JPH09144998A - Device for checking leakage of halogenated gas - Google Patents
Device for checking leakage of halogenated gasInfo
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- JPH09144998A JPH09144998A JP30626895A JP30626895A JPH09144998A JP H09144998 A JPH09144998 A JP H09144998A JP 30626895 A JP30626895 A JP 30626895A JP 30626895 A JP30626895 A JP 30626895A JP H09144998 A JPH09144998 A JP H09144998A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、気密容器からのＵ
Ｆ6ガスの漏れ等、ハロゲン化物ガスの漏洩を検査する
ためのハロゲン化物ガス漏洩検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to U from an airtight container.
The present invention relates to a halide gas leak inspection device for inspecting a halide gas leak such as an F 6 gas leak.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、原子炉で用いられる燃料となる
二酸化ウラン粉末（ＵＯ2）の原料となる濃縮六ふっ化
ウラン（ＵＦ6）は、例えば図２に示すような気密容器
１に充填された状態で、保管、輸送等に供される。図２
に示す気密容器１は、略カプセル状の本体２の略球面の
一部をなす凸曲面状の両端面にそれぞれバルブ３とプラ
グ（密栓）４が設けられ、更に両端面外周に筒状のスカ
ート部５，６がそれぞれ形成されている。このような気
密容器１内に液体状の六ふっ化ウラン（ＵＦ6）が充填
されて、内部で固体化され、気密容器１内の固体以外の
空間にはＵＦ6ガスが存在している。ＵＦ6が充填された
気密容器１内は、通常絶対圧で０．１〜０．２気圧とな
っている。2. Description of the Related Art Generally, enriched uranium hexafluoride (UF 6 ) which is a raw material of uranium dioxide powder (UO 2 ) which is a fuel used in a nuclear reactor is filled in an airtight container 1 as shown in FIG. It is used for storage and transportation in the closed state. FIG.
The airtight container 1 shown in FIG. 1 is provided with a valve 3 and a plug (sealing plug) 4 on both end surfaces of a convex curved surface forming a part of a substantially spherical surface of a substantially capsule-shaped main body 2, and further has a cylindrical skirt on the outer periphery of both end surfaces. Parts 5 and 6 are formed respectively. Liquid uranium hexafluoride (UF 6 ) is filled in the airtight container 1 and solidified therein, and UF 6 gas exists in the space other than the solid in the airtight container 1. The inside of the airtight container 1 filled with UF 6 is usually 0.1 to 0.2 atm in absolute pressure.
【０００３】ところで、上述のような気密容器１内のガ
スの漏洩を検査する必要が生じた場合、漏洩検査の手法
として、一般に図２乃至図４に示す３つが提案されてい
る。バルブ３についての漏洩検査によって、これらの検
査方法を以下に説明する。まず、図２に示す第一の検査
方法は、気密容器１内にＵＦ6に対して安定している窒
素ガスを充填して大気圧以上に加圧し、気密に閉弁され
たバルブ３に石鹸泡を塗布し、窒素ガス等の漏洩による
発泡の有無を観察する、というものである。 図３に示
す第二の検査方法は、気密容器１内にＵＦ6に対して安
定しているヘリウムガスをトレーサーガスとして充填す
る。そして、気密容器１のスカート部５の開口端に例え
ば平板状の治具８を気密状態に取り付けて、バルブ３の
周囲に気密の閉鎖空間９（エンクロージャー）を形成
し、この閉鎖空間９にチューブ１０を介してヘリウムリ
ーク検出機１１を接続している。ヘリウムリーク検出機
１１内の真空ポンプで閉鎖空間９を真空に排気して、圧
力差による気密容器１のバルブ３から閉鎖空間９内への
ヘリウムガスの漏れを、チューブ１０を介してヘリウム
リーク検出機１１で検査するようになっている。図４に
示す第三の検査方法は、気密容器１全体を真空チャンバ
ー１３内に保持し、気密容器１内にトレーサーガスとし
てヘリウムガスを充填した状態で、真空チャンバー１３
を真空引きして、ヘリウムガスのバルブ３等からの漏洩
をヘリウムリーク検出機１１で検査する。When it is necessary to inspect the gas leak in the airtight container 1 as described above, three leak inspection methods are generally proposed as shown in FIGS. 2 to 4. These inspection methods will be described below by the leakage inspection of the valve 3. First, the first inspection method shown in FIG. 2 is to fill the airtight container 1 with nitrogen gas that is stable against UF 6 and pressurize it to a pressure higher than atmospheric pressure, and then soap the valve 3 that is hermetically closed. It is to apply bubbles and observe the presence or absence of bubbles due to leakage of nitrogen gas or the like. In the second inspection method shown in FIG. 3, the airtight container 1 is filled with helium gas that is stable against UF 6 as a tracer gas. Then, for example, a flat plate-shaped jig 8 is attached to the open end of the skirt portion 5 of the airtight container 1 in an airtight state to form an airtight closed space 9 (enclosure) around the valve 3, and a tube is provided in the closed space 9. A helium leak detector 11 is connected via 10. The closed space 9 is evacuated to a vacuum by a vacuum pump in the helium leak detector 11, and a leak of helium gas from the valve 3 of the airtight container 1 into the closed space 9 due to a pressure difference is detected via the tube 10 as a helium leak. It is designed to be inspected by machine 11. In the third inspection method shown in FIG. 4, the entire airtight container 1 is held in the vacuum chamber 13, and the airtight container 1 is filled with helium gas as a tracer gas.
