JPH0885086A - Vacuum gripping device - Google Patents

Vacuum gripping device

Info

Publication number
JPH0885086A
JPH0885086A JP22200794A JP22200794A JPH0885086A JP H0885086 A JPH0885086 A JP H0885086A JP 22200794 A JP22200794 A JP 22200794A JP 22200794 A JP22200794 A JP 22200794A JP H0885086 A JPH0885086 A JP H0885086A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air passage
suction
work
cylinder
air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22200794A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuo Yoshida
暢夫 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP22200794A priority Critical patent/JPH0885086A/en
Publication of JPH0885086A publication Critical patent/JPH0885086A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a vacuum gripping device capable of restraining air pressure from being lowered caused by ineffectivesuction without providing any complicate vacuum pressure control mechanism, and exhibiting high sucking performance without being affected by the shape of a work. CONSTITUTION: A vacuum gripping device VD1 is provided with a cylinder 11, a first air passage 12 connected to the upper end of the cylinder 11, a second air passage 13 connected to the lower end of the cylinder 11, a main body 10 provided with a ball 14 as a spherical blocking member, and a suction pad 20 to be attached to the lower surface of the main body 10. A first auxiliary air passage 18 is formed near a second connecting part 16. This first auxiliary air passage 18 is a passage for easily forming an air passage from the lower side of the suction pad 20 to the cylinder 11 in the suction initial stage, and an air passage is formed without waiting the state where the ball 14 is moved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、製造ライン、搬送ライ
ン等において、ワークを所定位置に供給する際にワーク
を把持する把持装置に関し、さらに詳細には、真空ポン
プ等により発生した吸引力によってワークを吸着把持す
る真空把持装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gripping device for gripping a work when the work is supplied to a predetermined position in a manufacturing line, a transfer line or the like, and more specifically, by a suction force generated by a vacuum pump or the like. The present invention relates to a vacuum gripping device for sucking and gripping a work.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、製造ライン等においては、ワ
ークを所定位置に搬送、供給するために搬送装置(フィ
ーダ)が用いられている。このフィーダは、ワークを把
持する把持装置と、把持したワークを把持装置とともに
所定位置まで移動させる移動装置とを備えている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a manufacturing line or the like, a transfer device (feeder) is used to transfer and supply a work to a predetermined position. This feeder is provided with a gripping device for gripping a work and a moving device for moving the gripped work together with the gripping device to a predetermined position.

【0003】把持装置としては、ワークを把持部材によ
って実際に把持作用を伴って把持するものが一般的であ
るが、この種の把持装置では、ワークを把持する把持力
のコントロールが困難である。すなわち、把持力が強い
場合には、ワークを傷つけてしまい、把持力が弱い場合
には、ワークを確実に把持することができないからであ
る。
As a gripping device, a gripping member is generally used for actually gripping a work by a gripping member, but it is difficult to control the gripping force for gripping the work in this type of gripping device. That is, when the gripping force is strong, the work is damaged, and when the gripping force is weak, the work cannot be reliably gripped.

【0004】そこで、真空ポンプ等の吸引装置を用い、
ワークを吸着することによって把持する真空把持装置が
種々提案、実用化されている。ここで、一般的な真空把
持装置VD4について、図13を参照して説明する。
Therefore, using a suction device such as a vacuum pump,
Various vacuum gripping devices for gripping a work by suction have been proposed and put into practical use. Here, a general vacuum gripping device VD4 will be described with reference to FIG.

【0005】真空把持装置VD4は、ワークを吸着する
ための負圧を発生させる真空ポンプ50、ワークと密着
してワークを吸着するバキュームパッド51を備えてお
り、真空ポンプ50とバキュームパッド51とは、接続
パイプ52によって連結されている。また、真空把持装
置VD4は、バキュームパッド51に吸着されたワーク
を離脱させるためのコンプレッサ54と、真空ポンプ5
0とコンプレッサ54とを切り換えるための切換弁55
を備えている。
The vacuum gripping device VD4 is equipped with a vacuum pump 50 for generating a negative pressure for adsorbing a work, and a vacuum pad 51 for adhering the work in close contact with the work. The vacuum pump 50 and the vacuum pad 51 are different from each other. , Are connected by a connection pipe 52. Further, the vacuum gripping device VD4 includes a compressor 54 for removing the work adsorbed on the vacuum pad 51, and a vacuum pump 5.
Switching valve 55 for switching between 0 and the compressor 54
It has.

【0006】バキュームパッド51には、ワークと直接
接触する部分にゴム製材料からなるスカートが装着され
ており、吸着有効面積の拡大を図るとともに、ワークに
対する密着性を向上させている。そして、スカートとワ
ークが接触した際には、スカート内部に小空間が形成さ
れるので、小空間内に存在する空気が効率よく吸引され
る。
A skirt made of a rubber material is attached to a portion of the vacuum pad 51 which is in direct contact with the work to increase the effective suction area and improve the adhesion to the work. Then, when the skirt and the work come into contact with each other, a small space is formed inside the skirt, so that the air existing in the small space is efficiently sucked.

【0007】かかる構成を備える真空把持装置VD4で
は、通常、真空ポンプ50は常時、稼働しており、把持
対象となるワークにバキュームパッド51を当接させる
ことによってワークが吸着(把持)される。このとき、
ワークは上方から吸い上げられるようにして吸着されて
おり、ワークに作用する重力と真空ポンプ50による吸
引力とは、同一作用線上にある。したがって、把持部材
によって把持力とワークに作用する重力とが直交する場
合と異なり、ワークと把持部材との間に発生する摩擦力
によってワークを損傷させることはない。また、把持力
によってワークを損傷させることもない。
In the vacuum gripping device VD4 having such a structure, the vacuum pump 50 is normally in operation at all times, and the work to be gripped is attracted (gripped) by bringing the vacuum pad 51 into contact with the work. At this time,
The work is adsorbed so as to be sucked up from above, and the gravity acting on the work and the suction force of the vacuum pump 50 are on the same line of action. Therefore, unlike the case where the gripping force of the gripping member and the gravity acting on the work are orthogonal to each other, the work is not damaged by the frictional force generated between the work and the gripping member. Further, the gripping force does not damage the work.

【0008】また、バキュームパッド51に吸着された
ワークを離脱させる場合には、切換弁55をコンプレッ
サ54側に切り換え、バキュームパッド51に向けて圧
縮空気を送り込むことによりワークは離脱される。
When the work adsorbed on the vacuum pad 51 is to be released, the work is released by switching the switching valve 55 to the compressor 54 side and sending compressed air toward the vacuum pad 51.

【0009】ここで、真空把持装置においてワークを吸
着する能力は、非通気性ワークを吸着する際には、バキ
ュームパッドの吸着有効面積と、到達真空圧によって決
定され、真空ポンプの排気量には左右されない。一方、
通気性ワークを吸着する場合には、通気性ワークを通し
て空気がスカート内に流入するため、真空ポンプの排気
量によってワークを吸着する能力が決定される。
Here, the ability to adsorb a work in the vacuum gripping device is determined by the adsorbing effective area of the vacuum pad and the ultimate vacuum pressure when adsorbing a non-air-permeable work. Not affected. on the other hand,
In the case of adsorbing a breathable work, air flows into the skirt through the breathable work, so the ability to adsorb the work is determined by the displacement of the vacuum pump.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
真空把持装置VD4では、真空把持装置VD4が分岐管
52を介して複数のバキュームパッド51を備えている
場合、ワークの形状によっては、空吸いをしてしまうバ
キュームパッド51が存在し、真空圧力が低下してしま
うという問題があった。すなわち、各バキュームパッド
51は、1つの真空ポンプ50と接続されているので、
いくつかのバキュームパッド51が空吸いをすると、全
体の真空圧力が低下してしまうのである。
However, in the conventional vacuum gripping device VD4, when the vacuum gripping device VD4 is provided with the plurality of vacuum pads 51 via the branch pipe 52, depending on the shape of the work, the vacuum suction is performed. There is a problem in that the vacuum pad 51 that does not exist is present and the vacuum pressure decreases. That is, since each vacuum pad 51 is connected to one vacuum pump 50,
If some of the vacuum pads 51 suck air, the total vacuum pressure will drop.

【0011】このように真空圧力が低下すると、ワーク
を吸着している他のバキュームパッド51が確実にワー
クを吸着することができず、ワークが不安定な状態で把
持されたり、搬送途中で落下してしまうおそれがあっ
た。
When the vacuum pressure is lowered in this way, the other vacuum pad 51 that is adsorbing the work cannot reliably adsorb the work, and the work is gripped in an unstable state or dropped during conveyance. There was a risk of doing it.

【0012】かかる問題点を解決するため、複数のバキ
ュームパッド51を備えている真空把持装置VD4に
は、バキュームパッド51が空吸いをしているか否かを
検出する空吸いセンサ、吸着(空気の吸入)を行うバキ
ュームパッド51のオン、オフを切り換える切り換え弁
等を含む制御装置53が各バキュームパッド51に対応
して備えられている。そして、あるバキュームパッド5
1が空吸いをしていると制御装置53内の空吸いセンサ
によって検出された場合には、そのバキュームパッドに
対応する切り替え弁を閉塞することで真空圧力の低下を
防いでいた。
In order to solve such a problem, the vacuum gripping device VD4 having a plurality of vacuum pads 51 has an air suction sensor for detecting whether or not the vacuum pad 51 is performing air suction, and suction (air suction). Each vacuum pad 51 is provided with a control device 53 including a switching valve for switching on / off of the vacuum pad 51 for inhalation. And a certain vacuum pad 5
When the air suction sensor in the control device 53 detects that 1 is sucking air, the changeover valve corresponding to the vacuum pad is closed to prevent the vacuum pressure from decreasing.

【0013】しかしながら、このような真空把持装置V
D4では、各バキュームパッド51にそれぞれ制御装置
53を備えなければならず、装置全体が大型化するとと
もに、制御機構が複雑になるといった問題があった。し
たがって、ワークの搬送効率も悪くなり、しいては製品
製造効率の悪化を招くという問題があった。
However, such a vacuum gripping device V
In D4, each vacuum pad 51 must be provided with a control device 53, which causes a problem that the entire device becomes large and the control mechanism becomes complicated. Therefore, there is a problem in that the work transfer efficiency also deteriorates, which in turn deteriorates the product manufacturing efficiency.

【0014】また、従来の真空把持装置VD4は、バキ
ュームパッド51のスカートよりも表面積の大きなワー
クに対しては比較的良好な吸着性能を示すものの、スカ
ートよりも表面積の小さなワークに対しては、バキュー
ムパッド51を複数備えている真空把持装置VD4であ
っても吸着することができなかった。
Further, the conventional vacuum gripping device VD4 exhibits a relatively good adsorption performance for a work having a larger surface area than the skirt of the vacuum pad 51, but for a work having a smaller surface area than the skirt, Even the vacuum gripping device VD4 having a plurality of vacuum pads 51 could not be sucked.

【0015】かかる場合、専用のバキュームパッドを用
いることにより、ワークの吸着が一応可能となるもの
の、そのためには、ワークとバキュームパッドの位置関
係を正確に制御しなければならず、また、ワークに応じ
てバキュームパッドを交換しなければならず、非常に煩
雑であった。
In such a case, by using a dedicated vacuum pad, the work can be adsorbed, but for that purpose, the positional relationship between the work and the vacuum pad must be accurately controlled, and the work is Accordingly, the vacuum pad had to be replaced, which was very complicated.

