JPH0883656A - Socket for measuring ball grid array semiconductor - Google Patents

Socket for measuring ball grid array semiconductor

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JPH0883656A
JPH0883656A JP6215810A JP21581094A JPH0883656A JP H0883656 A JPH0883656 A JP H0883656A JP 6215810 A JP6215810 A JP 6215810A JP 21581094 A JP21581094 A JP 21581094A JP H0883656 A JPH0883656 A JP H0883656A
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JP
Japan
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contact
socket
bga package
branch
grid array
Prior art date
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Application number
JP6215810A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Matsumura
茂 松村
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Filing date
Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0483Sockets for un-leaded IC's having matrix type contact fields, e.g. BGA or PGA devices; Sockets for unpackaged, naked chips

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  • Computer Hardware Design (AREA)
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

PURPOSE: To improve contact reliability by punching a specific sheet metal having a spring function to a tuning fork shape for use as a contact pin having two-point contact with a solder ball. CONSTITUTION: A branch contact pin 36 is formed out of a sheet metal having a spring function such as beryllium bronze and phosphor bronze punched into a tuning fork shape. Also, the end of an elastic branch section has the housing 31 of a BGA package measurement socket 30 made by machining a plate material, where in contact with the solder ball of a BGA package 10. In addition, receiving holes reaching from the upper surface of a housing 31 to the lower surface thereof are drilled and arrayed, so as to correspond to balls 12 arranged and positioned in a matrix on the lower surface of the package 10 laid on the surface 32. According to this construction, the branch contact pins 30 of the socket 30 for measuring a ball grid array BGA semiconductor comes to have the elastic branch section in two-point contact with the solder balls, thereby improving contact reliability.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、ボール・グリッド・
アレイ半導体(Ball Grid Arrey I
C、BGAパッケージ)測定用ソケットに関し、特に、
ICテスタに適用されてBGAパッケージの端子或は電
極であるハンダボールとICテスタ側とを電気的に接続
するBGAパッケージ測定用ソケットに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION This invention relates to a ball grid grid
Array semiconductor (Ball Grid Array I)
C, BGA package) Measuring socket, especially
The present invention relates to a BGA package measuring socket which is applied to an IC tester and electrically connects a solder ball, which is a terminal or an electrode of a BGA package, to the IC tester side.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICが高密度化されると、IC内部回路
を外部に引き出すリードは多数必要とされることとなる
ので、これら多数のリードをICのハウジングに対して
直線状に配列しようとしても収容しきれなくなる。ここ
で、図5を参照するに、上述の様な理由から、端子或は
電極として動作するハンダより成るボール12をICパ
ッケージ10のIC実装基板13の底面にマトリックス
状に2次元的に配列し、基板13に対して表面実装をす
るものが実用化され始めている。端子或は電極として動
作するこの様なハンダボール12を具備するICパッケ
ージはBGAパッケージと称されている。BGAパッケ
ージ10の内部回路は11により示されるモールドによ
り封止され、基板3に形成されるプリント配線を介して
ハンダボール12に電気接続している。
2. Description of the Related Art When the density of an IC is increased, a large number of leads for drawing the internal circuit of the IC to the outside are required. Can no longer be accommodated. Here, referring to FIG. 5, for the reasons described above, the balls 12 made of solder that act as terminals or electrodes are two-dimensionally arranged in a matrix on the bottom surface of the IC mounting substrate 13 of the IC package 10. Those that are surface-mounted on the substrate 13 are being put to practical use. An IC package including such a solder ball 12 that operates as a terminal or an electrode is called a BGA package. The internal circuit of the BGA package 10 is sealed by a mold indicated by 11, and is electrically connected to the solder ball 12 via a printed wiring formed on the substrate 3.

【0003】ここで、上述の通りのBGAパッケージ1
0をICテスタにより試験するに際して、BGAパッケ
ージ10の端子或は電極であるハンダボール12とIC
テスタ側とは電気的に接続されなければならないが、こ
の接続はBGAパッケージ10とICテスタとの間に介
在されるBGAパッケージ測定用ソケットにより行なわ
れる。
Here, the BGA package 1 as described above
0 is tested by an IC tester, the solder balls 12 which are terminals or electrodes of the BGA package 10 and the IC
Although it must be electrically connected to the tester side, this connection is made by a BGA package measuring socket interposed between the BGA package 10 and the IC tester.

