JPH09119814A - フィルム厚の測定方法及び装置 - Google Patents
フィルム厚の測定方法及び装置Info
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- JPH09119814A JPH09119814A JP8224835A JP22483596A JPH09119814A JP H09119814 A JPH09119814 A JP H09119814A JP 8224835 A JP8224835 A JP 8224835A JP 22483596 A JP22483596 A JP 22483596A JP H09119814 A JPH09119814 A JP H09119814A
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
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Abstract
(57)【要約】
【課題】透明、不透明フィルムの厚さや群屈折率を簡単
かつ正確に測定する。 【解決手段】上部表面及び下部表面を備えたフィルム
（１５）の厚さを測定するための装置において、低コヒ
ーレント光源（１２）から第１、第２のプローブ光信号
を発生しフィルムの両表面に送り、かつそれら表面から
反射する光を集めるための手段（１３、１４）と、反射
光を部分的に反射して、それぞれの表面に向かって戻す
ための上部及び下部基準表面（１３、１４の端部）を設
ける。上部表面及び下部表面から集めた光を結合して、
上部表面及び上部基準表面から反射した光と、下部表面
及び下部基準表面から反射した光の間における時間遅延
を求めるための受信器（１８）を備える。
かつ正確に測定する。 【解決手段】上部表面及び下部表面を備えたフィルム
（１５）の厚さを測定するための装置において、低コヒ
ーレント光源（１２）から第１、第２のプローブ光信号
を発生しフィルムの両表面に送り、かつそれら表面から
反射する光を集めるための手段（１３、１４）と、反射
光を部分的に反射して、それぞれの表面に向かって戻す
ための上部及び下部基準表面（１３、１４の端部）を設
ける。上部表面及び下部表面から集めた光を結合して、
上部表面及び上部基準表面から反射した光と、下部表面
及び下部基準表面から反射した光の間における時間遅延
を求めるための受信器（１８）を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学反射率測定に関す
るものであり、とりわけ、不透明なフィルム、ウェブ、
または、シートの厚さを測定するための装置に関するも
のである。
るものであり、とりわけ、不透明なフィルム、ウェブ、
または、シートの厚さを測定するための装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】多くの工業プロセスにおいて、フィルム
厚の制御は、極めて重要である。ここで、「フィルム」
という用語は、フィルム、ウェブ、または、シートを表
すために用いられるものとする。
厚の制御は、極めて重要である。ここで、「フィルム」
という用語は、フィルム、ウェブ、または、シートを表
すために用いられるものとする。
【０００３】例えば、写真フィルムの製造には、裏引き
層に乳剤の均一な層を形成することが必要になる。プロ
セス制御の観点に立つと、フィルム製造後の品質管理試
験室におけるフィルム厚測定よりも、フィルム製造プロ
セス中におけるフィルム厚の測定が行えるほうが有利で
ある。サンプルをオフ・ラインで測定する場合、かなり
の量の欠陥フィルムの処理が済むまで、機械的動作不良
の補正を実施することができない。このため、無駄を生
じることになる。
層に乳剤の均一な層を形成することが必要になる。プロ
セス制御の観点に立つと、フィルム製造後の品質管理試
験室におけるフィルム厚測定よりも、フィルム製造プロ
セス中におけるフィルム厚の測定が行えるほうが有利で
ある。サンプルをオフ・ラインで測定する場合、かなり
の量の欠陥フィルムの処理が済むまで、機械的動作不良
の補正を実施することができない。このため、無駄を生
じることになる。
【０００４】フィルム厚を測定するための先行技術によ
る方法は、接触法と非接触法に分割することができる。
接触技法の１つでは、フィルムの両面に物理的に接触す
ることになるマイクロメータが用いられる。こうした技
法には、測定中にフィルムを物理的に変形させるという
欠点がある。さらに、これらの技法は、高速で移動する
フィルムのオン・ライン測定に適用するのが困難であ
る。
る方法は、接触法と非接触法に分割することができる。
接触技法の１つでは、フィルムの両面に物理的に接触す
ることになるマイクロメータが用いられる。こうした技
法には、測定中にフィルムを物理的に変形させるという
欠点がある。さらに、これらの技法は、高速で移動する
フィルムのオン・ライン測定に適用するのが困難であ
る。
【０００５】当該技術では、原子粒子のビームまたはベ
ータ粒子またはガンマ線のような放射線の減衰に基づく
非接触技法も周知のところである。例えば、このタイプ
の先行技術による方法では、フィルムによる電子ビーム
の減衰を利用して、フィルム厚が求められる。この方法
には、２つの欠点がある。第１に、減衰はフィルムの化
学組成及び密度によって左右されるので、フィルムの各
タイプ毎に、該システムの較正を実施しなければならな
い。第２に、該システムは、一般に、放射線源に依存し
て、粒子ビームを発生する。一般に、コスト、安全性、
及び、生理学的理由から、放射性材料の使用を制限する
のが望ましい。
ータ粒子またはガンマ線のような放射線の減衰に基づく
非接触技法も周知のところである。例えば、このタイプ
の先行技術による方法では、フィルムによる電子ビーム
の減衰を利用して、フィルム厚が求められる。この方法
には、２つの欠点がある。第１に、減衰はフィルムの化
学組成及び密度によって左右されるので、フィルムの各
タイプ毎に、該システムの較正を実施しなければならな
い。第２に、該システムは、一般に、放射線源に依存し
て、粒子ビームを発生する。一般に、コスト、安全性、
及び、生理学的理由から、放射性材料の使用を制限する
のが望ましい。
【０００６】先行技術では、光学自己相関器を用いてフ
ィルム厚を測定する方法も周知のところである。ここで
の論述のため、光学自己相関器は、可変差分時間遅延を
有する干渉計と定義する。光学自己相関器の実施例の１
つについては、（書誌的事項につき省略）に記載があ
