JPH09106243A - Method for duplicating hologram - Google Patents

Method for duplicating hologram

Info

Publication number
JPH09106243A
JPH09106243A JP26417495A JP26417495A JPH09106243A JP H09106243 A JPH09106243 A JP H09106243A JP 26417495 A JP26417495 A JP 26417495A JP 26417495 A JP26417495 A JP 26417495A JP H09106243 A JPH09106243 A JP H09106243A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hologram
light
array
original plate
diffracted light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26417495A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Miyaji
宮地良幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP26417495A priority Critical patent/JPH09106243A/en
Publication of JPH09106243A publication Critical patent/JPH09106243A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Holo Graphy (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the recording of unnecessary interference fringes by incident of the diffracted light of order exclusive of 0 order and +1st order generated from an original plate hologram on a hologram photosensitive material in duplicating the hologram by duplication from the original plate hologram. SOLUTION: A louver 17 is interposed between the hologram original plate 7' and the hologram photosensitive material 18 in a method for duplicating the hologram by optical duplication from the hologram original plate 7'. A laser beam is then made incident thereon from the hologram original plate 7' and the +2nd diffracted light 22 generated by the hologram original plate 7' and the higher order diffracted light exclusive thereof are absorbed and only the +1st order diffracted light 21 and rectilinearly transmitted light 20 are interfered in the photosensitive layer 13 of the hologram photosensitive material 18, by which the hologram is duplicated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ホログラムの複製
方法に関し、特に、ホログラム原版から発生する0次、
+1次以外の次数の回折光と0次、+1次の回折光との
間で生じる不要干渉縞を防止したホログラムの複製方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hologram duplication method, and more particularly to a zero-order hologram generated from a hologram master plate.
The present invention relates to a hologram duplication method in which unnecessary interference fringes generated between diffracted light of orders other than + 1st order and diffracted lights of 0th order and + 1st order are prevented.

【0002】[0002]

【従来の技術】ホログラムアレーは、例えばマイクロレ
ンズアレーの代わりに用いることができる。このような
ホログラムアレーの1つとして、本出願人は、特願平5
−12170号等において、液晶表示装置用ホログラム
カラーフィルターを提案した。その構成は、偏心したフ
レネルゾーンプレート状の微小ホログラムアレーからな
るものである。また、上記出願において、この微小ホロ
グラムアレーと同様の作用をはたす別の液晶表示装置用
ホログラムカラーフィルターとして、平行で一様な干渉
縞からなるホログラム又は回折格子とその入射側あるい
は射出側に配置された集光性レンズアレーとからなるも
のも提案している。以下、簡単にこのホログラムカラー
フィルターについて説明する。
Holographic arrays can be used, for example, instead of microlens arrays. As one of such hologram arrays, the applicant of the present invention has proposed a Japanese Patent Application No.
No. 12170, etc., proposed a hologram color filter for liquid crystal display devices. The structure is composed of an eccentric Fresnel zone plate-shaped micro hologram array. Further, in the above application, as another hologram color filter for liquid crystal display device that performs the same operation as this minute hologram array, a hologram or diffraction grating composed of parallel and uniform interference fringes and its entrance side or exit side is arranged. It also proposes a lens array with a condensing lens array. The hologram color filter will be briefly described below.

【0003】図2の断面図を参照にして、微小ホログラ
ムアレーからなるホログラムカラーフィルターを用いた
液晶表示装置について説明する。同図において、規則的
に液晶セル6′(画素)に区切られた液晶表示素子6の
バックライト3入射側にこのホログラムカラーフィルタ
ーを構成するホログラムアレー5が離間して配置され
る。液晶表示素子6背面には、各液晶セル6′の間に設
けられたブラック・マトリックス4が配置される。以上
の他、図示しない偏光板が液晶表示素子6の両側に配置
される。なお、ブラック・マトリックス4の間には、従
来のカラー液晶表示装置と同様に、R、G、Bの分色画
素に対応した色の光を通過する吸収型のカラーフィルタ
ーを配置するようにしてもよい。
A liquid crystal display device using a hologram color filter composed of a minute hologram array will be described with reference to the sectional view of FIG. In the figure, a hologram array 5 constituting this hologram color filter is arranged at a distance from the backlight 3 incident side of a liquid crystal display element 6 which is regularly divided into liquid crystal cells 6 '(pixels). On the back surface of the liquid crystal display element 6, a black matrix 4 provided between the liquid crystal cells 6 'is arranged. In addition to the above, polarizing plates (not shown) are arranged on both sides of the liquid crystal display element 6. It should be noted that an absorption type color filter that transmits light of colors corresponding to R, G, and B color separation pixels is arranged between the black matrix 4 as in the conventional color liquid crystal display device. Is also good.

【0004】ホログラムアレー5は、R、G、Bの分色
画素の繰り返し周期、すなわち、液晶表示素子6の紙面
内の方向に隣接する3つの液晶セル6′の組各々に対応
して、その繰り返しピッチと同じピッチでアレー状に配
置された微小ホログラム5′からなり、微小ホログラム
5′は液晶表示素子6の紙面内の方向に隣接する3つの
液晶セル6′各組に整列して各々1個ずつ配置されてお
り、各微小ホログラム5′は、ホログラムアレー5の法
線に対して角度θをなして入射するバックライト3の中
の緑色の成分の光を、その微小ホログラム5′に対応す
る3つの分色画素R、G、Bの中心の液晶セルG上に集
光するようにフレネルゾーンプレート状に形成されてい
るものである。そして、微小ホログラム5′は、回折効
率の波長依存性がないかもしくは少ない、レリーフ型、
位相型、振幅型等の透過型ホログラムからなる。ここ
で、回折効率の波長依存性がないかもしくは少ないと
は、リップマンホログラムのように、特定の波長だけを
回折し、他の波長は回折しないタイプのものではなく、
1つの回折格子で何れの波長も回折するものを意味し、
この回折効率の波長依存性が少ない回折格子は、波長に
応じて異なる回折角で回折する。
The hologram array 5 has a repetition period of R, G, and B color separation pixels, that is, a set of three liquid crystal cells 6 ′ adjacent to each other in the direction of the liquid crystal display element 6 in the plane of the paper. The micro holograms 5 'are arranged in an array at the same pitch as the repetition pitch. The micro holograms 5' are aligned with each set of three liquid crystal cells 6 'adjacent to each other in the direction of the plane of the liquid crystal display element 6, and each hologram 5' Each of the micro holograms 5 ′ corresponds to the light of the green component in the backlight 3 that enters at an angle θ with respect to the normal to the hologram array 5 and corresponds to the micro hologram 5 ′. It is formed in a Fresnel zone plate shape so that light is condensed on the liquid crystal cell G at the center of the three color separation pixels R, G, and B. The micro hologram 5 ′ has a relief type, which has no or little wavelength dependence of the diffraction efficiency.
It consists of transmission holograms such as phase type and amplitude type. Here, the fact that there is no or little wavelength dependence of the diffraction efficiency is not a type that diffracts only a specific wavelength and does not diffract other wavelengths like a Lippman hologram,
Means that one diffraction grating diffracts any wavelength,
The diffraction grating having a small wavelength dependence of the diffraction efficiency diffracts at different diffraction angles according to the wavelength.

