JPH09155169A - Gas permeable film - Google Patents
Gas permeable filmInfo
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- JPH09155169A JPH09155169A JP31903495A JP31903495A JPH09155169A JP H09155169 A JPH09155169 A JP H09155169A JP 31903495 A JP31903495 A JP 31903495A JP 31903495 A JP31903495 A JP 31903495A JP H09155169 A JPH09155169 A JP H09155169A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、気体透過性膜に関
し、特に溶存酸素濃度測定用センサ用の選択透過性膜の
ような液体を透過させず酸素のみを透過する膜、水蒸気
を透過させずに酸素のみを透過する膜、気液混合物から
気体を分離する膜に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas permeable membrane, and more particularly to a membrane that does not allow liquid to permeate but does not allow water vapor to permeate, such as a selectively permeable membrane for a sensor for measuring dissolved oxygen concentration. The present invention relates to a membrane permeable only to oxygen and a membrane for separating gas from a gas-liquid mixture.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液体中に含まれている気体と液体を分離
したり、気体と水蒸気を分離する目的で各種の気体透過
性膜が用いられている。2. Description of the Related Art Various gas permeable membranes are used for the purpose of separating a gas and a liquid contained in a liquid, or a gas and a water vapor.
【０００３】たとえば、図２にその１例の断面を示すよ
うに、溶存酸素濃度測定用センサ２１は、電気化学的に
酸素を検出するセンサであり、酸素は透過するが液体物
質を透過させない気体透過性膜２２で密封した容器２３
内に電解液２４と気体透過性膜２２に近接して酸素検出
電極２５を設けている。気体透過性膜２２には、酸素を
透過するが、水蒸気の透過性が小さく、電解液が透過し
ない合成樹脂の薄膜が用いられている。気体透過性膜２
２は、溶存酸素濃度測定用センサの本体にシリコーンゴ
ムなどのＯリング２６を介して密封取付手段２７で取り
付けられている。気体透過性膜としては、各種の合成樹
脂フイルムが用いられているが、とくにフッ素樹脂の一
種であるフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂（Ｆ
ＥＰ）が、酸素の透過特性および液体あるいは水蒸気の
阻止特性が好ましく、耐食性も大きいことから好んで用
いられている。For example, as shown in the cross section of one example in FIG. 2, a dissolved oxygen concentration measuring sensor 21 is a sensor that electrochemically detects oxygen, and is a gas that allows oxygen to permeate but does not allow a liquid substance to permeate. Container 23 sealed with a permeable membrane 22
An oxygen detection electrode 25 is provided in the vicinity of the electrolytic solution 24 and the gas permeable membrane 22. As the gas permeable film 22, a thin film of synthetic resin is used, which is permeable to oxygen but has low permeability to water vapor and is impermeable to the electrolytic solution. Gas permeable membrane 2
2 is attached to the main body of the sensor for measuring dissolved oxygen concentration by a hermetically attaching means 27 via an O-ring 26 such as silicone rubber. Various synthetic resin films are used as the gas permeable film, and in particular, fluoroethylene propylene copolymer resin (F
EP) is preferably used because it has preferable oxygen permeability and liquid or water vapor blocking property, and also has high corrosion resistance.
【０００４】溶存酸素濃度測定用センサの気体透過性膜
には、一般に厚さが２５μｍ程度のフイルムが用いられ
ているが、気体透過性膜の厚さは、酸素の透過性に影響
を与えるので、応答速度が速く検出特性に優れた溶存酸
素濃度測定用センサを得るために、膜厚が薄い気体透過
性膜が求められている。ところが、膜厚が薄い気体透過
性膜は強度が小さく、溶存酸素濃度測定用センサにＯリ
ングを使用して取り付ける際、あるいはセンサの使用時
に破損しやすいという問題があった。A film having a thickness of about 25 μm is generally used as the gas permeable film of the sensor for measuring dissolved oxygen concentration, but the thickness of the gas permeable film affects the oxygen permeability. In order to obtain a dissolved oxygen concentration measuring sensor having a fast response speed and excellent detection characteristics, a gas permeable membrane having a thin film thickness is required. However, there is a problem that the gas permeable membrane having a small film thickness has a low strength and is easily damaged when it is attached to the sensor for measuring dissolved oxygen concentration using an O-ring or when the sensor is used.