る。当該技術の熟練者には、光学自己相関器の動作原理
は明らかであるが、本特許に関連するので、ここでいく
つかの原理について明らかにしておくことにする。光を
２つの異なる光路に分割し、次に、再結合して、フォト
ダイオードに送る自己相関干渉計の場合、検出された光
の強度は、パラメータの関数として測定される。このパ
ラメータは、干渉計の差分光路長△Ｌとすることもでき
るし、あるいは、干渉計の差分時間遅延△ｔとすること
も可能である。これらのパラメータは、△Ｌ＝ｎｃ△ｔ
によって関連づけられるが、ここで、ｃは真空中におけ
る光の速度であり、ｎは差分光路の媒質（通常は空気）
の群屈折率である。差分時間遅延の関数として表される
検出された光強度は、入力光のコヒーレンス関数と呼ば
れる。従って、フィルムの異なる表面から反射した光間
における時間遅延を求める受信器は、フィルムの異なる
表面から反射した光間における光路遅延を求める受信器
と同じ機能を果たすことになる。反射光のコヒーレンス
関数におけるピーク間の間隔を求めることは、同じ機能
について明らかにするもう１つの方法である。
ィルム厚を測定する方法も周知のところである。ここで
の論述のため、光学自己相関器は、可変差分時間遅延を
有する干渉計と定義する。光学自己相関器の実施例の１
つについては、（書誌的事項につき省略）に記載があ
る。当該技術の熟練者には、光学自己相関器の動作原理
は明らかであるが、本特許に関連するので、ここでいく
つかの原理について明らかにしておくことにする。光を
２つの異なる光路に分割し、次に、再結合して、フォト
ダイオードに送る自己相関干渉計の場合、検出された光
の強度は、パラメータの関数として測定される。このパ
ラメータは、干渉計の差分光路長△Ｌとすることもでき
るし、あるいは、干渉計の差分時間遅延△ｔとすること
も可能である。これらのパラメータは、△Ｌ＝ｎｃ△ｔ
によって関連づけられるが、ここで、ｃは真空中におけ
る光の速度であり、ｎは差分光路の媒質（通常は空気）
の群屈折率である。差分時間遅延の関数として表される
検出された光強度は、入力光のコヒーレンス関数と呼ば
れる。従って、フィルムの異なる表面から反射した光間
における時間遅延を求める受信器は、フィルムの異なる
表面から反射した光間における光路遅延を求める受信器
と同じ機能を果たすことになる。反射光のコヒーレンス
関数におけるピーク間の間隔を求めることは、同じ機能
について明らかにするもう１つの方法である。
【０００７】マイケルソン干渉計は、こうした自己相関
器の一例である。グッドマンの「統計光学」の第５章
（Joeseph W. Goodman： Statistical Optics、 John W
iley &Sons, 1985、pp.157-170)には、マイケルソン干
渉計を利用したフィルム厚の測定装置の一例について教
示がある。このシステムにおいて、フィルムは、フィル
ムの表面に対してある角度をなす平行光によって照射さ
れる。フィルムの正面及び背面によって、反射光信号が
発生する。その入力として反射光を受けるマイケルソン
干渉計において発生する自己相関スペクトルのピークを
調べることによって、２つの反射表面間の距離が求めら
れる。あいにく、この方法では、群屈折率とフィルム厚
の積だけしか求めることができない。この量に変動が検
出されると、フィルム組成に変化が生じたか、あるい
は、フィルム厚に変化が生じたかを確かめるため、追加
測定が必要になる。群屈折率は、媒質中における光パル
スの伝搬速度対真空中における光パルスの伝搬速度の比
と定義される。
器の一例である。グッドマンの「統計光学」の第５章
（Joeseph W. Goodman： Statistical Optics、 John W
iley &Sons, 1985、pp.157-170)には、マイケルソン干
渉計を利用したフィルム厚の測定装置の一例について教
示がある。このシステムにおいて、フィルムは、フィル
ムの表面に対してある角度をなす平行光によって照射さ
れる。フィルムの正面及び背面によって、反射光信号が
発生する。その入力として反射光を受けるマイケルソン
干渉計において発生する自己相関スペクトルのピークを
調べることによって、２つの反射表面間の距離が求めら
れる。あいにく、この方法では、群屈折率とフィルム厚
の積だけしか求めることができない。この量に変動が検
出されると、フィルム組成に変化が生じたか、あるい
は、フィルム厚に変化が生じたかを確かめるため、追加
測定が必要になる。群屈折率は、媒質中における光パル
スの伝搬速度対真空中における光パルスの伝搬速度の比
と定義される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】一般に、本発明の目的
は、フィルムの厚さを測定するための改良された装置及
び方法を提供することにある。
は、フィルムの厚さを測定するための改良された装置及
び方法を提供することにある。
【０００９】本発明のもう１つの目的は、フィルムと測
定装置の接触を必要としないシステムを提供することに
ある。
定装置の接触を必要としないシステムを提供することに
ある。
【００１０】本発明のさらにもう１つの目的は、フィル
ムのはためきに適応可能なシステムを提供することにあ
る。
ムのはためきに適応可能なシステムを提供することにあ
る。
【００１１】本発明のさらにもう１つの目的は、透明フ
ィルムの測定時に、群屈折率とフィルム厚の両方を求め
ることが可能なシステムを提供することにある。
ィルムの測定時に、群屈折率とフィルム厚の両方を求め
ることが可能なシステムを提供することにある。
【００１２】本発明の以上の及びその他の目的について
は、当該技術の熟練者には、本発明の各種実施例に関す
る書きの詳細な説明及び添付の図面から明らかになるで
あろう。
は、当該技術の熟練者には、本発明の各種実施例に関す
る書きの詳細な説明及び添付の図面から明らかになるで
あろう。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、上部表面と下
部表面を備えたフィルムの厚さを測定するための装置及
び方法を備えた。該装置には、低コヒーレンス光源から
第１のプローブ光信号及び第２のプローブ光信号を発生
するための第１の結合器(即ち光学結合器）が含まれて
いる。第１のプローブ光信号は、フィルムの上部表面に
向かって送られ、フィルムの上部表面を出る光が集めら
れる。同様に、第２のプローブ光信号は、フィルムの下
部表面に向かって送られ、フィルムの下部表面を出る光
