JPH09147741A - 隔壁形成材料 - Google Patents
隔壁形成材料Info
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- JPH09147741A JPH09147741A JP7308999A JP30899995A JPH09147741A JP H09147741 A JPH09147741 A JP H09147741A JP 7308999 A JP7308999 A JP 7308999A JP 30899995 A JP30899995 A JP 30899995A JP H09147741 A JPH09147741 A JP H09147741A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition
- film
- photosensitive film
- forming material
- partition wall
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- Pending
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- Silicates, Zeolites, And Molecular Sieves (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の埋め込み法により、感光性フィルムの
残存がなく、感光性フィルムの剥離が容易にでき、かつ
隔壁にクラック、剥離等を生じさせない隔壁形成材料を
提供する。 【解決手段】 感光性フィルムを用いた埋め込み法で隔
壁を形成するために使用される隔壁形成材料において、
水ガラスを５０〜１００重量％及び無機質粉末を０〜５
０重量％含有してなる隔壁形成材料。
残存がなく、感光性フィルムの剥離が容易にでき、かつ
隔壁にクラック、剥離等を生じさせない隔壁形成材料を
提供する。 【解決手段】 感光性フィルムを用いた埋め込み法で隔
壁を形成するために使用される隔壁形成材料において、
水ガラスを５０〜１００重量％及び無機質粉末を０〜５
０重量％含有してなる隔壁形成材料。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ発光を利
用したプラズマディスプレイのプラズマ放電空間の間隙
を規定する隔壁を形成するための隔壁形成材料、詳しく
は感光性フィルムを用いた埋め込み法で隔壁を形成する
ための隔壁形成材料に関するものである。
用したプラズマディスプレイのプラズマ放電空間の間隙
を規定する隔壁を形成するための隔壁形成材料、詳しく
は感光性フィルムを用いた埋め込み法で隔壁を形成する
ための隔壁形成材料に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、プラズマディスプレイは、特開平
４−３３７２２６号公報に示されるようにペースト化し
た隔壁形成材料を用いて厚膜印刷法でガラス基板上に所
定の寸法及び形状で隔壁を形成していた。しかしハイビ
ジョン対応の高精細ディスプレイでは、隔壁幅が７０μ
ｍ以下の微細化パターンが要求されるようになってきて
いるが、厚膜印刷法では対応困難となっている。そこで
感光性フィルムを用いた埋め込み法が検討されるように
なってきた。埋め込み法に用いられる隔壁形成材料は、
アミドエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、フェノール変性
アルキド樹脂、アクリル樹脂等の熱可塑性樹脂、有機溶
剤、ガラス粉末を含む材料から構成されている。このう
ち樹脂は焼成時まで形状を保持するために用いられ、有
機溶剤は、樹脂を溶解することによって隔壁形成材料を
ペースト化し作業性を容易にするために用いられ、また
ガラス粉末は焼成後に残る成分であり、これが焼成によ
って溶融固化して隔壁となる。
４−３３７２２６号公報に示されるようにペースト化し
た隔壁形成材料を用いて厚膜印刷法でガラス基板上に所
定の寸法及び形状で隔壁を形成していた。しかしハイビ
ジョン対応の高精細ディスプレイでは、隔壁幅が７０μ
ｍ以下の微細化パターンが要求されるようになってきて
いるが、厚膜印刷法では対応困難となっている。そこで
感光性フィルムを用いた埋め込み法が検討されるように
なってきた。埋め込み法に用いられる隔壁形成材料は、
アミドエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、フェノール変性
