抑制するためのトラ
ップ層43が積層されている。
The tip side of the solid electrolyte sheet 12 (see FIG. 6)
On the outer surface (on the left end side of (a)), a porous layer 41 made of a material obtained by molding a ceramic powder into a sheet shape so as to cover the exhaust gas side electrode 19, and a thermal spray layer 42 formed by thermal spraying of a ceramic material. And are sequentially stacked. Further, a trap layer 43 for suppressing invasion of poisoning components such as lead contained in the exhaust gas into the thermal spray layer 42 is laminated on the thermal spray layer 42.

【0006】これら各層41〜43を介して排ガスが固
体電解質シート12の外面に接触するととともに、同シ
ート12の内面に大気導入用空間17の大気が接触する
と、同シート12の内外面間には、大気と排ガスとの酸
素濃度差に応じた起電力が発生し、その起電力は前記両
電極18,19を介して外部に取り出される。従って、
上記酸素センサ40によれば、その起電力の大きさに基
づいて排ガスの酸素濃度を検出することできる。
When the exhaust gas comes into contact with the outer surface of the solid electrolyte sheet 12 through the layers 41 to 43, and the atmosphere of the atmosphere introducing space 17 comes into contact with the inner surface of the sheet 12, the space between the inner and outer surfaces of the sheet 12 is increased. An electromotive force is generated according to the difference in oxygen concentration between the atmosphere and the exhaust gas, and the electromotive force is taken out to the outside through the electrodes 18 and 19. Therefore,
According to the oxygen sensor 40, the oxygen concentration of exhaust gas can be detected based on the magnitude of the electromotive force.

【0007】又、前記溶射層42は排ガス側電極19に
接触する排ガスの拡散速度を律速して、そのガス雰囲気
を安定化させる機能を有するものであり、この溶射層4
2は前述したように多孔質層41上に積層されている。
The sprayed layer 42 has a function of controlling the diffusion rate of the exhaust gas contacting the exhaust gas side electrode 19 to stabilize the gas atmosphere.
2 is laminated on the porous layer 41 as described above.

【0008】従来の酸素センサ11において、かかる構
成を採用したのは、固体電解質シート12の表面におけ
る面粗度は比較的小さいため(十点平均粗さ:約12.
5z)、この表面上に直接、溶射層42を形成する構成
とした場合、同溶射層42と、固体電解質シート12と
の密着性を確保することが困難であるからである。即
ち、固体電解質シート12及び排ガス側電極19の表面
上に面粗度の大きい多孔質層41(十点平均面粗さ:約
50z)を積層し、この多孔質層41上に溶射層42を
形成することにより、多孔質層41に対する溶射層42
の密着性を向上させ、同溶射層42の剥離を防止するこ
とができる。(例えば、特開平2−141653号公報
に記載された酸素センサ)
The conventional oxygen sensor 11 adopts such a structure because the surface roughness of the surface of the solid electrolyte sheet 12 is relatively small (ten-point average roughness: about 12.
5z), when the thermal spray layer 42 is formed directly on this surface, it is difficult to secure the adhesion between the thermal spray layer 42 and the solid electrolyte sheet 12. That is, a porous layer 41 having a large surface roughness (10-point average surface roughness: about 50 z) is laminated on the surfaces of the solid electrolyte sheet 12 and the exhaust gas side electrode 19, and the thermal spray layer 42 is formed on the porous layer 41. By forming the sprayed layer 42 on the porous layer 41
It is possible to improve the adhesiveness and prevent the thermal sprayed layer 42 from peeling off. (For example, the oxygen sensor described in JP-A-2-141653)

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記多孔質層41は、
前記溶射層42から固体電解質シート12の外面にまで
至る排ガスの移動を阻害することがないように、その気
孔率が大きく設定されており排ガスの移動を規制する機
能を殆ど有していない。従って、図6(a),図7
(a)に示す多孔質層41の各側部S1 〜S3 や、溶射
層42と前記保護シート20との隙間G1 から多孔質層
41の内部に侵入した排ガスは、前記排ガス側電極19
に容易に達する。このようにトラップ層43を介さず排
ガスが多孔質層41内に侵入すると、その排ガスに含ま
れる鉛等の被毒成分によって排ガス側電極19を形成す
る白金が劣化してしまうという問題が生じる。
The porous layer 41 is composed of
The porosity is set to be large so as not to hinder the movement of the exhaust gas from the sprayed layer 42 to the outer surface of the solid electrolyte sheet 12, and has almost no function of regulating the movement of the exhaust gas. Therefore, as shown in FIG.
Exhaust gas entering the inside of the porous layer 41 through the side portions S1 to S3 of the porous layer 41 and the gap G1 between the sprayed layer 42 and the protective sheet 20 shown in FIG.
Reach easily. When the exhaust gas enters the porous layer 41 without passing through the trap layer 43 in this way, there arises a problem that platinum forming the exhaust gas side electrode 19 is deteriorated by poisoning components such as lead contained in the exhaust gas.

