JPH09157800A - Shadow mask material having excellent press formability and production of shadow mask - Google Patents

Shadow mask material having excellent press formability and production of shadow mask

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JPH09157800A
JPH09157800A JP4897296A JP4897296A JPH09157800A JP H09157800 A JPH09157800 A JP H09157800A JP 4897296 A JP4897296 A JP 4897296A JP 4897296 A JP4897296 A JP 4897296A JP H09157800 A JPH09157800 A JP H09157800A
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良二 井上
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勉 乾
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a shadow mask material having excellent press formability and a process for producing a shadow mask by the material. SOLUTION: This shadow mask material having the excellent press formability contains, by weight%, 31 to 39% Ni and 0.0005 to 0.0040% B and the balance Fe and inevitable impurities and is regulated to <=0.050% Mn and <=0.0030% N as impurities. Such material is subjected to formation of electron beam pass holes by etching, annealing at <=950 deg.C and press forming at 80 to 150 deg.C.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はカラーブラウン管内
で使用されるFe−Ni系合金製シャドウマスクの製造
方法およびシャドウマスク製造用材料の技術分野に属
し、特にプレス成形性を改善したものに関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technical field of a method for manufacturing a shadow mask made of an Fe--Ni alloy used in a color cathode ray tube and a material for manufacturing a shadow mask, and more particularly to a press mask having improved press formability. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、カラーテレビ等のカラーブラウン
管の高品位画像化の要求に対して、熱膨張による色ずれ
の問題に対処できる材料としてFe−36%Ni系合金が
使用されているが、この材料は従来使用されてきたアル
ミキルド鉄材(以下AK材と記す)に比べると耐力が高
く、かつヤング率が低いため、マスク形状にプレス成形
する際のスプリングバック量が大きく、金型に忠実な形
状に成形しにくい(プレス成形性が悪い)という問題が
ある。このため、このプレス成形は、エッチング穿孔後
の素材を軟化焼鈍した後に、さらに200℃程度の加熱温
度下で行なわれている。しかし、この温間プレス成形に
おいては温度管理に多大の注意、特にこのプレス温度を
上昇するほど、加速度的に厳しい注意を必要とする。す
なわち、高温化するほどプレス型の金型間に熱膨張差を
生じて、成形品の品質に重大な影響を与えやすいのであ
る。一方、材料面からの改善方法について以下の〜
の公知例が知られている。
2. Description of the Related Art In recent years, Fe-36% Ni alloy has been used as a material capable of coping with the problem of color shift due to thermal expansion in response to the demand for high-quality imaging of color CRTs such as color televisions. This material has a higher yield strength and a lower Young's modulus than the conventionally used aluminum-killed iron material (hereinafter referred to as AK material), so the amount of springback when press-molding into a mask shape is large and it is faithful to the mold. There is a problem that it is difficult to form the shape (the press formability is poor). Therefore, this press forming is performed at a heating temperature of about 200 ° C. after softening and annealing the material after the etching and perforation. However, in this warm press forming, a great deal of attention must be paid to temperature control, and in particular, as the press temperature is raised, stricter acceleration is required. That is, as the temperature rises, a difference in thermal expansion occurs between the press molds, and the quality of the molded product is likely to be seriously affected. On the other hand, regarding the improvement method from the material side,
Known examples are known.

【0003】すなわち、特開平6−93385号に
は、不純物量を規制し窒化物や炭化物からなる析出物の
量を低減させることにより、特開平6−264140
号には、焼鈍後に材料の(111)結晶面集合度を向上させ
ることにより、それぞれプレス成形性が改善されること
が開示されている。また、特開平7−166278号
は、Cr,Mn,Ti,Mo,V等の合金元素を添加し
て成形性を改善することが開示されている。一方、Mn
を0.05%以下に規制することに関する公知例として、
特開平1−124940号、特開平7−3401号、
特開平7−207415号がある。
That is, in Japanese Patent Laid-Open No. 6-93385, by controlling the amount of impurities and reducing the amount of precipitates composed of nitrides and carbides, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 6-264140.
JP-A No. 2003-242242 discloses that press formability is improved by improving the (111) crystal plane aggregation of the material after annealing. Further, JP-A-7-166278 discloses that alloying elements such as Cr, Mn, Ti, Mo and V are added to improve formability. On the other hand, Mn
As a publicly known example of restricting 0.05% or less,
JP-A-1-124940, JP-A-7-3401,
There is JP-A-7-207415.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記〜の公知例の
材料には、Mnが0.2〜0.3%程度含まれている。マスク
形状へのプレス成形の前に行なう軟化焼鈍では、通常N
2ガスやブラウンガス雰囲気中で、後続の黒化処理工程
からの要求のため露点が5℃以上等の高い条件で処理さ
れるが、本発明者の実験によると、この焼鈍に際し材料
表面が酸化を受けやすく、Mn含有量が多いとMnが優
先的に酸化されて粒界に酸化物を形成するため、材料表
層の結晶粒の成長が阻害されるとともに、十分満足な成
形性が得られないことがわかった。
The above-mentioned known materials include Mn in an amount of 0.2 to 0.3%. In softening annealing performed before press forming into a mask shape, N is usually N.
In the atmosphere of 2 gases or Brown gas, the dew point is processed at a high condition such as 5 ° C. or more due to the demand from the subsequent blackening process, but according to the experiment of the present inventor, the material surface is oxidized during the annealing. When the Mn content is high, Mn is preferentially oxidized to form an oxide at the grain boundary, which hinders the growth of crystal grains in the surface layer of the material and does not provide sufficiently satisfactory formability. I understand.