【0004】図6(a)を参照するに、ここにはBGA
パッケージ測定用ソケットの従来例が示されている。即
ち、10はBGAパッケージ、20はICテスタ側の一
部を構成するプリント基板であり、これらは30により
示されるBGAパッケージ測定用ソケットを介して電気
的に相互接続される。プリント基板20には開孔21が
穿設されている。開孔21は、BGAパッケージ10下
面にマトリックス状に配列設置されるハンダボール12
に対応して同様に多数配列穿設される。30はBGAパ
ッケージ測定用ソケット全体を示す。31はBGAパッ
ケージ測定用ソケット30のハウジングであり、絶縁材
料より成る板状体を加工することにより構成される。ハ
ウジング31の上面にはBGAパッケージが試験に際し
て装着される装着凹部32が形成される。33は装着凹
部32からハウジング31下面近傍に達する収容孔であ
る。収容孔33は装着凹部32に装着されるBGAパッ
ケージ10下面にマトリックス状に配列設置されるハン
ダボール12に対応して同様に配列穿設されている。3
4は収容孔33に配置されるコンタクトピンである。図
6(b)はコンタクトピン34の斜視図である。コンタ
クトピン34はベリリウム銅、リン青銅の如きバネ性を
有する板金を原材料としてこれから細長片を形成し、プ
レス加工により図6(a)において断面により示される
如くに屈曲変形せしめられる。そして、341 はBGA
パッケージのハンダボール12に接触する接触部、34
2 はコンタクトピン34に上下方向にバネ性を付与する
湾曲部、343 はICテスタ側の一部を構成するプリン
ト基板20に穿設される開孔21に嵌合する端子部であ
る。コンタクトピン34はその端子部343 の上部をハ
ウジング31下部に一体成形することによりハウジング
31に固定される。コンタクトピン34の接触部341
には、図6(b)に示される如く、円形孔が穿設されて
いる。
Referring to FIG. 6 (a), here, a BGA is used.
A conventional example of a package measuring socket is shown. That is, 10 is a BGA package, and 20 is a printed circuit board that constitutes a part of the IC tester side, and these are electrically interconnected via a BGA package measuring socket indicated by 30. The printed board 20 is provided with an opening 21. The openings 21 are provided on the bottom surface of the BGA package 10 and arranged in a matrix in the solder balls 12.
Correspondingly, a large number of arrays are similarly drilled. Reference numeral 30 denotes the entire BGA package measuring socket. Reference numeral 31 denotes a housing of the BGA package measuring socket 30, which is formed by processing a plate-shaped body made of an insulating material. A mounting recess 32 is formed on the upper surface of the housing 31 for mounting the BGA package during a test. Reference numeral 33 is a housing hole that extends from the mounting recess 32 to near the lower surface of the housing 31. The accommodating holes 33 are similarly arranged and drilled corresponding to the solder balls 12 arranged and arranged in a matrix on the lower surface of the BGA package 10 to be mounted in the mounting recess 32. Three
Reference numeral 4 is a contact pin arranged in the accommodation hole 33. FIG. 6B is a perspective view of the contact pin 34. The contact pin 34 is formed of a sheet metal having a spring property such as beryllium copper or phosphor bronze as a raw material to form an elongated piece, and is bent and deformed by press working as shown by a cross section in FIG. 6A. And 34 1 is BGA
A contact portion for contacting the solder ball 12 of the package, 34
Reference numeral 2 is a curved portion that imparts a spring property to the contact pin 34 in the vertical direction, and reference numeral 34 3 is a terminal portion that fits into an opening 21 formed in the printed circuit board 20 that constitutes a part of the IC tester side. The contact pin 34 is fixed to the housing 31 by integrally molding the upper portion of the terminal portion 34 3 thereof with the lower portion of the housing 31. Contact part 34 1 of the contact pin 34
As shown in FIG. 6 (b), a circular hole is formed in this.

【0005】ここで、BGAパッケージ測定用ソケット
30は、ICテスタ側の一部を構成するプリント基板2
0に対して、コンタクトピン34の端子部343 先端を
プリント基板20の開孔21に挿通嵌合した状態におい
て載置され、コンタクトピン34の端子部343 先端と
開孔21近傍のプリント配線とはハンダ付される。この
状態において、BGAパッケージ10をBGAパッケー
ジ測定用ソケット30の装着凹部32に装着し、BGA
パッケージ10を下向きに押圧保持し、BGAパッケー
ジ10下面のハンダボール12をBGAパッケージ測定
用ソケット30のコンタクトピン34の接触部341
円形孔に係合圧接状態にする。圧接状態にする力はBG
Aパッケージ10を下向きに押圧することに起因するコ
ンタクトピン34の湾曲部342 による反作用により生
ずる。この様に、BGAパッケージ10下面のハンダボ
ール12をBGAパッケージ測定用ソケット30のコン
タクトピン34の接触部341 に圧接したところで、B
GAパッケージ10はICテスタ側に電気的に接続した
こととなり、ここにおいて試験を実施することができ
る。
Here, the BGA package measuring socket 30 is a printed circuit board 2 which constitutes a part of the IC tester side.
0, the terminal portion 34 3 of the contact pin 34 is placed in a state of being inserted and fitted into the opening 21 of the printed circuit board 20, and the terminal portion 34 3 of the contact pin 34 and the printed wiring near the opening 21 are placed. And are soldered. In this state, the BGA package 10 is mounted in the mounting recess 32 of the BGA package measuring socket 30,
The package 10 is pressed and held downward, and the solder balls 12 on the lower surface of the BGA package 10 are brought into engagement pressure contact with the circular holes of the contact portions 34 1 of the contact pins 34 of the BGA package measuring socket 30. BG is the pressure force
This is caused by the reaction of the curved portion 34 2 of the contact pin 34 caused by pressing the A package 10 downward. In this way, when the solder ball 12 on the lower surface of the BGA package 10 is pressed against the contact portion 34 1 of the contact pin 34 of the BGA package measuring socket 30, B
The GA package 10 is electrically connected to the IC tester side, and the test can be performed here.

