JPH0894580A - ガード電極を有する電子捕獲検出器 - Google Patents

ガード電極を有する電子捕獲検出器

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JPH0894580A
JPH0894580A JP7173896A JP17389695A JPH0894580A JP H0894580 A JPH0894580 A JP H0894580A JP 7173896 A JP7173896 A JP 7173896A JP 17389695 A JP17389695 A JP 17389695A JP H0894580 A JPH0894580 A JP H0894580A
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Abstract

(57)【要約】 ECDセルの場電極の間に位置される第3の電極(つま
り、ガード)を有するECDセルを用いた、向上したECD。
このガード電極は、前記場電極の間に物理的に挿入さ
れ、場電極の間を流れる支持絶縁体での漏れ電流の全て
を迂回させる。ガード電極ECDセルは、製造又は修理中
の取り扱いから劣化をなくすと同様、向上した線形性ダ
イナミックレンジを提供する。 【目的】 【構成】

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、クロマトグラフィー溶
出液ガスを分析するために使用されるような電子捕獲検
出器(ECD)及び電子捕獲セルに関し、特に、線形性の
応答を向上させるために第3の電極を有した電子捕獲検
出器に関する。
【0002】
【従来技術】本発明に関連した特許は、同一の出願人に
よって出願された米国特許第4117332号であり、
この特許は、ECDに関し、ここに組み込まれている。
【0003】電子捕獲検出器(ECD)は、ガス(アナラ
イト(analyte))を分析するために使用されるセンサ
ーである。ECDは、様々な形状をとる。これら形状の全
ては、放射イオン化ソースとチャンバの一対の空間をあ
け絶縁された場(field)電極を含むセルを通じる流れ
によって特徴づけられる。アナライトがチャンバを通じ
て流れると、“抽出(extraction)電圧”波形がそれら
場電極の間に印加される。電子を捕獲することのできる
ガス状化合物のない場合には、与えられたセル電流を発
生させる。チャンバ内の合成電子密度は、アナライトへ
の電子の付着に影響される。電子密度は、適当なトラン
スデューサー(例えば、電位計)を使用して計測され、
場電極への抽出電圧波形の印加によって生成された電流
を計測する。通常、ECDセルは、パルス周波数がアナラ
イト濃度に比例するところの発振器回路へ接続される。
より高い周波数では、ECDセルの絶縁漏れ損が一層速い
速度で増加し、デバイスの線形性が減じられる。低い周
波数では、セルの絶縁漏れが、最小の検出電流レベルで
確立される。電流の関数として濃度を計測する一定周波
数デバイスもまた、知られている。
【0004】ECDセルの場電極の間の漏れ電流を最小に
するため、非常に高い抵抗の絶縁体が通常使用され、電
位計回路からパルス状電圧波形を独立させる。つまり、
カソードからアノードを絶縁するのである。典型的な抵
抗値は、1ミリオン・メガ・オームのオーダーである。
特定の理論的なモデル、例えばマグ・モデル(Magg Mod
el)又はウエル・モデル(Well Model)は、アノード及
びカソードの構造の間で観察された抵抗を、実用上、効
果的に減少させる低抵抗性構成成分又は高抵抗性構成成
分の汚染のため、漏れ電流の可能性を無視している。EC
Dは、広い線形性ダイナミックレンジ(dynamic range)
を有するが、それは、典型的に、理論的なモデルと同様
に、実行しない。また、ECDの線形性レンジは、セルの
外側面の汚染に対して非常に敏感であり、それは、温度
的に敏感である。場電極を支持し分離する絶縁体は、絶
縁体にわたる漏れ電流又はそれを通じる漏れ電流を示
し、この漏れ電流が、電子捕獲検出器の応答の線形性を
減少させる計測トランスデューサー(例えば、電位計)
に結果的に入力される。このデイストーションが、動作
の一定周波数又は一定電流モデルのいずれかにおいて、
パルス状波形になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ガス