【0005】このような構成であるので、ホログラムア
レー5の液晶表示素子6と反対側の面からその法線に対
して角度θをなして入射する白色のバックライト3を入
射させると、波長に依存して微小ホログラム5′による
回折角は異なり、各波長に対する集光位置はホログラム
アレー5面に平行な方向に分散される。その中の、赤の
波長成分は赤を表示する液晶セルRの位置に、緑の成分
は緑を表示する液晶セルGの位置に、青の成分は青を表
示する液晶セルBの位置にそれぞれ回折集光するよう
に、ホログラムアレー5を構成配置することにより、そ
れぞれの色成分はブラック・マトリックス4でほとんど
減衰されずに各液晶セル6′を通過し、対応する位置の
液晶セル6′の状態に応じた色表示を行うことができ
る。
[0005] With such a configuration, when the white backlight 3 that enters at an angle θ with respect to the normal line from the surface of the hologram array 5 opposite to the liquid crystal display element 6 is incident, the wavelength is reduced. Accordingly, the diffraction angle of the minute hologram 5 'is different, and the light condensing position for each wavelength is dispersed in a direction parallel to the hologram array 5 surface. Among them, the red wavelength component is located at the position of the liquid crystal cell R displaying red, the green component is located at the position of the liquid crystal cell G displaying green, and the blue component is located at the position of the liquid crystal cell B displaying blue. By arranging the hologram array 5 so as to diffract and collect light, each color component passes through each liquid crystal cell 6 ′ with almost no attenuation in the black matrix 4 and the liquid crystal cell 6 ′ at the corresponding position. Color display can be performed according to the state.

【0006】このように、ホログラムアレー5をカラー
フィルターとして用いることにより、従来のカラーフィ
ルター用バックライトの各波長成分を無駄なく吸収なく
各液晶セル6′へ入射させることができるため、その利
用効率を大幅に向上させることができる。
As described above, by using the hologram array 5 as a color filter, each wavelength component of the conventional color filter backlight can be made incident to each liquid crystal cell 6'without being absorbed, and its utilization efficiency is improved. Can be significantly improved.

【0007】次に、図3の断面図を参照にして、平行で
一様な干渉縞からなるホログラム又は回折格子とその入
射側あるいは射出側に配置された集光性レンズアレーと
からホログラムカラーフィルターを用いた液晶表示装置
について説明する。同図において、第2のタイプのホロ
グラムカラーフィルター10は、ホログラム7と集光性
マイクロレンズアレー8とからなり、マイクロレンズア
レー8を構成するマイクロレンズ8′は、R、G、Bの
分色画素の繰り返し周期、すなわち、液晶表示素子6の
紙面内の方向に隣接する3つの液晶セル6′の組各々に
対応して、その繰り返しピッチと同じピッチでアレー状
に配置されている。また、ホログラム7は、回折格子の
作用をする平行で一様な干渉縞からなり、回折効率の波
長依存性がないかもしくは少ない、レリーフ型、位相
型、振幅型等の透過型ホログラムからなる。液晶表示素
子6背面には、各液晶セル6′の間に設けられたブラッ
ク・マトリックス4が配置される。以上の他、図示しな
い偏光板が液晶表示素子6の両側に配置される。なお、
ブラック・マトリックス4の間には、従来のカラー液晶
表示装置と同様に、R、G、Bの分色画素に対応した色
の光を通過する吸収型のカラーフィルターを付加的に配
置するようにしてもよい。
Next, with reference to the sectional view of FIG. 3, a hologram or a diffraction grating composed of parallel and uniform interference fringes and a condensing lens array arranged on the incident side or the exit side thereof are used to form a hologram color filter. A liquid crystal display device using will be described. In the figure, a hologram color filter 10 of the second type comprises a hologram 7 and a condensing microlens array 8, and microlenses 8 'constituting the microlens array 8 are R, G, B color separation. The pixels are arranged in an array at the same pitch as the repetition cycle of the pixels, that is, each set of three liquid crystal cells 6 ′ adjacent to each other in the direction of the paper surface of the liquid crystal display element 6. The hologram 7 is composed of parallel and uniform interference fringes acting as a diffraction grating, and is formed of a transmission hologram such as a relief type, a phase type, and an amplitude type having little or no wavelength dependence of diffraction efficiency. On the back surface of the liquid crystal display element 6, a black matrix 4 provided between the liquid crystal cells 6 'is arranged. In addition to the above, polarizing plates (not shown) are arranged on both sides of the liquid crystal display element 6. In addition,
As in the conventional color liquid crystal display device, an absorption type color filter which transmits light of colors corresponding to the R, G and B color separation pixels is additionally arranged between the black matrixes 4. May be.

【0008】このような構成であるので、ホログラム7
の液晶表示素子6と反対側の面からその法線に対して角
度θをなしてバックライト3を入射させると、波長に依
存して異なる角度で回折され、ホログラム7の射出側に
分散される。ホログラム7の入射側又は出射側に配置さ
れたマイクロレンズ8′により、この分散された光は、
その焦点面に波長毎に分離されて集光する。その中の、
赤の波長成分は赤を表示する液晶セルRの位置に、緑の
成分は緑を表示する液晶セルGの位置に、青の成分は青
を表示する液晶セルBの位置にそれぞれ回折集光するよ
うに、カラーフィルター10を構成配置することによ
り、それぞれの色成分はブラック・マトリックス4でほ
とんど減衰されずに各液晶セル6′を通過し、対応する
位置の液晶セル6′の状態に応じた色表示を行うことが
できる。
With such a configuration, the hologram 7
When the backlight 3 is incident on the surface opposite to the liquid crystal display element 6 at an angle θ with respect to the normal line, the light is diffracted at different angles depending on the wavelength and dispersed on the exit side of the hologram 7. . Due to the microlenses 8 ′ arranged on the entrance side or the exit side of the hologram 7, this dispersed light
The light is separated and focused on the focal plane for each wavelength. Among them,
The red wavelength component is diffracted and condensed at the position of the liquid crystal cell R for displaying red, the green component is diffracted and condensed at the position of the liquid crystal cell G for displaying green, and the blue component is condensed at the position of the liquid crystal cell B for displaying blue. As described above, by arranging the color filter 10, each color component passes through each liquid crystal cell 6 'with little attenuation by the black matrix 4, and corresponds to the state of the liquid crystal cell 6' at the corresponding position. Color display can be performed.

