JPH0895104A - レーザ共振装置 - Google Patents
レーザ共振装置Info
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- JPH0895104A JPH0895104A JP25628594A JP25628594A JPH0895104A JP H0895104 A JPH0895104 A JP H0895104A JP 25628594 A JP25628594 A JP 25628594A JP 25628594 A JP25628594 A JP 25628594A JP H0895104 A JPH0895104 A JP H0895104A
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- crystal
- laser resonator
- ktp
- substrate
- mirror
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型化を実現可能とする。
【構成】 レーザ共振装置２０は、入力ミラー２２及び
出力ミラー５４が基体２４上に対向して配設され、入力
ミラー２２と出力ミラー５４との間にＮｄ：ＹＶＯ4 結
晶５８及びＫＴＰ結晶６０が配設され、ＫＴＰ結晶６０
と基体２４との熱交換によってＫＴＰ結晶６０を所定の
温度に保つサーモモジュール６２がＫＴＰ結晶６０と基
体２４とに挟持されて成るものである。基体２４は、イ
ンバー合金から形成された四本のロッド２４ａ，…と、
ロッド２４ａ，…が貫通して固定された六枚の保持板２
６ｅ，…とから構成されている。
出力ミラー５４が基体２４上に対向して配設され、入力
ミラー２２と出力ミラー５４との間にＮｄ：ＹＶＯ4 結
晶５８及びＫＴＰ結晶６０が配設され、ＫＴＰ結晶６０
と基体２４との熱交換によってＫＴＰ結晶６０を所定の
温度に保つサーモモジュール６２がＫＴＰ結晶６０と基
体２４とに挟持されて成るものである。基体２４は、イ
ンバー合金から形成された四本のロッド２４ａ，…と、
ロッド２４ａ，…が貫通して固定された六枚の保持板２
６ｅ，…とから構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ共振装置に関
し、詳しくは、レーザ光を非線形光学結晶によって高調
波に変換するためのレーザ共振装置に関する。
し、詳しくは、レーザ光を非線形光学結晶によって高調
波に変換するためのレーザ共振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来のこの種のレーザ共振装置
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【０００３】従来のレーザ共振装置５０は、入力ミラー
５２及び出力ミラー５４が基体５６上に対向して配設さ
れ、入力ミラー５２と出力ミラー５４との間にＮｄ：Ｙ
ＶＯ4 結晶５８及びＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4 ）結晶６０
が配設され、ＫＴＰ結晶６０と外気との熱交換によって
ＫＴＰ結晶６０を所定の温度に保つサーモモジュール６
２が設けられて成るものである。すなわち、基体５６上
には断熱材６３を介してＫＴＰ結晶６０が固定され、Ｋ
ＴＰ結晶６０の上部にはサーモモジュール６２が取り付
けられ、サーモモジュール６２には熱交換用のフィン６
４が取り付けられている。
５２及び出力ミラー５４が基体５６上に対向して配設さ
れ、入力ミラー５２と出力ミラー５４との間にＮｄ：Ｙ
ＶＯ4 結晶５８及びＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4 ）結晶６０
が配設され、ＫＴＰ結晶６０と外気との熱交換によって
ＫＴＰ結晶６０を所定の温度に保つサーモモジュール６
２が設けられて成るものである。すなわち、基体５６上
には断熱材６３を介してＫＴＰ結晶６０が固定され、Ｋ
ＴＰ結晶６０の上部にはサーモモジュール６２が取り付
けられ、サーモモジュール６２には熱交換用のフィン６
４が取り付けられている。
【０００４】また、基体５６は入力ミラー５２側に延設
されている。この延設された基体５６上には、励起用の
レーザ光Ｌ１を発生するレーザダイオード６６と、レー
ザ光Ｌ１を入力ミラー５２に導入するレンズ６８，７０
が配設されている。さらに、レーザ媒質５８とＫＴＰ結
晶６０との間には基本波の偏光方向を規定するブリュー
