JPH09139350A - Oil trap - Google Patents
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- JPH09139350A JPH09139350A JP7317121A JP31712195A JPH09139350A JP H09139350 A JPH09139350 A JP H09139350A JP 7317121 A JP7317121 A JP 7317121A JP 31712195 A JP31712195 A JP 31712195A JP H09139350 A JPH09139350 A JP H09139350A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、気相成長装置な
どに用いられるオイルトラップに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oil trap used in a vapor phase growth apparatus or the like.
【０００２】[0002]
【０００３】一般的に、半導体の成長に用いられる気相
成長装置において成長に用いられるガスは、毒性や発火
性を有し、外部に漏洩すると非常に危険であるため、そ
の漏洩防止に十分に注意を払う必要がある。また、この
成長に用いられるガスとしては高純度のものが用いられ
るが、空気、特に酸素が気相成長装置の配管内に混入す
ると、成長される結晶の品質が著しく劣化する。このた
め、メンテナンスなどの際に気相成長装置においてガス
の供給を止める必要が生じた場合は、この気相成長装置
の配管内へ空気が入り込まないように十分に注意を払わ
なければならない。Generally, a gas used for growth in a vapor phase growth apparatus used for growing a semiconductor is toxic and ignitable and is extremely dangerous if leaked to the outside. You need to be careful. Although a high-purity gas is used as the gas used for this growth, if air, particularly oxygen, is mixed in the pipe of the vapor phase growth apparatus, the quality of the grown crystal is significantly deteriorated. Therefore, when it is necessary to stop the gas supply in the vapor phase growth apparatus for maintenance or the like, sufficient care must be taken to prevent air from entering the piping of the vapor phase growth apparatus.
【０００４】これらの対策の一つとして、気相成長装置
に接続される除害装置やスクラバなどのガス処理装置に
至る反応器の下流のリアクトラインの途中および反応器
を通らないベントラインの途中にオイルトラップが接続
されている。このオイルトラップは、ガスが流れている
のを確認するためのモニタ、メンテナンスなどの際にガ
スの供給を止めた際に不純なガスが逆流しないようにす
るための液面シール、反応生成物のトラップなどの役割
を果たしている。As one of these countermeasures, in the middle of the reactor line downstream of the reactor leading to a gas treatment device such as a scrubber or a scrubber connected to the vapor phase growth device and in the middle of a vent line not passing through the reactor. The oil trap is connected to. This oil trap is a monitor for confirming that gas is flowing, a liquid level seal for preventing backflow of impure gas when the gas supply is stopped during maintenance, and a reaction product. It plays a role as a trap.
【０００５】図５は従来のオイルトラップを示す。ここ
で、図５Ａは側面図、図５Ｂは上面図、図５Ｃは図５Ｂ
のＣ−Ｃ線に沿っての断面図である。FIG. 5 shows a conventional oil trap. 5A is a side view, FIG. 5B is a top view, and FIG. 5C is FIG. 5B.
It is sectional drawing along the CC line of FIG.
【０００６】図５に示すように、この従来のオイルトラ
ップにおいては、例えばパイレックスガラスからなり、
気密性の円筒形の容器１０１中に不活性オイル１０２が
入れられる。この容器１０１の上部には、ガス導入管１
０３およびガス排出管１０４がそれぞれ接続されてい
る。これらのガス導入管１０３およびガス排出管１０４
は、容器１０１の上面に対してほぼ垂直に接続され、容
器１０１の外部にあるそれぞれの一端はほぼ直角に折れ
曲がって水平になっている。さらに、ガス導入管１０３
は、容器１０１中に入れられた不活性オイル１０２の液
面下に達する長さを有する。符号１０５は容器１０１の
固定用台座を示す。As shown in FIG. 5, this conventional oil trap is made of, for example, Pyrex glass,
An inert oil 102 is placed in an airtight cylindrical container 101. At the top of this container 101, a gas introduction pipe 1
03 and the gas exhaust pipe 104 are connected to each other. These gas introduction pipe 103 and gas discharge pipe 104
Are connected substantially vertically to the upper surface of the container 101, and one ends of the outside of the container 101 are bent substantially at right angles to be horizontal. Furthermore, the gas introduction pipe 103
Has a length reaching below the liquid surface of the inert oil 102 contained in the container 101. Reference numeral 105 indicates a pedestal for fixing the container 101.
