JPH09102275A - Method of forming bulkhead of flat display panel - Google Patents

Method of forming bulkhead of flat display panel

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JPH09102275A
JPH09102275A JP25965095A JP25965095A JPH09102275A JP H09102275 A JPH09102275 A JP H09102275A JP 25965095 A JP25965095 A JP 25965095A JP 25965095 A JP25965095 A JP 25965095A JP H09102275 A JPH09102275 A JP H09102275A
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Masashi Amatsu
Noriyuki Awaji
Keiichi Betsui
Shinya Fukuda
Tadayoshi Kosaka
圭一 別井
正史 天津
忠義 小坂
則之 淡路
晋也 福田
Original Assignee
Fujitsu Ltd
富士通株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the manhour in manufacture and materialize cost down by forming a bulkhead material flat layer equal in thickness and a bulkhead eventually accurate in height accuracy, by simple process, concerning the method of forming the bulkhead of a flat display panel.
SOLUTION: In the method of forming the bulkhead of a flat display panel which is provided, within discharge space, with a bulkhead to divide or partition a discharge area, glass paste 52 of bulkhead material is printed flatly on a glass board 51, using the printing mask 42 which has an opening 42a larger than bulkhead formation area and has a thickness equivalent to the height of the bulkhead where the quantity of shrinkage by baking is taken into expectation. A bulkhead material flat layer 52 equal in thickness distribution is obtained by heating and drying the printed bulkhead flat layer 53 in such temperature distribution that the heating temperature to the bulkhead material flat layer 53 goes higher at the center region and goes lower at the peripheral edge region. Next, it is patterned, thus a bulkhead eventually excellent in height accuracy is formed easily by simplified process.
COPYRIGHT: (C)1997,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明はガス放電形式のフラットディスプレイパネル(FDP)の隔壁形成方法に関するものである。 The present invention relates to relates to a partition wall forming process of the gas discharge type flat display panel (FDP).

【0002】この種のディスプレイパネルとしてプラズマディスプレイパネル(PDP)、又はカラー・フィルタとなる液晶パネルとスイッチング素子としてのプラズマ放電パネルとを組み合わせたプラズマアドレス液晶パネル(PALC)等が知られている。 [0002] a plasma display panel (PDP), or a plasma address liquid crystal panel (PALC) and the like which combines a plasma discharge panel as the liquid crystal panel and a switching element comprising a color filter is known as this type of display panel.

【0003】PDPやPALC等は簡易なプロセスにより大画面化が可能であり、高輝度、高速応答性、拡視野角を有するなどの利点により、直視型大画面の高品位T [0003] such as PDP or PALC is capable of large screen by a simple process, high brightness, fast response, the advantages such as having 拡視 viewing angle, high-grade T direct view large screen
V用表示デバイスとして有望視されている。 It is promising as a display device for V.

【0004】一般に、これらのPDPやPALCには画素(ドッドピクセル)間のクロストークや放電干渉等を防止して表示品質を高めるために、放電空間を画素毎、 [0004] Generally, in order to improve the display quality by preventing crosstalk and discharge interference or the like between the pixels (Dodd pixels) for these PDP and PALC, a discharge space for each pixel,
またはY方向に並ぶ複数の画素を共通空間に区画する隔壁が設けられている。 Or partition walls separating a plurality of pixels arranged in the Y direction in the common space is provided.

【0005】上記した隔壁は100〜200μmの高さを必要としているため、その形成に際しては、隔壁パターンに対応する開口を有する印刷マスクを用いてスクリーン印刷工程と乾燥工程とを繰り返して10層程度積層した厚い隔壁対応の隔壁材層を形成したり、それと同様なスクリーン印刷と乾燥工程とを繰り返してベタ状の隔壁材層を形成後、隔壁パターンマスクを用いてパターニングして隔壁を設けているので均一な膜厚に積層した隔壁材層が得られ難く、それらの隔壁形成工程が煩雑となることから均一な厚い隔壁材層が簡単に形成でき、その後の隔壁形成工程も容易で大量生産に有利な隔壁の形成方法が要望されている。 [0005] Since the above-mentioned partition wall is in need of height of 100-200 [mu] m, when the formation is about 10 layers by repeating the screen printing process and the drying process using a printing mask having openings corresponding to the barrier rib pattern or to form a laminated thick partition wall corresponding barrier rib material layer, therewith after forming the solid shape of the barrier rib material layer by repeating similar screen printing and drying step is provided with a partition wall is patterned by using a barrier rib pattern mask since difficult to obtain partition wall material layer laminated to a uniform thickness, their partition forming process can be uniformly thick barrier rib material layer is easily formed from becoming complicated, the mass production is easy to subsequent partition wall formation step method of forming a favorable partition wall is desired.

【0006】 [0006]

【従来の技術】図8はフラットディスプレイパネル(F BACKGROUND ART FIG. 8 is a flat display panel (F
DP)として、例えばカラー表示用の面放電型PDPの一例を示す要部分解斜視図であり、一つの画素EGに対応する部分の基本的な構造を示している。 As DP), for example a main part exploded perspective view showing an example of a surface discharge type PDP for a color display, it shows the basic structure of a portion corresponding to one pixel EG.

【0007】図示のように、マトリクス表示の単位発光領域EUには一対の表示電極X,Yとアドレス電極Aとが対向する3電極構造を有しており、カラー表示用の蛍光体の配置形態による分類上では反射型の面放電型PD [0007] As shown, the unit light emission areas EU of matrix display has a three-electrode structure in which a pair of display electrodes X, and the Y and the address electrode A facing, arrangement of phosphor for color display surface discharge type PD of the reflection type on classification by
Pと呼ばれている。 It has been referred to as the P.