状媒体におけるアナライト濃度の計測の信頼性を向上さ
せることである。
【0006】本発明の他の目的は、一定又はパルス状電
圧又はその他の電圧波形が印加されることによる不完全
なセル絶縁体にわたる漏れ電流を除去することにより、
電子荷電密度対アナライト濃度の計測の向上した線形性
によって特徴づけられる、電子捕獲検出器を提供するこ
とである。
【0007】本発明のその他の目的は、異なる温度環境
及びデバイスの取り扱い、パッケージ及び搬送において
遭遇した汚染によって生じるような外的な影響による、
電子捕獲検出器の応答の線形性の損失を除去することで
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、パルサ及び電
位計の電極の間に位置されるガード(guard)と呼ばれ
る第3の電極を有することを特徴とした電子捕獲検出器
である。
【0009】ガード電極の付加は、ECDパルサと電位計
との間で流れる漏れ電流の周波数依存部分(frequency
dependent portion)の分岐のための通路を与える。こ
れは、漏れ電流がアナライトの最も低い計測可能濃度に
おいて最も低いECDパルサ周波数を確立するので、アナ
ライトの非常に低い濃度レベルにおいて特に重要であ
る。
【0010】変形的なアレンジメントにおいて、ガード
電極は、パルサ/電位計リード線と公称システムの接地
との間に接続され、電位計及び関連するフィードバック
回路なしで、識別的な電圧波形に影響して、電位計回路
に導入される漏れ電流を減少させる。
【0011】さらに、電子捕獲検出器セルへのガード電
極は、高価な高抵抗絶縁体に要求されるものを低減し、
この検出器組立体のパッケージ、保管及び取り扱いに要
する処置や清浄を減少させる。低抵抗(表面又はバルク
汚染)絶縁体を有する一定電流モードでの動作の場合、
ガードのない電子捕獲検出器がサンプル濃度への応答を
単に止める(つまり、パルサ周波数は、漏れ電流が要求
される基準電流に合致するに十分なところの動作点を越
えて増加しない)のであるが、電子捕獲検出器は、高い
サンプル濃度で線形性を維持する。本発明の使用におけ
る明らかな利点は、所有及び動作にかかるコストを安価
にし、定量(quantitation)を一層信頼できるものとす
ることで、検出器を稼働させる間の時間が増加されるこ
とである。
【0012】
【実施例】図1は、本発明のガード電極を備えた電子捕
獲検出器10(ECD)セルを示す断面図である。図2は、
図1の分解斜視図である。カソード12は、放射性フォイ
ルソース8(典型的にNi-63)を内包する金属シリンダ12
である。
【0013】気密シール(seal)が、ブレイズ(braz
e)層27を介して金属キャップ23の小径端部とカソード
シリンダ12との間に形成される。金属キャップ23の他の
端部はまた、絶縁体シリンダ14の端部に気密にシールさ
れる。絶縁体シリンダ14の端部は、ブレイズ層27への接
着のために金属でおおわれる。ブレイズ層27は、絶縁体
シリンダ14及び金属キャップ23に面し、金属キャップ23
及びカソードシリンダ12にも面している。ブレイズ層27
は、構造体を通じて示され、接触する部品の間に気密シ
ールを形成する。
【0014】絶縁体シリンダ14の他方の端部は、金属ガ
ード電極16の大径の端部に気密にシールされる。金属ガ
ード電極16の他方の小径の端部は、場絶縁体シリンダ18
の一方の端部に気密にシールされる。絶縁体シリンダ14
の端部と場絶縁体18との間に示されるブレイズ層27A
は、金属ガード電極16と絶縁体18と絶縁体14との間に電
気的伝導面を形成する。
【0015】アノードは、端部35と境界37と金属キャッ
プ20との間の絶縁体22の伸張した部分に形成される金属
フィルム27Bから成る。絶縁体22の端部35は、絶縁体18
のボアを通して絶縁体14のボア内に位置される。絶縁体
22の本体は、ブレイズ層27によって絶縁体18の端部にシ
ールされる。
【0016】絶縁体14と18との間のシールがシース空間
29の境をなすところの環状領域9において、絶縁体14及
び18が共に、ブレイズ(又は鑞付け(brazing))がシ
ール中にチャネル29を横切ってビード(bead)を付けず
アノードへのガード電極16をショートさせないように解
放された縁部を有する。
【0017】取付けシリンダ24が、金属キャップ21への
