JPH09145568A - Ｉｐｃ分析方法 - Google Patents
Ｉｐｃ分析方法Info
- Publication number
- JPH09145568A JPH09145568A JP31017595A JP31017595A JPH09145568A JP H09145568 A JPH09145568 A JP H09145568A JP 31017595 A JP31017595 A JP 31017595A JP 31017595 A JP31017595 A JP 31017595A JP H09145568 A JPH09145568 A JP H09145568A
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- Japan
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- cyclone
- ipc
- plasma torch
- powder
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料調製が容易で、且つ、精度が向上したＩ
ＰＣ分析方法を提供する。 【解決手段】 無機または有機物質からなる固体の試料
１をアルゴンプラズマトーチ２に導入し、上記試料１の
元素分析を行う方法であって、上記固体の試料１をアル
ゴンガス気流が旋回しているサイクロン３に投入し、粒
径を１μｍ以下の粉末に分離した後に、この粉末をアル
ゴンプラズマトーチ２に導入する。
ＰＣ分析方法を提供する。 【解決手段】 無機または有機物質からなる固体の試料
１をアルゴンプラズマトーチ２に導入し、上記試料１の
元素分析を行う方法であって、上記固体の試料１をアル
ゴンガス気流が旋回しているサイクロン３に投入し、粒
径を１μｍ以下の粉末に分離した後に、この粉末をアル
ゴンプラズマトーチ２に導入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アルゴンプラズマ
トーチに導入した試料の元素分析を行うＩＰＣ分析方法
に関するものである。
トーチに導入した試料の元素分析を行うＩＰＣ分析方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】材料の元素組成を分析する方法として、
ＩＰＣ発光分析、ＩＰＣ質量分析等のＩＰＣ分析方法が
知られている。固形や粉末の固体試料をＩＰＣ分析する
場合、酸等により固体試料を溶液に溶解した後に、この
溶液を霧化器で霧化してアルゴン等のプラズマトーチに
導入しえ分析を行っている。しかし、上記酸等の溶液に
溶解するため、試料中の成分が希釈されるので、微量成
分は精度が低下する恐れがあると共に、酸の種類や前処
理となる加熱条件が成分毎に異なるため、試料調製に多
大の時間を要している。
ＩＰＣ発光分析、ＩＰＣ質量分析等のＩＰＣ分析方法が
知られている。固形や粉末の固体試料をＩＰＣ分析する
場合、酸等により固体試料を溶液に溶解した後に、この
溶液を霧化器で霧化してアルゴン等のプラズマトーチに
導入しえ分析を行っている。しかし、上記酸等の溶液に
溶解するため、試料中の成分が希釈されるので、微量成
分は精度が低下する恐れがあると共に、酸の種類や前処
理となる加熱条件が成分毎に異なるため、試料調製に多
大の時間を要している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この解決方法として、
黒鉛製のカップに固体試料を充填し、プラズマトーチに
直接導入する方法がとられているが、多量の固体試料を
導入するとプラズマトーチが消えたりする恐れがある。
黒鉛製のカップに固体試料を充填し、プラズマトーチに
直接導入する方法がとられているが、多量の固体試料を
導入するとプラズマトーチが消えたりする恐れがある。
【０００４】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、試料調製が容易で、且
つ、精度が向上したＩＰＣ分析方法を提供することにあ
る。
で、その目的とするところは、試料調製が容易で、且
つ、精度が向上したＩＰＣ分析方法を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