【0008】そして、面放電のための一対のX,Yからなる表示電極12は、放電空間24に対して表示面H側のガラス基板11上に設けられ、面放電を広範囲にし、かつ表示光の遮光を最小限にするためにITO(Indium Tin O [0008] Then, the pair of X for the surface discharge, the display electrodes 12 consisting of Y is provided on the glass substrate 11 of the display surface H side with respect to the discharge space 24, and a wide range of surface discharge, and display light ITO (Indium Tin O to the light shielding to minimize
xide) 膜などからなる幅広い透明導電膜12a とその導電性を補う (低抵抗化) ように幅狭いバス金属膜12b とを積層した構成からなっている。 Xide) and wide transparent conductive film 12a made of a film compensate for the conductivity (consist formed by laminating a low resistance) as narrow bus metal film 12b.

【0009】また、その表示電極12は、壁電荷を利用してガス放電を維持するAC駆動のための誘電体層13によって放電空間24に対して絶縁状態となるように被覆されており、該誘電体層13の表面には、更に数千Å程度の膜厚のMgO膜からなる保護膜14が被覆されている。 Further, the display electrodes 12 are covered so as to be insulated with respect to the discharge space 24 by a dielectric layer 13 for AC driving to maintain the gas discharge by using a wall charge, the on the surface of the dielectric layer 13, it is covered a protective film 14, further comprising the MgO film having a thickness of several thousands Å.

【0010】一方、単位発光領域EUを選択的に発光させるためのアドレス電極Aは、背面側のガラス基板21上に、前記一対のX,Yからなる表示電極12と直交するように一定のピッチで配列され、各アドレス電極Aの間には100〜200μm程度の高さを有するストライプ状の隔壁22が設けられ、これによって放電空間24がライン方向 (表示電極12の延長方向) に単位発光領域EU毎に区画され、かつ該放電空間24の間隔寸法が規定されている。 On the other hand, the address electrode A for selectively emitting unit emitting region EU, on the glass substrate 21 of the back side, the pair of X, constant pitch so as to be perpendicular to the display electrodes 12 consisting of Y in the arrangement, a stripe-shaped barrier ribs 22 are provided, whereby the unit light emission region (the extension direction of the display electrode 12) the discharge space 24 is line direction having a height of about 100~200μm between each address electrode a It is divided into each EU, and a distance dimension the discharge space 24 is defined.

【0011】更に、前記ガラス基板21には、アドレス電極Aの上面及び隔壁22の側面を含む背面側の内面を被覆するようにR(赤),G(緑),B(青)の3原色の蛍光体23を設けて輝度を高め、その各色の蛍光体23は面放電時に放射される紫外線により励起されて発光し、R, Furthermore, the glass substrate 21, three primary colors so as to cover the back side of the inner surface including the upper surface and side surfaces of the partition walls 22 of the address electrodes A R (red), G (green), B (blue) of increasing the brightness of the phosphor 23 is provided, the phosphor 23 of each color to emit light by being excited by ultraviolet rays emitted during the surface discharge, R,
G,Bの組み合わせによるフルカラー表示を可能にしている。 G, which enables full color display by combination of B. その表示に際しては前記隔壁22により単位発光領域EU間のクロストークや放電干渉等を防止している。 Thereby preventing crosstalk and discharge interference and the like between the unit light emitting areas EU by the partition wall 22 when the display.

【0012】以上の構成のようなPDP1は、各ガラス基板11, 21について個別に所定の構成要素を設けた後、 [0012] PDP1 the above configuration, after providing the predetermined component separately for each glass substrate 11, 21,
該ガラス基板11と21を対向配置してその間隙の周囲をシール材により封止し、間隙内部の排気と放電ガスの封入を行う一連の工程によって製造している。 The periphery of the gap sealed by a sealing material to the glass substrate 11 and 21 placed opposite, are manufactured by a series of steps for performing the encapsulation of the exhaust and discharge gas inside the gap.

【0013】ところで、上記したような放電空間24を単位発光領域EU毎に仕切るように背面側のガラス基板21 By the way, the glass substrate 21 on the back surface side so as to divide the discharge space 24, as described above in unit light emitting areas each EU
上に隔壁22を形成する場合、図9(a) に示すように例えばアドレス電極Aが形成されたガラス基板21上に低融点ガラスフリットとバインダとを混合したガラスペーストをスクリーン印刷法等により複数回の重ね印刷により1 When forming a partition 22 above, a plurality of glass paste obtained by mixing a low-melting-point glass frit, a binder on the glass substrate 21 which for example the address electrodes A are formed as shown in FIG. 9 (a) by a screen printing method or the like by overprinting of times 1
00〜200μmの厚さに塗布し、乾燥させてベタ状のガラス塗布層31を形成する。 Was coated to a thickness of 00~200Myuemu, it is dried to form a glass coating layer 31 of the solid-like.

【0014】次に、該ガラス塗布層31上に耐サンドブラスト性のドライフィルム等の感光樹脂材32をコーティングし、所定のパターン露光及び現像処理を行って図9 [0014] Next, a photosensitive resin material 32 of the dry film such as the sandblast resistance on the glass coating layer 31 is coated, by performing a predetermined pattern exposure and development process 9
(b) に示すようにパターニングした隔壁形成用のレジストマスク33を形成し、そのレジストマスク33を介して前記ガラス塗布層31をサンドブラスト法によって選択的に切削してパターニングした後、レジストマスク33を除去し、そのパターニング層を例えば450〜550℃で数十分間加熱焼成することにより、図9(b) に示すように各アドレス電極Aの間の領域に放電空間を区画する10 The resist mask 33 for forming a partition wall and patterned as shown in (b) to form, after patterning selectively cut to by sandblasting the glass coating layer 31 through the resist mask 33, the resist mask 33 removed, by several tens of minutes heating firing the patterned layer for example at 450 to 550 ° C., for partitioning a discharge space in the region between the respective address electrodes a as shown in FIG. 9 (b) 10
0〜200μmの高さの隔壁を形成している。 Forming a height of the partition wall of 0~200Myuemu.

