JPH0878196A - 非蒸発型ゲッターポンプの支持構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＮＥＧストリップが真空チェンバの内壁に接
触することを防止する。 【構成】 間隔を隔てて対峙する両側部と該両側部に連
なる上下連結部とを有する中空構造の真空チェンバ本体
１３の内部に、該真空チェンバ本体１３の延長方向へ延
びるＮＥＧストリップ３３を幅方向に湾曲させて配置
し、該ＮＥＧストリップ３３の間隔を置いた複数の所要
箇所を支持し得るサポートアーム３２を設け、該サポー
トアーム３２をセラミック部材３１を介して真空チェン
バ本体１３に取り付けた構成とする。 【効果】 幅方向に湾曲させて配置したＮＥＧストリッ
プ３３の断面係数が増加し剛性が高められるので、ＮＥ
Ｇストリップ３３自体の昇温による湾曲が起こらない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、非蒸発型ゲッターポン
プの支持構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光速に近い速度で移動する電子がその進
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光と呼ばれる電磁波（光）を放出する。

【０００３】図５は放射光を発生させる手段の一例を示
すもので、１は線形加速装置（粒子加速器）であり、該
線形加速装置１は、電子（荷電粒子）ｅを移送させるた
めの直管状の加速ダクト２を有している。

【０００４】この加速ダクト２は、内部を超高真空に保
持できるように形成され、超高真空状態に保持された加
速ダクト２の内部を移動する電子ｅに高周波を付与して
電子ｅを加速する高周波加速装置３が設けられている。

【０００５】また、前記加速ダクト２の一端には、電子
銃などの電子発生装置４が設けられており、該電子発生
装置４により発生する電子ｅが加速ダクト２の中空部へ
向かって射出されるようになっている。

【０００６】さらに、前記加速ダクト２の他端には、湾
曲管状の偏向ダクト５の一端が接続されており、該偏向
ダクト５の湾曲部には、偏向電磁石６が設けられてい
る。

【０００７】而して、加速ダクト２から偏向ダクト５に
入射する電子ｅは、その進行方向を偏向電磁石６の磁場
により偏向ダクト５に沿って曲げられるようになってい
る。

【０００８】この偏向ダクト５の内部を移動する電子ｅ
は光速に近い速度にまでは加速されていないので、偏向
電磁石６の磁場によって進行方向を曲げられても放射光
を放出することはない。

【０００９】７はシンクロトロンであり、該シンクロト
ロン７は前記の電子ｅに円軌道を形成させるための円形
ダクト８を有しており、該円形ダクト８の所要箇所に
は、前記の偏向ダクト５の他端が接続されている。

【００１０】前記の円形ダクト８は、内部を超高真空に
保持できるようになっている。該円形ダクト８の湾曲部
には、偏向電磁石９が設けられており、偏向ダクト５か
ら超高真空に保持された円形ダクト８に入射する電子ｅ
は、その進行方向を偏向電磁石９の磁場により円形ダク
ト８に沿って曲げられて該円形ダクト８の内部を周回す
るようになっている。

【００１１】一方、円形ダクト８の所要箇所には、高周
波加速装置１０が設けられており、円形ダクト８の内部
を周回する電子ｅは、前記の高周波加速装置１０から高
周波を付与されて、光速に近い速度まで加速されるよう
になっている。

【００１２】さらに、円形ダクト８の所要の湾曲部に
は、該湾曲部において光速に近い速度で移動する電子ｅ
の進行方向が曲げられることにより放出される放射光ビ
ームＳを円形ダクト８の外部へ導くための直管状の水平
なビームチャンネル１１の一端が接続されている。

【００１３】１２は実験装置であり、該実験装置１２
は、前記のビームチャンネル１１の他端に接続されてい
る。

【００１４】この実験装置１２には、前記の円形ダクト
８からビームチャンネル１１へ射出される放射光ビーム
Ｓが導かれるようになっている。

【００１５】上記の円形ダクト８は、図６に示すような
断面を有する真空チェンバ本体１３を複数連結するよう
に構成されている。この真空チェンバ本体１３の内部に
は、電子ビームの進行方向へ延びるビーム室１４と、該
ビーム室１４に沿って延びるポンプ室１５と、前記のビ
ーム室１４とポンプ室１５とを連通するスロット部１６
とが設けられている。

【００１６】そして、前記のポンプ室１５の内部には、
ゲッターポンプを構成するＮＥＧ（Ｎｏｎ Ｅｖａｐｏ
ｒａｂｌｅ Ｇｅｔｔｅｒ）ストリップ１７が真空チェ
ンバ本体１３に対して電気的に絶縁された状態で支持さ
れている。