【0016】本発明は、前記従来の問題点を解消するた
めになされたものであり、複雑な真空圧力制御機構を備
えることなく、空吸いに起因する真空圧力の低下を抑止
することができる真空把持装置を提供することを目的と
する。また、ワークの形状に左右されることなく良好な
吸着性能を示す真空把持装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and a vacuum capable of suppressing a decrease in vacuum pressure due to air suction without providing a complicated vacuum pressure control mechanism. An object is to provide a gripping device. It is another object of the present invention to provide a vacuum gripping device that exhibits good suction performance regardless of the shape of the work.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
第1の発明に係る真空把持装置は、シリンダと、そのシ
リンダが有する径よりも小さな径を有し、前記シリンダ
の一端と第1連結部を介して連結されている第1空気通
路と、前記シリンダ内部において遊動可能に備えられ、
前記第1空気通路を閉塞する球状閉塞部材と、前記シリ
ンダが有する径よりも小さな径を有し、前記シリンダの
他端と連結され、前記球状閉塞部材にて閉塞可能な第2
空気通路と、前記シリンダの他端と前記第2空気通路と
の第2連結部に形成され、前記球状閉塞部材にて閉塞不
能な第1補助空気通路とを構成として備えている。
In order to achieve the above object, a vacuum gripping device according to a first aspect of the present invention has a cylinder and a diameter smaller than the diameter of the cylinder, and one end of the cylinder and a first connection. A first air passage that is connected via a section, and is movably provided inside the cylinder,
A spherical closing member that closes the first air passage, and a second diameter that is smaller than the diameter of the cylinder, is connected to the other end of the cylinder, and can be closed by the spherical closing member.
An air passage and a first auxiliary air passage that is formed at a second connecting portion between the other end of the cylinder and the second air passage and cannot be closed by the spherical closing member are provided.

【0018】ここで、前記第1連結部には、前記第1空
気通路と前記球状閉塞部材とを密着させるための球状閉
塞部材密着部が形成されていることが好ましい。また、
前記第1連結部の近傍には、前記シリンダと前記第1空
気通路とを連通する第2補助空気通路が形成されている
ことが望ましい。さらに、前記第2空気通路には、ワー
クの吸着を容易ならしめる吸着部材が装着されているこ
とが好ましい。
Here, it is preferable that a spherical closing member contact portion for contacting the first air passage and the spherical closing member is formed in the first connecting portion. Also,
It is desirable that a second auxiliary air passage that connects the cylinder and the first air passage be formed near the first connecting portion. Further, it is preferable that a suction member for facilitating suction of the work is attached to the second air passage.

【0019】次に、第2の発明に係る真空把持装置は、
シリンダ室と、そのシリンダ室が有する径よりも小さな
径を有するとともに、前記シリンダ室の一端と第3連結
部を介して連結されている第3空気通路と、前記シリン
ダ室内部において遊動可能に備えられ、前記第3空気通
路を閉塞する球状閉塞部材と、前記シリンダ室が有する
径よりも小さな径を有し、前記シリンダ室の他端と連結
され、前記球状閉塞部材にて閉塞可能な第4空気通路
と、前記シリンダ室の他端と前記第4空気通路との第4
連結部に形成され、前記球状閉塞部材にて閉塞不能な第
3補助空気通路とを備えてなる吸着ユニットが同一面内
に複数配設され、その複数の吸着ユニットの各第3空気
通路は、チャンバと連結されている構成を備えている。
Next, the vacuum gripping device according to the second invention is
A cylinder chamber, a third air passage having a diameter smaller than that of the cylinder chamber, and connected to one end of the cylinder chamber via a third connecting portion, and movably provided inside the cylinder chamber. And a spherical closing member that closes the third air passage, and a diameter that is smaller than the diameter of the cylinder chamber, is connected to the other end of the cylinder chamber, and can be closed by the spherical closing member. An air passage, a fourth of the other end of the cylinder chamber and the fourth air passage,
A plurality of adsorption units, each of which is formed in the connecting portion and includes a third auxiliary air passage that cannot be closed by the spherical closing member, are arranged in the same plane, and each third air passage of the plurality of adsorption units is The chamber is connected to the chamber.

【0020】ここで、前記第3連結部には、前記第3空
気通路と前記球状閉塞部材とを密着させるための球状閉
塞部材密着部が形成されていることが望ましい。また、
前記第4空気通路の外側部には、ワークの吸着を容易な
らしめる吸着部材が装着されていることが好ましい。
Here, it is desirable that a spherical closing member contact portion for contacting the third air passage and the spherical closing member is formed in the third connecting portion. Also,
It is preferable that a suction member that facilitates suction of the work is attached to an outer portion of the fourth air passage.

【0021】[0021]

【作用】上記構成を備えた第1の発明に係る真空把持装
置では、真空ポンプ等の吸引装置によって第1空気通路
から吸引が開始されると、大気に開放されている第2空
気通路外部側から、シリンダ内部に向けて空気が流入
し、第1空気通路へと抜けていく。なお、球状閉塞部材
は、吸引開始当初、シリンダ他端と第2空気通路とが連
結されている第2連結部に係止されている。
In the vacuum gripping device according to the first aspect of the present invention having the above structure, when suction is started from the first air passage by the suction device such as a vacuum pump, the outside of the second air passage opened to the atmosphere. From, the air flows toward the inside of the cylinder and escapes to the first air passage. The spherical closing member is locked to the second connecting portion that connects the other end of the cylinder and the second air passage when the suction is started.

【0022】第2空気通路の大気側に、ワークが当接さ
れている場合には、ワークと第2連結部との間に存在す
る空気は、第2連結部に形成されている第1補助空気通
路から第1空気通路へと抜けていく。ここで、ワークと
第2連結部との間に存在する空気量は有限であることか
ら、時間の経過とともに球状閉塞部材の第1空気通路側
と第2空気通路側との空気圧格差が解消されていく。
When the work is in contact with the atmosphere side of the second air passage, the air existing between the work and the second connecting portion is the first auxiliary formed in the second connecting portion. It escapes from the air passage to the first air passage. Here, since the amount of air existing between the work and the second connecting portion is finite, the air pressure difference between the first air passage side and the second air passage side of the spherical closing member is eliminated with the passage of time. To go.

【0023】すなわち、第1空気通路から吸引される空
気量に対応する空気量を、第2空気通路側から供給(吸
引)することが不可能となり、第2空気通路から第1空
気通路にかけて形成されていた空気流路が遮断されるこ
とにより、第1空気通路からワーク表面にかけての圧力
が同一の真空圧力となるのである。
That is, it becomes impossible to supply (suck) the air amount corresponding to the air amount sucked from the first air passage from the second air passage side, and it is formed from the second air passage to the first air passage. The pressure from the first air passage to the surface of the work becomes the same vacuum pressure by blocking the air flow path that has been performed.

【0024】この結果、球状閉塞部材の第1空気通路側
と第2空気通路側との圧力が同一となり、球状閉塞部材
が第1空気通路に向かって移動し、閉塞することはな
く、ワークは負圧によって真空把持装置に吸着され、把
持された状態となる。ここで、第2空気通路の大気側に
吸着部材が装着されている場合には、ワークを吸着する
吸着有効面積が増加し、吸着能力が向上するので、より
確実にワークが吸着される。
As a result, the pressures on the first air passage side and the second air passage side of the spherical closing member become the same, the spherical closing member moves toward the first air passage and is not closed, and the work is It is attracted to the vacuum gripping device by the negative pressure and is in a gripped state. Here, when the adsorption member is attached to the atmosphere side of the second air passage, the adsorption effective area for adsorbing the workpiece increases and the adsorption capacity improves, so that the workpiece is adsorbed more reliably.

【0025】そして、吸着したワークを離脱させる場合
には、第1空気通路から第2空気通路に向けて圧縮空気
を送り込むことによって、ワークが真空把持装置から離
脱する。
When the adsorbed work is released, the work is released from the vacuum gripping device by sending compressed air from the first air passage to the second air passage.

【0026】一方、第2空気通路の大気側にワークが当
接されていない場合には、第2空気通路から流入してき
た空気は、先ず、第1補助空気通路から第1空気通路へ
と抜けていく。しかしながら、ワークが当接されている
場合と異なり流入空気量に制限がないので、時間の経過
とともに球状閉塞部材の第1空気通路側と第2空気通路
側との空気圧格差が増大はするが解消されることはな
い。
On the other hand, when the work is not in contact with the atmosphere side of the second air passage, the air flowing in from the second air passage first escapes from the first auxiliary air passage to the first air passage. To go. However, unlike the case where the workpiece is in contact, there is no limit on the amount of inflowing air, so the air pressure difference between the first air passage side and the second air passage side of the spherical closing member increases with the passage of time, but this is resolved. It will not be done.

【0027】すなわち、第1空気通路から吸引された空
気量に対応する空気量が第2空気通路から絶え間なく供
給されるので、第2空気通路から第1空気通路にかけて
形成されている空気流路が遮断されることはない。した
がって、第1補助空気通路だけでは、第2空気通路の大
気側から流入してくる空気量に対応しきれなくなり、次
第に、第2空気通路から直接シリンダ内へ向かって空気
が流入を開始する。
That is, since the air amount corresponding to the air amount sucked from the first air passage is continuously supplied from the second air passage, the air flow passage formed from the second air passage to the first air passage. Is never shut off. Therefore, the first auxiliary air passage alone cannot handle the amount of air flowing in from the atmosphere side of the second air passage, and gradually the air begins to flow directly into the cylinder from the second air passage.

【0028】この結果、球状閉塞部材は、第2空気通路
から直接シリンダ内へ流入する空気流、及び、球状閉塞
部材とシリンダ壁との隙間に発生する空気流によって第
1空気通路へ向かって移動を開始する。そして、最終的
に球状閉塞部材は、第1連結部に密接し、第2空気通路
から第1空気通路にかけての空気の流れが遮断される。
こうして、第2空気通路から第1空気通路にかけての空
気の流れが遮断されることにより、ワークが存在しない
真空把持装置が空吸いすることが確実に、かつ、容易に
抑止される。
As a result, the spherical closing member moves toward the first air passage due to the airflow flowing directly into the cylinder from the second air passage and the airflow generated in the gap between the spherical closing member and the cylinder wall. To start. Then, finally, the spherical blocking member comes into close contact with the first connecting portion, and the flow of air from the second air passage to the first air passage is blocked.
In this way, by blocking the air flow from the second air passage to the first air passage, it is possible to reliably and easily prevent the vacuum gripping device having no workpiece from sucking air.

【0029】このとき、第1連結部に球状閉塞部材密着
部が形成されている場合には、球状閉塞部材は、第1連
結部により確実に密着され、空吸いが阻止される。そし
て、ワークの離脱に際して、空吸いの真空把持装置にお
いても第1空気通路から第2空気通路へ向けて圧縮空気
が送り込まれ、密着状態が解かれる。すなわち、球状閉
塞部材が第1連結部(球状閉塞部材密着部)に密着した
状態では、空気流路が遮断されているので、次回、ワー
クが当接されてもすぐにワークを吸着することはできな
いからである。
At this time, when the spherical closing member contact portion is formed in the first connecting portion, the spherical closing member is surely brought into close contact with the first connecting portion, and idle suction is prevented. Then, when the work is detached, the compressed air is sent from the first air passage to the second air passage even in the vacuum suction device for air suction, and the close contact state is released. That is, in the state where the spherical closing member is in close contact with the first connecting portion (spherical closing member close contact portion), the air flow path is blocked, so that the next time the workpiece is abutted, it will not immediately adsorb the workpiece. Because you can't.