【0015】 [0015]

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記したような従来の隔壁の形成方法において、スクリーン印刷法によりガラスペーストを塗布した際の一回の塗布厚さは10〜20μm程度であるので、100〜200μmの厚さのベタ状の隔壁形成用のガラス塗布層31を形成する場合には、スクリーン印刷と乾燥の工程を10回程度、 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the conventional method of forming a partition wall as described above, since a single application thickness when coated with a glass paste by a screen printing method is about 10 to 20 [mu] m, 100 when forming a glass coating layer 31 of the solid-shaped partition forming the thickness of ~200μm is a screen printing and drying steps about 10 times,
或いはそれ以上繰り返して行わなければならないので工数がかなりかかり、また該ガラス塗布層31を均一な厚さのベタ状に形成することが難しい等、重ね合わせ印刷に高度な技術と熟練を要し、大量生産には不利であるといった問題があった。 Or more repeatedly it takes considerable effort because it must take place, also it is difficult to form the glass coating layer 31 with a uniform thickness solid form such as, requires skill and advanced technology to overlay printing, the mass production there is a problem is a disadvantage.

【0016】また、スクリーン印刷により形成されたガラス塗布層31の表面は、スクリーン・パターンのメッシュが転写され、そのメッシュ跡が残り易く、平坦な表面を得ることが難しい。 Further, the surface of the glass coating layer 31 formed by screen printing is transferred mesh screen pattern, apt to remain its mesh marks, it is difficult to obtain a flat surface. このため対向側の基板と重ね合わせて放電間隙を形成した際、当該隔壁の頂上部(接合面)に隙間が生じて隣接の放電領域との間でクロストークが起こるという問題があった。 When forming the discharge gap and the order superimposed on the substrate on the opposite side, there is a problem that crosstalk occurs between the top of the discharge region of the adjacent gap is formed (bonding surface) of the partition wall.

【0017】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、1 [0017] The present invention has been made in view of the conventional problems described above, 1
00μm以上の膜厚の大面積のベタ状の隔壁形成用のガラス塗布層の形成工程を低減し、均一な膜厚分布の隔壁材層と結果的に高さ精度の良い隔壁を簡単に形成することにより製造工数の削減とコストダウン及び隔壁上面の平坦化を図り、クロストークの低減と表示品質を向上させた新規なフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法を提供することを目的とするものである。 Reducing the step of forming the glass coating layer of solid-shaped partition forming the large-area film thickness of at least 00μm, easily form a uniform partition wall material layer of the film thickness distribution and consequently the height accurate bulkhead achieving planarization reduction and cost reduction and the partitions the upper surface of the production steps by, it is an object to provide a partition wall forming method of reducing a novel flat display panel having an improved display quality of the crosstalk.

【0018】 [0018]

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を達成するため、放電領域を区画、または仕切る隔壁が放電空間内に設けられたフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法において、隔壁形成面積より大きい開口部を有する印刷マスクを用いて隔壁材料のガラスペーストをパネル基板上にベタ印刷することにより、均一な膜厚分布を有するベタ状の隔壁形成用のガラス塗布層を少なくとも一回の塗布操作で簡単に形成することが可能になる。 Since the present invention SUMMARY OF] is to achieve the above object, partition discharge region or partition bulkhead, is in the partition wall forming process of a flat display panel provided in the discharge space, a larger partition forming area by solid printing a glass paste of the barrier rib material on a panel substrate using a printing mask having an opening, at least one of the coating operation the glass coating layer of solid-shaped partition forming with a uniform film thickness distribution it is possible to easily form.

【0019】その後、乾燥を行って上記隔壁材ベタ層を、隔壁パターニング用のレジストマスクを介してサンドブラスト法等によりパターニングすることによって、 [0019] Then, the barrier rib material solid layer was dried, by patterning by sandblasting or the like through the resist mask for the barrier ribs patterning,
高さ精度の良い隔壁を簡単な製造工程で低コストに形成することが可能となる。 It is possible to form a low-cost high accurate barrier ribs with a simple manufacturing process. その上、上記ガラスペーストの塗布工程には、従来のようなメッシュを用いたスクリーン印刷を用いないので、形成された隔壁の上面は極めて平坦となり、該隔壁により仕切られた隣接絵素間のクロストークの低減のために有利となる。 Moreover, the step of applying the glass paste, is not used a screen printing using a conventional mesh like, the upper surface of the formed partition walls becomes very flat, the cross between the adjacent picture elements partitioned by the partition walls and it is advantageous to talk of reduction of.

【0020】このようにして形成された隔壁材ベタ層の厚さは均一であるが、乾燥時において乾燥の遅い中央部分から乾燥の速い縁端部分(隔壁形成領域外)にガラスペーストが引っ張られて移動が生じ、該縁端部分のみが数十μm程度隆起することがある。 [0020] This way, the thickness of the partition wall material solid layer formed is uniform, the glass paste is pulled from the slow central portion of drying during drying fast edge end portions of dry (outside partition wall forming area) moving Te occurs, sometimes only said edge end portion is raised approximately several tens [mu] m. この縁端部の隆起した隔壁材ベタ層ではレジストを設けたり、該レジストに隔壁パターンを精度良くパターニングすることが困難となるので、以下のような方法を併用するのが望ましい。 This may be provided to resist the raised barrier rib material solid layer of the edge portion, since the barrier rib pattern on the resist to be accurately patterned becomes difficult, that a combination of the following method desired.

