JPH0879455A

JPH0879455A - 走査装置

Info

Publication number: JPH0879455A
Application number: JP6261919A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Negishi; 一郎根岸; Tetsuji Suzuki; 鉄二鈴木
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1994-06-30
Filing date: 1994-09-30
Publication date: 1996-03-22

Abstract

(57)【要約】【目的】安価で直線性のよい走査装置を提供する。【構成】ＬＥＤアレイ１４とＬＥＤ駆動専用ＩＣ３２
と揺動反射鏡１６ａとアクチュエータ１６ｂとスキャナ
駆動回路２４と制御回路２３とコマンド信号発生回路２
２とセンサ２５と演算回路２８と補正信号発生回路２９
とクロック発生回路３０とからなる走査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光書き込み型の空間光
変調素子等への書き込み光学系に用いられる走査装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は、光書き込み型の空間光変調素子
１０（以下、単に「空間光変調素子１０」という。）
と、この空間光変調素子１０に画像情報の書き込みを行
う書き込み光学系１１と、この空間光変調素子１０から
画像情報を読み出してスクリーンに投影する読み出し光
学系１２とを用いて構成したプロジェクタ装置の概略構
成を示す平面図であり、図６は、書き込み光学系１１及
び空間光変調素子１０を示す斜視図である。図７に、空
間光変調素子１０の構成を示す。同図において、変調材
料として液晶が用いられた光変調層６の書き込み光入射
側には、誘電体ミラー５、不導体の遮光膜４が各々順に
積層して形成されている。そして、この遮光膜４の更に
書き込み光側には、光導電体層３が積層されており、更
にその外側には、透明電極２、ガラス基板１が各々積層
されている。他方、光変調層６の読み出し光入射側に
は、透明電極７、ガラス基板８が各々積層されている。
そして、透明電極２、７間には、適宜の駆動用電源９が
接続されている。

【０００３】以上のような空間光変調素子の概略の作用
を説明すると、所望される情報を含んだ書き込み光は、
矢印Ｆ１で示すように素子の光導電体層３に入射する。
光導電体層３では、書き込み光の強度に応じてその導電
性が変化し、書き込み光の強度分布に対応した導電性分
布となる。このため、駆動用電源９の電圧がその導電性
分布、すなわち書き込み光の強度分布に対応して光変調
層６に印加されるようになる。他方、光変調層６には、
矢印Ｆ２で示すように読み出し光が入射する。ところ
が、この光変調層６には、書き込み光の強度分布に対応
した電界が影響しており、この電界分布に対応して読み
出し光の光変調が行われることになる。変調を受けた読
み出し光は、誘電体ミラー５によって反射され矢印Ｆ３
で示すように出力される。なお、遮光膜４は、誘電体ミ
ラー５を突き抜けた読み出し光が光導電体層３に達して
電荷像を乱し、読み出し画像のコントラストの低下が起
こらないようにするためのもので、必要に応じて設けら
れるものである。

【０００４】図５又は図６において、書き込み光学系１
１は多数のＬＥＤ素子１３が直線状に配列されたＬＥＤ
アレイ１４と、このＬＥＤアレイ１４から放射された光
束を平行光束に変換する第１の書き込みレンズ１５と、
第１の書き込みレンズ１５を透過した平行光束をＬＥＤ
アレイ１４におけるＬＥＤ素子１３の配列方向と直交す
る方向に偏向する揺動反射鏡１６ａ及びアクチュエータ
１６ｂを備えたガルバノミラー装置１６と、このガルバ
ノミラー装置１６の揺動反射鏡１６ａで反射された光束
を空間光変調素子１０の光導電体層１３（図７参照）に
結像する第２の書き込みレンズ１７とから大略構成され
ている。また、読み出し光学系１２は、読み出し光源１
８と、この読み出し光源１８から入射した光束のうち特
定の偏光面を有する光のみを分離して空間光変調素子１
０に照射する偏光ビームスプリッタ１９と、空間光変調
素子１０で変調を受けて反射された光束をスクリーン２
１に投影結像する投影レンズ２０とから大略構成されて
いる。