【0006】BGAパッケージ測定用ソケット30は上
述した通りのコンタクトピン34を使用している。この
ソケット30において、BGAパッケージ10下面のハ
ンダボール12とコンタクトピン34の接触部341
の間の圧接力は、コンタクトピン34の湾曲部342
より生ずるものであるから、必要とされる圧接力を得る
に、湾曲部342 の長さを或る一定限度以下に短くする
ことはできない。必要とされる圧接力を確保するに、コ
ンタクトピン34の全長は比較的に長いものとならざる
を得ない。コンタクトピン34の全長が長いものとなる
ということは、ハウジング31の高さを或る一定のもの
として、湾曲部342 の湾曲の度合が大きくなることに
つながり、コンタクトピンの長さ方向と直角の方向の寸
法が大きくなる結果、コンタクトピン34の実装密度が
低くなる。そして、コンタクトピン34の全長が長くな
ることに起因して、ハウジング31の形状構造にも種々
の制約が加わり、その製造コストが高くなる。また、コ
ンタクトピン34の全長が長いものとなるということ
は、それだけ浮遊のインダクタンス、キャパシタンスを
増大することであり、電気的にも好ましいことではな
く、100MHz程度の高い周波数の試験には耐えられ
ない。
The BGA package measuring socket 30 uses the contact pins 34 as described above. In this socket 30, since the pressure contact force between the solder ball 12 on the lower surface of the BGA package 10 and the contact portion 34 1 of the contact pin 34 is generated by the curved portion 34 2 of the contact pin 34, the required pressure contact is required. To obtain the force, the length of the bend 34 2 cannot be reduced below a certain limit. In order to secure the required pressure contact force, the total length of the contact pin 34 must be relatively long. The fact that the contact pin 34 has a long overall length leads to an increase in the degree of bending of the bending portion 34 2 with the height of the housing 31 being constant, and is perpendicular to the length direction of the contact pin. As a result, the mounting density of the contact pins 34 decreases as a result of the increase in the dimension in the direction of. Further, due to the increase in the total length of the contact pin 34, various restrictions are added to the shape structure of the housing 31 and the manufacturing cost thereof is increased. In addition, the fact that the contact pin 34 has a long overall length means that the inductance and capacitance of the stray are increased accordingly, and it is not electrically preferable, and it cannot withstand a high frequency test of about 100 MHz. .

【0007】BGAパッケージ測定用ソケットの従来例
としては、図7(a)に示されるが如きものもある。こ
のBGAパッケージ測定用ソケットも、ハウジング31
の形状構造自体は図6に示される従来例とほぼ同様であ
る。即ち、このハウジング31は絶縁材料より成る板状
体を加工することにより構成される。ハウジング31の
上面にはBGAパッケージが試験に際して装着される装
着凹部32が形成されている。33は装着凹部32から
ハウジング31下面に達する貫通孔である。貫通孔33
は装着凹部32に装着されるBGAパッケージ10下面
にマトリックス状に配列設置されるハンダボール12に
対応して同様のマトリックス状に配列穿設されている。
35は貫通孔33に嵌合固定されるプローブピンであ
る。図7(b)はプローブピン35の断面図である。
A conventional example of the BGA package measuring socket is shown in FIG. 7 (a). This BGA package measuring socket also has a housing 31
The shape structure itself is substantially the same as that of the conventional example shown in FIG. That is, the housing 31 is formed by processing a plate-shaped body made of an insulating material. A mounting recess 32 is formed on the upper surface of the housing 31 for mounting the BGA package during a test. Reference numeral 33 is a through hole that extends from the mounting recess 32 to the lower surface of the housing 31. Through hole 33
Are arranged and drilled in a matrix similar to the solder balls 12 arranged and arranged in a matrix on the lower surface of the BGA package 10 mounted in the mounting recess 32.
Reference numeral 35 is a probe pin fitted and fixed in the through hole 33. FIG. 7B is a sectional view of the probe pin 35.

【0008】図7(b)において、351 は導電性金属
より成る円筒チューブである。円筒チューブ351 の上
端には、塑性加工によりフランジが形成され、その中心
は円筒チューブより小径の円形穴352 とされている。
353 は導電性金属より成るプランジャであり、一方の
端部は鍔部とされている。354 はバネ性を有する導電
性金属より成るコイルバネである。ここで、円筒チュー
ブ351 の内径とプランジャ353 の鍔部の外径は、円
筒チューブ351 内面にプランジャ353 の鍔部が摺動
可能であると共にに電気的接触を保持する様に構成され
る。そして、両プランジャ353 をこれらの鍔部の間に
コイルバネ354 が介在する様に円筒チューブ351
に収容し、円筒チューブ351 の上下両端を塑性加工に
よりフランジを形成して、両プランジャ353 およびコ
イルバネ354 を圧縮した状態においてこれら三者を閉
じ込める。
In FIG. 7 (b), 35 1 is a cylindrical tube made of conductive metal. A flange is formed on the upper end of the cylindrical tube 35 1 by plastic working, and its center is a circular hole 35 2 having a smaller diameter than the cylindrical tube.
Numeral 35 3 is a plunger made of a conductive metal, one end of which is a flange. 35 4 is a coil spring made of a conductive metal having a spring property. Here, the outer diameter of the flange portion of the cylindrical tube 35 1 of the inner diameter and the plunger 35 3, configured so as to hold the electrical contact along with the flange portion of the plunger 35 3 to the cylindrical tube 35 1 inner surfaces can slide To be done. Then, both the plunger 35 3 accommodated in the coil spring 35 4 in the cylindrical tube 35 1 as interposed between the flange portion, to form a flange the upper and lower ends of the cylindrical tube 35 1 by plastic working, both plunger These three are confined in the state that 35 3 and the coil spring 35 4 are compressed.