【０００７】ガス導入管１０３およびガス排出管１０４
のそれぞれの一端は、Ｏリング（図示せず）を用いた接
合部１０６を介してフレキシブルチューブ１０７の一端
と接続されている。ガス導入管１０３およびガス排出管
１０４のそれぞれに接続されたこのフレキシブルチュー
ブ１０７の他端は、メタルパッキン（図示せず）を用い
た接合部１０８を介して気相成長装置のリアクトライン
またはベントラインを構成する配管１０９と接続されて
いる。ここで、ガス導入管１０３またはガス排出管１０
４と配管１０９との接続にフレキシブルチューブ１０７
が用いられるのは、容器１０１はガラス製で破損しやす
いため、ガス導入管１０３およびガス排出管１０４の接
合部１０６に負荷がかからないようにするためである。Gas introduction pipe 103 and gas discharge pipe 104
One end of each of these is connected to one end of the flexible tube 107 via a joint 106 using an O-ring (not shown). The other end of the flexible tube 107 connected to each of the gas introduction pipe 103 and the gas discharge pipe 104 is connected to a reactor 108 or a vent line of the vapor phase growth apparatus via a joint 108 using a metal packing (not shown). Is connected to the pipe 109 that constitutes the. Here, the gas introduction pipe 103 or the gas discharge pipe 10
4 is connected to the pipe 109. The flexible tube 107
The reason why is used is that the container 101 is made of glass and is easily broken, so that no load is applied to the joint portion 106 of the gas introduction pipe 103 and the gas discharge pipe 104.
【０００８】上述のように構成されたオイルトラップに
おいては、配管１０９およびフレキシブルチューブ１０
７からガス導入管１０３を通じて容器１０１に導入され
たガスは、不活性オイル１０２の液面下に達するガス導
入管１０３の一端から気泡状になって出てきて（バブリ
ング）、ガス排出管１０４からこのオイルトラップの外
部に排出され、フレキシブルチューブ１０７および配管
１０９を経て、除害装置（図示せず）などに導入され
る。In the oil trap constructed as described above, the pipe 109 and the flexible tube 10 are provided.
The gas introduced into the container 101 through the gas introduction pipe 103 from 7 comes out in the form of bubbles from one end of the gas introduction pipe 103 reaching the liquid level of the inert oil 102 (bubbled), and then from the gas discharge pipe 104. It is discharged to the outside of this oil trap, and introduced into a harm removal device (not shown) or the like via the flexible tube 107 and the pipe 109.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
に気相成長装置に接続されたオイルトラップにおいて
は、ガス導入管１０３から容器１０１に導入されたガス
が不活性オイル１０２中でバブリングされることによ
り、不活性オイル１０２がミスト状となって、ガス排出
管１０４を通ってオイルトラップの外部に飛散するため
に、容器１０１中の不活性オイル１０２の液量が減少す
る。そこで、減少した分の不活性オイル１０２を容器１
０１中に補充する必要がある。By the way, in the oil trap connected to the vapor phase growth apparatus as described above, the gas introduced into the container 101 from the gas introduction pipe 103 is bubbled in the inert oil 102. As a result, the inert oil 102 becomes a mist and scatters to the outside of the oil trap through the gas discharge pipe 104, so that the amount of the inert oil 102 in the container 101 decreases. Therefore, the reduced amount of the inert oil 102 is added to the container 1
Need to be replenished during 01.
【００１０】しかしながら、上述のように構成された従
来のオイルトラップにおいては、容器１０１中への不活
性オイル１０２の補充は、ガス導入管１０３またはガス
排出管１０４からフレキシブルチューブ１０７を取り外
し、ガス導入管１０３またはガス排出管１０４の一端か
ら不活性オイル１０２を注入することにより行われる。
このため、このフレキシブルチューブ１０７を取り外す
際や再度取り付ける際には、接合部１０６に負荷がかか
らないように十分に注意して作業しないと、接合部１０
６や容器１０１が破損してしまうおそれがあった。However, in the conventional oil trap constructed as described above, the inert oil 102 is replenished in the container 101 by removing the flexible tube 107 from the gas introduction pipe 103 or the gas discharge pipe 104. It is performed by injecting the inert oil 102 from one end of the pipe 103 or the gas discharge pipe 104.
Therefore, when detaching or reattaching the flexible tube 107, the joint portion 10 must be carefully operated so as not to apply a load to the joint portion 106.
6 and the container 101 may be damaged.
