JP2008173746A - Handler unit - Google Patents

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Shinichiro Kawamura
信一郎 河村
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To materialize a handler unit capable of preventing contamination. <P>SOLUTION: In the handler unit having a pickup for conveying devices from one pocket to the other pocket by adsorbing the device at its one end, and an air passage which is arranged on the pickup and has an opening at the end and applies negative pressure at the other end, the handler unit comprises a pressurized air applying means which is connected with the other end of the air passage and applies the pressurized air to the air passage at a designated time, and a foreign matters collection means oppositely arranged by moving the end of the pickup at the time of motions of the pressurized air applying means, into which the pressurized air applied to the air passage and foreign matters flows. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ハンドラー装置におけるコンタミネーション防止に関するものである。   The present invention relates to contamination prevention in a handler device.

ハンドラ装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。   Prior art documents related to the handler device include the following.

特開2005−337767号公報JP 2005-337767 A

図2は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、図3は図2の要部詳細説明図である。
図2に示す如く、ハンドラー装置の基本動作のひとつは、ある位置に設置されたポケット1A内に入っているICデバイス2を取り出し、別の位置に設置されてあるポケット1Bの中に移動させることである。
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a conventional example that is generally used, and FIG. 3 is a detailed diagram illustrating the main part of FIG.
As shown in FIG. 2, one of the basic operations of the handler device is to take out an IC device 2 contained in a pocket 1A installed at a certain position and move it into a pocket 1B installed at another position. It is.

デバイス2の保持には、図3に示すようにデバイス2の上面に吸盤状の吸着パッド31を押し当て、吸着パッド31が取り付けられているピックアップ本体32の内部を貫いて形成されている空気流路4を介して真空系5で発生した負圧で吸い上げる方法が多く用いられている。   For holding the device 2, as shown in FIG. 3, a suction cup-like suction pad 31 is pressed against the upper surface of the device 2, and the air flow formed through the inside of the pickup body 32 to which the suction pad 31 is attached is formed. A method of sucking up with the negative pressure generated in the vacuum system 5 through the path 4 is often used.

このような装置においては、以下の間題点がある。
この際、デバイスの表面から離れたゴミ6も負圧で吸い上げられ、空気流路4に進入する。進入したゴミ6はピックアップ3内の空気流路4に留まっている場合や、真空系5にまで進む場合もある。このため、空気流路4や真空系5の詰まりの原因となる不都合があった。
Such an apparatus has the following problems.
At this time, the dust 6 away from the surface of the device is also sucked up by the negative pressure and enters the air flow path 4. The dust 6 that has entered may remain in the air flow path 4 in the pickup 3 or may travel to the vacuum system 5. For this reason, there is a disadvantage that causes the air flow path 4 and the vacuum system 5 to be clogged.

更に、空気流路4を大気圧に戻すことで、デバイス2を移送先のポケット位置で離すことができるが、この際、進入したゴミ6がある時間を経過してから、再びデバイス2上に落ちてくることがあり、このゴミ6が移送先のポケットに入り、デバイス2がポケットに正しく入らない不具合が生じたり、また、微細な電気的接触を必要とするデバイスソケット部7に混入すると、接触不良の原因となる欠点があった。   Further, by returning the air flow path 4 to the atmospheric pressure, the device 2 can be separated at the pocket position of the transfer destination. If the dust 6 enters the pocket of the transfer destination and the device 2 does not enter the pocket correctly, or if it enters the device socket portion 7 that requires fine electrical contact, There were drawbacks that caused poor contact.

本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、コンタミネーション防止が図れるハンドラー装置を提供することにある。
更に、詳述すれば、デバイス表面から吸着された異物で真空経路の詰まりが生じる欠点を改善し、異物が移送先のポケットに入り、デバイスの乗り上げを起こす欠点を改善し、異物がICソケットまで運ばれ、接触不良を起こす欠点を改善出来るハンドラー装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-described problems and to provide a handler device that can prevent contamination.
More specifically, the defect that the vacuum path is clogged with foreign matter adsorbed from the surface of the device is improved, the defect that the foreign matter enters the transfer destination pocket and causes the device to climb, and the foreign matter reaches the IC socket. It is an object of the present invention to provide a handler device that can be carried and can improve the defect that causes poor contact.