スタ窓７２が設けられている。レーザダイオード６６か
ら発生するレーザ光Ｌ１の波長は、例えば808[nm] であ
る。
されている。この延設された基体５６上には、励起用の
レーザ光Ｌ１を発生するレーザダイオード６６と、レー
ザ光Ｌ１を入力ミラー５２に導入するレンズ６８，７０
が配設されている。さらに、レーザ媒質５８とＫＴＰ結
晶６０との間には基本波の偏光方向を規定するブリュー
スタ窓７２が設けられている。レーザダイオード６６か
ら発生するレーザ光Ｌ１の波長は、例えば808[nm] であ
る。
【０００５】次に、レーザ共振装置５０の動作を説明す
る。
る。
【０００６】レーザダイオード６６から発生したレーザ
光Ｌ１は、レンズ６８，７０及び入力ミラー５２を通過
して、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５８に照射される。これによ
り、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５８が励起され、入力ミラー５
２と出力ミラー５４との間で基本波が発振する。この基
本波がＫＴＰ結晶６０により第二高調波Ｌ２に変換さ
れ、第二高調波Ｌ２が出力ミラー５４を通過してレーザ
共振装置５０外へ発射される。
光Ｌ１は、レンズ６８，７０及び入力ミラー５２を通過
して、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５８に照射される。これによ
り、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５８が励起され、入力ミラー５
２と出力ミラー５４との間で基本波が発振する。この基
本波がＫＴＰ結晶６０により第二高調波Ｌ２に変換さ
れ、第二高調波Ｌ２が出力ミラー５４を通過してレーザ
共振装置５０外へ発射される。
【０００７】また、サーモモジュール６２を用いてＫＴ
Ｐ結晶６０の温度を変えることにより、第二高調波Ｌ２
の周波数を400[GHz]の範囲で連続的に変えることができ
る。
Ｐ結晶６０の温度を変えることにより、第二高調波Ｌ２
の周波数を400[GHz]の範囲で連続的に変えることができ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
レーザ共振装置５０では、ＫＴＰ結晶６０の温度を正確
に制御するために、サーモモジュール６２にフィン６４
を取り付けて熱交換量を増大させることが不可欠とな
る。フィン６４は、表面積が大きいほど熱交換量が増大
するので、一定の大きさが必要である。そのため、レー
ザ共振装置５０の小型化を図るに際して、フィン６４の
存在が大きな障害となっていた。
レーザ共振装置５０では、ＫＴＰ結晶６０の温度を正確
に制御するために、サーモモジュール６２にフィン６４
を取り付けて熱交換量を増大させることが不可欠とな
る。フィン６４は、表面積が大きいほど熱交換量が増大
するので、一定の大きさが必要である。そのため、レー
ザ共振装置５０の小型化を図るに際して、フィン６４の
存在が大きな障害となっていた。
【０００９】フィン６４を小さくしたまま熱交換量を増
大させる技術として、ファン又は循環冷却水による熱交
換が考えられる。しかし、これらの場合は、構成が複雑
となって、却って大型化を招くことになりかねない。そ
ればかりか、モータ，ポンプ，風，流水等の振動発生源
を付加することになるので、基本波及び第二高調波Ｌ２
の周波数が不安定となってしまう。
大させる技術として、ファン又は循環冷却水による熱交
換が考えられる。しかし、これらの場合は、構成が複雑
となって、却って大型化を招くことになりかねない。そ
ればかりか、モータ，ポンプ，風，流水等の振動発生源
を付加することになるので、基本波及び第二高調波Ｌ２
の周波数が不安定となってしまう。
【００１０】また、基体５６は、ステンレス，アルミニ
ウム等から形成されている。ＫＴＰ結晶６０の熱が基体
５６に伝わると、熱膨張により基体５６が伸縮する。基
体５６が伸縮するとレーザ共振装置５０の長さが変化す
るため、発振周波数（基本波及び第二高調波Ｌ２）は変
動してしまう。これを避けるために、基体５６とＫＴＰ
結晶６０との間には断熱材６３が必要となる。
ウム等から形成されている。ＫＴＰ結晶６０の熱が基体
５６に伝わると、熱膨張により基体５６が伸縮する。基
体５６が伸縮するとレーザ共振装置５０の長さが変化す
るため、発振周波数（基本波及び第二高調波Ｌ２）は変
動してしまう。これを避けるために、基体５６とＫＴＰ
結晶６０との間には断熱材６３が必要となる。
【００１１】このように、従来のレーザ共振装置５０で