【００１１】したがって、この発明の目的は、オイルト
ラップの容器へのオイルの補充の際に、外部配管との接
合部や容器が破損するおそれがなく、しかも容易にオイ
ルの補充を行うことができるオイルトラップを提供する
ことにある。Therefore, an object of the present invention is to easily replenish the oil in the container of the oil trap without the risk of damaging the joint with the external pipe and the container. To provide an oil trap.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明によるオイルトラップは、オイルを入れる
ための気密性の容器と、容器に接続され、かつ、容器に
オイルが入れられたときのオイルの液面下に達する長さ
を有するガス導入管と、容器に接続されたガス排出管と
を有するオイルトラップにおいて、容器にオイル注入管
が接続されていることを特徴とするものである。In order to achieve the above object, an oil trap according to the present invention is provided with an airtight container for containing oil, and when the oil trap is connected to the container and oil is contained in the container. In an oil trap having a gas introduction pipe having a length reaching below the liquid surface of the oil and a gas discharge pipe connected to the container, an oil injection pipe is connected to the container. .
【００１３】この発明の好適な一実施形態においては、
オイル注入管は容器の上部に接続される。In a preferred embodiment of the present invention,
The oil injection pipe is connected to the top of the container.
【００１４】この発明のさらに好適な一実施形態におい
ては、オイル注入管は容器の上面に対してほぼ垂直に接
続される。In a further preferred embodiment of the present invention, the oil injection pipe is connected substantially perpendicular to the upper surface of the container.
【００１５】この発明の好適な他の実施形態において
は、容器の手前でオイル注入管にガス排出管が接続され
る。In another preferred embodiment of the present invention, a gas discharge pipe is connected to the oil injection pipe before the container.
【００１６】この発明の好適なさらに他の実施形態にお
いては、オイル注入管はオイルの液面下に達する長さを
有する。In still another preferred embodiment of the present invention, the oil injection pipe has a length that extends below the oil level.
【００１７】この発明の典型的な一実施形態において、
このオイルトラップは、ガスを原料とする気相成長装置
に用いられる。具体的には、このオイルトラップは、ガ
スを原料とする気相成長装置に接続されたガス処理装置
に至る配管の途中に接続される。In an exemplary embodiment of the invention,
This oil trap is used in a vapor phase growth apparatus using gas as a raw material. Specifically, this oil trap is connected in the middle of a pipe leading to a gas processing apparatus connected to a vapor phase growth apparatus using gas as a raw material.
【００１８】上述のように構成された、この発明による
オイルトラップによれば、オイルを入れるための容器に
ガス導入管およびガス排出管のほかにオイル注入管が接
続されているので、このオイル注入管を通じて容器中に
オイルを補充することができる。このため、従来のオイ
ルトラップのように、オイル補充の際にガス導入管また
はガス排出管に接続されたフレキシブルチューブを取り
外す必要がないので、このオイルの補充の際に外部配管
との接合部や容器が破損するおそれがなくなる。According to the oil trap of the present invention constructed as described above, the oil inlet pipe is connected to the oil inlet container in addition to the gas inlet pipe and the gas outlet pipe. Oil can be refilled into the container through a tube. For this reason, unlike the conventional oil trap, it is not necessary to remove the flexible tube connected to the gas introduction pipe or the gas discharge pipe when replenishing the oil, so when replenishing the oil, a joint with an external pipe or The risk of container damage is eliminated.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。なお、実施形態の図２
〜図４において、同一または対応する部分には同一の符
号を付す。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that FIG.
4A and 4B, the same or corresponding parts are designated by the same reference numerals.
【００２０】図１は、この発明の実施形態によるオイル
トラップが用いられる有機金属化学気相成長（ＭＯＣＶ
Ｄ）装置を示す略線図である。FIG. 1 shows a metal organic chemical vapor deposition (MOCV) method using an oil trap according to an embodiment of the present invention.
D) A schematic diagram showing the device.