【0009】このような配置において、ホログラム7と
して、集光性でなく一様な干渉縞からなる回折効率の波
長依存性が少ない透過型ホログラムを用いることができ
るため、ホログラム7をマイクロレンズアレー8の各マ
イクロレンズ8′と位置合わせする必要がない点、及
び、マイクロレンズアレー8のピッチが各液晶セル6′
各々に対応して1個のマイクロレンズを配置する従来の
場合の3倍になり、作りやすくかつ整列しやすい点に特
長がある。
In such an arrangement, as the hologram 7, a transmission hologram having uniform interference fringes and having a small wavelength dependency of diffraction efficiency, which is not a light-collecting property, can be used. And the pitch of the microlens array 8 is different from that of each liquid crystal cell 6 '.
It is three times as large as the conventional case where one microlens is arranged corresponding to each, and is characterized in that it is easy to manufacture and easy to align.

【0010】上記のような、ホログラムアレーからなる
カラーフィルターの製造は、例えば計算機ホログラムか
らなる微小ホログラムレンズアレーから出た多点収束光
とゼロ次透過光との二光束干渉による複製方法(特願平
5−14572号)によっている。その複製方法を図4
の断面図を参照にして簡単に説明すると、微小ホログラ
ム5′のホログラム干渉縞を計算機によって計算し、例
えば電子線レジストを塗布したガラス基板上へ電子ビー
ムによってその干渉縞を描画し、現像して、レリーフ型
の計算機ホログラム(CGH:Computer Ge
neratedHologram)5″のアレー7′を
作製する。次いで、図4に示すように、このようにして
作製したCGHアレー7′のレリーフ面上にホログラム
感材18を密着させるか若干ギャップをおいて重ね合わ
せ、CGHアレー7′側から図2のバックライト3に相
当する角度θでレーザ光9を入射させ、CGHアレー
7′の各CGH5″によって生じる収束回折光10と直
進透過光11とをホログラム感材18の感光層13中で
干渉させて、CGHアレー7′を複製する。この複製さ
れたホログラムが図2のホログラムアレー5として用い
られる。なお、複製ホログラムを原版としてさらに複製
することによってホログラムアレー5を作製することも
できる。
A color filter comprising a hologram array as described above is manufactured by, for example, a duplication method by two-beam interference of multi-point converged light and zero-order transmitted light emitted from a micro-hologram lens array composed of computer generated holograms (Japanese Patent Application No. 2000-242242). Hei 5-14572). Figure 4 shows the duplication method.
Briefly described with reference to the cross-sectional view of FIG. 5, a hologram interference fringe of the minute hologram 5 'is calculated by a computer, and the interference fringe is drawn by an electron beam on a glass substrate coated with an electron beam resist, for example, and developed. , Relief type computer generated hologram (CGH: Computer Ge)
An array 7'of a related hologram) 5 "is prepared. Next, as shown in FIG. 4, the hologram photosensitive material 18 is brought into close contact with the relief surface of the CGH array 7'prepared in this way, or overlapped with a slight gap. In addition, a laser beam 9 is made incident from the CGH array 7 ′ side at an angle θ corresponding to the backlight 3 in FIG. 2, and the convergent diffracted light 10 and the straight transmitted light 11 generated by each CGH 5 ″ of the CGH array 7 ′ are holographically sensed. The CGH array 7'is duplicated by interfering in the photosensitive layer 13 of the material 18. This duplicated hologram is used as the hologram array 5 in FIG. The hologram array 5 can be manufactured by further duplicating the duplicate hologram as an original plate.

【0011】さらに、複製の際、ホログラム干渉縞の記
録がなく回折しない領域が発生しないようにするため、
CGHアレー7′あるいは第1回の複製によりCGHア
レー7′から作製された原版とホログラム感材18との
間に所定の間隙をおいて複製する方法も本出願人が、特
願平7−148609号、特願平7−249115号等
において提案した。
Further, in the case of duplication, there is no recording of hologram interference fringes so that a region which is not diffracted does not occur,
The applicant of the present invention has also proposed a method of duplicating the CGH array 7'or the original produced from the CGH array 7'by the first duplication and the hologram photosensitive material 18 with a predetermined gap. And Japanese Patent Application No. 7-249115.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】ところで、CGHアレ
ー7′のようなホログラムにレーザ光9を入射させる
と、図5に模式的に示すように、収束回折光10が相当
する+1次回折光21、直進透過光11が相当する0次
回折光20以外にも、+2次回折光22、それ以外の高
次回折光23が生じる。この中、+2次回折光22、そ
れ以外の高次回折光23は不要な回折光であり、密着あ
るいはギャップをおいて配置されたホログラム感材18
の感光層13中で0次回折光20あるいは+1次回折光
21と干渉して不要な干渉縞が複製と同時に記録されて
しまう。このような不要干渉縞が複製された正規のホロ
グラム干渉縞に重畳して記録されると、複製されたホロ
グラムの回折効率を低下させてしまうと共に、不要干渉
縞により迷光が発生してしまい、ホログラムからの再生
像の質を悪化させる。また、図2に示したようなホログ
ラムカラーフィルター5の場合には、このような不要干
渉縞による迷光により、カラー液晶表示装置の表示のコ
ントラストを低下させてしまう。
By the way, when the laser beam 9 is incident on the hologram such as the CGH array 7 ', as shown schematically in FIG. 5, the convergent diffracted beam 10 corresponds to the + 1st order diffracted beam 21, In addition to the 0th-order diffracted light 20 corresponding to the straight traveling transmitted light 11, + 2nd-order diffracted light 22 and other higher-order diffracted light 23 are generated. Among them, the + 2nd-order diffracted light 22 and the other higher-order diffracted light 23 are unnecessary diffracted lights, and the hologram sensitive material 18 is closely attached or is arranged with a gap.
The unnecessary interference fringes are recorded at the same time as the copy by interfering with the 0th-order diffracted light 20 or the + 1st-order diffracted light 21 in the photosensitive layer 13. When such unnecessary interference fringes are recorded by being superimposed on the duplicated regular hologram interference fringes, the diffraction efficiency of the duplicated hologram is reduced, and stray light is generated due to the unnecessary interference fringes. Deteriorates the quality of the reproduced image from. Further, in the case of the hologram color filter 5 as shown in FIG. 2, stray light due to such unnecessary interference fringes lowers the display contrast of the color liquid crystal display device.