【0010】上記不具合を解決するためには、例えば、
図6(b),図7(b)に示すように、溶射層42を固
体電解質シート12の各側面S4 〜S6 や、固体電解質
シート12と多孔質層41との段差部K1 を覆うように
形成することにより、排ガス側電極19に排ガスが達す
ることを抑制することが考えられる。しかしながら、固
体電解質シート12或いは保護シート20の表面は面粗
度が小さいため、これらの表面と溶射層42とが密着せ
ず、例えば、固体電解質シート12の各側面S4 〜S6
、或いは保護シート20の表面と、溶射層42との間
には排ガスの侵入経路となる微少な隙間が形成されてし
まう虞がある。特に、前記段差部K1 には、図6(b)
に示すような隙間G2 が形成されやすい。
To solve the above problems, for example,
As shown in FIGS. 6 (b) and 7 (b), the sprayed layer 42 is formed so as to cover the respective side surfaces S4 to S6 of the solid electrolyte sheet 12 and the step portion K1 between the solid electrolyte sheet 12 and the porous layer 41. It is possible to suppress the exhaust gas from reaching the exhaust gas side electrode 19 by forming it. However, since the surface of the solid electrolyte sheet 12 or the protective sheet 20 has a small surface roughness, these surfaces and the sprayed layer 42 do not come into close contact with each other.
Alternatively, there is a possibility that a minute gap serving as an entry path of the exhaust gas may be formed between the surface of the protective sheet 20 and the thermal spray layer 42. In particular, the step portion K1 is shown in FIG.
A gap G2 as shown in (3) is likely to be formed.

【0011】従って、固体電解質シート12の上面のみ
ならず、その側面S4 〜S6 や、保護シート20の上面
及び側面にも多孔質層41を形成し、その多孔質層41
の表面に溶射層42を形成することが必要となる。
Therefore, the porous layer 41 is formed not only on the upper surface of the solid electrolyte sheet 12 but also on the side surfaces S4 to S6 thereof and on the upper and side surfaces of the protective sheet 20, and the porous layer 41 is formed.
It is necessary to form the sprayed layer 42 on the surface of the.

【0012】従来において、多孔質層41を固体電解質
シート12、保護シート20の上面及び側面等の各面に
形成する場合、図8に示すように、多孔質層41を複数
の領域に分割し、各領域に多孔質層41を形成するため
の多孔質シートA1 〜A6 を接着する方法を採用してい
た。しかしながら、かかる方法では、工程が極めて煩雑
であるばかりか、各多孔質シートA1 〜A6 を相互に密
着させることが困難で、特に、固体電解質シート12と
保護シート20との段差部K1 において隙間なく各多孔
質シートA1 〜A6 を接着させることは極めて困難であ
った。
Conventionally, when the porous layer 41 is formed on each surface such as the upper surface and the side surface of the solid electrolyte sheet 12 and the protective sheet 20, as shown in FIG. 8, the porous layer 41 is divided into a plurality of regions. The method of adhering the porous sheets A1 to A6 for forming the porous layer 41 in each region has been adopted. However, in such a method, not only the process is extremely complicated, but also it is difficult to bring the respective porous sheets A1 to A6 into close contact with each other, and in particular, there is no gap in the step portion K1 between the solid electrolyte sheet 12 and the protective sheet 20. It was extremely difficult to adhere the porous sheets A1 to A6.

【0013】本発明は上記事情を鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、素子本体の表面上に
容易に、且つ、隙間なく多孔質層を形成することができ
る酸素センサの製造方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an oxygen sensor in which a porous layer can be easily formed on the surface of an element body without a gap. It is to provide a manufacturing method.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、両面に電極がそれぞれ形成された固体電
解質シートを有する素子本体と、同素子本体を加熱する
ためのシート状をなすヒータとを積層してなる酸素セン
サの製造方法であって、前記素子本体において、排ガス
側の電極の一部を少なくとも含む所定部位を、多孔質層
形成用のスラリー中に浸漬することにより同部位の表面
にスラリーを付着させて多孔質層を形成する工程と、前
記多孔質層の不要部分を除去する工程と、不要部分が除
去された多孔質層上に溶射層を形成する工程とを含むこ
とをその要旨とするものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides an element body having a solid electrolyte sheet having electrodes formed on both surfaces thereof, and a sheet shape for heating the element body. A method for manufacturing an oxygen sensor comprising a heater and a laminate, wherein in the element body, a predetermined portion including at least a part of an electrode on an exhaust gas side is immersed in a slurry for forming a porous layer to form the same portion. A step of forming a porous layer by adhering the slurry to the surface of the porous layer, a step of removing an unnecessary portion of the porous layer, and a step of forming a sprayed layer on the porous layer from which the unnecessary portion is removed. That is the point.

【0015】(作用)本発明に係る酸素センサの製造方
法では、素子本体において排ガス側の電極の一部を少な
くとも含む所定部位を多孔質層形成用のスラリー中に浸
漬させ、同部位の表面にスラリーを付着させることによ
り多孔質層が形成される。その後、多孔質層の不要部
分、例えば、素子本体においてヒータが接合される部分
の表面に形成された多孔質層が除去される。更に、不要
部分が除去された多孔質層上には溶射法によって溶射層
が形成される。この際、多孔質層の面粗度が大きいた
め、溶射層は多孔質層に対して密着した状態となる。
(Operation) In the method of manufacturing an oxygen sensor according to the present invention, a predetermined portion of the element body including at least a part of the electrode on the exhaust gas side is immersed in the slurry for forming the porous layer, and the surface of the portion is immersed. A porous layer is formed by depositing the slurry. After that, the unnecessary portion of the porous layer, for example, the porous layer formed on the surface of the portion where the heater is joined in the element body is removed. Further, a sprayed layer is formed by a spraying method on the porous layer from which the unnecessary portion has been removed. At this time, since the surface roughness of the porous layer is large, the sprayed layer is in a state of being in close contact with the porous layer.