【００２１】図１に示すように、このＭＯＣＶＤ装置に
おいては、水素（Ｈ2 ）純化装置１により高純度化され
たＨ2 ガスがバルブＶ1 を通じてキャリアガスとしてバ
ブラ２内に供給される。バブラ２内には、例えばＩＩＩ
−Ｖ族化合物半導体やＩＩ−ＶＩ族化合物半導体などの
成長に用いられる有機金属化合物やドーパントなどが入
っている。符号Ｖ2 、Ｖ3 、Ｖ4 はこのバブラ２に接続
されたバルブを示す。また、符号３はガスボンベを示
す。このガスボンベ３には、例えばＩＩＩ−Ｖ族化合物
半導体の成長に用いられる原料ガスやドーパントなどが
入っている。このガスボンベ３にはレギュレータ４が接
続されている。As shown in FIG. 1, in this MOCVD apparatus, H 2 gas highly purified by the hydrogen (H 2 ) purifying apparatus 1 is supplied into the bubbler 2 as a carrier gas through a valve V 1 . In the bubbler 2, for example, III
It contains an organometallic compound, a dopant, etc. used for the growth of a group-V compound semiconductor or a group II-VI compound semiconductor. Reference symbols V 2 , V 3 and V 4 represent valves connected to the bubbler 2. Reference numeral 3 indicates a gas cylinder. The gas cylinder 3 contains, for example, a raw material gas and a dopant used for growing a III-V compound semiconductor. A regulator 4 is connected to the gas cylinder 3.
【００２２】バブラ２内にＨ2 ガスが供給されることに
より、このバブラ２から、その蒸気圧分の原料ガスが、
キャリアガスとしてのＨ2 ガスとともに、リアクトライ
ン５を通って反応器６内に供給される。また、ガスボン
ベ３内の原料ガスやドーパントなども、キャリアガスと
してのＨ2 ガスとともに、リアクトライン５を通って反
応器６内に供給される。反応器６内にはサセプタ７が設
置され、その上に半導体基板８が置かれる。符号９はサ
セプタ７を加熱するための加熱装置を示す。By supplying the H 2 gas into the bubbler 2, the source gas corresponding to the vapor pressure of the bubbler 2 is supplied.
It is supplied into the reactor 6 through the reactor line 5 together with H 2 gas as a carrier gas. Further, the raw material gas and the dopant in the gas cylinder 3 are also supplied into the reactor 6 through the reactor line 5 together with the H 2 gas as the carrier gas. A susceptor 7 is installed in the reactor 6, and a semiconductor substrate 8 is placed thereon. Reference numeral 9 indicates a heating device for heating the susceptor 7.
【００２３】符号１０はベントラインを示す。この場
合、バブラ２から発生される原料ガスまたはドーパント
のリアクトライン５とベントライン１０との間での切り
替えはバルブＶ5 、Ｖ6 の開閉により行うことができる
ようになっている。また、同様に、ガスボンベ３から供
給される原料ガスのリアクトライン５とベントライン１
０との間での切り替えはバルブＶ7 、Ｖ8 の開閉により
行うことができるようになっている。符号１１は、Ｈ2
純化装置１から供給されるＨ2 ガスの流量制御のための
マスフローコンローラを示す。また、符号１２は、ガス
ボンベ３から供給される原料ガスの流量制御のためのマ
スフローコントローラを示す。Reference numeral 10 indicates a vent line. In this case, the source gas or the dopant generated from the bubbler 2 can be switched between the reactor line 5 and the vent line 10 by opening and closing the valves V 5 and V 6 . Similarly, the reactor line 5 and the vent line 1 for the raw material gas supplied from the gas cylinder 3
Switching between 0 and 0 can be performed by opening and closing valves V 7 and V 8 . Reference numeral 11 is H 2
1 shows a mass flow controller for controlling the flow rate of H 2 gas supplied from the purifier 1. Further, reference numeral 12 indicates a mass flow controller for controlling the flow rate of the raw material gas supplied from the gas cylinder 3.
【００２４】ここで、キャリアガスであるＨ2 ガスによ
り輸送され、リアクトライン５を通って反応器６に供給
された原料ガスは、反応器６内で成長に供された後、こ
の反応器６の下流のリアクトライン５の途中に接続され
たオイルトラップ１３を通って除害装置１４へ導入され
る。また、ベントライン１０を通る原料ガスは、未反応
のまま、ベントライン１０の途中に接続されたオイルト
ラップ１３を通って除害装置１４へ導入される。Here, the raw material gas transported by H 2 gas as a carrier gas and supplied to the reactor 6 through the reactor line 5 is used for growth in the reactor 6, and then this reactor 6 Is introduced into the abatement device 14 through an oil trap 13 connected in the middle of the reactor line 5 downstream of the. In addition, the raw material gas passing through the vent line 10 is introduced into the abatement device 14 through the oil trap 13 connected in the middle of the vent line 10 while remaining unreacted.