【0030】また、第1連結部の近傍に第2補助空気通
路が形成されている場合には、球状閉塞部材が第1連結
部(球状閉塞部材密着部)に密着した状態にあっても、
僅かに空吸いが起きており、次回、ワークが当接された
際における吸着応答性が向上される。すなわち、第2補
助空気通路を備えることにより、空気通路が完全に遮断
されることはないので、ワークをすぐに吸着することが
できるのである。なお、空気通路が完全に遮断されてい
ないので、多少空吸いが発生するものの、真空ポンプ能
力を考慮して第2補助空気通路径を決定することによ
り、空吸いに起因する吸着能力の低下は防止される。
When the second auxiliary air passage is formed near the first connecting portion, even if the spherical closing member is in close contact with the first connecting portion (spherical closing member contact portion),
A slight empty suction occurs, and the suction responsiveness when the work is brought into contact next time is improved. That is, by providing the second auxiliary air passage, the air passage is not completely blocked, so that the work can be immediately adsorbed. Since the air passage is not completely blocked, some suction may occur, but by determining the diameter of the second auxiliary air passage in consideration of the vacuum pump capacity, the suction capacity will not decrease due to the suction. To be prevented.

【0031】次に、請求項5の発明に係る真空把持装置
では、真空ポンプ等の吸引装置によってチャンバ内の空
気が吸引開始されると、チャンバに連結されている複数
の吸着ユニットによってワークの吸着が開始される。
Next, in the vacuum gripping apparatus according to the fifth aspect of the present invention, when air in the chamber is started to be sucked by a suction device such as a vacuum pump, a plurality of suction units connected to the chamber suction the work. Is started.

【0032】すなわち、チャンバ内の空気が吸引される
と、大気に開放されている第4空気通路の外部側から、
シリンダ室内部に向けて空気が流入し、シリンダ室に流
入した空気は、第3空気通路からチャンバへと抜けてい
く。なお、球状閉塞部材は、吸引開始当初、シリンダ他
端と第4空気通路とが連結されている第4連結部に係止
されている。
That is, when the air in the chamber is sucked, from the outside of the fourth air passage open to the atmosphere,
Air flows into the cylinder chamber, and the air that has flowed into the cylinder chamber escapes from the third air passage to the chamber. The spherical closing member is locked to the fourth connecting portion that connects the other end of the cylinder and the fourth air passage when the suction is started.

【0033】ここで、請求項5の発明に係る真空把持装
置では、吸着ユニットが同一面内に複数配設されること
により一つの真空把持装置として構成されているので、
ワークが当接された場合、ワークが存在する位置に対応
する各ユニットと、ワークが存在しない位置に対応する
各ユニットとでは、その作用が異なる。
Here, in the vacuum gripping apparatus according to the invention of claim 5, since a plurality of suction units are arranged in the same plane to constitute one vacuum gripping apparatus,
When the work is brought into contact with each other, the operation differs between each unit corresponding to the position where the work exists and each unit corresponding to the position where the work does not exist.

【0034】すなわち、ワークが存在する位置に対応す
る各吸着ユニットでは、ワークと第4空気通路との間に
形成されている空間内の空気が吸引され、空間内の空気
が全て吸引されると、チャンバから空間にかけての圧力
が同一の真空圧力となり、ワークは真空把持装置に吸着
される。このとき、球状閉塞部材は第4連結部に係止さ
れたままであり、第3連結部に向けて移動していない。
That is, in each suction unit corresponding to the position where the work is present, when the air in the space formed between the work and the fourth air passage is sucked and all the air in the space is sucked. , The pressure from the chamber to the space becomes the same vacuum pressure, and the work is adsorbed by the vacuum gripping device. At this time, the spherical blocking member remains locked to the fourth connecting portion and does not move toward the third connecting portion.

【0035】一方、ワークが存在しない位置に対応する
各吸着ユニットでは、第4空気通路からチャンバに向か
って流れる空気量に制限がないことから、球状閉塞部材
のチャンバ側と、第4空気通路側との間に圧力差が生
じ、球状閉塞部材は第3連結部に向かって移動する。そ
して、第3連結部に密接し、第4空気通路からチャンバ
に向かって形成されている空気流路を遮断し、空吸いを
抑止する。
On the other hand, in each adsorption unit corresponding to the position where the work does not exist, since there is no limit on the amount of air flowing from the fourth air passage toward the chamber, the chamber side of the spherical closing member and the fourth air passage side. A pressure difference is generated between the spherical blocking member and the spherical blocking member, and the spherical blocking member moves toward the third connecting portion. Then, the air flow path which is in close contact with the third connecting portion and is formed from the fourth air passage toward the chamber is blocked, and air suction is suppressed.

【0036】したがって、各吸着ユニットが1つのチャ
ンバと連結されている場合であっても、ワーク不存在位
置に対応する吸着ユニットからの空吸いにより、チャン
バ内の真空圧力度が低下することが抑止され、ワーク存
在位置に対応する吸着ユニットによるワークの吸着性能
が維持される。
Therefore, even when each suction unit is connected to one chamber, it is possible to prevent the vacuum pressure degree in the chamber from being lowered by the air suction from the suction unit corresponding to the non-working position. Thus, the suction performance of the work by the suction unit corresponding to the work existing position is maintained.

【0037】そして、吸着されたワークを離脱させる際
には、チャンバからシリンダ室内に圧縮空気を送り込
み、ワークの大気側の圧力よりも、ワークの真空把持装
置側の圧力を高くすることで、ワークを離脱させる。
When the adsorbed work is released, compressed air is sent from the chamber into the cylinder chamber so that the pressure of the work on the side of the vacuum gripping device is higher than the pressure of the work on the atmosphere side. To leave.

【0038】なお、請求項5の発明に係る真空把持装置
の詳細な作用、及び、第3連結部に球状閉塞部材密着部
が形成された場合の作用については、請求項1の発明に
係る真空把持装置における各作用と同一であるからその
説明を省略する。
Regarding the detailed operation of the vacuum gripping device according to the invention of claim 5 and the operation when the spherical closing member contact portion is formed in the third connecting portion, the vacuum according to the invention of claim 1 is obtained. Since each operation is the same as that of the gripping device, the description thereof will be omitted.

【0039】[0039]

【実施例】以下、本発明を真空把持装置に具体化したい
くつかの実施例について図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Some embodiments in which the present invention is embodied in a vacuum gripping device will be described below with reference to the drawings.

【0040】先ず、第1実施例に係る真空把持装置VD
1の構成について図1〜図3を参照して説明する。真空
把持装置VD1は、シリンダ11と、シリンダ11の上
端に連結された第1空気通路12と、シリンダ11の下
端に連結された第2空気通路13と、球状閉塞部材とし
てのボール14を備える本体10と、本体10の下面に
装着される吸着パッド20を備えている。
First, the vacuum gripping device VD according to the first embodiment.
The configuration of No. 1 will be described with reference to FIGS. The vacuum gripping device VD1 includes a cylinder 11, a first air passage 12 connected to an upper end of the cylinder 11, a second air passage 13 connected to a lower end of the cylinder 11, and a ball 14 as a spherical closing member. 10 and a suction pad 20 mounted on the lower surface of the main body 10.

【0041】シリンダ10は、本体10の中央部に配置
されており、その上端面には、第1空気通路12が連結
される第1連結部15が形成されており、その下端面に
は、第2空気通路13が連結される第2連結部16が形
成されている。
The cylinder 10 is arranged in the center of the main body 10, the upper end surface thereof is formed with a first connecting portion 15 to which the first air passage 12 is connected, and the lower end surface thereof is formed. A second connecting portion 16 is formed to which the second air passage 13 is connected.

【0042】第1空気通路12は、シリンダ11の径よ
りも小さな径を有する通路であり、シリンダ11と同一
軸心上に位置するとともに、その下端部は、第1連結部
15を介してシリンダ11と連結されている。また、そ
の上端部には、真空把持装置VD1と真空ポンプ(図示
しない)を接続する接続パイプJPが接続されている。
そして、吸着に際しては、シリンダ11内の空気が第1
空気通路12を通って真空ポンプに向かって流出し、離
脱に際しては、コンプレッサからの圧縮空気が第1空気
通路12を通ってシリンダ11内に向かって流入する。
The first air passage 12 is a passage having a diameter smaller than the diameter of the cylinder 11, is located on the same axis as the cylinder 11, and its lower end portion is connected to the cylinder through the first connecting portion 15. It is connected with 11. Further, a connection pipe JP that connects the vacuum gripping device VD1 and a vacuum pump (not shown) is connected to the upper end portion thereof.
When adsorbing, the air in the cylinder 11 is the first
The air flows out through the air passage 12 toward the vacuum pump, and at the time of separation, the compressed air from the compressor flows through the first air passage 12 into the cylinder 11.

【0043】また、第1連結部15には、ボール14が
第1連結部15に密接した際における密着性を向上させ
るために、ボール14の径に合わせたテーパ状のボール
密着部17が形成されている。
In addition, the first connecting portion 15 is formed with a tapered ball contact portion 17 having a diameter corresponding to the diameter of the ball 14 in order to improve the adhesion when the ball 14 comes into close contact with the first connecting portion 15. Has been done.

【0044】第2空気通路13は、シリンダ11径より
も小さな径を有する通路であり、シリンダ11と同一軸
心上に位置するとともに、その上端部は、第2連結部1
6を介してシリンダ11と連結されている。また、その
下端部(開口部)には、フィルター23を介して吸着パ
ッド20が装着されている。そして、吸着に際しては、
吸着パッド20の下側(真空把持装置VD1外部)の空
気が第2空気通路13を通ってシリンダ11内に向かっ
て流入し、離脱に際しては、コンプレッサ、シリンダ1
1からの圧縮空気が第2空気通路13を通って吸着パッ
ド20の下側に向かって流出する。
The second air passage 13 is a passage having a diameter smaller than that of the cylinder 11, is located on the same axis as the cylinder 11, and its upper end portion is at the upper end thereof.
It is connected to the cylinder 11 via 6. The suction pad 20 is attached to the lower end (opening) of the filter 23 through a filter 23. And when adsorbing,
Air on the lower side of the suction pad 20 (outside the vacuum gripping device VD1) flows into the cylinder 11 through the second air passage 13, and when the air is released, the compressor and the cylinder 1
The compressed air from 1 flows out toward the lower side of the adsorption pad 20 through the second air passage 13.

【0045】ここで、第2連結部16の近傍には、第1
補助空気通路18が形成されている。この第1補助空気
通路18は、吸着初期段階における吸着パッド20の下
側からシリンダ11へかけての空気流路を容易に形成す
るための通路であり、ボール14が移動する状態を待つ
ことなく空気通路が形成される。
Here, in the vicinity of the second connecting portion 16, the first
An auxiliary air passage 18 is formed. The first auxiliary air passage 18 is a passage for easily forming an air flow passage from the lower side of the suction pad 20 to the cylinder 11 in the initial stage of suction, without waiting for the ball 14 to move. An air passage is formed.

