JPH0916270A - 圧力制御弁 - Google Patents
圧力制御弁Info
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- JPH0916270A JPH0916270A JP19920396A JP19920396A JPH0916270A JP H0916270 A JPH0916270 A JP H0916270A JP 19920396 A JP19920396 A JP 19920396A JP 19920396 A JP19920396 A JP 19920396A JP H0916270 A JPH0916270 A JP H0916270A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 給気用電磁弁及び排気用電磁弁に圧力漏れが
生じた場合でも、装置の作動停止時に出力圧が変動する
おそれをなくす。 【解決手段】 供給源39からの気体の圧力を制御して
被圧力供給体に供給する主バルブ40と、その主バルブ
40のパイロット室内へ供給される圧力を制御する給気
用電磁弁29と、パイロット室内から外部へ排出される
圧力を制御する排気用電磁弁31とを設けて圧力制御弁
を構成する。そして、少なくとも排気用電磁弁31を、
通電停止時に開放状態を保持するように構成する。これ
により、装置の作動停止時には、パイロット室内の圧力
が外部へ排出されて、主バルブ40が閉鎖状態に維持さ
れ、給気用電磁弁29に漏れが生じていても、主バルブ
40の閉鎖状態は確実に維持される。
生じた場合でも、装置の作動停止時に出力圧が変動する
おそれをなくす。 【解決手段】 供給源39からの気体の圧力を制御して
被圧力供給体に供給する主バルブ40と、その主バルブ
40のパイロット室内へ供給される圧力を制御する給気
用電磁弁29と、パイロット室内から外部へ排出される
圧力を制御する排気用電磁弁31とを設けて圧力制御弁
を構成する。そして、少なくとも排気用電磁弁31を、
通電停止時に開放状態を保持するように構成する。これ
により、装置の作動停止時には、パイロット室内の圧力
が外部へ排出されて、主バルブ40が閉鎖状態に維持さ
れ、給気用電磁弁29に漏れが生じていても、主バルブ
40の閉鎖状態は確実に維持される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シリンダ等の被圧力供
給体に供給される気体の圧力を制御するための圧力制御
弁に係り、特に電磁弁を利用して供給気体圧の制御を行
うようにした圧力制御弁に関するものである。
給体に供給される気体の圧力を制御するための圧力制御
弁に係り、特に電磁弁を利用して供給気体圧の制御を行
うようにした圧力制御弁に関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の圧力制御弁として、例えば、特
開昭63−20605号公報や特開平2−284213
号公報に開示されているようなものがある。これらの圧
力制御弁においては、気体の流路を開閉する開閉弁が、
受圧体の往復動により開閉動作され、受圧体はパイロッ
ト室の圧力変動に応じて往復動される。又、これらの圧
力制御弁においては、流路の出力ポート側の圧力を検出
する圧力センサと、流路の供給ポート側からパイロット
室内へ供給される圧力を制御するための給気用電磁弁
と、パイロット室内から外部へ排出される圧力を制御す
るための排気用電磁弁とが設けられている。そして、コ
ントローラが圧力センサの検出圧力と設定圧力との差に
基づいて各電磁弁を開閉動作させて、パイロット室に対
して圧力を供給又は排出することにより、同パイロット
室の圧力を変更制御し、その圧力の変動に応じて開閉弁
が開閉動作されて、出力ポートの圧力が設定圧力に制御
される。
開昭63−20605号公報や特開平2−284213
号公報に開示されているようなものがある。これらの圧
力制御弁においては、気体の流路を開閉する開閉弁が、
受圧体の往復動により開閉動作され、受圧体はパイロッ
ト室の圧力変動に応じて往復動される。又、これらの圧
力制御弁においては、流路の出力ポート側の圧力を検出
する圧力センサと、流路の供給ポート側からパイロット
室内へ供給される圧力を制御するための給気用電磁弁
と、パイロット室内から外部へ排出される圧力を制御す
るための排気用電磁弁とが設けられている。そして、コ
ントローラが圧力センサの検出圧力と設定圧力との差に
基づいて各電磁弁を開閉動作させて、パイロット室に対
して圧力を供給又は排出することにより、同パイロット
室の圧力を変更制御し、その圧力の変動に応じて開閉弁
が開閉動作されて、出力ポートの圧力が設定圧力に制御
される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来の
圧力制御弁において、各電磁弁はコントローラからのパ
ルス信号により高速で連続的に開閉動作される、つまり
各電磁弁の弁体が弁座に対して高速で連続的に衝突及び
離間動作される。従って、その衝突の衝撃により、弁体
及び弁座の衝突部分が劣化し易いものであった。そし
て、これらの圧力制御弁に使用される電磁弁は、通電停
止時に閉鎖状態を保持する構成であるが、前述した弁体
及び弁座の劣化により、その閉鎖状態を確実に保持でき
なくなることがある。つまり、各電磁弁に対して通電を
停止しても、閉鎖状態の弁体と弁座との間から圧力の漏
れが生じ、供給ポート側の圧力がパイロット室内へ漏出
したり、或いはパイロット室内の圧力が外部へ漏出した
りする。従って、圧力制御弁の作動を停止させた状態で
も、パイロット室内の圧力が変動して、開閉弁の開度が
変更されてしまい、装置の停止直前の出力圧が維持され
なくなってしまう。
圧力制御弁において、各電磁弁はコントローラからのパ
ルス信号により高速で連続的に開閉動作される、つまり
各電磁弁の弁体が弁座に対して高速で連続的に衝突及び
離間動作される。従って、その衝突の衝撃により、弁体
及び弁座の衝突部分が劣化し易いものであった。そし
て、これらの圧力制御弁に使用される電磁弁は、通電停
止時に閉鎖状態を保持する構成であるが、前述した弁体
及び弁座の劣化により、その閉鎖状態を確実に保持でき
なくなることがある。つまり、各電磁弁に対して通電を
停止しても、閉鎖状態の弁体と弁座との間から圧力の漏
れが生じ、供給ポート側の圧力がパイロット室内へ漏出
したり、或いはパイロット室内の圧力が外部へ漏出した
りする。従って、圧力制御弁の作動を停止させた状態で