【０００５】また、空気電池においては、空気孔に電池
反応に使用する酸素を透過し、電解液に悪影響を与える
水蒸気の阻止特性に優れた気体透過性膜が用いられてい
るが、あらゆる環境において、長期にわたり安定して電
流を取り出すことが可能な電池用の気体透過性膜が求め
られている。Further, in the air battery, a gas permeable membrane is used which has an excellent property of preventing oxygen vapor used in a battery reaction from permeating the air pores and adversely affecting the electrolytic solution, but in any environment. There is a demand for gas-permeable membranes for batteries that can stably take out current for a long period of time.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、酸素の透過
性に優れ、水蒸気や液体の阻止特性に優れた気体透過性
膜を提供することを課題とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a gas permeable membrane having excellent oxygen permeability and excellent vapor and liquid blocking properties.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、酸素透過性に
優れ、水蒸気の阻止特性が大きな気体透過性膜におい
て、延伸処理によってフィブリル化した多孔性のフッ素
樹脂フイルムの一方の面に、ポリテトラフルオロエチレ
ン樹脂層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層
を有し、他方の面には、フッ素ゴム層、フロロシリコー
ン層またはシリコーンエラストマー層の少なくともいず
れかの層を有する気体透過性膜である。また、気体透過
性膜で密封した容器内に電解液と気体透過性膜に近接し
て酸素検出手段を設けた溶存酸素濃度測定用センサにお
いて、気体透過性膜として延伸処理によってフィブリル
化した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面にポリテ
トラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプ
ロピレン共重合体層を有し、他方の面にはフッ素ゴム
層、フロロシリコーン層またはシリコーンエラストマー
層の少なくいずれかの層を有する気体透過性膜を有する
溶存酸素濃度測定用センサである。また、空気電池にお
いて、酸素導入口には、延伸処理によってフィブリル化
した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面にポリテト
ラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロ
ピレン共重合体層を有し、他方の面にはフッ素ゴム層、
フロロシリコーン層またはシリコーンエラストマー層の
少なくともいずれかの層を有する気体透過性膜を設けた
空気電池である。Means for Solving the Problems The present invention provides a gas-permeable membrane having excellent oxygen permeability and large water vapor blocking properties, which is obtained by subjecting one surface of a porous fluororesin film fibrillated by a stretching treatment to A gas-permeable membrane having a tetrafluoroethylene resin layer or a fluoroethylene propylene copolymer layer, and having at least one layer of a fluororubber layer, a fluorosilicone layer and a silicone elastomer layer on the other surface. Further, in a sensor for measuring dissolved oxygen concentration, which is provided with oxygen detecting means in the vicinity of the electrolytic solution and the gas permeable membrane in a container sealed with a gas permeable membrane, the gas permeable membrane is fibrillated by stretching treatment as a gas permeable membrane. Has a polytetrafluoroethylene resin layer or a fluoroethylene propylene copolymer layer on one side of the fluororesin film, and a fluororubber layer, a fluorosilicone layer or a silicone elastomer layer and at least one layer on the other side. It is a sensor for measuring a dissolved oxygen concentration, which has a gas permeable membrane. Further, in the air battery, the oxygen inlet has a polytetrafluoroethylene resin layer or a fluoroethylene propylene copolymer layer on one surface of the porous fluororesin film fibrillated by the stretching treatment, and the other surface. Is a fluororubber layer,
An air battery provided with a gas-permeable membrane having at least one of a fluorosilicone layer and a silicone elastomer layer.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】本発明の気体透過性膜は、図１に
その一例の断面図を示すように、気体透過性膜１は、延
伸処理によってフィブリル化した多孔性のフッ素樹脂フ
イルム２を基体とし、基体の一方の面にポリテトラフル
オロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロピレン
共重合体樹脂層３である酸素の透過性および水蒸気の阻
止特性に優れた層を有している。支持体上に形成されて
いるので、ポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフ
ルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層を単独で用い
る場合に比べてポリテトラフルオロエチレン樹脂層また
はフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層の膜厚を