【0016】以上のように、本発明に係る酸素センサの
製造方法では、素子本体の所定部位をスラリー中に浸漬
させ、同部位の表面に付着するスラリーによって多孔質
層を形成するようにした。このため、複数の多孔質シー
トを素子本体の表面に接着する方法とは異なり、隙間な
く連続した多孔質層が素子本体における所定部位の表面
に容易に形成される。従って、例えば、素子本体の表面
に段差部があるような場合であっても、隙間なく多孔質
層を形成することが可能となる。そして、このように隙
間なく形成された多孔質層上に溶射層を形成するように
したため、前記所定部位は溶射層によって隙間なく覆わ
れる。
As described above, in the method of manufacturing an oxygen sensor according to the present invention, a predetermined portion of the element body is immersed in the slurry, and the porous layer is formed by the slurry adhering to the surface of the portion. Therefore, unlike the method of adhering a plurality of porous sheets to the surface of the element body, a continuous porous layer without gaps can be easily formed on the surface of a predetermined portion of the element body. Therefore, for example, even when there is a stepped portion on the surface of the element body, the porous layer can be formed without a gap. Since the sprayed layer is formed on the porous layer thus formed without any gap, the predetermined portion is covered with the sprayed layer without any gap.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施の
形態について図1〜図5を参照して説明する。尚、本実
施の形態における酸素センサは、前述した従来技術にお
けるものと略同様の構成を有するものであるため、以下
では両者の相違点を中心に説明し、従来技術における酸
素センサと同様の構造部材については同一の符号を付し
ている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments embodying the present invention will be described below with reference to FIGS. Since the oxygen sensor according to the present embodiment has substantially the same configuration as that of the above-described related art, the difference between the two will be mainly described below, and the same structure as the oxygen sensor according to the related art will be described below. The same reference numerals are given to the members.

【0018】図1は本実施の形態における酸素センサ1
1を示す斜視図である。尚、図1では、多孔質層21及
び溶射層22の図示を省略している。同図に示すよう
に、本実施の形態における酸素センサ11は全体に長尺
状をなし、前記ヒータ14の上面には、基底シート1
5、枠体16、固体電解質シート12、及び保護シート
20が順に積層されている。これらヒータ14及び素子
本体13は、酸素センサ11のハウジング(図示しな
い)内にて固定されている。
FIG. 1 shows an oxygen sensor 1 according to this embodiment.
FIG. In FIG. 1, the porous layer 21 and the sprayed layer 22 are not shown. As shown in the figure, the oxygen sensor 11 according to the present embodiment has an elongated shape as a whole, and the base sheet 1 is provided on the upper surface of the heater 14.
5, the frame body 16, the solid electrolyte sheet 12, and the protective sheet 20 are sequentially laminated. The heater 14 and the element body 13 are fixed inside a housing (not shown) of the oxygen sensor 11.

【0019】図2は酸素センサ11の縦断面図である。
図2に示すように、固体電解質シート12の上面には排
ガス側電極19が、下面には大気側電極18がそれぞれ
固体電解質シート12の長手方向に沿って形成されてい
る。前記両電極18,19は、酸素センサ11の先端側
(図1の左側)に形成された電極反応部18a,19a
と、基端側に形成され、酸素センサ11のリード線(図
示しない)が電気的に接続される端子19c(排ガス側
電極の端子19cのみ図示する)と、電極反応部18
a,19a及び端子19cを接続する電極リード部18
b,19bとによって構成されている。
FIG. 2 is a vertical sectional view of the oxygen sensor 11.
As shown in FIG. 2, an exhaust gas side electrode 19 is formed on the upper surface of the solid electrolyte sheet 12, and an atmosphere side electrode 18 is formed on the lower surface thereof along the longitudinal direction of the solid electrolyte sheet 12. The both electrodes 18, 19 are electrode reaction parts 18a, 19a formed on the tip side (the left side in FIG. 1) of the oxygen sensor 11.
And a terminal 19c (only the terminal 19c of the exhaust gas side electrode is shown) formed on the base end side and electrically connected to a lead wire (not shown) of the oxygen sensor 11, and an electrode reaction part 18
electrode lead portion 18 for connecting the terminals a, 19a and the terminal 19c
b, 19b.

【0020】固体電解質シート12の内外面間に発生し
た排ガス酸素濃度に応じた起電力は、前記各電極反応部
18a,19a、電極リード部18b,19b、端子1
9c、リード線を介して外部に取り出される。又、排ガ
ス側電極19の電極リード部19b上には保護シート2
0が積層されており、同リード部19bには排ガスが接
触しないようになっている。
The electromotive force corresponding to the exhaust gas oxygen concentration generated between the inner and outer surfaces of the solid electrolyte sheet 12 is the electrode reaction parts 18a, 19a, the electrode lead parts 18b, 19b, and the terminal 1.
9c, taken out through the lead wire. Further, the protective sheet 2 is provided on the electrode lead portion 19b of the exhaust gas side electrode 19.
0 is laminated so that exhaust gas does not come into contact with the lead portion 19b.