も、パイロット室内の圧力が変動して、開閉弁の開度が
変更されてしまい、装置の停止直前の出力圧が維持され
なくなってしまう。
【0004】例えば、タンク内の圧力制御を行う場合に
おいて、タンク内の圧力を所定圧力に保持制御している
状態から圧力制御弁を停止させたとき、電磁弁に圧力の
漏れが生じていると、開閉弁の開度が変更されて、タン
ク内の圧力が所定圧力から変動してしまう。従って、再
び圧力制御弁を作動したときに、以前の所定圧力にいち
いち戻す必要が生じ、無駄な動作をすることとなる。
又、シリンダ等を使用して、ワークを所定の上方位置に
保持制御している場合にも、電磁弁に圧力の漏れが生じ
ていると、前記と同様に圧力制御弁の作動停止ととも
に、シリンダへの出力圧が変動して、ワークの位置が停
止直前の位置から変動してしまう。
おいて、タンク内の圧力を所定圧力に保持制御している
状態から圧力制御弁を停止させたとき、電磁弁に圧力の
漏れが生じていると、開閉弁の開度が変更されて、タン
ク内の圧力が所定圧力から変動してしまう。従って、再
び圧力制御弁を作動したときに、以前の所定圧力にいち
いち戻す必要が生じ、無駄な動作をすることとなる。
又、シリンダ等を使用して、ワークを所定の上方位置に
保持制御している場合にも、電磁弁に圧力の漏れが生じ
ていると、前記と同様に圧力制御弁の作動停止ととも
に、シリンダへの出力圧が変動して、ワークの位置が停
止直前の位置から変動してしまう。
【0005】一方、圧力制御弁の作動停止とともに、開
閉弁を閉鎖動作させたい場合もある。即ち、例えば、エ
アタービンの回転数制御等に使用する場合において、圧
力制御弁が停止されたとき、その停止直前の開閉弁の開
度が維持されると、エアタービンが回転し続けることと
なり、供給気体の損失となる。従って、このような場合
には、圧力制御弁の作動停止とともに、開閉弁を閉鎖動
作させて、エアタービンの回転を停止させることが望ま
れる。又、給気用電磁弁に圧力漏れが生じていると、圧
力制御弁を停止させた状態で供給源から気体を供給した
ときに、圧力制御弁が停止状態にも係わらず、パイロッ
ト室内に圧力が供給されて開閉弁が勝手に開放動作さ
れ、タービンが回転してしまうという問題もある。
閉弁を閉鎖動作させたい場合もある。即ち、例えば、エ
アタービンの回転数制御等に使用する場合において、圧
力制御弁が停止されたとき、その停止直前の開閉弁の開
度が維持されると、エアタービンが回転し続けることと
なり、供給気体の損失となる。従って、このような場合
には、圧力制御弁の作動停止とともに、開閉弁を閉鎖動
作させて、エアタービンの回転を停止させることが望ま
れる。又、給気用電磁弁に圧力漏れが生じていると、圧
力制御弁を停止させた状態で供給源から気体を供給した
ときに、圧力制御弁が停止状態にも係わらず、パイロッ
ト室内に圧力が供給されて開閉弁が勝手に開放動作さ
れ、タービンが回転してしまうという問題もある。
【0006】本発明は上記の各事情のうち、特に圧力制
御弁の作動停止とともに開閉弁を確実に閉鎖動作させた
いという要望に答えるものであり、その目的は、給排気
用の電磁弁に圧力漏れが生じた場合でも、装置の作動停
止時に確実に出力停止することができる圧力制御弁を提
供することにある。
御弁の作動停止とともに開閉弁を確実に閉鎖動作させた
いという要望に答えるものであり、その目的は、給排気
用の電磁弁に圧力漏れが生じた場合でも、装置の作動停
止時に確実に出力停止することができる圧力制御弁を提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、第1の発明では、両端にそれぞれポートを形成し
た気体の流路と、前記両ポート間において前記流路に設
けられ、その流路を開閉する弁体を有した開閉部と、パ
イロット室の圧力変動に応じて、前記弁体を開閉動作さ
せる受圧体と、パイロット室内へ供給される圧力及びパ
イロット室内から外部へ排出される圧力を制御する電磁
式給排気用弁とを備えた圧力制御弁において、通電停止
時に前記パイロット室内の圧力を外部に排出するための
電磁弁を、前記パイロット室に接続したものである。
めに、第1の発明では、両端にそれぞれポートを形成し
た気体の流路と、前記両ポート間において前記流路に設
けられ、その流路を開閉する弁体を有した開閉部と、パ
イロット室の圧力変動に応じて、前記弁体を開閉動作さ
せる受圧体と、パイロット室内へ供給される圧力及びパ
イロット室内から外部へ排出される圧力を制御する電磁
式給排気用弁とを備えた圧力制御弁において、通電停止
時に前記パイロット室内の圧力を外部に排出するための
電磁弁を、前記パイロット室に接続したものである。
【0008】第2の発明では、第1の発明の圧力制御弁
において、前記通電停止時にパイロット室内の圧力を外
部に排出するための電磁弁を、前記電磁式給排気用弁に
より構成したものである。
において、前記通電停止時にパイロット室内の圧力を外
部に排出するための電磁弁を、前記電磁式給排気用弁に
より構成したものである。
【0009】第3の発明では、両端にそれぞれポートを
形成した気体の流路と、前記両ポート間において前記流
路に設けられ、その流路を開閉する弁体を有した開閉部
と、パイロット室の圧力変動に応じて、前記弁体を開閉
動作させる受圧体と、パイロット室内へ供給される圧力
を制御する給気用電磁弁と、パイロット室内から外部へ
排出される圧力を制御する排気用電磁弁とを備えた圧力
制御弁において、通電停止時に前記パイロット室内の圧
力を外部に排出するための電磁弁を、前記パイロット室
に接続したものである。
形成した気体の流路と、前記両ポート間において前記流
路に設けられ、その流路を開閉する弁体を有した開閉部
と、パイロット室の圧力変動に応じて、前記弁体を開閉
動作させる受圧体と、パイロット室内へ供給される圧力
を制御する給気用電磁弁と、パイロット室内から外部へ
排出される圧力を制御する排気用電磁弁とを備えた圧力
制御弁において、通電停止時に前記パイロット室内の圧
力を外部に排出するための電磁弁を、前記パイロット室
に接続したものである。
【0010】第4の発明では、第3の発明の圧力制御弁
において、前記通電停止時にパイロット室内の圧力を外
部に排出するための電磁弁を、前記排気用電磁弁により
構成したものである。
において、前記通電停止時にパイロット室内の圧力を外
部に排出するための電磁弁を、前記排気用電磁弁により
構成したものである。
【0011】
【作用】上記手段により、第1及び第3の発明では、通