【0046】この第1補助空気通路18を図2を参照し
てさらに説明する。図2には、図1中の真空把持装置V
D1をX−X線で切断した断面が示されており、合計3
つの第1補助空気通路18が形成されている。第2空気
通路13は、ボール14下側部分によって閉塞されてい
るものの、第1補助空気通路18は、ボール14下側部
分によって閉塞されていないことが分かる。したがっ
て、第2空気通路13がボール14によって閉塞されて
いる状態にあっても、真空把持装置VD1の外部からシ
リンダ11内に空気が容易に流入することとなる。
The first auxiliary air passage 18 will be further described with reference to FIG. FIG. 2 shows the vacuum gripping device V in FIG.
A cross section taken along line XX of D1 is shown, for a total of 3
One first auxiliary air passage 18 is formed. It can be seen that the second air passage 13 is closed by the lower portion of the ball 14, but the first auxiliary air passage 18 is not closed by the lower portion of the ball 14. Therefore, even when the second air passage 13 is closed by the balls 14, air easily flows into the cylinder 11 from the outside of the vacuum gripping device VD1.

【0047】なお、この第1補助空気通路18は、第2
空気通路13とボール14との当接範囲外に形成されて
いれば機能を発揮し得るので、図3に示すように、長楕
円状の変形孔19を1つ形成するようにしても良い。
The first auxiliary air passage 18 has a second
Since the function can be exhibited if it is formed outside the contact area between the air passage 13 and the ball 14, one elliptical deformation hole 19 may be formed as shown in FIG.

【0048】ボール14はシリンダ11内に内包されて
おり、シリンダ11径よりも所定長さだけ小さな径を有
するように形成されている。そして、吸着開始前は、第
2連結部16に係止された状態で静止しており、吸着開
始後は、ワークWの存在有無によって異なる挙動を示
す。また、ボール14の径は、ボール14の材質、及び
シリンダ11の径によって決定され、径が大きすぎる場
合には、ボール14の迅速な移動が阻害され、径が小さ
すぎる場合には、ボール14が過敏に反応してしまう。
The ball 14 is contained in the cylinder 11 and is formed to have a diameter smaller than the diameter of the cylinder 11 by a predetermined length. Further, before the suction is started, it is stationary while being locked to the second connecting portion 16, and after the suction is started, different behaviors are exhibited depending on the presence or absence of the work W. The diameter of the ball 14 is determined by the material of the ball 14 and the diameter of the cylinder 11. If the diameter is too large, rapid movement of the ball 14 is hindered, and if the diameter is too small, the ball 14 is too large. Reacts hypersensitively.

【0049】吸着パッド20は、ワークWの被吸着面形
状に合致するよう軟質材料から形成されており、第2空
気通路13と接続される接続通路22と、有効吸着面積
を確保するために下側に向けてスカート状に開く吸着部
21を備えている。ここに、軟質材料としては、例え
ば、発砲ウレタン等の軟質ゴムが好適である。
The suction pad 20 is made of a soft material so as to conform to the shape of the surface of the work W to be sucked, and has a connection passage 22 connected to the second air passage 13 and a lower portion for ensuring an effective suction area. It is provided with a suction portion 21 that opens in a skirt shape toward the side. Here, as the soft material, for example, soft rubber such as foamed urethane is suitable.

【0050】フィルター23は吸着パッド20の上側面
と本体10下側面との間に介在されており、外気を吸入
するに際して、ダスト等がシリンダ11内部に混入し、
ボール14の移動を阻害したり、ボール14とボール密
着部17との密着性を阻害することを防いでいる。
The filter 23 is interposed between the upper side surface of the suction pad 20 and the lower side surface of the main body 10. When sucking the outside air, dust and the like enter the inside of the cylinder 11,
This prevents the movement of the ball 14 and the adhesion between the ball 14 and the ball contact portion 17 from being hindered.

【0051】以上の構成を備える真空把持装置VD1
は、ワークWの形状、大きさに対応して1つ、あるい
は、複数の真空把持装置VD1を1セットとして用いら
れる。すなわち、ワークWが吸着パッド20より多少大
きい程度であれば、真空把持装置VD11つでワークW
の搬送が実現されるが、ワークWが大きな表面積を有す
る場合には、複数の真空把持装置VD1によらなけれ
ば、搬送することができないからである。
Vacuum gripping device VD1 having the above structure
Corresponding to the shape and size of the work W, or one vacuum gripping device VD1 is used as one set. That is, if the work W is slightly larger than the suction pad 20, the work W can be performed with the 11 vacuum gripping devices VD.
This is because, when the work W has a large surface area, it can be carried only by using the plurality of vacuum gripping devices VD1.

【0052】続いて、第1実施例に係る真空把持装置V
D1の作用について図4及び図5を参照して説明する。
なお、説明の便宜上、吸着すべきワークWが存在する場
合の作用と、吸着すべきワークWが存在しない場合の作
用と区別して説明する。
Subsequently, the vacuum gripping device V according to the first embodiment.
The operation of D1 will be described with reference to FIGS.
For convenience of explanation, the operation when there is a work W to be sucked and the operation when there is no work W to be sucked will be described separately.

【0053】真空ポンプを起動すると、接続パイプJP
を介して第1空気通路12からシリンダ11内の空気が
吸引されはじめる。すると、大気に開放されている吸着
パッド20の吸着部21外部から、接続通路22を介し
てシリンダ11内部に向けて空気が流入し、流入した空
気が第1空気通路12へと抜ける空気流路が形成され
る。
When the vacuum pump is started, the connecting pipe JP
The air in the cylinder 11 starts to be sucked from the first air passage 12 via the. Then, air flows from the outside of the suction portion 21 of the suction pad 20 that is open to the atmosphere toward the inside of the cylinder 11 via the connection passage 22, and the inflowing air escapes to the first air passage 12. Is formed.

【0054】ここに、本体10下端面と吸着パッド20
上端面との間には、フィルター23が介在されているの
で、シリンダ11内に混入する空気中のダスト等の量が
抑制される。すなわち、シリンダ11内にダスト等が混
入し、ボール14とボール密着部17との間に介在する
場合には、両者の密着性が悪化し、空吸い時における吸
着能力が低下してしまう。また、ボール14とシリンダ
11との隙間にダストが介在する場合には、ボール14
の応答性が悪化し、最悪の場合には、ボール14がシリ
ンダ11途中において係止されてしまう。
Here, the lower end surface of the main body 10 and the suction pad 20
Since the filter 23 is interposed between the upper end surface and the upper end surface, the amount of dust and the like in the air mixed in the cylinder 11 is suppressed. That is, when dust or the like is mixed in the cylinder 11 and intervenes between the ball 14 and the ball close contact portion 17, the close contact between the two deteriorates, and the suction capacity during idle suction decreases. If dust is present in the gap between the ball 14 and the cylinder 11, the ball 14
Is deteriorated, and in the worst case, the ball 14 is locked in the middle of the cylinder 11.

【0055】したがって、フィルター23を介在させる
必要が生じるのである。なお、ボール14は、吸引開始
当初、シリンダ11他端と第2空気通路13とが連結さ
れている第2連結部16に係止されているものとする。
Therefore, it becomes necessary to interpose the filter 23. It is assumed that the ball 14 is locked to the second connecting portion 16 that connects the other end of the cylinder 11 and the second air passage 13 at the beginning of suction.

【0056】先ず、図4を参照して、吸着すべきワーク
Wが存在している場合における真空把持装置VD1の作
用について説明する。ワークWの被吸着面に吸着パッド
20の吸着部21が当接されると、ワークWの被吸着面
と吸着パッド20の吸着部21との間に小空間が形成さ
れる。そして、この小空間内の空気は、第2連結部16
近傍に形成されている第1補助空気通路18からシリン
ダ11内へ流入し、第1空気通路12を通って、真空ポ
ンプに到達する。したがって、ボール14が上方へ移動
し、第2空気通路13を開放する必要がないので、吸着
開始当初から比較的大きな吸着力が得られる。
First, with reference to FIG. 4, the operation of the vacuum gripping device VD1 when the work W to be attracted exists will be described. When the suction portion 21 of the suction pad 20 is brought into contact with the suction surface of the work W, a small space is formed between the suction surface of the work W and the suction portion 21 of the suction pad 20. Then, the air in the small space is not connected to the second connecting portion 16
It flows into the cylinder 11 from the first auxiliary air passage 18 formed in the vicinity, passes through the first air passage 12, and reaches the vacuum pump. Therefore, since the ball 14 moves upward and the second air passage 13 does not need to be opened, a relatively large suction force can be obtained from the beginning of suction.

【0057】かかる場合、真空ポンプによって吸引され
る空気は、そのほとんどがワークWと吸着パッド20の
吸着部21とによって形成されている小空間内に存在す
る空気であり、その存在量は有限である。したがって、
吸着開始当初、ボール14の第1空気通路12側と第2
空気通路13側との間に存在した空気圧格差は、吸着時
間の経過とともに解消されていく。
In this case, most of the air sucked by the vacuum pump exists in the small space formed by the work W and the suction portion 21 of the suction pad 20, and the amount thereof is finite. is there. Therefore,
At the beginning of adsorption, the balls 14 and the second air passage 12 side
The air pressure difference existing between the air passage 13 side and the air passage 13 side is eliminated as the adsorption time elapses.

【0058】すなわち、第1空気通路12から吸引され
る空気量に対応する空気量を、吸着パッド20外部(大
気側)から供給(吸引)することが不可能となり、第1
空気通路12からワークWと吸着パッド20の吸着部2
1とによって形成されている小空間にかけての圧力が同
一となるのである。
That is, it becomes impossible to supply (suction) the amount of air corresponding to the amount of air sucked from the first air passage 12 from the outside (atmosphere side) of the suction pad 20.
Workpiece W and suction section 2 of suction pad 20 from air passage 12
The pressure applied to the small space formed by 1 and 1 is the same.

【0059】この結果、第2空気通路13から第1空気
通路12にかけて形成されていた空気流路は消滅し、ボ
ール14の第1空気通路12側と第2空気通路13側と
の圧力が同一となるので、ボール14が第1連結部15
のボール密着部17に向かって移動することはなく、第
1空気通路12が閉塞されることはない。したがって、
第1空気通路12からは引き続いてシリンダ11内の空
気が吸いだされ、ワークWは負圧(真空圧力)によって
真空把持装置VD1に吸着され、把持された状態とな
る。
As a result, the air passage formed from the second air passage 13 to the first air passage 12 disappears, and the pressures of the balls 14 on the first air passage 12 side and the second air passage 13 side are the same. Therefore, the ball 14 becomes the first connecting portion 15
The ball does not move toward the ball contact portion 17, and the first air passage 12 is not blocked. Therefore,
The air in the cylinder 11 is continuously sucked out from the first air passage 12, and the work W is adsorbed by the vacuum gripping device VD1 by the negative pressure (vacuum pressure) to be gripped.

【0060】このとき、吸着パッド20の吸着部21に
よってワークWを吸着する吸着有効面積が増大されてい
るので、吸着パッド20を装着せず、第2空気通路13
の径によって吸着を実行する場合と比較して吸着能力が
向上し、より確実にワークWが吸着される。
At this time, since the adsorption effective area for adsorbing the work W is increased by the adsorption portion 21 of the adsorption pad 20, the adsorption pad 20 is not mounted and the second air passage 13 is not attached.
As compared with the case where the suction is performed depending on the diameter, the suction capacity is improved, and the work W is more reliably sucked.