は、小型化を図ることは極めて困難な状況にあった。
は、小型化を図ることは極めて困難な状況にあった。
【００１２】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、小型化を実現
可能としたレーザ共振装置を提供することにある。
可能としたレーザ共振装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ共振
装置は、上記目的を達成するためになされたものであ
り、インバー合金によって形成された基体上に入力ミラ
ー及び出力ミラーが対向して配設され、前記入力ミラー
と前記出力ミラーとの間にレーザ媒質及び非線形光学結
晶が配設され、この非線形光学結晶と前記基体との熱交
換によって前記非線形光学結晶を所定の温度に保つ熱交
換器が前記非線形光学結晶と前記基体とに挟持されて成
るものである。
装置は、上記目的を達成するためになされたものであ
り、インバー合金によって形成された基体上に入力ミラ
ー及び出力ミラーが対向して配設され、前記入力ミラー
と前記出力ミラーとの間にレーザ媒質及び非線形光学結
晶が配設され、この非線形光学結晶と前記基体との熱交
換によって前記非線形光学結晶を所定の温度に保つ熱交
換器が前記非線形光学結晶と前記基体とに挟持されて成
るものである。
【００１４】また、前記基体は、インバー合金から成る
四本のロッドで構成されているものとしてもよい。
四本のロッドで構成されているものとしてもよい。
【００１５】
【作用】本発明に係るレーザ共振装置によれば、熱交換
器が非線形光学結晶から熱を奪いその熱を基体に伝え
る，又は熱交換器が基体から熱を奪いその熱を非線形光
学結晶に伝える。すなわち、基体がフィンとして作用す
る。したがって、フィンが不要となると共に、非線形光
学結晶と基体との間の断熱材も不要となる。
器が非線形光学結晶から熱を奪いその熱を基体に伝え
る，又は熱交換器が基体から熱を奪いその熱を非線形光
学結晶に伝える。すなわち、基体がフィンとして作用す
る。したがって、フィンが不要となると共に、非線形光
学結晶と基体との間の断熱材も不要となる。
【００１６】しかも、基体がインバー合金であるので、
基体の温度が熱交換器によって変化しても、基体はほと
んど伸縮しない。
基体の温度が熱交換器によって変化しても、基体はほと
んど伸縮しない。
【００１７】
【実施例】図１は、本発明に係るレーザ共振装置の一実
施例を示す構成図である。以下、この図に基づき説明す
る。ただし、図５と同一部分は同一符号を付して説明を
省略する。
施例を示す構成図である。以下、この図に基づき説明す
る。ただし、図５と同一部分は同一符号を付して説明を
省略する。
【００１８】本実施例におけるレーザ共振装置２０は、
入力ミラー２２及び出力ミラー５４が基体２４上に対向
して配設され、入力ミラー２２と出力ミラー５４との間
にＮｄ：ＹＶＯ4 結晶５８及びＫＴＰ結晶６０が配設さ
れ、ＫＴＰ結晶６０と基体２４との熱交換によってＫＴ
Ｐ結晶６０を所定の温度に保つサーモモジュール６２が
ＫＴＰ結晶６０と基体２４とに挟持されて成るものであ
る。入力ミラー２２は、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５８の表面
に設けられた誘電多層膜である。
入力ミラー２２及び出力ミラー５４が基体２４上に対向
して配設され、入力ミラー２２と出力ミラー５４との間
にＮｄ：ＹＶＯ4 結晶５８及びＫＴＰ結晶６０が配設さ
れ、ＫＴＰ結晶６０と基体２４との熱交換によってＫＴ
Ｐ結晶６０を所定の温度に保つサーモモジュール６２が
ＫＴＰ結晶６０と基体２４とに挟持されて成るものであ
る。入力ミラー２２は、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５８の表面
に設けられた誘電多層膜である。
【００１９】Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５８はレーザ媒質であ
り、ＫＴＰ結晶６０は非線形光学結晶である。
り、ＫＴＰ結晶６０は非線形光学結晶である。
【００２０】基体２４は、インバー合金から形成された
四本のロッド２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄと、ロッ
ド２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄが貫通して固定され
た六枚の保持板２６ｅ，２６ｆ，２６ｇ，２６ｈ，２６