【0009】ここで、BGAパッケージ測定用ソケット
30は、ICテスタ側の一部を構成するプリント基板2
0に載置、位置決めされる。この位置決めに際して、プ
ローブピン35の下側プランジャ353 の先端はICテ
スタ側のプリント基板20の所定のプリント配線に対応
接触せしめられる。この状態において、BGAパッケー
ジ10をBGAパッケージ測定用ソケット30の装着凹
部32に装着し、BGAパッケージ10を下向きに押圧
保持し、BGAパッケージ10下面のハンダボール12
をプローブピン35の上側プランジャ353 の先端に係
合圧接状態にする。圧接状態にする力はBGAパッケー
ジ10を下向きに押圧することに起因するプローブピン
35のコイルバネ354 による反作用により生ずる。こ
の状態においてBGAパッケージ10はICテスタ側に
電気的に接続したこととなり、ここにおいて試験を実施
することができる。
Here, the BGA package measuring socket 30 is a printed circuit board 2 which constitutes a part of the IC tester side.
It is placed and positioned at 0. At the time of this positioning, the tip of the lower plunger 35 3 of the probe pin 35 is brought into contact with a predetermined printed wiring of the printed circuit board 20 on the IC tester side. In this state, the BGA package 10 is mounted in the mounting recess 32 of the BGA package measuring socket 30, and the BGA package 10 is pressed and held downward.
Is brought into engagement pressure contact with the tip of the upper plunger 35 3 of the probe pin 35. The force for bringing the pressure contact state is generated by the reaction of the probe pin 35 by the coil spring 35 4 caused by pressing the BGA package 10 downward. In this state, the BGA package 10 is electrically connected to the IC tester side, and the test can be performed here.

【0010】BGAパッケージ測定用ソケット30は上
述した通りのプローブピン35を使用している。このソ
ケット30において、BGAパッケージ10下面のハン
ダボール12とプローブピン35の上側プランジャ35
3 の先端との間の圧接力、およびICテスタ側のプリン
ト基板20の所定のプリント配線と下側プランジャ35
3 の先端との間の圧接力は、プローブピン35のコイル
バネ354 により生ずるものであるから、必要とされる
圧接力を得るに、コイルバネ354 の長さを或る一定限
度以下に短くすることはできない。必要とされる圧接力
を確保すると、コイルバネ354 の全長は比較的に長い
ものとなる。コイルバネ354 の全長が長いものとなる
ということは、それだけ浮遊のインダクタンス、キャパ
シタンスを増大することであり、電気的に好ましいこと
ではなく、100MHz程度の高い周波数の試験には耐
えられない。そして、プローブピン35は、円筒チュー
ブ351 の直径が1mm以下の極く細いものであり、そ
の全長が長くなることに起因して、プローブピン35を
構成する部材の形状構造にも種々の制約が加わり、その
製造加工コストは高くなる。
The BGA package measuring socket 30 uses the probe pin 35 as described above. In this socket 30, the solder ball 12 on the lower surface of the BGA package 10 and the upper plunger 35 of the probe pin 35
3 , the pressure contact force with the tip of 3 , the predetermined printed wiring of the printed circuit board 20 on the IC tester side and the lower plunger 35.
Since the pressure contact force with the tip of 3 is generated by the coil spring 35 4 of the probe pin 35, the length of the coil spring 35 4 is shortened to a certain limit or less in order to obtain the required pressure contact force. It is not possible. When the required pressure contact force is secured, the total length of the coil spring 35 4 becomes relatively long. That the overall length of the coil spring 35 4 is long is to increase correspondingly stray inductance, capacitance, rather than electrically desirable, not stand the test of high frequency of about 100 MHz. Then, the probe pin 35, the diameter of the cylindrical tube 35 1 is intended following very thin 1 mm, due to the overall length becomes long, various restrictions on the shape structural member constituting the probe pin 35 Therefore, the manufacturing processing cost becomes high.

【0011】更に、プローブピン35は、図7(b)に
より図示説明された通りのものである。プローブピン3
5内の導電経路は、上側プランジャ353 の先端からこ
のプランジャを介してその鍔部外周面と円筒チューブ3
1 の内周面との間の接触部に到り、この接触部から円
筒チューブを介して今度はこれと下側プランジャ35 3
の鍔部外周面との間の接触部を介して下側プランジャ3
3 の先端に到る。このプローブピン35による導電経
路には合計4箇所の接触部が存在することになる。即
ち、ハンダボール12と上側プランジャ353 の先端と
の間、上側プランジャ353 の鍔部外周面と円筒チュー
ブ351 の内周面との間、円筒チューブ351 の内周面
と下側プランジャ353 の鍔部外周面との間、および下
側プランジャ353 の先端とICテスタ側のプリント基
板20の所定のプリント配線との間の4箇所である。と
ころで、これら4箇所の接触部の接触状態は充分に良好
という訳ではない上に、不安定である。上述の通りの導
電経路が形成されずに、上側プランジャ353 からコイ
ルバネ354 を介して下側プランジャ353 に到る導電
経路が形成される場合もある。
Further, the probe pin 35 is shown in FIG.
This is as illustrated and described in more detail. Probe pin 3
The conductive path in 5 is the upper plunger 353From the tip of
Through the plunger and its outer peripheral surface and cylindrical tube 3
51Reach the contact area with the inner surface of the
This and the lower plunger 35 this time through the tube 3
Lower plunger 3 through the contact part between the outer peripheral surface of the collar part of
53To the tip of. Conduction via the probe pin 35
There will be a total of four contact points on the road. Immediately
The solder ball 12 and the upper plunger 353With the tip of
Between the upper plunger 353Outer peripheral surface of the collar and cylindrical tube
Boo 351Between the inner peripheral surface of the cylindrical tube 351Inner surface of
And lower plunger 353Between the outer circumference of the collar of the
Side plunger 353Print tip on the tip of the IC tester
There are four places between the board 20 and predetermined printed wiring. When
With the rollers, the contact condition of these four contact parts is sufficiently good.
Not only that, but it is also unstable. Guidance as described above
The upper plunger 35 is formed without forming an electric path.3From carp
Lubane 35FourThrough the lower plunger 353Conductivity
A route may be formed.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、上述の通
りの問題を解消するBGAパッケージ測定用ソケットを
提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a BGA package measuring socket which solves the above problems.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】バネ性を有する板金を音
叉状に打ち抜き形成した分岐コンタクトピン36を具備
するボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケットを
構成した。そして、分岐コンタクトピン36はバネ性を
有するベリリウム銅或はリン青銅より成る板金を打ち抜
いて弾性分岐部362 を形成したものであり、弾性分岐
部362 の先端部を接触部361 とするものであるボー
ル・グリッド・アレイ半導体測定用ソケットを構成し
た。
A ball grid array semiconductor measuring socket having a branch contact pin 36 formed by punching out a sheet metal having a spring property in a tuning fork shape is constructed. Then, the branch contact pin 36 is obtained by forming an elastic branch portion 36 2 by punching a metal plate made of beryllium copper or phosphor bronze having spring properties, the distal end portion of the elastic branch portion 36 2 and the contact portions 36 1 A socket for ball grid array semiconductor measurement was constructed.