【０００５】ここで、書き込み光学系１１によって空間
光変調素子１０の光導電体層３に形成される２次元の画
像情報の直線性ついて考えてみる。空間光変調素子１０
の水平方向（図６中のＨ方向）の直線性は、第１の書き
込みレンズ１５や第２の書き込みレンズ１７の歪曲収差
等を無視すれば、ＬＥＤアレイ１４におけるＬＥＤ素子
１３の配列のピッチ精度により決まり変動する余地は殆
どない。他方、空間光変調素子１０の垂直方向（図６中
のＶ方向）の直線性は、ガルバノミラー装置１６の揺動
反射鏡１６ａの偏向角度の精度に直接依存する。従っ
て、このガルバノミラー装置１６による揺動反射鏡１６
ａの駆動精度は垂直方向の直線性を維持する上で極めて
重要である。

【０００６】従来、この垂直方向の直線性は、図８に示
すように、ガルバノミラー装置１６そのものを対象にフ
ィードバックループを用いて制御することにより補償し
ていた。すなわち、コマンド信号発生回路２２は、原画
像信号に含まれる水平同期信号（ＨＤ）や垂直同期信号
（ＶＤ）等の同期信号から、揺動反射鏡１６ａが位置す
べき角度位置を指示するコマンド信号Ｋを発生する。制
御回路２３は、このコマンド信号Ｋを処理してスキャナ
駆動回路２４に制御信号を送り、スキャナ駆動回路２４
はこの制御信号に基づいてガルバノミラー装置１６のア
クチュエータ１６ｂを駆動する。また、アクチュエータ
１６ｂの図示しない揺動軸には該揺動軸、即ち揺動反射
鏡１６ａの回動角度位置を検出するセンサ２５が設けら
れており、このセンサ２５の出力（以下「ポジション信
号Ｐ1」という。）は制御回路２３にフィードバックさ
れる構成になっている。そして、制御回路２３はフィー
ドバックされたポジション信号Ｐ1 とコマンド信号Ｋと
を比較して、両者が一致するように制御する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、揺動反
射鏡１６ａは、それ自体が質量やスティフネス、機械抵
抗等からなるメカニカルインピーダンスを有するととも
に、この揺動反射鏡１６ａを駆動するアクチュエータ１
６ｂも同様にそれ自体が質量やスティフネス、機械抵抗
等からなるメカニカルインピーダンスを有しており、こ
れらの要因によってガルバノミラー装置１６は振動系を
構成する。図４（ａ）は、斯かるガルバノミラー装置１
６を駆動するコマンド信号Ｋの信号波形とセンサ２５に
よって検出されるポジション信号Ｐ1 の一例を、縦軸に
揺動角度θ、横軸に時間ｔをとって示す図である。同図
において、Ｔ0 は帰線期間を含めた一偏向周期、Ｔ1 は
実走査期間、Θ0 は実偏向振幅である。同図に示すよう
に、コマンド信号Ｋは直線で構成された鋸歯状の信号で
あるが、上述した従来技術におけるフィードバックルー
プ制御のみでは、実際の揺動反射鏡１６ａの揺動角度Θ
はコマンド信号Ｋに一致したものとすることができな
い。

【０００８】すなわち、ポジション信号Ｐ1 は、コマン
ド信号Ｋに対して、位相遅れ、揺動方向の反転時におけ
るオーバーシュート、振動系であるガルバノミラー装置
１６の固有振動等を伴ったものとならざるを得ず、その
充分な直線性を維持することは困難である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願発明は、上記問題点
に鑑みなされたものであり、請求項１に係る発明は、
「多数の発光素子を直線状に配列して構成した発光素子
アレイと、画像情報信号によりパルス幅変調された信号
を個々の該発光素子に供給して該発光素子アレイを駆動
する発光素子アレイ駆動回路と、該発光素子が配列され
た直線と直交する方向に該発光素子アレイが放射する光
束を偏向する揺動反射鏡と、該揺動反射鏡を所定角度の
範囲で揺動せしめるアクチュエータと、該アクチュエー
タを駆動するアクチュエータ駆動回路と、該アクチュエ
ータ駆動回路を制御する制御回路と、該揺動反射鏡が位
置すべき角度位置を指示するコマンド信号を該制御回路
に与えるコマンド信号発生回路と、該揺動反射鏡の揺動
角度位置を検出して位置信号を出力する検出手段と、該
コマンド信号と該位置信号とを比較して差信号を出力す
る比較手段と、該差信号と略逆特性の補正信号を発生す
る補正信号発生手段と、該補正信号に基づいて該発光素
子アレイ駆動回路に該パルス幅変調された信号を供給す
るタイミングを制御するタイミング制御手段とを具備し
てなる走査装置。」を提供するものであり、