【0061】こうして、吸着により把持されたワークW
は、所定の位置まで移動された後、離脱され、搬送が終
了する。ここに、ワークWを離脱させる場合には、コン
プレッサによって得られた圧縮空気を第1空気通路12
からシリンダ11内に送り込むことによってワークWの
離脱を実現する。すなわち、第2空気通路13側(吸着
部21側)においてワークWにかかる圧力を、大気側に
おいてワークWにかかる圧力よりも高くすることで、ワ
ークWを真空把持装置VD1から離脱させるのである。
Thus, the work W gripped by suction
Is moved to a predetermined position, then separated, and the conveyance is completed. Here, when the work W is released, the compressed air obtained by the compressor is supplied to the first air passage 12
The work W is detached by feeding the work W into the cylinder 11. That is, the work W is separated from the vacuum gripping device VD1 by making the pressure applied to the work W on the second air passage 13 side (adsorption part 21 side) higher than the pressure applied to the work W on the atmosphere side.

【0062】次に、図5を参照して、吸着すべきワーク
Wが存在しない場合における真空把持装置VD1の作用
について説明する。吸着パッド20にワークWが当接さ
れていない場合においても、吸着パッド20外部から流
入してきた空気は、吸着開始当初、第1補助空気通路1
8からシリンダ11を経て、第1空気通路12へと抜け
ていく。しかしながら、ワークWが当接されている場合
と異なり、吸着パッド20から流入する空気量に制限が
ないので、吸着時間が経過してもボール14のの第1空
気通路12側と第2空気通路13側との空気圧格差が解
消されることはない。
Next, the operation of the vacuum gripping device VD1 when there is no work W to be attracted will be described with reference to FIG. Even when the work W is not in contact with the suction pad 20, the air that has flowed in from the outside of the suction pad 20 does not contact the first auxiliary air passage 1 at the beginning of the suction.
8 through the cylinder 11 to the first air passage 12. However, unlike the case where the workpiece W is in contact, there is no limit to the amount of air flowing in from the suction pad 20, so that even if the suction time elapses, the first air passage 12 side of the ball 14 and the second air passage. The air pressure difference from the 13 side will not be eliminated.

【0063】すなわち、第1空気通路12から吸引され
た空気量に対応する空気量が吸着部21の外部から絶え
間なく供給されるので、第2空気通路13から第1空気
通路12にかけて形成されている空気流路が遮断される
ことはない。ここで、第1補助空気通路18の径は、第
1空気通路12の径と比較して小さいので、第1補助空
気通路18だけでは、次第に第1空気通路12から吸い
だされる空気量を処理しきれなくなり、第2空気通路1
3から直接シリンダ11内へ向かって空気が流入を開始
する。
That is, since the amount of air corresponding to the amount of air sucked from the first air passage 12 is continuously supplied from the outside of the adsorption portion 21, it is formed from the second air passage 13 to the first air passage 12. The air flow path is not blocked. Here, since the diameter of the first auxiliary air passage 18 is smaller than the diameter of the first air passage 12, only the first auxiliary air passage 18 gradually increases the amount of air sucked out from the first air passage 12. Second air passage 1
Air starts to flow from 3 directly into the cylinder 11.

【0064】この結果、ボール14は、第2空気通路1
3から直接シリンダ11内へ流入する空気の流れによっ
て第2連結部16から浮上し始め、さらに、ボール14
とシリンダ11壁との隙間に発生する空気の流れによっ
て第1空気通路12へ向かって移動を開始する。そし
て、最終的にボール14は、第1連結部15のボール密
着部17に密着し、第1空気通路12が閉塞される。
As a result, the ball 14 moves into the second air passage 1
3 starts to levitate from the second connecting portion 16 by the flow of air directly flowing into the cylinder 11, and the ball 14
The air flow generated in the gap between the cylinder 11 and the wall of the cylinder 11 starts moving toward the first air passage 12. Then, finally, the ball 14 comes into close contact with the ball contact portion 17 of the first connecting portion 15, and the first air passage 12 is closed.

【0065】したがって、吸着部21の外部から第1空
気通路12にかけて形成されていた空気流路が遮断さ
れ、吸着パッド20外部の空気が第1空気通路12から
真空ポンプに向かって流れることはなく、ワークWが存
在しない真空把持装置VD1による空吸いが確実に、か
つ、容易に抑止される。
Therefore, the air flow path formed from the outside of the adsorption portion 21 to the first air passage 12 is blocked, and the air outside the adsorption pad 20 does not flow from the first air passage 12 toward the vacuum pump. Thus, the air suction by the vacuum gripping device VD1 in which the work W does not exist is reliably and easily suppressed.

【0066】そして、複数の真空把持装置VD1を1セ
ットとして用いている場合には、ワークWを吸着してい
る他の真空把持装置VD1においてワークWを離脱する
際に、空吸いの真空把持装置VD1に対してもコンプレ
ッサによって第1空気通路12からワークWの被吸着面
に向けて圧縮空気が送り込まれる。
When a plurality of vacuum gripping devices VD1 are used as one set, when the work W is detached from the other vacuum gripping device VD1 which is sucking the work W, the vacuum gripping device for idle suction is used. Compressed air is also sent to the VD1 from the first air passage 12 toward the attracted surface of the work W by the compressor.

【0067】この結果、ボール14とボール密着部17
との密着状態が解かれ、ボール14は第2連結部16に
戻る。このような操作を行うのは、ボール14は、ボー
ル密着部17に密着した状態にあり、真空ポンプによる
吸引を停止しただけでは密着状態が解除されないことが
あるからである。このように、ボール14とボール密着
部17とが密着した状態では、第1空気通路12が閉塞
されたままであり、吸着パッド20の吸着部21から第
1空気通路12にかけての空気流路が遮断されている。
As a result, the ball 14 and the ball contact portion 17
The close contact state with is released, and the ball 14 returns to the second connecting portion 16. This operation is performed because the ball 14 is in close contact with the ball contact portion 17, and the close contact may not be released only by stopping suction by the vacuum pump. Thus, in the state where the ball 14 and the ball contact portion 17 are in close contact with each other, the first air passage 12 remains closed, and the air flow path from the suction portion 21 of the suction pad 20 to the first air passage 12 is blocked. Has been done.

【0068】したがって、次回、ワークWが当接されて
も、真空ポンプによって吸着パッド20の吸着部21と
ワークWの被吸着面とによって形成された小空間内の空
気を吸引することができず、ワークWを吸着することは
できない。そこで、ボール14を第2連結部16に戻し
ておく必要があるのである。
Therefore, even if the work W is abutted next time, the air in the small space formed by the suction portion 21 of the suction pad 20 and the suction surface of the work W cannot be sucked by the vacuum pump. , The work W cannot be adsorbed. Therefore, it is necessary to return the ball 14 to the second connecting portion 16.

【0069】次に、第2実施例に係る真空把持装置VD
2の構成について図6及び図7を参照して説明する。な
お、以下の実施例において、第1実施例に係る真空把持
装置VD1の構成と同一、または、同一の機能を有する
構成については、第1実施例において用いた符号を付し
てその説明を省略し、異なる構成を中心に説明を行う。
Next, the vacuum gripping device VD according to the second embodiment.
The configuration of No. 2 will be described with reference to FIGS. 6 and 7. In the following embodiments, the same components as those of the vacuum gripping device VD1 according to the first embodiment or the components having the same functions are denoted by the reference numerals used in the first embodiment and the description thereof is omitted. However, the description will focus on the different configuration.

【0070】第2実施例に係る真空把持装置VD2は、
第1連結部15の近傍に第2補助空気通路30を備えて
いる点において第1実施例に係る真空把持装置VD2と
異なっている。
The vacuum gripping device VD2 according to the second embodiment is
The vacuum gripping device VD2 according to the first embodiment is different in that a second auxiliary air passage 30 is provided near the first connecting portion 15.

【0071】第2補助空気通路30は、ボール密着部1
7の外側におけるシリンダ11上端面から、第1空気通
路12の下側近傍側面にかけて形成されている。そし
て、図7のY−Y線による切断断面図に示すとおり、ボ
ール14がボール密着部17に密着した状態において
も、シリンダ11内部から第1空気通路12にかけての
空気流路が確保されている。
The second auxiliary air passage 30 has the ball contact portion 1
It is formed from the upper end surface of the cylinder 11 on the outside of 7 to the lower side surface of the first air passage 12. Then, as shown in the cross-sectional view taken along the line YY in FIG. 7, an air flow passage from the inside of the cylinder 11 to the first air passage 12 is secured even when the ball 14 is in close contact with the ball contact portion 17. .

【0072】したがって、空吸いの真空把持装置VD2
において、ボール14がボール密着部17に密着した状
態であっても、ワークWを吸着することが可能となる。
続いて、第2実施例に係る真空把持装置VD2の作用に
ついて図8及び図9を参照して説明する。
Therefore, the vacuum suction device VD2 for empty suction
In the above, the work W can be attracted even when the ball 14 is in close contact with the ball contact portion 17.
Next, the operation of the vacuum gripping device VD2 according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 8 and 9.

【0073】図8には、吸着すべきワークWが存在する
場合における真空把持装置VD2の作用状態が示されて
いる。吸着すべきワークWが存在する場合には、ワーク
Wの被吸着面と吸着パッド20の吸着部21によって形
成された小空間内の空気が吸引される全空気量となるた
め、第2補助空気通路30が形成されていても、形成さ
れていなくても吸着作用に差は生じない。すなわち、ワ
ークWの被吸着面から第1空気通路12にかけての圧力
は、吸引を開始して間もなく真空圧力に達し、ボール1
4の第1空気通路12側と吸着パッド20側との間に圧
力格差が生じない。したがって、ボール14がボール密
着部17に向かって移動し、ボール密着部17と密着す
ることはなく、シリンダ11内の空気は第2補助空気通
路30よりも径の大きな第1空気通路12を直接通って
真空ポンプに吸引される。
FIG. 8 shows an operating state of the vacuum gripping device VD2 when there is a work W to be attracted. When the work W to be adsorbed exists, the air in the small space formed by the adsorbed surface of the work W and the adsorbing portion 21 of the adsorbing pad 20 becomes the total amount of air to be adsorbed, so that the second auxiliary air Whether the passage 30 is formed or not, there is no difference in the adsorption action. That is, the pressure from the attracted surface of the work W to the first air passage 12 reaches the vacuum pressure shortly after the suction is started, and the ball 1
No pressure difference occurs between the No. 4 first air passage 12 side and the suction pad 20 side. Therefore, the ball 14 moves toward the ball contact portion 17 and does not contact the ball contact portion 17, and the air in the cylinder 11 directly flows through the first air passage 12 having a larger diameter than the second auxiliary air passage 30. It is sucked through by a vacuum pump.

【0074】図9には、吸着すべきワークWが存在しな
い場合における真空把持装置VD2の作用状態が示され
ている。ワークWが存在しない場合には、シリンダ11
内に吸い込まれる空気量は無限であるから、第1実施例
における作用の説明で述べたように、ボール14の第1
空気通路12側と吸着パッド20側との間に圧力格差が
生じ、この圧力格差は時間が経過しても解消されない。
したがって、ボール14がボール密着部17に向かって
移動するとともに、ボール密着部17と密着し、第1空
気通路12が閉塞される。この結果、吸着パッド20か
ら第1空気通路12にかけての空気流路が遮断され、ワ
ークWを吸着することができない。
FIG. 9 shows an operating state of the vacuum gripping device VD2 when there is no work W to be attracted. When the work W does not exist, the cylinder 11
Since the amount of air sucked in is infinite, as described in the explanation of the operation in the first embodiment,
A pressure difference occurs between the air passage 12 side and the suction pad 20 side, and this pressure difference does not disappear even after a lapse of time.
Therefore, the ball 14 moves toward the ball contact portion 17 and contacts the ball contact portion 17, and the first air passage 12 is closed. As a result, the air flow path from the suction pad 20 to the first air passage 12 is blocked, and the work W cannot be sucked.