ブレイズ27によって絶縁体22の端部に気密にシールされ
る。
【0018】分析されるガスが、シリンダ24のボア36内
を通じ(矢印A)、その流れが、絶縁体22の径方向のボ
ア穴25において分流され、この流れの大部分が、絶縁体
のボアを通じて符号36’で示す出口へと通じる。流通路
29を通過するガスの一部分はまた、シリンダ12のボアへ
入る。
【0019】流通路36及び36’に平行な環状流通路29及
びボア25によって与えられる2次的なガスの流れが、カ
ソード領域のガス流れの存在で一層の層状遷移を生成
し、検出器を通じる流れの輪郭をより層状にする。その
他の利点は、環状流通路29を通じる流れが“掃引(swee
p)”ガス流れを与えて絶縁体をよく掃引し、又、カソ
ードの壁に沿って高いシースガス流れを与えて放射性フ
ォイルにおけるサンプル吸収を最小にすることである。
【0020】サンプルデバイス(例えば、GC柱状エフル
エント(effluent)、サンプルガス流れ等)へのECDの
取り付けが、溶接によるか、又は押さえリング、O-リン
グ又は他の適当なシール技術によってなされる。
【0021】本発明は、掃引流れを含む惰性的な通常の
ECD設計のままであるが、付加的に、この設計が、非常
に減少した漏れ電流を与え、検出器の線形性を向上させ
る。
【0022】本発明のガードレールを有するECDの等価
回路のブロック図が図3に示される。従来技術のECDの
等価回路のブロック図が図5に示される。
【0023】図3及び図5には、ガス相セルのコンダク
タンスを表す抵抗30、パルサ26、及び電位計28が示され
ている。図5のコンダクタンス34は、ECDセルの絶縁体
にわたる電流の漏れを表す。図3は、パルサと接地した
ガード電極との間の絶縁体抵抗31と、接地と電位計電極
との間の絶縁抵抗33との間の本発明の接地したガード電
極32を示す。
【0024】ガード電極設計を有する本発明のECDを動
作させるための典型的なパラメータを表1に示す。
【0025】
【表1】
【0026】理論により制限されたくはないが、以下の
分析が、ガード電極における本発明の特徴を動作させる
ことの因果関係を説明する。
【0027】一定周波数及び一定電流モードにおいて動
作する、特定的な形状、パルス電圧波形、検出器体積及
びフォイル活性(activity)に対するECDの応答を示す
適当な数式が、以下の数1に示すマグ(Magg)の式で与
えられる。この式において、I_電子は、電流トランスデ
ューサーによって計測された電子電流であり、kpは、電
子の発生速度(ml/sec)であり、Qは、荷電毎電子(cou
l/electron)であり、体積は、検出器の体積(ml)であ
り、fは、パルス(波形)の周波数(Hz)であり、kd
は、再組合速度定数(sec-1)であり、klは、付着速度
定数(ml/sec)であり、Cは、アナライト濃度(μ/ml)
である。
【0028】
【数1】
【0029】一定の電流モードにおけるECDの動作は、
パルサの周波数を変化させることに対応し、一定値で電
流トランスデューサーにより計測される一定電流を維持
する。実際には、これは、基準電流(I_基準)と計測し
た電流とを比較することに対応する。それで、一定電流
回路は、パルサ周波数を活性的に調節し、以下の数2に
示す式のように、基準と、計測した電子電流との間を等
しく維持する。
【0030】
【数2】
【0031】しかし、絶縁体の全てが、実際の抵抗を有
することから、漏れ電流は、以下の数3に示す式によっ
て与えられる在来の設計(ガードなし)において常に存
在する。以下の数3に示す式において、I_漏れは、絶縁
体を通じ又は絶縁体にわたる漏れ電流であり、Vは、パ
ルサ電圧であり、tpは、パルス幅(パルス期間)であ
り、fは、パルサ周波数であり、Vcpは、ECDセルにわた
る接触電位であり、R_絶縁体は、絶縁体抵抗である。
【0032】
【数3】
【0033】次に、一定電流モデルにこの項を加えるこ
とは、以下の数4に示す如くの関係が要求される。
【0034】
【数4】
【0035】図6は、マグ(Magg)のモデルのグラフで
あり、漏れ電流効果が含まれる。このグラフは、log10
(重量因数)=0が10x1010分子/mlに対応するところの濃
度の関数として場電極の間で一定電流を維持するのに要
するピーク高さ(電位又は周波数)をプロットした。ピ
ーク高さ(uv)は(f-fo)であり、ここで、foはサンプ
