JPH09129484A - Method and device for manufacture of laminated ceramic electronic part - Google Patents

Method and device for manufacture of laminated ceramic electronic part

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JPH09129484A
JPH09129484A JP7279950A JP27995095A JPH09129484A JP H09129484 A JPH09129484 A JP H09129484A JP 7279950 A JP7279950 A JP 7279950A JP 27995095 A JP27995095 A JP 27995095A JP H09129484 A JPH09129484 A JP H09129484A
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JP
Japan
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green sheet
ceramic green
roll
carrier film
ceramic
Prior art date
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JP7279950A
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Japanese (ja)
Inventor
Takao Hosokawa
孝夫 細川
Kenichi Yamada
健一 山田
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to efficiently advance the process of manufacture of a carrier film and the lamination, etc., of a ceramic green sheet when a mother laminated body, with which a plurality of chips for a laminated ceramic electronic part are taken out, is manufactured using the ceramic green sheet which is retained on the carrier film. SOLUTION: A ceramic green sheet 7, which is formed in a manner that an internal circuit element 10 is distributed on a plurality of places while a carrier film 6 is being stripped off by the guiding of a stripping roll 4, is wound on a heated take-up roll 3. The distribution pitch of the internal circuit element 10 is gradually changed taking into consideration of the increase in diameter of the wound ceramic green sheet 7. When a mother laminated body 16, provided with the ceramic green sheet 7 of prescribed number of layers, is obtained, it is removed from the take-up roll 3, extended in plane form and cut, and a plurality of chips are obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、積層セラミック
電子部品の製造方法および製造装置に関するもので、特
に、複数の積層セラミック電子部品のためのマザー積層
体を構成するように積層されるセラミックグリーンシー
トがキャリアフィルム上に保持された状態で用意され、
このキャリアフィルムをセラミックグリーンシートから
剥がしながら、セラミックグリーンシートを積層する工
程を備える、積層セラミック電子部品の製造方法、およ
びこの方法を実施するために用いられる製造装置に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a laminated ceramic electronic component, and more particularly, a ceramic green sheet laminated so as to form a mother laminated body for a plurality of laminated ceramic electronic components. Prepared while being held on the carrier film,
The present invention relates to a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component, which includes a step of laminating ceramic green sheets while peeling off the carrier film from the ceramic green sheets, and a manufacturing apparatus used for carrying out this method.

【0002】[0002]

【従来の技術】たとえばコンデンサ、フィルタ、抵抗
器、インダクタ、バリスタなどの電子部品が、積層セラ
ミック電子部品として提供されている。このような積層
セラミック電子部品を製造するとき、複数のセラミック
グリーンシートが用意され、これらセラミックグリーン
シートを積層して、マザー積層体が製造される。積層さ
れる所定のセラミックグリーンシート上には、得ようと
する積層セラミック電子部品の機能に応じて、適当な材
質およびパターンの内部回路要素が予め形成されてい
る。そして、マザー積層体は、個々の積層セラミック電
子部品のための複数のチップを得るため、カットされ
る。これらチップは、次いで、焼成され、必要に応じ
て、外部電極などがチップ表面に形成される。
2. Description of the Related Art Electronic parts such as capacitors, filters, resistors, inductors and varistors are provided as monolithic ceramic electronic parts. When manufacturing such a laminated ceramic electronic component, a plurality of ceramic green sheets are prepared, and these ceramic green sheets are laminated to manufacture a mother laminated body. On a predetermined ceramic green sheet to be laminated, internal circuit elements of appropriate materials and patterns are formed in advance according to the function of the laminated ceramic electronic component to be obtained. The mother laminate is then cut to obtain multiple chips for individual monolithic ceramic electronic components. These chips are then fired, and external electrodes and the like are formed on the surface of the chips as necessary.