【0005】また、本発明者の実験によると、プレス成
形前の焼鈍の際、N含有量が十分に低下されてない場
合、材料内部の結晶粒成長が不十分となるとともに、良
好な成形性が得られないことがわかった。また、上記公
知例およびは、エッチング性改善のため、は低熱
膨張化のために、それぞれMn量を低下させるものであ
って、Mn量またはN量とプレス成形性の関係について
は具体的に述べられていない。本発明は、適正な成分規
制を行なうことにより、製造性、端的には熱間加工性を
低下することなく、プレス成形性に優れたシャドウマス
ク材、特にプレス成形温度を80〜170℃程度に低温化す
ることが可能なシャドウマスク材を提供すること、およ
びこれを用いたシャドウマスクの製造方法を提供するこ
とを目的とする。
Further, according to the experiments conducted by the present inventor, in the case of annealing before press forming, if the N content is not sufficiently reduced, the crystal grain growth inside the material is insufficient and the good formability is obtained. I found that I could not get. Further, the above-mentioned known examples and are to reduce the amount of Mn in order to improve the etching property and to reduce the thermal expansion, respectively, and the relationship between the Mn amount or N amount and the press formability will be specifically described. Has not been done. The present invention, by appropriately controlling the components, manufacturability, without directly deteriorating hot workability, a shadow mask material excellent in press formability, particularly at a press forming temperature of about 80 to 170 ° C. An object of the present invention is to provide a shadow mask material that can be lowered in temperature and a shadow mask manufacturing method using the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者は、マスク形状
へのプレス成形における成形性の向上(スプリングバッ
ク量の低下)のために種々実験検討した結果、プレス成
形前の焼鈍時の表層部および内部の結晶粒成長を促進さ
せること、このためには、非金属介在物の生成を抑制す
ることが有効であり、具体的には、(i)Mn量を0.050%
以下に規制することでMn系の介在物を減少すること、
(ii)主に内部の結晶粒成長を促進することに関し、炭化
物系、酸化物系、硫化物系の各介在物の低減よりも窒化
物系介在物の低減が効果的で、N量を0.0030%以下とす
ること、望ましくはさらに(iii)O含有量を0.0050%以下
とすること、Al/O比を2.5以下とすることが、それ
ぞれ有効であることを見出した。
Means for Solving the Problems As a result of various experiments conducted by the present inventor to improve the formability (decrease in springback amount) in press forming into a mask shape, the surface layer portion during annealing before press forming And promoting the growth of crystal grains inside, and for this purpose, it is effective to suppress the formation of non-metallic inclusions. Specifically, (i) Mn content is 0.050%.
To reduce Mn-based inclusions by controlling the following:
(ii) The reduction of nitride-based inclusions is more effective than the reduction of carbide-based, oxide-based, and sulfide-based inclusions, mainly for promoting internal grain growth. It has been found that it is effective to set the content to not more than%, desirably (iii) O content to 0.0050% or less, and the Al / O ratio to 2.5 or less.

【0007】また、本発明者は、上記(i),(ii)の2点ま
たは(i)〜(iii)3点の成分的要求を同時に満足すること
により、相乗作用により表層部および内部とも相乗的に
十分な結晶粒成長が得られ、結果としてより良好なプレ
ス成形性が得られることを見出した。しかし、Mn含有
量が0.050%以下になるとS含有量と関係するが、熱間加
工性が低下し易く、これの改善のため、Bを0.0005%以
上0.0040%以下添加することが有効であること等を見出
した。また本発明者は、不純物としてのBe,Ti,Z
rはプレス成形前の焼鈍温度が、低温である、または該
焼鈍後の冷却が徐冷である場合にプレス成形性を特に害
することを見出した。
[0007] Further, the present inventor, by satisfying the above two points (i) and (ii) or (i) to (iii) three points of component requirements at the same time, synergistically acts on both the surface layer and the inside. It has been found that sufficient grain growth can be obtained synergistically, resulting in better press formability. However, when the Mn content is 0.050% or less, it is related to the S content, but the hot workability is apt to deteriorate, and in order to improve this, it is effective to add B in an amount of 0.0005% or more and 0.0040% or less. Etc. The present inventor has also found that Be, Ti, Z as impurities.
It has been found that r is particularly detrimental to the press formability when the annealing temperature before press forming is low, or when the cooling after the annealing is slow cooling.