薄くすることが可能となり、溶存酸素濃度測定用センサ
に用いる場合には、応答速度の速い気体透過性膜が得ら
れる。さらに、基体のポリテトラフルオロエチレン樹脂
層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層を設け
た面の反対側の面には、フッ素ゴム層、フロロシリコー
ン層、シリコーンエラストマー層４の少なくともいずれ
かの層が形成されており、フロロシリコーン層による水
蒸気の阻止特性とともに、フロロシリコーン層等の有す
る良好なシール特性によって、Ｏリング等のガスケット
を用いることなく確実に密封することが可能となる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The gas permeable membrane of the present invention has a porous fluororesin film 2 fibrillated by a stretching treatment, as shown in the sectional view of FIG. As a base, a polytetrafluoroethylene resin layer or a fluoroethylene propylene copolymer resin layer 3 having a layer excellent in oxygen permeability and water vapor blocking property is provided on one surface of the base. Since it is formed on a support, a film of a polytetrafluoroethylene resin layer or a fluoroethylene propylene copolymer resin layer is formed as compared with the case where a polytetrafluoroethylene resin layer or a fluoroethylene propylene copolymer resin layer is used alone. It becomes possible to reduce the thickness, and when used for a dissolved oxygen concentration measuring sensor, a gas permeable membrane having a fast response speed can be obtained. Furthermore, at least one layer of a fluororubber layer, a fluorosilicone layer, and a silicone elastomer layer 4 is formed on the surface of the substrate opposite to the surface on which the polytetrafluoroethylene resin layer or the fluoroethylene propylene copolymer layer is provided. In addition to the water vapor blocking property of the fluorosilicone layer, the good sealing property of the fluorosilicone layer or the like enables reliable sealing without using a gasket such as an O-ring.
【０００９】本発明の気体透過性膜に用いることができ
る多孔性の基体には、各種の多孔性のフッ素樹脂フイル
ムを用いることができるが、ポリテトラフロオロエチレ
ンフイルムを延伸処理によってフィブリル化した多孔質
膜が好ましい。この延伸多孔質ポリテトラフルオロエチ
レン膜は、ポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフル
オロエチレンプロピレン共重合体と親和性が良好で、耐
熱性、耐食性等に優れている。多孔性の基体には、気孔
率が２０ないし９５％のものが好ましく、とくに５０な
いし８０％のものが好ましい。気孔率が２０％よりも小
さいとポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフルオロ
エチレンプロピレン共重合体のディスパージョンの含浸
が困難になるので好ましくなく、９５％よりも大きいと
これらのディスパージョンが気孔中に入って気孔を埋め
てしまうので好ましくない。また、孔径は、０．０１な
いし５μｍのものが好ましく、とくに０．１ないし１μ
ｍのものが好ましい。孔径が０．０１μｍよりも小さい
とフッ素ゴム、フロロシリコーン、シリコーンエラスト
マーの含浸特性が悪くなるので好ましくなく、５μｍよ
りも大きいとポリテトラフルオロエチレン樹脂またはフ
ルオロエチレンプロピレン共重合体ディスパージョンの
含浸量が多くなりすぎるので好ましくない。Various porous fluororesin films can be used for the porous substrate that can be used for the gas permeable membrane of the present invention, and polytetrafluoroethylene film is fibrillated by a stretching treatment. Porous membranes are preferred. This stretched porous polytetrafluoroethylene film has a good affinity with a polytetrafluoroethylene resin or a fluoroethylene propylene copolymer, and is excellent in heat resistance, corrosion resistance and the like. The porous substrate preferably has a porosity of 20 to 95%, more preferably 50 to 80%. If the porosity is less than 20%, impregnation of the dispersion of polytetrafluoroethylene resin or fluoroethylenepropylene copolymer becomes difficult, which is not preferable, and if it is more than 95%, these dispersions enter the pores. It is not preferable because it fills the pores. The pore size is preferably 0.01 to 5 μm, and particularly 0.1 to 1 μm.
m is preferred. If the pore size is less than 0.01 μm, the impregnation properties of fluororubber, fluorosilicone, and silicone elastomer will be poor, and if it is greater than 5 μm, the impregnated amount of polytetrafluoroethylene resin or fluoroethylene propylene copolymer dispersion will be poor. It is not preferable because it becomes too much.