ＩＰＣ分析方法は、無機または有機物質からなる固体の
試料をアルゴンプラズマトーチに導入し、上記試料の元
素分析を行うＩＰＣ分析方法であって、上記固体の試料
をアルゴンガス気流が旋回しているサイクロンに投入
し、粒径を１μｍ以下の粉末に分離した後に、この粉末
をアルゴンプラズマトーチに導入することを特徴とす
る。
ＩＰＣ分析方法は、無機または有機物質からなる固体の
試料をアルゴンプラズマトーチに導入し、上記試料の元
素分析を行うＩＰＣ分析方法であって、上記固体の試料
をアルゴンガス気流が旋回しているサイクロンに投入
し、粒径を１μｍ以下の粉末に分離した後に、この粉末
をアルゴンプラズマトーチに導入することを特徴とす
る。
【０００６】本発明の請求項２に係るＩＰＣ分析方法
は、請求項１記載のＩＰＣ分析方法において、上記サイ
クロンの内壁に静電除去シートを貼着したことを特徴と
する。
は、請求項１記載のＩＰＣ分析方法において、上記サイ
クロンの内壁に静電除去シートを貼着したことを特徴と
する。
【０００７】本発明の請求項３に係るＩＰＣ分析方法
は、請求項１又は請求項２記載のＩＰＣ分析方法におい
て、上記サイクロンに取着した加振器により、サイクロ
ン内に振動を付与することを特徴とする。
は、請求項１又は請求項２記載のＩＰＣ分析方法におい
て、上記サイクロンに取着した加振器により、サイクロ
ン内に振動を付与することを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
図１〜３は本発明に係るＩＰＣ分析方法を実施するのに
使用するＩＰＣ分析装置の概略図である。
図１〜３は本発明に係るＩＰＣ分析方法を実施するのに
使用するＩＰＣ分析装置の概略図である。
【０００９】本発明のＩＰＣ分析方法は無機または有機
物質からなる固体の試料１をアルゴンプラズマトーチ２
に導入し、上記試料１の元素を分析する方法であり、Ｉ
ＰＣ発光分析、ＩＰＣ質量分析等が挙げられる。
物質からなる固体の試料１をアルゴンプラズマトーチ２
に導入し、上記試料１の元素を分析する方法であり、Ｉ
ＰＣ発光分析、ＩＰＣ質量分析等が挙げられる。
【００１０】本発明の分析方法を実施するのに使用する
ＩＰＣ分析装置は、図１に示す如く、サイクロン３を備
える。上記サイクロン３には、粉砕または粉末にした固
体の試料１を蓄えたホッパー４から試料が投入される。
試料１の投入量はホッパー４の出口に設けられたロータ
リーフィーダー５の回転速度に応じて調整される。上記
サイクロン３の側壁に設けられたガス供給口６がらアル
ゴンガスが供給される。このアルゴンガスによりサイク
ロン３内に旋回気流が発生すると共に、上記試料１は粒
径により分離される。上記サイクロン３の底部には粒径
が１μｍを超えた試料が堆積する受け室７を有し、上部
には粒径が１μｍ以下の試料がアルゴンガスと共に排出
される出口８を備える。上記サイクロン３の出口８はプ
ラズマトーチ２に連接している。上記プラズマトーチ２
は石英管の三重構造であり、アルゴンガスがプラズマガ
ス供給口９ａと補助ガス供給口９ｂから供給される。な
お、図中矢印は分析される試料が供給される方向を示
し、Ａｒの矢印はアルゴンガスの供給を示す。
ＩＰＣ分析装置は、図１に示す如く、サイクロン３を備
える。上記サイクロン３には、粉砕または粉末にした固
体の試料１を蓄えたホッパー４から試料が投入される。
試料１の投入量はホッパー４の出口に設けられたロータ
リーフィーダー５の回転速度に応じて調整される。上記
サイクロン３の側壁に設けられたガス供給口６がらアル
ゴンガスが供給される。このアルゴンガスによりサイク
ロン３内に旋回気流が発生すると共に、上記試料１は粒
径により分離される。上記サイクロン３の底部には粒径
が１μｍを超えた試料が堆積する受け室７を有し、上部
には粒径が１μｍ以下の試料がアルゴンガスと共に排出
される出口８を備える。上記サイクロン３の出口８はプ
ラズマトーチ２に連接している。上記プラズマトーチ２
は石英管の三重構造であり、アルゴンガスがプラズマガ
ス供給口９ａと補助ガス供給口９ｂから供給される。な
お、図中矢印は分析される試料が供給される方向を示
し、Ａｒの矢印はアルゴンガスの供給を示す。
【００１１】本発明のＩＰＣ分析方法について説明す
る。上記ＩＰＣ分析装置のホッパー４に蓄えた固体の試
料１は、ロータリーフィーダー５を通過し、サイクロン