電が停止されるとパイロット室に接続された電磁弁によ
り、パイロット室内の圧力が外部に排出されるため、装
置の作動停止時には弁体により流路が閉鎖状態に確実に
維持される。
電が停止されるとパイロット室に接続された電磁弁によ
り、パイロット室内の圧力が外部に排出されるため、装
置の作動停止時には弁体により流路が閉鎖状態に確実に
維持される。
【0012】第2の発明では、第1の発明の電磁弁を、
パイロット室内の圧力制御のための電磁式給排気用弁に
より構成した。又、第4の発明では、第3の発明の電磁
弁を、パイロット室内から外部に排出される圧力を制御
する排気用電磁弁により構成した。そのため、部品点数
の増加を抑えるとともに、装置の小型化を図ることがで
きる。
パイロット室内の圧力制御のための電磁式給排気用弁に
より構成した。又、第4の発明では、第3の発明の電磁
弁を、パイロット室内から外部に排出される圧力を制御
する排気用電磁弁により構成した。そのため、部品点数
の増加を抑えるとともに、装置の小型化を図ることがで
きる。
【0013】
(第1実施例)以下、本発明を具体化した第1実施例を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【0014】図2に示すように、本実施例の圧力制御弁
は、供給源39からの気体の圧力を制御して図示しない
被圧力供給体に供給する主バルブ40と、その主バルブ
40に接続された電磁式給排気用弁としての給気用電磁
弁29及び排気用電磁弁31と、主バルブ40の出力側
の圧力を検出する圧力センサ33と、その圧力センサ3
3からの検出信号に基づいて各電磁弁29,31を開閉
制御する制御手段としての制御回路38とを有してい
る。
は、供給源39からの気体の圧力を制御して図示しない
被圧力供給体に供給する主バルブ40と、その主バルブ
40に接続された電磁式給排気用弁としての給気用電磁
弁29及び排気用電磁弁31と、主バルブ40の出力側
の圧力を検出する圧力センサ33と、その圧力センサ3
3からの検出信号に基づいて各電磁弁29,31を開閉
制御する制御手段としての制御回路38とを有してい
る。
【0015】次に、前記圧力制御弁の構造を詳細に説明
すると、図1に示すように、主バルブ40のバルブハウ
ジング1には気体の流路2が形成され、その流路2の両
端はそれぞれ給気ポート3及び出力ポート4となってい
る。流路2を開閉するための開閉部5は弁座6と弁体7
とを有し、弁体7は弁座6の対向位置に形成された背室
8に摺動可能に嵌挿されている。そして、弁体7はバネ
9により弁座6に向かって付勢されており、図1の状態
では弁体7が弁座6に押し付けられて、流路2が閉鎖さ
れている。又、弁体7には流路2の出力ポート4側と背
室8とを連通させる連通孔7aが形成され、この連通孔
7aを介して弁体7の出力ポート4側と背室8側との圧
力を同一にすることにより、弁体7を圧力的にバランス
させている。
すると、図1に示すように、主バルブ40のバルブハウ
ジング1には気体の流路2が形成され、その流路2の両
端はそれぞれ給気ポート3及び出力ポート4となってい
る。流路2を開閉するための開閉部5は弁座6と弁体7
とを有し、弁体7は弁座6の対向位置に形成された背室
8に摺動可能に嵌挿されている。そして、弁体7はバネ
9により弁座6に向かって付勢されており、図1の状態
では弁体7が弁座6に押し付けられて、流路2が閉鎖さ
れている。又、弁体7には流路2の出力ポート4側と背
室8とを連通させる連通孔7aが形成され、この連通孔
7aを介して弁体7の出力ポート4側と背室8側との圧
力を同一にすることにより、弁体7を圧力的にバランス
させている。
【0016】別の流路10は前記流路2の出力ポート4
側と連通するようにバルブハウジング1に形成され、そ
の端部は排気ポート11となっている。又、第1のハウ
ジングカバー12はバルブハウジング1の上面に取り付
けられている。前記流路10を開閉するための開閉部1
3は弁座14と弁体15とを有し、弁体15は弁座14
の対向位置において第1のハウジングカバー12に形成
された背室16に摺動可能に嵌挿されている。そして、
弁体15はバネ17により弁座14に向かって付勢され
ており、図1の状態では弁体15が弁座14に押し付け
られて、流路10が閉鎖されている。
側と連通するようにバルブハウジング1に形成され、そ
の端部は排気ポート11となっている。又、第1のハウ
ジングカバー12はバルブハウジング1の上面に取り付
けられている。前記流路10を開閉するための開閉部1
3は弁座14と弁体15とを有し、弁体15は弁座14
の対向位置において第1のハウジングカバー12に形成
された背室16に摺動可能に嵌挿されている。そして、
弁体15はバネ17により弁座14に向かって付勢され
ており、図1の状態では弁体15が弁座14に押し付け
られて、流路10が閉鎖されている。
【0017】第2のハウジングカバー18は第1のハウ
ジングカバー12の上面に取り付けられ、両カバー1
2,18の間には圧力室19が形成されるとともに、同
圧力室19内に位置するように両カバー12,18間に
は受圧体20が配置されている。その受圧体20は第2
のハウジングカバー18と第1のハウジングカバー12
との間に挟持固定されたダイヤフラム21と、そのダイ
ヤフラム21を両面から挟持する受圧板22とより構成
されている。受圧体20と第2のハウジングカバー18
との間にはパイロット室23が、受圧体20と第1のハ
ウジングカバー12との間にはフィードバック室24が
形成されるように、受圧体20は圧力室19を区画して
いる。
ジングカバー12の上面に取り付けられ、両カバー1
2,18の間には圧力室19が形成されるとともに、同
圧力室19内に位置するように両カバー12,18間に
は受圧体20が配置されている。その受圧体20は第2
のハウジングカバー18と第1のハウジングカバー12
との間に挟持固定されたダイヤフラム21と、そのダイ
ヤフラム21を両面から挟持する受圧板22とより構成
されている。受圧体20と第2のハウジングカバー18
との間にはパイロット室23が、受圧体20と第1のハ
ウジングカバー12との間にはフィードバック室24が
形成されるように、受圧体20は圧力室19を区画して
いる。
【0018】ロッド25はナット26により前記受圧体
20に固定され、ロッド25と受圧体20とはロッド2
5の軸線方向に沿って一体に往復動可能となっている。
そのロッド25は前記第1のハウジングカバー12及び
弁体15を挿通して前記弁体7の上面近傍まで延びてい