【0003】このような積層セラミック電子部品におい
て、その小型化および高性能化を実現するため、セラミ
ックグリーンシートの薄型化および多層化が進められて
いる。セラミックグリーンシートの薄型化にあたって
は、セラミックグリーンシートが機械的に軟弱であるこ
とを考慮しなければならず、その破損を防止するため、
セラミックグリーンシートは、キャリアフィルム上で成
形され、このキャリアフィルムによって保持されたまま
の状態で、内部回路要素の印刷等の以後の工程を実施す
るために取り扱われる。
In such a monolithic ceramic electronic component, in order to realize miniaturization and high performance, the ceramic green sheet is being made thinner and multilayered. When thinning the ceramic green sheet, it is necessary to consider that the ceramic green sheet is mechanically weak, and in order to prevent its damage,
The ceramic green sheet is formed on a carrier film, and while being held by the carrier film, the ceramic green sheet is handled so as to carry out subsequent steps such as printing of internal circuit elements.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、薄型化
され軟弱なセラミックグリーンシートは、キャリアフィ
ルムによって保持されたままの状態でいくつかの工程に
おいて取り扱われるが、遅くとも、積層してマザー積層
体を得る段階では、キャリアフィルムをセラミックグリ
ーンシートから剥がさなければならない。
As described above, the thin and soft ceramic green sheet is handled in some steps while being held by the carrier film, but at the latest, it is laminated and mother laminated. The carrier film must be peeled from the ceramic green sheet during the body-building stage.

【0005】したがって、マザー積層体を製造するた
め、内部回路要素の印刷の後で、キャリアフィルムの剥
離とセラミックグリーンシートの積層との各工程が繰り
返されなければならない。また、積層の都度、セラミッ
クグリーンシートを加熱しながらプレスすることもあ
る。しかしながら、セラミックグリーンシートの多層化
が進めば進むほど、これらの工程の繰り返し回数が多く
なり、マザー積層体を得るのに長時間必要となる。これ
ら工程の能率化が望まれるところであるが、これら工程
は、並行して実施できるものではなく、順次、間欠的に
実施しなければならないため、この要望を満たすこと
は、それほど簡単ではない。
Therefore, in order to produce a mother laminate, after printing the internal circuit elements, the steps of peeling the carrier film and laminating the ceramic green sheets must be repeated. In addition, the ceramic green sheets may be pressed while being heated each time they are laminated. However, as the number of layers of the ceramic green sheet increases, the number of times these steps are repeated increases, and it takes a long time to obtain a mother laminate. Although it is desired to improve the efficiency of these steps, it is not so easy to satisfy this demand because these steps cannot be performed in parallel and must be performed sequentially and intermittently.

【0006】そこで、この発明の目的は、上述したマザ
ー積層体製造のための工程の能率化の要望を満たし得
る、積層セラミック電子部品の製造方法および製造装置
を提供しようとすることである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component which can satisfy the above-mentioned demand for streamlining the process for manufacturing a mother laminated body.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明に係る積層セラ
ミック電子部品の製造方法は、上述の技術的課題を解決
するため、キャリアフィルム上に保持されかつその一方
主面に内部回路要素が形成されたセラミックグリーンシ
ートを用意する工程と、キャリアフィルムをセラミック
グリーンシートから剥がしながら、セラミックグリーン
シートを巻付けロール上に巻き付ける工程と、巻付けロ
ール上に所定の層数のセラミックグリーンシートを備え
るマザー積層体が形成された後、マザー積層体を巻付け
ロールから取外す工程と、マザー積層体から個々の積層
セラミック電子部品のための複数のチップを得るため、
マザー積層体をカットする工程とを備えることを特徴と
している。
In order to solve the above-mentioned technical problems, a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to the present invention is held on a carrier film and has internal circuit elements formed on one main surface thereof. A ceramic green sheet prepared by removing the carrier film from the ceramic green sheet while winding the ceramic green sheet on a winding roll, and a mother laminate including a predetermined number of layers of the ceramic green sheet on the winding roll. After the body is formed, the step of removing the mother laminate from the winding roll, and obtaining the plurality of chips for individual laminated ceramic electronic components from the mother laminate,
And a step of cutting the mother laminated body.