３に供給される。上記試料は粉末または固形を粉砕した
ものである。上記ロータリーフィーダー５は速度可変型
のモータ（図示せず）からの動力で回転し、この回転速
度を調整することで、上記試料１の投入量をコントロー
ルすることができる。投入量は１〜１０ｇ／分程度が適
している。
る。上記ＩＰＣ分析装置のホッパー４に蓄えた固体の試
料１は、ロータリーフィーダー５を通過し、サイクロン
３に供給される。上記試料は粉末または固形を粉砕した
ものである。上記ロータリーフィーダー５は速度可変型
のモータ（図示せず）からの動力で回転し、この回転速
度を調整することで、上記試料１の投入量をコントロー
ルすることができる。投入量は１〜１０ｇ／分程度が適
している。
【００１２】上記サイクロン３内に投入された試料１
は、サイクロン３内に供給されたアルゴンガスにより発
生する旋回気流により、粒径が１μｍ以下と超える粉末
に分離する。上記アルゴンガスの供給量は１．０リット
ル程度が適している。上記粒径が１μｍ以下の粉末がア
ルゴンガスと共にサイクロン３の出口８からプラズマト
ーチ２へ導入される。上記導入した試料１は、プラズマ
トーチ２で発光し、検出した発光スペクトクルから試料
中の成分の定量分析が行われる。なお、上記サイクロン
３の外壁に冷却水等が流れるジャケットを設け、サイク
ロン３内の温度を一定に保持すると、より分析の精度が
向上するので好ましい。
は、サイクロン３内に供給されたアルゴンガスにより発
生する旋回気流により、粒径が１μｍ以下と超える粉末
に分離する。上記アルゴンガスの供給量は１．０リット
ル程度が適している。上記粒径が１μｍ以下の粉末がア
ルゴンガスと共にサイクロン３の出口８からプラズマト
ーチ２へ導入される。上記導入した試料１は、プラズマ
トーチ２で発光し、検出した発光スペクトクルから試料
中の成分の定量分析が行われる。なお、上記サイクロン
３の外壁に冷却水等が流れるジャケットを設け、サイク
ロン３内の温度を一定に保持すると、より分析の精度が
向上するので好ましい。
【００１３】上述の如く、本発明によれば、サイクロン
３で分離した試料をプラズマトーチ２に直接、且つ、連
続して導入することができるので、試料を酸等の溶液に
溶解する前処理がないため調製が容易である。さらに、
試料が希釈されないため精度が向上する。また、１μｍ
以下の粉末のみをプラズマトーチ２に導入するので、プ
ラズマトーチ２が消えたりすることはない。
３で分離した試料をプラズマトーチ２に直接、且つ、連
続して導入することができるので、試料を酸等の溶液に
溶解する前処理がないため調製が容易である。さらに、
試料が希釈されないため精度が向上する。また、１μｍ
以下の粉末のみをプラズマトーチ２に導入するので、プ
ラズマトーチ２が消えたりすることはない。
【００１４】次に、図２にＩＰＣ分析装置の概略図を示
す。上記分析装置は上記構成に加えて、上記サイクロン
３の内壁に静電除去シート１０が貼着されている。上記
静電除去シート１０は、高分子繊維中に銀、銅等の金属
粉末を分散させた半導電性層と、銀、銅等を素材とした
導電性層から構成され、例えば、メタクリル樹脂系帯電
防止シートが挙げられる。上記分析装置を使用して分析
すると、サイクロン３の内壁に静電除去シート１０が貼
着されているので、上記内壁に試料１が付着することを
防止できる。その結果、プラズマトーチ２に供給する試
料の量がばらつくことがなく、試料の分析の精度が安定
する。
す。上記分析装置は上記構成に加えて、上記サイクロン
３の内壁に静電除去シート１０が貼着されている。上記
静電除去シート１０は、高分子繊維中に銀、銅等の金属
粉末を分散させた半導電性層と、銀、銅等を素材とした
導電性層から構成され、例えば、メタクリル樹脂系帯電
防止シートが挙げられる。上記分析装置を使用して分析
すると、サイクロン３の内壁に静電除去シート１０が貼
着されているので、上記内壁に試料１が付着することを
防止できる。その結果、プラズマトーチ２に供給する試
料の量がばらつくことがなく、試料の分析の精度が安定
する。
【００１５】次に、図３にＩＰＣ分析装置の概略図を示
す。上記分析装置は図１の構成に加えて、上記サイクロ
ン３の外壁に加振器１１を備える。上記加振器１１は、
周波数が５０〜６０Ｈｚ、加速度１Ｇ程度でサイクロン