【0008】0.2%耐力σとヤング率Eとの比 σ/Eは、ス
プリングバック量と比例関係にあり、プレス成形性の定
量化に好都合である。本願の材料は、150℃の低温度で
もこの値が7.4×10マイナス4乗以下と小さく、プレス成
形性に優れている。また、上述のように低Mn化と、低
N化等を並行して行なった材料は、上記のように結晶粒
成長阻害要因が除去される等により、プレス成形前の焼
鈍における保護ガス雰囲気の露点を5℃以上等の高温度
とすることを可能とし、また焼鈍温度は950℃を越えて
高くする必要性は少なく、かつプレス成形温度を80〜17
0℃、望ましくは100〜150℃程度に低下可能であること
がわかった。
The ratio σ / E between the 0.2% proof stress σ and the Young's modulus E is proportional to the springback amount, which is convenient for quantifying the press formability. The material of the present application has a small value of 7.4 × 10 −4 or less even at a low temperature of 150 ° C., and is excellent in press formability. Further, as described above, the material in which the reduction of Mn and the reduction of N are performed in parallel has a protective gas atmosphere in the annealing before press molding due to the removal of the crystal grain growth inhibiting factor as described above. It is possible to set the dew point to a high temperature of 5 ° C or higher, and there is little need to raise the annealing temperature above 950 ° C.
It was found that the temperature can be lowered to 0 ° C, preferably about 100 to 150 ° C.

【0009】すなわち、本発明の第1発明は重量%で、
Ni 31〜39%とB 0.0005〜0.0040%を含有し、残部Fe
および不可避的不純物からなり、不純物としてMn 0.0
50%以下、N 0.0030%以下に規制したことを特徴とする
プレス成形性に優れたシャドウマスク材である。上記第
1発明において、不純物Be,Ti,Zrは単独または
複合で0.01%以下とすること、Oを0.0050%以下、かつA
lとOの比 Al/Oを2.5以下とすること、およびC
r,V,Mo,Wのうち1種または2種以上を合計で0.
5〜2.5重量%含むものとすることがそれぞれ望ましい。
また、本願の第2発明は、シャドウマスクの製造方法に
おいて、上記第1発明(請求項1ないし5のいずれか)
のシャドウマスク材を用い、エッチングによる電子ビー
ム通過孔の穿孔加工、露点 5℃以上のガス雰囲気中、か
つ950℃以下の焼鈍処理および80〜170℃でのシャドウマ
スク形状へのプレス成形加工をそれぞれ施すことを特徴
とするシャドウマスクの製造方法である。
That is, the first aspect of the present invention is, by weight,
Ni 31-39% and B 0.0005-0.0040%, balance Fe
And unavoidable impurities, and Mn 0.0
It is a shadow mask material having excellent press formability, which is characterized by being regulated to 50% or less and N 0.0030% or less. In the first invention, the impurities Be, Ti, and Zr are 0.01% or less singly or in combination, O is 0.0050% or less, and A
Ratio of 1 and O Al / O is set to 2.5 or less, and C
One or two or more of r, V, Mo, W in total is 0.
It is preferable that the content of each of them be 5 to 2.5% by weight.
A second invention of the present application is the method for manufacturing a shadow mask according to the first invention (any one of claims 1 to 5).
Using the above shadow mask material, punching of electron beam passage holes by etching, annealing in a gas atmosphere with a dew point of 5 ° C or more and below 950 ° C, and press forming into a shadow mask shape at 80 to 170 ° C, respectively. And a shadow mask manufacturing method.

【0010】次に第1発明で各元素の作用およびその数
値限定理由について説明する。Niは、本合金の基本成
分であり、31〜39%の範囲で、熱膨張係数を小さくす
る。この範囲外ではインバー効果が小さくなるため、熱
膨張係数が大きくなり、色ずれが生じ易くシャドウマス
クとしての性能が低下する。したがって、Niの含有量
は31〜39%とする。0.2%耐力を下げてヤング率を向上さ
せる点から、好ましくは33〜36%未満であり、さらに望
ましくは33〜35%である。Bは粒界へのSの偏析を抑制
して、熱間加工性の低下を防止する元素であり、本発明
のように低Mnとした場合、特に有効である。添加量が
0.0005%以上でこの効果が得られるが、0.0040%を越える
とシャドウマスク製造工程における黒化処理時に酸化膜
の形成を阻害するため、Bは0.0005〜0.0040%添加とす
る。また、Bは0.0010%以上の添加で粒成長を積極的に
促進させる作用もあるため、望ましくは0.0010〜0.0030
%の範囲である。
Next, the action of each element in the first invention and the reason for limiting the numerical values will be described. Ni is a basic component of the present alloy and reduces the coefficient of thermal expansion within the range of 31 to 39%. Outside this range, the Invar effect becomes small, so the coefficient of thermal expansion becomes large, and color misregistration easily occurs and the performance as a shadow mask deteriorates. Therefore, the content of Ni is set to 31 to 39%. From the viewpoint of lowering the 0.2% proof stress and improving the Young's modulus, it is preferably 33 to less than 36%, and more preferably 33 to 35%. B is an element that suppresses the segregation of S to the grain boundaries and prevents the deterioration of hot workability, and is particularly effective when low Mn is used as in the present invention. Addition amount
This effect is obtained at 0.0005% or more, but if it exceeds 0.0040%, the formation of an oxide film is hindered during the blackening treatment in the shadow mask manufacturing process, so B is added at 0.0005 to 0.0040%. Moreover, since B also has the effect of positively promoting grain growth when added in an amount of 0.0010% or more, it is preferably 0.0010 to 0.0030.
It is in the range of%.