Is evacuated and the helium leak detector 11 inspects for helium gas leakage from the valve 3 or the like.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような検査方法では、窒素ガスやヘリウムガス等のトレ
ーサーガスを気密容器１内に充填する必要があり、気密
容器内部に不純物が混入するという欠点があり、しかも
検査終了後にこれらトレーサーガスを取り除かねばなら
ず、検査工程数が増加して検査コストの増大につながる
欠点もある。また、気密容器１を窒素ガスやヘリウムガ
スで加圧することで、気密容器１からの大量のガス漏れ
を引き起こすおそれが生じるという欠点もあり、特に第
三の検査方法では大きな真空チャンバー１３が必要にな
るから、高価であり、しかも検査に時間がかかるという
欠点もある。本発明は、このような実情に鑑みて、容器
にトレーサーガス等を充填することなく検査することの
できるハロゲン化物ガス漏洩検査装置を提供することを
目的とする。However, in the above-described inspection method, it is necessary to fill the airtight container 1 with a tracer gas such as nitrogen gas or helium gas, and impurities are mixed in the airtight container. However, there is also a drawback that these tracer gases must be removed after the inspection is completed, which increases the number of inspection steps and increases the inspection cost. In addition, there is a disadvantage that pressurizing the airtight container 1 with nitrogen gas or helium gas may cause a large amount of gas leakage from the airtight container 1. In particular, the third inspection method requires a large vacuum chamber 13. Therefore, there is a drawback that it is expensive and the inspection takes time. In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a halide gas leakage inspection device capable of inspecting without filling a container with tracer gas or the like.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明によるハロゲン化
物ガス漏洩検査装置は、ハロゲン化物ガスを含む物質が
充填され内圧が負圧とされた気密容器の、弁体からのハ
ロゲン化物ガスの漏れを検知するハロゲン化物ガス漏洩
検査装置において、弁体の周囲に設けられ気密容器の内
圧より低圧に制御された気密の閉鎖空間と、気密容器内
から弁体を介して閉鎖空間内に漏洩するハロゲン化物ガ
スの濃度を測定する濃度計とを備えていることを特徴と
するものである。従って、気密容器内と閉鎖空間内との
圧力差から、弁体から漏洩するハロゲン化物ガスが閉鎖
空間内に蓄積され、この閉鎖空間内のハロゲン化物ガス
の濃度が検出しようとするハロゲン化物ガスの漏洩率に
相当する濃度（＝漏洩量／閉鎖空間の体積）になったか
否かで、ハロゲン化物ガスの漏洩率が許容漏洩率を下回
っているか否かを検査でき、検査に際してトレーサーガ
ス等を気密容器内に充填する必要がない。SUMMARY OF THE INVENTION A halide gas leakage inspection apparatus according to the present invention prevents a halide gas from leaking from a valve element of an airtight container filled with a substance containing a halide gas and having a negative internal pressure. In a halide gas leakage inspection device that detects, an airtight closed space that is provided around the valve body and is controlled at a pressure lower than the internal pressure of the airtight container, and a halide that leaks from the airtight container into the closed space through the valve body. A densitometer for measuring the concentration of gas is provided. Therefore, due to the pressure difference between the airtight container and the closed space, the halide gas leaking from the valve body is accumulated in the closed space, and the concentration of the halide gas in the closed space causes the halide gas concentration to be detected. It is possible to inspect whether the leakage rate of the halide gas is below the allowable leakage rate by checking whether the concentration (= leakage amount / volume of closed space) corresponding to the leakage rate is reached. There is no need to fill the container.
【０００６】ハロゲン化物ガス濃度計は、気密容器に対
するハロゲン化物ガスの許容漏洩率から漏洩ハロゲン化
物ガスが閉鎖空間内で検査可能な量になるまでの予め設
定された基準時間経過時に、ハロゲン化物ガスの漏洩率
が許容値以下であるか否かを検査するものであることを
特徴とする。濃度計で測定して、基準時間経過時にハロ
ゲン化物ガスの濃度が基準値を下回るか否かによって、
ハロゲン化物ガスの漏れが許容漏洩率を下回るか否か判
定できる。[0006] A halide gas concentration meter uses a halide gas concentration meter when a preset reference time elapses from the permissible leakage rate of the halide gas to the hermetic container to the amount of the leaked halide gas that can be inspected in the closed space. It is characterized by inspecting whether or not the leakage rate of is less than or equal to the allowable value. Measured with a densitometer, depending on whether the concentration of the halide gas is below the reference value when the reference time has elapsed,
It can be determined whether the halide gas leakage is below the allowable leakage rate.