【0014】また、分岐コンタクトピン36を収容する
収容孔33が形成される絶縁材料より成るハウジング3
1を具備することを特徴とするボール・グリッド・アレ
イ半導体測定用ソケットを構成した。更に、収容孔33
は分岐コンタクトピン36の弾性分岐部362 が収容さ
れる領域を収容孔33の配列方向とは傾斜する対向方向
に形成したものであるボール・グリッド・アレイ半導体
測定用ソケットを構成した。
Further, the housing 3 made of an insulating material in which the accommodation hole 33 for accommodating the branch contact pin 36 is formed.
1. A ball grid array semiconductor measuring socket characterized by comprising 1. Further, the accommodation hole 33
Constitutes a ball grid array semiconductor measuring socket in which a region for accommodating the elastic branch portion 36 2 of the branch contact pin 36 is formed in a facing direction which is inclined with respect to the arrangement direction of the accommodating holes 33.

【0015】また、弾性分岐部362 が収容される領域
を収容孔33の配列方向とは45゜傾斜する対向方向に
形成したものであるボール・グリッド・アレイ半導体測
定用ソケットを構成した。
Further, a ball grid array semiconductor measuring socket is constructed in which the region for accommodating the elastic branching portion 36 2 is formed in a facing direction inclined by 45 ° with respect to the arrangement direction of the accommodating holes 33.

【0016】[0016]

【実施例】この発明の実施例を図1ないし図4を参照し
て説明する。図1はこの発明のBGAパッケージ測定用
ソケットとBGAパッケージとの間の位置関係を説明す
る図であり、上から視たところを示す図である。図2は
図1におけるA−A線に沿った断面を示す図である。図
3は図1におけるB−B線に沿った断面を示す図であ
る。図4はこの発明のボール・グリッド・アレイ半導体
測定用ソケットにおいて使用されるコンタクトピンの斜
視図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a view for explaining the positional relationship between the BGA package measuring socket of the present invention and the BGA package, which is a view as seen from above. FIG. 2 is a view showing a cross section taken along the line AA in FIG. FIG. 3 is a view showing a cross section taken along line BB in FIG. FIG. 4 is a perspective view of a contact pin used in the ball grid array semiconductor measuring socket of the present invention.

【0017】BGAパッケージ10はその実装基板13
の裏面にマトリックス状に2次元的に配列されるハンダ
ボール12を具備している。BGAパッケージ10の内
部回路はモールド11により封止され、基板13に形成
されるプリント配線を介してハンダボール12に電気接
続している。30はこの発明のBGAパッケージ測定用
ソケットであり、BGAパッケージ10をICテスタ側
の一部を構成するプリント基板20に対して電気的に接
続する。即ち、プリント基板20には細長い開孔22が
穿設され、この開孔22には21により示されるコネク
タが挿入固定されている。結局、BGAパッケージ10
の内部回路はプリント基板20のコネクタ21に電気的
に接続する。この開孔22は、BGAパッケージ10裏
面にマトリックス状に配列設置されるハンダボール12
に対応して配列穿設される。
The BGA package 10 has its mounting substrate 13
The back surface of the solder ball 12 is provided with solder balls 12 arranged two-dimensionally in a matrix. The internal circuit of the BGA package 10 is sealed by the mold 11, and is electrically connected to the solder ball 12 via the printed wiring formed on the substrate 13. Reference numeral 30 denotes a BGA package measuring socket of the present invention, which electrically connects the BGA package 10 to a printed circuit board 20 which constitutes a part of the IC tester side. That is, an elongated opening 22 is formed in the printed board 20, and a connector indicated by 21 is inserted and fixed in the opening 22. After all, BGA package 10
The internal circuit of is electrically connected to the connector 21 of the printed circuit board 20. The openings 22 are arranged on the back surface of the BGA package 10 in a matrix to form the solder balls 12.
Are drilled in an array corresponding to.