【0021】前記ヒータ14はアルミナ等のセラミック
材料からなり、その内部には図示しない発熱部が埋設さ
れている。又、ヒータ14の下面には、前記発熱部に電
気的に接続された一対の端子(図示しない)が形成され
ている。これら各端子を介して発熱部に所定の電流が供
給されると、同発熱部は発熱して素子本体13を所定温
度(例えば400℃)以上に維持するようになってい
る。
The heater 14 is made of a ceramic material such as alumina, and a heating portion (not shown) is embedded inside the heater 14. Further, on the lower surface of the heater 14, a pair of terminals (not shown) electrically connected to the heat generating portion are formed. When a predetermined current is supplied to the heat generating portion through these terminals, the heat generating portion generates heat and maintains the element body 13 at a predetermined temperature (for example, 400 ° C.) or higher.

【0022】図3は図2のIII −III 断面図である。図
2,図3に示すように、素子本体13の先端側部分の表
面には、前記ヒータ14と接触する下面を除いて多孔質
層21が形成されている。多孔質層21上には溶射層2
2が形成され、更に、同溶射層22上にはトラップ層2
3が形成されている。その結果、排ガス側電極19の電
極反応部19a、或いは固体電解質シート12、保護シ
ート20の上面及び各側面、及び固体電解質シート12
及び保護シート20によって形成される段差部K1 等
は、これら各層21〜23によって覆われた状態となっ
ている。
FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. As shown in FIGS. 2 and 3, a porous layer 21 is formed on the surface of the tip side portion of the element body 13 except for the lower surface which is in contact with the heater 14. The thermal sprayed layer 2 is formed on the porous layer 21.
2 is formed, and the trap layer 2 is formed on the sprayed layer 22.
3 are formed. As a result, the electrode reaction portion 19a of the exhaust gas side electrode 19, or the solid electrolyte sheet 12, the upper surface and side surfaces of the protective sheet 20, and the solid electrolyte sheet 12
The stepped portion K1 and the like formed by the protective sheet 20 are covered with these layers 21-23.

【0023】次に、以上の構成を備えた酸素センサ11
の製造方法について図4及び図5を参照して説明する。 〔1〕(混合工程) イットリア(Y2 O3 )が所定重
量比添加されてなるジルコニア(ZrO2 )粉末に、溶
媒(イオン交換水)、バインダ(メチルセルロース)、
及び活性材(グリセリン)を加えたものを、混合機によ
り混合する。そして、この混合物を混練機により撹拌混
合する。
Next, the oxygen sensor 11 having the above structure
The manufacturing method will be described with reference to FIGS. 4 and 5. [1] (Mixing step) Zirconia (ZrO2) powder obtained by adding yttria (Y2 O3) in a predetermined weight ratio, a solvent (ion-exchanged water), a binder (methyl cellulose),
And the mixture to which the active material (glycerin) has been added is mixed by a mixer. Then, this mixture is stirred and mixed by a kneader.

【0024】〔2〕 (成形シート乾燥工程) 混練物
を成形機により押出成形し、その成形シートを乾燥機に
より乾燥する。 〔3〕 (打抜工程) 成形シートを打抜機により打ち
抜き、固体電解質シート12、枠体16、基底シート1
5、保護シート20となる素材(グリーンシート)を成
形する。
[2] (Molded Sheet Drying Step) The kneaded product is extrusion-molded by a molding machine, and the molded sheet is dried by a dryer. [3] (Punching Step) The molded sheet is punched by a punching machine to obtain a solid electrolyte sheet 12, a frame body 16, and a base sheet 1.
5. Form a material (green sheet) to be the protective sheet 20.

【0025】〔4〕(電極印刷工程) 固体電解質シー
ト12の素材における両面に白金ペーストを印刷して、
大気側電極18、排ガス側電極19をそれぞれ形成す
る。各電極18,19を形成した後、固体電解質シート
12、枠体16、基底シート15、保護シート20用の
素材を乾燥させる。
[4] (Electrode printing step) Platinum paste is printed on both surfaces of the material of the solid electrolyte sheet 12,
The atmosphere side electrode 18 and the exhaust gas side electrode 19 are formed respectively. After forming the electrodes 18 and 19, the materials for the solid electrolyte sheet 12, the frame body 16, the base sheet 15, and the protective sheet 20 are dried.

【0026】〔5〕(積層工程) 固体電解質シート1
2、枠体16、基底シート15、保護シート20用の素
材を乾燥させた後、これらを図5(a)に示すように順
に積層する。そして、各素材を所定圧力にて加圧接着し
て一体とする。
[5] (Laminating step) Solid electrolyte sheet 1
2. After drying the materials for the frame body 16, the base sheet 15, and the protective sheet 20, these are laminated in order as shown in FIG. Then, the respective materials are pressure-bonded at a predetermined pressure to be integrated.