【０００７】ハロゲン化物ガスはＵＦ6ガスであり、濃
度計は気体中のＵＦ6ガスの濃度が水蒸気や水分と反応
して変化したふっ化水素ガスを検査するものであること
を特徴とする。尚、濃度計は気体中のＵＦ6ガスの濃度
が測定できるものであればよく、必ずしもふっ化水素ガ
スに変化することを要求されない。閉鎖空間には、基準
時間経過時点でＵＦ6ガスに対して安定的なガス、例え
ば空気を導入し、この閉鎖空間内のガスを閉鎖空間外に
接続された濃度計に導入するための移送手段が連結され
ていることを特徴とする。閉鎖空間内に漏洩したふっ化
水素ガスが移送用のガスによって濃度計に送られる。閉
鎖空間に濃度計が内蔵され、この閉鎖空間内のハロゲン
化物ガス濃度を直接検査するようにしてもよい。このよ
うにすれば、より構成が簡単になる。The halide gas is UF 6 gas, and the densitometer is characterized in that the concentration of UF 6 gas in the gas inspects hydrogen fluoride gas which has changed due to reaction with water vapor or moisture. The densitometer is only required to be capable of measuring the concentration of UF 6 gas in the gas, and is not necessarily required to change to hydrogen fluoride gas. A transfer means for introducing a gas stable to the UF 6 gas into the enclosed space, for example, air, and introducing the gas in the enclosed space into a densitometer connected to the outside of the enclosed space. Are connected. Hydrogen fluoride gas leaking into the closed space is sent to the densitometer by the gas for transfer. A concentration meter may be built in the closed space and the concentration of the halide gas in the closed space may be directly inspected. By doing so, the configuration becomes simpler.
【０００８】また、濃度計は、閉鎖空間内でのハロゲン
化物ガスの漏洩開始時から濃度計でハロゲン化物ガスを
測定できた時点までの時間を測定するようにしてもよ
い。これによって、測定時間と上述の基準時間を比較判
定することで、漏洩率が許容値以下か否か検査できる。
しかも、この測定時間と濃度計の検出感度（濃度）との
関係で、気密容器におけるハロゲン化物ガスの実際の漏
洩率を測定できることになる。また、濃度計は、漏洩開
始から基準時間以上の所定時間までの漏洩量を測定し、
この漏洩量と閉鎖空間の体積から平均漏洩率を検出する
ことで、ハロゲン化物ガスの漏洩率が許容値以下である
か否かを検査するようにしたものであってもよい。Further, the densitometer may measure the time from the start of leakage of the halide gas in the closed space to the time when the halide gas can be measured by the densitometer. Thereby, by comparing and determining the measurement time and the above-mentioned reference time, it is possible to inspect whether the leakage rate is equal to or less than the allowable value.
Moreover, the actual leak rate of the halide gas in the airtight container can be measured based on the relationship between the measurement time and the detection sensitivity (concentration) of the densitometer. In addition, the densitometer measures the amount of leakage from the start of leakage to a predetermined time longer than the reference time,
By detecting the average leak rate from the leak amount and the volume of the closed space, it may be possible to inspect whether the leak rate of the halide gas is equal to or less than the allowable value.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一つの実施の形態
を図１によって説明するが、上述の従来技術と同様の部
材または部品には同一の符号を用いて、その説明を省略
する。図１は実施の形態による検査装置の概略構成を示
す図である。図１において、閉鎖空間９は、チューブ１
０によって弁１２ａを介して真空ポンプ１２に連結さ
れ、更にチューブ１０は分岐されて空気取入れ弁１６に
連結されている。また、これとは別に、閉鎖空間９はチ
ューブ１４を介してハロゲン化物ガス濃度計１５に連結
されている。ハロゲン化物ガス濃度計１５は、例えばハ
ロゲン化物検出器（名称「ガス検知警報器」（TG-70
0）：バイオニクス機器（株）製）として公知のもので
構成されており、被測定ガスを送り込むことにより、ハ
ロゲン化物ガスの濃度を測定できるようになっている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection device according to an embodiment. In FIG. 1, the closed space 9 is a tube 1.
0 is connected to the vacuum pump 12 via the valve 12a, and the tube 10 is branched and connected to the air intake valve 16. Separately from this, the closed space 9 is connected to a halide gas concentration meter 15 via a tube 14. The halide gas concentration meter 15 is, for example, a halide detector (name “gas detection alarm device” (TG-70
0): known as Bionics Instruments Co., Ltd., and the concentration of the halide gas can be measured by feeding the gas to be measured.