【００１０】また、多孔性樹脂の基体は、厚みが５ない
し１００μｍのものが好ましく、とくに１０ないし３０
μｍのものが好ましい。厚みが５μｍよりも小さいとフ
ッ素ゴム、フロロシリコーン、シリコーンエラストマー
等の層が薄くなりすぎて強度が小さくなるので好ましく
なく、１００μｍよりも大きいと全体の厚さが厚くなり
すぎるので好ましくない。The substrate of porous resin preferably has a thickness of 5 to 100 μm, particularly 10 to 30.
μm is preferred. If the thickness is less than 5 μm, the layer of fluororubber, fluorosilicone, silicone elastomer and the like becomes too thin and the strength becomes small, which is not preferable, and if it exceeds 100 μm, the whole thickness becomes too thick, which is not preferable.
【００１１】フッ素樹脂の多孔性フイルムの基体上に設
けるポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロ
エチレンプロピレン共重合体層の厚みは、気体の透過性
と水蒸気の遮断を確実にするためには、１ないし１５μ
ｍのものが好ましい。この厚みは使用目的に応じて、適
宜設定することができ、溶存酸素濃度測定用センサの選
択性透過膜に用いる場合には、３ないし７μｍのものを
使用することができる。 このポリテトラフルオロエチ
レン層またはフルオロエチレンプロピレン共重合体層
は、気体透過係数が優れており、酸素透過性が良好であ
る一方、水蒸気の透過性は小さく、気体以外の物質は実
質的に透過させないという特性を有し、さらに耐食性に
も優れているため環境適応性が良好で使用しやすい利点
がある。The thickness of the polytetrafluoroethylene resin layer or fluoroethylene propylene copolymer layer provided on the substrate of the fluororesin porous film is 1 to 1 in order to ensure gas permeability and water vapor barrier. 15μ
m is preferred. This thickness can be appropriately set according to the purpose of use, and when used as a selective permeable membrane of a sensor for measuring dissolved oxygen concentration, a thickness of 3 to 7 μm can be used. This polytetrafluoroethylene layer or fluoroethylene propylene copolymer layer has an excellent gas permeability coefficient and good oxygen permeability, while it has low water vapor permeability and does not substantially permeate substances other than gas. Since it has the characteristics of being excellent in corrosion resistance, it has good environmental adaptability and is easy to use.
【００１２】また、多孔性のフッ素樹脂フイルムのポリ
テトラフルオロエチレン樹脂層、またはフルオロエチレ
ンプロピレン共重合体層を形成する側とは反対の側に形
成するフッ素ゴム、フロロシリコーン層、シリコーンエ
ラストマー層は、気体の透過性と水蒸気の遮断を確実に
するためには、１０ないし７０μｍのものが好ましい。
多孔性のフッ素樹脂フイルム上に形成するポリテトラ
フルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチレンプロピ
レン共重合体層は、薄いフイルムを積層、もしくはポリ
テトラフルオロエチレン樹脂またはフルオロエチレンプ
ロピレン共重合体のディスパージョンを塗布した後に、
乾燥後加熱溶融することによって製造することができ
る。とくに、ディスパージョンを塗布し加熱溶融する方
法では、厚みの薄い層を容易に形成することができる。
ここで、ディスパージョンの濃度は、２０〜４０重量
％、粒径は０．０１〜１μｍのものが好ましい。The fluororubber, fluorosilicone layer and silicone elastomer layer formed on the side of the porous fluororesin film opposite to the side on which the polytetrafluoroethylene resin layer or fluoroethylene propylene copolymer layer is formed are In order to ensure gas permeability and water vapor cutoff, those having a thickness of 10 to 70 μm are preferable.
The polytetrafluoroethylene resin layer or fluoroethylene propylene copolymer layer formed on the porous fluororesin film is laminated with a thin film, or a dispersion of polytetrafluoroethylene resin or fluoroethylene propylene copolymer is applied. later,
It can be produced by heating and melting after drying. In particular, a method of applying a dispersion and heating and melting it can easily form a thin layer.