【００１７】図７ないし図９は真空チェンバ本体１３内
のＮＥＧストリップ１７の支持構造の一例の概略を示
し、この例では真空チェンバ本体１３のポンプ室１５の
内周の上下面に沿ってそれぞれ１列のＮＥＧストリップ
１７，１７を設けている。

【００１８】真空チェンバ本体１３のポンプ室１５の内
周上下面にポンプ室１５の長手方向へ延びる２本の溝１
８が形成されており、該溝１８に、アルミニウムなどの
帯板で作られ且つ長手方向に所定の間隔を置いて穿設さ
れた複数のねじ孔１９を有する帯板状のベースプレート
２０，２０がそれぞれ差し込まれて取り付けられてい
る。

【００１９】前記のベースプレート２０，２０には、ス
テンレス鋼などの薄帯板によって作られた複数のサポー
トアーム２１が前記のねじ孔１９に螺合し得る複数の固
定部材２２によって締め付けられて取り付けられてい
る。

【００２０】前記のサポートアーム２１は、コの字形に
折り曲げられ開き加減に形成された開放側の両端部が、
ポンプ室１５の内部に取り付けられたときに略水平とな
るように外側方向へそれぞれ折り曲げられ、さらに内側
へ折り返した形状に作られており、この内側へ折り曲げ
た両端部分にＮＥＧストリップ１７の幅方向の両側縁部
を挟み込むことによってＮＥＧストリップ１７を固定し
支持し得るように形成され、ベースプレート２０に接す
る底部の略中央部分に、前記固定部材２２のねじ部を挿
通し得る孔を有し、且つ該底部の上下両面にセラミック
部材２３を配置することによってベースプレート２０に
対して電気的に絶縁し得るように形成されている。

【００２１】ＮＥＧストリップ１７は、コンスタンタン
の薄板にジルコニウム、バナジウムなどのパウダーを圧
着させた幅が３０ｍｍ、厚さが０．２ｍｍ程度のリボン
状のものであり、このＮＥＧストリップ１７を４５０℃
程度に昇温させることによってジルコニウム、バナジウ
ムを活性化させると、該ジルコニウム、バナジウムが気
体分子を吸着するという性質を有している。

【００２２】真空チェンバ本体１３のポンプ室１５の内
部に前記のサポートアーム２１を介して張設された２本
のＮＥＧストリップ１７，１７は、常温下において、隣
接するサポートアーム２１の相互間でポンプ室１５の内
壁から離れる方向へ適宜の反りが付けられており、また
一方の端部が連結板２４により互いに連結され、他方の
端部においてそれぞれ連結板２５，２５及び電極固定具
２６，２６を介して電極２７，２８に接続されている。

【００２３】上記の真空チェンバ本体１３において、該
真空チェンバ本体１３の内部を減圧する際には、図示し
ていないターボポンプなどの機械的ポンプによってポン
プ室１５とスロット部１６とビーム室１４の内部を減圧
したうえ、電極２７，２８に電圧を印加して電極固定具
２６及び連結板２４，２５を介してＮＥＧストリップ１
７，１７に電流（７０〜９０Ａ程度）を流し、ＮＥＧス
トリップ１７，１７をジュール熱により４５０℃程度に
加熱する。

【００２４】ＮＥＧストリップ１７，１７を４５０℃程
度まで加熱し昇温させるとジルコニウム、バナジウムが
活性化され、該ジルコニウム、バナジウムが気体分子を
吸着して真空チェンバ本体１３の内部が１０^-9〜１０
^-10Ｔｏｒｒ程度の超高真空状態となる。

【００２５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
非蒸発型ゲッターポンプの支持構造では、真空チェンバ
本体１３内に配置したＮＥＧストリップ１７を昇温させ
た際に、該ＮＥＧストリップ１７が熱膨張により湾曲し
て真空チェンバ本体１３の内壁に接触したり、あるいは
ＮＥＧストリップ１７の湾曲部分が相互に接触し、電気
的にショートすることがある。

【００２６】本発明は、前述の実情に鑑み、ＮＥＧスト
リップを昇温させても該ＮＥＧストリップが湾曲しない
ように支持することにより、ＮＥＧストリップが真空チ
ェンバの内壁に接触することを防止し得る非蒸発型ゲッ
ターポンプの支持構造を提供することを目的としてなし
たものである。

【００２７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の非蒸発型ゲッターポンプの支持構造におい
ては、中空構造の真空チェンバ本体の内部に、該真空チ
ェンバ本体の延長方向へ延びるＮＥＧストリップを幅方
向に湾曲させて配置し、該ＮＥＧストリップの間隔を置
いた複数の所要箇所を支持し得る支持具を設け、該支持
具を電気的絶縁部材を介して真空チェンバ本体に取り付
けた構成とする。