る。ロッド25のほぼ中間部にはリング27が固定さ
れ、そのリング27は弁体15の下面に係合可能となっ
ている。そして、前記パイロット室23の内部圧力がフ
ィードバック室24の内部圧力より大きくなり受圧体2
0とともにロッド25が下動されたとき、同ロッド25
の下端が弁体7に当接して同弁体7をバネ9の付勢力に
抗して押し下げ、開閉部5を開放させる。又、前記フィ
ードバック室24の内部圧力がパイロット室23の内部
圧力より大きくなり受圧体20とともにロッド25が上
動されたとき、同ロッド25のリング27が弁体15に
係合して同弁体15をバネ17の付勢力に抗して押し上
げ、開閉部13を開放させる。又、ロッド25には流路
2の出力ポート4側と背室16とを連通させる連通孔2
5aが形成され、この連通孔25aを介して弁体15の
出力ポート4側と背室16側との圧力を同一にすること
により、弁体15を圧力的にバランスさせている。
20に固定され、ロッド25と受圧体20とはロッド2
5の軸線方向に沿って一体に往復動可能となっている。
そのロッド25は前記第1のハウジングカバー12及び
弁体15を挿通して前記弁体7の上面近傍まで延びてい
る。ロッド25のほぼ中間部にはリング27が固定さ
れ、そのリング27は弁体15の下面に係合可能となっ
ている。そして、前記パイロット室23の内部圧力がフ
ィードバック室24の内部圧力より大きくなり受圧体2
0とともにロッド25が下動されたとき、同ロッド25
の下端が弁体7に当接して同弁体7をバネ9の付勢力に
抗して押し下げ、開閉部5を開放させる。又、前記フィ
ードバック室24の内部圧力がパイロット室23の内部
圧力より大きくなり受圧体20とともにロッド25が上
動されたとき、同ロッド25のリング27が弁体15に
係合して同弁体15をバネ17の付勢力に抗して押し上
げ、開閉部13を開放させる。又、ロッド25には流路
2の出力ポート4側と背室16とを連通させる連通孔2
5aが形成され、この連通孔25aを介して弁体15の
出力ポート4側と背室16側との圧力を同一にすること
により、弁体15を圧力的にバランスさせている。
【0019】給気通路28は前記流路2の給気ポート3
側とパイロット室23とを接続するように、バルブハウ
ジング1、第1のハウジングカバー12及び第2のハウ
ジングカバー18に形成されている。給気用電磁弁29
は、給気通路28を開閉制御するように第2のハウジン
グカバー18上に配置され、必要に応じてパイロット室
23内に給気ポート3側の高圧気体を導入してその内部
圧力を上昇させる。排気通路30はパイロット室23と
外部とを連通するように第2のハウジングカバー18に
形成されている。排気用電磁弁31は、排気通路30を
開閉制御するように第2のハウジングカバー18上に配
置され、必要に応じてパイロット室23内の気体を外部
へ排出してその内部圧力を低下させる。
側とパイロット室23とを接続するように、バルブハウ
ジング1、第1のハウジングカバー12及び第2のハウ
ジングカバー18に形成されている。給気用電磁弁29
は、給気通路28を開閉制御するように第2のハウジン
グカバー18上に配置され、必要に応じてパイロット室
23内に給気ポート3側の高圧気体を導入してその内部
圧力を上昇させる。排気通路30はパイロット室23と
外部とを連通するように第2のハウジングカバー18に
形成されている。排気用電磁弁31は、排気通路30を
開閉制御するように第2のハウジングカバー18上に配
置され、必要に応じてパイロット室23内の気体を外部
へ排出してその内部圧力を低下させる。
【0020】フィードバック通路32は前記流路2の出
力ポート4側とフィードバック室24とを接続するよう
に、バルブハウジング1及び第1のハウジングカバー1
2に形成されている。従って、流路2の出力ポート4側
の圧力がフィードバック室24内に導入される。圧力セ
ンサ33は第2のハウジングカバー18上に配置され、
通路34は前記フィードバック室24と圧力センサ33
の下面とを連通するように、第1及び第2のハウジング
カバー12,18に形成されている。そして、圧力セン
サ33は、フィードバック通路32、フィードバック室
24、及び通路34を介して流路2の出力ポート4側の
圧力を検出して検出信号を出力する。
力ポート4側とフィードバック室24とを接続するよう
に、バルブハウジング1及び第1のハウジングカバー1
2に形成されている。従って、流路2の出力ポート4側
の圧力がフィードバック室24内に導入される。圧力セ
ンサ33は第2のハウジングカバー18上に配置され、
通路34は前記フィードバック室24と圧力センサ33
の下面とを連通するように、第1及び第2のハウジング
カバー12,18に形成されている。そして、圧力セン
サ33は、フィードバック通路32、フィードバック室
24、及び通路34を介して流路2の出力ポート4側の
圧力を検出して検出信号を出力する。
【0021】カバー35は第2のハウジングカバー18
上に取り付けられ、給気用電磁弁29、排気用電磁弁3
1及び圧力センサ33を覆っている。そのカバー35の
側面には排気孔36が形成されている。又、カバー35
内には基板37が配設され、この基板37上には圧力セ
ンサ33からの検出信号に基づいて給気用電磁弁29及
び排気用電磁弁31を開閉制御する制御回路38(図2
に示す)が実装されている。尚、これら両電磁弁29,
31は、出力ポート4側の圧力と設定圧力との差(偏
差)に基づく制御回路38からのパルス信号のデューテ
ィ比により、高速で開閉制御される。
上に取り付けられ、給気用電磁弁29、排気用電磁弁3
1及び圧力センサ33を覆っている。そのカバー35の
側面には排気孔36が形成されている。又、カバー35
内には基板37が配設され、この基板37上には圧力セ
ンサ33からの検出信号に基づいて給気用電磁弁29及
び排気用電磁弁31を開閉制御する制御回路38(図2
に示す)が実装されている。尚、これら両電磁弁29,
31は、出力ポート4側の圧力と設定圧力との差(偏
差)に基づく制御回路38からのパルス信号のデューテ
ィ比により、高速で開閉制御される。
【0022】次に、前記給気用電磁弁29及び排気用電
磁弁31の構成について詳細に説明する。図1に示すよ
うに、給気用電磁弁29のケーシング41内の上端に
は、固定鉄芯42が配置され、その固定鉄芯42の周囲
にはコイル43が巻回されている。プランジャ44は前
記固定鉄芯42の端面に対向配置され、その軸線方向へ
移動可能となっている。弁座45はケーシング41内の