このような課題を達成するために、本発明では、請求項1のハンドラー装置においては、
ポケットから他のポケットにデバイスを一端に吸着して搬送するピックアップと、このピックアップに設けられこのピックアップの前記一端に一端が開口し他端に負圧が印加される空気流路とを具備するハンドラー装置において、前記空気流路の前記他端に連通され所定時に前記空気流路に圧力空気を印加する圧力空気印加手段と、前記圧力空気印加手段の動作時に前記ピックアップの前記一端が移動して対向配置され前記空気流路に加えられた前記圧力空気と異物とが流入される異物収集手段とを具備したことを特徴とする。
In order to achieve such a problem, according to the present invention, in the handler device of claim 1,
A handler comprising a pickup that sucks and conveys a device from one pocket to another pocket, and an air channel that is provided in the pickup and that has one end opened at the one end of the pickup and negative pressure applied to the other end. In the apparatus, a pressure air applying means that communicates with the other end of the air flow path and applies pressure air to the air flow path at a predetermined time, and the one end of the pickup moves and opposes when the pressure air applying means is operated. It is characterized by comprising foreign matter collecting means that is disposed and into which the pressurized air applied to the air flow path and foreign matter are introduced.

本発明の請求項2のハンドラー装置においては、請求項1記載のハンドラー装置において、
前記圧力空気印加手段は、エアコンプレッサが使用されたことを特徴とする。
In the handler device according to claim 2 of the present invention, in the handler device according to claim 1,
The compressed air application means is an air compressor.

本発明の請求項3のハンドラー装置においては、請求項1記載のハンドラー装置において、
前記圧力空気印加手段は、空気ボンベが使用されたことを特徴とする。
In the handler device according to claim 3 of the present invention, in the handler device according to claim 1,
The pressurized air applying means uses an air cylinder.

本発明の請求項4のハンドラー装置においては、請求項1乃至請求項3の何れかに記載のハンドラー装置において、
前記異物収集手段は、異物流入ノズルが使用されたことを特徴とする。
In the handler device according to claim 4 of the present invention, in the handler device according to any one of claims 1 to 3,
The foreign matter collecting means uses a foreign matter inflow nozzle.

本発明の請求項5のハンドラー装置においては、請求項1乃至請求項4の何れかに記載のハンドラー装置において、
前記異物収集手段に負圧を印加する負圧空気印加手段を具備したことを特徴とする。
In the handler device according to claim 5 of the present invention, in the handler device according to any one of claims 1 to 4,
A negative-pressure air applying unit that applies a negative pressure to the foreign matter collecting unit is provided.

本発明の請求項6のハンドラー装置においては、請求項5記載のハンドラー装置において、
前記負圧空気印加手段は、真空ポンプが使用されたことを特徴とする。
In the handler device according to claim 6 of the present invention, in the handler device according to claim 5,
The negative pressure air application means uses a vacuum pump.

本発明の請求項1によれば、次のような効果がある。
デバイスの表面から離れたゴミがピックアップの負圧で吸い上げられ、空気流路に進入し、ピックアップ内の空気流路に留まっていても、強制的に排出できるので空気流路の詰まりを起こさないハンドラー装置が得られる。
According to claim 1 of the present invention, there are the following effects.
Handlers that do not cause clogging of the air flow path because dust away from the device surface is sucked up by the negative pressure of the pickup, enters the air flow path, and can be forcibly discharged even if it stays in the air flow path in the pickup A device is obtained.

また、圧力空気印加手段を真空系の直前で切り替える構成にすることで、異物が真空系の入口にまで進んでも、異物を強制的に排出できるので真空経路の詰まりを起こさないハンドラー装置が得られる。   In addition, by adopting a configuration in which the pressure air application means is switched immediately before the vacuum system, even if the foreign material reaches the inlet of the vacuum system, the foreign material can be forcibly discharged, so that a handler device that does not cause clogging of the vacuum path can be obtained. .