ル無しのベース周波数である。ECDにおいて、アナライ
ト濃度が増加すると、電子が捕獲され、電子密度が減少
し、パルサ周波数が増加し、低い電子密度が補償され、
I_電子が減少すると、I_漏れが増加する。標準ECDの場
合、表1から、R_絶縁体が1010オームであり、Vが60ボ
ルトであり、tpが600ナノ秒であり、Vcpが0.0ボルトで
あると、1kHzにおける漏れ電流が3.6pA、10kHzでは36p
A、100kHzでは360pAである。
【0036】これら漏れ電流と、同一の周波数における
150pA、300pA及び500pAの通常の基準電流と比較する
と、非線形(つまり、平坦)のガード電極なしのECDの
応答が予期され、高いサンプル濃度においてこのグラフ
から濃度を正確に決定することが非常に困難となる。こ
れは、ガードなしのECDの図6に示されるように、漏れ
電流の効果を含むマグ(Magg)のモデルによって確証さ
れる。
【0037】ガード電極の付加は、パルサ波形による漏
れ電流が接地へと分岐されるため、漏れ電流周波数の因
果関係を除去する。このことは、パルサ及び電位計が、
ガード電極を電位計及びフィードバック制御回路なしで
等価のパルサ回路へ接続するところの単一信号プローブ
に接続される場合であっても真実である。この場合、漏
れ電流は、以下の数5に示す式のように与えられ、ここ
で、V_電位計_オフセットは、電位計入力オフセット電
圧であり、R''は、ガード電極とアノード(非パルス状
電極)との間の抵抗である。
【0038】
【数5】
【0039】200pAの一定漏れ電流に対応する、全体的
に誤った調節をした電位計の1mvのオフセット電圧、及
び5x109オームの比較的低い絶縁体抵抗でさえ、この最
悪の場合の効果が、基準電流を0.200pAだけ減少させる
のみである。基準電流が150pA、300pA、500pAの公称値
を有することから、周波数とは独立したこの漏れ電流
は、検出器の線形性を減少させない。
【0040】図7を参照して、最小の曲率を有する線
(例えば、“ガード”で示した曲線)は、本発明のガー
ドしたECDに対応する。
【0041】理論を実証するために、実験が、ガードし
たECDで行われ、図16、17及び18が、パルサに接
続された場電極11、ガード電極13及び電位計に接続され
た場電極15の様々な実験的接続を示す。これら様々な実
験は、パルサとガード電極との間(P→G)(図16を参
照)、パルサと電位計電極との間(P→E)(図17を参
照)及びガード電極と電位計電極との間(G→E)(図1
8を参照)に抵抗器17を付加する。図13に示される標
準的配列は、比較のために用いられた。ガードしたECD
セルの応答を示す図7の検証は、変更したマグ(Magg)
のモデル(例えば、漏れ電流の場合)によって予測され
るように、同一の効果を明瞭に示す。パルサを固定した
抵抗器を有する電位計に直接接続した形状の全てが、予
測されるような偏差を示す。同様に、パルサ電極または
電位計電極のいずれかからガード電極を通じて抵抗器を
接続することは、標準のガードしたECDの応答とは別の
ものになり得ない。
【0042】本発明のECDの他の形状は、上述した同軸
シリンダ構造に付加して考慮される。また、電流が、バ
イアス電極に取り付けられるならば、ガード電極は、接
地されず、時間、周波数、位相及びDCオフセット電圧に
合致するパルサ/バイアス回路に接続され、絶縁体を通
事又は絶縁体にわたる漏れ電流を除去する。
【0043】図8及び9は、平行板形状を用いた3つの
場合のECDセルを示し、各々が、サンプ巣出口又は入口4
0と、パルサ電極42と、頂部絶縁体44と、接地ガード電
極46と、底部絶縁体48と、電位計(アノード)電極50
と、サンプル入口又は出口52と、ベースマウント54と、
ベース絶縁体56とを有する。図10は、ガードがパルサ
を通じて接地に接続されるところの平行板構造の場合で
ある。図9に示すように、パルサ回路26が設けられ、そ
れは、電子電流を計測するための手段を含む。このパル
スソースに関し、パルス電圧26’を有するガード電極を
バイアスさせることが可能であり、ガード電極電圧をパ
ルス電圧に追従させる。
【0044】図11及び12は、同軸シリンダ形状を用
いたECDセルの2つの場合を示し、各々が、一対のガー
ド電極60及び80、アノード62、サンプル出口66、カソー
ド68、外側絶縁体70、内側絶縁体72、ベース絶縁体74、