【００１０】請求項２に係る発明は、「多数の発光素子
を直線状に配列して構成した発光素子アレイと、画像情
報信号によりパルス幅変調された信号を個々の該発光素
子に供給して該発光素子アレイを駆動する発光素子アレ
イ駆動回路と、該発光素子が配列された直線と直交する
方向に該発光素子アレイが放射する光束を偏向する揺動
反射鏡と、該揺動反射鏡を所定角度の範囲で揺動せしめ
るアクチュエータと、該アクチュエータを駆動するアク
チュエータ駆動回路と、該アクチュエータ駆動回路を制
御する制御回路と、該揺動反射鏡の揺動角度位置を検出
して位置信号を出力する検出手段とを複数組有してなる
走査装置において、該揺動反射鏡が位置すべき角度位置
を指示する共通のコマンド信号を個々の該制御回路に与
えるコマンド信号発生回路と、該コマンド信号と個々の
該検出手段にとって検出された個々の該位置信号とを比
較してそれぞれの差信号を出力する比較手段と、該それ
ぞれの差信号と略逆特性の補正信号をそれぞれ発生する
補正信号発生手段と、該それぞれの補正信号に基づいて
個々の該発光素子アレイ駆動回路に該パルス幅変調され
た信号を供給するタイミングを制御するタイミング制御
手段とを具備してなる走査装置。」を提供するものであ
る。

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図１は本発明の第１実施例の基本構成を示
すブロック図であり、図３は、図１におけるクロック発
生回路３０の構成を示すブロック図である。図１におい
て、コマンド信号発生回路２２、制御回路２３、スキャ
ナ駆動回路２４及びガルバノミラー装置１６は先に図８
を参照して説明した構成と同様であり、制御回路２３は
フィードバックされたポジション信号Ｐ1 とコマンド信
号Ｋとを比較して、両者が一致するように制御する。本
実施例では更に、コマンド信号Ｋとポジション信号Ｐ1
はそれぞれＡ／Ｄ変換器２６，２７でＡ／Ｄ変換されて
演算回路２８に導かれる。この演算回路２８は、コマン
ド信号Ｋとポジション信号Ｐ1 とを比較して図４（ｂ）
に示す如き差信号Ｄ1 を発生する。なお同図において、
差信号Ｄ1 は、コマンド信号Ｋとポジション信号Ｐ1 と
の差を揺動反射鏡１６ａの実偏向振幅Θ0 に対する百分
率で表したものである。

【００１２】次に、差信号Ｄ1 は補正信号発生回路２９
に導かれる。補正信号発生回路２９は、図４（ｃ）に示
す如く、差信号Ｄとは略逆特性の補正信号Ｃ1 を発生す
る。次に、この補正信号Ｃ1 は、クロック発生回路３０
に導かれる。そして、このクロック発生回路３０は、Ｌ
ＥＤ駆動専用ＩＣ３２へ２種類のパルス信号を供給す
る。その一つは、図３に示すように、補正信号Ｃ1 に基
づいて水平同期信号ＨＤに対して必要な時間Δｔ1 遅延
したパルス信号ＰＬ1 であり、他の一つは、各ＬＥＤ素
子１３の発光時間を規定して階調を決定するためのパル
ス信号ＰＬ2 である。図９にこれらのパルス信号の関係
を示す。同図（ａ）は、水平同期信号であり、同図
（ｂ）はパルス信号ＰＬ1 であり、同図（ｃ）はパルス
信号ＰＬ2 である。パルス信号ＰＬ1 は、ＬＥＤアレイ
１４の発光開始のタイミングを決定するものであり、補
正信号発生回路２９から供給された補正信号Ｃ1 に基づ
いてその遅延量Δｔ1 が決定される。すなわち、補正信
号Ｃ1 に基づいて遅延時間Δｔ1 が決定されると水平同
期信号ＨＤに対してΔｔ1 遅延したパルス信号ＰＬ1 が
クロック発生回路３０からＬＥＤ駆動専用ＩＣ３２に送
られるとともに該パルス信号ＰＬ1 の立ち上がりから所
定時間ｔ1 経過後にパルス信号ＰＬ2 がＬＥＤ駆動専用
ＩＣ３２に送られる。