更に、異物吸い込み用ノズルの中に異物を強制的に排出するので、異物がある時間を経過してから、再びデバイス上に落ちてくることはなく、従って従来問題であった異物が移送先のポケットに入り、デバイスがポケットに正しく入らない不具合や、微細な電気的接触を必要とするデバイスソケット部に混入し、接触不良の原因となる欠点が解消されるハンドラー装置が得られる。   Furthermore, since the foreign matter is forcibly discharged into the foreign matter suction nozzle, the foreign matter will not fall on the device again after a certain amount of time has passed, so the foreign matter that has been a problem in the past is not transferred to the destination. It is possible to obtain a handler device that can enter a pocket and eliminate a defect that causes a device to not enter the pocket correctly or a device socket portion that requires fine electrical contact to cause contact failure.

圧力空気印加手段の動作時に、ピックアップの一方端が対向して配置され、空気流路に加えられた圧力空気が導入される異物吸い込みノズルが設けられたので、異物の回収が確実に出来るハンドラー装置が得られる。   A handler device that reliably collects foreign matter is provided because one end of the pickup is arranged opposite to each other during operation of the pressure air application means, and a foreign matter suction nozzle is provided to introduce the pressurized air applied to the air flow path. Is obtained.

本発明の請求項2によれば、次のような効果がある。
圧力空気印加手段は、エアコンプレッサが使用されたので、強力確実な圧力空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
According to claim 2 of the present invention, there are the following effects.
Since the air compressor is used as the pressure air application means, a handler device capable of applying strong and reliable pressure air can be obtained.

本発明の請求項3によれば、次のような効果がある。
圧力空気印加手段は、空気ボンベが使用されたので、簡易な圧力空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
According to claim 3 of the present invention, there are the following effects.
Since an air cylinder is used as the pressure air application means, a handler device capable of simple pressure air application is obtained.

本発明の請求項4によれば、次のような効果がある。
異物収集手段は、異物流入ノズルが使用されたので、簡易な異物収集が出来るハンドラー装置が得られる。
According to claim 4 of the present invention, there are the following effects.
Since the foreign matter inflow nozzle is used as the foreign matter collecting means, a handler device that can easily collect foreign matter is obtained.

本発明の請求項5によれば、次のような効果がある。
異物収集手段に負圧を印加する負圧空気印加手段が使用されたので、強力確実な異物収集が出来るハンドラー装置が得られる。
According to claim 5 of the present invention, there are the following effects.
Since the negative pressure air applying means for applying a negative pressure to the foreign matter collecting means is used, a handler device capable of collecting the strong and reliable foreign matter can be obtained.

本発明の請求項6によれば、次のような効果がある。
負圧空気印加手段は、真空ポンプが使用されたので、更に、強力確実な負圧空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
According to claim 6 of the present invention, there are the following effects.
Since the vacuum pump is used as the negative pressure air application means, a handler device capable of applying a strong and reliable negative pressure air can be obtained.

以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図3と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図3との相違部分のみ説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view of the main part configuration of an embodiment of the present invention.
In the figure, configurations with the same symbols as in FIG. 3 represent the same functions.
Only the difference from FIG. 3 will be described below.

図1において、圧力空気印加手段11は、空気流路4の他端に連通され、所定時(後述の動作説明の箇所で説明する。)に空気流路4に圧力空気を加える。
具体的には、圧力空気印加手段11は、例えば、エアコンプレッサあるいは空気ボンベが使用されている。
In FIG. 1, the pressurized air applying means 11 is communicated with the other end of the air flow path 4 and applies pressurized air to the air flow path 4 at a predetermined time (described in the explanation of the operation described later).
Specifically, for example, an air compressor or an air cylinder is used as the pressure air application unit 11.