【００１０】次に本実施の形態によるハロゲン化物ガス
漏洩検査装置によるＵＦ6ガスの濃度検査方法について
説明する。まず、図１に示すハロゲン化物ガス漏洩検査
装置において、例えば平板状の治具８でバルブ３を有す
るスカート部５内の閉鎖空間９（エンクロージャー）を
気密に密閉した状態で、真空ポンプ１２で閉鎖空間９を
真空引きする。気密容器１内は絶対圧０．１〜０．２気
圧程度の負圧であるが、閉鎖空間９内の方が低圧になる
ために、バルブ３を介して気密容器１内のＵＦ6ガスが
閉鎖空間９内に漏洩し得ることになる。この場合の漏洩
量は、ＩＳＯ（１９９３年ドラフトＮ）による次式で求
められる。Next, a method for inspecting the concentration of UF 6 gas by the halide gas leakage inspection apparatus according to this embodiment will be described. First, in the halide gas leakage inspection apparatus shown in FIG. 1, a vacuum pump 12 closes a closed space 9 (enclosure) in a skirt portion 5 having a valve 3 with a flat jig 8 in an airtight manner. The space 9 is evacuated. The inside of the airtight container 1 has a negative pressure of about 0.1 to 0.2 atm, but the inside of the closed space 9 has a lower pressure, so that the UF 6 gas in the airtight container 1 flows through the valve 3. It may leak into the enclosed space 9. The leakage amount in this case is calculated by the following formula based on ISO (Draft N in 1993).
【００１１】[0011]
【数１】 (Equation 1)
【００１２】但し、Ｌ：漏洩量（atm cc/s）、Ｄ：漏洩
孔径（cm）、ａ：漏洩孔の長さ（cm）、η：流体の粘度
（cp）、Ｐu：上流の圧力（atm）、Ｐd：下流の圧力（a
tm）、Ｔ：温度（Ｋ）、Ｍ：流体の分子量。尚、漏洩孔
とは、流体（ガス）の漏洩量に基づいて計算される仮想
の孔をいう。ところで、許容漏洩率を空気に換算して、
１×１０-3 std cc/s と規定した場合には、漏洩率の
測定の際には、この数値の感度で測定できることが要求
される。空気の漏洩量Ｌ＝１×１０-3 std cc/sとした
場合の、これに相当する漏洩孔径Ｄを（１）式で求める
と、約２×１０-3 cm となる。However, L: leakage amount (atm cc / s), D: leakage hole diameter (cm), a: leakage hole length (cm), η: fluid viscosity (cp), Pu: upstream pressure ( atm), Pd: Downstream pressure (a
tm), T: temperature (K), M: molecular weight of fluid. The leak hole is a virtual hole calculated based on the amount of fluid (gas) leak. By the way, convert the allowable leak rate to air,
When 1 × 10 −3 std cc / s is specified, it is required to be able to measure with the sensitivity of this value when measuring the leakage rate. When the leak amount L of air is set to 1 × 10 −3 std cc / s, the leak hole diameter D corresponding to the leak amount is about 2 × 10 −3 cm when calculated by the equation (1).
【００１３】そこで、気密容器１内のＵＦ6の温度を仮
に２５℃（Ｔ）とし、ＵＦ6ガスの蒸気圧約０．１５atm
を気密容器１内圧（＝Ｐu）とし、真空引きされた閉鎖
空間９内（０atm＝Ｐd）へのＵＦ6ガスの漏洩を考えて
みる。流体を空気として求めた漏洩孔径Ｄ＝２×１０-3
cm により、上記（１）式からＵＦ6ガスの漏洩量Ｌを
求めると、約２．５×１０-5 atm cc/s となる。つま
り、ＵＦ6ガスを充填した気密容器１では、ＵＦ6ガスの
許容漏洩率は、約２．５×１０-5 atm cc/s となり、
漏洩検査装置は少なくともこの感度で測定できることが
必要であるといえる。次に閉鎖空間９の容積は、気密容
器１の径を３０インチ（76.2 cm ）とすると、約１×１
０5 cc となる。Therefore, the temperature of UF 6 in the airtight container 1 is temporarily set to 25 ° C. (T), and the vapor pressure of UF 6 gas is about 0.15 atm.
Let be the internal pressure (= Pu) of the airtight container 1 and consider the leakage of UF 6 gas into the vacuumed closed space 9 (0atm = Pd). Leakage hole diameter D = 2 × 10 -3 obtained by using fluid as air
When the leak amount L of the UF 6 gas is obtained from the above formula (1) using cm, it is about 2.5 × 10 −5 atm cc / s. That is, in the hermetic vessel 1 filled with UF 6 gas, the allowable leak rate of the UF 6 gas is about 2.5 × 10 -5 atm cc / s, and the
It can be said that the leak inspection device needs to be able to measure at least this sensitivity. Next, if the diameter of the airtight container 1 is 30 inches (76.2 cm), the volume of the closed space 9 is about 1 × 1.
It becomes 0 5 cc.