【0027】〔6〕 (スラリー混合工程)ジルコニア
粉末、ポリビニルブチラール樹脂(PVB)、解膠剤、
ジオクチルフタレート、トリクレン、及びアルコールを
以下の表1に示す重量配分で混合させて多孔質層形成用
のスラリーPを形成する。
[6] (Slurry mixing step) Zirconia powder, polyvinyl butyral resin (PVB), peptizer,
Dioctyl phthalate, trichlene, and alcohol are mixed in the weight distribution shown in Table 1 below to form a slurry P for forming a porous layer.

【0028】[0028]

【表1】 前記ポリビニルブチラール樹脂は、ジルコニア粉末を結
合させることによりスラリーPの粘度を所定値とするた
めのバインダである。又、前記解膠剤は、ジルコニア粒
子を分散させてコロイド状態とする作用を有し、表1に
示すように1〜3重量%の範囲で混合させる。尚、この
解膠剤は、3重量%以上添加してもその作用は殆ど変化
しない。
[Table 1] The polyvinyl butyral resin is a binder for binding the zirconia powder to bring the viscosity of the slurry P to a predetermined value. The deflocculant has the function of dispersing zirconia particles into a colloidal state, and is mixed in the range of 1 to 3% by weight as shown in Table 1. The action of this deflocculant hardly changes even when added in an amount of 3% by weight or more.

【0029】ジオクチルフタレートは、スラリーPの塑
性を向上させるための塑性向上剤であるが、5重量%以
上添加することはスラリーPに悪影響を与えるため好ま
しくない。又、トリクレンはスラリーPの有機溶媒であ
り、例えば、トルエン、キシレン等の有機溶媒によって
代用することもできる。アルコールは、後述するスラリ
ーPの粘度調整時間を調節するための粘度調整剤であ
り、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノ
ール等の粘度調整剤から適宜選定する。
Dioctyl phthalate is a plasticity improver for improving the plasticity of the slurry P, but it is not preferable to add dioctyl phthalate in an amount of 5% by weight or more because it adversely affects the slurry P. Further, trichlene is an organic solvent for the slurry P, and for example, an organic solvent such as toluene or xylene can be substituted. The alcohol is a viscosity adjusting agent for adjusting the viscosity adjusting time of the slurry P described later, and is appropriately selected from the viscosity adjusting agents such as ethanol, propanol, butanol, and hexanol.

【0030】主剤としてのジルコニア粉末と、添加剤と
してのポリビニルブチラール樹脂(バインダ)、解膠
剤、ジオクチルフタレート(塑性向上剤)、トリクレン
(有機溶媒)、アルコール(粘度調整剤)との重量混合
比は、表1に示す重量配分を基準にして、スラリーPの
必要とされる粘度、塑性、粘着性等の特性に応じて調整
される。
A weight mixing ratio of zirconia powder as a main agent and polyvinyl butyral resin (binder), peptizer, dioctyl phthalate (plasticity improver), trichlene (organic solvent), alcohol (viscosity modifier) as an additive. Is adjusted based on the weight distribution shown in Table 1 according to the required properties such as viscosity, plasticity, and tackiness of the slurry P.

【0031】〔7〕 (スラリー撹拌工程) 撹拌機の
回転容器(容積:1リットル)内に、上記スラリーPを
200gと、撹拌時間を短縮するためのナイロンボール
(直径10〜15mm、重量8〜12g)を所定数量
(40〜50個)投入する。
[7] (Slurry Stirring Step) 200 g of the slurry P was placed in a rotary container (volume: 1 liter) of a stirrer, and nylon balls (diameter: 10 to 15 mm, weight: 8 to 10) were used to shorten the stirring time. 12 g) is put in a predetermined quantity (40 to 50 pieces).

【0032】そして、回転容器を30〜60rpmの回
転速度で回転し、同容器内のスラリーPを所定時間撹拌
する。この撹拌時間があまり長いと、ジルコニア粉末が
均一に分散してスラリーPが多孔質とならないため、2
0〜40分が好適である。
Then, the rotary container is rotated at a rotation speed of 30 to 60 rpm, and the slurry P in the container is stirred for a predetermined time. If this stirring time is too long, the zirconia powder is uniformly dispersed and the slurry P does not become porous.
0-40 minutes is suitable.

【0033】〔8〕(スラリー粘度調整工程) 撹拌さ
れたスラリーPを真空脱泡し、その粘度を所定値に調節
する。ここで、スラリーPの粘度が7Pa・ s より大きい
と、後述する多孔質層21を形成する際に同層21の厚
さが必要以上に増加してしまい、又、粘度が1Pa・ s よ
り小さいと、多孔質層21が所定厚さを有したものとな
らない。本実施の形態では、スラリーPの粘度を1〜7
Pa・ s となるよう調節することによって、多孔質層21
の厚さが0.1〜0.2mmとなるようにしている。
[8] (Slurry viscosity adjusting step) The stirred slurry P is degassed in vacuum to adjust its viscosity to a predetermined value. Here, if the viscosity of the slurry P is larger than 7 Pa · s, the thickness of the porous layer 21 will be increased more than necessary when forming the porous layer 21 described later, and the viscosity is smaller than 1 Pa · s. Therefore, the porous layer 21 does not have a predetermined thickness. In the present embodiment, the slurry P has a viscosity of 1 to 7
By adjusting the pressure to be Pa · s, the porous layer 21
Is 0.1 to 0.2 mm thick.