【0008】この発明において、好ましくは、前記巻付
け工程は、セラミックグリーンシートを加熱する工程、
および巻付けロール上にあるセラミックグリーンシート
をプレスする工程を含む。この発明に係る積層セラミッ
ク電子部品の製造装置は、上述の技術的課題を解決する
ため、キャリアフィルム上に保持されかつその一方主面
に内部回路要素が形成されたセラミックグリーンシート
を供給する供給部と、供給部から供給されたセラミック
グリーンシートを巻き付けるように回転する巻付けロー
ルと、巻付けロール上に巻き付けられるセラミックグリ
ーンシートからキャリアフィルムを剥がすように案内し
ながら回転する剥離ロールとを備えることを特徴として
いる。
In the present invention, preferably, the winding step is a step of heating the ceramic green sheet,
And pressing the ceramic green sheet on the winding roll. In order to solve the above-mentioned technical problems, a manufacturing apparatus for a monolithic ceramic electronic component according to the present invention supplies a ceramic green sheet that is held on a carrier film and has internal circuit elements formed on one main surface thereof. And a winding roll that rotates to wind the ceramic green sheet supplied from the supply unit, and a peeling roll that rotates while guiding to peel the carrier film from the ceramic green sheet wound on the winding roll. Is characterized by.

【0009】好ましくは、前記巻付けロールは、セラミ
ックグリーンシートを加熱するための発熱要素を備え
る。また、好ましくは、前記剥離ロールは、巻付けロー
ル上のセラミックグリーンシートに対してプレス作用を
及ぼすように配置される。
[0009] Preferably, the winding roll includes a heat generating element for heating the ceramic green sheet. Further, preferably, the peeling roll is arranged so as to exert a pressing action on the ceramic green sheet on the winding roll.

【0010】[0010]

【発明の効果】マザー積層体を製造するため、従来、予
め内部回路要素が印刷されたセラミックグリーンシート
を用意し、キャリアフィルムを剥がしながら、所定の寸
法を有するセラミックグリーンシートを積層していたの
に対し、この発明では、予め内部回路要素が印刷された
セラミックグリーンシートを用意し、キャリアフィルム
を剥がしながら、巻付けロール上にセラミックグリーン
シートを巻き付けることにより積層することを行なう。
In order to manufacture a mother laminate, conventionally, a ceramic green sheet on which internal circuit elements are printed is prepared in advance, and a ceramic green sheet having a predetermined size is laminated while peeling the carrier film. On the other hand, in the present invention, a ceramic green sheet on which internal circuit elements are printed is prepared in advance, and while the carrier film is being peeled off, the ceramic green sheet is wound around a winding roll to be laminated.

【0011】したがって、この発明によれば、まず、セ
ラミックグリーンシートを積層することを連続的に行な
うことができるので、積層工程の能率化ないし高速化を
図ることができる。そのため、セラミックグリーンシー
トの薄型化および多層化を図り、小型化および高性能化
された積層セラミック電子部品を能率的にかつ高速で製
造することができる。
Therefore, according to the present invention, first, the ceramic green sheets can be continuously stacked, so that the stacking process can be performed efficiently or speedily. Therefore, it is possible to reduce the thickness and the number of layers of the ceramic green sheet, and to efficiently manufacture a miniaturized and high-performance monolithic ceramic electronic component at high speed.

【0012】前述したように、この発明に係る製造方法
に含まれる、セラミックグリーンシートを巻付けロール
上に巻き付ける工程において、セラミックグリーンシー
トを加熱するとともに、巻付けロール上にあるセラミッ
クグリーンシートをプレスすると、巻付けロール上での
セラミックグリーンシートの各部分相互間の密着性が増
し、その後の工程でセラミックグリーンシートの各部分
間の位置ずれや剥離が生じることを有利に防止すること
ができる。
As described above, in the step of winding the ceramic green sheet on the winding roll included in the manufacturing method according to the present invention, the ceramic green sheet is heated and the ceramic green sheet on the winding roll is pressed. Then, the adhesion between the respective portions of the ceramic green sheet on the winding roll is increased, and it is possible to advantageously prevent the positional deviation and the peeling between the respective portions of the ceramic green sheet in the subsequent steps.

【0013】上述した利点は、この発明に係る製造装置
では、巻付けロールに発熱要素を設け、巻付けロール上
のセラミックグリーンシートに対してプレス作用を及ぼ
すように剥離ロールを配置することによって、効果的に
奏されることができる。
The above-described advantages are as follows. In the manufacturing apparatus according to the present invention, the winding roll is provided with the heat generating element, and the peeling roll is arranged so as to exert a pressing action on the ceramic green sheet on the winding roll. It can be played effectively.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施形態に
よる積層セラミック電子部品の製造装置1を示す正面図
である。図2は、図1の破線で囲んだ部分IIの拡大図で
あり、図3は、同じく部分III の拡大図である。図1に
示すように、製造装置1は、概略的に言えば、供給部2
と、巻付けロール3と、剥離ロール4と、回収部5とを
備えている。
1 is a front view showing a monolithic ceramic electronic component manufacturing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is an enlarged view of a portion II surrounded by a broken line in FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of a portion III of the same. As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 1 is, roughly speaking, a supply unit 2
And a winding roll 3, a peeling roll 4, and a recovery unit 5.