【0013】本発明はこのような従来技術の問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的は、原版ホログラム
から複製によってホログラムを複製する際に、原版ホロ
グラムから発生する0次、+1次以外の次数の回折光が
ホログラム感材に入射して不要干渉縞が記録されるのを
防止するホログラムの複製方法を提供することである。
The present invention has been made in view of the above problems of the prior art, and an object thereof is to generate a hologram other than the 0th order and the + 1st order generated from the original hologram when the hologram is duplicated from the original hologram. It is an object of the present invention to provide a hologram duplication method for preventing unnecessary interference fringes from being recorded by the diffracted light of the order of ∘ entering the hologram photosensitive material.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のホログラムの複製方法は、ホログラム原版から光学
的な複製によりホログラムを複製する方法において、ホ
ログラム原版とホログラム感材との間にルーバーを介在
させ、ホログラム原版側からレーザ光を入射させて、ホ
ログラム原版によって生じる+1次回折光と直進透過光
とをホログラム感材の感光層中で干渉させて複製するこ
とを特徴とする方法である。
The hologram duplication method of the present invention for achieving the above object is a method of duplicating a hologram from a hologram master by optical duplication, in which a louver is provided between the hologram master and the hologram photosensitive material. In this method, a laser beam is incident on the hologram original plate side so that the + 1st order diffracted light and the linearly transmitted light generated by the hologram original plate interfere with each other in the photosensitive layer of the hologram photosensitive material to reproduce the light.

【0015】この場合、ホログラム原版が集光性の計算
機ホログラムアレーからなるものであってもよい。
In this case, the hologram original plate may be composed of a computer-generated hologram array having a light collecting property.

【0016】また、ホログラム原版として、集光性の要
素ホログラムを周期的に配置したアレーからなり、各要
素ホログラムが記録面の法線に対して角度をなして入射
する白色光を記録面に沿う方向に波長分散させて分光す
るホログラムカラーフィルターのレリーフ型ホログラ
ム、あるいは、そのホログラムにホログラム感材を重ね
合わせて、レリーフ型ホログラム側からレーザ光を入射
させて、レリーフ型ホログラムの各要素ホログラムによ
って生じる収束回折光と直進透過光とをホログラム感材
の感光層中で干渉させて複製して得られたホログラムで
ある場合に、本発明を適用することが好適である。
Further, the hologram original plate is composed of an array in which light-condensing element holograms are periodically arranged, and white light incident on each element hologram at an angle to the normal to the recording surface is along the recording surface. Relief type hologram of a hologram color filter that disperses wavelengths in a certain direction, or superimposes a hologram photosensitive material on the hologram and causes laser light to enter from the relief type hologram side, and is generated by each element hologram of the relief type hologram It is preferable to apply the present invention in the case of a hologram obtained by causing the convergent diffracted light and the linearly transmitted light to interfere with each other in the photosensitive layer of the hologram photosensitive material and duplicated.

【0017】また、ホログラム原版として、平行で一様
な干渉縞からなるホログラム又は回折格子とその入射側
あるいは射出側に配置された集光性レンズのアレーとか
らなり、そのホログラム又は回折格子と集光性レンズの
複合対各々がホログラム又は回折格子の記録面の法線に
対して角度をなして入射する白色光を記録面に沿う方向
に波長分散させて分光するホログラムカラーフィルタ
ー、又は、平行で一様な干渉縞からなるホログラム又は
回折格子を用いることもできる。
Further, the hologram original plate is composed of a hologram or a diffraction grating having parallel and uniform interference fringes and an array of condensing lenses arranged on the incident side or the exit side thereof, and the hologram or the diffraction grating is assembled. Each of the composite pairs of optical lenses is a hologram color filter that disperses white light incident at an angle with respect to the normal line of the recording surface of the hologram or diffraction grating by wavelength dispersion in the direction along the recording surface, or in parallel. It is also possible to use a hologram or diffraction grating having uniform interference fringes.

【0018】本発明においては、ホログラムの光学的な
複製において、ホログラム原版とホログラム感材との間
にルーバーを介在させるので、0次、+1次回折光以外
の不要な次数の回折光が除去でき、ホログラム原版の複
製に伴って0次回折光あるいは+1次回折光と+2次回
折光、それ以外の高次回折光とが干渉して不要な干渉縞
が記録されることはなくなり、複製されたホログラムの
回折効率の低下、迷光の発生が防止できる。
In the present invention, in the optical duplication of the hologram, since the louver is interposed between the hologram original plate and the hologram photosensitive material, unnecessary diffracted light other than the 0th and + 1st order diffracted light can be removed. With the duplication of the hologram master plate, the 0th-order diffracted light or the + 1st-order diffracted light interferes with the + 2nd-order diffracted light and other higher-order diffracted light to prevent unnecessary interference fringes from being recorded. It is possible to prevent deterioration and generation of stray light.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下に、本発明のホログラムの複
製方法の1実施例を図面を参照にして説明する。図1は
本発明のホログラムの複製方法を実施するための配置の
1例を示す断面図であり、図4の従来の場合と同様、複
製するホログラム原版のCGHアレー7′は、微小ホロ
グラム5′のホログラム干渉縞を計算機によって計算
し、例えば電子線レジストを塗布したガラス基板上へ電
子ビームによってその干渉縞を描画し、現像することに
よって、CGH5″のアレーとして作製したものであ
る。このようにして作製したCGHアレー7′のレリー
フ面上に、ガラス基材12上にフォトポリマー等の感光
層13を設けその上にカバーフィルム14を積層してな
るホログラム感材18を、カバーフィルム14側で若干
ギャップをおいて重ね合わせ、CGH原版7′側から図
2のバックライト3に相当するレーザ光9を入射させ、
CGH原版7′の各CGHによって生じる+1次回折光
21(収束回折光10に対応)と0次回折光20(直進
透過光11に対応)とを感光層13中で干渉させて、C
GH原版7′を複製する。この複製は、図4の従来の場
合と同様である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of a hologram duplication method of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing an example of an arrangement for carrying out the hologram duplication method of the present invention. As in the conventional case of FIG. 4, the CGH array 7'of the hologram original plate to be duplicated is a minute hologram 5 '. The hologram interference fringes of CGH5 ″ are calculated by a computer, and the interference fringes are drawn by an electron beam on a glass substrate coated with an electron beam resist and developed to prepare an array of CGH5 ″. On the relief film of the CGH array 7 ′ prepared as described above, a hologram photosensitive material 18 in which a photosensitive layer 13 such as a photopolymer is provided on a glass substrate 12 and a cover film 14 is laminated thereon is provided on the cover film 14 side. The laser light 9 corresponding to the backlight 3 of FIG. 2 is made incident from the CGH original plate 7'side with a slight gap therebetween.
The + 1st-order diffracted light 21 (corresponding to the convergent diffracted light 10) and the 0th-order diffracted light 20 (corresponding to the linearly transmitted light 11) generated by each CGH of the CGH original plate 7'are caused to interfere in the photosensitive layer 13, and C
GH original plate 7'is reproduced. This duplication is similar to the conventional case of FIG.