【００２５】次に、オイルトラップ１３の具体的な構造
について説明する。Next, a specific structure of the oil trap 13 will be described.
【００２６】図２は、この発明の第１の実施形態による
オイルトラップを示す。ここで、図２Ａは側面図、図２
Ｂは上面図、図２Ｃは図２ＢのＣ−Ｃ線に沿っての断面
図を示す。FIG. 2 shows an oil trap according to the first embodiment of the present invention. 2A is a side view and FIG.
2B is a top view and FIG. 2C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 2B.
【００２７】図２に示すように、この第１の実施形態に
よるオイルトラップにおいては、例えばパイレックスガ
ラスからなり、気密性の例えば円筒形の容器２１中に不
活性オイル２２が入れられる。この容器２１の上部に
は、ガス導入管２３およびガス排出管２４がそれぞれ接
続されている。これらのガス導入管２３およびガス排出
管２４は、容器２１の上面に対してほぼ垂直に接続さ
れ、容器２１の外部にあるそれぞれの一端はほぼ直角に
折れ曲がって水平になっている。さらに、ガス導入管２
３は、容器２１中に入れられた不活性オイル２２の液面
下に達する長さを有する。この第１の実施形態によるオ
イルトラップにおいては、ガス導入管２３およびガス排
出管２４に加えて、容器２１の上面の中央部に、この容
器２１の上面に対してほぼ垂直にオイル注入管２５が接
続されている。このオイル注入管２５の上端には接合キ
ャップ２６が設けられている。この接合キャップ２６は
容易に取り外し可能であるが、通常はオイル注入管２５
に取り付けられて容器２１の気密性を保持し、オイル注
入管２５を通じて容器２１の外部雰囲気へガスがリーク
するのを防止している。符号２７は容器２１の固定用台
座を示す。As shown in FIG. 2, in the oil trap according to the first embodiment, an inert oil 22 is contained in an airtight, for example, cylindrical container 21 made of, for example, Pyrex glass. A gas introduction pipe 23 and a gas discharge pipe 24 are connected to the upper portion of the container 21, respectively. The gas introduction pipe 23 and the gas discharge pipe 24 are connected substantially vertically to the upper surface of the container 21, and one ends of the outside of the container 21 are bent at right angles to be horizontal. Furthermore, the gas introduction pipe 2
3 has a length that reaches below the liquid level of the inert oil 22 contained in the container 21. In the oil trap according to the first embodiment, in addition to the gas introduction pipe 23 and the gas discharge pipe 24, an oil injection pipe 25 is provided in the central portion of the upper surface of the container 21 substantially perpendicular to the upper surface of the container 21. It is connected. A joint cap 26 is provided on the upper end of the oil injection pipe 25. Although this joining cap 26 can be easily removed, it is normally the oil injection pipe 25.
Is attached to the container 21 to keep the container 21 airtight and prevent gas from leaking to the outside atmosphere of the container 21 through the oil injection pipe 25. Reference numeral 27 indicates a pedestal for fixing the container 21.
【００２８】ガス導入管２３およびガス排出管２４のそ
れぞれの一端は、Ｏリング（図示せず）を用いた接合部
２８を介してフレキシブルチューブ２９の一端と接続さ
れている。ガス導入管２３およびガス排出管２４のそれ
ぞれに接続されたこのフレキシブルチューブ２９の他端
は、メタルパッキン（図示せず）を用いた接合部３０を
介して、例えばＭＯＣＶＤ装置のリアクトライン５また
はベントライン１０を構成する配管３１と接続されてい
る。One end of each of the gas introduction pipe 23 and the gas discharge pipe 24 is connected to one end of a flexible tube 29 via a joint portion 28 using an O ring (not shown). The other end of the flexible tube 29 connected to each of the gas introduction pipe 23 and the gas discharge pipe 24 is connected to the reactor line 5 or the vent of the MOCVD apparatus, for example, via a joint 30 using a metal packing (not shown). It is connected to a pipe 31 that constitutes the line 10.