【0015】供給部2は、図2によく示されているよう
に、キャリアフィルム6上に保持されたセラミックグリ
ーンシート7を供給するため、これらキャリアフィルム
6およびセラミックグリーンシート7からなる長尺の複
合シート体8を巻回した供給ロール9を備える。セラミ
ックグリーンシート7は、セラミックスラリをキャリア
フィルム6上でドクターブレード法等により成形された
ものである。複合シート体8は、セラミックグリーンシ
ート7が外側に位置するように、供給ロール9上に巻回
されている。
As shown in FIG. 2, the supply unit 2 supplies the ceramic green sheet 7 held on the carrier film 6, so that the supply unit 2 has a long length composed of the carrier film 6 and the ceramic green sheet 7. A supply roll 9 around which the composite sheet body 8 is wound is provided. The ceramic green sheet 7 is formed by molding a ceramic slurry on the carrier film 6 by a doctor blade method or the like. The composite sheet body 8 is wound around the supply roll 9 so that the ceramic green sheet 7 is located outside.

【0016】上述のセラミックグリーンシート7には、
その一方主面の複数箇所に分布して内部回路要素10が
たとえば印刷により形成されている。内部回路要素10
は、得ようとする積層セラミック電子部品の機能に応じ
て、適宜の材料から適宜のパターンをもって形成され
る。図2では、内部回路要素10は、セラミックグリー
ンシート7の外側に向く主面上に形成されたが、キャリ
アフィルム6と接する主面上に形成されてもよい。
The above-mentioned ceramic green sheet 7 includes
On the other hand, the internal circuit elements 10 are formed by printing, for example, distributed in a plurality of locations on the main surface. Internal circuit element 10
Is formed of an appropriate material and in an appropriate pattern according to the function of the monolithic ceramic electronic component to be obtained. In FIG. 2, the internal circuit element 10 is formed on the main surface facing the outside of the ceramic green sheet 7, but it may be formed on the main surface in contact with the carrier film 6.

【0017】このような複合シート体8は、供給部2か
ら矢印11で示すように引き出された後、巻付けロール
3と剥離ロール4との間に供給される。巻付けロール3
は、矢印12で示す方向に回転し、剥離ロール4は、矢
印13で示す方向に回転している。複合シート体8のう
ち、内部回路要素10を形成したセラミックグリーンシ
ート7は、巻付けロール3側に位置しており、巻付けロ
ール3の回転に従って、巻付けロール3上に巻き付けら
れる。
Such a composite sheet body 8 is pulled out from the feeding section 2 as shown by an arrow 11, and then fed between the winding roll 3 and the peeling roll 4. Winding roll 3
Rotates in the direction indicated by arrow 12, and the peeling roll 4 rotates in the direction indicated by arrow 13. Of the composite sheet body 8, the ceramic green sheet 7 on which the internal circuit elements 10 are formed is located on the winding roll 3 side and is wound around the winding roll 3 as the winding roll 3 rotates.

【0018】他方、キャリアフィルム6は、剥離ロール
4側に位置しており、剥離ロール4の回転に従って、セ
ラミックグリーンシート7から剥がれるように案内さ
れ、矢印14で示すように、回収部5にまで送られる。
回収部5は、用を終えたキャリアフィルム6を巻き取る
回収ロール15を備える。このように回収されたキャリ
アフィルム6は再利用されることもある。なお、用を終
えたキャリアフィルム6が単に廃棄される場合には、あ
えて回収ロール15上に巻き取る必要はない。
On the other hand, the carrier film 6 is located on the side of the peeling roll 4, is guided so as to be peeled from the ceramic green sheet 7 according to the rotation of the peeling roll 4, and reaches the collecting portion 5 as shown by an arrow 14. Sent.
The recovery unit 5 includes a recovery roll 15 that winds up the used carrier film 6. The carrier film 6 thus collected may be reused. When the used carrier film 6 is simply discarded, it is not necessary to take it up on the recovery roll 15.