ｉ，２６ｊとから構成されている。保持板２６ｅ，…
は、熱伝導性に優れたアルミニウム等から形成されてい
る。保持板２６ｅにはレンズ６８、保持板２６ｆにはレ
ンズ７０、保持板２６ｇにはＮｄ：ＹＶＯ4 結晶５８、
保持板２６ｈにはＫＴＰ結晶６０及びサーモモジュール
６２、保持板２６ｉにはブリュースタ窓７２、保持板２
６ｊには出力ミラー５４が、それぞれ固設されている。
四本のロッド２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄと、ロッ
ド２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄが貫通して固定され
た六枚の保持板２６ｅ，２６ｆ，２６ｇ，２６ｈ，２６
ｉ，２６ｊとから構成されている。保持板２６ｅ，…
は、熱伝導性に優れたアルミニウム等から形成されてい
る。保持板２６ｅにはレンズ６８、保持板２６ｆにはレ
ンズ７０、保持板２６ｇにはＮｄ：ＹＶＯ4 結晶５８、
保持板２６ｈにはＫＴＰ結晶６０及びサーモモジュール
６２、保持板２６ｉにはブリュースタ窓７２、保持板２
６ｊには出力ミラー５４が、それぞれ固設されている。
【００２１】図２は、図１におけるサーモモジュール６
２の取り付け状態を示す分解斜視図である。図３は、図
１及び図２におけるサーモモジュール６２を示す概略断
面図である。以下、図１乃至図３に基づき説明する。
２の取り付け状態を示す分解斜視図である。図３は、図
１及び図２におけるサーモモジュール６２を示す概略断
面図である。以下、図１乃至図３に基づき説明する。
【００２２】ＫＴＰ結晶６０及びサーモモジュール６２
は、取付板３０及び保持部材３２、３４によって保持板
２６ｈに取り付けられる。ＫＴＰ結晶６０及びゴム片３
６は、保持部材３４の凹部３４ａに載置され、その上か
ら保持部材３２で押さえられ、ねじ３８ａ，３８ｂによ
って保持部材３４と保持部材３２とに挟持される。一
方、サーモモジュール６２は、取付板３０の突出面３０
ａに載置され、その上から保持部材３４で押さえられ、
ねじ４０ａ，４０ｂによって突出面３０ａと保持部材３
４とに挟持される。また、取付板３０は、円板状を呈
し、中心には透孔３０ｃが穿設され、外周には雄ねじ部
３０ｂが形成されている。保持板２６ｈにも取付板３０
の雄ねじ部３０ｂと螺合する雌ねじ部２６ｈａが形成さ
れている。したがって、ＫＴＰ結晶６０及びサーモモジ
ュール６２を装着した取付板３０は、雄ねじ部３０ｂと
雌ねじ部２６ｈａとの螺合によって、保持板２６ｈに固
定される。これにより、サーモモジュール６２がＫＴＰ
結晶６０と基体２４とに挟持されることになる。
は、取付板３０及び保持部材３２、３４によって保持板
２６ｈに取り付けられる。ＫＴＰ結晶６０及びゴム片３
６は、保持部材３４の凹部３４ａに載置され、その上か
ら保持部材３２で押さえられ、ねじ３８ａ，３８ｂによ
って保持部材３４と保持部材３２とに挟持される。一
方、サーモモジュール６２は、取付板３０の突出面３０
ａに載置され、その上から保持部材３４で押さえられ、
ねじ４０ａ，４０ｂによって突出面３０ａと保持部材３
４とに挟持される。また、取付板３０は、円板状を呈
し、中心には透孔３０ｃが穿設され、外周には雄ねじ部
３０ｂが形成されている。保持板２６ｈにも取付板３０
の雄ねじ部３０ｂと螺合する雌ねじ部２６ｈａが形成さ
れている。したがって、ＫＴＰ結晶６０及びサーモモジ
ュール６２を装着した取付板３０は、雄ねじ部３０ｂと
雌ねじ部２６ｈａとの螺合によって、保持板２６ｈに固
定される。これにより、サーモモジュール６２がＫＴＰ
結晶６０と基体２４とに挟持されることになる。
【００２３】ゴム片３６は、ＫＴＰ結晶６０の熱膨張に
よる伸縮を吸収するものである。ねじ４０ａ，４０ｂ
は、断熱性に優れたプラスチック等から形成されたもの
であり、サーモモジュール６２の絶縁板６２ｄ，６２ｅ
間（放熱面，冷却面間）の熱伝導を防いでいる。取付板
３０及び保持部材３２，３４は、熱伝導性に優れたアル
ミニウム等から形成されている。
よる伸縮を吸収するものである。ねじ４０ａ，４０ｂ
は、断熱性に優れたプラスチック等から形成されたもの
であり、サーモモジュール６２の絶縁板６２ｄ，６２ｅ
間（放熱面，冷却面間）の熱伝導を防いでいる。取付板
３０及び保持部材３２，３４は、熱伝導性に優れたアル
ミニウム等から形成されている。
【００２４】サーモモジュール６２は、ペルチェ効果を
利用した熱電変換素子６２ａが多数並設された熱交換器
である。熱電変換素子６２ａは、ビスマス・テルル化物
から成るＮ型半導体６２ｎ及びＰ型半導体６２ｐが導体