下端に配置され、その弁口45aを介して前記給気ポー
ト3側に接続された給気通路28とパイロット室23側
に接続された給気通路28とが連通されている。弁体4
6は弁座45と対向するように前記プランジャ44に嵌
装されている。又、プランジャ44はバネ47により固
定鉄芯42から離間する方向に付勢されている。
磁弁31の構成について詳細に説明する。図1に示すよ
うに、給気用電磁弁29のケーシング41内の上端に
は、固定鉄芯42が配置され、その固定鉄芯42の周囲
にはコイル43が巻回されている。プランジャ44は前
記固定鉄芯42の端面に対向配置され、その軸線方向へ
移動可能となっている。弁座45はケーシング41内の
下端に配置され、その弁口45aを介して前記給気ポー
ト3側に接続された給気通路28とパイロット室23側
に接続された給気通路28とが連通されている。弁体4
6は弁座45と対向するように前記プランジャ44に嵌
装されている。又、プランジャ44はバネ47により固
定鉄芯42から離間する方向に付勢されている。
【0023】そして、給気用電磁弁29の通電停止時に
は、図1に示すように、プランジャ44がバネ47の付
勢力により固定鉄芯42から離間され、弁体46が弁座
45に押し付けられて、給気通路28が閉鎖される。
又、給気用電磁弁29の通電時には、プランジャ44が
バネ47の付勢力に抗して固定鉄芯42に吸着され、弁
体46が弁座45から離間して、給気通路28が開放さ
れる。
は、図1に示すように、プランジャ44がバネ47の付
勢力により固定鉄芯42から離間され、弁体46が弁座
45に押し付けられて、給気通路28が閉鎖される。
又、給気用電磁弁29の通電時には、プランジャ44が
バネ47の付勢力に抗して固定鉄芯42に吸着され、弁
体46が弁座45から離間して、給気通路28が開放さ
れる。
【0024】次に、排気用電磁弁31について説明する
と、この排気用電磁弁31は前記給気用電磁弁29と比
較して、弁座48がケーシング41内のほぼ中央に下向
きに配置され、その弁口48aを介して前記排気通路3
0と外部とが連通されている。又、弁体49は弁座48
と対向するようにケーシング41内の下面にバネ50を
介して支持されている。プランジャ44には弁体49の
上面に当接する押圧扞51が形成されている。
と、この排気用電磁弁31は前記給気用電磁弁29と比
較して、弁座48がケーシング41内のほぼ中央に下向
きに配置され、その弁口48aを介して前記排気通路3
0と外部とが連通されている。又、弁体49は弁座48
と対向するようにケーシング41内の下面にバネ50を
介して支持されている。プランジャ44には弁体49の
上面に当接する押圧扞51が形成されている。
【0025】そして、排気用電磁弁31の通電停止時に
は、図1に示すように、プランジャ44がバネ47の付
勢力により固定鉄芯42から離間され、弁体49は押圧
扞51に押圧されて弁座48から離間し、排気通路30
が開放される。又、排気用電磁弁31の通電時には、プ
ランジャ44がバネ47の付勢力に抗して固定鉄芯42
に吸着され、押圧扞51による弁体49の押圧動作が解
除される。従って、弁体49はバネ50の付勢力により
弁座48に押し付けられて、排気通路30が閉鎖され
る。
は、図1に示すように、プランジャ44がバネ47の付
勢力により固定鉄芯42から離間され、弁体49は押圧
扞51に押圧されて弁座48から離間し、排気通路30
が開放される。又、排気用電磁弁31の通電時には、プ
ランジャ44がバネ47の付勢力に抗して固定鉄芯42
に吸着され、押圧扞51による弁体49の押圧動作が解
除される。従って、弁体49はバネ50の付勢力により
弁座48に押し付けられて、排気通路30が閉鎖され
る。
【0026】即ち、前記給気用電磁弁29と排気用電磁
弁31とは、通電時及び通電停止時における開閉動作が
互いに逆になるように構成されている。従って、圧力制
御弁の作動停止時には、図1及び図2に示すように、給
気用電磁弁29が閉鎖状態に保持されて、給気ポート3
側の圧力がパイロット室23内に供給されないととも
に、排気用電磁弁31が開放状態に保持されて、パイロ
ット室23内の圧力が外部へ排出される。
弁31とは、通電時及び通電停止時における開閉動作が
互いに逆になるように構成されている。従って、圧力制
御弁の作動停止時には、図1及び図2に示すように、給
気用電磁弁29が閉鎖状態に保持されて、給気ポート3
側の圧力がパイロット室23内に供給されないととも
に、排気用電磁弁31が開放状態に保持されて、パイロ
ット室23内の圧力が外部へ排出される。
【0027】次に、上記のように構成された圧力制御弁
の作用を説明する。さて、供給源39から給気ポート3
に圧力気体を供給するとともに、圧力制御弁を始動させ
る。そして、圧力センサ33により検出された出力ポー
ト4側の圧力が設定圧力より低い場合は、制御回路38
により給気用電磁弁29が開放制御されるとともに、排
気用電磁弁31が閉鎖制御されて、パイロット室23内
に流路2の給気ポート3側の圧力が供給される。これに
より、出力ポート4に通じるフィードバック室24の内
部圧力がパイロット室23の内部圧力より小さくなり、
その圧力差に応じて受圧体20が下動される。それに伴
い、ロッド25が下動されて、同ロッド25の下端が弁
体7に当接して同弁体7を押し下げ、開閉部5を開放さ
せる。これにより給気ポート3の圧力気体が出力ポート
4に供給され、出力ポート4側の圧力が設定圧まで昇圧
される。
の作用を説明する。さて、供給源39から給気ポート3
に圧力気体を供給するとともに、圧力制御弁を始動させ
る。そして、圧力センサ33により検出された出力ポー
ト4側の圧力が設定圧力より低い場合は、制御回路38
により給気用電磁弁29が開放制御されるとともに、排
気用電磁弁31が閉鎖制御されて、パイロット室23内
に流路2の給気ポート3側の圧力が供給される。これに
より、出力ポート4に通じるフィードバック室24の内
部圧力がパイロット室23の内部圧力より小さくなり、
その圧力差に応じて受圧体20が下動される。それに伴
い、ロッド25が下動されて、同ロッド25の下端が弁
体7に当接して同弁体7を押し下げ、開閉部5を開放さ
せる。これにより給気ポート3の圧力気体が出力ポート
4に供給され、出力ポート4側の圧力が設定圧まで昇圧
される。
【0028】このとき、給気用及び排気用電磁弁29,
31は、制御回路38により図3に示すようなデューテ
ィ比制御が行われる。即ち、出力ポート4側の圧力と設
定圧力との差(偏差)が小さくなるに従い、制御回路3