【0034】[0034]

〔9〕(浸漬工程) 素子本体13の先端
部分を図4(a)に示すように、上記工程にて調整され
たスラリーP中に浸漬させる。この際、同図に示すよう
に、前記保護シート20の一部もスラリーP中に浸漬さ
せるようにする。所定時間後、スラリーP中にある素子
本体13の先端部分を引き上げると、同部分には付着し
たスラリーPによって厚さが0.1〜0.2mmの多孔
質層21が形成される。尚、多孔質層21の厚さはスラ
リーPの粘度によって略決定されるため、素子本体13
の先端部分をスラリーP中に浸漬させる時間を厳密に管
理する必要はない。
[9] (Dip Step) As shown in FIG. 4A, the tip of the element body 13 is dipped in the slurry P prepared in the above step. At this time, as shown in the figure, part of the protective sheet 20 is also immersed in the slurry P. When the tip portion of the element body 13 in the slurry P is pulled up after a predetermined time, the porous layer 21 having a thickness of 0.1 to 0.2 mm is formed on the portion by the attached slurry P. Since the thickness of the porous layer 21 is substantially determined by the viscosity of the slurry P, the element body 13
It is not necessary to strictly control the time for immersing the tip portion of the in the slurry P.

【0035】〔10〕(乾燥工程) 素子本体13の先
端部分に形成された多孔質層21を所定時間乾燥させ
る。 〔11〕(除去工程) 図4(b)に示すように、前記
基底シート15の下面(同図では右側面)に形成された
多孔質層21をスクレーパBによって削りこれを除去す
る。その結果、素子本体13は図5(b)に示す状態と
なる。
[10] (Drying Step) The porous layer 21 formed on the tip of the element body 13 is dried for a predetermined time. [11] (Removal Step) As shown in FIG. 4B, the porous layer 21 formed on the lower surface (the right side surface in the figure) of the base sheet 15 is scraped by the scraper B to remove it. As a result, the element body 13 is brought into the state shown in FIG.

【0036】〔12〕(焼成工程) 上記工程において
多孔質層21が形成された素子本体13を、脱脂処理し
た後、所定の温度パターンにて焼成する。焼成後におけ
る多孔質層21の面粗度は十点平均面粗さで約50zと
なる。
[12] (Firing Step) The element body 13 having the porous layer 21 formed in the above step is degreased and then fired in a predetermined temperature pattern. The tenth-point average surface roughness of the porous layer 21 after firing is about 50 z.

【0037】〔13〕(溶射工程) 前記多孔質層21
上にスピネル(アルミン酸マグネシウム)等のセラミッ
ク材料を溶射する。その結果、多孔質層21上には図5
(c)に示すように、溶射層22が形成される。この
際、溶射層22は、面粗度の大きい多孔質層21に対し
て密着するため、両層21,22の間に隙間が形成され
ることはない。
[13] (Spraying Step) The porous layer 21
Thermally spray a ceramic material such as spinel (magnesium aluminate) on top. As a result, FIG.
As shown in (c), the sprayed layer 22 is formed. At this time, since the sprayed layer 22 is in close contact with the porous layer 21 having a high surface roughness, no gap is formed between the layers 21 and 22.

【0038】〔14〕(トラップ層形成工程) アルミ
ナ粉末を含んだトラップ層形成用のスラリーを前記溶射
層22上に塗布するとともに、所定時間乾燥させる。そ
の結果、図5(d)に示すように、溶射層22上にはト
ラップ層23が形成される。
[14] (Trap Layer Forming Step) A slurry for forming a trap layer containing alumina powder is applied onto the sprayed layer 22 and dried for a predetermined time. As a result, as shown in FIG. 5D, a trap layer 23 is formed on the sprayed layer 22.

【0039】〔15〕(ヒータ接合工程) 前記工程
〔11〕において、多孔質層21が除去された基底シー
ト15の下面に、予め焼成したヒータ14を接着する。
或いは、同下面にヒータ14を重合させ、酸素センサ1
1の保持部材(図示しない)により素子本体13とヒー
タ14を密着した状態に保持する。
[15] (Heater Bonding Step) In the step [11], the heater 14 that has been fired in advance is bonded to the lower surface of the base sheet 15 from which the porous layer 21 has been removed.
Alternatively, the heater 14 is superposed on the lower surface of the oxygen sensor 1
The element main body 13 and the heater 14 are held in close contact with each other by one holding member (not shown).

【0040】本実施の形態では、以上の各工程〔1〕〜
〔15〕を経て図2、図3に示すような酸素センサ11
が製造される。以上説明した本実施の形態は下記(a)
〜(c)の特徴を有する。
In the present embodiment, the above steps [1] to
Oxygen sensor 11 as shown in FIGS. 2 and 3 via [15]
Is manufactured. The embodiment described above has the following (a)
It has the characteristics of (c).