６２ｂ，６２ｃによって接続されたものである。多数の
熱電変換素子６２ａは、電気的には直列に、熱的には並
列に接続されている。保持部材３４側（ＫＴＰ結晶６０
側）の導体６２ｂには絶縁板６２ｄ、突出面３０ａ側
（基体２４側）の導体６２ｃには絶縁板６２ｅがそれぞ
れ被着されている。絶縁板６２ｄ，６２ｅは、電気絶縁
性に優れると共に熱伝導の良好な、例えばアルミナセラ
ミック等から形成されている。また、絶縁板６２ｄの保
持部材３４と接する面、及び絶縁板６２ｅの突出面３０
ａと接する面には、熱伝導グリスが塗布されている。
利用した熱電変換素子６２ａが多数並設された熱交換器
である。熱電変換素子６２ａは、ビスマス・テルル化物
から成るＮ型半導体６２ｎ及びＰ型半導体６２ｐが導体
６２ｂ，６２ｃによって接続されたものである。多数の
熱電変換素子６２ａは、電気的には直列に、熱的には並
列に接続されている。保持部材３４側（ＫＴＰ結晶６０
側）の導体６２ｂには絶縁板６２ｄ、突出面３０ａ側
（基体２４側）の導体６２ｃには絶縁板６２ｅがそれぞ
れ被着されている。絶縁板６２ｄ，６２ｅは、電気絶縁
性に優れると共に熱伝導の良好な、例えばアルミナセラ
ミック等から形成されている。また、絶縁板６２ｄの保
持部材３４と接する面、及び絶縁板６２ｅの突出面３０
ａと接する面には、熱伝導グリスが塗布されている。
【００２５】図３において、サーモモジュール６２を左
から右へ電流が流れたとすると、保持部材３４（ＫＴＰ
結晶６０側）の熱が吸収され、その熱が突出面３０ａ
（基体２４側）へ放出される。電流の向きを逆にすれ
ば、熱伝導の向きも逆になる。
から右へ電流が流れたとすると、保持部材３４（ＫＴＰ
結晶６０側）の熱が吸収され、その熱が突出面３０ａ
（基体２４側）へ放出される。電流の向きを逆にすれ
ば、熱伝導の向きも逆になる。
【００２６】また、サーモモジュール６２には、ＫＴＰ
結晶６０の温度を測定するための温度センサ６２ｆと、
サーモモジュール６２へ電力を供給する直流電源６２ｇ
と、温度センサ６２ｆで測定されたＫＴＰ結晶６０の温
度に基づき直流電源６２ｇの出力を制御するコントロー
ラ６２ｈとが付設されている。
結晶６０の温度を測定するための温度センサ６２ｆと、
サーモモジュール６２へ電力を供給する直流電源６２ｇ
と、温度センサ６２ｆで測定されたＫＴＰ結晶６０の温
度に基づき直流電源６２ｇの出力を制御するコントロー
ラ６２ｈとが付設されている。
【００２７】次に、図１乃至図３に基づきレーザ共振装
置２０の動作を説明する。
置２０の動作を説明する。
【００２８】サーモモジュール６２は、ＫＴＰ結晶６０
から熱を奪いその熱を基体２４に伝える、又は基体２４
から熱を奪いその熱をＫＴＰ結晶６０に伝える。すなわ
ち、基体２４がフィン６４（図５）として作用する。し
たがって、フィン６４が不要となると共に、ＫＴＰ結晶
６０と基体２４との間に断熱材６３（図５）が不要とな
る。また、基体２４がインバー合金から成るので、基体
２４の温度がサーモモジュール６２の熱交換よって変化
しても、基体２４はほとんど伸縮しない。
から熱を奪いその熱を基体２４に伝える、又は基体２４
から熱を奪いその熱をＫＴＰ結晶６０に伝える。すなわ
ち、基体２４がフィン６４（図５）として作用する。し
たがって、フィン６４が不要となると共に、ＫＴＰ結晶
６０と基体２４との間に断熱材６３（図５）が不要とな
る。また、基体２４がインバー合金から成るので、基体
２４の温度がサーモモジュール６２の熱交換よって変化
しても、基体２４はほとんど伸縮しない。
【００２９】なお、ロッド２４ａ，…は、四本に限定さ
れるものではなく、一本乃至三本又は五本以上としても
よい。
れるものではなく、一本乃至三本又は五本以上としても
よい。
【００３０】図４は、本発明に係るレーザ共振装置の他
の実施例を示す構成図である。以下、この図に基づき説
明する。ただし、図１乃至図３と同一部分は同一符号を
付して説明を省略する。
の実施例を示す構成図である。以下、この図に基づき説
明する。ただし、図１乃至図３と同一部分は同一符号を
付して説明を省略する。
【００３１】本発明に係るレーザ共振装置１０は、入力
ミラー５２及び出力ミラー５４が基体１２上に対向して
配設され、入力ミラー５２と出力ミラー５４との間にＮ
ｄ：ＹＶＯ4 結晶５８及びＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4 ）結
晶６０が配設され、ＫＴＰ結晶６０と基体１２との熱交
換によってＫＴＰ結晶６０を所定の温度に保つサーモモ
ジュール６２がＫＴＰ結晶６０と基体１２とに挟持され