異物吸い込みノズル12は、圧力空気印加手段11の動作時に、ピックアップ3の一方端が対向して配置され、空気流路4に加えられた圧力空気が導入される。
この場合は、異物吸い込みノズル12は、ポケット1Aとポケット1Bとの間に設けられている。
負圧空気印加手段13は、異物吸い込みノズル12に負圧を印加する。
具体的には、負圧空気印加手段13は、例えば、真空ポンプが使用されている。
The foreign substance suction nozzle 12 is disposed so that one end of the pickup 3 is opposed to the pressure air application unit 11 and the pressurized air applied to the air flow path 4 is introduced.
In this case, the foreign substance suction nozzle 12 is provided between the pocket 1A and the pocket 1B.
The negative pressure air application means 13 applies a negative pressure to the foreign substance suction nozzle 12.
Specifically, for example, a vacuum pump is used as the negative pressure air application unit 13.

以上の構成において、デバイス2を吸着する前後の時点で、異物吸い込みノズル12の上方に、ピックアップ3を移動させ、ピックアップ3の空気流路4に、圧力空気印加手段11を動作させて圧力空気を加え、異物を強制的に異物吸い込みノズル12に吐き出させる。
排出された異物は、異物吸い込みノズル12に接続された負圧空気印加手段13の負圧によって吸引される。
In the above configuration, before and after the device 2 is adsorbed, the pickup 3 is moved above the foreign substance suction nozzle 12, and the pressure air application means 11 is operated in the air flow path 4 of the pickup 3 to generate the pressure air. In addition, the foreign matter is forcibly discharged to the foreign matter suction nozzle 12.
The discharged foreign matter is sucked by the negative pressure of the negative pressure air application means 13 connected to the foreign matter suction nozzle 12.

この結果、デバイス2の表面から離れたゴミ6がピックアップ3の負圧で吸い上げられ、空気流路4に進入し、ピックアップ3内の空気流路4に留まっていても、圧力空気印加手段11により強制的に排出できるので、空気流路4の詰まりを起こさないハンドラー装置が得られる。   As a result, even if the dust 6 away from the surface of the device 2 is sucked up by the negative pressure of the pickup 3 and enters the air flow path 4 and stays in the air flow path 4 in the pickup 3, the pressure air applying means 11 Since it can be forcibly discharged, a handler device that does not cause clogging of the air flow path 4 is obtained.

また、圧力空気印加手段11を真空系5の直前で切り替える構成にすることで、異物が真空系5の入口にまで進んでも、異物を強制的に排出できるので真空経路の詰まりを起こさないハンドラー装置が得られる。   In addition, by adopting a configuration in which the pressure air application means 11 is switched immediately before the vacuum system 5, even if the foreign material advances to the inlet of the vacuum system 5, the foreign material can be forcibly discharged, so that the handler does not cause clogging of the vacuum path. Is obtained.

更に、異物吸い込みノズル12の中に異物を強制的に排出するので、異物がある時間を経過してから、再びデバイス2上に落ちてくることはなく、従って従来問題であった異物が移送先のポケット1に入り、デバイス2がポケット1に正しく入らない不具合や、微細な電気的接触を必要とするデバイスソケット部に混入し、接触不良の原因となる欠点が解消されるハンドラー装置が得られる。   Further, since the foreign matter is forcibly discharged into the foreign matter suction nozzle 12, the foreign matter does not fall on the device 2 again after a certain amount of time has passed. A handler device is obtained that eliminates the disadvantage that the device 2 enters the pocket 1 and the device 2 does not enter the pocket 1 correctly or is mixed into the device socket portion that requires fine electrical contact, causing the contact failure. .

圧力空気印加手段11の動作時に、ピックアップ3の一方端が対向して配置され、空気流路4に加えられた圧力空気が導入される異物吸い込みノズル12が設けられたので、異物の回収が確実に出来るハンドラー装置が得られる。   During operation of the pressure air application means 11, the pickup 3 is disposed so that one end thereof is opposed and the foreign substance suction nozzle 12 into which the pressurized air applied to the air flow path 4 is introduced, so that the collection of the foreign substance is ensured. Can be obtained.

圧力空気印加手段11は、エアコンプレッサが使用されたので、強力確実な圧力空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。   Since the air compressor is used as the pressure air application means 11, a handler device capable of applying strong and reliable pressure air can be obtained.

圧力空気印加手段11は、空気ボンベが使用されたので、簡易な圧力空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。   Since the air cylinder is used as the pressure air application means 11, a handler device capable of simple pressure air application is obtained.