【0020】そして、本発明に基づいて、CGHアレー
7′とホログラム感材18の間隔の間にルーバー17を
介在させる。ルーバー17は、透明板15内に黒色の平
面状の薄い吸収層16を一定間隔で平行に配置してなる
ものであり、一定入射角以上及び一定入射角以下の光が
吸収層16に当たって吸収され透過できなくなるもの
で、透明板15の厚さと吸収層16間の間隔と透明板1
5の平面に対する吸収層16がなす角度とに応じて所定
の入射角度、例えば−10°〜+45の間の光にみを通
す。したがって、レーザ光9の入射角θを例えば40°
に設定し、CGH5″のピッチが300μm、その焦点
距離が1300μmのCGHアレー7′の場合には、こ
のルーバー17によって、CGHアレー7′で発生した
+2次回折光22、及び、それ以外の高次回折光23を
吸収させることができる。そのため、ホログラム感材1
8の感光層13中には入射せず、CGHアレー7′の複
製に伴って0次回折光20あるいは+1次回折光21と
干渉して不要な干渉縞が記録されることはなくなり、複
製されたホログラムカラーフィルター5の回折効率の低
下、迷光の発生が防止できる。
Then, according to the present invention, the louver 17 is interposed between the CGH array 7 ′ and the hologram sensitive material 18. The louver 17 is configured by arranging black planar thin absorption layers 16 in parallel in the transparent plate 15 at a constant interval, and light having a certain incident angle or more and a certain incident angle or less strikes the absorbing layer 16 and is absorbed. The transparent plate 15 and the space between the absorption layers 16 and the transparent plate 1
Depending on the angle formed by the absorption layer 16 with respect to the plane of No. 5, light having a predetermined incident angle, for example, between −10 ° and +45 is passed. Therefore, the incident angle θ of the laser beam 9 is 40 °, for example.
In the case of a CGH array 7 ′ having a CGH 5 ″ pitch of 300 μm and a focal length of 1300 μm, the louver 17 causes + 2nd-order diffracted light 22 generated in the CGH array 7 ′ and other It is possible to absorb the folding light 23. Therefore, the hologram photosensitive material 1
8 does not enter the photosensitive layer 13 and does not interfere with the 0th-order diffracted light 20 or the + 1st-order diffracted light 21 due to the duplication of the CGH array 7'and unnecessary interference fringes are not recorded. It is possible to prevent the diffraction efficiency of the color filter 5 from decreasing and stray light from occurring.

【0021】以上においては、複製するホログラム原版
としてCGHアレー7′を用いていたが、その代わり
に、図3に示すような、回折格子の作用をする平行で一
様な干渉縞からなり、回折効率の波長依存性がないかも
しくは少ない、レリーフ型、位相型、振幅型等の透過型
ホログラム7と集光性マイクロレンズアレー8とからな
る、いわば複合ホログラムをホログラム原版として用
い、これに上記と同様に、ルーバー17を介在させてホ
ログラム感材18を重ね合わせて複製することもでき
る。また、複製するホログラム原版として、ホログラム
7を用いて同様に複製を行うこともできる。
In the above, the CGH array 7'was used as the hologram original plate to be duplicated. Instead, however, the CGH array 7'comprises parallel and uniform interference fringes acting as a diffraction grating as shown in FIG. A so-called composite hologram, which is composed of a transmission hologram 7 of relief type, phase type, amplitude type, etc., and a condensing microlens array 8 having no or little wavelength dependency of efficiency, is used as a hologram master plate. Similarly, it is also possible to duplicate by duplicating the hologram photosensitive material 18 with the louver 17 interposed. Further, as the hologram original plate to be duplicated, the hologram 7 can be used to duplicate similarly.