も集められる。反射を発生するために、上部及び下部の
部分反射基準表面が設けられている。上部基準表面は、
上部表面を出る光の一部を反射して、上部表面に向かっ
て戻し、下部基準表面は、フィルムの下部表面を出る光
の一部を反射して、フィルムの下部表面に向かって戻
す。集められた光を結合して、集光信号が形成され、こ
れが受信器に入力されて、フィルムの上部表面及び上部
基準表面から反射する光と、フィルムの下部表面及び下
部基準表面から反射する光との間の時間遅延が求められ
る。本発明の望ましい実施例の場合、受信器は、集めら
れた光信号から測定される周波数領域のスペクトルのフ
ーリエ変換を可能にする回路要素を含む、光学自己相関
器または光学スペクトル解析器を備えた。
部表面を備えたフィルムの厚さを測定するための装置及
び方法を備えた。該装置には、低コヒーレンス光源から
第１のプローブ光信号及び第２のプローブ光信号を発生
するための第１の結合器(即ち光学結合器）が含まれて
いる。第１のプローブ光信号は、フィルムの上部表面に
向かって送られ、フィルムの上部表面を出る光が集めら
れる。同様に、第２のプローブ光信号は、フィルムの下
部表面に向かって送られ、フィルムの下部表面を出る光
も集められる。反射を発生するために、上部及び下部の
部分反射基準表面が設けられている。上部基準表面は、
上部表面を出る光の一部を反射して、上部表面に向かっ
て戻し、下部基準表面は、フィルムの下部表面を出る光
の一部を反射して、フィルムの下部表面に向かって戻
す。集められた光を結合して、集光信号が形成され、こ
れが受信器に入力されて、フィルムの上部表面及び上部
基準表面から反射する光と、フィルムの下部表面及び下
部基準表面から反射する光との間の時間遅延が求められ
る。本発明の望ましい実施例の場合、受信器は、集めら
れた光信号から測定される周波数領域のスペクトルのフ
ーリエ変換を可能にする回路要素を含む、光学自己相関
器または光学スペクトル解析器を備えた。
【００１４】
【実施例】先行技術に対して本発明を優位に立たせてい
る方法については、本発明に従う厚さ測定装置１０の実
施例に関する略図である、図１を参照することによって
より容易に理解することが可能になる。装置１０は、低
コヒーレンス光源１２を利用して、光信号を発生し、こ
れが、３ｄＢ結合器１６によって２つの光信号に分割さ
れ、被測定フィルム１５の両面に加えられる。この光信
号は、ファイバ１３及び１４を介して加えられる。フィ
ルム１５の２つの表面から反射される光は、ファイバ１
３及び１４によって集められ、結合器１６によって結合
されて、ファイバ１７に出力光信号を生じ、これが、自
己相関器が望ましい受信器１８に送られる。
る方法については、本発明に従う厚さ測定装置１０の実
施例に関する略図である、図１を参照することによって
より容易に理解することが可能になる。装置１０は、低
コヒーレンス光源１２を利用して、光信号を発生し、こ
れが、３ｄＢ結合器１６によって２つの光信号に分割さ
れ、被測定フィルム１５の両面に加えられる。この光信
号は、ファイバ１３及び１４を介して加えられる。フィ
ルム１５の２つの表面から反射される光は、ファイバ１
３及び１４によって集められ、結合器１６によって結合
されて、ファイバ１７に出力光信号を生じ、これが、自
己相関器が望ましい受信器１８に送られる。
【００１５】光ファイバ１３及び１４の長さは、等しく
する必要はない。実際のところ、これらの光ファイバの
長さは、さらに詳細に後述する理由から異なるほうが望
ましい。
する必要はない。実際のところ、これらの光ファイバの
長さは、さらに詳細に後述する理由から異なるほうが望
ましい。
【００１６】光源１２のコヒーレンス長は、測定を受け
るフィルム１５の厚さに比べて短くなければならない。
こうした光源は、光学反射率測定技術において一般的な
ものであり、従って、ここでは詳述しない。ここでは、
光源１２にエッジ発光の発光ダイオードを利用すること
が可能であるという点に特に言及しておけば十分であ
る。
るフィルム１５の厚さに比べて短くなければならない。
こうした光源は、光学反射率測定技術において一般的な
ものであり、従って、ここでは詳述しない。ここでは、
光源１２にエッジ発光の発光ダイオードを利用すること
が可能であるという点に特に言及しておけば十分であ
る。
【００１７】マイケルソン干渉計を備えた典型的な自己
相関器が１８で示されている。マイケルソン干渉計に入
射する光は、ビーム分割器１９によって２つのビームに
分割され、異なる光路を進むことになる。第１の光路
は、固定鏡２０の位置によって決まり、第２の光路は、
可動鏡２１の位置によって決まる。異なる光路を通り抜
けると、２つのビームからの光が、ビーム分割器１９に
よって再結合されて、フォトダイオード２２に送られ、
光の干渉のために鏡２１の位置に応じて変動する光の強
度が測定される。
相関器が１８で示されている。マイケルソン干渉計に入
射する光は、ビーム分割器１９によって２つのビームに
分割され、異なる光路を進むことになる。第１の光路
は、固定鏡２０の位置によって決まり、第２の光路は、
可動鏡２１の位置によって決まる。異なる光路を通り抜
けると、２つのビームからの光が、ビーム分割器１９に
よって再結合されて、フォトダイオード２２に送られ、
光の干渉のために鏡２１の位置に応じて変動する光の強
度が測定される。
【００１８】次に図２及び図３を参照する。図２は、フ
ィルムとファイバ端部に関連したさまざまな距離を示
す、ファイバ１３及び１４の端部とフィルム１５の拡大
図である。フィルムの厚さｔは、（ｄ−ｘ1−ｘ2）に等
しい。ｄ、ｘ1、及び、ｘ2の関連値は、自己相関器の出
力から求められる。ｄの値は、フィルムがない場合に実
施される直接測定から求められる。
ィルムとファイバ端部に関連したさまざまな距離を示
す、ファイバ１３及び１４の端部とフィルム１５の拡大
図である。フィルムの厚さｔは、（ｄ−ｘ1−ｘ2）に等
しい。ｄ、ｘ1、及び、ｘ2の関連値は、自己相関器の出
力から求められる。ｄの値は、フィルムがない場合に実
施される直接測定から求められる。
【００１９】図３には、自己相関器１８の出力が示され
ている。自己相関器に入力される信号パターンは、常に
それ自体と相関されるので、ｘ＝０の場合、３０で示す
大信号が常に存在する。フィルムが存在しない場合、ピ
ークは、ｘ＝ｄ、すなわち、ファイバ端部間の距離に生
じる。こうしたピークが３３で示されている。この距離
は、ファイバ端部間の距離の直接測定によって得られる
値に基づく装置の較正時に用いられる。装置１０にフィ