【0011】Mnは酸化されやすい元素であり、主に表
層部ではプレス前の焼鈍で結晶粒界等の欠陥を介して表
面に拡散し優先的に酸化されて酸化物を形成し、材料表
面部の結晶粒成長を阻害する。Mn量を0.050%以下とす
ると、この影響が低下し、表層の結晶粒成長が生じ易く
なる。一方Mnは主に内部では、Mn系介在物を生成し
て結晶粒の成長を阻害することが判った。
Mn is an element that is easily oxidized. Mainly in the surface layer portion, annealing before pressing diffuses to the surface through defects such as crystal grain boundaries and is preferentially oxidized to form an oxide. Inhibits grain growth. When the Mn content is 0.050% or less, this effect is reduced and crystal grain growth in the surface layer is likely to occur. On the other hand, it has been found that Mn mainly produces Mn-based inclusions inside and inhibits the growth of crystal grains.

【0012】すなわち、Mn量を0.05%以下に抑制する
ことにより、マトリックス中に析出するMn系介在物
(MnS,Mn−S−O,Mn−Si−S−O等を含
む)の量が減少するだけでなく、付随的にAlNの析出
量にも影響を及ぼし、AlN生成促進作用を低下する効
果も同時に得られることが判明した。したがって、Mn
量を低下させることによって、プレス前の焼鈍時に粒成
長の妨げとなるこれらMn系介在物やAlNの析出が抑
制されるため、結晶粒成長がスムーズに進みやすく粗大
化するので、0.2%耐力の低下に効果を示し、プレス成形
性を改善する。Mn量としては、0.05%を越えると上記
効果が見られず、0.05%以下に抑制する必要がある。M
n系介在物がAlNの析出に及ぼす影響としては、Mn
系介在物とAlNの界面が結晶面に整合であるため、M
n系介在物が存在する場合には、オーステナイト中に平
衡論上析出するAlN量よりも、Mn系介在物を核とし
てその界面に析出する場合には、エネルギー的に低くな
るためAlN量をより多く析出させていたものと考えら
れる。
That is, by suppressing the amount of Mn to 0.05% or less, the amount of Mn-based inclusions (including MnS, Mn-SO, Mn-Si-SO, etc.) precipitated in the matrix is reduced. In addition to the above, it was also found that the effect of incidentally affecting the precipitation amount of AlN and simultaneously reducing the effect of promoting AlN generation can be obtained. Therefore, Mn
By reducing the amount, precipitation of these Mn-based inclusions and AlN, which hinder grain growth during annealing before pressing, is suppressed, so that crystal grain growth easily progresses and becomes coarse. It has the effect of lowering and improves press formability. If the Mn content exceeds 0.05%, the above effect is not observed, and it is necessary to suppress it to 0.05% or less. M
The effect of n-type inclusions on the precipitation of AlN is Mn.
Since the interface between the system inclusions and AlN is aligned with the crystal plane, M
When n-type inclusions are present, the amount of AlN is much lower than the amount of AlN that precipitates in austenite due to equilibrium theory. It is considered that a large amount was deposited.

【0013】Nは、合金中の不純物であるAl等と反応
して、1μm以下の微小な介在物を形成し、この介在物は
炭化物系、酸化物系、硫化物系のものよりも材料内部の
結晶粒成長を強く抑制する。この作用を小さくして良好
なプレス成形性を得るためには、N量を0.0030%以下と
することが必要で、好ましくは0.0020%以下またはさら
に0.0010%以下とする。Oは、窒化物系介在物より有害
性は低いものの、Mn,Al,Si等と酸化物系の介在
物を形成し、該介在物は結晶粒の成長を阻害するから、
Oの含有量は極力低下することが望ましい。このため、
本発明でOは0.0050%以下(望ましくは0.0030%以下)とし
た。
N reacts with Al, which is an impurity in the alloy, to form minute inclusions of 1 μm or less, which are more internal to the material than carbide-based, oxide-based, and sulfide-based inclusions. Strongly suppresses the crystal grain growth of. In order to reduce this effect and obtain good press formability, the N content needs to be 0.0030% or less, preferably 0.0020% or less or even 0.0010% or less. Although O is less harmful than nitride-based inclusions, it forms oxide-based inclusions with Mn, Al, Si, etc., and these inclusions inhibit the growth of crystal grains.
It is desirable that the O content be as low as possible. For this reason,
In the present invention, O is set to 0.0050% or less (desirably 0.0030% or less).