【００２８】また、上述した構成に替えて、中空構造の
真空チェンバ本体の内部に、該真空チェンバ本体の延長
方向へ延びるＮＥＧストリップを配置し、該ＮＥＧスト
リップの間隔を置いた複数の所要箇所を支持し得られ且
つＮＥＧストリップ長手方向へ撓み得る弾性体により形
成した支持具を設け、該支持具を電気的絶縁部材を介し
て真空チェンバ本体に取り付けた構成とする。

【００２９】

【作用】ＮＥＧストリップを幅方向に湾曲させた構成と
した場合には、ＮＥＧストリップの断面係数が増加し剛
性が高められるので、ＮＥＧストリップ自体の昇温によ
る湾曲が起こらない。

【００３０】また、ＮＥＧストリップを弾性体により形
成した支持具で支持した場合には、支持具が昇温による
ＮＥＧストリップの伸びを吸収してＮＥＧストリップの
湾曲を防止する。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。

【００３２】図１及び図２は第１の発明の非蒸発型ゲッ
ターポンプの支持構造の一実施例の概略を表すものであ
る。

【００３３】本実施例では、図６或いは図８に示す従来
例と同様に、真空チェンバ本体１３のポンプ室１５の内
面にポンプ室１５の長手方向へ延びる溝１８が形成さ
れ、該溝１８に長手方向に所定の間隔を置いて穿設され
た複数のねじ孔１９を有し、該ねじ孔１９にベースプレ
ート２０が差し込まれて取り付けられており、また、前
記ベースプレート２０に設けたねじ孔１９に螺合し得る
ねじ部と円板状のフランジとよりなる複数の固定部材２
２が設けられている。

【００３４】さらに、コの字形に折り曲げられ開き加減
に形成されたサポートアーム本体２９の開放側の両先端
部をそれぞれ外側へ折り曲げてＶ字形に形成し、前記サ
ポートアーム本体２９の閉塞側の面の略中央部に前記の
固定部材２２のねじ部を挿通し得る孔３０を設け、且つ
該閉塞側のサポートアーム本体２９の上下両面にセラミ
ック部材３１を配置した複数のサポートアーム３２を形
成する。

【００３５】前記のベースプレート２０に設けたねじ孔
１９の位置に、前記のサポートアーム３２を、該サポー
トアーム３２の開放側の両先端部をベースプレート２０
の幅方向へ向け、且つセラミック部材３１で挟み込み、
前記の固定部材２２のねじ部をサポートアーム３２の孔
３０に挿し込み且つベースプレート２０のねじ孔１９に
ねじ込んで締め付けることにより、複数のサポートアー
ム３２をベースプレート２０上に固定する。

【００３６】而して、幅方向に湾曲させて幅方向断面が
山形となるように形成したＮＥＧストリップ３３の幅方
向の両側縁部を前記のサポートアーム３２の開放側の両
先端部のＶ字形の部分に載せ、該Ｖ字形部分を押圧して
ＮＥＧストリップ３３の両側縁部を挟み込むことによ
り、真空チェンバ本体１３のポンプ室１５の内部にＮＥ
Ｇストリップ３３を張設する。

【００３７】前記によれば、ＮＥＧストリップ３３を幅
方向に湾曲させて幅方向断面が山形となるように形成し
たので、ＮＥＧストリップ３３の断面係数が増加して剛
性が高められ、ＮＥＧストリップ３３自体の昇温による
湾曲を防止できるため、真空チェンバ本体１３内に配置
したＮＥＧストリップ３３を昇温させた際にも、該ＮＥ
Ｇストリップ３３が熱膨張により湾曲することなく伸
び、これにともないベースプレート２０も移動するの
で、ＮＥＧストリップ３３は真空チェンバ本体１３の内
壁に接触し電気的にショートすることがなくなる。

【００３８】図３及び図４は第２の発明の非蒸発型ゲッ
ターポンプの支持構造の一実施例の概略を表すものであ
る。図１と同じものには同じ符号を付すことにより説明
を省略する。

【００３９】本実施例では、所要の厚さを有する薄い帯
板状のばね材を折り曲げてＬ字型に形成したサポートア
ーム本体３４の水平部側の面中央部に固定部材２２のね
じ部を挿通し得る孔３５を設け、且つ該水平部側の両面
をセラミック部材３６で挟み、さらに、所定の幅を有す
る薄帯板を折り曲げてＵ字型に形成したＮＥＧストリッ
プ固定部材３７を、前記サポートアーム本体３４の垂直
部側の頂部の幅方向両端縁部に、ＮＥＧストリップ３８
の幅に適合する間隔を隔てて開放端部を内側に向けて相
対し且つサポートアーム本体３４の垂直部の厚さ方向に
Ｕ字型の間隙が向くように固着して成る複数のサポート
アーム３９を設ける。