【００１３】また、パルス信号ＰＬ2 は、例えば、２５
６個のパルス列で構成されており、２５６個分のパルス
の時間ｔ2 は有効水平走査期間Ｈ1 に対して若干短めに
設定されている。これは、画面の垂直方向の直線性を補
正するためにパルス信号ＰＬ2 を水平同期信号ＨＤに対
して必要な時間Δｔ1 遅延させた場合にこの遅延時間Δ
ｔ1 を吸収ためである。なお、Ｈ0 は一水平走査周期で
ある。ＬＥＤ駆動専用ＩＣ３２中に各ＬＥＤ素子１３毎
に設けられた図示しないカウンタは、該パルスをカウン
トし、そのカウント値が映像信号処理回路３１から供給
される各画素（各ＬＥＤ素子１３）の階調に対応した値
となった時に各ＬＥＤ素子１３の発光を停止させる。す
なわち、本実施例においては、各画素の階調は有効水平
走査期間Ｈ1 内における各ＬＥＤ素子１３の発光時間に
よって表すものである。

【００１４】次に、図２を参照して本発明の第２実施例
について説明する。本実施例は、第１実施例で説明した
制御回路、スキャナ駆動回路、ガルバノミラー装置、映
像信号処理回路、ＬＥＤ駆動専用ＩＣ及びＬＥＤアレイ
をＲ，Ｇ，Ｂの３色の映像信号に対応してそれぞれ３組
用いてカラー画像を表示する際に使用する走査装置の基
本構成を示すブロック図である。なお、同図において
は、説明の簡単のために、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の内の適宜
の２色分（Ｒ，Ｇ）のみついて示す。すなわち、ここで
は、制御回路２３、スキャナ駆動回路２４、ガルバノミ
ラー装置１６は、Ｒ（赤色）の映像信号により変調され
たＬＥＤアレイ１４が放射する光束を偏向し、制御回路
１２３、スキャナ駆動回路１２４、ガルバノミラー装置
１１６は、Ｇ（緑色）の映像信号により変調されたＬＥ
Ｄアレイ１１４が放射する光束を偏向するものとし、Ｂ
（青色）については省略する。

【００１５】制御回路２３，１２３はガルバノミラー装
置１６，１１６のセンサ２５，１２５からフィードバッ
クされたポジション信号Ｐ1 ，Ｐ2 とコマンド信号Ｋと
をそれぞれ比較して、両者が一致するようにスキャナ駆
動回路２４，１２４を制御する。コマンド信号Ｋとポジ
ション信号Ｐ1 ，Ｐ2 はそれぞれＡ／Ｄ変換器２７，２
６，１２６でＡ／Ｄ変換されて演算回路２８に導かれ
る。この演算回路２８は、コマンド信号Ｋとポジション
信号Ｐ1 、コマンド信号Ｋとポジション信号Ｐ2 とをそ
れぞれ比較して図４（ｂ）に示す如き差信号Ｄ1（Ｄ2）
を発生する。なお、図４（ｂ）においては、簡単のため
に、差信号Ｄ1と差信号Ｄ2とは同一形状の波形であるか
の如く示してあるが、一般的には異なる形状の波形とな
ることは言うまでもない。即ち、ガルバノミラー装置１
６とガルバノミラー装置１１６とは、全く同一ではな
く、異なる特性を有した振動系を構成するからである。