ベースマウント76及びサンプル入口78を有する。
【0045】図13及び図14は、それぞれ、電極82及
び84、壁電極86、ガード電極88及び絶縁体90有する多重
ポールECD構造を示す断面図及び斜視図である。
【0046】図51は、サンプル入口92、ベース絶縁体
94、第1のアノード96、第1の下方絶縁体98、第1のガ
ード電極100、第1の上方絶縁体101、カソード(又はア
ノード)102、第2の上方絶縁体104、第2のガード電極
106、第2の下方絶縁体198、第2のアノード9又は第2
のカソード)110、出口絶縁体112及び外側管114を有す
るシリンダ状多重ポールの場合を示す。
【0047】これらECD設計は、一定電流制御で使用す
ることに制限されず、また、DC電圧モードと同様、一定
周波数モードで印加されない。波形の必要性は、単一的
に偏向されず、バイポーラパルスでもない。
【0048】本発明のガード電極を有するECDセルの漏
れ電流は、顕著に向上した検出器の線形性を有する。こ
れは、高濃度レベルにおける種のECD電子付加による定
量及び分析を可能にする。又、ガードは、カソードとア
ノードとの間の抵抗を減少させる汚染に、検出器を耐え
させる。同様に、過度の漏れ電流のために適当でない物
質を有する検出器の構造を許容する。更に、温度が下が
ると、絶縁物質のほとんど全部の抵抗が減少することか
ら、ガード電極は、漏れ電流に関して、熱効果を顕著に
減少させる。しかし、電位計入力オフセット電圧がゼロ
に設定される要件(つまり、信号接地との平衡)が、依
然、要求される。検出器へのガード電極の付加はまた、
従来技術の組立検出器を取り扱うための非常に厳格な清
浄要件を減少させるように働く。手動作業又は汚染表面
に検出器を位置させることによるような在来のECDの外
面の汚染の効果が、ガード電極によって解決された。
【0049】本発明の他の変形的な実施例があり、これ
により、本発明の範囲が、添付図面と特許請求の範囲に
より決定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明のガード電極を有するECDセル
の断面図である。
【図2】図2は、図1の分解斜視図である。
【図3】図3は、接地したガード電極を示すECDセルの
構成図である。
【図4】図4は、接地されていないガード電極を示すEC
Dセルの構成図である。
【図5】図5は、従来技術のECDセルの構成図である。
【図6】図6は、漏れ電流を有するマグ・モデルのプロ
ットである。
【図7】図7は、検出器の線形性の漏れ電流の効果及び
マグ・モデルの実験検査を示すグラフである。
【図8】図8は、ガード電極を有するECDセルの平行板
構造の1つの例を示す。
【図9】図9は、ガード電極を有するECDセルの平行板
構構造の他の例を示す。
【図10】図10は、ガード電極を有するECDセルの平
行板構造のその他の例を示す。
【図11】図11は、本発明のECDセルの同軸シリンダ
構造の1つの例を示す。
【図12】図12は、本発明のECDセルの同軸シリンダ
構造の他の例を示す。
【図13】図13は、本発明のガード電極を有するECD
セルの多重ポール構造を示す。
【図14】図14は、図13の斜視図である。
【図15】図15は、本発明の多重ポール構造の断面図
である。
【図16】図16は、実験検査のためのパルサ端子とガ
ード端子との間の抵抗器及びガードレールを有するECD
セルの構成図である。
【図17】図17は、実験検査のためのパルサ端子と電
位計端子との間の抵抗器及びガードレールを有するECD
セルの構成図である。
【図18】図18は、実験検査のための電位計端子とガ
ード端子との間の抵抗器及びガードレールを有するECD
セルの構成図である。
【図19】図19は、図16、17及び18と比較する
ための、ガード電極を有するECDセルの習慣的な接続を
示す。