異物収集手段12は、異物流入ノズルが使用されたので、簡易な異物収集が出来るハンドラー装置が得られる。   Since the foreign matter inflow nozzle is used as the foreign matter collecting means 12, a handler device that can easily collect foreign matter is obtained.

異物収集手段12に負圧を印加する負圧空気印加手段13が使用されたので、強力確実な異物収集が出来るハンドラー装置が得られる。   Since the negative pressure air applying means 13 for applying a negative pressure to the foreign substance collecting means 12 is used, a handler device capable of collecting powerful and reliable foreign substances can be obtained.

負圧空気印加手段13は、真空ポンプが使用されたので、更に、強力確実な負圧空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。   Since the vacuum pump is used as the negative pressure air application means 13, a handler device capable of applying a strong and reliable negative pressure air can be obtained.

なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
The above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.

本発明の一実施例の要部構成説明図である。It is principal part structure explanatory drawing of one Example of this invention. 従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。It is principal part structure explanatory drawing of the prior art example generally used conventionally. 図2の要部詳細説明図である。It is principal part detailed explanatory drawing of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1A ポケット
1B ポケット
2 ICデバイス
3 ピックアップ
31 吸着パッド
32 ピックアップ本体
4 空気流路
5 真空系
11 圧力空気印加手段
12 異物吸い込みノズル
13 負圧空気印加手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A Pocket 1B Pocket 2 IC device 3 Pickup 31 Suction pad 32 Pickup body 4 Air flow path 5 Vacuum system 11 Pressure air application means 12 Foreign matter suction nozzle 13 Negative pressure air application means

Claims (6)

ポケットから他のポケットにデバイスを一端に吸着して搬送するピックアップと、このピックアップに設けられこのピックアップの前記一端に一端が開口し他端に負圧が印加される空気流路とを具備するハンドラー装置において、
前記空気流路の前記他端に連通され所定時に前記空気流路に圧力空気を印加する圧力空気印加手段と、
前記圧力空気印加手段の動作時に前記ピックアップの前記一端が移動して対向配置され前記空気流路に加えられた前記圧力空気と異物とが流入される異物収集手段と
を具備したことを特徴とするハンドラー装置。
A handler comprising a pickup that sucks and conveys a device from one pocket to another pocket, and an air flow path that is provided in the pickup and that has one end opened at the one end of the pickup and negative pressure applied to the other end. In the device
Pressure air application means communicating with the other end of the air flow path and applying pressure air to the air flow path at a predetermined time;
The one end of the pickup is moved to be opposed to the pressure air application means during operation, and the foreign substance collecting means is provided to allow the pressure air applied to the air flow path and foreign substances to flow in. Handler device.
前記圧力空気印加手段は、エアコンプレッサが使用されたこと
を特徴とする請求項1記載のハンドラー装置。
The handler device according to claim 1, wherein an air compressor is used as the pressurized air application unit.
前記圧力空気印加手段は、空気ボンベが使用されたこと
を特徴とする請求項1記載のハンドラー装置。
The handler apparatus according to claim 1, wherein an air cylinder is used as the pressurized air application unit.
前記異物収集手段は、異物流入ノズルが使用されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のハンドラー装置。
The handler device according to any one of claims 1 to 3, wherein a foreign matter inflow nozzle is used as the foreign matter collecting means.
前記異物収集手段に負圧を印加する負圧空気印加手段
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載のハンドラー装置。
The handler device according to any one of claims 1 to 4, further comprising: a negative pressure air applying unit that applies a negative pressure to the foreign substance collecting unit.
前記負圧空気印加手段は、真空ポンプが使用されたこと
を特徴とする請求項5記載のハンドラー装置。
The handler apparatus according to claim 5, wherein a vacuum pump is used as the negative pressure air application means.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013105970A (en) * 2011-11-16 2013-05-30 Panasonic Corp Maintenance method of component mounting apparatus
JP2017198466A (en) * 2016-04-25 2017-11-02 三菱電機株式会社 Method for manufacturing measuring apparatus and semiconductor device

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