【００１６】次に、差信号Ｄ1 ，Ｄ2 は補正信号発生回
路２９に導かれる。補正信号発生回路２９は、図４
（ｃ）に示す如く、差信号Ｄ1，Ｄ2とは略逆特性の補正
信号Ｃ1，Ｃ2 をそれぞれ発生する。なお、図４（ｃ）
においては、簡単のために、補正信号Ｃ1と補正信号Ｃ2
とは同一形状の波形であるかの如く示してあるが、一般
的には異なる形状の波形となることは、上に説明した差
信号Ｄ1，Ｄ2の場合と同様である。次に、これらの補正
信号Ｃ1 ，Ｃ2 は、クロック発生回路３０に導かれる。
そして、このクロック発生回路３０は、ＬＥＤ駆動専用
ＩＣ３２，１３２へそれぞれ２種類のパルス信号を供給
する。その一つは、図３に示すように、補正信号Ｃ1 ，
Ｃ2 に基づいて水平同期信号ＨＤに対して必要な時間Δ
ｔ1 ，Δｔ2 遅延したパルス信号ＰＬ1 ，ＰＬ3 であ
り、他の一つは、ＬＥＤアレイ１４，１１４の各ＬＥＤ
素子１３の発光時間を規定して階調を決定するためのパ
ルス信号ＰＬ2，ＰＬ4 である。図９にこれらのパルス
信号の関係を示す。同図（ａ）は、水平同期信号であ
り、同図（ｂ）はパルス信号ＰＬ1 ，ＰＬ3 であり、同
図（ｃ）はパルス信号ＰＬ2 ，ＰＬ4 である。なお、図
９（ｂ）、（ｃ）においては、簡単のために、水平同期
信号ＨＤに対するパルス信号ＰＬ1 の遅延量Δｔ1 とパ
ルス信号ＰＬ3 の遅延量Δｔ2 とは同じであるかの如く
示してあるが、一般的には異なるものであることは言う
までもない。

【００１７】パルス信号ＰＬ1 ，ＰＬ3 は、ＬＥＤアレ
イ１４，１１４の発光開始のタイミングをそれぞれ決定
するものであり、補正信号発生回路２９から供給された
補正信号Ｃ1 ，Ｃ2 に基づいてその遅延量Δｔ1 ，Δｔ
2 が決定される。すなわち、補正信号Ｃ1 ，Ｃ2 に基づ
いて遅延時間Δｔ1 ，Δｔ2 が決定されると水平同期信
号ＨＤに対して、それぞれΔｔ1 ，Δｔ2 だけ遅延した
パルス信号ＰＬ1 ，ＰＬ3 がクロック発生回路３０から
ＬＥＤ駆動専用ＩＣ３２，１３２に送られるとともに、
これらのパルス信号ＰＬ1 ，ＰＬ3 の立ち上がりから所
定時間ｔ1 経過後にパルス信号ＰＬ2 ，ＰＬ4 がＬＥＤ
駆動専用ＩＣ３２，１３２にそれぞれ送られる。また、
パルス信号ＰＬ2 ，ＰＬ4 は、例えば、それぞれ２５６
個のパルス列で構成されており、２５６個分のパルスの
時間ｔ2 は有効水平走査期間Ｈ1 に対して若干短めに設
定されている点、ＬＥＤ駆動専用ＩＣ３２，１３２中に
は各ＬＥＤ素子１３毎に図示しないカウンタが設けられ
ており、該カウンタは該パルス列をカウントし、そのカ
ウント値が映像信号処理回路３１，１３１から供給され
る各画素（各ＬＥＤ素子１３）の階調に対応した値とな
った時に各ＬＥＤ素子１３の発光を停止させる構成とな
っており、各画素の階調は有効水平走査期間Ｈ1 内にお
ける各ＬＥＤ素子１３の発光時間によって表すものであ
る点は、先に説明した第１実施例の場合と同様である。