ルムが挿入されると、それぞれ、３１及び３２で示すよ
うに、ｘ＝ｘ1及びｘ＝ｘ2に２つの追加ピークが生じ
る。ｘ1のピークは、表面２６及びファイバ端部２４か
らの反射に対応する。ｘ2のピークは、表面２５及びフ
ァイバ端部２３からの反射に対応する。本発明のこの実
施例の場合、ファイバ端部２３、２４は、研磨され、部
分的に反射する基準表面を形成している。代わりに、各
ファイバ端部と測定を受けるフィルムの対応する表面間
に、部分反射基準リフレクタを配置することも可能であ
る。基準リフレクタは、後述するようにレンズ表面とす
ることもできるし、あるいは、部分反射表面を備えた光
学的に透明な材料とすることも可能である。負のｘ値の
場合には、対称ピーク・パターンも観測される。
ている。自己相関器に入力される信号パターンは、常に
それ自体と相関されるので、ｘ＝０の場合、３０で示す
大信号が常に存在する。フィルムが存在しない場合、ピ
ークは、ｘ＝ｄ、すなわち、ファイバ端部間の距離に生
じる。こうしたピークが３３で示されている。この距離
は、ファイバ端部間の距離の直接測定によって得られる
値に基づく装置の較正時に用いられる。装置１０にフィ
ルムが挿入されると、それぞれ、３１及び３２で示すよ
うに、ｘ＝ｘ1及びｘ＝ｘ2に２つの追加ピークが生じ
る。ｘ1のピークは、表面２６及びファイバ端部２４か
らの反射に対応する。ｘ2のピークは、表面２５及びフ
ァイバ端部２３からの反射に対応する。本発明のこの実
施例の場合、ファイバ端部２３、２４は、研磨され、部
分的に反射する基準表面を形成している。代わりに、各
ファイバ端部と測定を受けるフィルムの対応する表面間
に、部分反射基準リフレクタを配置することも可能であ
る。基準リフレクタは、後述するようにレンズ表面とす
ることもできるし、あるいは、部分反射表面を備えた光
学的に透明な材料とすることも可能である。負のｘ値の
場合には、対称ピーク・パターンも観測される。
【００２０】フィルムの透明度が十分であれば、群屈折
率ｎを得ることも可能である。図４には、フィルムが透
明で、群屈折率ｎを備える場合の、自己相関器の出力が
示されている。図面を簡略化するため、負のｘ値に対応
するピークは省略されている。もう１度、ピーク３０が
ｘ＝０に位置することになる。フィルムがなければ、ピ
ーク３３はｘ＝ｄに生じる。フィルム１５が挿入される
と、ピーク４２及び４４が、不透明なフィルムの場合の
ように、ｘ1及びｘ2に対応する位置に生じる。これらの
ピークは、フィルム境界と最も近いファイバ端部との間
における反射によって発生する。さらに、図４３及び４
５で示す新たなピークが、距離（ｘ1＋ｎｔ）と（ｘ2＋
ｎｔ）に対応して生じる。ここで、ｔはフィルム１５の
厚さである。これらのピークは、１つの境界からフィル
ムに侵入し、その後、第２の境界から反射した光の反射
に対応する。ピーク４６は、光がフィルム１５を通過し
た後、ファイバ端部１３及び１４からの反射によって発
生する。ピーク４６は、ｘ＝ｄ＋（ｎ−１）ｔに位置す
る。最後に、４１に示すようにｘ＝ｎｔに小さなピーク
が生じる。当該技術の熟練者には明らかなように、自己
相関器から得られる出力を用いて、ｔとｎの両方を求め
ることが可能である。
率ｎを得ることも可能である。図４には、フィルムが透
明で、群屈折率ｎを備える場合の、自己相関器の出力が
示されている。図面を簡略化するため、負のｘ値に対応
するピークは省略されている。もう１度、ピーク３０が
ｘ＝０に位置することになる。フィルムがなければ、ピ
ーク３３はｘ＝ｄに生じる。フィルム１５が挿入される
と、ピーク４２及び４４が、不透明なフィルムの場合の
ように、ｘ1及びｘ2に対応する位置に生じる。これらの
ピークは、フィルム境界と最も近いファイバ端部との間
における反射によって発生する。さらに、図４３及び４
５で示す新たなピークが、距離（ｘ1＋ｎｔ）と（ｘ2＋
ｎｔ）に対応して生じる。ここで、ｔはフィルム１５の
厚さである。これらのピークは、１つの境界からフィル
ムに侵入し、その後、第２の境界から反射した光の反射
に対応する。ピーク４６は、光がフィルム１５を通過し
た後、ファイバ端部１３及び１４からの反射によって発
生する。ピーク４６は、ｘ＝ｄ＋（ｎ−１）ｔに位置す
る。最後に、４１に示すようにｘ＝ｎｔに小さなピーク
が生じる。当該技術の熟練者には明らかなように、自己
相関器から得られる出力を用いて、ｔとｎの両方を求め
ることが可能である。
【００２１】本発明の上述の実施例は、フィルムに近接
して配置された２つのファイバ端部に関して説明され
た。本発明の望ましい実施例の場合、フィルムからある
距離をあけてファイバ端部を配置することによって、は
ためきに関する余裕、及び、急速な動作中にフィルムに
はためきを生じる場合に固有の、フィルムの反射表面に
おける角度変動に関する公差が得られるようにする。距
離の追加に適応し、所望の公差が得られるようにするた
め、レンズ及び反射表面が利用される。この構成の機能
の仕方については、ファイバ端部、レンズ、及び、測定
を受けるフィルムの断面図である図５を参照することに
よってより容易に理解することが可能になるであろう。
ファイバ５１を出る光は、フィルムの平面に光を集束さ
せるレンズ５５に助けられてフィルム５３上にイメージ
を形成する。フィルム５３を出る光は、レンズ５６によ
って集束し、ファイバ５２に戻される。同様に、ファイ
バ５２を出る光は、レンズ５６によってフィルム５３上
に集束し、フィルム平面を出る光は、レンズ５５によっ
て集束し、ファイバ５１に送り込まれる。
して配置された２つのファイバ端部に関して説明され
た。本発明の望ましい実施例の場合、フィルムからある
距離をあけてファイバ端部を配置することによって、は
ためきに関する余裕、及び、急速な動作中にフィルムに
はためきを生じる場合に固有の、フィルムの反射表面に
おける角度変動に関する公差が得られるようにする。距
離の追加に適応し、所望の公差が得られるようにするた
め、レンズ及び反射表面が利用される。この構成の機能
の仕方については、ファイバ端部、レンズ、及び、測定
を受けるフィルムの断面図である図５を参照することに
よってより容易に理解することが可能になるであろう。
ファイバ５１を出る光は、フィルムの平面に光を集束さ
せるレンズ５５に助けられてフィルム５３上にイメージ
を形成する。フィルム５３を出る光は、レンズ５６によ
って集束し、ファイバ５２に戻される。同様に、ファイ
バ５２を出る光は、レンズ５６によってフィルム５３上
に集束し、フィルム平面を出る光は、レンズ５５によっ