【0022】以上、本発明のホログラムの複製方法をC
GH原版あるいは透過型ホログラムと集光性マイクロレ
ンズアレーとからなる複合ホログラムからホログラムカ
ラーフィルターを複製する場合を例にあげて説明した
が、原版ホログラムとしてはCGH、複合ホログラムに
限らず、通常の二光束干渉により得られるホログラム、
又は、それらを原版として複製により得られたホログラ
ムであってもよい。また、適用できる干渉縞の形態とし
ても、集光性のホログラムアレーに限らず、一般の画像
が記録されたホログラムであっても当然本発明の複製方
法は適用できる。
As described above, the hologram duplication method of the present invention is described in C.
The case where the hologram color filter is duplicated from a GH master plate or a composite hologram composed of a transmission hologram and a condensing microlens array has been described as an example. However, the master hologram is not limited to CGH and a composite hologram, and a normal hologram can be used. Hologram obtained by light beam interference,
Alternatively, the hologram may be a replica obtained by using them as an original plate. Also, the form of the interference fringes that can be applied is not limited to the converging hologram array, and the duplication method of the present invention can naturally be applied to a hologram on which a general image is recorded.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のホログラムの複製方法によると、ホログラムの光学的
な複製において、ホログラム原版とホログラム感材との
間にルーバーを介在させるので、0次、+1次回折光以
外の不要な次数の回折光が除去でき、ホログラム原版の
複製に伴って0次回折光あるいは+1次回折光と+2次
回折光あるいはそれ以外の高次回折光とが干渉して不要
な干渉縞が記録されることはなくなり、複製されたホロ
グラムの回折効率の低下、迷光の発生が防止できる。な
お、本発明の複製方法をホログラムカラーフィルターの
複製方法に適用した場合に、不要干渉縞による回折効率
の低下、迷光の発生が防止でき、カラー液晶表示装置の
表示のコントラストの低下を防ぐことができる。
As is apparent from the above description, according to the hologram duplication method of the present invention, since the louver is interposed between the hologram original plate and the hologram photosensitive material in the optical duplication of the hologram, the 0th order , The unnecessary diffracted light other than the + 1st-order diffracted light can be removed, and the 0th-order diffracted light or the + 1st-order diffracted light interferes with the + 2nd-order diffracted light or other higher-order diffracted light when the hologram original plate is duplicated, and unnecessary fringe Will not be recorded, and the diffraction efficiency of the duplicated hologram will be reduced and stray light can be prevented from occurring. When the duplication method of the present invention is applied to a duplication method of a hologram color filter, it is possible to prevent a decrease in diffraction efficiency due to unnecessary interference fringes and generation of stray light, and prevent a decrease in display contrast of a color liquid crystal display device. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のホログラムの複製方法を実施するため
の配置の1例を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an arrangement for carrying out a hologram duplication method of the present invention.

【図2】ホログラムカラーフィルターを用いた液晶表示
装置の断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device using a hologram color filter.

【図3】複合型のホログラムカラーフィルターを用いた
液晶表示装置の断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device using a composite hologram color filter.

【図4】従来の複製方法を説明するための断面図であ
る。
FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining a conventional duplication method.

【図5】ホログラムから発生する回折光を模式的に示す
図である。
FIG. 5 is a diagram schematically showing diffracted light generated from a hologram.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

3…バックライト 4…ブラック・マトリックス 5…ホログラムアレー(ホログラムカラーフィルター) 5′…微小ホログラム 5″…CGH 6…液晶表示素子 6′…液晶セル 7…ホログラム 7′…CGHアレー原版 8…集光性マイクロレンズアレー 8′…マイクロレンズ 9…レーザ光 10…ホログラムカラーフィルター 10′…収束回折光 11…直進透過光 12…ガラス基材 13…感光層 14…カバーフィルム 15…透明板 16…吸収層 17…ルーバー 18…ホログラム感材 20…0次回折光 21…+1次回折光 22…+2次回折光 23…高次回折光 3 ... Backlight 4 ... Black matrix 5 ... Hologram array (hologram color filter) 5 '... Micro hologram 5 "... CGH 6 ... Liquid crystal display element 6' ... Liquid crystal cell 7 ... Hologram 7 '... CGH array original plate 8 ... Condensing Microlens array 8 '... Microlens 9 ... Laser light 10 ... Hologram color filter 10' ... Convergent diffracted light 11 ... Straight transmitted light 12 ... Glass base material 13 ... Photosensitive layer 14 ... Cover film 15 ... Transparent plate 16 ... Absorption layer 17 ... Louver 18 ... Holographic material 20 ... 0th-order diffracted light 21 ... + 1st-order diffracted light 22 ... + 2nd-order diffracted light 23 ... High-order diffracted light

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ホログラム原版から光学的な複製により
ホログラムを複製する方法において、ホログラム原版と
ホログラム感材との間にルーバーを介在させ、ホログラ
ム原版側からレーザ光を入射させて、ホログラム原版に
よって生じる+1次回折光と直進透過光とをホログラム
感材の感光層中で干渉させて複製することを特徴とする
ホログラムの複製方法。
1. A method of duplicating a hologram from a hologram master by optical duplication, in which a louver is interposed between the hologram master and the hologram sensitive material, and laser light is incident from the hologram master side to generate the hologram master. A hologram duplication method, characterized in that + 1st-order diffracted light and straight transmitted light are interfering in a photosensitive layer of a hologram photosensitive material for duplication.
【請求項2】 前記ホログラム原版が集光性の計算機ホ
ログラムアレーからなることを特徴とする請求項1記載
のホログラムの複製方法。
2. The method of replicating a hologram according to claim 1, wherein the hologram original plate comprises a computer-generated hologram array having a light-collecting property.
【請求項3】 前記ホログラム原版が、集光性の要素ホ
ログラムを周期的に配置したアレーからなり、各要素ホ
ログラムが記録面の法線に対して角度をなして入射する
白色光を記録面に沿う方向に波長分散させて分光するホ
ログラムカラーフィルターのレリーフ型ホログラム、あ
るいは、そのホログラムにホログラム感材を重ね合わせ
て、レリーフ型ホログラム側からレーザ光を入射させ
て、レリーフ型ホログラムの各要素ホログラムによって
生じる収束回折光と直進透過光とをホログラム感材の感
光層中で干渉させて複製して得られたホログラムからな
ることを特徴とする請求項1又は2記載のホログラムの
複製方法。
3. The hologram original plate is composed of an array in which light-concentrating element holograms are periodically arranged, and each element hologram receives white light incident on the recording surface at an angle with respect to a normal to the recording surface. A relief type hologram of a hologram color filter that disperses and disperses wavelengths along the direction, or a hologram sensitive material is superimposed on the hologram, laser light is made incident from the relief type hologram side, and each element hologram of the relief type hologram is used. 3. The hologram duplication method according to claim 1, wherein the hologram is obtained by duplicating the generated convergent diffracted light and the straight transmitted light in the photosensitive layer of the hologram photosensitive material.
【請求項4】 前記ホログラム原版が、平行で一様な干
渉縞からなるホログラム又は回折格子とその入射側ある
いは射出側に配置された集光性レンズのアレーとからな
り、そのホログラム又は回折格子と集光性レンズの複合
対各々がホログラム又は回折格子の記録面の法線に対し
て角度をなして入射する白色光を記録面に沿う方向に波
長分散させて分光するホログラムカラーフィルターから
なることを特徴とする請求項1記載のホログラムの複製
方法。
4. The hologram original plate comprises a hologram or a diffraction grating composed of parallel and uniform interference fringes and an array of condensing lenses arranged on the entrance side or the exit side thereof, and the hologram or diffraction grating. Each of the complex pairs of condensing lenses is composed of a hologram color filter that disperses the white light incident at an angle with respect to the normal of the recording surface of the hologram or diffraction grating by wavelength dispersion in the direction along the recording surface. The method for replicating a hologram according to claim 1, wherein the hologram is copied.
【請求項5】 前記ホログラム原版が、平行で一様な干
渉縞からなるホログラム又は回折格子からなることを特
徴とする請求項1記載のホログラムの複製方法。
5. The hologram replicating method according to claim 1, wherein the hologram master plate is a hologram or a diffraction grating having parallel and uniform interference fringes.
JP26417495A 1995-10-12 1995-10-12 Method for duplicating hologram Pending JPH09106243A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26417495A JPH09106243A (en) 1995-10-12 1995-10-12 Method for duplicating hologram