【符号の説明】 9 ... コーナーリリーフ 10 ... 電子荷電検出器セル 11 ... 場電極 12 ... カソード電飾 13 ... ガード電極 14 ... 絶縁体 15 ... 場電極 16 ... ガード電極 17 ... 抵抗器 18 ... 絶縁体 20 ... 金属キャップ 21 ... ベースキャップ 22 ... 絶縁体 23 ... カソードキャップ 24 ... 取付け管 25 ... アパーチャ 26 ... パルサ 27 ... ブレイズ層 28 ... 電位計 29 ... 流れ空間 30 ... 抵抗 31 ... 絶縁体抵抗 32 ... 接地したガード電極 34 ... 漏れ抵抗器 35 ... 絶縁体22の端部 36 ... 絶縁体ボア 37 ... 金属化アノード層の境界 39 ... ショルダー 40 ... サンプル出口 42 ... パルサ電極 44 ... 頂部絶縁体 46 ... ガード電極 48 ... 底部絶縁体 50 ... 電位計電極 52 ... サンプル入口又は出口 54 ... ベースマウント 56 ... ベース絶縁体 60 ... ガード電極 62 ... アノード 66 ... サンプル出口 68 ... カソード 70 ... 外側絶縁体 72 ... 内側絶縁体 74 ... ベース絶縁体 78 ... サンプル入口 82 ... 電極 84 ... 電極 86 ... 壁電極 88 ... ガード電極 92 ... サンプル入口 94 ... ベース絶縁体 96 ... 第1アノード 98 ... 第1下方絶縁体 100 ... 第1ガード電極 101 ... 第1上部絶縁体 104 ... 第2上部絶縁体 106 ... ガード電極 108 ... 第2下方絶縁体 110 ... アノード 112 ... 出口絶縁体 114 ... 出口管

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電子捕獲検出器セルであって、 一対の場電極であって、前記場電極の間に印加される電
    圧のソースへの接続に適合した、一対の場電極と、 前記場電極が絶縁され、一方から空間があけられるよう
    に、前記場電極を支持するための手段であって、前記支
    持するための手段が、前記場電極を含む密閉領域を画成
    し、前記領域内にガスが入るように、前記領域へのポー
    トを少なくとも1つ有する、ところの手段と、 前記場電極の一方から他方へと通過する漏れ電流を低減
    するための、前記支持するための手段に接続される手段
    とから成る、電子捕獲検出器セル。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の電子捕獲検出器セルであ
    って、 前記漏れ電流を低減させるための、前記支持するための
    手段に接続される前記手段が、前記場電極の間に挿入さ
    れた伝導性ガード電極を含み、 前記場電極の一方から前記場電極の他方への、支持する
    ための前記手段を通じる可能な電流通路の全てが、前記
    伝導性ガード電極と交差する、ところの電子捕獲検出器
    セル。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の電子捕獲検出器セルであ
    って、 前記場電極のいずれか一方が、パルスのソースに接続さ
    れ、前記場電極の他方が、電位計に接続され、 前記伝導性ガード電極が、前記電位計に接続された前記
    電極の電位と電位が実質的に等しい電圧の外部ソースへ
    の接続に適合される端子に接続される、ところの電子捕
    獲検出器セル。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の電子捕獲検出器セルであ
    って、 前記場電極の各々が、第1の開口端部と第2の開口端部
    とを有する電気的伝導管から成り、 前記伝導管を支持するための前記手段が、2個の絶縁体
    管から成り、前記絶縁体管の各々が、2個の開口端部を
    有し、前記絶縁体管の各々の一方の端部が、前記伝導管
    の一方の前記第2の端部にそれぞれ固定され、 前記絶縁体管の各々の前記他方の端部が、前記伝導性ガ
    ード電極に連結され、前記伝導管、前記絶縁体管及び前
    記伝導性ガード電極が、交互に連続して接続され、ガス
    が、前記伝導管の一方の前記第1の端部へと通じ、前記
    伝導管の他方の前記第1の端部から出ていく、ところの
    電子捕獲検出器セル。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の電子捕獲検出器セルであ
    って、 前記伝導性ガード電極が、2個の端部を有する管であ
    り、前記端部の各々が、前記絶縁体管の前記端部の他方
    の一方にそれぞれ接続され、 前記端子が、前記伝導性ガード電極に接続される、とこ
    ろの電子捕獲検出器セル。