【００１８】このように、本実施例の走査装置は、制御
回路、スキャナ駆動回路、ガルバノミラー装置、映像信
号処理回路、ＬＥＤ駆動専用ＩＣ及びＬＥＤアレイを
Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の映像信号に対応してそれぞれ３組用
いてカラー画像を表示するものであるが、各ガルバノミ
ラー装置は、共通のコマンド信号を基準として、その偏
向の直線性が補償される構成であるため、この走査装置
をカラー画像を表示するプロジェクタに用いた場合には
Ｒ，Ｇ，Ｂのレジストレーションが一致した良好なカラ
ー画像を得ることができるものである。

【００１９】なお、以上に説明した走査装置をハイビジ
ョン対応のプロジェクタで用いる場合を例にとると、ハ
イビジョンの垂直の有効走査線本数は１０３５本である
から、仮に２％のリニアリティー補正を考えれば２０．
７本分に相当する。これを０．０２５％の１／４本以内
に補正するためには、８０段階以上の補正タイミングを
必要とする。２％程度の補正量であれば、１水平走査期
間内の階調用のパルス幅に影響を与えることなく、帰線
期間を含めた未使用期間を変化させて処理できるため、
書き込み光量等に影響がなくシェーディングも発生しな
い補正が可能である。

【００２０】

【発明の効果】以上、説明したことから明かなように、
本発明の走査装置は、多数の発光素子を直線状に配列し
て構成した発光素子アレイと、画像情報信号によりパル
ス幅変調された信号を個々の該発光素子に供給して該発
光素子アレイを駆動する発光素子アレイ駆動回路と、該
発光素子が配列された直線と直交する方向に該発光素子
アレイが放射する光束を偏向する揺動反射鏡と、該揺動
反射鏡を所定角度の範囲で揺動せしめるアクチュエータ
と、該アクチュエータを駆動するアクチュエータ駆動回
路と、該アクチュエータ駆動回路を制御する制御回路
と、該揺動反射鏡が位置すべき角度位置を指示するコマ
ンド信号を該制御回路に与えるコマンド信号発生回路
と、該揺動反射鏡の揺動角度位置を検出して位置信号を
出力する検出手段と、該コマンド信号と該位置信号とを
比較して差信号を出力する比較手段と、該差信号と略逆
特性の補正信号を発生する補正信号発生手段と、該補正
信号に基づいて該発光素子アレイ駆動回路に該パルス幅
変調された信号を供給するタイミングを制御するタイミ
ング制御手段とからなるため揺動反射鏡の揺動動作自体
に偏向の非直線性が残存する場合であっても、発光素子
アレイの発光開始時刻を変化させて直線性を補正するこ
とにより良好な直線性を得ることができる。

【００２１】また、本発明の走査装置は、多数の発光素
子を直線状に配列して構成した発光素子アレイと、画像
情報信号によりパルス幅変調された信号を個々の該発光
素子に供給して該発光素子アレイを駆動する発光素子ア
レイ駆動回路と、該発光素子が配列された直線と直交す
る方向に該発光素子アレイが放射する光束を偏向する揺
動反射鏡と、該揺動反射鏡を所定角度の範囲で揺動せし
めるアクチュエータと、該アクチュエータを駆動するア
クチュエータ駆動回路と、該アクチュエータ駆動回路を
制御する制御回路と、該揺動反射鏡の揺動角度位置を検
出して位置信号を出力する検出手段とを複数組有してな
る走査装置において、該揺動反射鏡が位置すべき角度位
置を指示する共通のコマンド信号を個々の該制御回路に
与えるコマンド信号発生回路と、該コマンド信号と個々
の該検出手段にとって検出された個々の該位置信号とを
比較してそれぞれの差信号を出力する比較手段と、該そ
れぞれの差信号と略逆特性の補正信号をそれぞれ発生す
る補正信号発生手段と、該それぞれの補正信号に基づい
て個々の該発光素子アレイ駆動回路に該パルス幅変調さ
れた信号を供給するタイミングを制御するタイミング制
御手段とからなるため良好な偏向の直線性が得られるば
かりか、各揺動反射鏡によって偏向される光束はこれら
の光束が集光されるべき面上において良好に一致したも
のとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の基本構成を示すブロック図で
ある。