Here, the dispersion concentration is preferably 20 to 40% by weight, and the particle size is preferably 0.01 to 1 μm.
【００１３】また、膜厚の大きな層を形成する場合に
は、ディスパージョンの塗布および乾燥の工程を繰り返
し行った後に加熱溶融する。加熱溶融は２８０ないし４
００℃の温度に１０ないし１８０秒間加熱することが好
ましい。In the case of forming a layer having a large film thickness, it is heated and melted after repeating the steps of applying dispersion and drying. 280 to 4 for heating and melting
Heating to a temperature of 00 ° C. for 10 to 180 seconds is preferred.
【００１４】基体のポリテトラフルオロエチレン、フル
オロエチレンプロピレン層を形成した側とは反対側に形
成するフッ素ゴム層、フロロシリコーン層、シリコーン
エラストマー層は、未硬化のフッ素ゴム、フロロシリコ
ーン、シリコーンエラストマーを基体上に塗布の後に、
１００ないし１５０℃において、０．５ないし５時間加
熱して硬化させることが好ましい。The fluorinated rubber layer, fluorosilicone layer and silicone elastomer layer formed on the side of the substrate opposite to the side on which the polytetrafluoroethylene and fluoroethylene propylene layers are formed are uncured fluororubber, fluorosilicone and silicone elastomer. After application on the substrate,
It is preferable to heat and cure at 100 to 150 ° C. for 0.5 to 5 hours.
【００１５】[0015]
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明する。 実施例１ （気体透過性膜の製造）延伸によってフィブリル化した
厚さ３０μｍ、気孔率８０％、最大孔径１μｍを有する
ポリテトラフルオロエチレンフイルム基体の一方の面
に、フルオロエチレンプロピレン共重合体のディスパー
ジョン（三井デュポンフロロケミカル社製テフロン１２
０Ｊ）の塗布および乾燥の後に、３２０℃で３０秒間加
熱溶融し、厚さ３μｍの層を形成した。さらに、同様の
ディスパージョンの塗布、焼成の工程を再度行い５μｍ
の厚さの層を形成した。次いで、層を形成した面の反対
側の面にフロロシリコーン塗布した後に、１５０℃で１
時間加熱硬化し、厚さ３０μｍの層を形成した。The present invention will be described below with reference to examples. Example 1 (Production of Gas-Permeable Membrane) A polytetrafluoroethylene film substrate having a thickness of 30 μm, a porosity of 80% and a maximum pore size of 1 μm, which was fibrillated by stretching, was coated with a dispersion of fluoroethylene propylene copolymer on one surface thereof. John (Teflon 12 manufactured by DuPont Mitsui Fluorochemicals)
0J) was applied and dried, followed by heating and melting at 320 ° C. for 30 seconds to form a layer having a thickness of 3 μm. Furthermore, the same dispersion coating and firing steps are performed again to 5 μm.
Layers were formed. Then, after applying fluorosilicone to the surface opposite to the layer-formed surface,
It was heat-cured for an hour to form a layer having a thickness of 30 μm.
【００１６】（気体透過性膜の評価）このようにして得
られた気体透過性膜を評価装置（東洋精機製 高湿式ガ
ス透過率測定装置 Ｎｏ．５７１）に取り付け酸素およ
び水蒸気の透過特性について調べた。その結果、酸素透
過特性は１００００〜１４０００ｍ3・ｍｍ／ｍ2ＭＰａ
であった。また、水蒸気の透過量は、４０℃で３．１×
１０-5ｇ／ｃｍ2／２４時間・５μであった。なお、評
価装置に、この気体透過性膜を取り付ける際に、Ｏリン
グ、ガスケット等の密封手段を設けなくてもフロロシリ
コーン層によって密封状態は良好であり、また取付時の
強度不足による破損も生じなかった。(Evaluation of Gas Permeable Membrane) The gas permeable membrane thus obtained was attached to an evaluation device (Toyo Seiki's high wet gas permeability measuring device No. 571) to investigate the permeation characteristics of oxygen and water vapor. It was As a result, the oxygen permeability was 10,000 to 14,000 m 3 · mm / m 2 MPa.