【００１４】尚、漏洩するＵＦ6ガスの大部分は閉鎖空
間９内の水蒸気と反応して、次式（３）に示すようにふ
っ化水素に変わることになり、体積が４倍になる。 ＵＦ6＋２Ｈ2Ｏ→ＵＯ2Ｆ2＋４ＨＦ （３） また、ハロゲン化物ガス濃度計１５によるふっ化水素の
感度（検出能力）は、０．５ｐｐｍ以上であるから、閉
鎖空間９内に０．５ｐｐｍ以上のふっ化水素が蓄積され
る基準時間ｔ（分）を求めると、 基準時間ｔ（分）＝０．５×１０-6／｛（２．５×１０-5（atm cc/s )×４× ６０（s/分））／（１（atm）×１．０×１０5（cc））｝ ＝約８（分） （２） となる。よって、許容漏洩率に相当するＵＦ6ガスが閉
鎖空間９内に漏洩したと仮定して、真空引きしてから約
８分で検出可能な濃度のふっ化水素ガスが閉鎖空間９内
に溜ることになる。その後、閉鎖空間９内に、空気取入
れ弁１６から空気を導入し、空気取入れ弁１６を閉じ
る。そして、弁１５ａを開き、ふっ化水素ガスをハロゲ
ン化物ガス濃度計１５に内蔵されたポンプ（図示せず）
により濃度計内の濃度測定部（図示せず）に導入して、
ふっ化水素ガスの濃度測定を行う。Most of the leaked UF 6 gas reacts with the water vapor in the closed space 9 to be converted into hydrogen fluoride as shown in the following formula (3), and the volume becomes four times. UF 6 + 2H 2 O → UO 2 F 2 + 4HF (3) Further, since the sensitivity (detection ability) of hydrogen fluoride by the halide gas concentration meter 15 is 0.5 ppm or more, 0.5 ppm in the closed space 9 When the reference time t (minute) for accumulating the above hydrogen fluoride is calculated, the reference time t (minute) = 0.5 × 10 −6 /{(2.5×10 −5 (atm cc / s) × 4 × 60 (s / min)) / (1 (atm) × 1.0 × 10 5 (cc))} = about 8 (min) (2) Therefore, assuming that the UF 6 gas corresponding to the allowable leakage rate has leaked into the closed space 9, a detectable concentration of hydrogen fluoride gas is accumulated in the closed space 9 in about 8 minutes after evacuation. become. After that, air is introduced from the air intake valve 16 into the closed space 9 to close the air intake valve 16. Then, the valve 15a is opened, and a hydrogen fluoride gas pump (not shown) built in the halide gas concentration meter 15 is provided.
Introduced into the concentration measuring unit (not shown) in the densitometer,
Measure the concentration of hydrogen fluoride gas.
【００１５】このようにして、基準時間ｔ（約８分）経
過後に測定した濃度が規定値（０．５ｐｐｍ）以下であ
れば、許容漏洩率を下回る漏洩率と判定される。尚、判
定の基準となる濃度（０．５ｐｐｍ）は必ずしも濃度計
１５の検出限界値に設定する必要はなく、より大きな値
に設定することもできる。この場合には、その基準とな
る濃度に対応する基準時間ｔを設定すればよい。また、
プラグ４についても、バルブ３と同様に検査できる。In this way, if the concentration measured after the elapse of the reference time t (about 8 minutes) is less than the specified value (0.5 ppm), it is determined that the leakage rate is below the allowable leakage rate. The concentration (0.5 ppm) serving as a criterion for determination does not necessarily have to be set to the detection limit value of the densitometer 15 and can be set to a larger value. In this case, the reference time t corresponding to the reference concentration may be set. Also,
The plug 4 can be inspected similarly to the valve 3.
【００１６】上述のように、本実施の形態によれば、気
密容器１内に窒素ガスやヘリウムガス等のトレーサーガ
スを充填したり、気密容器１を加圧したりすることな
く、バルブ３やプラグ４の漏洩率が許容漏洩率内である
か否かを判断でき、比較的小さな検査装置で、簡単に検
査することができる。As described above, according to the present embodiment, the valve 3 and the plug are plugged without filling the airtight container 1 with a tracer gas such as nitrogen gas or helium gas or pressurizing the airtight container 1. It is possible to judge whether the leakage rate of No. 4 is within the allowable leakage rate, and it is possible to easily inspect with a relatively small inspection device.
【００１７】尚、別の実施形態として、ハロゲン化物ガ
ス濃度計１５を閉鎖空間９内に直接取り付けるようにし
てもよい。このような構成とすれば、真空状態の閉鎖空
間９内にＵＦ6ガスを漏洩させ、基準時間（ｔ）経過時
に、ハロゲン化物ガス濃度計１５によって直接閉鎖空間
９内のふっ化水素ガスを検査できることになる。従っ
て、構成がいっそう簡単になり、検査工程数と検査コス
トを低減させることができる。As another embodiment, the halide gas concentration meter 15 may be directly mounted in the closed space 9. With such a configuration, the UF 6 gas is leaked into the closed space 9 in a vacuum state, and when the reference time (t) has elapsed, the halide gas concentration meter 15 directly inspects the hydrogen fluoride gas in the closed space 9. You can do it. Therefore, the structure is further simplified, and the number of inspection steps and the inspection cost can be reduced.