【0075】ところが、第2実施例に係る真空把持装置
VD2では、第1連結部15の近傍に第2補助空気通路
30が形成されている。したがって、ボール14がボー
ル密着部17に密着した状態にあっても、吸着パッド2
0から第1空気通路12にかけての空気流路が確保され
ており、次回、ワークWが当接された際における吸着応
答性が向上される。
However, in the vacuum gripping device VD2 according to the second embodiment, the second auxiliary air passage 30 is formed near the first connecting portion 15. Therefore, even if the ball 14 is in close contact with the ball contact portion 17, the suction pad 2
The air flow path from 0 to the first air passage 12 is secured, and the adsorption responsiveness when the work W is brought into contact next time is improved.

【0076】すなわち、第2補助空気通路30が形成さ
れていない真空把持装置では、圧縮空気を送り込むこと
によりボール密着部17に密着しているボール14を離
脱させて空気流路を再形成しているが、第2実施例に係
る真空把持装置VD2では、ボール14を離脱させる作
業を行うことなく、空気流路が常に確保されている。し
たがって、シリンダ11内空気の吸引、シリンダ11内
への圧縮空気の送り込みを切り換える必要がなく、常
に、ワークWが吸着されていない真空把持装置に対して
は、真空ポンプによって吸引を行っていればよいのであ
る。
That is, in the vacuum gripping device in which the second auxiliary air passage 30 is not formed, the compressed air is sent to separate the ball 14 that is in close contact with the ball contact portion 17 to re-form the air flow path. However, in the vacuum gripping device VD2 according to the second embodiment, the air flow path is always ensured without performing the work of detaching the ball 14. Therefore, it is not necessary to switch the suction of the air in the cylinder 11 and the feeding of the compressed air into the cylinder 11, and as long as the vacuum gripping device in which the work W is not sucked is always sucked by the vacuum pump. It's good.

【0077】なお、空気流路が完全に遮断されていない
ので、多少空吸いが発生するものの、その量は、第1空
気通路12が開放されている場合と比較すれば僅かであ
り、真空ポンプ能力を考慮して第2補助空気通路30の
径を決定することにより、空吸いに起因する吸着能力の
低下は防止される。
Since the air flow path is not completely blocked, some air suction occurs, but the amount thereof is small compared to the case where the first air passage 12 is opened, and the vacuum pump is used. By determining the diameter of the second auxiliary air passage 30 in consideration of the capacity, a decrease in the adsorption capacity due to air suction is prevented.

【0078】次に、第3実施例に係る真空把持装置VD
3の構成について図10〜図12を参照して説明する。
真空把持装置VD3は、本体40内部に形成された複数
の吸着ユニットVUと、各吸着ユニットVUを上方で連
結するチャンバ41と、本体40の下面に配設されたフ
ィルター42と、フィルター42の下面に配設される吸
着パッド43a、43bを備えている。
Next, the vacuum gripping device VD according to the third embodiment.
The configuration of No. 3 will be described with reference to FIGS.
The vacuum gripping device VD3 includes a plurality of adsorption units VU formed inside the main body 40, a chamber 41 that connects the adsorption units VU above, a filter 42 arranged on the lower surface of the main body 40, and a lower surface of the filter 42. Is equipped with suction pads 43a and 43b.

【0079】吸着ユニットVUは、シリンダ室44と、
第3連結部33を介してシリンダ室44の上端と連結さ
れている第3空気通路45と、第4連結部34を介して
シリンダ室44の下端と連結されている第4空気通路4
6を備えている。また、吸着ユニットVUは、第4連結
部34に形成された第3補助空気通路32と、シリンダ
室44内部において遊動可能に備えられるとともに、第
3空気通路45を閉塞するボール14を備えている。
The adsorption unit VU includes a cylinder chamber 44,
A third air passage 45 connected to the upper end of the cylinder chamber 44 via the third connecting portion 33, and a fourth air passage 4 connected to the lower end of the cylinder chamber 44 via the fourth connecting portion 34.
6 is provided. Further, the adsorption unit VU includes a third auxiliary air passage 32 formed in the fourth connecting portion 34, a ball 14 that is movably provided inside the cylinder chamber 44, and that closes the third air passage 45. .

【0080】チャンバ41は、各吸着ユニットVUの第
3空気通路45と連結されており、また、真空ポンプ及
びコンプレッサ(図示しない)と接続されている。そし
て、このチャンバ41により各吸着ユニットVUにおけ
るシリンダ室44内の空気の吸出、シリンダ室44への
空気の圧送が電磁弁(図示しない)の切替えによって交
互に行われる。
The chamber 41 is connected to the third air passage 45 of each adsorption unit VU, and is also connected to a vacuum pump and a compressor (not shown). Then, the chamber 41 alternately sucks the air in the cylinder chamber 44 in each adsorption unit VU and pressure-feeds the air to the cylinder chamber 44 by switching electromagnetic valves (not shown).

【0081】フィルター42は、ワークWの吸着に際し
て、大気中のダスト等がシリンダ室44内に混入するこ
とを防止するためのものであり、ボール14がシリンダ
室44内を移動する構成を備える本真空把持装置VD3
では、必要不可欠な構成要素である。
The filter 42 is for preventing dust and the like in the atmosphere from being mixed into the cylinder chamber 44 when the work W is adsorbed, and has a structure in which the balls 14 move in the cylinder chamber 44. Vacuum gripping device VD3
Then, it is an essential component.

【0082】吸着パッド43a、bは、第1、第2実施
例における吸着パッド20と異なり、吸着有効面積を拡
大させるためのスカート状の吸着部21が形成されてお
らず、軟質ゴム製材料からなる平板形状の吸着パッドで
ある。また、吸着パッド43には、各吸着ユニットVU
において第4空気通路46が形成されている位置に合わ
せて吸着孔47a、47bが形成されており、その孔径
は吸着対象となるワークWによって決定される。
Unlike the suction pads 20 in the first and second embodiments, the suction pads 43a, 43b are not formed with a skirt-shaped suction portion 21 for enlarging the effective suction area, and are made of a soft rubber material. Is a flat plate-shaped suction pad. In addition, each suction unit VU is attached to the suction pad 43.
In, the suction holes 47a and 47b are formed in accordance with the position where the fourth air passage 46 is formed, and the hole diameter is determined by the workpiece W to be suctioned.

【0083】例えば、図11に示すように、コップ等の
縁を有するワークW1に対しては、ワークW1の縁幅W
11よりも小さな吸着孔47aを有する吸着パッド43
aを用い、図12に示すように、表面積の大きなワーク
Wに対しては、第4空気通路46よりも大きな吸着孔4
7bを有する吸着パッド43bを用いる。
For example, as shown in FIG. 11, for a workpiece W1 having an edge such as a cup, the edge width W of the workpiece W1.
Suction pad 43 having suction holes 47a smaller than 11
As shown in FIG. 12, a suction hole 4 larger than the fourth air passage 46 is used for the work W having a large surface area.
The suction pad 43b having 7b is used.

【0084】続いて、第3実施例に係る真空把持装置V
D3の作用について図11に基づき説明する。真空ポン
プ(図示しない)が起動され吸引が開始されると、チャ
ンバ41内の空気が矢印方向へ流れ始め、各吸着ユニッ
トVUのシリンダ室44内の空気がチャンバ41内に流
入する。そして、第4空気通路46からは、外気がシリ
ンダ室44内に吸引される。
Next, the vacuum gripping device V according to the third embodiment.
The operation of D3 will be described with reference to FIG. When a vacuum pump (not shown) is activated and suction is started, the air in the chamber 41 begins to flow in the direction of the arrow, and the air in the cylinder chamber 44 of each adsorption unit VU flows into the chamber 41. Then, outside air is sucked into the cylinder chamber 44 from the fourth air passage 46.

【0085】このとき、ワーク存在位置に対応する吸着
ユニットVUでは、第1実施例で説明したように、吸入
された外気は第3補助空気通路32を通ってシリンダ室
44に流入し、第3空気通路45を通ってチャンバ41
へと抜けていく。したがって、ボール14の上下におい
て圧力格差は発生せず、ボール14がボール密着部17
に向かって移動し、ボール密着部17に密着し、第3空
気通路45を閉塞することはない。この結果、ワークW
1内の空間WSに存在する空気が真空ポンプによって吸
引され、ワークW1が吸着パッド43aに吸着把持され
る。
At this time, in the adsorption unit VU corresponding to the work existing position, the sucked outside air flows into the cylinder chamber 44 through the third auxiliary air passage 32, as described in the first embodiment, and the third Chamber 41 through air passage 45
Go out. Therefore, there is no pressure difference between the upper and lower sides of the ball 14, and the ball 14 does not come into contact with the ball contact portion 17.
It does not close the third air passage 45 by moving toward the ball contacting the ball contacting portion 17. As a result, the work W
The air existing in the space WS inside 1 is sucked by the vacuum pump, and the work W1 is suction-held by the suction pad 43a.

【0086】一方、ワーク不存在位置に対応する吸着ユ
ニットVUでは、第3補助空気通路32を通る空気量が
無制限であることから、ボール14の上下において圧力
格差が生じ、ボール14がボール密着部17に密着す
る。したがって、第3空気通路45は閉塞され、空吸い
が防止される。
On the other hand, in the suction unit VU corresponding to the non-existence position of the work, since the amount of air passing through the third auxiliary air passage 32 is unlimited, a pressure difference is generated above and below the ball 14, and the ball 14 comes into contact with the ball. Stick to 17. Therefore, the third air passage 45 is closed, and idle suction is prevented.

【0087】なお、図12に示す真空把持装置VD3に
おいては、吸着パッド43bの吸着孔47bの径が大き
く、ワークW2が空間を有していない点について異なる
に留まり、ワークW2に対する吸着作用については図1
1に示す真空把持装置VD3と同一であるからその説明
を省略する。
In the vacuum gripping device VD3 shown in FIG. 12, only the difference is that the diameter of the suction hole 47b of the suction pad 43b is large and the work W2 has no space. Figure 1
The vacuum gripping device VD3 shown in FIG.

【0088】以上、いくつかの実施例に基づき詳細に説
明した通り、上記各実施例にかかる真空把持装置VD
1、VD2、VD3は、ワークW、W1、W2の存在、
不存在にともなう吸入空気量の差異によって第1、第3
空気通路12、45の開放、または、閉塞が行われる構
成を備えている。
As described above in detail with reference to some embodiments, the vacuum gripping device VD according to each of the above embodiments.
1, VD2 and VD3 are the existence of the works W, W1 and W2,
Due to the difference in intake air amount due to the absence,
The air passages 12 and 45 are opened or closed.