Met. In addition, the water vapor transmission rate is 3.1 × at 40 ° C.
10 was -5 g / cm 2/24 hr · 5 [mu]. When the gas permeable membrane is attached to the evaluation device, the fluorosilicone layer provides a good sealing condition even without providing a sealing means such as an O-ring or a gasket, and also damage due to insufficient strength at the time of attachment. There wasn't.
【００１７】実施例２ （気体透過性膜の製造）延伸によってフィブリル化した
厚さ３０μｍ、気孔率８０％、最大孔径１μｍを有する
ポリテトラフルオロエチレンフイルム基体の一方の面
に、フルオロエチレンプロピレン共重合体のディスパー
ジョン（三井デュポンフロロケミカル社製テフロン３０
Ｊ）の塗布および乾燥の後に、３６０℃で１００秒間加
熱溶融し、厚さ３μｍの層を形成した。次いで、層を形
成した面の反対側の面にシリコーンエラストマー（信越
化学工業製 ＫＥ１０６）を塗布した後に、１５０℃で
１時間加熱硬化し、厚さ３０μｍの層を形成した。Example 2 (Production of Gas-permeable Membrane) One side of a polytetrafluoroethylene film substrate fibrillated by stretching, having a thickness of 30 μm, a porosity of 80% and a maximum pore size of 1 μm, was coated with fluoroethylene propylene copolymer. Combined dispersion (Mitsui DuPont Fluorochemicals Teflon 30
After the coating and drying of J), the mixture was heated and melted at 360 ° C. for 100 seconds to form a layer having a thickness of 3 μm. Then, a silicone elastomer (KE106 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was applied to the surface opposite to the surface on which the layer was formed, followed by heat curing at 150 ° C. for 1 hour to form a layer having a thickness of 30 μm.
【００１８】また、気体透過性を実施例１と同様にして
測定したところ、気体透過性、水蒸気透過性は同様の値
を示した。また、Ｏリング、ガスケット等の密封手段を
設けなくてもシリコーンエラストマー層によって密封状
態は良好であり、また取付時の強度不足による破損も生
じなかった。When the gas permeability was measured in the same manner as in Example 1, the gas permeability and the water vapor permeability showed similar values. Further, the sealing condition was good by the silicone elastomer layer without providing a sealing means such as an O-ring and a gasket, and no damage was caused by insufficient strength during mounting.
【００１９】比較例１ 従来から用いられている多孔性の厚さ２５μｍのポリテ
トラフルオロエチレンを用いた気体透過性膜の酸素およ
び水蒸気の透過特性について実施例１と同様に調べたと
ころ、酸素透過性は２０００〜２８００ｍ3・ｍｍ／ｍ2
ＭＰａで、水蒸気透過量は、４０℃で６．２×１０-4ｇ
／ｃｍ2／２４時間・２５μであった。COMPARATIVE EXAMPLE 1 Oxygen and water vapor permeation characteristics of a gas permeable membrane using a conventionally used porous polytetrafluoroethylene having a thickness of 25 μm were examined in the same manner as in Example 1 to find that oxygen permeation was performed. The property is 2000-2800 m 3 · mm / m 2
Water vapor transmission rate is 6.2 × 10 −4 g at 40 ° C.
/ Cm it was 2/24 hours · 25μ.
【００２０】[0020]
【発明の効果】本発明の気体透過性膜は、フッ素樹脂か
らなる多孔性基体の一方の面に、ポリテトラフルオロエ
チレンまたはフルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂
層を形成し、他方の面には、フッ素ゴム、フロロシリコ
ーンまたはシリコーンエラストマーの層を形成したの
で、酸素の透過性と水蒸気の阻止特性に優れており、す
べての材料がフッ素含有物質で構成されているので、耐
食性が良好であるとともに、フッ素ゴム、フロロシリコ
ーンまたはシリコーンエラストマー層によって良好な密
着性も得られる。The gas permeable membrane of the present invention has a polytetrafluoroethylene or fluoroethylene propylene copolymer resin layer formed on one surface of a porous substrate made of fluororesin, and the other surface of the porous substrate. Since a layer of fluororubber, fluorosilicone or silicone elastomer is formed, it has excellent oxygen permeability and water vapor blocking properties, and since all materials are composed of fluorine-containing substances, they have good corrosion resistance, Good adhesion is also obtained with fluororubber, fluorosilicone or silicone elastomer layers.