【００１８】また、別の実施の形態として、ハロゲン化
物ガス濃度計１５による検査方法は、真空引きした閉鎖
空間９内でのふっ化水素ガスの漏洩開始時からこの濃度
計１５でふっ化水素ガスを測定できた時点までの時間ｆ
を測定するようにしてもよい。これによって、測定時間
ｆと上述の基準時間（ｔ）を比較判定することで、漏洩
率が許容値以下か否か検査できる。しかも、この測定時
間ｆと濃度計の検出感度（濃度）との関係で、気密容器
におけるハロゲン化物ガスの実際の漏洩率を測定できる
ことになる。従って、実際の漏洩率が許容漏洩率以上の
場合（ｆ≦ｔ）や、或いは実際の漏洩率が許容漏洩率を
下回る場合（ｆ＞ｔ）でも、実際の漏洩率の値を測定で
きることになる。この実施の形態の場合、ハロゲン化物
ガス濃度計１５は閉鎖空間９に内蔵する構成であること
が好ましいが、図１に示す構成のハロゲン化物ガス漏洩
検査装置のようにハロゲン化物ガス濃度計１５が閉鎖空
間９の外部に取り付けられていても、閉鎖空間９を真空
引きしてあるから、空気取入れ弁１６を削除する構成と
して、ハロゲン化物ガスを継続的にハロゲン化物ガス濃
度計１５に導入して、継続的に測定することが可能であ
る。As another embodiment, the method for inspecting with the halide gas concentration meter 15 is such that the concentration of the hydrogen fluoride gas with the concentration meter 15 starts from the beginning of leakage of the hydrogen fluoride gas in the vacuumed closed space 9. The time f until the measurement of
May be measured. Thus, by comparing and determining the measurement time f and the above-mentioned reference time (t), it is possible to inspect whether the leakage rate is equal to or less than the allowable value. Moreover, the actual leakage rate of the halide gas in the airtight container can be measured based on the relationship between the measurement time f and the detection sensitivity (concentration) of the densitometer. Therefore, even when the actual leakage rate is equal to or higher than the allowable leakage rate (f ≦ t) or when the actual leakage rate is lower than the allowable leakage rate (f> t), the value of the actual leakage rate can be measured. . In the case of this embodiment, it is preferable that the halide gas concentration meter 15 be built in the closed space 9. However, as in the halide gas leakage inspection device having the configuration shown in FIG. Even if it is attached to the outside of the closed space 9, since the closed space 9 is evacuated, the air intake valve 16 is removed so that the halide gas is continuously introduced into the halide gas concentration meter 15. , It is possible to measure continuously.
【００１９】また、図１に示す実施の形態では、ハロゲ
ン化物ガス漏洩検査装置を、基準となる許容漏洩率を越
える漏洩の有無を検査する装置としたが、これに代え
て、ハロゲン化物ガス濃度計１５は、漏洩開始から基準
時間（ｔ）以上の所定時間ｂまでの漏洩量を測定し、こ
の漏洩量と閉鎖空間９の体積から平均漏洩率を検出する
ことで、ハロゲン化物ガスの漏洩率が許容値以下である
か否かを検査するようにしたものであってもよい。Further, in the embodiment shown in FIG. 1, the halide gas leakage inspection apparatus is an apparatus for inspecting for the presence or absence of leakage exceeding the standard allowable leakage rate, but instead of this, the halide gas concentration The total 15 measures the amount of leakage from the start of leakage to a predetermined time b longer than the reference time (t), and detects the average leakage rate from this amount of leakage and the volume of the closed space 9 to determine the leakage rate of the halide gas. It may be arranged to inspect whether or not is less than or equal to the allowable value.
【００２０】尚、上述の実施の形態では、ハロゲン化物
ガス濃度計１５として公知のガス検知警報器を用いた
が、これに代えて他のＵＦ6ガスやふっ化水素ガスの濃
度計を用いてもよい。また、上述の実施の形態では、閉
鎖空間９をスカート部５と治具８を用いて構成するよう
にしたが、これに代えてカップ状の治具をバルブ３やプ
ラグ４に直接かぶせて気密の閉鎖空間を形成するように
してもよい。尚、本発明は、ハロゲン系のガスであれ
ば、ＵＦ6ガス以外の他のハロゲンガスを検査すること
も可能である。また、バルブ３とプラグ４は弁体を構成
するが、本明細書でいう弁体は、バルブ３とプラグ４に
限定されることなく、気密容器のハロゲン化物ガス漏洩
可能な部位の総称であるものとする。In the above embodiment, a known gas detection alarm is used as the halide gas concentration meter 15, but instead of this, another concentration meter for UF 6 gas or hydrogen fluoride gas is used. Good. Further, in the above-described embodiment, the closed space 9 is configured by using the skirt portion 5 and the jig 8. However, instead of this, a cup-shaped jig is directly covered on the valve 3 or the plug 4 to be airtight. The closed space may be formed. The present invention can also inspect halogen gas other than UF 6 gas as long as it is a halogen-based gas. Further, the valve 3 and the plug 4 constitute a valve body, but the valve body in the present specification is not limited to the valve 3 and the plug 4, and is a general term for a portion of the hermetic container where a halide gas can leak. I shall.