【0014】Alは前述のようにAlNを生成して結晶
粒成長を阻害しやすい。したがって、マスク焼鈍時に粒
成長を阻害するAlN量を極力低減させることが重要で
あり、そのためにはAlNよりも優先して析出するAl
23としてOと結合させることが有効である。したがっ
て、Al量としてはAl/Oを2.5以下に制限すること
によって、大部分のAlをAl23の形とすることが可
能で、AlNの析出を防止することができる。
As described above, Al easily forms AlN and tends to hinder crystal grain growth. Therefore, it is important to reduce the amount of AlN that hinders grain growth during mask annealing as much as possible.
It is effective to combine with O as 2 O 3 . Therefore, by limiting Al / O to 2.5 or less as the amount of Al, most of Al can be in the form of Al 2 O 3 and the precipitation of AlN can be prevented.

【0015】本発明の第1の材料発明においては、上述
のようにMn含有量を0.050%以下に規制するとともに、
Bを0.0005〜0.0040%添加するといえども、S含有量が
高いと熱間加工性が大きく低下する。Sは上記のように
材料の熱間加工性を低下するので含有量は極力低下させ
るべきであるが、過度の低下はコストアップにつながる
ので、通常はMnを添加することで補償する。しかし、
本発明ではMnを0.050%以下と通常よりさらに低下する
ので、この補償作用をBの添加で補っている。しかし、
このBによる補償作用は不十分であり、またBの多量添
加による上記黒化処理時の弊害等を少なくするために、
S含有量は極力低下する。望ましくは0.0015%以下、さ
らに望ましくは0.0010%以下とする。
In the first material invention of the present invention, the Mn content is restricted to 0.050% or less as described above, and
Even if B is added in an amount of 0.0005 to 0.0040%, if the S content is high, the hot workability is greatly reduced. Since S deteriorates the hot workability of the material as described above, the content should be reduced as much as possible, but excessive reduction leads to an increase in cost, so Mn is usually added to compensate. But,
In the present invention, Mn is 0.050% or less, which is lower than usual, so this compensation effect is supplemented by the addition of B. But,
The compensating effect of B is insufficient, and in order to reduce the adverse effects at the time of the blackening treatment due to the addition of a large amount of B,
The S content decreases as much as possible. It is preferably 0.0015% or less, and more preferably 0.0010% or less.

【0016】Be,Ti,Zrの3元素は、Fe−Ni
合金中に含有されると、マスク焼鈍が低温の700〜800℃
で処理される場合、またはプレス前焼鈍後の冷却速度が
小さい場合には冷却中に、これらの含有量が微量であっ
てもNiとの化合物を形成し析出強化現象を生じ、0.2%
耐力値を増加させ、プレス成形性を阻害することを見出
した。Be,Ti,Zrの3元素の合計量を0.01%以下
とすることにより、上記不具合を解消することが可能で
ある。
The three elements Be, Ti and Zr are Fe-Ni.
When contained in the alloy, the mask annealing is at low temperature 700-800 ℃
In the case of being treated with, or when the cooling rate after press pre-annealing is low, during cooling, a compound with Ni is formed to form a precipitation strengthening phenomenon even if the content thereof is a trace amount, and 0.2%
It was found that the yield strength was increased and the press formability was hindered. By setting the total amount of the three elements Be, Ti, and Zr to 0.01% or less, the above-mentioned problems can be solved.

【0017】Cr,V,Mo,Wの添加効果は、ヤング
率を大きくすることでプレス成形の際のスプリングバッ
クを小さくし、プレス成形性を改善するものである。こ
の効果は、Crが最も強く、またこの効果を得るために
は、これらの元素のうち1種または2種以上を合計で0.
5%以上の添加が必要であるが、2.5%を越えると熱膨張係
数が大きくなり、色ずれの原因を生じるため、適正な範
囲は0.5〜2.5%である。望ましくは0.8〜2.5%であり、特
に望ましくはCrの1.5〜2.5%の添加である。このCr
等を含有する場合の最も望ましい組成例はNi 33%〜36
%未満、Cr1.5〜2.5%、残部Feからなるものである。
以上に述べた本願の第1発明として望ましい組成の組合
せは、Ni 33〜35%、B 0.0005〜0.0025%、N 0.0030%
以下、O 0.0030%以下、S 0.0015%以下、残部Feおよ
び他の不純物からなるものである。
The effect of adding Cr, V, Mo, and W is to increase the Young's modulus to reduce springback during press forming and improve press formability. This effect is strongest in Cr, and in order to obtain this effect, one or more of these elements are added in a total amount of 0.
It is necessary to add 5% or more, but if it exceeds 2.5%, the coefficient of thermal expansion becomes large, causing a color shift, so the appropriate range is 0.5 to 2.5%. It is preferably 0.8 to 2.5%, particularly preferably 1.5 to 2.5% of Cr. This Cr
The most desirable composition example when Ni, etc. is contained is Ni 33% to 36
%, Cr 1.5 to 2.5%, balance Fe.
The desirable composition combination as the first invention of the present application described above is Ni 33 to 35%, B 0.0005 to 0.0025%, and N 0.0030%.
Hereafter, O 0.0030% or less, S 0.0015% or less, and the balance Fe and other impurities.