【0021】 前記隔壁材ベタ層を乾燥する際に、該隔壁材ベタ層に対する加熱温度を中央部領域で高く、縁端部領域で低くなるような温度分布にして加熱乾燥させるか、或いは印刷マスクを付けたままの状態で乾燥させる。 [0021] When drying the barrier rib material solid layer, the heating temperature for the partition wall material solid layer high in the central region, or dried by heating in the temperature distribution as is lower by edge end region, or the printing mask dried in a state in which with the. これにより縁端部領域に隆起の生じない隔壁形成に好適な均一な厚さの隔壁材ベタ層を得ることができる。 This makes it possible to obtain a barrier rib material solid layer of suitable uniform thickness in the partition wall formation causing no raised edge end area.

【0022】 前記隔壁材ベタ層を印刷する前に、パネル基板面の隔壁形成領域の外側に、予め引き剥がし可能なテープを貼り付けておき、隔壁材ベタ層の形成後に該テープと共に隆起の生じた縁端部分も同時にリフトオフさせる。 [0022] Prior to printing the barrier rib material solid layer, on the outside of the partition wall forming area of ​​the panel substrate surface, paste them in advance peelable tape, resulting in raised together with the tape after the formation of the barrier rib material solid layer edge end portion and also be lifted off simultaneously. これにより全体が均一な厚さの隔壁材ベタ層を得ることができる。 Thereby entirely obtain partition wall material solid layer of uniform thickness.

【0023】 [0023]

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明する。 It will be described in detail embodiments of the present invention using PREFERRED EMBODIMENTS drawings. 図1及び図2は本発明のフラットディスプレイパネル(FDP)の隔壁形成方法の一実施例を工程順に示す図であり、図1(a) は平面図、図1(b) は図1(a)の要部断面図、図2は要部断面図である。 1 and 2 are views sequentially showing the steps of an embodiment of a partition wall forming process of a flat display panel (FDP) of the present invention, FIG. 1 (a) is a plan view, FIG. 1 (b) Fig. 1 (a cross-sectional view of the essential part), Fig 2 is a fragmentary cross-sectional view.

【0024】この実施例は前述したカラー表示用の面放電型プラズマディスプレイパネルの隔壁を対象としている。 [0024] This embodiment is directed to a surface discharge type plasma display panel of the partition wall for color display as described above. 先ず図1(a) 及び図1(b) に示すように、塗布装置におけるステージ41上の±20μmの平坦度を有する載置面に隔壁を形成すべき一方のガラス基板51を真空吸着により固定する。 First, as shown in FIG. 1 (a) and 1 (b), fixing the glass substrate 51 of one to be formed septum mounting surface has a flatness of ± 20 [mu] m on the stage 41 in the coating apparatus by vacuum suction to. なおガラス基板51には図示しないがアドレス電極とそれを被覆する誘電体層が形成されている。 Although not shown in the glass substrate 51 a dielectric layer covering it with the address electrodes are formed.
このような基板面に、隔壁形成領域の面積より大きい開口部42a を有し、かつ形成すべき隔壁の高さが100〜 Such a substrate surface, has a larger opening 42a than the area of ​​the partition forming area, and the height to be formed partition wall 100
200μmである場合、塗布層の焼成時の収縮量を見越した高さに相当する例えば200〜400μmの板厚で、その厚さ精度が±20μm以下の経時変化の少ないステンレス製の印刷マスク42を載置する。 If it is 200 [mu] m, with the thickness of the corresponding example 200~400μm a height in anticipation of shrinkage amount at the time of firing the coating layer, the stainless steel printing mask 42 small aging of the thickness accuracy of ± 20 [mu] m or less It is placed.

【0025】次に図2(a) に示すように前記印刷マスク [0025] Then the printing mask as shown in FIG. 2 (a)
42上に低融点ガラスフリットとバインダとを混合したガラスペースト52を配置し直線性の高いスキージ43を矢印の方向に移動させて該ガラスペースト52をガラス基板51 42 on the low-melting glass frit and the glass paste 52 obtained by mixing a binder arranged to move the high squeegee 43 linearity in the direction of the arrow the glass paste 52 the glass substrate 51
上に塗布した後、図2(b) に示すように印刷マスク42を除去してベタ状のガラス塗布層(以下、隔壁材ベタ層と記す)53を形成する。 After coating the above, solid-like glass coating layer by removing the printing mask 42, as shown in FIG. 2 (b) (hereinafter, referred to as partition wall material solid layer) 53 is formed.

【0026】次にこの隔壁材ベタ層53を、前記ステージ Next the barrier rib material solid layer 53, the stage
41上で10分間以上静置して該ベタ層中に混入された気泡の脱泡と細やかな凹凸を落ちつかせて滑らかになったところで50〜150℃程度に加熱して乾燥させる。 41 and standing on at least 10 minutes and dried by heating at about 50 to 150 ° C. at which is smooth so calm the fine unevenness and defoaming of bubbles mixed in the solid layer. このように1回のペースト塗布操作と乾燥工程により図2 2 Thus by one paste coating operation and drying
(c) に示す全体が均一な厚さの隔壁材ベタ層54を簡単に形成することができる。 Whole shown in (c) can be easily formed a barrier rib material solid layer 54 of uniform thickness.

【0027】その後、前記隔壁材ベタ層54を、従来と同様に隔壁パターニング用のレジストマスクを介してサンドブラスト法によりパターニングすることによって、従来よりも高さ精度が良く、上面が極めて平坦な隔壁を簡単な形成工程で低コストに形成することが可能となる。 [0027] Then, the barrier rib material solid layer 54, by patterning by conventional sandblasting through a resist mask for the barrier ribs patterned similarly, good high accuracy than the prior art, the upper surface a very flat septum can be formed at low cost by a simple forming process.