8から給気用電磁弁29へ出力されるパルス信号のデュ
ーティ比が小さくなり、同電磁弁29の開放動作時間が
減少していく。又、制御回路38から排気用電磁弁31
に出力されるパルス信号のデューティ比は常に−100
%であり、同電磁弁31は連続通電制御されて閉鎖状態
を保持している。
31は、制御回路38により図3に示すようなデューテ
ィ比制御が行われる。即ち、出力ポート4側の圧力と設
定圧力との差(偏差)が小さくなるに従い、制御回路3
8から給気用電磁弁29へ出力されるパルス信号のデュ
ーティ比が小さくなり、同電磁弁29の開放動作時間が
減少していく。又、制御回路38から排気用電磁弁31
に出力されるパルス信号のデューティ比は常に−100
%であり、同電磁弁31は連続通電制御されて閉鎖状態
を保持している。
【0029】又、圧力センサ33により検出された出力
ポート4側の圧力が設定圧力より高い場合は、制御回路
38により排気用電磁弁31が開放制御されて、パイロ
ット室23内の圧力気体が外部へ排出される。これによ
り、フィードバック室24の内部圧力がパイロット室2
3の内部圧力より大きくなり、その圧力差に応じて受圧
体20が上動される。それに伴い、ロッド25が上動さ
れて、同ロッド25のリング27が弁体15に係合して
同弁体15を押し上げ、開閉部13を開放させる。これ
により、出力ポート4の過剰の圧力気体が流路10を介
して排気ポート11から大気に放出され、出力ポート4
側の圧力が設定圧まで降圧される。
ポート4側の圧力が設定圧力より高い場合は、制御回路
38により排気用電磁弁31が開放制御されて、パイロ
ット室23内の圧力気体が外部へ排出される。これによ
り、フィードバック室24の内部圧力がパイロット室2
3の内部圧力より大きくなり、その圧力差に応じて受圧
体20が上動される。それに伴い、ロッド25が上動さ
れて、同ロッド25のリング27が弁体15に係合して
同弁体15を押し上げ、開閉部13を開放させる。これ
により、出力ポート4の過剰の圧力気体が流路10を介
して排気ポート11から大気に放出され、出力ポート4
側の圧力が設定圧まで降圧される。
【0030】このとき、給気用及び排気用電磁弁29,
31は、制御回路38により図3に示すようなデューテ
ィ比制御が行われる。即ち、出力ポート4側の圧力と設
定圧力との差(偏差)が小さくなるに従い、制御回路3
8から排気用電磁弁31へ出力されるパルス信号のデュ
ーティ比が大きくなり、同電磁弁31の閉鎖動作時間が
増大、つまり開放動作時間が減少していく。又、給気用
電磁弁29に対してはパルス信号が出力されず、同電磁
弁29は常に閉鎖状態を保持している。
31は、制御回路38により図3に示すようなデューテ
ィ比制御が行われる。即ち、出力ポート4側の圧力と設
定圧力との差(偏差)が小さくなるに従い、制御回路3
8から排気用電磁弁31へ出力されるパルス信号のデュ
ーティ比が大きくなり、同電磁弁31の閉鎖動作時間が
増大、つまり開放動作時間が減少していく。又、給気用
電磁弁29に対してはパルス信号が出力されず、同電磁
弁29は常に閉鎖状態を保持している。
【0031】即ち、排気用電磁弁31は、通電によって
閉鎖動作されるものであるため、通電によって開放動作
される給気用電磁弁29と比較して、制御回路38によ
るデューティ比制御が逆制御となる。従って、出力ポー
ト4側の圧力と設定圧力とが一致して、偏差が0の状態
では、給気用電磁弁29は通電されず閉鎖状態に保持さ
れ、排気用電磁弁31は連続通電されて閉鎖状態に保持
される。
閉鎖動作されるものであるため、通電によって開放動作
される給気用電磁弁29と比較して、制御回路38によ
るデューティ比制御が逆制御となる。従って、出力ポー
ト4側の圧力と設定圧力とが一致して、偏差が0の状態
では、給気用電磁弁29は通電されず閉鎖状態に保持さ
れ、排気用電磁弁31は連続通電されて閉鎖状態に保持
される。
【0032】又、前記の作動状態から圧力制御弁を停止
させると、図1及び図2に示すように、給気用電磁弁2
9が閉鎖状態に保持されて、給気ポート3側の圧力がパ
イロット室23内に供給されなくなるとともに、排気用
電磁弁31が開放状態に保持されて、パイロット室23
内の圧力が外部へ排出される。従って、この圧力制御弁
を例えばエアタービンの回転数制御等に使用すると、圧
力制御弁の停止とともに、開閉部5が閉鎖され、出力ポ
ート4からの気体の出力が停止される。従って、前記従
来とは異なり、圧力制御弁を停止しても、その停止直前
の開閉部の弁開度が維持されて、エアタービンが回転し
続けるということがなく、供給気体を損失することがな
い。
させると、図1及び図2に示すように、給気用電磁弁2
9が閉鎖状態に保持されて、給気ポート3側の圧力がパ
イロット室23内に供給されなくなるとともに、排気用
電磁弁31が開放状態に保持されて、パイロット室23
内の圧力が外部へ排出される。従って、この圧力制御弁
を例えばエアタービンの回転数制御等に使用すると、圧
力制御弁の停止とともに、開閉部5が閉鎖され、出力ポ
ート4からの気体の出力が停止される。従って、前記従
来とは異なり、圧力制御弁を停止しても、その停止直前
の開閉部の弁開度が維持されて、エアタービンが回転し
続けるということがなく、供給気体を損失することがな
い。
【0033】又、このとき、給気用電磁弁29の弁座4
5及び弁体46が劣化していて、閉鎖状態で漏れが生じ
ているような場合でも、パイロット室23内へ漏出した
給気ポート3側の圧力は、開放状態の排気用電磁弁31
により排気通路30から外部へ排出される。従って、パ
イロット室23内の圧力が上昇することがなく、圧力制
御弁の作動が停止された状態で開閉部5が勝手に開放さ
れてタービンが回転してしまうということがない。
5及び弁体46が劣化していて、閉鎖状態で漏れが生じ
ているような場合でも、パイロット室23内へ漏出した
給気ポート3側の圧力は、開放状態の排気用電磁弁31
により排気通路30から外部へ排出される。従って、パ
イロット室23内の圧力が上昇することがなく、圧力制
御弁の作動が停止された状態で開閉部5が勝手に開放さ
れてタービンが回転してしまうということがない。
【0034】更に、上記の作用効果を実現するために、
圧力制御弁と被圧力供給体との間に電磁弁を別設する必
要もなく、部品点数が増えることがないとともに、装置
が大型化することもない。
圧力制御弁と被圧力供給体との間に電磁弁を別設する必
要もなく、部品点数が増えることがないとともに、装置
が大型化することもない。