て成るものである。基体１２は、インバー合金から細長
板状に形成されたものである。インバー合金としては、
「スーパーインバー」を用いている。サーモモジュール
６２は、図示しない保持具によってＫＴＰ結晶６０と基
体１２とに圧接されている。
ミラー５２及び出力ミラー５４が基体１２上に対向して
配設され、入力ミラー５２と出力ミラー５４との間にＮ
ｄ：ＹＶＯ4 結晶５８及びＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4 ）結
晶６０が配設され、ＫＴＰ結晶６０と基体１２との熱交
換によってＫＴＰ結晶６０を所定の温度に保つサーモモ
ジュール６２がＫＴＰ結晶６０と基体１２とに挟持され
て成るものである。基体１２は、インバー合金から細長
板状に形成されたものである。インバー合金としては、
「スーパーインバー」を用いている。サーモモジュール
６２は、図示しない保持具によってＫＴＰ結晶６０と基
体１２とに圧接されている。
【００３２】なお、以上説明した二つの実施例では、レ
ーザ媒質としてＮｄ：ＹＶＯ4 結晶、非線形光学結晶と
してＫＴＰ結晶を用いている。しかし、本発明は、この
ようなものに限定されるものではなく、例えば、レーザ
媒質としてＮｄ：Ｙ3 Ａｌ5Ｏ12結晶等、非線形光学結
晶としてＫＤＨ（ＫＨ2 ＰＯ4 ）結晶，ＢＢＯ（β−Ｂ
ａＢ2 Ｏ4 ）結晶等にも適用できる。
ーザ媒質としてＮｄ：ＹＶＯ4 結晶、非線形光学結晶と
してＫＴＰ結晶を用いている。しかし、本発明は、この
ようなものに限定されるものではなく、例えば、レーザ
媒質としてＮｄ：Ｙ3 Ａｌ5Ｏ12結晶等、非線形光学結
晶としてＫＤＨ（ＫＨ2 ＰＯ4 ）結晶，ＢＢＯ（β−Ｂ
ａＢ2 Ｏ4 ）結晶等にも適用できる。
【００３３】
【発明の効果】本発明に係るレーザ共振装置によれば、
基体上に入力ミラー，出力ミラー等を配設すると共に非
線形光学結晶と基体とで熱交換器を挟持する構成とした
ことにより、基体をフィンとして作用させることができ
る。その結果、フィンを不要にできると共に、非線形光
学結晶と基体との間の断熱材も不要にできる。したがっ
て、小型化、部品点数の削減、剛性の向上等を達成でき
る。
基体上に入力ミラー，出力ミラー等を配設すると共に非
線形光学結晶と基体とで熱交換器を挟持する構成とした
ことにより、基体をフィンとして作用させることができ
る。その結果、フィンを不要にできると共に、非線形光
学結晶と基体との間の断熱材も不要にできる。したがっ
て、小型化、部品点数の削減、剛性の向上等を達成でき
る。
【００３４】しかも、基体をインバー合金とすることに
より、基体の温度が熱交換器によって変化しても入力ミ
ラーと出力ミラーとの距離等には影響を及ぼさないの
で、出力されるレーザ光の周波数をより安定化できる。
より、基体の温度が熱交換器によって変化しても入力ミ
ラーと出力ミラーとの距離等には影響を及ぼさないの
で、出力されるレーザ光の周波数をより安定化できる。
【図１】本発明に係るレーザ共振装置の一実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】図１におけるサーモモジュールの取り付け状態
を示す分解斜視図である。
を示す分解斜視図である。
【図３】図１におけるサーモモジュールを示す断面図で
ある。
ある。
【図４】本発明に係るレーザ共振装置の他の実施例を示
す構成図である。
す構成図である。
【図５】従来のレーザ共振装置を示す構成図である。
１０，２０ レーザ共振装置 １２，２４ 基体 ２２，５２ 入力ミラー ５４ 出力ミラー ５８ Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶（レーザ媒質） ６０ ＫＴＰ結晶（非線形光学結晶） ６２ サーモモジュール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 弘一 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院 計量研究所内 (72)発明者 森本 弘之 神奈川県横浜市緑区桜並木２番１号 スズ キ株式会社技術研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 インバー合金によりロッド状に形成され
た基体上に入力ミラー及び出力ミラーが対向して配設さ
れ、前記入力ミラーと前記出力ミラーとの間にレーザ媒
質及び非線形光学結晶が配設され、この非線形光学結晶
と前記基体との熱交換によって前記非線形光学結晶を所