３内に振動を付与するものであり、例えば、偏心振動子
式動電加振器等が挙げられる。上記分析装置を使用して
分析すると、サイクロン１内に振動を付与するので、サ
イクロン３の内壁に付着した無帯電の粒子を容易に脱落
させることができる。その結果、プラズマトーチ２に供
給する試料の量がばらつくことがないので、試料の分析
の精度が安定する。
す。上記分析装置は図１の構成に加えて、上記サイクロ
ン３の外壁に加振器１１を備える。上記加振器１１は、
周波数が５０〜６０Ｈｚ、加速度１Ｇ程度でサイクロン
３内に振動を付与するものであり、例えば、偏心振動子
式動電加振器等が挙げられる。上記分析装置を使用して
分析すると、サイクロン１内に振動を付与するので、サ
イクロン３の内壁に付着した無帯電の粒子を容易に脱落
させることができる。その結果、プラズマトーチ２に供
給する試料の量がばらつくことがないので、試料の分析
の精度が安定する。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例と比較例を挙げる。分
析試料としては、組成の判明している標準試料２種類を
用い、プラズマトーチに導入し、発光させ、得られた発
光スペクトクルの強度から検量線を作成し、試料中の成
分の定量分析を行った。上記標準試料に国際標準局製の
鉛−バリウムガラスＳＲＭ８９を用い、ＰｂＯ、Ｋ
2 Ｏ、Ｎａ2 Ｏ、ＢａＯ、及び、Ｆｅ2 Ｏ3 の定量分析
を行い、他の標準試料にブラマアースタンダード（Ｂｒ
ａｍｍｅｒ Ｓｔａｎｄａｒｄ）株式会社製の酸化ジル
コニウム粉末ＶＳＫ７を用い、ＳｉＯ2 、Ｆｅ2 Ｏ3 、
ＣａＯの定量分析を行った。
析試料としては、組成の判明している標準試料２種類を
用い、プラズマトーチに導入し、発光させ、得られた発
光スペクトクルの強度から検量線を作成し、試料中の成
分の定量分析を行った。上記標準試料に国際標準局製の
鉛−バリウムガラスＳＲＭ８９を用い、ＰｂＯ、Ｋ
2 Ｏ、Ｎａ2 Ｏ、ＢａＯ、及び、Ｆｅ2 Ｏ3 の定量分析
を行い、他の標準試料にブラマアースタンダード（Ｂｒ
ａｍｍｅｒ Ｓｔａｎｄａｒｄ）株式会社製の酸化ジル
コニウム粉末ＶＳＫ７を用い、ＳｉＯ2 、Ｆｅ2 Ｏ3 、
ＣａＯの定量分析を行った。
【００１７】実施例１ 図１に示す構成のＩＰＣ分析装置を使用した。上記ガラ
スＳＲＭ８９は乳鉢で粗粉砕し、アルミナボールミルに
３０分投入した後にホッパーに蓄えた。ロータリーフィ
ーダーの回転速度を調整し、４〜６ｇ／分の量で上記試
料をサイクロンに投入した。上記酸化ジルコニウム粉末
ＶＳＫ７は原料をそのままホッパーに蓄え、同様にして
サイクロンに投入した。サイクロン内へのアルゴンガス
は１．０リットル／分の割合で供給し、粒径が１μｍ以
下の試料をプラズマトーチに導入した。プラズマトーチ
に、アルゴンガスをプラズマガス供給口からは１６．０
リットル／分の割合で、補助ガス供給口からは１．０リ
ットル／分の割合で供給した。３回測定した結果、上記
ガラスＳＲＭ８９の平均値、及び、３回の測定のばらつ
きを示す相対標準偏差を表１に示し、上記酸化ジルコニ
ウム粉末ＶＳＫ７の平均値、及び、相対標準偏差を表２
に示した。
スＳＲＭ８９は乳鉢で粗粉砕し、アルミナボールミルに
３０分投入した後にホッパーに蓄えた。ロータリーフィ
ーダーの回転速度を調整し、４〜６ｇ／分の量で上記試
料をサイクロンに投入した。上記酸化ジルコニウム粉末
ＶＳＫ７は原料をそのままホッパーに蓄え、同様にして
サイクロンに投入した。サイクロン内へのアルゴンガス
は１．０リットル／分の割合で供給し、粒径が１μｍ以
下の試料をプラズマトーチに導入した。プラズマトーチ
に、アルゴンガスをプラズマガス供給口からは１６．０
リットル／分の割合で、補助ガス供給口からは１．０リ
ットル／分の割合で供給した。３回測定した結果、上記
ガラスＳＲＭ８９の平均値、及び、３回の測定のばらつ
きを示す相対標準偏差を表１に示し、上記酸化ジルコニ
ウム粉末ＶＳＫ７の平均値、及び、相対標準偏差を表２
に示した。
【００１８】実施例２ 図２に示す構成のＩＰＣ分析装置を使用した。静電除去
シートにメタクリル樹脂系帯電防止シート（旭化成工業
株式会社製：デラグラスＥＴ）を用い、サイクロンの内
壁に貼着した。上記以外の測定条件は実施例１と同様に
して、３回測定した。平均値、及び、相対標準偏差の結
果は表１及び表２に示した。