【図２】本発明の他の実施例の基本構成を示すブロック
図である。

【図３】図１又は図２におけるクロック発生回路の構成
を示すブロック図である。

【図４】本発明のコマンド信号、ポジション信号、補正
信号の関係を示す図である。

【図５】空間光変調素子を用いたプロジェクタ装置の概
略構成を示す平面図である。

【図６】図５の書き込み光学系及び空間光変調素子を示
す斜視図である。

【図７】空間光変調素子の積層構造およびその動作原理
を示す斜視図である。

【図８】従来の走査装置の基本構成を示すブロック図で
ある。

【図９】本発明の実施例における発光素子アレイの発光
タイミングを説明するためのタイミングチャートであ
る。

【符号の説明】

１ガラス基板２透明電極３光導電体層４遮光膜５誘電体ミラー６光変調層７透明電極８ガラス基板９駆動用電源１０空間光変調素子１１書き込み光学系１２読み出し光学系１３ＬＥＤ素子１４ＬＥＤアレイ１５第１の書き込みレンズ１６ガルバノミラー装置１７第２の書き込みレンズ１８読み出し光源１９偏光ビームスプリッタ２０投影レンズ２１スクリーン２２コマンド信号発生回路２３制御回路２４スキャナ駆動回路２５センサ２６Ａ／Ｄ変換器２７Ａ／Ｄ変換器２８演算回路２９補正信号発生回路３０クロック発生回路３１映像信号処理回路３２ＬＥＤ駆動専用ＩＣ３３遅延量設定回路３４遅延回路３５クロック発生ＲＯＭ１１４ＬＥＤアレイ１１６ガルバノミラー装置１２３制御回路１２４スキャナ駆動回路１２５センサ１２６Ａ／Ｄ変換器１３１映像信号処理回路１３２ＬＥＤ駆動専用ＩＣ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多数の発光素子を直線状に配列して構成し
た発光素子アレイと、画像情報信号によりパルス幅変調された信号を個々の該
発光素子に供給して該発光素子アレイを駆動する発光素
子アレイ駆動回路と、該発光素子が配列された直線と直交する方向に該発光素
子アレイが放射する光束を偏向する揺動反射鏡と、該揺動反射鏡を所定角度の範囲で揺動せしめるアクチュ
エータと、該アクチュエータを駆動するアクチュエータ駆動回路
と、該アクチュエータ駆動回路を制御する制御回路と、該揺動反射鏡が位置すべき角度位置を指示するコマンド
信号を該制御回路に与えるコマンド信号発生回路と、該揺動反射鏡の揺動角度位置を検出して位置信号を出力
する検出手段と、該コマンド信号と該位置信号とを比較して差信号を出力
する比較手段と、該差信号と略逆特性の補正信号を発生する補正信号発生
手段と、該補正信号に基づいて該発光素子アレイ駆動回路に該パ
ルス幅変調された信号を供給するタイミングを制御する
タイミング制御手段とを具備してなる走査装置。
【請求項２】多数の発光素子を直線状に配列して構成し
た発光素子アレイと、画像情報信号によりパルス幅変調された信号を個々の該
発光素子に供給して該発光素子アレイを駆動する発光素
子アレイ駆動回路と、該発光素子が配列された直線と直交する方向に該発光素
子アレイが放射する光束を偏向する揺動反射鏡と、該揺動反射鏡を所定角度の範囲で揺動せしめるアクチュ
エータと、該アクチュエータを駆動するアクチュエータ駆動回路
と、該アクチュエータ駆動回路を制御する制御回路と、該揺動反射鏡の揺動角度位置を検出して位置信号を出力
する検出手段とを複数組有してなる走査装置において、該揺動反射鏡が位置すべき角度位置を指示する共通のコ
マンド信号を個々の該制御回路に与えるコマンド信号発
生回路と、該コマンド信号と個々の該検出手段にとって検出された
個々の該位置信号とを比較してそれぞれの差信号を出力
する比較手段と、該それぞれの差信号と略逆特性の補正信号をそれぞれ発
生する補正信号発生手段と、該それぞれの補正信号に基づいて個々の該発光素子アレ
イ駆動回路に該パルス幅変調された信号を供給するタイ
ミングを制御するタイミング制御手段とを具備してなる
走査装置。