定の温度に保つ熱交換器が前記非線形光学結晶と前記基
体とに挟持されて成ることを特徴とするレーザ共振装
置。 - 【請求項２】 前記基体は、インバー合金から成る四本
のロッドで構成されていることを特徴とする請求項１記
載のレーザ共振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25628594A JPH0895104A (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | レーザ共振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25628594A JPH0895104A (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | レーザ共振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0895104A true JPH0895104A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=17290532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25628594A Pending JPH0895104A (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | レーザ共振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0895104A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001079929A1 (fr) * | 2000-04-19 | 2001-10-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Convertisseur de longueur d'onde de laser |
| JP2003124553A (ja) * | 2001-10-12 | 2003-04-25 | Topcon Corp | レーザ発振装置 |
| JP2009054838A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Japan Science & Technology Agency | 固体レーザーモジュール |
| WO2022130146A1 (en) | 2020-12-14 | 2022-06-23 | Litilit, Uab | Method and device for homogenizing the temperature of a laser base plate |
-
1994
- 1994-09-26 JP JP25628594A patent/JPH0895104A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001079929A1 (fr) * | 2000-04-19 | 2001-10-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Convertisseur de longueur d'onde de laser |
| US6744547B2 (en) | 2000-04-19 | 2004-06-01 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Laser wavelength converter |
| JP2003124553A (ja) * | 2001-10-12 | 2003-04-25 | Topcon Corp | レーザ発振装置 |
| JP2009054838A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Japan Science & Technology Agency | 固体レーザーモジュール |
| WO2022130146A1 (en) | 2020-12-14 | 2022-06-23 | Litilit, Uab | Method and device for homogenizing the temperature of a laser base plate |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031007 |