【0018】0.2%耐力σとヤング率Eとの比 σ/Eは、ス
プリングバックと比例関係にあり、通常のテレビ用とし
ては、この値が7.4×10マイナス4乗以下であることが望
ましい。本願の第1発明の材料は、低Mn、低Nとする
ことで結晶粒成長阻害要因が除去されているから、950
℃程度またはそれ以上の高温によるプレス前焼鈍ではも
ちろん、700〜800℃程度の低温度とした場合にも、150
℃におけるσ/Eの値が7.4×10マイナス4乗以下の範囲を
満足し得る。特にCr,V,Mo,Wを適量添加するこ
とにより、150℃におけるこの値は7.0×10マイナス4乗
以下とすることまたはさらに6.0×10マイナス4乗以下と
することも可能であり、高いプレス成形性を有せしめる
ことができる。
The ratio σ / E between the 0.2% proof stress σ and the Young's modulus E is proportional to the springback, and it is desirable that this value is 7.4 × 10 −4 or less for ordinary televisions. Since the material of the first invention of the present application has a low Mn content and a low N content, the factor inhibiting grain growth is removed.
Not only for pre-press annealing at high temperature of about ℃ or higher, but also for low temperature of about 700-800 ℃,
The value of σ / E at ℃ can satisfy the range of 7.4 × 10 -4 or less. In particular, by adding appropriate amounts of Cr, V, Mo, and W, it is possible to make this value at 150 ° C. 7.0 × 10 −4 or less, or 6.0 × 10 −4 or less. It can have moldability.

【0019】次に本願の第2発明であるシャドウマスク
の製造方法について述べる。一般にプレス成形前の焼鈍
温度は、高くするほど結晶粒成長が促進され、プレス成
形性を向上する。第1発明の材料では、前記のように結
晶粒成長阻害要因が除去されているから、焼鈍雰囲気は
ガス露点が5℃または10℃さらには15℃等と高い場合で
も結晶粒成長が十分であり、かつ焼鈍温度を950℃を越
える温度とする必要性は少ない。したがって、この処理
温度を700〜800℃と低温化すれば、処理時間の短縮、エ
ネルギコストの低減等の利益を享受することができる。
また、本発明の材料は、950℃以下または700〜800℃で
焼鈍された後、80〜170℃の低温で低スプリングバック
成形可能である。プレス成形温度を低下することによ
り、厳格な成形温度管理の必要性が低下し、またプレス
型内の熱膨張むらや一対のプレス型間の熱膨張差が縮小
されるから、これらによる正確な形状の型によるプレス
成形、したがって型の形状に忠実な形状にプレスするこ
とができる。
Next, a method of manufacturing the shadow mask according to the second invention of the present application will be described. Generally, the higher the annealing temperature before press forming, the more the crystal grain growth is promoted and the press formability is improved. In the material of the first invention, since the crystal grain growth inhibiting factor is removed as described above, the crystal grain growth is sufficient even when the annealing atmosphere has a high gas dew point of 5 ° C., 10 ° C. or even 15 ° C. Moreover, it is not necessary to set the annealing temperature to a temperature higher than 950 ° C. Therefore, if the processing temperature is lowered to 700 to 800 ° C., it is possible to receive benefits such as reduction of processing time and reduction of energy cost.
Further, the material of the present invention can be annealed at 950 ° C. or lower or 700 to 800 ° C., and then low springback molded at a low temperature of 80 to 170 ° C. By lowering the press molding temperature, the need for strict control of molding temperature is reduced, and the uneven thermal expansion in the press die and the difference in thermal expansion between a pair of press dies are reduced. It is possible to perform press molding with a mold, and thus to press into a shape faithful to the shape of the mold.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】Fe−36%Ni合金に種々の元素
を添加して、真空誘導溶解炉で溶解し、表1に記載の成
分を有するインゴットを作製した。このインゴットに熱
間鍛造と熱間圧延を施し、厚さ 4mmの板材とし、続い
て、冷間圧延と焼鈍を繰り返して、厚さ0.22mmの薄板と
した。この薄板にプレス前焼鈍として750℃×20分、N2
ガス中(露点+10℃)で熱処理を施して、プレス成形性
評価用(スプリングバック)試験片とした。プレス成形性
の試験の方法は、幅 10mm×長さ 50mmの試験片を150℃
の恒温槽中で図1に示すように一端を固定し、振り放し
部分を図のように60度曲げた後の戻り角度θ(スプリン
グバック量)で評価した。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Various elements were added to a Fe-36% Ni alloy and melted in a vacuum induction melting furnace to prepare an ingot having the components shown in Table 1. This ingot was subjected to hot forging and hot rolling to obtain a plate material having a thickness of 4 mm, and then cold rolling and annealing were repeated to obtain a thin plate having a thickness of 0.22 mm. This thin plate was annealed before press at 750 ° C for 20 minutes, N 2
A heat treatment was performed in a gas (dew point + 10 ° C) to obtain a press-moldability evaluation (springback) test piece. The press formability test method uses a test piece with a width of 10 mm and a length of 50 mm at 150 ° C.
As shown in FIG. 1, one end was fixed in the constant temperature bath of No. 2 and the return angle θ (spring back amount) was evaluated after bending the swing-off part by 60 ° as shown in the figure.