アルキド樹脂、アクリル樹脂等の熱可塑性樹脂、有機溶
剤、ガラス粉末を含む材料から構成されている。このう
ち樹脂は焼成時まで形状を保持するために用いられ、有
機溶剤は、樹脂を溶解することによって隔壁形成材料を
ペースト化し作業性を容易にするために用いられ、また
ガラス粉末は焼成後に残る成分であり、これが焼成によ
って溶融固化して隔壁となる。
【０００３】埋め込み法は、図１に示すような工程によ
って所定の隔壁を形成するものである。第一の工程は、
図１の（ａ）に示すようにガラス基板２の上面に感光性
フィルム１を載置する。第二の工程は、図１の（ｂ）に
示すように所定のネガマスク６を用いて感光性フィルム
１を露光する。矢印は露光方向を示す。第三の工程は、
図１の（ｃ）に示すように感光性フィルムの未感光部分
を除去して溝３を形成する。第四の工程は、図１の
（ｄ）に示すように第三の工程で形成された溝３に隔壁
形成材料４を埋め込み、乾燥硬化させる。第五の工程
は、アルカリ溶液又はハロゲン系有機溶剤に隔壁形成材
料４が埋め込まれ乾燥硬化させたガラス基板２を浸漬
し、感光性フィルム１を除去し、隔壁形成材料４を残し
て所定の温度及び雰囲気で焼成して樹脂成分を揮散させ
かつガラス粉末を溶融固化させて、図１の（ｅ）に示す
ように隔壁５を形成する。
って所定の隔壁を形成するものである。第一の工程は、
図１の（ａ）に示すようにガラス基板２の上面に感光性
フィルム１を載置する。第二の工程は、図１の（ｂ）に
示すように所定のネガマスク６を用いて感光性フィルム
１を露光する。矢印は露光方向を示す。第三の工程は、
図１の（ｃ）に示すように感光性フィルムの未感光部分
を除去して溝３を形成する。第四の工程は、図１の
（ｄ）に示すように第三の工程で形成された溝３に隔壁
形成材料４を埋め込み、乾燥硬化させる。第五の工程
は、アルカリ溶液又はハロゲン系有機溶剤に隔壁形成材
料４が埋め込まれ乾燥硬化させたガラス基板２を浸漬
し、感光性フィルム１を除去し、隔壁形成材料４を残し
て所定の温度及び雰囲気で焼成して樹脂成分を揮散させ
かつガラス粉末を溶融固化させて、図１の（ｅ）に示す
ように隔壁５を形成する。
【０００４】しかしながら上記に示す埋め込み法では、
アルカリ溶液又はハロゲン系有機溶剤に浸漬して感光性
フィルムをガラス基板から除去させる際に、感光性フィ
ルムが完全に除去できず、その一部分が残ってしまうと
いう不具合が発生する。感光性フィルムが残存すると、
隔壁形成後に形成する蛍光体膜に欠陥が発生し発光にむ
らが生じる。また第五の工程で形成された隔壁形成材料
を焼成するが、このとき樹脂成分が揮散し、かつガラス
粉末が溶融固化するため寸法収縮が起こり隔壁にクラッ
クが発生する。さらに焼成が５００℃以上の高温で行わ
れるため、焼成温度から室温までの冷却時に、隔壁とガ
ラス基板との熱膨張差により隔壁に残留応力が発生し、
それが大きい場合は、隔壁がガラス基板から剥離すると
いう不具合が発生する。
アルカリ溶液又はハロゲン系有機溶剤に浸漬して感光性
フィルムをガラス基板から除去させる際に、感光性フィ
ルムが完全に除去できず、その一部分が残ってしまうと
いう不具合が発生する。感光性フィルムが残存すると、
隔壁形成後に形成する蛍光体膜に欠陥が発生し発光にむ
らが生じる。また第五の工程で形成された隔壁形成材料
を焼成するが、このとき樹脂成分が揮散し、かつガラス
粉末が溶融固化するため寸法収縮が起こり隔壁にクラッ
クが発生する。さらに焼成が５００℃以上の高温で行わ
れるため、焼成温度から室温までの冷却時に、隔壁とガ
ラス基板との熱膨張差により隔壁に残留応力が発生し、
それが大きい場合は、隔壁がガラス基板から剥離すると
いう不具合が発生する。
【０００５】感光性フィルムが残存するのを防止するた
めに、例えばアルカリ現像型感光性フィルムではアルカ
リ溶液の濃度を高くして剥離作業を行うことが検討され
た。この方法によれば感光性フィルムの残存は防止でき
るが、逆に濃度の高いアルカリ溶液によって溝に埋め込
んだ隔壁形成材料が侵食され形が崩れるという不具合が
発生する。また焼成時の隔壁のクラック又は剥離に対し
ては、隔壁形成材料の樹脂の配合割合及びガラス粉末の
組成、粒度分布等について検討を行ったが、根本的対策
が見い出せなかった。
めに、例えばアルカリ現像型感光性フィルムではアルカ
リ溶液の濃度を高くして剥離作業を行うことが検討され
た。この方法によれば感光性フィルムの残存は防止でき
るが、逆に濃度の高いアルカリ溶液によって溝に埋め込
んだ隔壁形成材料が侵食され形が崩れるという不具合が
発生する。また焼成時の隔壁のクラック又は剥離に対し