【0019】巻付けロール3は、たとえば80℃程度の
温度にセラミックグリーンシート7を加熱するため、図
示しない発熱要素を備えている。また、剥離ロール4
は、巻付けロール3上のセラミックグリーンシート7に
対してプレス作用を及ぼすように配置される。このよう
にして、巻付けロール3上において、積層されたセラミ
ックグリーンシート7の各層間の密着性が高められる。
The winding roll 3 is provided with a heating element (not shown) for heating the ceramic green sheet 7 to a temperature of about 80 ° C., for example. Also, the peeling roll 4
Are arranged so as to exert a pressing action on the ceramic green sheet 7 on the winding roll 3. In this way, the adhesion between the layers of the laminated ceramic green sheets 7 on the winding roll 3 is enhanced.

【0020】なお、上述の発熱要素は、巻付けロール3
以外の場所に設けられてもよい。また、剥離ロール4と
は別のロール等によって、巻付けロール3上のセラミッ
クグリーンシート7に対してプレス作用を及ぼすように
してもよい。前述したセラミックグリーンシート7上に
形成される内部回路要素10の分布ピッチは、巻付けロ
ール3上に巻き付けられるセラミックグリーンシート7
の周面の直径の変化を考慮して、徐々に変更される。す
なわち、巻付けロール3上でのセラミックグリーンシー
ト7の層数が増すに従って、セラミックグリーンシート
7の周面の直径が大きくなっても、図3に示すように、
内部回路要素10を周面方向での位置ずれなしに積層方
向に整列させることができるように、内部回路要素10
のセラミックグリーンシート7上での分布ピッチが設定
される。
The heat generating element is the winding roll 3
It may be provided in a place other than. Alternatively, the ceramic green sheet 7 on the winding roll 3 may be pressed by a roll other than the peeling roll 4. The distribution pitch of the internal circuit elements 10 formed on the ceramic green sheet 7 is the ceramic green sheet 7 wound on the winding roll 3.
The diameter is gradually changed in consideration of the change in the diameter of the peripheral surface. That is, even if the diameter of the peripheral surface of the ceramic green sheet 7 increases as the number of layers of the ceramic green sheet 7 on the winding roll 3 increases, as shown in FIG.
The internal circuit element 10 is arranged so that it can be aligned in the stacking direction without displacement in the circumferential direction.
The distribution pitch on the ceramic green sheet 7 is set.

【0021】このようにして、巻付けロール3上に所定
の層数のセラミックグリーンシート7を備えるマザー積
層体16が形成された後、このマザー積層体16は、巻
付けロール3から取り外される。この取外しにあたって
は、円筒状のマザー積層体16の一部がカットされる。
なお、図1および図3に図示されたマザー積層体16
は、実際には、セラミックグリーンシート7が未だ所定
の層数には達していない状態にあると理解すべきであ
る。
In this way, after the mother laminate 16 having the predetermined number of layers of the ceramic green sheets 7 is formed on the winding roll 3, the mother laminate 16 is removed from the winding roll 3. At the time of this removal, a part of the cylindrical mother laminated body 16 is cut.
It should be noted that the mother laminated body 16 shown in FIGS.
In reality, it should be understood that the ceramic green sheet 7 has not yet reached the predetermined number of layers.

【0022】上述のように取り外されたマザー積層体1
6は、平面状に延ばされる。このとき、巻付けロール3
の直径を比較的大きく選んでおけば、マザー積層体16
には、それほど歪みは生じず、それゆえ、内部回路要素
10の位置ずれないし歪みは、ほとんど生じない。平面
状に延ばされたマザー積層体16は、次いで、積層方向
にプレスされ、そして、個々の積層セラミック電子部品
のための複数のチップを得るため、図3に矢印17で示
した位置に相当する位置等でカットされる。これらチッ
プは、次いで、焼成され、その後、必要に応じて、外部
電極などの形成工程に付され、所望の積層セラミック電
子部品が得られる。
Mother laminate 1 removed as described above
6 is extended in a plane. At this time, the winding roll 3
If you choose a relatively large diameter, the mother laminate 16
Is not so distorted, and therefore, the displacement or distortion of the internal circuit element 10 is hardly generated. The planar laminated mother laminate 16 is then pressed in the laminating direction and corresponds to the position indicated by the arrow 17 in FIG. 3 in order to obtain a plurality of chips for individual laminated ceramic electronic components. It is cut at the position where you want to. These chips are then fired, and then subjected to a step of forming external electrodes and the like, if necessary, to obtain a desired monolithic ceramic electronic component.