シートにメタクリル樹脂系帯電防止シート（旭化成工業
株式会社製：デラグラスＥＴ）を用い、サイクロンの内
壁に貼着した。上記以外の測定条件は実施例１と同様に
して、３回測定した。平均値、及び、相対標準偏差の結
果は表１及び表２に示した。
【００１９】実施例３ 図３に示す構成のＩＰＣ分析装置を使用した。加振器に
偏心振動子式動電加振器（神鋼電機株式会社製：Ｖ−２
Ｂ型）を用い、サイクロンに取着し、サイクロン１内に
加速度１Ｇの振動を付与した。上記以外の測定条件は実
施例１と同様にして、３回測定した。平均値、及び、相
対標準偏差の結果は表１及び表２に示した。
偏心振動子式動電加振器（神鋼電機株式会社製：Ｖ−２
Ｂ型）を用い、サイクロンに取着し、サイクロン１内に
加速度１Ｇの振動を付与した。上記以外の測定条件は実
施例１と同様にして、３回測定した。平均値、及び、相
対標準偏差の結果は表１及び表２に示した。
【００２０】比較例１ 従来から行われている、酸溶解した後に、霧化器で霧化
してプラズマトーチに導入し、分析を行った。上記ガラ
スＳＲＭ８９は、試料０．２ｇをテフロン製容器に入
れ、王水（塩酸：硝酸＝１：１）１０ミリリットルを加
え、温度が略７０℃のホットプレートで３０分加熱し
た。その後、フッ酸１２ミリリットルを加え、さらに３
０分加熱し、完全に溶解させた。このサンプル１００ミ
リリットルを用い分析した。上記酸化ジルコニウム粉末
ＶＳＫ７は、試料０．５ｇに塩酸１０ミリリットルを加
え、温度が略７０℃のホットプレートで３０分加熱し、
完全に溶解させた。このサンプル５０ミリリットルを用
い分析した。プラズマトーチに、アルゴンガスをプラズ
マガス供給口からは１６．０リットル／分の割合で、補
助ガス供給口からは１．０リットル／分の割合で供給し
た。３回測定した平均値、及び、相対標準偏差の結果を
表１及び表２に示した。
してプラズマトーチに導入し、分析を行った。上記ガラ
スＳＲＭ８９は、試料０．２ｇをテフロン製容器に入
れ、王水（塩酸：硝酸＝１：１）１０ミリリットルを加
え、温度が略７０℃のホットプレートで３０分加熱し
た。その後、フッ酸１２ミリリットルを加え、さらに３
０分加熱し、完全に溶解させた。このサンプル１００ミ
リリットルを用い分析した。上記酸化ジルコニウム粉末
ＶＳＫ７は、試料０．５ｇに塩酸１０ミリリットルを加
え、温度が略７０℃のホットプレートで３０分加熱し、
完全に溶解させた。このサンプル５０ミリリットルを用
い分析した。プラズマトーチに、アルゴンガスをプラズ
マガス供給口からは１６．０リットル／分の割合で、補
助ガス供給口からは１．０リットル／分の割合で供給し
た。３回測定した平均値、及び、相対標準偏差の結果を
表１及び表２に示した。
【００２１】測定の結果、実施例１〜３は比較例に比較
し、相対標準偏差が少なく、精度が向上することが確認
できた。
し、相対標準偏差が少なく、精度が向上することが確認
できた。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【表２】
【００２４】
【発明の効果】本発明の請求項１に係るＩＰＣ分析方法
によれば、サイクロンで分離した試料をプラズマトーチ
に直接、且つ、連続して導入することができるので、調
製が容易で、且つ、測定精度が向上する。さらに、１μ
ｍ以下の粉末を導入するので、プラズマトーチが消えた
りすることはない。
によれば、サイクロンで分離した試料をプラズマトーチ
に直接、且つ、連続して導入することができるので、調
製が容易で、且つ、測定精度が向上する。さらに、１μ
ｍ以下の粉末を導入するので、プラズマトーチが消えた
りすることはない。
【００２５】本発明の請求項２に係るＩＰＣ分析方法に
よれば、上記効果に加えて、静電除去シートが貼着され
ているので、サイクロンの内壁に試料が付着することを
防止できる。その結果、プラズマトーチに供給する試料
の量がばらつくことがなく、試料の分析の精度がより安
定する。
よれば、上記効果に加えて、静電除去シートが貼着され
ているので、サイクロンの内壁に試料が付着することを
防止できる。その結果、プラズマトーチに供給する試料
の量がばらつくことがなく、試料の分析の精度がより安
定する。
【００２６】本発明の請求項３に係るＩＰＣ分析方法に
よれば、上記効果に加えて、サイクロン内に振動を付与