【0028】なお、以上の実施例において隔壁材ベタ層 It should be noted, barrier rib material solid layer in the above embodiments
54の乾燥工程において、図3(a) の断面図に示すようにガラス基板51上の隔壁材ベタ層54の縁端部分のみに数十μm程度の隆起部55が生じることがある。 In 54 of the drying process, sometimes 3 ridges 55 only on the order of several tens μm edge end portion of the partition wall material solid layer 54 on the glass substrate 51 as shown in the sectional view of (a) occurs.

【0029】この隆起現象は、隔壁材ベタ層53の乾燥が縁端部分と表面部分とから順に進んで行くため、該隔壁材ベタ層53を塗布し終わった状態から十数秒間で図3 [0029] The ridge behavior, because the drying of the barrier rib material solid layer 53 advances in order from the edge end portion and a surface portion, FIG 3 in ten seconds from the state finished coated partition wall material solid layer 53
(b) の要部断面図に示すように隔壁材ベタ層53の縁端部分に表面張力による隆起55a ができはじめ、その後、本格的な乾燥工程に入ると図3(c) に示すように乾燥の遅い中央部分からその周囲の乾燥の速い縁端部分にガラスペーストが引っ張られて移動が生じ、それに連れて前記縁端部分の隆起55b が大きくなって行く。 (B) main section beginning can uplift 55a by surface tension edge end portion of the partition wall material solid layer 53 as shown in the sectional view of, then, as shown in FIG. 3 (c) enters the full-scale drying process glass paste is pulled from the slow central portion of dried fast edge end portion of the drying of the surrounding occurs movement, it took ridge 55b of the edge end portion is gradually increased.

【0030】乾燥後は最終的に図3(d) に示すような形状の隆起部55が縁端部分に生じた隔壁材ベタ層54が得られることになるので、この隔壁材ベタ層54上にレジストを設ける、或いはそのレジストを所定パターンにパターニングすることが困難となる。 [0030] After drying finally Since ridges 55 of the shape shown in FIG. 3 (d) so that the partition wall material solid layer 54 that occurred edge end portion is obtained, on the partition wall material solid layer 54 in a resist, or it becomes difficult to pattern the resist in a predetermined pattern.

【0031】そこで、上記したような問題を解消する方法を以下に説明する。 [0031] Therefore, a method to solve the problems as described above to below. 図4は図2に示される隔壁材ベタ層の乾燥方法の第1実施例を工程順に説明する要部断面図である。 Figure 4 is a fragmentary cross-sectional view for explaining a first embodiment of a drying method of the partition wall material solid layer shown in FIG. 2 in the order of steps. なお、図4において図2と対応する構成要素部分には同一符号を付している。 Note that the same reference numerals are given to the component parts corresponding to FIG. 2 in FIG. 4.

【0032】先ず図4(a) に示すように前記ステージ41 Firstly the stage 41 as shown in FIG. 4 (a)
上に配置したガラス基板51上に載置された前記印刷マスク42上で、低融点ガラスフリットとバインダとを混合したガラスペースト52を矢印の方向へスキージ43を移動操作して該ガラスペースト52をガラス基板51上に塗布した後、図4(b) に示すように印刷マスク42を除去してベタ状の隔壁材ベタ層53を形成する。 On the printing mask 42 placed on the glass substrate 51 disposed thereon, the glass paste 52 to move operating the squeegee 43 of the glass paste 52 of a mixture of low-melting glass frit, a binder in the direction of the arrow was applied on a glass substrate 51, to form a solid shaped partition member solid layer 53 by removing the printing mask 42, as shown in Figure 4 (b).

【0033】次にその隔壁材ベタ層53は、前記ステージ [0033] Then the partition wall material solid layer 53 that is, the stage
41上で10分間以上静置して該ベタ層中に混入された気泡の脱泡と細やかな凹凸を落ちつかせて滑らかになったところで、その隔壁材ベタ層53を含むガラス基板51を、例えば隔壁材ベタ層53の中央部Cの温度を例えば均一な1 41 and standing on at least 10 minutes upon reaching smooth soothe the fine unevenness and defoaming of bubbles mixed in the solid layer, the glass substrate 51 including the partition wall material solid layer 53, for example, partition wall member center portion temperature, for example uniform 1 C of the solid layer 53
00℃程度とし、その均熱範囲の周囲における縁端部D And 00 ° C. approximately, edge D of the periphery of the soaking range
の温度を前記中央部Cの温度よりも低い50℃程度となるように温度分布を制御したホットプレート等の乾燥装置44によって乾燥させる。 The temperature drying by the drying apparatus 44 of a hot plate or the like to control the temperature distribution so that 50 ° C. of about lower than the temperature of the central portion C.

【0034】このような乾燥方法により、図4(c) に示すように隔壁材ベタ層53の縁端部分の乾燥が中央部分よりも遅くなり、ベタ層全体の乾燥速度が略均一になるので、該縁端部分での隆起現象がなくなると共に、その膜厚が中央部分よりもむしろ薄くなる傾向となる。 [0034] By such a drying method, drying of the edge end portion of the partition wall material solid layer 53 as shown in FIG. 4 (c) slower than the central portion, the drying rate of the entire solid layer is substantially uniform , along with eliminating the bulge phenomenon in said edge end portion, tends to its thickness is thinner rather than the central portion.