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26417495A JPH09106243A (en) 1995-10-12 1995-10-12 Method for duplicating hologram

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09106243A true JPH09106243A (en) 1997-04-22

Family

ID=17399496

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26417495A Pending JPH09106243A (en) 1995-10-12 1995-10-12 Method for duplicating hologram

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09106243A (en)

Cited By (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016138054A1 (en) * 2015-02-27 2016-09-01 Corning Incorporated Optical assembly having microlouvers
US9701563B2 (en) 2013-12-17 2017-07-11 Corning Incorporated Laser cut composite glass article and method of cutting
US9815144B2 (en) 2014-07-08 2017-11-14 Corning Incorporated Methods and apparatuses for laser processing materials
US9815730B2 (en) 2013-12-17 2017-11-14 Corning Incorporated Processing 3D shaped transparent brittle substrate
US9850159B2 (en) 2012-11-20 2017-12-26 Corning Incorporated High speed laser processing of transparent materials
US9850160B2 (en) 2013-12-17 2017-12-26 Corning Incorporated Laser cutting of display glass compositions
US10047001B2 (en) 2014-12-04 2018-08-14 Corning Incorporated Glass cutting systems and methods using non-diffracting laser beams
US10144093B2 (en) 2013-12-17 2018-12-04 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
US10173916B2 (en) 2013-12-17 2019-01-08 Corning Incorporated Edge chamfering by mechanically processing laser cut glass
US10233112B2 (en) 2013-12-17 2019-03-19 Corning Incorporated Laser processing of slots and holes
US10252931B2 (en) 2015-01-12 2019-04-09 Corning Incorporated Laser cutting of thermally tempered substrates
US10280108B2 (en) 2013-03-21 2019-05-07 Corning Laser Technologies GmbH Device and method for cutting out contours from planar substrates by means of laser
US10335902B2 (en) 2014-07-14 2019-07-02 Corning Incorporated Method and system for arresting crack propagation
US10377658B2 (en) 2016-07-29 2019-08-13 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing
US10421683B2 (en) 2013-01-15 2019-09-24 Corning Laser Technologies GmbH Method and device for the laser-based machining of sheet-like substrates
US10522963B2 (en) 2016-08-30 2019-12-31 Corning Incorporated Laser cutting of materials with intensity mapping optical system
US10525657B2 (en) 2015-03-27 2020-01-07 Corning Incorporated Gas permeable window and method of fabricating the same
US10526234B2 (en) 2014-07-14 2020-01-07 Corning Incorporated Interface block; system for and method of cutting a substrate being transparent within a range of wavelengths using such interface block
US10626040B2 (en) 2017-06-15 2020-04-21 Corning Incorporated Articles capable of individual singulation
US10688599B2 (en) 2017-02-09 2020-06-23 Corning Incorporated Apparatus and methods for laser processing transparent workpieces using phase shifted focal lines
US10730783B2 (en) 2016-09-30 2020-08-04 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing transparent workpieces using non-axisymmetric beam spots
US10752534B2 (en) 2016-11-01 2020-08-25 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing laminate workpiece stacks
US11062986B2 (en) 2017-05-25 2021-07-13 Corning Incorporated Articles having vias with geometry attributes and methods for fabricating the same
US11078112B2 (en) 2017-05-25 2021-08-03 Corning Incorporated Silica-containing substrates with vias having an axially variable sidewall taper and methods for forming the same
US11111170B2 (en) 2016-05-06 2021-09-07 Corning Incorporated Laser cutting and removal of contoured shapes from transparent substrates
US11114309B2 (en) 2016-06-01 2021-09-07 Corning Incorporated Articles and methods of forming vias in substrates
US11186060B2 (en) 2015-07-10 2021-11-30 Corning Incorporated Methods of continuous fabrication of holes in flexible substrate sheets and products relating to the same
US11542190B2 (en) 2016-10-24 2023-01-03 Corning Incorporated Substrate processing station for laser-based machining of sheet-like glass substrates
US11554984B2 (en) 2018-02-22 2023-01-17 Corning Incorporated Alkali-free borosilicate glasses with low post-HF etch roughness
US11648623B2 (en) 2014-07-14 2023-05-16 Corning Incorporated Systems and methods for processing transparent materials using adjustable laser beam focal lines
US11773004B2 (en) 2015-03-24 2023-10-03 Corning Incorporated Laser cutting and processing of display glass compositions
US11774233B2 (en) 2016-06-29 2023-10-03 Corning Incorporated Method and system for measuring geometric parameters of through holes