【0018】ここで、31はBGAパッケージ測定用ソ
ケット30のハウジングであり、絶縁材料より成る板状
体を加工することにより構成される。BGAパッケージ
10は試験に際してハウジング31の上面32に装着さ
れる。33は上面32からハウジング31下面近傍に達
する収容孔である。収容孔33は上面32に装着される
BGAパッケージ10下面にマトリックス状に配列設置
されるハンダボール12に対応して配列穿設されてい
る。36は収容孔33に収容配置されるこの発明の分岐
コンタクトピンである。図4は分岐コンタクトピン36
の斜視図である。分岐コンタクトピン36は、バネ性を
有するベリリウム銅、リン青銅の如きバネ性を有する板
金を、図4に示されるが如き音叉状に打ち抜き形成す
る。362 は分岐コンタクトピン36の弾性分岐部であ
り、互に平行に構成される。互に平行な弾性分岐部36
2 の外側面間の寸法はおよそ1mm程度である。弾性分
岐部362 の先端部は、BGAパッケージ10のハンダ
ボール12に接触する接触部361 とされる。接触部3
1 の接触面はその下端から上方に向い分岐コンタクト
ピン中心軸から離れる方向に傾斜して形成される。接触
部361 の接触面のなす角はほぼ28゜程度とされる。
363 は分岐コンタクトピン36の端子部を構成する。
この端子部363 の先端部は、ICテスタ側の一部を構
成するプリント基板20の開孔22に挿入固定されるコ
ネクタ21に挿入嵌合する部分である。
Here, 31 is a housing of the BGA package measuring socket 30, which is constructed by processing a plate-like body made of an insulating material. The BGA package 10 is mounted on the upper surface 32 of the housing 31 during the test. Reference numeral 33 is a housing hole that extends from the upper surface 32 to near the lower surface of the housing 31. The accommodation holes 33 are arranged and drilled corresponding to the solder balls 12 arranged and arranged in a matrix on the lower surface of the BGA package 10 mounted on the upper surface 32. Reference numeral 36 is a branch contact pin of the present invention which is accommodated in the accommodation hole 33. FIG. 4 shows a branch contact pin 36.
It is a perspective view of. The branch contact pin 36 is formed by punching out a sheet metal having a spring property such as beryllium copper or phosphor bronze having a spring property into a tuning fork shape as shown in FIG. Reference numeral 36 2 denotes an elastic branch portion of the branch contact pin 36, which are parallel to each other. Elastic branches 36 parallel to each other
The dimension between the outer surfaces of 2 is about 1 mm. A tip portion of the elastic branch portion 36 2 is a contact portion 36 1 that contacts the solder ball 12 of the BGA package 10. Contact part 3
The contact surface of 61 are formed to be inclined in a direction away from the branch contact pin center axis directed upwardly from the lower end. The angle formed by the contact surface of the contact portion 36 1 is about 28 °.
36 3 constitutes a terminal portion of the branch contact pin 36.
The distal end of the terminal portion 36 3 is a portion that inserts fitted into the connector 21 is inserted and fixed to the hole 22 of the printed circuit board 20 which constitutes a part of the IC tester side.

【0019】ところで、収容孔33の形状構造について
であるが、331 により示されるハウジング31の上面
32の上部開孔は、BGAパッケージ10のハンダボー
ル12が進入して接触部361 に接触するところである
から、その直径はハンダボール12の直径より少し大き
く、その深さはハンダボール12の直径より少し深い開
孔とされている。そして、332 により示されるところ
は、上部開孔331 の内面に半径方向に互に対向して半
径方向に切削形成されるスリットであり、そして、これ
らスリット332 は上部開孔331 の底部を越えて下向
きに更に深く切削形成されている。分岐コンタクトピン
36の弾性分岐部362 が収容されるこのスリット33
2 の切削形成される方向は、収容孔33の配列方向とは
傾斜する対向方向とされる。即ち、スリット332 は収
容孔33の中心軸に関して対称であり、一方のスリット
332 から中心軸に直交して他方のスリット332 に到
る水平線は収容孔33の配列方向とは傾斜する。スリッ
ト332 の上部開孔331の内面から計測した深さは、
弾性分岐部362 の先端の接触部341 がハンダボール
12により拡開せしめられたときに接触部341 がハウ
ジング31に接触しない深さに構成される。スリット3
2 の幅は分岐コンタクトピン36の厚さより少し大き
い。スリット332 の長さは分岐コンタクトピン36の
弾性分岐部362 の長さにほぼ等しい。333 は端子部
363 の基部が嵌合して一体的に固定される開孔部であ
る。
Regarding the shape structure of the accommodation hole 33, the upper opening of the upper surface 32 of the housing 31 indicated by 33 1 is in contact with the contact portion 36 1 by the solder ball 12 of the BGA package 10 entering. By the way, its diameter is slightly larger than the diameter of the solder ball 12, and its depth is an opening slightly deeper than the diameter of the solder ball 12. And what is indicated by 33 2 is a slit formed by cutting in the radial direction on the inner surface of the upper opening 33 1 so as to face each other in the radial direction, and these slits 33 2 are formed in the upper opening 33 1 . It is cut deeper and deeper than the bottom. This slit 33 in which the elastic branch portion 36 2 of the branch contact pin 36 is accommodated
The direction in which the second cut is formed is the opposite direction that is inclined with respect to the arrangement direction of the accommodation holes 33. That is, the slit 33 2 are symmetrical with respect to the center axis of the receiving hole 33, perpendicular to the central axis from one of the slits 33 2 other slit 33 2 to reach the horizontal line is inclined to the arrangement direction of the receiving hole 33. The depth measured from the inner surface of the upper opening 33 1 of the slit 33 2 is
The contact portion 34 1 at the tip of the elastic branch portion 36 2 is formed to have a depth such that the contact portion 34 1 does not contact the housing 31 when expanded by the solder ball 12. Slit 3
3 second width slightly greater than the thickness of the branch contact pins 36. The length of the slit 33 2 is substantially equal to the length of the elastic branch portion 36 2 of the branch contact pin 36. Reference numeral 33 3 is an opening portion into which the base portion of the terminal portion 36 3 is fitted and integrally fixed.