【0035】しかし、図4(d) に示すように膜厚の薄くなった縁端部分が生じても、その他の均一な厚さを有する中央部分の面積が隔壁形成領域以上に確保された隔壁材ベタ層54が得られるので、その後のレジスト材の配設、レジストマスクのパターニング及び隔壁材ベタ層54 [0035] However, even if thinned edge end portion of the film thickness as shown in FIG. 4 (d), a partition wall area of ​​the central portion having other uniform thickness is secured above the partition wall formation region since the wood solid layer 54 is obtained, then the resist material disposed of, the patterning of the resist mask and the partition member solid layer 54
のパターニングによる隔壁形成等のプロセスに悪影響を及ぼすことはなく、むしろ、それらのプロセスを容易に進めることが可能となる。 Of not adversely affect the process of forming barrier ribs due patterning, rather, it is possible to proceed with those processes easily.

【0036】図5は図2に示される隔壁材ベタ層の乾燥方法の第2実施例を工程順に説明する要部断面図である。 [0036] FIG. 5 is a fragmentary sectional view illustrating a second embodiment of a drying method of the partition wall material solid layer shown in FIG. 2 in the order of steps. なお、図5において図2と対応する構成要素部分には同一符号を付している。 Note that the same reference numerals are given to the component parts corresponding to FIG. 2 in FIG.

【0037】この実施例では、図5(a) に示すように前記ステージ41上のガラス基板51上に載置された前記印刷マスク42上で、低融点ガラスフリットとバインダとを混合したガラスペースト52を矢印の方向へのスキージ43の移動操作によりガラス基板51上に塗布して図5(b) に示すようにベタ状の隔壁材ベタ層53を形成する。 [0037] In this embodiment, FIG. 5 on the printing mask 42 in which the placed on the glass substrate 51 on the stage 41 (a), a glass paste obtained by mixing a low-melting-point glass frit, a binder 52 was applied on a glass substrate 51 by the movement operation of the squeegee 43 in the direction of the arrow to form a solid shaped partition member solid layer 53 as shown in Figure 5 (b).

【0038】次に図5(c) に示すようにガラス基板51上の隔壁材ベタ層53は印刷マスク42を付けたままで前記ステージ41上で10分間以上静置して該ベタ層中に混入された気泡の脱泡と細やかな凹凸を落ちつかせて滑らかになったところで、50〜150℃程度に加熱して乾燥させることにより、隔壁材ベタ層53の中央部分とその周囲の縁端部分との乾燥速度が略一様になり、図5(d) に示すように前記縁端部分に隆起現象の生じない、つまり全体が均一な厚さの隔壁材ベタ層54を得ることができる。 [0038] Next Fig barrier rib material solid layer 53 on the glass substrate 51 as shown in (c) is allowed to stand at least 10 minutes on the stage 41 by leaving the printing mask 42 mixed in the solid layer now that is smooth so calm defoaming and fine irregularities of air bubbles, by drying by heating at about 50 to 150 ° C., the central portion of the partition wall material solid layer 53 and the edge end portion of the surrounding the drying rate becomes substantially uniform, does not cause raised phenomenon on the edge end portion, as shown in FIG. 5 (d), i.e. it is possible to entirely get partition wall material solid layer 54 of uniform thickness.

【0039】更に、図6及び図7は図2に示される隔壁材ベタ層の乾燥方法の第3実施例を工程順に示す図であり、図6(a) は平面図、図6(b) は図6(a) の要部断面図、図7は要部断面図である。 [0039] Further, FIGS. 6 and 7 are views showing a third embodiment of the drying method of the partition wall material solid layer shown in FIG. 2 in the order of processes, FIGS. 6 (a) is a plan view, and FIG. 6 (b) the cross sectional view of FIG. 6 (a), FIG. 7 is a fragmentary cross-sectional view. なお、図6及び図7において図2と対応する構成要素部分には同一符号を付している。 Note that the same reference numerals are given to the component parts corresponding to FIG 6 and FIG 7.

【0040】本実施例では、図6(a) 及び図6(b) に示すように前記ステージ41上に真空吸着手段等により配置したガラス基板51の図示しないアドレス電極の形成面に前記印刷マスク42を載置するに先立って、該ガラス基板 [0040] In the present embodiment, the printing mask formation surface of the address electrodes, not shown in FIG. 6 (a) and a glass substrate 51 disposed by vacuum suction means or the like on the stage 41 as shown in FIG. 6 (b) 42 prior to placing the, the glass substrate
51上の隔壁形成領域以外の周囲に、予め引き剥がし可能なテープ、例えば耐熱性のテープ(以下、耐熱性テープと記す)45を貼り付けた後、その貼り付けた耐熱性テープ45を含む基板面に印刷マスク42を載置する。 Around the other partition forming area on the 51 previously peelable tape, for example a heat-resistant tape was adhered (hereinafter, the heat resistant tape hereinafter) 45, a substrate including the pasted heat resistant tape 45 placing the printing mask 42 to the face. この時、 At this time,
貼り付けた耐熱性テープ45は図示のように印刷マスク42 Pasted heat resistant tape 45 is printed as illustrated mask 42
の開口部42a に内接するような配置になることが好ましい。 It is preferable that the of the arrangement as inscribed in the opening 42a.

【0041】次に、図7(a) に示すように前記耐熱性テープ45を含む基板面に印刷マスク42を介して低融点ガラスフリットとバインダとを混合したガラスペースト52を矢印方向へのスキージ43の移動操作によりガラス基板51 Next, squeegee the glass paste 52 of a mixture of low-melting glass frit, a binder through the printing mask 42 on the substrate surface including the heat-resistant tape 45, as shown in FIG. 7 (a) the direction of the arrow 43 glass substrate 51 by the movement operation of the
上に塗布して図7(b) に示すようにベタ状の隔壁材ベタ層53を形成する。 Is applied on top to form a solid shaped partition member solid layer 53 as shown in FIG. 7 (b).