て集束し、ファイバ５１に送り込まれる。
【００２２】本発明の上記実施例の場合、レンズ５５及
び５６の表面５８及び５９は、それぞれ、部分反射材料
のコーティングが施されている。本発明の望ましい実施
例の場合、これらの表面は、それに入射する光の約３３
％を反射する。これらの表面によって、上述の較正距離
「ｄ」が得られる。フィルムがなければ、これらのレン
ズ表面間の間隔に等しい距離に、自己相関器の出力のピ
ークが生じることになる。各レンズの正面の曲率は、該
正面のポイントとフィルムの中心との距離が一定になる
ように選択されるのが理想である。
び５６の表面５８及び５９は、それぞれ、部分反射材料
のコーティングが施されている。本発明の望ましい実施
例の場合、これらの表面は、それに入射する光の約３３
％を反射する。これらの表面によって、上述の較正距離
「ｄ」が得られる。フィルムがなければ、これらのレン
ズ表面間の間隔に等しい距離に、自己相関器の出力のピ
ークが生じることになる。各レンズの正面の曲率は、該
正面のポイントとフィルムの中心との距離が一定になる
ように選択されるのが理想である。
【００２３】図５から明らかなように、フィルム１５
は、レンズの１つに近接して配置するのが望ましい。図
５に示す実施例の場合、フィルム１５はレンズ５５に近
接して配置される。上述のように、自己相関器のピーク
は、レンズ表面とフィルムの距離に対応する。フィルム
がレンズ間のちょうど中間点に配置されると、ピークが
重なることになる。このオーバラップによって、ｘ1と
ｘ2の距離を判定するのが困難になる。従って、フィル
ムは、意図的に、ｘ1とｘ2の距離に対応する反射に別個
のピークをもたらすのに十分な距離だけ中心からはずし
て配置される。
は、レンズの１つに近接して配置するのが望ましい。図
５に示す実施例の場合、フィルム１５はレンズ５５に近
接して配置される。上述のように、自己相関器のピーク
は、レンズ表面とフィルムの距離に対応する。フィルム
がレンズ間のちょうど中間点に配置されると、ピークが
重なることになる。このオーバラップによって、ｘ1と
ｘ2の距離を判定するのが困難になる。従って、フィル
ムは、意図的に、ｘ1とｘ2の距離に対応する反射に別個
のピークをもたらすのに十分な距離だけ中心からはずし
て配置される。
【００２４】本発明の上述の実施例では、自己相関器と
してマイケルソン干渉計が利用されているが、他の形態
の自己相関器を利用することも可能である。例えば、光
学パワーを波長または光周波数の関数として測定する光
学スペクトル解析器を利用することも可能である。こう
した解析器からの周波数領域のスペクトルに関するフー
リエ変換によって、自己相関器の出力と同じ出力が得ら
れる。
してマイケルソン干渉計が利用されているが、他の形態
の自己相関器を利用することも可能である。例えば、光
学パワーを波長または光周波数の関数として測定する光
学スペクトル解析器を利用することも可能である。こう
した解析器からの周波数領域のスペクトルに関するフー
リエ変換によって、自己相関器の出力と同じ出力が得ら
れる。
【００２５】用途によっては、シート全域の均一性をテ
ストするため、シートのいくつかの異なる位置における
厚さの測定が所望される。本発明によれば、図１に示す
ファイバ１３及び１４に３ｄＢ結合器を挿入して、信号
を分割し、追加プローブ対の構成に利用される追加ファ
イバに送り込むことによって、こうした複数ポイント測
定が可能である。各プローブ対の寸法が、他のプローブ
対と十分に異なるように選択され、フィルムから基準表
面までの距離が、同様に異なるように選択されると、個
々のプローブ測定値を多重化して、同じ自己相関器に送
り込むことが可能になる。追加プローブ対によって導入
される追加ピークは、十分な差があれば、互いにはっき
りと区別される。
ストするため、シートのいくつかの異なる位置における
厚さの測定が所望される。本発明によれば、図１に示す
ファイバ１３及び１４に３ｄＢ結合器を挿入して、信号
を分割し、追加プローブ対の構成に利用される追加ファ
イバに送り込むことによって、こうした複数ポイント測
定が可能である。各プローブ対の寸法が、他のプローブ
対と十分に異なるように選択され、フィルムから基準表
面までの距離が、同様に異なるように選択されると、個
々のプローブ測定値を多重化して、同じ自己相関器に送
り込むことが可能になる。追加プローブ対によって導入
される追加ピークは、十分な差があれば、互いにはっき
りと区別される。
【００２６】本発明の上述の実施例は、受信器に自己相
関器を利用しているが、他のタイプの反射率計受信器を
利用することも可能である。こうした代替装置が、図６
に１００で示されている。低コヒーレンス光源１２から
の光は、第１の結合器１６１によって２つの光信号に分
割される。ファイバ１６４の信号を２つの信号に分割す
ることによって、これらの信号をフィルム１５に加え、
フィルム１５が反射及び透過する光を集めるファイバ１
３０及び１４０を備えたプローブ対が形成される。集め
られた光は、結合器１６１によって発生した第２の光信
号が可動鏡１２１を備えた可変基準光路を通り抜けた
後、結合器１６１において前記第２の光信号と再結合さ
れる。結合器１６１において結合された信号は、基準光
路における遅延が、反射率計のファイバ１６４で戻る信
号の通過時間と一致すると、構成的干渉を受けることに
なる。結合器１６１を出る光の強度は、光検出器１２０
によって測定される。このタイプの受信器は、市販品と
して購入可能である（米国ＨＰ社（ヒューレット・パッ
カード社）のＨＰ８５０４精密反射率計（ Ｐｒｅｃｉ
ｓｉｏｎ Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｒ）。鏡位置Ｘの関数
としてのフォトダイオード１２０の出力から、上述のよ
うにフィルム厚及び群屈折率を求めることが可能であ
る。
関器を利用しているが、他のタイプの反射率計受信器を
利用することも可能である。こうした代替装置が、図６
に１００で示されている。低コヒーレンス光源１２から
の光は、第１の結合器１６１によって２つの光信号に分
割される。ファイバ１６４の信号を２つの信号に分割す
ることによって、これらの信号をフィルム１５に加え、
フィルム１５が反射及び透過する光を集めるファイバ１
３０及び１４０を備えたプローブ対が形成される。集め
られた光は、結合器１６１によって発生した第２の光信
号が可動鏡１２１を備えた可変基準光路を通り抜けた
後、結合器１６１において前記第２の光信号と再結合さ
れる。結合器１６１において結合された信号は、基準光