【0020】ここで、BGAパッケージ測定用ソケット
30は、分岐コンタクトピン36をハウジング31の収
容孔33に収容し、これをハウジング31に一体的に固
定したところで完成する。完成したBGAパッケージ測
定用ソケット30の分岐コンタクトピン36の端子部3
3 先端部を、ICテスタ側の一部を構成するプリント
基板20の開孔22に挿入固定されるコネクタ21に挿
入嵌合した状態において、BGAパッケージ10をBG
Aパッケージ測定用ソケット30の上面32に装着し、
BGAパッケージ10を下向きに押圧保持し、BGAパ
ッケージ10下面のハンダボール12をBGAパッケー
ジ測定用ソケット30の分岐コンタクトピン36の接触
部361 に係合圧接状態にする。圧接状態する力はBG
Aパッケージ10を下向きに押圧することに起因する分
岐コンタクトピン36の弾性分岐部362 の内向きの反
作用により生ずる。この様に、BGAパッケージ10下
面のハンダボール12をBGAパッケージ測定用ソケッ
ト30の分岐コンタクトピン36の接触部361 に圧接
したところで、BGAパッケージ10はICテスタ側に
電気的に接続したこととなり、試験を実施することがで
きる。
The BGA package measuring socket 30 is completed when the branch contact pin 36 is housed in the housing hole 33 of the housing 31 and is integrally fixed to the housing 31. Terminal portion 3 of the branch contact pin 36 of the completed BGA package measurement socket 30
6 3 The BGA package 10 is mounted on the BG with the tip portion inserted and fitted in the connector 21 which is inserted and fixed in the opening 22 of the printed circuit board 20 which constitutes a part of the IC tester side.
Mounted on the upper surface 32 of the A package measurement socket 30,
The BGA package 10 is pressed and held downward, and the solder balls 12 on the lower surface of the BGA package 10 are brought into engagement pressure contact with the contact portions 36 1 of the branch contact pins 36 of the BGA package measuring socket 30. The pressure force is BG
This is caused by the inward reaction of the elastic branch portion 36 2 of the branch contact pin 36 caused by pressing the A package 10 downward. In this way, when the solder balls 12 on the lower surface of the BGA package 10 are pressed against the contact portions 36 1 of the branch contact pins 36 of the BGA package measuring socket 30, the BGA package 10 is electrically connected to the IC tester side. The test can be conducted.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上の通りであって、この発明のボール
・グリッド・アレイ半導体測定用ソケット30の分岐コ
ンタクトピン36は、そのバネ性を有する弾性分岐部3
2 がハンダボール12に対して2点において接触する
こととなり、従来のコンタクトピン34或はプローブピ
ン35とハンダボール12との間の接触が1点であった
ことと比較して、それだけ接触の信頼性が向上する。バ
ネ性を有する弾性分岐部362 に対して弾性分岐部36
2 をハンダボール12が押し開きながら接触するので、
弾性分岐部362 およびハンダボール12双方の接触面
はセルフクリーニングされることとなる。
As described above, the branch contact pin 36 of the ball grid array semiconductor measuring socket 30 of the present invention has the elastic branch portion 3 having its spring property.
6 2 comes into contact with the solder ball 12 at two points, and compared with the conventional case where the contact between the contact pin 34 or the probe pin 35 and the solder ball 12 is only one point. Improves reliability. Elastic branch 36 against the elastic bifurcation 36 2 having a spring property
As the solder ball 12 pushes 2 and contacts while opening,
Elastic branch 36 2 and the solder balls 12 both contact surfaces and thus be self-cleaning.

【0022】弾性分岐部362 の先端がハンダボール1
2に対する接触部341 とされていることにより、BG
Aパッケージ測定用ソケット30にBGAパッケージを
装着するに際して分岐コンタクトピン36の中心軸とハ
ンダボール12の中心とが垂直方向に関して多少ずれて
いても、2本の弾性分岐部362 の内の一方から他方に
向けてハンダボール12を押圧する力が生ずるところか
ら、BGAパッケージがソケット30に対して自己整列
せしめられる効果が生ずる。
The tip of the elastic branch portion 36 2 is the solder ball 1
Since it is the contact portion 34 1 for 2
When the BGA package is mounted on the A package measuring socket 30, even if the center axis of the branch contact pin 36 and the center of the solder ball 12 are slightly deviated from each other in the vertical direction, one of the two elastic branch portions 36 2 is The force that presses the solder ball 12 toward the other side produces the effect that the BGA package is self-aligned with the socket 30.

【0023】この発明の分岐コンタクトピン36は、弾
性分岐部362 の先端が接触部36 1 とされていること
から、ハンダボール12に対する接触圧力は分岐コンタ
クトピン36の長さ方向とは直角の方向に生成せしめら
れる構成のものである。分岐コンタクトピン36の長さ
と接触圧力を増強生成せしめることとは無関係であるの
で、分岐コンタクトピン36の長さは接触圧力とは無関
係に必要最小限の長さに設計することができる。この
点、分岐コンタクトピン36の浮遊のインダクタンス、
キャパシタンスを小さくすることができ、高い周波数の
試験をする上において好適である。
The branch contact pin 36 of the present invention is a bullet
Sex branch 362The tip of the contact part 36 1What is said
Therefore, the contact pressure to the solder ball 12 is
Generate it in a direction perpendicular to the length direction of the ktopin 36.
The configuration is Length of branch contact pin 36
Has nothing to do with increasing contact pressure
Therefore, the length of the branch contact pin 36 is independent of the contact pressure.
It can be designed to the minimum length required for the person in charge. this
Points, the stray inductance of the branch contact pin 36,
Capacitance can be reduced and high frequency
It is suitable for testing.