【0021】実際にシャドウマスクの形状にプレス成形
する場合のプレス成形性の度合いと、上記試験における
戻り角度値との間には強い相関関係がある。今回のプレ
ス成形性の度合いは戻り角度値が6.0°未満で満足でき
るものであることから、6.0°以上を成形性不良、6.0°
未満を成形性良好と判断した。表1にその結果および熱
間鍛造における割れの発生の有無を併記して示した。
There is a strong correlation between the degree of press formability in the case of actually press forming into the shape of the shadow mask and the return angle value in the above test. The degree of press formability this time is satisfactory if the return angle value is less than 6.0 °.
Less than 1 was judged to be good in moldability. Table 1 also shows the results and the presence or absence of cracking during hot forging.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】また、表1には代表的材料について、150
℃における0.2%耐力σと同温度におけるヤング率Eの比
の測定結果を示した。表1で、No.1〜6はMn量、
No.7〜12はN量、No.13〜19はCr等の合
金元素量、No.30はB非添加、の影響についてそれ
ぞれ調査したものである。これからMn量 0.050%以下
かつN量 0.0030%以下で、戻り角度値が6.0°未満とな
り、良好なプレス成形性が得られることがわかる(但
し、No.31〜33については後述)。また、この時
σ/Eは7.4×10マイナス4乗以下となることがわかる。
Further, Table 1 shows typical materials of 150
The measurement results of the ratio of 0.2% proof stress σ at ℃ and Young's modulus E at the same temperature are shown. In Table 1, no. 1 to 6 are Mn amount,
No. 7 to 12 are N amounts, and No. 13 to 19 are alloy element amounts such as Cr, and No. No. 30 is the result of investigating the effect of adding no B. From this, it can be seen that when the Mn content is 0.050% or less and the N content is 0.0030% or less, the return angle value is less than 6.0 °, and good press formability can be obtained (however, No. 31 to 33 will be described later). Also, at this time, it is found that σ / E is 7.4 × 10 minus 4 or less.