  6. 【請求項6】 請求項2記載の電子捕獲検出器セルであ
    って、 前記場電極の各々が、実質的な平坦面を有する平行電極
    板であり、 前記平坦電極板を支持するための前記手段が、一対の絶
    縁体管であり、前記絶縁体管の各々が、前記電極板の前
    記平坦面の一方にそれぞれ支持的に接する前記管の端部
    を有し、前記平坦面が他の一方に面し、 漏れ電流を低減させる前記手段が、一対の平面を有する
    平坦なガード板であり、前記絶縁体管の一方の他の端部
    にそれぞれ接する前記平面の各々の他の一方に向かい合
    い、 前記ガード板が、穴を有し、前記ガード板の一方の側面
    上の領域が、前記ガード板の未開在った側面上の領域と
    連通し、 前記絶縁体管の一方が、開口を有する壁を有し、前記開
    口が、前記壁を通じ、ガスが、前記電極板の間の前記領
    域へと前記開口を通じて通過することができる、ところ
    の電子捕獲検出器セル。
  7. 【請求項7】 請求項2記載の電子捕獲検出器セルであ
    って、 前記場電極の各々が、電極管であり、 前記電極管の一方が、前記電極管の他方の直径よりも大
    きい直径を有し、 前記漏れ電流を低減させる前記手段が、前記電極管の間
    の中間の直径を有する伝導性ガードである、ところの電
    子捕獲検出器。
  8. 【請求項8】 電子捕獲検出器装置であって、 複数の電極であって、前記電極の間に印加される電圧の
    ソースへの接続に適合した、複数の電極と、 前記電極を電気的絶縁に支持するための手段であって、
    前記電極が絶縁され、他の一方から間隔をあけられ、支
    持するための前記手段が、前記場電極を含む密閉領域を
    画成し、ガスが前記領域に入るように、前記領域へのポ
    ートを少なくとも1個有する、ところの手段と、 前記領域内に放射イオン化ソースを支持するための手段
    と、 前記絶縁手段から漏れ電流を排出するための、支持する
    ための前記手段に接続されたガード手段とから成る、装
    置。
  9. 【請求項9】 ガスの組成物を分析するための方法であ
    って、 複数の場電極を含む領域へ前記ガスを通過させる工程で
    あって、前記場電極が前記領域に支持され、絶縁体のア
    レイによって他の一方から空間があけられ、電位が前記
    複数の場電極の間に印加され一方の前記場電極がアノー
    ドであり他方の前記場電極がカソードであるとき、前記
    絶縁体のアレイが、それらの間で生成された漏れ電流を
    低減するためのガード電極手段を与える、ところの工程
    と、 電位を前記場電極の各々に印加し、前記場電極の間の前
    記ガード電極手段により漏れ電流を同時に前もって排除
    させる工程と、 前記ガスの電子親和力のスペクトルを与えるために、時
    間の関数として前記場電極の間で流れる電子電流を計測
    する工程とを含む、方法。
  10. 【請求項10】 請求項9記載の方法であって、 漏れ電流を同時に前もって排除させる前記工程が、前記
    アノードの電位と実質的に同一の電位に前記ガード電極
    を接続する工程から成る、ところの方法。
  11. 【請求項11】 ガスを分析するための電子捕獲検出器
    であって、 第1の開口端部と第2の開口端部とを有する第1の伝導
    管(12)と、 第3及び第4の開口端部を有する第1の絶縁体管(14)
    であって、前記第1の絶縁体管の前記第3の開口端部
    が、前記第1の伝導区だの前記第2の開口端部に気密に
    シールされる、ところの第1の絶縁体管(14)と、 第5の開口端部と第6の開口端部とを有する第2の絶縁
    体管(18)と、 ガード電極(16)であって、前記ガード電極が、金属で
    あり、前記ガード電極と前記第5の開口端部及び前記第
    4の開口端部が共に気密にブレイズされ、前記第1の絶
    縁体管(14)及び前記第2の絶縁体管(18)の全ての隣
    接空間の間に電気的伝導通路を設ける、ところのガード
    電極(16)と、 第1の外径を有する第1の開口端部セクションと、第2
    の外径を有する第2の端部セクションとを有する第3の
    絶縁体管(22)であって、前記第2の外径が、前記第1
    前記端部セクションと前記第2の端部セクションとの間