ては、隔壁形成材料の樹脂の配合割合及びガラス粉末の
組成、粒度分布等について検討を行ったが、根本的対策
が見い出せなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、埋め込み法
により感光性フィルムの残存がなく、感光性フィルムの
剥離が容易にでき、かつ隔壁にクラック、剥離等を生じ
させない隔壁形成材料を提供するものである。
により感光性フィルムの残存がなく、感光性フィルムの
剥離が容易にでき、かつ隔壁にクラック、剥離等を生じ
させない隔壁形成材料を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、感光性フィル
ムを用いた埋め込み法で隔壁を形成するために使用され
る隔壁形成材料において、水ガラスを５０〜１００重量
％及び無機質粉末を０〜５０重量％含有してなる隔壁形
成材料に関する。
ムを用いた埋め込み法で隔壁を形成するために使用され
る隔壁形成材料において、水ガラスを５０〜１００重量
％及び無機質粉末を０〜５０重量％含有してなる隔壁形
成材料に関する。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明において水ガラスとして
は、珪酸アルカリ（珪酸ソーダ、珪酸リチウム等）、珪
酸ゾル等を用いることが好ましいが、含有する水分を蒸
発させることによってガラス化するものであれば特に制
限はない。水ガラスの含有量は隔壁形成材料に対して５
０〜１００重量％、好ましくは７０〜９５重量％、さら
に好ましくは８０〜９０重量％の範囲とされ、下限が５
０重量％未満であるとガラス化したときの強度が低くな
り、隔壁の形状が崩れるという問題点が生じる。
は、珪酸アルカリ（珪酸ソーダ、珪酸リチウム等）、珪
酸ゾル等を用いることが好ましいが、含有する水分を蒸
発させることによってガラス化するものであれば特に制
限はない。水ガラスの含有量は隔壁形成材料に対して５
０〜１００重量％、好ましくは７０〜９５重量％、さら
に好ましくは８０〜９０重量％の範囲とされ、下限が５
０重量％未満であるとガラス化したときの強度が低くな
り、隔壁の形状が崩れるという問題点が生じる。
【０００９】一方無機質粉末としては、ガラス粉末、ア
ルミナ粉末、Ｃｏ−Ｃｒ酸化鉄系黒色顔料粉末などの無
機質顔料等が用いられ、該無機質粉末の含有量は隔壁形
成材料に対して０〜５０重量％、好ましくは５〜３０重
量％、さらに好ましくは１０〜２０重量％の範囲とさ
れ、上限が５０重量％を越えると水ガラスの含有量が減
少し、上記と同様の問題点が生じる。なお無機質粉末の
粒径については特に制限はなく、また複数混合したもの
を用いても何ら差し支えはない。
ルミナ粉末、Ｃｏ−Ｃｒ酸化鉄系黒色顔料粉末などの無
機質顔料等が用いられ、該無機質粉末の含有量は隔壁形
成材料に対して０〜５０重量％、好ましくは５〜３０重
量％、さらに好ましくは１０〜２０重量％の範囲とさ
れ、上限が５０重量％を越えると水ガラスの含有量が減
少し、上記と同様の問題点が生じる。なお無機質粉末の
粒径については特に制限はなく、また複数混合したもの
を用いても何ら差し支えはない。
【００１０】本発明に用いられる感光性フィルムは、ア
ルカリ現像型、溶剤現像型のいずれでもよく特に制限は
ない。このうちアルカリ現像型の感光性フィルムとして
は、例えば特開平７−１２８８５１号公報に示されるよ
うなカルボキシル基を有するバインダーポリマー、光重
合開始剤及び分子内に少なくとも１つの重合可能なエチ
レン性不飽和基を有する光重合性化合物（ウレタンジア
クリレート、ウレタンジメタクリレート、モノアクリレ
ート、モノメタクリレート等）を含有する感光性樹脂組
成物をポリエチレンテレフタレートフィルム等の支持体
上に塗布、乾燥し、必要に応じて、その上面にポリエチ
レンフィルムなどの保護フィルムを積層したものが挙げ
られる。
ルカリ現像型、溶剤現像型のいずれでもよく特に制限は
ない。このうちアルカリ現像型の感光性フィルムとして
は、例えば特開平７−１２８８５１号公報に示されるよ
うなカルボキシル基を有するバインダーポリマー、光重
合開始剤及び分子内に少なくとも１つの重合可能なエチ
レン性不飽和基を有する光重合性化合物（ウレタンジア
クリレート、ウレタンジメタクリレート、モノアクリレ
ート、モノメタクリレート等）を含有する感光性樹脂組
成物をポリエチレンテレフタレートフィルム等の支持体
上に塗布、乾燥し、必要に応じて、その上面にポリエチ
レンフィルムなどの保護フィルムを積層したものが挙げ
られる。
【００１１】本発明になる隔壁形成材料は、熱処理を行
う際にも感光性フィルムを溶解せず、しかも互いに反応