Cited By (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9850159B2 (en) 2012-11-20 2017-12-26 Corning Incorporated High speed laser processing of transparent materials
US11028003B2 (en) 2013-01-15 2021-06-08 Corning Laser Technologies GmbH Method and device for laser-based machining of flat substrates
US11345625B2 (en) 2013-01-15 2022-05-31 Corning Laser Technologies GmbH Method and device for the laser-based machining of sheet-like substrates
US10421683B2 (en) 2013-01-15 2019-09-24 Corning Laser Technologies GmbH Method and device for the laser-based machining of sheet-like substrates
US11713271B2 (en) 2013-03-21 2023-08-01 Corning Laser Technologies GmbH Device and method for cutting out contours from planar substrates by means of laser
US10280108B2 (en) 2013-03-21 2019-05-07 Corning Laser Technologies GmbH Device and method for cutting out contours from planar substrates by means of laser
US10442719B2 (en) 2013-12-17 2019-10-15 Corning Incorporated Edge chamfering methods
US10293436B2 (en) 2013-12-17 2019-05-21 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
US10173916B2 (en) 2013-12-17 2019-01-08 Corning Incorporated Edge chamfering by mechanically processing laser cut glass
US10183885B2 (en) 2013-12-17 2019-01-22 Corning Incorporated Laser cut composite glass article and method of cutting
US10233112B2 (en) 2013-12-17 2019-03-19 Corning Incorporated Laser processing of slots and holes
US9701563B2 (en) 2013-12-17 2017-07-11 Corning Incorporated Laser cut composite glass article and method of cutting
US9850160B2 (en) 2013-12-17 2017-12-26 Corning Incorporated Laser cutting of display glass compositions
US10597321B2 (en) 2013-12-17 2020-03-24 Corning Incorporated Edge chamfering methods
US11148225B2 (en) 2013-12-17 2021-10-19 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
US10144093B2 (en) 2013-12-17 2018-12-04 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
US10392290B2 (en) 2013-12-17 2019-08-27 Corning Incorporated Processing 3D shaped transparent brittle substrate
US9815730B2 (en) 2013-12-17 2017-11-14 Corning Incorporated Processing 3D shaped transparent brittle substrate
US10611668B2 (en) 2013-12-17 2020-04-07 Corning Incorporated Laser cut composite glass article and method of cutting
US11697178B2 (en) 2014-07-08 2023-07-11 Corning Incorporated Methods and apparatuses for laser processing materials
US9815144B2 (en) 2014-07-08 2017-11-14 Corning Incorporated Methods and apparatuses for laser processing materials
US11648623B2 (en) 2014-07-14 2023-05-16 Corning Incorporated Systems and methods for processing transparent materials using adjustable laser beam focal lines
US10526234B2 (en) 2014-07-14 2020-01-07 Corning Incorporated Interface block; system for and method of cutting a substrate being transparent within a range of wavelengths using such interface block
US10335902B2 (en) 2014-07-14 2019-07-02 Corning Incorporated Method and system for arresting crack propagation
US11014845B2 (en) 2014-12-04 2021-05-25 Corning Incorporated Method of laser cutting glass using non-diffracting laser beams
US10047001B2 (en) 2014-12-04 2018-08-14 Corning Incorporated Glass cutting systems and methods using non-diffracting laser beams
US10252931B2 (en) 2015-01-12 2019-04-09 Corning Incorporated Laser cutting of thermally tempered substrates
WO2016138054A1 (en) * 2015-02-27 2016-09-01 Corning Incorporated Optical assembly having microlouvers
US11773004B2 (en) 2015-03-24 2023-10-03 Corning Incorporated Laser cutting and processing of display glass compositions
US10525657B2 (en) 2015-03-27 2020-01-07 Corning Incorporated Gas permeable window and method of fabricating the same
US11186060B2 (en) 2015-07-10 2021-11-30 Corning Incorporated Methods of continuous fabrication of holes in flexible substrate sheets and products relating to the same
US11111170B2 (en) 2016-05-06 2021-09-07 Corning Incorporated Laser cutting and removal of contoured shapes from transparent substrates
US11114309B2 (en) 2016-06-01 2021-09-07 Corning Incorporated Articles and methods of forming vias in substrates
US11774233B2 (en) 2016-06-29 2023-10-03 Corning Incorporated Method and system for measuring geometric parameters of through holes
US10377658B2 (en) 2016-07-29 2019-08-13 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing
US10522963B2 (en) 2016-08-30 2019-12-31 Corning Incorporated Laser cutting of materials with intensity mapping optical system
US11130701B2 (en) 2016-09-30 2021-09-28 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing transparent workpieces using non-axisymmetric beam spots
US10730783B2 (en) 2016-09-30 2020-08-04 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing transparent workpieces using non-axisymmetric beam spots
US11542190B2 (en) 2016-10-24 2023-01-03 Corning Incorporated Substrate processing station for laser-based machining of sheet-like glass substrates
US10752534B2 (en) 2016-11-01 2020-08-25 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing laminate workpiece stacks
US10688599B2 (en) 2017-02-09 2020-06-23 Corning Incorporated Apparatus and methods for laser processing transparent workpieces using phase shifted focal lines
US11078112B2 (en) 2017-05-25 2021-08-03 Corning Incorporated Silica-containing substrates with vias having an axially variable sidewall taper and methods for forming the same
US11972993B2 (en) 2017-05-25 2024-04-30 Corning Incorporated Silica-containing substrates with vias having an axially variable sidewall taper and methods for forming the same
US11062986B2 (en) 2017-05-25 2021-07-13 Corning Incorporated Articles having vias with geometry attributes and methods for fabricating the same
US10626040B2 (en) 2017-06-15 2020-04-21 Corning Incorporated Articles capable of individual singulation
US11554984B2 (en) 2018-02-22 2023-01-17 Corning Incorporated Alkali-free borosilicate glasses with low post-HF etch roughness

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09106243A (en) Method for duplicating hologram
EP1367415B1 (en) Hologram color filter with alignment mark and alignment method
US5506701A (en) Hologram color filter, liquid crystal display device using the same, and fabrication process of hologram color filter
JP4433355B2 (en) Production method of transmission hologram
US6473144B1 (en) Liquid crystal display apparatus and liquid crystal projection display apparatus which employ hologram color filter
JPH11174234A (en) Hologram color filter, manufacture of hologram color filter and spatial light modulation device using the same
JP3400000B2 (en) Liquid crystal display device using hologram
JP2000039516A (en) Hologram alignment mark and its manufacture
JPH06308332A (en) Color filter using hologram
JP3952318B2 (en) Hologram array replication method
JP3635589B2 (en) Hologram color filter and manufacturing method thereof
JPH0962171A (en) Production of hologram color filter
JP3685417B2 (en) Prism sheet assembly for hologram illumination
JPH06281932A (en) Liquid crystal display device using hologram
JP3594141B2 (en) Manufacturing method of micro hologram array for liquid crystal display
JP3931208B2 (en) Hologram color filter and manufacturing method thereof
JP3672116B2 (en) Hologram array replication method
JP3907015B2 (en) Hologram color filter and manufacturing method thereof
JPH0792327A (en) Color filter using hologram
JPH0962172A (en) Duplication method of hologram array
JPH09281442A (en) Method for correcting defect of hologram optical element and hologram optical element subjected to correction of defect
JPH0829769A (en) Liquid crystal display device using hologram and its production
JP4151808B2 (en) Hologram duplication method and hologram duplicated by the method
JPH10133551A (en) Original plate for reproducing hologram color filter
JP3700966B2 (en) Hologram for liquid crystal display