【0041】(a) 本実施の形態によれば、排ガス側
電極19の電極反応部19aを含む素子本体13の上面
或いは側面、又、固体電解質シート12と保護シートと
の段差部K1 等に隙間のない連続した多孔質層21を形
成することができるとともに、その多孔質層21上に溶
射層22及びトラップ層23を隙間なく形成することが
できる。従って、これら各層21〜23により排ガス側
電極19に至る侵入経路を増加させて排ガスの侵入を抑
制し、排ガス中に含まれる被毒成分によって排ガス側電
極19が劣化してしまうことを防止することができる。
(A) According to this embodiment, a gap is formed in the upper surface or the side surface of the element body 13 including the electrode reaction portion 19a of the exhaust gas side electrode 19, or in the step portion K1 between the solid electrolyte sheet 12 and the protective sheet. It is possible to form a continuous porous layer 21 without a gap, and to form the sprayed layer 22 and the trap layer 23 on the porous layer 21 without a gap. Therefore, these layers 21 to 23 increase the invasion route to the exhaust gas side electrode 19 to suppress the invasion of the exhaust gas, and prevent the exhaust gas side electrode 19 from being deteriorated by the poisoning component contained in the exhaust gas. You can

【0042】(b) 本実施の形態では、所定の粘度に
調整された多孔質層21形成用のスラリーP中に、素子
本体13の先端側部分を浸漬して同部分にスラリーPを
付着させることにより多孔質層21を形成している。従
って、複数の多孔質シートを素子本体13の表面に接着
して多孔質層を形成する従来の方法と比較して、多孔質
層21を容易に形成することができる。
(B) In the present embodiment, the tip side portion of the element body 13 is immersed in the slurry P for forming the porous layer 21 adjusted to have a predetermined viscosity, and the slurry P is attached to the portion. Thus, the porous layer 21 is formed. Therefore, the porous layer 21 can be easily formed as compared with the conventional method in which a plurality of porous sheets are adhered to the surface of the element body 13 to form the porous layer.

【0043】(c) 本実施の形態によれば、スラリー
Pの粘度を調節することにより、多孔質層21の厚さを
適宜調節することができる。上記実施の形態における工
程の一部を変更した他の実施の形態について以下に示
す。
(C) According to the present embodiment, the thickness of the porous layer 21 can be appropriately adjusted by adjusting the viscosity of the slurry P. Another embodiment in which some of the steps in the above embodiment are modified will be described below.

【0044】(1) 前記工程〔11〕における多孔質
層21の除去は、同層21を乾燥させる前に行われるも
のであってもよい。又、スクレーパBを用いた除去方法
によらず、例えば、基底シート15の下面に樹脂テープ
を貼着して予めマスキングをしておき、多孔質層21を
形成した後、そのテープを剥離すると共に基底シート1
5の下面に形成された多孔質層21を除去するようにし
てもよい。
(1) The removal of the porous layer 21 in the step [11] may be performed before the layer 21 is dried. Further, regardless of the removal method using the scraper B, for example, a resin tape is attached to the lower surface of the base sheet 15 and masked in advance to form the porous layer 21, and then the tape is peeled off. Base sheet 1
Alternatively, the porous layer 21 formed on the lower surface of 5 may be removed.

【0045】(2) 工程〔5〕において、固体電解質
シート12、枠体16、基底シート15、及び保護シー
ト20用の素材を順に積層すると共に、基底シート15
にはヒータ14用の素材(グリーンシート)を積層す
る。そして、工程〔13〕において素子本体13及びヒ
ータ14に対して脱脂、焼成を行うと共に、工程〔1
2〕〜〔14〕を経て酸素センサ11を製造する。この
ような方法によれば、工程〔11〕において、基底シー
ト15の下面に形成された多孔質層21を除去する必要
がなく、製造工程を短縮することができる。
(2) In the step [5], the solid electrolyte sheet 12, the frame body 16, the base sheet 15, and the material for the protective sheet 20 are sequentially laminated, and the base sheet 15 is formed.
In this case, a material (green sheet) for the heater 14 is laminated. Then, in the step [13], degreasing and firing are performed on the element body 13 and the heater 14, and the step [1
The oxygen sensor 11 is manufactured through steps 2] to [14]. According to such a method, it is not necessary to remove the porous layer 21 formed on the lower surface of the base sheet 15 in the step [11], and the manufacturing process can be shortened.

【0046】上記各実施の形態から把握される技術的思
想についてその効果と共に以下に記載する。 (イ) 両面に電極がそれぞれ形成された固体電解質シ
ートを有する素子本体と、同素子本体を加熱するための
シート状のヒータとを積層してなる酸素センサの製造方
法であって、前記素子本体及びヒータにおいて、排ガス
側の電極の一部を少なくとも含む所定部位を、多孔質層
形成用のスラリー中に浸漬することにより前記所定部位
の表面にスラリーを付着させて多孔質層を形成した後、
同多孔質層上に溶射層を形成することを特徴とする酸素
センサの製造方法。
The technical idea grasped from each of the above-mentioned embodiments will be described below together with its effects. (A) A method for manufacturing an oxygen sensor, comprising: stacking an element body having a solid electrolyte sheet having electrodes formed on both sides thereof, and a sheet-shaped heater for heating the element body, the element body comprising: In the heater, a predetermined portion including at least a part of the exhaust gas side electrode, after forming a porous layer by attaching the slurry to the surface of the predetermined portion by immersing in a slurry for forming a porous layer,
A method for manufacturing an oxygen sensor, comprising forming a sprayed layer on the porous layer.