しないのでその後隔壁形成材料が硬化する際にも、隔壁
形成材料に感光性フィルムが結合又は接着するというこ
とがなく、アルカリ溶液により完全に感光性フィルムを
除去することができるものである。また隔壁形成材料に
樹脂成分を用いないため、溶剤等の揮発成分がないので
揮発による寸法収縮などが生ぜずクラックの発生を防止
することができる。
う際にも感光性フィルムを溶解せず、しかも互いに反応
しないのでその後隔壁形成材料が硬化する際にも、隔壁
形成材料に感光性フィルムが結合又は接着するというこ
とがなく、アルカリ溶液により完全に感光性フィルムを
除去することができるものである。また隔壁形成材料に
樹脂成分を用いないため、溶剤等の揮発成分がないので
揮発による寸法収縮などが生ぜずクラックの発生を防止
することができる。
【００１２】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を引用して説明す
る。 実施例１〜１２、比較例１〜４ 水ガラスとして珪酸リチウム（日産化学工業(株)製、商
品名リチウムシリケート−４５）、珪酸ソーダ（日本化
学工業(株)製、商品名Ｊ珪酸ソーダ３号）又は珪酸ゾル
（日産化学工業(株)製、商品名スノーテックＣ）を用
い、これらの水ガラスと無機質粉末としてガラス粉末、
アルミナ粉末又はＣｏ−Ｃｒ酸化鉄を表１に示す配合割
合で１リットル容量のボールミルを用いて２時間均一に
混合して隔壁形成材料を得た。
る。 実施例１〜１２、比較例１〜４ 水ガラスとして珪酸リチウム（日産化学工業(株)製、商
品名リチウムシリケート−４５）、珪酸ソーダ（日本化
学工業(株)製、商品名Ｊ珪酸ソーダ３号）又は珪酸ゾル
（日産化学工業(株)製、商品名スノーテックＣ）を用
い、これらの水ガラスと無機質粉末としてガラス粉末、
アルミナ粉末又はＣｏ−Ｃｒ酸化鉄を表１に示す配合割
合で１リットル容量のボールミルを用いて２時間均一に
混合して隔壁形成材料を得た。
【００１３】比較例５ 鉛ガラス粉末（旭硝子(株)製、商品名ＡＳＦ NO.１３４
０）５０重量％、アルミナ粉末（平均粒径１μｍ）１０
重量％、フェノール変性アルキド樹脂（日立化成工業
(株)製、商品名Ｐ５７０ＬＳＷ−５０）２０重量％及び
キシレン（関東化学(株)製）２０重量％を秤量し、ボー
ルミルで２時間均一に混合して隔壁形成材料を得た。
０）５０重量％、アルミナ粉末（平均粒径１μｍ）１０
重量％、フェノール変性アルキド樹脂（日立化成工業
(株)製、商品名Ｐ５７０ＬＳＷ−５０）２０重量％及び
キシレン（関東化学(株)製）２０重量％を秤量し、ボー
ルミルで２時間均一に混合して隔壁形成材料を得た。
【００１４】次に図１の（ａ）に示すようにガラス基板
２の上面に厚さが１５０μｍのアルカリ現像型の感光性
フィルム（日立化成工業(株)製、商品名Ｈ−Ｗ４４０）
１を載置した後、図１の（ｂ）に示すように所定のネガ
マスク６を用いて光量１００ｍＪの条件で前記感光性フ
ィルム１を矢印の方向から露光し、次いで３０℃で１重
量％ＮａＣＯ3溶液で現像した後、８０℃で２０分乾燥
して感光性フィルム１の未露光部分を除去し図１の
（ｃ）に示すような幅が７０μｍ及び深さが１５０μｍ
の溝３を形成した。この後、上記で得た隔壁形成材料４
を残っている感光性フィルム１の上部に必要量置き、ス
キージ（プラスチック製ヘラ）で図１の（ｄ）に示すよ
うに溝３に埋め込み、実施例１〜１２及び比較例１〜４
については７０℃で６０分、比較例５については１２０
℃で３０分、さらに１５０℃で３０分乾燥硬化させた
後、４０℃の一定温度に保持された５重量％ＮａＯＨ溶
液に浸漬して感光性フィルム１の除去を行い、隔壁形成
材料４を残して大気中で５２０℃で２時間焼成して図１
の（ｅ）に示すような隔壁５を得た。得られた隔壁につ
いて感光性フィルムの残存の有無及び隔壁形成材料への
影響を調べた。その結果を表１に示す。
２の上面に厚さが１５０μｍのアルカリ現像型の感光性
フィルム（日立化成工業(株)製、商品名Ｈ−Ｗ４４０）
１を載置した後、図１の（ｂ）に示すように所定のネガ
マスク６を用いて光量１００ｍＪの条件で前記感光性フ
ィルム１を矢印の方向から露光し、次いで３０℃で１重
量％ＮａＣＯ3溶液で現像した後、８０℃で２０分乾燥
して感光性フィルム１の未露光部分を除去し図１の
（ｃ）に示すような幅が７０μｍ及び深さが１５０μｍ
の溝３を形成した。この後、上記で得た隔壁形成材料４
を残っている感光性フィルム１の上部に必要量置き、ス
キージ（プラスチック製ヘラ）で図１の（ｄ）に示すよ
うに溝３に埋め込み、実施例１〜１２及び比較例１〜４