【００２９】上述のように構成された、この第１の実施
形態によるオイルトラップにおいては、従来のオイルト
ラップにおけると同様に、配管３１およびフレキシブル
チューブ２９からガス導入管２３を通じて容器２１に導
入されたガスは、不活性オイル２２の液面下に達するガ
ス導入管２３の一端から気泡状になって出てきて（バブ
リング）、ガス排出管２４からこのオイルトラップの外
部に排出され、フレキシブルチューブ２９および配管３
１を経て、図１に示す除害装置１４に導入される。一
方、容器２１への不活性オイル２２の補充は、オイル注
入管２５の上端の接合キャップ２６を取り外した後、こ
のオイル注入管２５の上端から不活性オイル２２を注入
することによって行われる。In the oil trap according to the first embodiment constructed as described above, the oil is introduced from the pipe 31 and the flexible tube 29 into the container 21 through the gas introduction pipe 23, as in the conventional oil trap. The gas is bubbled out from one end of the gas introduction pipe 23 that reaches below the liquid level of the inert oil 22 (bubbling), is discharged from the gas discharge pipe 24 to the outside of this oil trap, and the flexible tube 29 and Piping 3
1 is introduced into the abatement device 14 shown in FIG. On the other hand, the inert oil 22 is replenished in the container 21 by removing the joining cap 26 at the upper end of the oil injection pipe 25 and then injecting the inert oil 22 from the upper end of the oil injection pipe 25.
【００３０】上述のように構成されたこの第１の実施形
態によるオイルトラップによれば、容器２１の上面に垂
直に接続されたオイル注入管２５を通じて不活性オイル
２２の補充を行うことができるので、従来のようにこの
不活性オイル２２の補充の際にフレキシブルチューブ２
９を取り外す必要がなく、したがってガス導入管２３ま
たはガス排出管２４のフレキシブルチューブ２９との接
合部２８や容器２１が破損されるおそれがない。これに
加えて、オイル注入管２５は容器２１の上面に垂直に接
続されているため、このオイル注入管２５の上端の接合
キャップ２６の取り外しが容易であり、不活性オイル２
２の補充を容易に行うことができる。According to the oil trap of the first embodiment constructed as described above, the inert oil 22 can be replenished through the oil injection pipe 25 connected vertically to the upper surface of the container 21. , As in the conventional case, when the inert oil 22 is replenished, the flexible tube 2
It is not necessary to remove 9, so that there is no risk of damaging the joint portion 28 of the gas introduction pipe 23 or the gas discharge pipe 24 with the flexible tube 29 or the container 21. In addition, since the oil injection pipe 25 is vertically connected to the upper surface of the container 21, the joint cap 26 at the upper end of the oil injection pipe 25 can be easily removed, and the inert oil 2
2 can be easily replenished.
【００３１】図３は、この発明の第２の実施形態による
オイルトラップを示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing an oil trap according to the second embodiment of the present invention.
【００３２】図３に示すように、この第２の実施形態に
よるオイルトラップにおいては、容器２１の上面にほぼ
垂直にオイル注入管２５が接続され、容器２１の手前で
このオイル注入管２５に対して垂直にガス排出管２４が
接続されている。その他のことは、第１の実施形態によ
るオイルトラップと同様であるので、説明を省略する。As shown in FIG. 3, in the oil trap according to the second embodiment, an oil injection pipe 25 is connected almost vertically to the upper surface of the container 21, and the oil injection pipe 25 is connected to the oil injection pipe 25 in front of the container 21. And a gas discharge pipe 24 is connected vertically. Since the other points are the same as those of the oil trap according to the first embodiment, description thereof will be omitted.
【００３３】この第２の実施形態によるオイルトラップ
においては、ガス導入管２３を通じて導入されたガス
は、オイル注入管２５の一部を経てガス排出管２４から
排出される。また、容器２１中への不活性オイル２２の
補充は、オイル注入管２５の上端の接合キャップ（図示
せず）を取り外した後、このオイル注入管２５の上端か
ら不活性オイル２２を注入することによって行われる。In the oil trap according to the second embodiment, the gas introduced through the gas introduction pipe 23 is discharged from the gas discharge pipe 24 through a part of the oil injection pipe 25. To replenish the container 21 with the inert oil 22, the joint cap (not shown) at the upper end of the oil injection pipe 25 is removed, and then the inert oil 22 is injected from the upper end of the oil injection pipe 25. Done by
【００３４】上述のように構成されたこの第２の実施形
態によるオイルトラップによれば、容器２１の上部にガ
ス導入管２３およびガス排出管２４に加えてオイル注入
管２５が接続されていることにより、第１の実施形態に
よるオイルトラップと同様な効果を得ることができる。
これに加えて、ガス排出管２３は容器２１の手前でオイ
ル注入管２５に接続されて一体となっているので、容器
２１の上面が狭く、新たにオイル注入管２５を増設する
余裕がない場合でも、オイル注入管２５を設けることが
できる。According to the oil trap of the second embodiment constructed as described above, the oil injection pipe 25 is connected to the upper portion of the container 21 in addition to the gas introduction pipe 23 and the gas discharge pipe 24. As a result, the same effect as the oil trap according to the first embodiment can be obtained.