【００２１】[0021]
【発明の効果】上述のように、本発明に係るハロゲン化
物ガス漏洩検査装置は、弁体の周囲に設けられ気密容器
の内圧より低圧に制御された気密の閉鎖空間と、気密容
器内から弁体を介して閉鎖空間内に漏洩するハロゲン化
物ガスの濃度を測定する濃度計とを備えているから、気
密容器内と閉鎖空間内との圧力差から弁体を介して漏洩
するハロゲン化物ガスが、閉鎖空間内で濃度計の検出感
度に相当する量（濃度）になった時点でハロゲン化物ガ
スの漏洩を検査でき、そのため、検査に際してトレーサ
ーガス等を気密容器内に充填したり検査後に除去したり
する必要がなく作業が容易で迅速となり、検査に際して
気密容器内部を加圧することもないから気密容器から大
量のハロゲン化物ガスが漏出するおそれもなく、しかも
検査装置の構成が簡単になる。また、濃度計は、気密容
器の許容漏洩率から漏洩ハロゲン化物ガスが閉鎖空間内
で検査可能な濃度になるまでの予め設定された基準時間
経過時に、ハロゲン化物ガスを検査するようにしたもの
であるから、検査が正確に行える。また、閉鎖空間に濃
度計が内蔵され、この閉鎖空間内のハロゲン化物ガス濃
度を直接測定するようにしたから、構成がよりいっそう
簡単になる。また、濃度計は、閉鎖空間内でのハロゲン
化物ガスの漏洩開始時から濃度計でハロゲン化物ガスを
測定できた時点までの時間を測定するようにしたから、
測定時間と上述の基準時間を比較判定することで、漏洩
率が許容値以下か否か検査でき、しかも、この測定時間
と濃度計の検出感度（濃度）との関係で、気密容器にお
けるハロゲン化物ガスの実際の漏洩率を測定できること
になる。また、濃度計は、漏洩開始から基準時間以上の
所定時間までの漏洩量と閉鎖空間の体積から平均漏洩率
を検出することで、ハロゲン化物ガスの漏洩率が許容値
以下であるか否かを検査するようにしたから、ハロゲン
化物ガスの漏洩量を測定することで、ハロゲン化物ガス
の漏洩率の検査ができる。As described above, the halide gas leakage inspection apparatus according to the present invention has an airtight closed space which is provided around the valve body and is controlled to have a pressure lower than the internal pressure of the airtight container, and a valve from the airtight container. Since it is equipped with a concentration meter that measures the concentration of halide gas that leaks into the closed space through the body, the halide gas that leaks through the valve body due to the pressure difference between the airtight container and the closed space The leakage of halide gas can be inspected when it reaches the amount (concentration) equivalent to the detection sensitivity of the densitometer in the closed space.Therefore, tracer gas etc. should be filled in the airtight container or removed after the inspection during the inspection. The work is easy and quick because there is no need to do so, and there is no need to pressurize the inside of the airtight container at the time of inspection, so there is no danger of leaking a large amount of halide gas from the airtight container, and the structure of the inspection device is Simply made. In addition, the densitometer is designed to inspect the halide gas when a preset reference time elapses from the allowable leak rate of the airtight container to the concentration at which the leaked halide gas can be inspected in the closed space. Therefore, the inspection can be performed accurately. Moreover, since the concentration meter is built in the closed space and the concentration of the halide gas in the closed space is directly measured, the structure is further simplified. In addition, the densitometer measures the time from the start of leakage of the halide gas in the closed space to the time when the halide gas can be measured by the densitometer,
By comparing and determining the measurement time with the above-mentioned reference time, it is possible to inspect whether the leak rate is below the allowable value, and furthermore, due to the relationship between this measurement time and the detection sensitivity (concentration) of the densitometer, the halide in the airtight container It will be possible to measure the actual leak rate of the gas. In addition, the densitometer detects whether the leakage rate of the halide gas is below the allowable value by detecting the average leakage rate from the leakage amount and the volume of the enclosed space from the start of leakage to a predetermined time longer than the reference time. Since the inspection is performed, the leakage rate of the halide gas can be inspected by measuring the leakage amount of the halide gas.
【図１】本発明の一つの実施の形態であるハロゲン化物
ガス漏洩検査装置の概略構成を示すものである。FIG. 1 shows a schematic configuration of a halide gas leakage inspection device according to an embodiment of the present invention.
【図２】気密容器の一般的な構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a general configuration of an airtight container.
【図３】従来のハロゲン化物ガス漏洩検査装置の概略構
成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional halide gas leakage inspection device.
【図４】従来の別のハロゲン化物ガス漏洩検査装置の概
略構成を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of another conventional halide gas leakage inspection device.