【0024】この発明の分岐コンタクトピン36は、そ
の形状構造が上述した通りのものであるので、バネ性を
有する板金を打ち抜き加工することのみにより極く簡単
に製造することができ、製造コストに関して大変に有利
である。ハンダボール12が高密度に配列されたファイ
ンピッチのBGAパッケージに対応する分岐コンタクト
ピン36も容易に製造することができる。
Since the branch contact pin 36 of the present invention has the above-described shape and structure, it can be manufactured extremely simply by punching a sheet metal having a spring property, and the manufacturing cost can be reduced. It is very advantageous. The branch contact pins 36 corresponding to the fine pitch BGA package in which the solder balls 12 are arranged at a high density can be easily manufactured.

【0025】この発明のボール・グリッド・アレイ半導
体測定用ソケット30は、ハウジング31に形成される
収容孔33は分岐コンタクトピン36の弾性分岐部36
2 が収容されるスリット332 の対向形成される方向を
収容孔33の配列方向とは傾斜する方向、特に45°と
したことにより、隣接するスリット332 同志が接続す
ることなしに上部開孔331 同志を互に接近して穿設す
ることができ、その結果、分岐コンタクトピン36の実
装密度を向上することができる。
In the ball grid array semiconductor measuring socket 30 of the present invention, the housing hole 33 formed in the housing 31 has the elastic branch portion 36 of the branch contact pin 36.
Since the direction in which the slit 33 2 in which 2 is accommodated is formed to face the arrangement direction of the accommodating holes 33, in particular 45 °, the upper opening without connecting adjacent slits 33 2 is formed. It is possible to pierce the members 33 1 close to each other, and as a result, the packaging density of the branch contact pins 36 can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例を説明する図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an embodiment of the present invention.

【図2】図1におけるA−A線に沿った断面を示す図で
ある。
FIG. 2 is a view showing a cross section taken along line AA in FIG.

【図3】図1におけるB−B線に沿った断面を示す図で
ある。
FIG. 3 is a diagram showing a cross section taken along line BB in FIG.

【図4】この発明の実施例において使用されるコンタク
トピンの斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view of a contact pin used in the embodiment of the present invention.

【図5】BGAパッケージの従来例を説明する図であ
る。
FIG. 5 is a diagram illustrating a conventional example of a BGA package.

【図6】従来例を説明する図であり、(a)はその断面
図、(b)はそのコンタクトピンの斜視図である。
6A and 6B are diagrams illustrating a conventional example, in which FIG. 6A is a sectional view thereof, and FIG. 6B is a perspective view of a contact pin thereof.

【図7】他の従来例を説明する図であり、(a)その断
面図、(b)はそのプローブピンである。
7A and 7B are views for explaining another conventional example, in which FIG. 7A is a sectional view thereof, and FIG. 7B is a probe pin thereof.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

31 ハウジング 33 収容孔 36 分岐コンタクトピン 361 接触部 362 弾性分岐部31 housing 33 accommodation hole 36 branch contact pin 36 1 contact part 36 2 elastic branch part

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 バネ性を有する板金を音叉状に打ち抜き
形成した分岐コンタクトピンを具備することを特徴とす
るボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケット。
1. A ball grid array semiconductor measuring socket comprising a branch contact pin formed by punching a spring metal plate into a tuning fork shape.
【請求項2】 請求項1に記載されるボール・グリッド
・アレイ半導体測定用ソケットにおいて、分岐コンタク
トピンはベリリウム銅或はリン青銅の如きバネ性を有す
る板金を打ち抜いて弾性分岐部を形成したものであり、
弾性分岐部の先端部を接触部とするものであることを特
徴とするボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケッ
ト。
2. The ball grid array semiconductor measuring socket according to claim 1, wherein the branch contact pin is formed by punching out a sheet metal having a spring property such as beryllium copper or phosphor bronze to form an elastic branch portion. And
A socket for measuring a ball grid array semiconductor, characterized in that the tip of the elastic branch portion is used as a contact portion.
【請求項3】 請求項2に記載されるボール・グリッド
・アレイ半導体測定用ソケットにおいて、分岐コンタク
トピンを収容する収容孔が形成される絶縁材料より成る
ハウジングを具備することを特徴とするボール・グリッ
ド・アレイ半導体測定用ソケット。
3. The ball grid array semiconductor measuring socket according to claim 2, further comprising a housing made of an insulating material in which a housing hole for housing the branch contact pin is formed. Grid array semiconductor measurement socket.
【請求項4】 請求項3に記載されるボール・グリッド
・アレイ半導体測定用ソケットにおいて、収容孔は分岐
コンタクトピンの弾性分岐部が収容される領域を収容孔
の配列方向とは傾斜する対向方向に形成したものである
ことを特徴とするボール・グリッド・アレイ半導体測定
用ソケット。
4. The ball grid array semiconductor measuring socket according to claim 3, wherein the accommodation hole is in a facing direction in which a region in which the elastic branch portion of the branch contact pin is accommodated is inclined with respect to the arrangement direction of the accommodation holes. A socket for ball-grid-array semiconductor measurement, characterized in that
【請求項5】 請求項4に記載されるボール・グリッド
・アレイ半導体測定用ソケットにおいて、弾性分岐部が
収容される領域を収容孔の配列方向とは45゜傾斜する
対向方向に形成したものであることを特徴とするボール
・グリッド・アレイ半導体測定用ソケット。
5. The ball grid array semiconductor measuring socket according to claim 4, wherein the region for accommodating the elastic branch portion is formed in a facing direction inclined by 45 ° with respect to the arrangement direction of the accommodating holes. A ball grid array semiconductor measurement socket characterized in that
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