In addition to this, since the gas discharge pipe 23 is connected to and integrated with the oil injection pipe 25 in front of the container 21, when the upper surface of the container 21 is narrow and there is no room to newly add the oil injection pipe 25. However, the oil injection pipe 25 can be provided.
【００３５】図４は、この発明の第３の実施形態による
オイルトラップを示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing an oil trap according to the third embodiment of the present invention.
【００３６】図４に示すように、この第３の実施形態に
よるオイルトラップにおいては、容器２１の上部に、こ
の容器２１中に入れられた不活性オイル２２の液面下に
達する長さを有するオイル注入管２５が接続されてい
る。ここで、このオイル注入管２５は、容器２１の上面
のほぼ中央部に、この容器２１の上面に対して垂直に接
続されている。その他のことは、第１の実施形態による
オイルトラップと同様であるので、説明を省略する。As shown in FIG. 4, in the oil trap according to the third embodiment, an upper portion of the container 21 has a length reaching below the liquid surface of the inert oil 22 contained in the container 21. The oil injection pipe 25 is connected. Here, the oil injection pipe 25 is connected to a substantially central portion of the upper surface of the container 21 perpendicularly to the upper surface of the container 21. Since the other points are the same as those of the oil trap according to the first embodiment, description thereof will be omitted.
【００３７】上述のように構成されたこの第３の実施形
態によるオイルトラップによれば、容器２１の上面にオ
イル注入管２５が接続されているので、第１の実施形態
によるオイルトラップと同様な効果を得ることができ
る。これに加えて、次のような効果も得ることができ
る。すなわち、このオイル注入管２５は、容器２１中に
入れられた不活性オイル２２の液面下に達する長さを有
しているので、不活性オイル２２が液面シールの役割を
果たしている。このため、不活性オイル２２の補充の際
に、容器２１内の毒性または発火性を有するガスが、オ
イル注入管２５を通って容器２１の外部に漏れる危険が
ないので、不活性オイル２２の補充の作業の安全性が向
上する。According to the oil trap of the third embodiment configured as described above, since the oil injection pipe 25 is connected to the upper surface of the container 21, it is similar to the oil trap of the first embodiment. The effect can be obtained. In addition to this, the following effects can be obtained. That is, since the oil injection pipe 25 has a length reaching below the liquid surface of the inert oil 22 contained in the container 21, the inert oil 22 serves as a liquid surface seal. Therefore, when the inert oil 22 is replenished, there is no risk that the toxic or ignitable gas in the container 21 will leak to the outside of the container 21 through the oil injection pipe 25. Therefore, the inert oil 22 is replenished. Work safety is improved.
【００３８】以上、この発明の実施形態について具体的
に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定され
るものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の
変形が可能である。Although the embodiments of the present invention have been specifically described above, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.
【００３９】例えば、上述の第１〜第３の実施形態にお
いて、容器２１は円筒形のものであるが、この容器２１
の形状は必要に応じて変更可能であり、例えば直方体状
のものであってもよい。For example, in the above-described first to third embodiments, the container 21 has a cylindrical shape.
The shape of can be changed as necessary, and may be, for example, a rectangular parallelepiped.
【００４０】また、上述の第１〜第３の実施形態におい
て、オイル注入管２５は容器２１の上面に垂直に接続さ
れているが、このオイル注入管２５の果たす機能が損な
われない限り、容器２１にどのように接続されてもよ
い。Further, in the above-mentioned first to third embodiments, the oil injection pipe 25 is connected vertically to the upper surface of the container 21, but unless the function of the oil injection pipe 25 is impaired, the container 21 may be connected in any way.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によるオ
イルトラップによれば、オイルをいれるための容器にオ
イル注入管が接続されているため、このオイル注入管を
通じて容器中へのオイルの補充を行うことができる。こ
のため、従来のように、オイルの補充の際にこのオイル
トラップに接続される外部配管を取り外す必要がないの
で、このオイルの補充の際にその外部配管との接合部や
容器が破損するおそれがなくなる。また、オイルの補充
を容易に行うことができる。As described above, according to the oil trap of the present invention, since the oil injection pipe is connected to the container for putting the oil, the oil is replenished into the container through the oil injection pipe. It can be carried out. Therefore, unlike the conventional case, it is not necessary to remove the external pipe connected to the oil trap when replenishing the oil, so that the joint with the external pipe or the container may be damaged when replenishing the oil. Disappears. In addition, oil can be easily replenished.