路における遅延が、反射率計のファイバ１６４で戻る信
号の通過時間と一致すると、構成的干渉を受けることに
なる。結合器１６１を出る光の強度は、光検出器１２０
によって測定される。このタイプの受信器は、市販品と
して購入可能である（米国ＨＰ社（ヒューレット・パッ
カード社）のＨＰ８５０４精密反射率計（ Ｐｒｅｃｉ
ｓｉｏｎ Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｒ）。鏡位置Ｘの関数
としてのフォトダイオード１２０の出力から、上述のよ
うにフィルム厚及び群屈折率を求めることが可能であ
る。
【００２７】この構成には、フィルムの反射を弁別する
のに十分な空間分解能を備えた任意のタイプの反射率計
を用いることが可能である。しかし、その結果が個々の
ファイバの長さの変化に影響されやすいので、この構成
は望ましいものではない。こうした変化は、温度の揺動
または機械的応力のために生じる可能性がある。これに
対し、自己相関受信器で得られる結果は、こうした変化
に左右されない。
のに十分な空間分解能を備えた任意のタイプの反射率計
を用いることが可能である。しかし、その結果が個々の
ファイバの長さの変化に影響されやすいので、この構成
は望ましいものではない。こうした変化は、温度の揺動
または機械的応力のために生じる可能性がある。これに
対し、自己相関受信器で得られる結果は、こうした変化
に左右されない。
【００２８】上記解説では、フィルムの表面を「上部」
及び「下部」と表したが、この用語は、フィルムの２つ
の表面を区別するための単なる表示にすぎない。
及び「下部」と表したが、この用語は、フィルムの２つ
の表面を区別するための単なる表示にすぎない。
【００２９】本発明の実施例に関する以上の説明は、
「フィルム」に言及したものであるが、理解しておくべ
きは、フィルムという用語は、シートまたはウェブを含
めることを意図したものであるという点である。
「フィルム」に言及したものであるが、理解しておくべ
きは、フィルムという用語は、シートまたはウェブを含
めることを意図したものであるという点である。
【００３０】当該技術の熟練者には、以上の説明及び添
付の図面から本発明に対するさまざまな修正が明らかに
なるであろう。例えば、１６、１６１、及び、１６２で
示す光学結合器の代わりにビーム分割器を用いることも
可能である。また、光源１２の代わりに、キセノン・ラ
ンプまたは他の低コヒーレンス光源を用いることも可能
である。以下に実施態様の育束を列挙する。
付の図面から本発明に対するさまざまな修正が明らかに
なるであろう。例えば、１６、１６１、及び、１６２で
示す光学結合器の代わりにビーム分割器を用いることも
可能である。また、光源１２の代わりに、キセノン・ラ
ンプまたは他の低コヒーレンス光源を用いることも可能
である。以下に実施態様の育束を列挙する。
【００３１】（実施態様１）上部表面及び下部表面［２
５、２６］を備えたフィルム［１５］の厚さを測定する
ための装置［１０、１００］において、低コヒーレント
光源［１２］から第１のプローブ光信号及び第２のプロ
ーブ光信号を発生するための手段［１６、１６２］と、
前記上部表面［２５］に向かって前記第１のプローブ光
信号を送り、前記上部表面［２５］を出る光を集めるた
めの手段［１３］と、前記上部表面［２５］を出る光を
部分的に反射して、前記上部表面［２５］に向かって戻
すための上部基準表面［２３、５８］と、前記下部表面
［２６］に向かって第２のプローブ光信号を送り、前記
下部表面［２６］を出る光を集めるための手段［１４］
と、前記下部表面［２６］を出る光を部分的に反射し、
前記下部表面［２６］に向かって戻すための下部基準表
面［２４、５９］と、前記上部表面及び下部表面［２
５、２６］から集めた前記光を結合して、集光信号を形
成するための結合手段［１６、１６２］と、前記集光信
号を受信して、前記上部表面［２５］及び前記上部基準
表面から反射した光と、前記下部表面［２６］及び前記
下部基準表面［２４、５９］から反射した光の間におけ
る時間遅延を求めるための受信器［１８］を備えた、測
定装置。
５、２６］を備えたフィルム［１５］の厚さを測定する
ための装置［１０、１００］において、低コヒーレント
光源［１２］から第１のプローブ光信号及び第２のプロ
ーブ光信号を発生するための手段［１６、１６２］と、
前記上部表面［２５］に向かって前記第１のプローブ光
信号を送り、前記上部表面［２５］を出る光を集めるた
めの手段［１３］と、前記上部表面［２５］を出る光を
部分的に反射して、前記上部表面［２５］に向かって戻
すための上部基準表面［２３、５８］と、前記下部表面
［２６］に向かって第２のプローブ光信号を送り、前記
下部表面［２６］を出る光を集めるための手段［１４］
と、前記下部表面［２６］を出る光を部分的に反射し、
前記下部表面［２６］に向かって戻すための下部基準表
面［２４、５９］と、前記上部表面及び下部表面［２
５、２６］から集めた前記光を結合して、集光信号を形
成するための結合手段［１６、１６２］と、前記集光信
号を受信して、前記上部表面［２５］及び前記上部基準
表面から反射した光と、前記下部表面［２６］及び前記
下部基準表面［２４、５９］から反射した光の間におけ
る時間遅延を求めるための受信器［１８］を備えた、測
定装置。
【００３２】（実施態様２）前記受信器［１８］が光学
自己相関器を備えたことを特徴とする、実施態様１に記
載の測定装置［１０、１００］。 （実施態様３）前記受信器［１８］が、光学反射率計を
備えたことを特徴とする、実施態様１に記載の測定装置
［１０、１００］。 （実施態様４）前記受信器［１８］が、光学スペクトル
解析器を備えたことを特徴とする、実施態様１に記載の
測定装置［１０、１００］。
自己相関器を備えたことを特徴とする、実施態様１に記
載の測定装置［１０、１００］。 （実施態様３）前記受信器［１８］が、光学反射率計を
備えたことを特徴とする、実施態様１に記載の測定装置
［１０、１００］。 （実施態様４）前記受信器［１８］が、光学スペクトル
解析器を備えたことを特徴とする、実施態様１に記載の
測定装置［１０、１００］。
【００３３】（実施態様５）前記上部表面［２５］に向
かって前記第１のプローブ光信号を送るための前記手段
が、光ファイバ［５１］と、前記光ファイバを出る光を
前記フィルム［１５］に送り、前記上部表面［２５］を
出る光を集めて、前記集光を前記第１の光ファイバ［５
１］に送り込む第１のレンズ［５５］を備えたことを特
徴とする、実施態様１に記載の測定装置［１０、１０