【0035】(第2実施例)次に、この発明の第2実施
例を図面に基いて説明する。さて、この第2実施例にお
いては、図5に示すように、第1実施例と比較して、排
気用電磁弁52が給気用電磁弁29と同一構成となって
いる。尚、図5は図2のP部分と対応する部分を示す回
路図である。そして、この第2実施例では、図4及び図
5に示すように、3ポートの電磁弁55が、電磁式給排
気用弁としての給気用及び排気用電磁弁29,52とパ
イロット室23とを接続する通路54の途中に介装され
ている。
例を図面に基いて説明する。さて、この第2実施例にお
いては、図5に示すように、第1実施例と比較して、排
気用電磁弁52が給気用電磁弁29と同一構成となって
いる。尚、図5は図2のP部分と対応する部分を示す回
路図である。そして、この第2実施例では、図4及び図
5に示すように、3ポートの電磁弁55が、電磁式給排
気用弁としての給気用及び排気用電磁弁29,52とパ
イロット室23とを接続する通路54の途中に介装され
ている。
【0036】この電磁弁55には、前記第1実施例の排
気用電磁弁31と比較して、プランジャ44と対向する
位置にも弁座56が形成され、その弁座56と対向する
ようにプランジャ44に弁体57が嵌装されている。即
ち、この電磁弁55には、弁座48と弁体49とで構成
される第1開閉部58と、弁座56と弁体57とで構成
される第2開閉部59とが設けられている。又、この電
磁弁55の第1ポート60は通路54を介してパイロッ
ト室23に接続され、第2ポート61は第2のハウジン
グカバー18に形成された通路63を介して外部に連通
され、第3ポート62は通路54を介して給気用及び排
気用電磁弁29, 52に接続されている。
気用電磁弁31と比較して、プランジャ44と対向する
位置にも弁座56が形成され、その弁座56と対向する
ようにプランジャ44に弁体57が嵌装されている。即
ち、この電磁弁55には、弁座48と弁体49とで構成
される第1開閉部58と、弁座56と弁体57とで構成
される第2開閉部59とが設けられている。又、この電
磁弁55の第1ポート60は通路54を介してパイロッ
ト室23に接続され、第2ポート61は第2のハウジン
グカバー18に形成された通路63を介して外部に連通
され、第3ポート62は通路54を介して給気用及び排
気用電磁弁29, 52に接続されている。
【0037】そして、電磁弁55の通電停止時には、図
4及び図5に示すように、プランジャ44がバネ47の
付勢力により固定鉄芯42から離間されて、第2開閉部
59が閉鎖されるとともに、弁体49が押圧扞51に押
圧されて弁座48から離間され、第1開閉部58が開放
される。この作用により、第1ポート60と第2ポート
61とが接続されて、パイロット室23が通路63を介
して外部に連通されるとともに、第3ポート62が閉鎖
されて、給気用及び排気用電磁弁29,52とパイロッ
ト室23との連通が遮断される。
4及び図5に示すように、プランジャ44がバネ47の
付勢力により固定鉄芯42から離間されて、第2開閉部
59が閉鎖されるとともに、弁体49が押圧扞51に押
圧されて弁座48から離間され、第1開閉部58が開放
される。この作用により、第1ポート60と第2ポート
61とが接続されて、パイロット室23が通路63を介
して外部に連通されるとともに、第3ポート62が閉鎖
されて、給気用及び排気用電磁弁29,52とパイロッ
ト室23との連通が遮断される。
【0038】又、電磁弁55の通電時には、プランジャ
44がバネ47の付勢力に抗して固定鉄芯42に吸着さ
れて、第2開閉部59が開放されるとともに、押圧扞5
1による弁体49の押圧動作が解除されて、弁体49が
バネ50の付勢力により弁座48に押し付けられ、第1
開閉部58が閉鎖される。この作用により、第1ポート
60と第3ポート62とが接続されて、給気用及び排気
用電磁弁29, 52とパイロット室23とが通路54を
介して連通されるとともに、第2ポート61が閉鎖され
て、パイロット室23と外部との連通が遮断される。
44がバネ47の付勢力に抗して固定鉄芯42に吸着さ
れて、第2開閉部59が開放されるとともに、押圧扞5
1による弁体49の押圧動作が解除されて、弁体49が
バネ50の付勢力により弁座48に押し付けられ、第1
開閉部58が閉鎖される。この作用により、第1ポート
60と第3ポート62とが接続されて、給気用及び排気
用電磁弁29, 52とパイロット室23とが通路54を
介して連通されるとともに、第2ポート61が閉鎖され
て、パイロット室23と外部との連通が遮断される。
【0039】又、この電磁弁55には、圧力制御弁の電
源電圧が直接加えられるように構成されている。即ち、
電磁弁55は、圧力制御弁の作動及び作動停止時にのみ
開閉動作されるだけであるので、その開閉動作回数が非
常に少なく、高速で連続開閉動作される給気用及び排気
用電磁弁29, 52とは異なり、弁座48, 56及び弁
体49, 57が劣化して、閉鎖状態で漏れが生じるとい
うおそれがない。
源電圧が直接加えられるように構成されている。即ち、
電磁弁55は、圧力制御弁の作動及び作動停止時にのみ
開閉動作されるだけであるので、その開閉動作回数が非
常に少なく、高速で連続開閉動作される給気用及び排気
用電磁弁29, 52とは異なり、弁座48, 56及び弁
体49, 57が劣化して、閉鎖状態で漏れが生じるとい
うおそれがない。
【0040】そして、この第2実施例によれば、図5に
示すように、外部に連通する通路63を開放状態にして
おくことにより、圧力制御弁の作動停止時において、パ
イロット室23内の圧力を外部へ排出することができ
る。従って、前記第1実施例と同じく、エアタービンの
回転数制御等に使用すると、圧力制御弁の作動停止とと
もに、開閉部5が閉鎖され、出力ポート4からの気体の
出力を確実に停止させることができる。
示すように、外部に連通する通路63を開放状態にして
おくことにより、圧力制御弁の作動停止時において、パ
イロット室23内の圧力を外部へ排出することができ
る。従って、前記第1実施例と同じく、エアタービンの
回転数制御等に使用すると、圧力制御弁の作動停止とと
もに、開閉部5が閉鎖され、出力ポート4からの気体の
出力を確実に停止させることができる。
【0041】以上のように、この第2実施例において
は、圧力制御弁の作動停止時に電磁弁55によりパイロ
ット室23内の圧力を外部へ排出することができ、従来
のように出力圧を直接制御する場合とは異なり、電磁弁
55が小型であっても支障を生じることがない。