【0024】また、合金元素については、Crの添加効
果が最も大きいこと、Cr 0.5%の添加でその効果が現
れ、成形性が改善されることがわかる。また、試料N
o.6とNo.30との対比からBを0.0005%以上添加
することで熱間加工性が改善されることがわかる。ま
た、No.21,22は、Al含有量を0.003〜0.005%
と低下してAl/Oを1.3〜2.1としたこと以外はほぼN
o.34,35と同様であるが、No.21,22に比
し、戻り角度が格段に小さく、スプリングバックが小さ
いことを示している。No.34,35とNo.31〜
33は、Be,Ti,Zrの影響をみたものであり、前
者は後者に対し、これらの元素以外の元素はほぼ同様と
したものであるが、Be+Ti+Zrを0.01%以上含む
もので、戻り角度、つまりスプリングバックが大きい。
Regarding the alloying elements, it is understood that the effect of adding Cr is the greatest, and that the effect of adding Cr 0.5% appears, and the formability is improved. Sample N
o. 6 and no. From the comparison with 30, it can be seen that the hot workability is improved by adding 0.0005% or more of B. In addition, No. 21 and 22 have an Al content of 0.003 to 0.005%
Was almost N except that Al / O was 1.3 to 2.1.
o. 34 and 35, but No. It shows that the return angle is much smaller and the springback is smaller than those of Nos. 21 and 22. No. 34, 35 and No. 31-
33 shows the effects of Be, Ti, and Zr. The former is similar to the latter except that the elements other than these elements are almost the same, but Be + Ti + Zr contains 0.01% or more, and the return angle, In other words, the springback is large.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明のシャドウマスク材は、Mnを0.
050%以下、Nを0.0030%以下とするとともに、Bを0.000
5〜0.0040%添加することにより、熱間加工性を低下する
ことなくプレス前の焼鈍での結晶粒の成長を十分とし、
これによって従来不十分であったインバー合金のプレス
成形性を大幅に改善したものであり、100〜150℃前後で
のプレス成形性を可能とし、また、プレス前焼鈍の温度
を低温化できるというメリットもあり、生産コストの低
減も図れる。また、本発明のシャドウマスクの製造方法
は、上記の低温焼鈍のメリットを有するとともに、特に
低温プレス成形による温度管理の厳密性の低減、正確な
プレス型による精密成形を可能としたものである。
The shadow mask material of the present invention has a Mn content of 0.
050% or less, N 0.0030% or less, and B 0.000
By adding 5 to 0.0040%, the growth of crystal grains in the annealing before pressing can be sufficiently performed without lowering the hot workability,
This is a significant improvement in press formability of Invar alloy, which was previously insufficient, and enables press formability at around 100 to 150 ° C, and has the advantage that the temperature of pre-press annealing can be lowered. Therefore, the production cost can be reduced. Further, the method for manufacturing a shadow mask of the present invention has the advantages of the above-mentioned low temperature annealing, and in particular, enables to reduce the strictness of temperature control by low temperature press molding and enable precision molding by an accurate press die.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実験で用いたスプリングバック量(θ)の測定
方法を示す図であり、〜は経過順を表わし、Pは荷
重を表わす。
FIG. 1 is a diagram showing a method of measuring a springback amount (θ) used in an experiment, where ˜ represents a chronological order, and P represents a load.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C23F 1/00 C23F 1/00 C H01J 9/14 H01J 9/14 G // H01J 29/07 29/07 Z ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location C23F 1/00 C23F 1/00 C H01J 9/14 H01J 9/14 G // H01J 29/07 29 / 07 Z

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 重量%で、Ni 31〜39%とB 0.0005〜
0.0040%を含有し、残部Feおよび不可避的不純物から
なり、不純物としてMn 0.050%以下、N 0.0030%以下
に規制したことを特徴とするプレス成形性に優れたシャ
ドウマスク材。
1. By weight percent, Ni 31-39% and B 0.0005-
A shadow mask material excellent in press formability, which contains 0.0040%, the balance Fe and unavoidable impurities, and regulates Mn as 0.050% or less and N as 0.0030% or less as impurities.
【請求項2】 不純物であるBe,Ti,Zrの1種ま
たは2種以上の含有量が0.01%以下である請求項1のプ
レス成形性に優れたシャドウマスク材。
2. The shadow mask material excellent in press formability according to claim 1, wherein the content of one or more of Be, Ti and Zr as impurities is 0.01% or less.
【請求項3】 含有されるOは0.0050%以下であり、か
つAlとOの比 Al/Oが2.5以下である請求項1また
は2のプレス成形性に優れたシャドウマスク材。
3. A shadow mask material excellent in press formability according to claim 1, wherein the contained O is 0.0050% or less, and the Al / O ratio Al / O is 2.5 or less.
【請求項4】 Feの一部をCr,V,Mo,Wのうち
1種または2種以上の合計で0.5〜2.5重量%の等量と置
換した請求項1ないし3いずれかのプレス成形性に優れ
たシャドウマスク材。
4. The press formability according to claim 1, wherein a part of Fe is replaced with an equivalent amount of 0.5 to 2.5% by weight in total of one or more of Cr, V, Mo and W. Excellent shadow mask material.
【請求項5】 150℃における0.2%耐力σとヤング率Eと
の比 σ/Eが7.4×10マイナス4乗以下である請求項1な
いし4のいずれかのプレス成形性に優れたシャドウマス
ク材。
5. A shadow mask material excellent in press formability according to claim 1, wherein a ratio σ / E of 0.2% proof stress σ and Young's modulus E at 150 ° C. is 7.4 × 10 −4 or less. .
【請求項6】 シャドウマスクの製造方法において、請
求項1ないし5のいずれかのシャドウマスク材を用い、
エッチングによる電子ビーム通過孔の穿孔加工、露点 5
℃以上のガス雰囲気中、かつ950℃以下の焼鈍処理およ
び80〜170℃でのシャドウマスク形状へのプレス成形加
工をそれぞれ施すことを特徴とするシャドウマスクの製
造方法。
6. A shadow mask manufacturing method, wherein the shadow mask material according to claim 1 is used,
Drilling of electron beam passage hole by etching, dew point 5
A method for producing a shadow mask, which comprises performing an annealing treatment at 950 ° C. or lower in a gas atmosphere at a temperature of ℃ or higher and a press molding process to a shadow mask shape at 80 to 170 ° C., respectively.
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