０］。 （実施態様６）前記第１のレンズ［５５］が、前記レン
ズと前記上部表面の間に表面［５８］を含んでいること
と、前記表面が、前記表面に向かう方向に前記フィルム
［１５］を出る光の一部を反射して、前記フィルム［１
５］に戻すことと、前記表面によって前記上部基準表面
が得られることを特徴とする、実施態様５に記載の測定
装置［１０、１００］。
かって前記第１のプローブ光信号を送るための前記手段
が、光ファイバ［５１］と、前記光ファイバを出る光を
前記フィルム［１５］に送り、前記上部表面［２５］を
出る光を集めて、前記集光を前記第１の光ファイバ［５
１］に送り込む第１のレンズ［５５］を備えたことを特
徴とする、実施態様１に記載の測定装置［１０、１０
０］。 （実施態様６）前記第１のレンズ［５５］が、前記レン
ズと前記上部表面の間に表面［５８］を含んでいること
と、前記表面が、前記表面に向かう方向に前記フィルム
［１５］を出る光の一部を反射して、前記フィルム［１
５］に戻すことと、前記表面によって前記上部基準表面
が得られることを特徴とする、実施態様５に記載の測定
装置［１０、１００］。
【００３４】（実施態様７）前記上部表面［２５］に向
かって前記第１のプローブ光信号を送るための前記手段
が、研磨した端部［２３］を備える光ファイバ［１３］
を備えたことと、前記研磨した端部が前記上部基準表面
を構成することを特徴とする、実施態様１に記載の測定
装置［１０、１００］。 （実施態様８）前記結合手段が、光学結合器［１６、１
６２］を備えたことを特徴とする、実施態様１に記載の
測定装置［１０、１００］。 （実施態様９）前記第１と第２のプローブ光信号を発生
するための前記手段及び結合手段が、単一の光学結合器
［１６］であることを特徴とする、実施態様１に記載の
測定装置［１０、１００］。
かって前記第１のプローブ光信号を送るための前記手段
が、研磨した端部［２３］を備える光ファイバ［１３］
を備えたことと、前記研磨した端部が前記上部基準表面
を構成することを特徴とする、実施態様１に記載の測定
装置［１０、１００］。 （実施態様８）前記結合手段が、光学結合器［１６、１
６２］を備えたことを特徴とする、実施態様１に記載の
測定装置［１０、１００］。 （実施態様９）前記第１と第２のプローブ光信号を発生
するための前記手段及び結合手段が、単一の光学結合器
［１６］であることを特徴とする、実施態様１に記載の
測定装置［１０、１００］。
【００３５】（実施態様１０）上部表面と下部表面［２
５、２６］を備えたフィルム［１５］の厚さを測定する
ための方法において、低コヒーレンス光源［１２］から
第１のプローブ光信号と第２のプローブ光信号を発生す
るステップと、前記上部表面［２５］に向けて前記第１
のプローブ光信号を送り、前記上部表面［２５］を出る
光を集めるステップと、前記上部表面［２５］を出る光
を部分的に反射して、前記上部表面［２５］に向かって
戻す上部基準表面を設けるステップと、前記下部表面
［２６］に向けて前記第２のプローブ光信号を送り、前
記下部表面［２６］を出る光を集めるステップと、前記
下部表面［２６］を出る光を部分的に反射して、前記下
部表面［２６］に向かって戻す下部基準表面［２４、５
９］を設けるステップと、前記上部表面と前記下部表面
［２６］から集めた前記光を結合して、集光信号を形成
するステップと、受信器［１８］において前記集光信号
を受信して解析を行い、前記上部表面［２５］及び前記
基準表面から反射する光と前記下部表面［２６］及び前
記下部基準表面［２４、５９］から反射する光との間に
おける時間遅延を求めるステップとを備えた、測定方
法。
５、２６］を備えたフィルム［１５］の厚さを測定する
ための方法において、低コヒーレンス光源［１２］から
第１のプローブ光信号と第２のプローブ光信号を発生す
るステップと、前記上部表面［２５］に向けて前記第１
のプローブ光信号を送り、前記上部表面［２５］を出る
光を集めるステップと、前記上部表面［２５］を出る光
を部分的に反射して、前記上部表面［２５］に向かって
戻す上部基準表面を設けるステップと、前記下部表面
［２６］に向けて前記第２のプローブ光信号を送り、前
記下部表面［２６］を出る光を集めるステップと、前記
下部表面［２６］を出る光を部分的に反射して、前記下
部表面［２６］に向かって戻す下部基準表面［２４、５
９］を設けるステップと、前記上部表面と前記下部表面
［２６］から集めた前記光を結合して、集光信号を形成
するステップと、受信器［１８］において前記集光信号
を受信して解析を行い、前記上部表面［２５］及び前記
基準表面から反射する光と前記下部表面［２６］及び前
記下部基準表面［２４、５９］から反射する光との間に
おける時間遅延を求めるステップとを備えた、測定方
法。
【００３６】（実施態様１１）前記受信器［１８］が光
学自己相関器を備えたことを特徴とする、実施態様１０
に記載の測定方法。 （実施態様１２）前記受信器［１８］が光学反射率計を
備えたことを特徴とする、実施態様１０に記載の測定方
法。 （実施態様１３）前記受信器［１８］が光学スペクトル
解析器を備えたことを特徴とする、実施態様１０に記載
の測定方法。 （実施態様１４）前記上部表面［２５］に向かって前記
第１のプローブ光信号を送る前記ステップが、光ファイ
バ［５１］と、前記光ファイバを出る光を前記フィルム
［１５］に送り、前記上部表面［２５］を出る光を集め
て、前記集光を前記第１の光ファイバ［５１］に送り込
む第１のレンズ［５５］を設けるステップを備えたこと
を特徴とする、実施態様１０に記載の測定方法。
学自己相関器を備えたことを特徴とする、実施態様１０
に記載の測定方法。 （実施態様１２）前記受信器［１８］が光学反射率計を
備えたことを特徴とする、実施態様１０に記載の測定方
法。 （実施態様１３）前記受信器［１８］が光学スペクトル
解析器を備えたことを特徴とする、実施態様１０に記載
の測定方法。 （実施態様１４）前記上部表面［２５］に向かって前記
第１のプローブ光信号を送る前記ステップが、光ファイ
バ［５１］と、前記光ファイバを出る光を前記フィルム
［１５］に送り、前記上部表面［２５］を出る光を集め
て、前記集光を前記第１の光ファイバ［５１］に送り込
む第１のレンズ［５５］を設けるステップを備えたこと
を特徴とする、実施態様１０に記載の測定方法。
【００３７】（実施態様１５）前記第１のレンズが、前
記レンズと前記上部表面［２５］の間に表面［５８］を
含んでいることと、前記表面が、前記表面に向かう方向
に前記フィルム［１５］を出る光の一部を反射して、前