１ 気密容器 ３ バルブ ９ 閉鎖空間 １５ ハロゲン化物ガス濃度計 1 Airtight container 3 Valve 9 Closed space 15 Halide gas concentration meter
フロントページの続き (72)発明者 宮澤 隆 東京都文京区小石川１−３−25 小石川大 国ビル 三菱マテリアル株式会社原子力事 業センター内Continued on the front page (72) Inventor Takashi Miyazawa 1-3-25 Koishikawa, Bunkyo-ku, Tokyo Koishikawa Daikoku Building Mitsubishi Materials Corporation Nuclear Business Center
Claims (7)
内圧が負圧とされた気密容器の、弁体からのハロゲン化
物ガスの漏れを検知するハロゲン化物ガス漏洩検査装置
において、 前記弁体の周囲に設けられ前記気密容器の内圧より低圧
に制御された気密の閉鎖空間と、前記気密容器内から弁
体を介して閉鎖空間内に漏洩するハロゲン化物ガスの濃
度を測定する濃度計とを備えていることを特徴とするハ
ロゲン化物ガス漏洩検査装置。1. A halide gas leakage inspection device for detecting a leakage of a halide gas from a valve body of an airtight container filled with a substance containing a halide gas and having a negative internal pressure. And an airtight closed space controlled to be lower than the internal pressure of the airtight container, and a concentration meter for measuring the concentration of halide gas leaking from the airtight container into the closed space via the valve body. Halide gas leakage inspection device characterized by
ロゲン化物ガスの許容漏洩率から漏洩ハロゲン化物ガス
が前記閉鎖空間内で検査可能な量になるまでの予め設定
された基準時間経過時に、ハロゲン化物ガスの漏洩率が
許容値以下であるか否かを検査するようにしたものであ
ることを特徴とする請求項１に記載のハロゲン化物ガス
漏洩検査装置。2. The densitometer, when the preset reference time elapses from the permissible leakage rate of the halide gas to the airtight container to a testable amount of the leaked halide gas in the closed space, The halide gas leakage inspection apparatus according to claim 1, wherein it is configured to inspect whether the leakage rate of the halide gas is equal to or less than an allowable value.
り、前記濃度計はＵＦ6ガスが水蒸気と反応して変化し
たふっ化水素ガスの濃度を測定するものであることを特
徴とする請求項１または２に記載のハロゲン化物ガス漏
洩検査装置。3. The halide gas is UF 6 gas, and the densitometer measures the concentration of hydrogen fluoride gas changed by the reaction of UF 6 gas with water vapor. 1. The halide gas leakage inspection device according to 1 or 2.
点でＵＦ6ガスに対して安定的なガスを導入すること
で、この閉鎖空間内のガスを閉鎖空間外に接続された前
記濃度計に導入するための移送手段が連結されているこ
とを特徴とする請求項３に記載のハロゲン化物ガス漏洩
検査装置。4. The concentration meter connected to the outside of the closed space by introducing a gas stable to the UF 6 gas into the closed space when the reference time has elapsed. 4. A halide gas leakage inspection device according to claim 3, further comprising a transfer means connected to the transfer means for introducing the gas.
この閉鎖空間内のハロゲン化物ガスを直接検査するよう
にしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記
載のハロゲン化物ガス漏洩検査装置。5. The densitometer is built in the closed space,
The halide gas leakage inspection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the halide gas in the closed space is directly inspected.
ゲン化物ガスの漏洩開始時から前記濃度計でハロゲン化
物ガスを測定できた時点までの時間を測定するようにし
たことを特徴とする請求項１に記載のハロゲン化物ガス
漏洩検査装置。6. The densitometer is configured to measure a time from when the halide gas starts leaking in the closed space to when the halide gas can be measured by the densitometer. The halide gas leakage inspection device according to claim 1.
上の所定時間までの漏洩量と前記閉鎖空間の体積から平
均漏洩率を検出することで、ハロゲン化物ガスの漏洩率
が許容値以下であるか否かを検査するようにしたもので
あることを特徴とする請求項１に記載のハロゲン化物ガ
ス漏洩検査装置。7. The densitometer detects an average leak rate from a leak amount from a start of leak to a predetermined time longer than a reference time and a volume of the closed space, so that the leak rate of the halide gas is below an allowable value. The halide gas leakage inspection apparatus according to claim 1, which is configured to inspect whether there is any.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30626895A JPH09144998A (en) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | Device for checking leakage of halogenated gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30626895A JPH09144998A (en) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | Device for checking leakage of halogenated gas |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09144998A true JPH09144998A (en) | 1997-06-03 |
Family
ID=17955044
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30626895A Withdrawn JPH09144998A (en) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | Device for checking leakage of halogenated gas |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09144998A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004072985A1 (en) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Westinghouse Electric Company Llc | Method and apparatus for shipping uranium hexafluoride |
| CN107991029A (en) * | 2016-10-26 | 2018-05-04 | 广舜检测技术（上海）有限公司 | A kind of lithium ion battery leakage detection apparatus and its leak hunting method using general densimeter |
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| CN114577409A (en) * | 2020-11-30 | 2022-06-03 | 宝能汽车集团有限公司 | Detection method and detection system for hydrogen leakage rate |
-
1995
- 1995-11-24 JP JP30626895A patent/JPH09144998A/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN109827718B (en) * | 2019-03-14 | 2019-11-08 | 北京卫星环境工程研究所 | The verifying device and verification method of the pressure maintaining leak detection scheme in spacecraft launching site channel |
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