【0089】したがって、外部の制御処理装置によって
空気通路の開放、または、閉塞を行う従来の真空把持装
置と異なり、各種センサ、電磁弁等を備える必要がない
ので、装置の簡素化を図ることができる。また、複雑、
煩雑な制御ロジックが要求されないので、ワークWの搬
送作業等の効率を向上させることができる。また、第1
実施例に係る真空把持装置VD1は、第2連結部16の
近傍に第2空気通路13とシリンダ11とを連通する第
1補助空気通路18を備えている。
Therefore, unlike the conventional vacuum gripping device in which the air passage is opened or closed by the external control processing device, it is not necessary to provide various sensors, solenoid valves and the like, so that the device can be simplified. it can. Also complex,
Since complicated control logic is not required, it is possible to improve the efficiency of the work W carrying work and the like. Also, the first
The vacuum gripping device VD1 according to the embodiment includes a first auxiliary air passage 18 that connects the second air passage 13 and the cylinder 11 in the vicinity of the second connecting portion 16.

【0090】したがって、吸引開始当初、吸入された外
気は第1補助空気通路18を通ってシリンダ11へ流
れ、第1空気通路12へ抜けていく空気流路が形成され
るので、ワークWの吸着レスポンスが向上するという利
点を有する。すなわち、第1補助空気通路18が形成さ
れていない場合には、吸入する空気量(流体圧力)がボ
ール14を浮上させる値に達するまで、吸着パッド20
から第1空気通路12にかけての空気流路は形成されな
いので、吸引開始からワークWの吸着開始までタイムラ
グが発生してしまう。しかしながら、第1補助空気通路
18を備えることにより、吸入空気量が少ない時期から
吸着パッド20から第1空気通路12にかけての空気流
路が形成されるので、かかるタイムラグが解消されるの
である。
Therefore, at the beginning of suction, the sucked outside air flows through the first auxiliary air passage 18 to the cylinder 11 and forms an air flow path leading to the first air passage 12, so that the work W is adsorbed. It has the advantage of improved response. That is, when the first auxiliary air passage 18 is not formed, the suction pad 20 is kept until the amount of air to be sucked in (fluid pressure) reaches a value for floating the ball 14.
Since the air flow path from the first air passage 12 to the first air passage 12 is not formed, a time lag occurs from the start of suction to the start of suction of the work W. However, since the first auxiliary air passage 18 is provided, an air flow passage is formed from the suction pad 20 to the first air passage 12 from the time when the intake air amount is small, so that the time lag is eliminated.

【0091】さらに、第2実施例に係る真空把持装置V
D2は、第1連結部15近傍に、シリンダ11と第1空
気通路12とを連通する第2補助空気通路30を備えて
いる。
Further, the vacuum gripping device V according to the second embodiment.
The D2 is provided with a second auxiliary air passage 30 that connects the cylinder 11 and the first air passage 12 in the vicinity of the first connecting portion 15.

【0092】したがって、ボール14がボール密着部1
7に密着し、第1空気通路12とシリンダ11間の空気
流路を遮断している場合であっても、次回、ワークWが
当接された際に、速やかに吸着を開始することができ
る。すなわち、第1空気通路12とシリンダ11間の空
気流路を遮断することによって、ワークWを吸着してい
ない真空把持装置における空吸いを抑止しており、かか
る状態においては、ワークWの吸着は不可能である。
Therefore, the ball 14 is placed in the ball contact portion 1
Even when the work W is in close contact and the air flow path between the first air passage 12 and the cylinder 11 is blocked, the suction can be promptly started when the work W is abutted next time. . That is, by blocking the air flow path between the first air passage 12 and the cylinder 11, the air suction in the vacuum gripping device which does not adsorb the work W is suppressed, and in such a state, the adsorption of the work W does not occur. It is impossible.

【0093】ところが、第2補助空気通路30を形成す
ることによって、第1空気通路12がボール14によっ
て閉塞されている際にも、僅かながらシリンダ11内の
空気が第1空気通路12へ流れている。この結果、一度
ボール14を第2連結部16に戻す作業を行うことな
く、直ちに次のワークWを吸着する作業を実行すること
ができる。したがって、ワークWの搬送作業等を効率的
に実施することができる。
However, by forming the second auxiliary air passage 30, even when the first air passage 12 is closed by the ball 14, the air in the cylinder 11 slightly flows into the first air passage 12. There is. As a result, the work of adsorbing the next work W can be immediately performed without performing the work of returning the ball 14 to the second connecting portion 16 once. Therefore, the work of carrying the work W or the like can be efficiently performed.

【0094】またさらに、第3実施例に係る真空把持装
置VD3は、複数の吸着ユニットVUが同一面内に配設
され、複数の吸着ユニットVUによってワークWを吸着
する構成を備えている。したがって、ワークWの種類、
形状等を問うことなく、ワークWの吸着を行うことがで
きる。
Furthermore, the vacuum gripping device VD3 according to the third embodiment has a structure in which a plurality of suction units VU are arranged in the same plane and the work W is sucked by the plurality of suction units VU. Therefore, the type of work W,
The work W can be adsorbed regardless of the shape or the like.

【0095】例えば、第1、第2実施例に係る真空把持
装置では、吸着有効面積を拡大するために吸着部21を
有する吸着パッド20を備えていたので、コップ等の縁
を有するワークW1を吸引することができなかった。す
なわち、吸着部21が大きな開口面積を有しているの
で、コップの縁等に当接されても外気が流入してしま
い、有効な吸着力が得られないのである。
For example, in the vacuum gripping apparatus according to the first and second embodiments, since the suction pad 20 having the suction portion 21 is provided in order to expand the effective suction area, the work W1 having an edge such as a cup is provided. I couldn't aspirate. That is, since the suction portion 21 has a large opening area, even if the suction portion 21 is brought into contact with the edge of the cup or the like, outside air flows in, and an effective suction force cannot be obtained.

【0096】しかしながら、第3実施例に係る真空把持
装置VD3では、開口面積の大きな吸着部21によって
吸着有効面積を拡大しなくとも、コップの開口面積が吸
着有効面積であるから、複数の吸着ユニットVUを密に
備えることによって吸着時間を短縮することができる。
また、吸着孔47a、47bの開口面積をコップ等の縁
部分面積よりも小さな面積とすることで機密性を確保し
ている。かかる場合、コップ等の縁を有するワークW1
を吸着することができる。また、ワークWが重く、大き
な被吸着面を有する場合には、吸着孔を大きくすること
によって有効な吸着力を得ることができる。
However, in the vacuum gripping device VD3 according to the third embodiment, the opening area of the cup is the effective suction area even if the effective suction area is not enlarged by the suction portion 21 having a large opening area. Adsorption time can be shortened by providing VUs densely.
Further, the airtightness is secured by making the opening areas of the suction holes 47a and 47b smaller than the edge area of the cup or the like. In such a case, the work W1 having an edge such as a cup
Can be adsorbed. Further, when the work W is heavy and has a large surface to be attracted, an effective attraction force can be obtained by enlarging the attraction hole.

【0097】以上、実施例に基づき本発明を説明した
が、本発明は上記実施例になんら限定されるものではな
く、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形改良が
可能であることは容易に推察されるものである。
The present invention has been described above based on the embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications and improvements can be made without departing from the spirit of the present invention. It is easily guessed.

【0098】例えば、本実施例では、第1、第3補助空
気通路18、32の形状として、図2、図3、図11、
または、図12に示す形状のものを用いたが、ボール1
4が第2連結部16に係止されている状態において、第
2、第4空気通路13、46とシリンダ11、シリンダ
室44を連通することができればどのような形状でもよ
い。
For example, in the present embodiment, the shapes of the first and third auxiliary air passages 18 and 32 are as shown in FIGS.
Alternatively, the ball 1 having the shape shown in FIG. 12 was used.
Any shape may be used as long as the second and fourth air passages 13 and 46 can communicate with the cylinder 11 and the cylinder chamber 44 in a state where 4 is locked to the second connecting portion 16.

【0099】また、第2補助空気通路30の形状とし
て、図7に示す形状のものを用いたが、ボール14がボ
ール密着部17に密着している際に、シリンダ11と第
1空気通路12とを空気が連通できる形状であればかか
る形状に限られない。
The shape of the second auxiliary air passage 30 is as shown in FIG. 7, but when the ball 14 is in close contact with the ball contact portion 17, the cylinder 11 and the first air passage 12 are in contact with each other. The shape is not limited to this as long as it can communicate with air.

【0100】さらに、上記各実施例における吸着パッド
20、43a、43bの形状は、図示したものに限られ
ず、吸着対象となるワークWの形状に対応させれば良い
ことである。
Further, the shape of the suction pads 20, 43a, 43b in each of the above-mentioned embodiments is not limited to that shown in the figure, and may be any shape corresponding to the shape of the work W to be suctioned.

【0101】なお、特許請求の範囲には記載していない
が、上記実施例から把握される技術的思想について、以
下にその効果とともに記述する。 (1)請求項1乃至請求項4のうちいずれかの請求項に
記載された真空把持装置において、前記吸着部材は、吸
着有効面積を拡大することによってワークの吸着を容易
ならしめることを特徴とする真空把持装置。
Although not described in the claims, the technical idea grasped from the above-mentioned embodiment will be described below together with its effect. (1) In the vacuum gripping device according to any one of claims 1 to 4, the suction member facilitates suction of a workpiece by enlarging a suction effective area. Vacuum gripping device.

【0102】吸着力は、吸着有効面積と到達真空圧によ
って決定されるのであるが、到達真空圧を向上させるの
は困難である。一方、かかる構成を備える場合には、同
一の到達真空圧において容易に吸着力を向上させること
ができる。
The suction force is determined by the suction effective area and the ultimate vacuum pressure, but it is difficult to improve the ultimate vacuum pressure. On the other hand, when such a configuration is provided, the suction force can be easily improved under the same ultimate vacuum pressure.

【0103】[0103]

【発明の効果】以上説明した通り本発明に係る真空把持
装置は、複雑な真空圧力制御機構を備えることなく、空
吸いに起因する真空圧力の低下を抑止することができ
る。
As described above, the vacuum gripping device according to the present invention can suppress a decrease in vacuum pressure due to air suction without providing a complicated vacuum pressure control mechanism.

【0104】また、請求項5に記載の構成を備える場合
には、ワークの形状に左右されることなく良好な吸着性
能を発揮することができる。
When the structure according to claim 5 is provided, good adsorption performance can be exhibited without being influenced by the shape of the work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 第1実施例に係る真空把持装置の構成を説明
するため側面を断面で示す側面図である。
FIG. 1 is a side view showing a side surface in section for explaining a configuration of a vacuum gripping device according to a first embodiment.

【図2】 第1実施例に係る真空把持装置を図1中のX
−X線で切断した平面断面図である。
FIG. 2 shows the vacuum gripping device according to the first embodiment as X in FIG.
FIG. 3 is a plan sectional view taken along line X-ray.

【図3】 異なる形状の第1補助空気通路を有する真空
把持装置における図1中のX−X線で切断した平面断面
図である。
FIG. 3 is a plan sectional view taken along line XX in FIG. 1 in a vacuum gripping device having a first auxiliary air passage having a different shape.

【図4】 第1実施例に係る真空把持装置において、吸
着パッドにワークが当接している場合における作用状態
を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing a working state when a work is in contact with a suction pad in the vacuum gripping apparatus according to the first embodiment.

【図5】 第1実施例に係る真空把持装置において、吸
着パッドにワークが当接していない場合における作用状
態を示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an operation state in the case where the work is not in contact with the suction pad in the vacuum gripping apparatus according to the first embodiment.