【0023】図1に示した製造装置1を積層セラミック
コンデンサの製造に適用した。セラミックスラリをキャ
リアフィルム6上で成形して得られた、厚み10μmの
セラミックグリーンシート7を用いた。キャリアフィル
ム6を剥がしながら、このセラミックグリーンシート7
を80℃に加熱された巻付けロール3上に巻き付けた。
巻付けロール3として、直径600mmのものを用い、5
m/分の巻付け速度で巻付けを行なった。なお、この巻
付け速度は、12m/分まで上げることが可能であっ
た。
The manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1 was applied to manufacture a monolithic ceramic capacitor. A ceramic green sheet 7 having a thickness of 10 μm obtained by molding the ceramic slurry on the carrier film 6 was used. While peeling off the carrier film 6, this ceramic green sheet 7
Was wound on a winding roll 3 heated to 80 ° C.
As the wrapping roll 3, one having a diameter of 600 mm is used.
Winding was performed at a winding speed of m / min. The winding speed could be increased to 12 m / min.

【0024】上述の巻付けの第1段階では、内部回路要
素10としての内部電極が形成されていないセラミック
グリーンシート7を用い、内部電極の存在しない外層部
を形成した。次いで第2段階において、内部回路要素1
0としての内部電極を形成したセラミックグリーンシー
ト7を用い、内部電極の存在する内層部を形成した。こ
こで、セラミックグリーンシート7上に形成される内部
電極の分布ピッチは、巻付けロール3上に巻き付けられ
るセラミックグリーンシート7の周面の直径の変化を考
慮して、徐々に変更されるように設定した。すなわち、
内部電極の分布ピッチは、セラミックグリーンシート7
を巻付けロール3に1巻きするごとに、2π×(セラミ
ックグリーンシート7の厚み)分だけ大きくすべきであ
る。ここでは、このような分布ピッチを、巻付けロール
3が60度回転するごとに変更するように補正した。
In the first step of winding, the ceramic green sheet 7 having no internal electrode as the internal circuit element 10 was used to form the outer layer portion having no internal electrode. Then, in the second stage, the internal circuit element 1
By using the ceramic green sheet 7 having the internal electrode as 0, the inner layer portion having the internal electrode was formed. Here, the distribution pitch of the internal electrodes formed on the ceramic green sheet 7 may be gradually changed in consideration of the change in the diameter of the peripheral surface of the ceramic green sheet 7 wound on the winding roll 3. Set. That is,
The distribution pitch of the internal electrodes is the ceramic green sheet 7
Should be increased by 2π × (thickness of the ceramic green sheet 7) for each winding of the winding roll 3. Here, such a distribution pitch is corrected so as to be changed every time the winding roll 3 rotates by 60 degrees.

【0025】さらに最終段階において、再び内部回路要
素10としての内部電極が形成されていないセラミック
グリーンシート7を用い、内部電極が存在しないもう1
つの外層部を形成した。得られたマザー積層体16にお
いて、内部電極の位置ずれを調査したところ、最大60
μmに留まり、従来技術による方法に比べて劣るもので
はなかった。また、前述した5m/分の巻付け速度は、
従来技術による積層速度に比べて大幅に速いものであ
る。
Further, in the final stage, the ceramic green sheet 7 on which the internal electrode as the internal circuit element 10 is not formed is used again, and another internal electrode does not exist.
Two outer layer parts were formed. In the mother laminated body 16 thus obtained, the positional deviation of the internal electrodes was investigated, and it was found that the maximum was 60.
It was only μm, which was not inferior to the method of the prior art. In addition, the winding speed of 5 m / min described above is
It is significantly faster than the stacking speed of the prior art.