は、圧力制御弁の作動停止時に電磁弁55によりパイロ
ット室23内の圧力を外部へ排出することができ、従来
のように出力圧を直接制御する場合とは異なり、電磁弁
55が小型であっても支障を生じることがない。
【0042】尚、この発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、この発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各部
の構成を任意に変更して具体化することも可能である。
のではなく、この発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各部
の構成を任意に変更して具体化することも可能である。
【0043】
【発明の効果】以上詳述したように、第1の発明及び第
3の発明によれば、装置の作動停止時に、パイロット室
内の圧力が外部へ排出されて、弁体により流路が閉鎖状
態に確実に維持されるので、圧力制御弁からの出力を確
実に停止することができる。
3の発明によれば、装置の作動停止時に、パイロット室
内の圧力が外部へ排出されて、弁体により流路が閉鎖状
態に確実に維持されるので、圧力制御弁からの出力を確
実に停止することができる。
【0044】又、第2及び第4の発明によれば、上記の
効果を電磁弁数の増加を伴うことなく得ることができ、
部品点数の増加を抑えるとともに、装置の小型化を図る
ことができる。
効果を電磁弁数の増加を伴うことなく得ることができ、
部品点数の増加を抑えるとともに、装置の小型化を図る
ことができる。
【図1】 本発明を具体化した圧力制御弁の第1実施例
を示す断面図。
を示す断面図。
【図2】 その圧力制御弁の回路構成を示す回路図。
【図3】 給気用及び排気用電磁弁の制御方法を示す説
明図。
明図。
【図4】 圧力制御弁の第2実施例を示す部分断面図。
【図5】 圧力制御弁の回路構成を部分的に示す回路
図。
図。
2…流路、3…給気ポート、4…出力ポート、5…開閉
部、7…弁体、20…受圧体、23…パイロット室、2
9…電磁式給排気用弁を構成する給気用電磁弁、31…
電磁式給排気用弁を構成する排気用電磁弁、33…圧力
センサ、38…制御手段としての制御回路、52…電磁
式給排気用弁を構成する排気用電磁弁、55…電磁弁。
部、7…弁体、20…受圧体、23…パイロット室、2
9…電磁式給排気用弁を構成する給気用電磁弁、31…
電磁式給排気用弁を構成する排気用電磁弁、33…圧力
センサ、38…制御手段としての制御回路、52…電磁
式給排気用弁を構成する排気用電磁弁、55…電磁弁。
Claims (4)
- 【請求項1】 両端にそれぞれポートを形成した気体の
流路と、 前記両ポート間において前記流路に設けられ、その流路
を開閉する弁体を有した開閉部と、 パイロット室の圧力変動に応じて、前記弁体を開閉動作
させる受圧体と、 パイロット室内へ供給される圧力及びパイロット室内か
ら外部へ排出される圧力を制御する電磁式給排気用弁と
を備えた圧力制御弁において、 通電停止時に前記パイロット室内の圧力を外部に排出す
るための電磁弁を、前記パイロット室に接続したことを
特徴とする圧力制御弁。 - 【請求項2】 請求項1記載の圧力制御弁において、前
記通電停止時にパイロット室内の圧力を外部に排出する
ための電磁弁を、前記電磁式給排気用弁により構成した
ことを特徴とする圧力制御弁。 - 【請求項3】 両端にそれぞれポートを形成した気体の
流路と、 前記両ポート間において前記流路に設けられ、その流路
を開閉する弁体を有した開閉部と、 パイロット室の圧力変動に応じて、前記弁体を開閉動作
させる受圧体と、 パイロット室内へ供給される圧力を制御する給気用電磁
弁と、 パイロット室内から外部へ排出される圧力を制御する排
気用電磁弁とを備えた圧力制御弁において、 通電停止時に前記パイロット室内の圧力を外部に排出す
るための電磁弁を、前記パイロット室に接続したことを
特徴とする圧力制御弁。 - 【請求項4】 請求項3記載の圧力制御弁において、前
記通電停止時にパイロット室内の圧力を外部に排出する
ための電磁弁を、前記排気用電磁弁により構成したこと
を特徴とする圧力制御弁。
Priority Applications (1)
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JP19920396A JP3249748B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 圧力制御弁 |
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JP19920396A JP3249748B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 圧力制御弁 |
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JP3323438A Division JP2589424B2 (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 圧力制御弁 |
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JPH0916270A true JPH0916270A (ja) | 1997-01-17 |
JP3249748B2 JP3249748B2 (ja) | 2002-01-21 |
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JP19920396A Expired - Fee Related JP3249748B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 圧力制御弁 |
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JP (1) | JP3249748B2 (ja) |
-
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- 1996-07-29 JP JP19920396A patent/JP3249748B2/ja not_active Expired - Fee Related
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