【図１】本発明の、気体透過性膜の一例を説明する図で
ある。FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a gas-permeable membrane of the present invention.
【図２】気体透過性膜を使用した溶存酸素測定用センサ
の一例を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a dissolved oxygen measuring sensor using a gas permeable membrane.
１…気体透過性膜、２…多孔性のフッ素樹脂フイルム、
３…フルオロエチレンプロピレン共重合体樹脂層、４…
フロロシリコーン層、２１…溶存酸素濃度測定用セン
サ、２２…気体透過性膜、２３…容器、２４…電解液、
２５…酸素検出電極、２６…Ｏリング、２７…密封取付
手段1 ... Gas permeable membrane, 2 ... Porous fluororesin film,
3 ... Fluoroethylene propylene copolymer resin layer, 4 ...
Fluorosilicone layer, 21 ... Sensor for measuring dissolved oxygen concentration, 22 ... Gas permeable membrane, 23 ... Container, 24 ... Electrolyte,
25 ... Oxygen detection electrode, 26 ... O-ring, 27 ... Sealing attachment means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 71/70 ５００ Ｂ０１Ｄ 71/70 ５００ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location B01D 71/70 500 B01D 71/70 500
Claims (1)
大きな気体透過性膜において、延伸処理によってフィブ
リル化した多孔性のフッ素樹脂フイルムの一方の面に、
ポリテトラフルオロエチレン樹脂層またはフルオロエチ
レンプロピレン共重合体層を有し、他方の面にはフッ素
ゴム層、フロロシリコーン層またはシリコーンエラスト
マー層の少なくともいずれかの層を有することを特徴と
する気体透過性膜。1. A gas-permeable membrane having excellent oxygen permeability and a large water vapor blocking property, which is formed on one surface of a porous fluororesin film fibrillated by a stretching treatment.
Gas permeability characterized by having a polytetrafluoroethylene resin layer or a fluoroethylene propylene copolymer layer, and having at least one layer of a fluororubber layer, a fluorosilicone layer or a silicone elastomer layer on the other surface film.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31903495A JPH09155169A (en) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | Gas permeable film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31903495A JPH09155169A (en) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | Gas permeable film |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09155169A true JPH09155169A (en) | 1997-06-17 |
Family
ID=18105782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31903495A Pending JPH09155169A (en) | 1995-12-07 | 1995-12-07 | Gas permeable film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09155169A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999015252A1 (en) * | 1997-09-19 | 1999-04-01 | Hitachi, Ltd. | Deaerating module |
| JP2002263458A (en) * | 2001-03-07 | 2002-09-17 | Dkk Toa Corp | Gas-liquid separating membrane |
| JP2006245573A (en) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Asml Netherlands Bv | Lithography apparatus, device manufacturing method, and apparatus for degassing liquid |
| WO2016117360A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 富士フイルム株式会社 | Acidic gas separation module |
| CN112932786A (en) * | 2021-02-02 | 2021-06-11 | 陈振林 | Fully-sealed goggles |
-
1995
- 1995-12-07 JP JP31903495A patent/JPH09155169A/en active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999015252A1 (en) * | 1997-09-19 | 1999-04-01 | Hitachi, Ltd. | Deaerating module |
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| JP2009260381A (en) * | 2005-02-28 | 2009-11-05 | Asml Netherlands Bv | Apparatus and method for de-gassing liquid |
| US8958051B2 (en) | 2005-02-28 | 2015-02-17 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method and apparatus for de-gassing a liquid |
| WO2016117360A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 富士フイルム株式会社 | Acidic gas separation module |
| JPWO2016117360A1 (en) * | 2015-01-22 | 2017-10-19 | 富士フイルム株式会社 | Acid gas separation module |
| CN112932786A (en) * | 2021-02-02 | 2021-06-11 | 陈振林 | Fully-sealed goggles |
| CN112932786B (en) * | 2021-02-02 | 2024-01-23 | 陈振林 | Full-sealed goggles |
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