【0026】なお、上述の実験例では、内部電極が形成
されないセラミックグリーンシート、内部電極が形成さ
れたセラミックグリーンシート、内部電極が形成されな
いセラミックグリーンシートという順序で、巻付けロー
ル上に巻き付けられるセラミックグリーンシートを交換
したが、このような交換をせず、一連のセラミックグリ
ーンシートにおいて、内部電極が形成されない領域、内
部電極が形成された領域、および内部電極が形成されな
い領域が、この順序で長さ方向に分布したものを用いて
もよい。
In the experimental example described above, the ceramic green sheet on which the internal electrodes are not formed, the ceramic green sheet on which the internal electrodes are formed, and the ceramic green sheet on which the internal electrodes are not formed are wound in this order on the winding roll. The green sheets were replaced, but without such replacement, in the series of ceramic green sheets, the area where internal electrodes were not formed, the area where internal electrodes were formed, and the area where internal electrodes were not formed were long in this order. Those distributed in the vertical direction may be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施形態による積層セラミック電
子部品の製造装置1を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing an apparatus 1 for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の破線で囲んだ部分IIの拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a portion II surrounded by a broken line in FIG.

【図3】図1の破線で囲んだ部分III の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a portion III surrounded by a broken line in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 製造装置 2 供給部 3 巻付けロール 4 剥離ロール 6 キャリアフィルム 7 セラミックグリーンシート 10 内部回路要素 16 マザー積層体 1 Manufacturing Equipment 2 Supply Section 3 Winding Roll 4 Peeling Roll 6 Carrier Film 7 Ceramic Green Sheet 10 Internal Circuit Element 16 Mother Laminate

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 キャリアフィルム上に保持されかつその
一方主面に内部回路要素が形成されたセラミックグリー
ンシートを用意し、 前記キャリアフィルムを前記セラミックグリーンシート
から剥がしながら、前記セラミックグリーンシートを巻
付けロール上に巻き付け、 前記巻付けロール上に所定の層数の前記セラミックグリ
ーンシートを備えるマザー積層体が形成された後、前記
マザー積層体を前記巻付けロールから取外し、 前記マザー積層体から個々の積層セラミック電子部品の
ための複数のチップを得るため、前記マザー積層体をカ
ットする、各工程を備える、積層セラミック電子部品の
製造方法。
1. A ceramic green sheet held on a carrier film and having internal circuit elements formed on one main surface thereof is prepared, and the ceramic green sheet is wound while peeling the carrier film from the ceramic green sheet. Winding on a roll, after forming a mother laminate including the ceramic green sheet of a predetermined number of layers on the winding roll, the mother laminate is removed from the winding roll, individual from the mother laminate. A method of manufacturing a monolithic ceramic electronic component, comprising the steps of cutting the mother laminate to obtain a plurality of chips for the monolithic ceramic electronic component.
【請求項2】 前記巻付け工程は、前記セラミックグリ
ーンシートを加熱する工程、および前記巻付けロール上
にある前記セラミックグリーンシートをプレスする工程
を含む、請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製
造方法。
2. The laminated ceramic electronic component according to claim 1, wherein the winding step includes a step of heating the ceramic green sheet and a step of pressing the ceramic green sheet on the winding roll. Production method.
【請求項3】 キャリアフィルム上に保持されかつその
一方主面に内部回路要素が形成されたセラミックグリー
ンシートを供給する供給部と、 前記供給部から供給された前記セラミックグリーンシー
トを巻き付けるように回転する巻付けロールと、 前記巻付けロール上に巻き付けられる前記セラミックグ
リーンシートから前記キャリアフィルムを剥がすように
案内しながら回転する剥離ロールとを備える、積層セラ
ミック電子部品の製造装置。
3. A supply section for supplying a ceramic green sheet held on a carrier film and having internal circuit elements formed on one main surface thereof, and a rotation for winding the ceramic green sheet supplied from the supply section. And a peeling roll that rotates while guiding the carrier film to peel from the ceramic green sheet wound on the winding roll.
【請求項4】 前記巻付けロールは、前記セラミックグ
リーンシートを加熱するための発熱要素を備える、請求
項3に記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
4. The apparatus for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to claim 3, wherein the winding roll includes a heating element for heating the ceramic green sheet.
【請求項5】 前記剥離ロールは、前記巻付けロール上
の前記セラミックグリーンシートに対してプレス作用を
及ぼすように配置される、請求項3または4に記載の積
層セラミック電子部品の製造装置。
5. The apparatus for manufacturing a laminated ceramic electronic component according to claim 3, wherein the peeling roll is arranged so as to exert a pressing action on the ceramic green sheet on the winding roll.
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