記フィルム［１５］に戻すことと、前記表面によって前
記上記基準表面が得られることを特徴とする、実施態様
１４に記載の測定方法。 （実施態様１６）前記上部表面［２５］に向かって前記
第１のプローブ光信号を送る前記ステップが、研磨した
端部［２３］を備えた光ファイバ［１３］を設けるステ
ップを備えたことと、前記研磨した端部が前記上部基準
表面を構成することを特徴とする、実施態様１０に記載
の測定方法。 （実施態様１７）前記フィルム［１５］の前記第１と第
２の表面から集めた前記光を結合する前記ステップが、
光学結合器［１６、１６２］を設けるステップを備えた
ことを特徴とする、実施態様１０に記載の測定方法。
記レンズと前記上部表面［２５］の間に表面［５８］を
含んでいることと、前記表面が、前記表面に向かう方向
に前記フィルム［１５］を出る光の一部を反射して、前
記フィルム［１５］に戻すことと、前記表面によって前
記上記基準表面が得られることを特徴とする、実施態様
１４に記載の測定方法。 （実施態様１６）前記上部表面［２５］に向かって前記
第１のプローブ光信号を送る前記ステップが、研磨した
端部［２３］を備えた光ファイバ［１３］を設けるステ
ップを備えたことと、前記研磨した端部が前記上部基準
表面を構成することを特徴とする、実施態様１０に記載
の測定方法。 （実施態様１７）前記フィルム［１５］の前記第１と第
２の表面から集めた前記光を結合する前記ステップが、
光学結合器［１６、１６２］を設けるステップを備えた
ことを特徴とする、実施態様１０に記載の測定方法。
【００３８】（実施態様１８）前記第１と第２のプロー
ブ光信号を発生し、前記上部表面と前記下部表面から集
めた前記光を結合するステップが、単一光学結合器［１
６］を設けるステップを備えたことを特徴とする、実施
態様１０に記載の測定方法。
ブ光信号を発生し、前記上部表面と前記下部表面から集
めた前記光を結合するステップが、単一光学結合器［１
６］を設けるステップを備えたことを特徴とする、実施
態様１０に記載の測定方法。
【００３９】
【発明の効果】以上詳述したように、被接触で不透明な
フィルムの厚さや、透明フィルムの厚さと群屈折率がオ
ンライン測定できるので実益がある。フィルムのはため
きによる影響を小さくすることもできる。
フィルムの厚さや、透明フィルムの厚さと群屈折率がオ
ンライン測定できるので実益がある。フィルムのはため
きによる影響を小さくすることもできる。
【図１】本発明による厚さ測定装置の実施例に関する略
図である。
図である。
【図２】図１に示すファイバ１３及び１４の端部の拡大
図である。
図である。
【図３】本発明において、不透明なフィルムの測定に用
いられた場合に、自己相関受信器によって発生する出力
を示す図である。
いられた場合に、自己相関受信器によって発生する出力
を示す図である。
【図４】群屈折率ｎを有する透明フィルムがプローブ対
の間に配置された場合の、自己相関器の出力を示す図で
ある。
の間に配置された場合の、自己相関器の出力を示す図で
ある。
【図５】本発明の望ましい実施例において用いられるフ
ァイバ端部とレンズの断面図である。
ァイバ端部とレンズの断面図である。
【図６】光学反射率計を受信器に利用した本発明の実施
例に関する略図である。
例に関する略図である。
１０ 厚さ測定装置 １２ 低コヒーレンス光源 １３ 光ファイバ １４ 光ファイバ １５ フィルム １６ 結合器 １７ 光ファイバ １８ 自己相関器 １９ ビーム分割器 ２０ 固定鏡 ２１ 可動鏡 ２２ フォトダイオード ２３ 上部基準表面 ２４ 下部基準表面 ２５ 上部表面 ２６ 下部表面 ５１ 光ファイバ ５２ 光ファイバ ５３ フィルム ５５ レンズ ５６ レンズ ５８ 上部基準表面 ５９ 下部基準表面 １００ 代替装置 １２０ 光検出器 １２１ 可動鏡 １３０ 光ファイバ １４０ 光ファイバ １６１ 結合器 １６４ 結合器
Claims (1)
- 【請求項１】上部表面及び下部表面を備えたフィルムの
厚さを測定するための装置において、低コヒーレント光
源から第１のプローブ光信号及び第２のプローブ光信号
を発生するための手段、前記上部表面に向かって前記第
１のプローブ光信号を送り、前記上部表面を出る光を集
めるための手段と、前記上部表面を出る光を部分的に反
射して、前記上部表面に向かって戻すための上部基準表
面と、前記下部表面に向かって第２のプローブ光信号を
送り、前記下部表面を出る光を集めるための手段と、前
記下部表面を出る光を部分的に反射し、前記下部表面に
向かって戻すための下部基準表面と、前記上部表面及び
下部表面から集めた前記光を結合して、集光信号を形成
するための結合手段と、前記集光信号を受信して、前記
上部表面及び前記上部基準表面から反射した光と、前記
下部表面及び前記下部基準表面から反射した光の間にお
ける時間遅延を求めるための受信器を備えた、測定装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/520,199 US5642196A (en) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | Method and apparatus for measuring the thickness of a film using low coherence reflectometry |
| US520,199 | 1995-08-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09119814A true JPH09119814A (ja) | 1997-05-06 |
| JP3814343B2 JP3814343B2 (ja) | 2006-08-30 |
Family
ID=24071580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22483596A Expired - Fee Related JP3814343B2 (ja) | 1995-08-28 | 1996-08-27 | フィルム厚の測定方法及び装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5642196A (ja) |
| EP (1) | EP0762079A3 (ja) |
| JP (1) | JP3814343B2 (ja) |
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