【0042】次に印刷マスク42を取り除いた基板51上の隔壁材ベタ層53を前記ステージ41上で10分間以上静置して該ベタ層中に混入された気泡の脱泡と細やかな凹凸を落ちつかせて滑らかになったところで、50〜150℃ [0042] Then the defoaming and fine irregularities on the partition wall material solid layer 53 on the substrate 51 by removing the printing mask 42 by standing on at least 10 minutes the stage 41 bubbles mixed in the solid layer calm to where it becomes smooth, 50~150 ℃
程度に加熱して乾燥させることにより、隔壁材ベタ層53 By drying by heating to a degree, the partition wall material solid layer 53
の中央部分に対するその周囲の縁端部分の乾燥速度が、 Drying rate of edge end portion of the surrounding to the central portion,
縁端部分であることと、該縁端部分の厚さが耐熱性テープ45の貼設により他の部分よりも薄くなるという二つの条件の相乗作用により速くなることから、図7(c) に示すように耐熱性テープ45上の対応する縁端部分にのみ隆起部56が生じた隔壁材ベタ層57が形成されることになる。 And it is edge end portion, since the thickness of said edge end portion is increased by the synergistic action of the two conditions that is thinner than the other portions by stuck heat resistance tape 45, FIG. 7 (c) shown as would partition wall material solid layer 57 only raised portion 56 to edge end portion corresponding on heat resistant tape 45 has occurred is formed.

【0043】従って、その後に前記耐熱性テープ45を引き剥がすことによって前記隔壁材ベタ層57における隆起部56の生じている縁端部分も同時にリフトオフされ、図7(d) に示すように隆起部56が確実に除去された隔壁形成に好適な均一な厚さを有するベタ状の隔壁材ベタ層57 [0043] Therefore, edge end portion occurring ridge 56 in the partition wall material solid layer 57 by peeling subsequently pulling the heat resistant tape 45 is also lifted off simultaneously, ridges as shown in FIG. 7 (d) 56 solid-like barrier rib material solid layer 57 having a suitable uniform thickness is reliably removed partition wall formed
を得ることができる。 It is possible to obtain.

【0044】この場合、隔壁材ベタ層57における隆起部 [0044] In this case, the raised portion of the barrier rib material solid layer 57
56の生じた縁端部分を除去してもその他の均一な厚さを有する中央部分の面積は隔壁形成領域よりも大きく確保されているので、その後のレジスト材の配設、レジストマスクのパターニング、隔壁材ベタ層57のパターニング等のプロセスに悪影響を及ぼすことはなく、むしろ、それらのプロセスを容易に進めることが可能となる。 Since the area of ​​the central portion having a resulting edge end portion also other uniform thickness by removing 56 is secured greater than the partition walls forming region, disposed subsequent resist material, the resist mask patterning of not adversely affect the process of patterning or the like of the partition wall material solid layer 57, but rather, it is possible to proceed with those processes easily.

【0045】なお、以上の実施例では乾燥した状態の隔壁材ベタ層54、または57をサンドブラスト法によりパターニングして隔壁を形成する場合の例で説明したが、焼成した隔壁材ベタ層をサンドブラスト法によりパターニングして隔壁を形成するようにしても良い。 [0045] Incidentally, sandblasting the partition wall material solid layer has been described, calcination in the example case where the partition wall material solid layer 54 or 57, in dry conditions is patterned by sandblasting to form the partition walls in the above Example it may be formed a partition wall is patterned by. しかし、乾燥した状態の隔壁材ベタ層をサンドブラスト法によりパターニングして隔壁を形成すると、適度の切削レートが得やすく、適切な切削の実現が容易になり、精度の良い隔壁を得ることができる。 However, if the barrier rib material solid layer having a dry state to form a partition wall is patterned by sandblasting, easily obtained moderate cutting rate, makes it easier to achieve proper cutting, it is possible to obtain an accurate septum.

【0046】また、以上の実施例では面放電型のPDP [0046] In addition, PDP of a surface discharge type in the above embodiments
の隔壁を形成する場合の例について説明したが、この例に限定するものではなく、例えば隔壁を有する各種PD An example has been described in the case of forming the partition wall, not limited to this example, various PD having for example partition wall
PやPALCなどのフラットディスプレイパネルの製造に適用して極めて有利である。 It is extremely advantageous as applied to the production of flat display panels, such as P or PALC.

【0047】 [0047]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明に係るフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法によれば、100μm以上の膜厚の大面積の隔壁材ベタ層の印刷工程を低減すると共に、均一な膜厚分布の隔壁材ベタ層を簡単に形成することが可能となり、またそのような隔壁材ベタ層を適用することにより高さ精度の良い隔壁が得られ、更にメッシュを用いたスクリーン印刷を適用しないので、上面が極めて平坦化された隔壁が得られ、製造工数の削減により低コスト化が実現できる等、 As apparent from the foregoing description, according to the partition wall forming process of a flat display panel according to the present invention, while reducing the printing process of the partition wall material solid layer having a large area with a thickness of more than 100 [mu] m, it is possible to easily form a barrier rib material solid layer having a uniform film thickness distribution, also the height accurate barrier ribs is obtained by applying the barrier rib material solid layer, further screen printing using a mesh does not apply, the upper surface is obtained an extremely flattened septum can cost can achieved by reducing the number of manufacturing steps such as,
PDPやPALCなどのフラットディスプレイパネルの大量生産に有利であり、実用上、優れた効果を奏する。 It is advantageous for mass production of flat display panels such as PDP or PALC, practically, an excellent effect.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】 本発明のフラットディスプレイパネル(FD [1] flat display panel of the present invention (FD
P)の隔壁形成方法の一実施例を工程順に示す平面図とその要部断面図である。 It is a plan view with its main part sectional views sequentially showing the steps of an embodiment of a partition wall forming process of P).