    の第3の絶縁体管にショルダーを有する前記第1の外径
    よりも大きく、前記第3の絶縁体管(22)の前記第1の
    端部セクションが、前記第1及び第2の絶縁体管内に位
    置され、前記第3の絶縁体管の前記第1の端部セクショ
    ンが開口(25)を有する壁を有し、前記第1の端部セク
    ションの外側面と前記第2の絶縁体管の内側面との間に
    流れ通路が形成されるように、前記第2の絶縁体管(1
    8)が、内径を有する、ところの第3の絶縁体管(22)
    と、 伸張した電気的伝導層(27B)であって、前記伸張した
    電気的伝導層が、前記第1の端部セクションの前記外側
    面上と、前記第3の絶縁体の前記ショルダー(27)上で
    ある、ところの伸張した電気的伝導層(27B)と、 アノード電極(20)であって、前記アノード電極(20)
    と前記ショルダーと前記第6の開口端部と前記伸張した
    電気的伝導層とが、互いに、気密にブレイズされてい
    る、ところのアノード電極(20)とから成る、電子捕獲
    検出器。
  12. 【請求項12】 請求項2記載の電子捕獲検出器セルで
    あって、 前記場電極のいずれか一方が、接地され、前記場電極の
    他方が、ソースからの第1のパルス電圧に接続され、前
    記ソースが、パルス電流計測手段を含み、当該電子捕獲
    検出器セルが、さらに、前記ガード電極を第2のパルス
    電圧に接続する手段を含み、前記第2のパルス電圧が、
    タイミングにおいて前記第1のパルス電圧と識別的であ
    り、これにより、前記ガード電極及び前記電流計測電極
    が、常に等しい電位に実質的に維持される、ところの電
    子捕獲検出器セル。
  13. 【請求項13】 請求項12記載の電子捕獲検出器セル
    であって、 前記場電極の各々が、第1の開口端部及び第2の開口端
    部を有する電気的伝導管から成り、 前記電気的伝導管を支持するための前記手段が、2個の
    絶縁体管から成り、前記絶縁体管の各々が、2個の開口
    端部を有し、前記絶縁体管の各々の一方の端部が、前記
    伝導管の一方の前記第2の端部にそれぞれ固定され、 前記絶縁体管の各々の前記他方の端部が、前記伝導ガー
    ド電極に連結され、 前記伝導管、前記絶縁体管及び前記伝導ガード電極が、
    ガスが前記伝導管の一方の前記第1の端部へ通過し前記
    伝導管の他方の第1の端部から出ていけるように、相互
    に連続して接続される、ところの電子捕獲検出器セル。
  14. 【請求項14】】 請求項13記載の電子捕獲検出器セ
    ルであって、 前記伝導ガード電極が、2個の端部を有する管であり、
    前記端部の各々が、前記絶縁体管の前記端部の他方の1
    つにそれぞれ接続され、前記端子が、前記伝導ガード管
    に接続される、ところの電子捕獲検出器セル。
  15. 【請求項15】 流れているキャリアガスのアナライト
    の圧力及び濃度を検出するための電子捕獲検出器(EC
    D)において、前記ECDが、可変周波数パルサ回路と、電
    位計と、電子捕獲検出器セルとを含み、前記電子捕獲器
    セルが、絶縁体に取り付けられた第1及び第2の分離し
    た場電極を有し、前記可変周波数パルサ回路が、前記第
    1の場電極に接続され、前記電位計が、前記第2の場電
    極に接続され、前記ECDが、フィードバック回路を有
    し、前記アナライト濃度に関係なく一定値に前記ECDの
    電流を維持し、これにより、前記可変パルスのオシレー
    タの周波数が前記アナライトの濃度に正比例する、とこ
    ろの電子捕獲検出器(ECD)において、 更に、第3の電極から成り、前記第3の電極が、前記第
    1及び前記第2の電極の間に物理的に位置され、一方の
    場電極から他方の場電極へと前記絶縁体を通じる可能な
    電流通路の実質的に全てが、前記第3の電極と交差する
    ことを特徴とした、電子捕獲検出器。
  16. 【請求項16】】 請求項15記載の電子捕獲検出器で
    あって、 前記第3の電極が、前記電位計に接続された前記電極と
    同一の電位に維持される、ところの電子捕獲検出器。
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