【図6】 第2実施例に係る真空把持装置の構成を説明
するため側面を断面で示す側面図である。
FIG. 6 is a side view showing a cross section of a side surface for explaining the configuration of the vacuum gripping apparatus according to the second embodiment.

【図7】 第2実施例に係る真空把持装置を図2中のY
−Y線で切断した平面断面図である。
FIG. 7 shows a vacuum gripping device according to a second embodiment of FIG.
It is a plane sectional view cut by the -Y line.

【図8】 第2実施例に係る真空把持装置において、吸
着パッドにワークが当接している場合における作用状態
を示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing an operation state when a work is in contact with the suction pad in the vacuum gripping apparatus according to the second embodiment.

【図9】 第2実施例に係る真空把持装置において、吸
着パッドにワークが当接していない場合における作用状
態を示す説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing an operation state in the case where the work is not in contact with the suction pad in the vacuum gripping device according to the second embodiment.

【図10】第3実施例に係る真空把持装置の全体外観構
成を説明するための全体斜視図である。
FIG. 10 is an overall perspective view for explaining an overall external configuration of a vacuum gripping device according to a third embodiment.

【図11】第3実施例に係る真空把持装置の構成を説明
するため側面を断面で示す第1の側面図である。
FIG. 11 is a first side view showing a cross section of a side surface for explaining the configuration of the vacuum gripping apparatus according to the third embodiment.

【図12】第3実施例に係る真空把持装置の構成を説明
するため側面を断面で示す第2の側面図である。
FIG. 12 is a second side view showing a side surface in section for explaining the configuration of the vacuum gripping apparatus according to the third embodiment.

【図13】従来例にかかる真空把持装置の全体構成を示
す説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram showing an overall configuration of a vacuum gripping device according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…本体、11…シリンダ、12…第1空気通路、1
3…第2空気通路、14…ボール、15…第1連結部、
16…第2連結部、17…ボール密着部、18…第1補
助空気通路、20…吸着パッド、23…フィルター、3
0…第2補助空気通路、32…第3補助空気通路、33
…第3連結部、34…第4連結部、40…本体、41…
チャンバ、VU…吸着ユニット、W、W1、W2…ワー
ク、VD1、VD2、VD3…真空把持装置、VD4…
従来例に係る真空把持装置
10 ... Main body, 11 ... Cylinder, 12 ... First air passage, 1
3 ... 2nd air passage, 14 ... Ball, 15 ... 1st connection part,
16 ... 2nd connection part, 17 ... Ball contact part, 18 ... 1st auxiliary air passage, 20 ... Adsorption pad, 23 ... Filter, 3
0 ... second auxiliary air passage, 32 ... third auxiliary air passage, 33
... Third connecting portion, 34 ... Fourth connecting portion, 40 ... Main body, 41 ...
Chamber, VU ... Adsorption unit, W, W1, W2 ... Workpiece, VD1, VD2, VD3 ... Vacuum gripping device, VD4 ...
Vacuum gripping device according to conventional example

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 シリンダと、 そのシリンダが有する径よりも小さな径を有し、前記シ
リンダの一端と第1連結部を介して連結されている第1
空気通路と、 前記シリンダ内部において遊動可能に備えられ、前記第
1空気通路を閉塞する球状閉塞部材と、 前記シリンダが有する径よりも小さな径を有し、前記シ
リンダの他端と連結され、前記球状閉塞部材にて閉塞可
能な第2空気通路と、 前記シリンダの他端と前記第2空気通路との第2連結部
に形成され、前記球状閉塞部材にて閉塞不能な第1補助
空気通路とを備えたことを特徴とする真空把持装置。
1. A cylinder, and a first diameter having a diameter smaller than that of the cylinder and connected to one end of the cylinder via a first connecting portion.
An air passage, a spherical closing member that is movably provided inside the cylinder and closes the first air passage, and has a diameter smaller than that of the cylinder, and is connected to the other end of the cylinder, A second air passage that can be closed by the spherical closing member; and a first auxiliary air passage that is formed at the second connecting portion between the other end of the cylinder and the second air passage and that cannot be closed by the spherical closing member. A vacuum gripping device comprising:
【請求項2】 請求項1に記載された真空把持装置にお
いて、 前記第1連結部には、前記第1空気通路と前記球状閉塞
部材とを密着させるための球状閉塞部材密着部が形成さ
れていることを特徴とする真空把持装置。
2. The vacuum gripping device according to claim 1, wherein a spherical closing member contact portion for contacting the first air passage and the spherical closing member is formed in the first connecting portion. Vacuum gripping device characterized in that
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載された真
空把持装置において、 前記第1連結部の近傍には、前記シリンダと前記第1空
気通路とを連通する第2補助空気通路が形成されている
ことを特徴とする真空把持装置。
3. The vacuum gripping device according to claim 1 or 2, wherein a second auxiliary air passage that connects the cylinder and the first air passage is formed near the first connecting portion. A vacuum gripping device characterized by being provided.
【請求項4】 請求項1乃至請求項3のうちいずれかの
請求項に記載された真空把持装置において、 前記第2空気通路の外部側には、ワークの吸着を容易な
らしめる吸着部材が装着されていることを特徴とする真
空把持装置。
4. The vacuum gripping device according to any one of claims 1 to 3, wherein a suction member for facilitating suction of a work is attached to the outside of the second air passage. A vacuum gripping device characterized by being provided.
【請求項5】 シリンダ室と、そのシリンダ室が有する
径よりも小さな径を有するとともに、前記シリンダ室の
一端と第3連結部を介して連結されている第3空気通路
と、前記シリンダ室内部において遊動可能に備えられ、
前記第3空気通路を閉塞する球状閉塞部材と、前記シリ
ンダ室が有する径よりも小さな径を有し、前記シリンダ
室の他端と連結され、前記球状閉塞部材にて閉塞可能な
第4空気通路と、前記シリンダ室の他端と前記第4空気
通路との第4連結部に形成され、前記球状閉塞部材にて
閉塞不能な第3補助空気通路とを備えてなる吸着ユニッ
トが同一面内に複数配設され、 その複数の吸着ユニットの各第3空気通路は、チャンバ
と連結されていることを特徴とする真空把持装置。
5. A cylinder chamber, a third air passage having a diameter smaller than that of the cylinder chamber, and connected to one end of the cylinder chamber via a third connecting portion, and the inside of the cylinder chamber. Is movably provided in
A spherical closing member that closes the third air passage, and a fourth air passage that has a diameter smaller than that of the cylinder chamber, is connected to the other end of the cylinder chamber, and can be closed by the spherical closing member. And a third auxiliary air passage which is formed at a fourth connecting portion between the other end of the cylinder chamber and the fourth air passage and cannot be closed by the spherical closing member, in the same plane. A vacuum gripping device, wherein a plurality of the suction units are arranged and each third air passage of the plurality of suction units is connected to a chamber.
【請求項6】 請求項5に記載された真空把持装置にお
いて、 前記第3連結部には、前記第3空気通路と前記球状閉塞
部材とを密着させるための球状閉塞部材密着部が形成さ
れていることを特徴とする真空把持装置。
6. The vacuum gripping device according to claim 5, wherein the third connecting portion is formed with a spherical closing member contact portion for closely contacting the third air passage and the spherical closing member. Vacuum gripping device characterized in that
【請求項7】 請求項5または請求項6に記載された真
空把持装置において、 前記各第4空気通路の外部側には、ワークの吸着を容易
ならしめる吸着部材が装着されていることを特徴とする
真空把持装置。
7. The vacuum gripping device according to claim 5 or 6, wherein a suction member for facilitating suction of the work is attached to the outside of each of the fourth air passages. Vacuum gripping device.
JP22200794A 1994-09-16 1994-09-16 Vacuum gripping device Pending JPH0885086A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22200794A JPH0885086A (en) 1994-09-16 1994-09-16 Vacuum gripping device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22200794A JPH0885086A (en) 1994-09-16 1994-09-16 Vacuum gripping device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0885086A true JPH0885086A (en) 1996-04-02

Family

ID=16775648

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22200794A Pending JPH0885086A (en) 1994-09-16 1994-09-16 Vacuum gripping device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0885086A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11198080A (en) * 1997-10-28 1999-07-27 Taiyo Kogyo Kk Suction holding unit, suction holding block and suction holding mechanism
JP2002137183A (en) * 2000-10-31 2002-05-14 Maeda Kiko Kk Suction pad
JP2010177509A (en) * 2009-01-30 2010-08-12 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd Mounting head and suction nozzle of electronic parts, electronic parts mounting apparatus, and air filter insertion jig
JP2013066988A (en) * 2011-09-26 2013-04-18 New Japan Radio Co Ltd Semiconductor element transport head

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58155549A (en) * 1983-01-05 1983-09-16 Hitachi Ltd Information recording disc
JPS61139585A (en) * 1984-12-13 1986-06-26 Nippon Kokan Kk <Nkk> Container loading device in multi-puporse ship
JPH02116488A (en) * 1988-10-21 1990-05-01 Tokin Corp Suction head and work suction device
JPH0335990A (en) * 1989-06-30 1991-02-15 Amano Corp Vacuum suction device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58155549A (en) * 1983-01-05 1983-09-16 Hitachi Ltd Information recording disc
JPS61139585A (en) * 1984-12-13 1986-06-26 Nippon Kokan Kk <Nkk> Container loading device in multi-puporse ship
JPH02116488A (en) * 1988-10-21 1990-05-01 Tokin Corp Suction head and work suction device
JPH0335990A (en) * 1989-06-30 1991-02-15 Amano Corp Vacuum suction device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11198080A (en) * 1997-10-28 1999-07-27 Taiyo Kogyo Kk Suction holding unit, suction holding block and suction holding mechanism
JP2002137183A (en) * 2000-10-31 2002-05-14 Maeda Kiko Kk Suction pad
JP2010177509A (en) * 2009-01-30 2010-08-12 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd Mounting head and suction nozzle of electronic parts, electronic parts mounting apparatus, and air filter insertion jig
JP2013066988A (en) * 2011-09-26 2013-04-18 New Japan Radio Co Ltd Semiconductor element transport head

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8267367B2 (en) Vacuum pad device
JP4132897B2 (en) Vacuum generator
JP2543652B2 (en) Parts suction fixing device
JP4569343B2 (en) IC carrier and contactor
JPH0885086A (en) Vacuum gripping device
JPH0549554A (en) Wall surface-washing apparatus with evacuating-cup
JP2007090469A (en) Part conveying apparatus and part conveying method
CN107035732B (en) Vacuum generator device
JP2005191465A (en) Part transfer equipment
JPH05299492A (en) Wafer positioning apparatus
JP2002137183A (en) Suction pad
JP2008055517A (en) Conveyance pickup device
JP2015130956A (en) Cleaner and cleaning method
JP2003094368A (en) Vacuum suction hand
JPH11330789A (en) Electronic part mounting equipment
JP2003158166A (en) Semiconductor manufacturing apparatus
KR100420983B1 (en) Hand of robot for transferring wafer
JPH0710315A (en) Vacuum suction transferring device for workpiece
JP3248930B2 (en) Steel ball movable suction stage
CN216736444U (en) Suction nozzle structure
JP2008173746A (en) Handler unit
JP3991145B2 (en) Adsorption device
JPH1017165A (en) Vacuum suction cup
JP7253727B2 (en) Working head and manufacturing equipment
JP5242357B2 (en) Suction head, spherical body mounting apparatus, and spherical body suction method