【図2】 本発明のフラットディスプレイパネル(FD [2] Flat display panel of the present invention (FD
P)の隔壁形成方法の一実施例を図1に引き続いて工程順に示す要部断面図である。 An example of a partition wall forming process of P) is a fragmentary cross-sectional views sequentially showing the steps subsequent to FIG.

【図3】 フラットディスプレイパネル(FDP)の隔壁材ベタ層の乾燥工程での縁端部分に隆起部が生じる現象を説明するための要部断面図である。 Figure 3 is a fragmentary cross-sectional view for explaining the phenomenon of raised portions on the edge end portion of the drying step of the partition wall material solid layer of a flat display panel (FDP) occurs.

【図4】 図2に示される隔壁材ベタ層の乾燥方法の第1実施例を工程順に説明する要部側面図である。 4 is a partial side view illustrating a first embodiment in order of steps of the drying method of the partition wall material solid layer shown in FIG.

【図5】 図2に示される隔壁材ベタ層の乾燥方法の第2実施例を工程順に説明する要部断面図である。 Figure 5 is a fragmentary cross-sectional view illustrating a process sequence of a second embodiment of the drying method of the partition wall material solid layer shown in FIG.

【図6】 図2に示される隔壁材ベタ層の乾燥方法の第3実施例を工程順に説明する平面図と要部断面図である。 6 is a plan view and a fragmentary sectional view illustrating a third embodiment of a drying method of the partition wall material solid layer in the order of steps shown in FIG.

【図7】 図2に示される隔壁材ベタ層の乾燥方法の第3実施例を図6に引き続いて工程順に説明する要部断面図である。 7 is a fragmentary cross-sectional view for explaining the order of steps of a third embodiment of the drying method of the partition wall material solid layer following the Figure 6 shown in FIG.

【図8】 一般的なフラットディスプレイパネル(FD [8] general flat display panel (FD
P)としてカラー表示用の面放電型PDPの構造の一例を示す要部分解斜視図である。 Is a main part exploded perspective view showing an example of a surface discharge type PDP structure for color display as P).

【図9】 従来の面放電型PDPの隔壁の形成方法を工程順に示す要部断面図である。 9 is a fragmentary cross-sectional views sequentially showing the steps of a conventional method of forming a surface discharge type PDP of the partition wall.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

41 ステージ 42 印刷マスク 42a 開口部 43 スキージ 44 乾燥装置 45 耐熱性テープ 51 ガラス基板 52 ガラスペースト 53,54,57 隔壁材ベタ層 55,56 隆起部 41 Stage 42 print mask 42a opening 43 squeegee 44 drying device 45 heat-resistant tape 51 glass substrate 52 glass paste 53,54,57 barrier rib material solid layers 55 and 56 ridges

フロントページの続き (72)発明者 別井 圭一 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 淡路 則之 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 天津 正史 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 Of the front page Continued (72) inventor Bettsui Keiichi Kanagawa Prefecture, Nakahara-ku, Kawasaki, Kamikodanaka 1015 address Fujitsu within Co., Ltd. (72) inventor Noriyuki Awaji Kanagawa Prefecture, Nakahara-ku, Kawasaki, Kamikodanaka 1015 address Fujitsu within Co., Ltd. (72 ) inventor Tianjin Masashi Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Nakahara-ku, Kamikodanaka 1015 address Fujitsu within Co., Ltd.

Claims (4)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 放電領域を区画、または仕切る隔壁が放電空間内に設けられたフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法において、 隔壁形成面積より大きい開口部を有する印刷マスクを用いて隔壁材料のガラスペーストをパネル基板上にベタ印刷し、乾燥させた後、該隔壁材ベタ層上に隔壁パターニング用のレジストマスクを設け、該レジストマスクを介して隔壁材ベタ層をパターニングして隔壁を形成することを特徴とするフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法。 1. A partition wall forming process of a flat display panel provided in the partition of the discharge area, or partitioning septum discharge space, a glass paste of the barrier rib material using the printing mask having a larger opening than the partition wall forming area and solid printing on a panel substrate, dried, characterized in that the resist mask for the barrier ribs patterning provided on the partition wall material solid layer, patterning the barrier rib material solid layer through the resist mask to form a partition wall partition wall forming method of the flat display panel to.
  2. 【請求項2】 前記隔壁材ベタ層の乾燥工程において、 In the drying step wherein said partition wall material solid layer,
    該隔壁材ベタ層に対する加熱温度を中央部領域で高く、 The heating temperature for the partition wall material solid layer high in the central region,
    縁端部領域で低くなるような温度分布にして加熱乾燥させることを特徴とする請求項1記載のフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法。 Partition wall forming method of the flat display panel of claim 1, wherein the heating and drying in the made such a temperature distribution low in the edge end portion region.
  3. 【請求項3】 前記隔壁材ベタ層の乾燥工程において、 In the drying step wherein the partition wall material solid layer,
    印刷マスクを付けたままの状態で当該隔壁材ベタ層を乾燥させることを特徴とする請求項1記載のフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法。 Partition wall forming method of the flat display panel of claim 1, wherein the drying the barrier rib material solid layer in a state in which with the printed mask.
  4. 【請求項4】 前記印刷マスクを用いて隔壁材ベタ層を形成するに先立って、パネル基板面の隔壁形成領域の外側に予め引き剥がし可能なテープを貼り付けておき、隔壁材ベタ層形成後において該テープ上の隔壁材をテープと共に除去することを特徴とする請求項1記載のフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法。 4. Prior to forming the partition wall material solid layer using the print mask, paste them in advance peelable tape to the outside of the partition wall forming area of ​​the panel substrate surface, after the partition wall material solid layer formation partition wall forming method of the flat display panel of claim 1, wherein removing the barrier rib material on the tape with the tape in.
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