【0047】上記(イ)によれば、排ガス側の電極の一
部を少なくとも覆うようにして、素子本体及びヒータの
表面に隙間のない連続した多孔質層を容易に形成するこ
とができる。従って、多孔質層上に溶射層を隙間なく形
成して排ガスの侵入を抑制することができ、排ガスによ
る排ガス側の電極の劣化を防止することができる。
According to the above (a), a continuous porous layer having no gap can be easily formed on the surface of the element body and the heater by covering at least a part of the electrode on the exhaust gas side. Therefore, the sprayed layer can be formed on the porous layer without any gaps to suppress the invasion of the exhaust gas, and the deterioration of the electrode on the exhaust gas side due to the exhaust gas can be prevented.

【0048】(ロ)多孔質層形成用のスラリーは所定粘
度に調整されたものであることを特徴とする請求項1記
載の酸素センサの製造方法。上記(ロ)によれば、多孔
質層形成用のスラリーを所定粘度に調整することによ
り、多孔質層を所定の厚さに管理することができる。
(B) The method for producing an oxygen sensor according to claim 1, wherein the slurry for forming the porous layer is adjusted to have a predetermined viscosity. According to the above (b), the porous layer can be controlled to have a predetermined thickness by adjusting the viscosity of the slurry for forming the porous layer to a predetermined viscosity.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る酸素センサの製造方法によれば、素子本体の表面に
隙間なく連続した多孔質層を形成することができる。従
って、多孔質層上には隙間なく溶射層が形成されるた
め、排ガス中に含まれる被毒成分が素子本体の電極に接
触することに起因した不具合を防止することができる。
As described above in detail, according to the method for manufacturing an oxygen sensor of the present invention, it is possible to form a continuous porous layer on the surface of the element body without a gap. Therefore, since the sprayed layer is formed on the porous layer without any gap, it is possible to prevent the trouble caused by the poisoning component contained in the exhaust gas coming into contact with the electrode of the element body.

【0050】加えて、複数の多孔質シートを素子本体の
表面に接着して多孔質層を形成する従来の方法と比較し
て同層を容易に形成することができる。
In addition, the same layer can be easily formed as compared with the conventional method in which a plurality of porous sheets are adhered to the surface of the element body to form the porous layer.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】一実施の形態における酸素センサを示す斜視
図。
FIG. 1 is a perspective view showing an oxygen sensor according to an embodiment.

【図2】酸素センサの縦断面図。FIG. 2 is a vertical sectional view of an oxygen sensor.

【図3】図2のIII −III 断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III in FIG. 2;

【図4】酸素センサの製造工程を説明するための説明
図。
FIG. 4 is an explanatory view for explaining a manufacturing process of the oxygen sensor.

【図5】酸素センサの製造工程を説明するための断面
図。
FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining the manufacturing process of the oxygen sensor.

【図6】(a),(b)ともに酸素センサの縦断面図。FIG. 6A and FIG. 6B are longitudinal sectional views of the oxygen sensor.

【図7】(a)は図6(a)のVIIA−VIIA断面図、
(b)は図6(b)のVIIB−VIIB断面図。
7A is a sectional view taken along line VIIA-VIIA of FIG. 6A,
6B is a sectional view taken along line VIIB-VIIB of FIG.

【図8】従来技術における多孔質層の形成方法を説明す
るための斜視図。
FIG. 8 is a perspective view for explaining a method of forming a porous layer according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…酸素センサ、12…固体電解質シート、13…素
子本体、14…ヒータ、18…大気側電極、19…排ガ
ス側電極、21…多孔質層、22…溶射層。
11 ... Oxygen sensor, 12 ... Solid electrolyte sheet, 13 ... Element body, 14 ... Heater, 18 ... Atmosphere side electrode, 19 ... Exhaust gas side electrode, 21 ... Porous layer, 22 ... Spraying layer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 両面に電極がそれぞれ形成された固体電
解質シートを有する素子本体と、同素子本体を加熱する
ためのシート状をなすヒータとを積層してなる酸素セン
サの製造方法であって、 前記素子本体において、排ガス側の電極の一部を少なく
とも含む所定部位を、多孔質層形成用のスラリー中に浸
漬することにより同部位の表面にスラリーを付着させて
多孔質層を形成する工程と、 前記多孔質層の不要部分を除去する工程と、 不要部分が除去された多孔質層上に溶射層を形成する工
程とを含むことを特徴とする酸素センサの製造方法。
1. A method of manufacturing an oxygen sensor, comprising: stacking an element body having a solid electrolyte sheet having electrodes formed on both sides thereof, and a sheet-shaped heater for heating the element body. In the element body, a step of forming a porous layer by depositing a predetermined portion including at least a part of the electrode on the exhaust gas side into a slurry for forming a porous layer to attach the slurry to the surface of the same portion, A method of manufacturing an oxygen sensor, comprising: a step of removing an unnecessary portion of the porous layer; and a step of forming a sprayed layer on the porous layer from which the unnecessary portion is removed.
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