【図１】ＭＯＣＶＤ装置の構成を示す略線図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing the structure of a MOCVD apparatus.
【図２】この発明の第１の実施形態によるオイルトラッ
プを示す側面図、上面図および断面図である。FIG. 2 is a side view, a top view and a sectional view showing an oil trap according to the first embodiment of the present invention.
【図３】この発明の第２の実施形態によるオイルトラッ
プを示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing an oil trap according to a second embodiment of the present invention.
【図４】この発明の第３の実施形態によるオイルトラッ
プを示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing an oil trap according to a third embodiment of the present invention.
【図５】従来のオイルトラップを示す側面図、上面図お
よび断面図である。FIG. 5 is a side view, a top view, and a cross-sectional view showing a conventional oil trap.
１３ オイルトラップ ２１ 容器 ２２ 不活性オイル ２３ ガス導入管 ２４ ガス排出管 ２５ オイル注入管 ２６ 接合キャップ ２７ 固定用台座 ２８、３０ 接合部 ２９ フレキシブルチューブ ３１ 配管 13 oil trap 21 container 22 inert oil 23 gas introduction pipe 24 gas discharge pipe 25 oil injection pipe 26 joining cap 27 fixing pedestal 28, 30 joining portion 29 flexible tube 31 piping
Claims (7)
れられたときの上記オイルの液面下に達する長さを有す
るガス導入管と、 上記容器に接続されたガス排出管とを有するオイルトラ
ップにおいて、 上記容器にオイル注入管が接続されていることを特徴と
するオイルトラップ。1. An airtight container for containing oil, and a gas introduction pipe connected to the container and having a length reaching below the liquid surface of the oil when the oil is contained in the container. And an oil discharge pipe connected to the container, wherein an oil injection pipe is connected to the container.
続されていることを特徴とする請求項１記載のオイルト
ラップ。2. The oil trap according to claim 1, wherein the oil injection pipe is connected to an upper portion of the container.
してほぼ垂直に接続されていることを特徴とする請求項
１記載のオイルトラップ。3. The oil trap according to claim 1, wherein the oil injection pipe is connected substantially vertically to the upper surface of the container.
記ガス排出管が接続されていることを特徴とする請求項
１記載のオイルトラップ。4. The oil trap according to claim 1, wherein the gas discharge pipe is connected to the oil injection pipe before the container.
に達する長さを有することを特徴とする請求項１記載の
オイルトラップ。5. The oil trap according to claim 1, wherein the oil injection pipe has a length reaching below the liquid surface of the oil.
気相成長装置に用いられるものであることを特徴とする
請求項１記載のオイルトラップ。6. The oil trap according to claim 1, wherein the oil trap is used in a vapor phase growth apparatus using gas as a raw material.
気相成長装置に接続されたガス処理装置に至る配管の途
中に接続されるものであることを特徴とする請求項１記
載のオイルトラップ。7. The oil trap according to claim 1, wherein the oil trap is connected in the middle of a pipe leading to a gas processing apparatus connected to a vapor phase growth apparatus using gas as a raw material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7317121A JPH09139350A (en) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | Oil trap |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7317121A JPH09139350A (en) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | Oil trap |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09139350A true JPH09139350A (en) | 1997-05-27 |
Family
ID=18084677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7317121A Pending JPH09139350A (en) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | Oil trap |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09139350A (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63136614A (en) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Hitachi Ltd | Processor |
| JPH01175227A (en) * | 1987-12-28 | 1989-07-11 | Sony Corp | Vapor growth apparatus |
| JPH0714770A (en) * | 1993-06-25 | 1995-01-17 | Hitachi Ltd | Liquid source supply device |
-
1995
- 1995-11-10 JP JP7317121A patent/JPH09139350A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63136614A (en) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Hitachi Ltd | Processor |
| JPH01175227A (en) * | 1987-12-28 | 1989-07-11 | Sony Corp | Vapor growth apparatus |
| JPH0714770A (en) * | 1993-06-25 | 1995-01-17 | Hitachi Ltd | Liquid source supply device |
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