については７０℃で６０分、比較例５については１２０
℃で３０分、さらに１５０℃で３０分乾燥硬化させた
後、４０℃の一定温度に保持された５重量％ＮａＯＨ溶
液に浸漬して感光性フィルム１の除去を行い、隔壁形成
材料４を残して大気中で５２０℃で２時間焼成して図１
の（ｅ）に示すような隔壁５を得た。得られた隔壁につ
いて感光性フィルムの残存の有無及び隔壁形成材料への
影響を調べた。その結果を表１に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】表１に示されるように、本発明の実施例に
なる隔壁形成材料を用いたものは、感光性フィルムの残
存がなく完全に除去が行え、かつ隔壁形成材料に損傷は
見られず、また隔壁に変色、崩れ、クラック等は見られ
なかった。これに対し比較例の隔壁形成材料を用いたも
のは、感光性フィルムの残存や隔壁形成材料に変色（感
光性フィルムの染料が溶けだし、それが隔壁形成材料に
移着して生じたもの）が見られ、また隔壁に崩れが生じ
た。
なる隔壁形成材料を用いたものは、感光性フィルムの残
存がなく完全に除去が行え、かつ隔壁形成材料に損傷は
見られず、また隔壁に変色、崩れ、クラック等は見られ
なかった。これに対し比較例の隔壁形成材料を用いたも
のは、感光性フィルムの残存や隔壁形成材料に変色（感
光性フィルムの染料が溶けだし、それが隔壁形成材料に
移着して生じたもの）が見られ、また隔壁に崩れが生じ
た。
【００１７】
【発明の効果】本発明になる隔壁形成材料は、埋め込み
法によっても感光性フィルムの残存がなく、感光性フィ
ルムの除去が容易にでき、かつ隔壁にクラック、剥離等
を生じさせない隔壁形成材料である。
法によっても感光性フィルムの残存がなく、感光性フィ
ルムの除去が容易にでき、かつ隔壁にクラック、剥離等
を生じさせない隔壁形成材料である。
【図１】埋め込み法による隔壁の形成手段を示す断面図
である。
である。
１ 感光性フィルム ２ ガラス基板 ３ 溝 ４ 隔壁形成材料 ５ 隔壁 ６ ネガマスク
Claims (1)
- 【請求項１】 感光性フィルムを用いた埋め込み法で隔
壁を形成するために使用される隔壁形成材料において、
水ガラスを５０〜１００重量％及び無機質粉末を０〜５
０重量％含有してなる隔壁形成材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7308999A JPH09147741A (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 隔壁形成材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7308999A JPH09147741A (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 隔壁形成材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09147741A true JPH09147741A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17987705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7308999A Pending JPH09147741A (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 隔壁形成材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09147741A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1017083A1 (en) * | 1998-12-21 | 2000-07-05 | Thomson Plasma | Plasma display having a porous structure |
-
1995
- 1995-11-28 JP JP7308999A patent/JPH09147741A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1017083A1 (en) * | 1998-12-21 | 2000-07-05 | Thomson Plasma | Plasma display having a porous structure |
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