するので、サイクロンの内壁に付着した無帯電の粒子を
容易に脱落させることができる。その結果、プラズマト
ーチに供給する試料の量がばらつくことがないので、試
料の分析の精度がより安定する。
よれば、上記効果に加えて、サイクロン内に振動を付与
するので、サイクロンの内壁に付着した無帯電の粒子を
容易に脱落させることができる。その結果、プラズマト
ーチに供給する試料の量がばらつくことがないので、試
料の分析の精度がより安定する。
【図１】本発明に係るＩＰＣ分析方法を実施するのに使
用するＩＰＣ分析装置の概略図である。
用するＩＰＣ分析装置の概略図である。
【図２】本発明に係るＩＰＣ分析方法を実施するのに使
用する他のＩＰＣ分析装置の概略図である。
用する他のＩＰＣ分析装置の概略図である。
【図３】本発明に係るＩＰＣ分析方法を実施するのに使
用する他のＩＰＣ分析装置の概略図である。
用する他のＩＰＣ分析装置の概略図である。
１ 試料 ２ プラズマトーチ ３ サイクロン ４ ホッパー ５ ロータリーフィーダー ６ ガス供給口 ８ 出口 ９ａ プラズマガス供給口 ９ｂ 補助ガス供給口
Claims (3)
- 【請求項１】 無機または有機物質からなる固体の試料
をアルゴンプラズマトーチに導入し、上記試料の元素分
析を行うＩＰＣ分析方法であって、上記固体の試料をア
ルゴンガス気流が旋回しているサイクロンに投入し、粒
径を１μｍ以下の粉末に分離した後に、この粉末をアル
ゴンプラズマトーチに導入することを特徴とするＩＰＣ
分析方法。 - 【請求項２】 上記サイクロンの内壁に静電除去シート
を貼着したことを特徴とする請求項１記載のＩＰＣ分析
方法。 - 【請求項３】 上記サイクロンに取着した加振器によ
り、サイクロン内に振動を付与することを特徴とする請
求項１又は請求項２記載のＩＰＣ分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31017595A JPH09145568A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | Ｉｐｃ分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31017595A JPH09145568A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | Ｉｐｃ分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145568A true JPH09145568A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=18002084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31017595A Pending JPH09145568A (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | Ｉｐｃ分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09145568A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010143426A1 (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-16 | Ｍｓｉ．Ｔｏｋｙｏ株式会社 | サイクロンセパレータ式質量分析システム |
| CN104363689A (zh) * | 2014-11-18 | 2015-02-18 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 一种分析电源、矿粉分析装置及方法 |
| WO2019065418A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | サンプリング装置 |
-
1995
- 1995-11-29 JP JP31017595A patent/JPH09145568A/ja active Pending
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