【００４０】ベースプレート２０に設けたねじ孔１９の
位置に、前記のサポートアーム３９を、該サポートアー
ム３９のサポートアーム本体３４の垂直部側面がベース
プレート２０の長手方向へ向き、且つセラミック部材３
６を施したサポートアーム本体３４の水平部側の下面が
ベースプレート２０に当接するように配置し、前記の固
定部材２２のねじ部をサポートアーム本体３４の孔３５
に挿し込み且つベースプレート２０のねじ孔１９にねじ
込んで締め付けることにより、複数のサポートアーム３
９をベースプレート２０上に固定し、サポートアーム本
体３４の垂直部がベースプレート２０長手方向へ撓み得
るようにする。

【００４１】而して、ＮＥＧストリップ３８の幅方向の
両側縁部を前記のサポートアーム本体３４の頂部に設け
たＮＥＧストリップ固定部材３７のＵ字形の間隙に挿通
し、該ＮＥＧストリップ固定部材３７を押圧してＮＥＧ
ストリップ３８の両側縁部を挟み込むことにより、真空
チェンバ本体１３のポンプ室１５の内部にＮＥＧストリ
ップ３８を張設する。

【００４２】前記によれば、ＮＥＧストリップ３８の長
手方向へ自由に撓み得るばね材製のサポートアーム本体
３４を有するサポートアーム３９によりＮＥＧストリッ
プ３８を支持するように形成したので、ＮＥＧストリッ
プ３８自体の昇温による伸びをサポートアーム本体３４
がＮＥＧストリップ３８の長手方向へ撓むことによって
吸収しＮＥＧストリップ３８の湾曲を防止するため、真
空チェンバ本体１３内に配置したＮＥＧストリップ３８
を昇温させた際にも、該ＮＥＧストリップ３８が熱膨張
により湾曲して真空チェンバ本体１３の内壁に接触し電
気的にショートすることがなくなる。

【００４３】なお、本発明は前述の実施例にのみ限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内に
おいて種々変更を加え得ることは勿論である。

【００４４】

【発明の効果】本発明の非蒸発型ゲッターポンプの支持
構造によれば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し得
る。

【００４５】Ｉ）請求項１によれば、ＮＥＧストリップ
を幅方向に湾曲させて幅方向断面が山形となるように形
成したので、ＮＥＧストリップの断面係数が増加して剛
性が高められ、ＮＥＧストリップ自体の昇温による湾曲
を防止できる。

【００４６】ＩＩ）請求項２によれば、ＮＥＧストリッ
プを支持する弾性体よりなる支持具がＮＥＧストリップ
長手方向へ撓むことによってＮＥＧストリップの昇温に
よる伸びを吸収するので、ＮＥＧストリップの湾曲を防
止できる。

【００４７】ＩＩＩ）前記のＩ），ＩＩ）各項により、
真空チェンバ本体内に配置したＮＥＧストリップを昇温
させた際にも、該ＮＥＧストリップが真空チェンバ本体
の内壁に接触し電気的にショートする恐れがなくなるの
で、安全性が向上する。

【００４８】ＩＶ）さらに、従来の非蒸発型ゲッターポ
ンプの支持構造に比べて組立精度を落とし得るので、製
作が容易となり製作工数の削減を図り得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の発明の非蒸発型ゲッターポンプの支持構
造の一実施例の概略を表す断面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ矢視図である。

【図３】第２の発明の非蒸発型ゲッターポンプの支持構
造の一実施例の概略を表す断面図である。

【図４】図３のＩＶ−ＩＶ矢視図である。

【図５】放射光を発生させる手段の一例の概略を表す構
成図である。

【図６】図５に関連する従来の粒子加速器の真空チェン
バの一例の概略を表す断面図である。

【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視図である。

【図８】図６に関連するＮＥＧストリップの支持装置の
一例の概略を表す断面図である。

【図９】図８のＩＸ−ＩＸ矢視図である。

【符号の説明】

１３ 真空チェンバ本体 ３１ セラミック部材（電気的絶縁部材） ３２ サポートアーム（支持具） ３３ ＮＥＧストリップ ３６ セラミック部材（電気的絶縁部材） ３８ ＮＥＧストリップ ３９ サポートアーム（支持具）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中空構造の真空チェンバ本体の内部に、
   該真空チェンバ本体の延長方向へ延びるＮＥＧストリッ
   プを幅方向に湾曲させて配置し、該ＮＥＧストリップの
   間隔を置いた複数の所要箇所を支持し得る支持具を設
   け、該支持具を電気的絶縁部材を介して真空チェンバ本
   体に取り付けたことを特徴とする非蒸発型ゲッターポン
   プの支持構造。
2. 【請求項２】 中空構造の真空チェンバ本体の内部に、
   該真空チェンバ本体の延長方向へ延びるＮＥＧストリッ
   プを配置し、該ＮＥＧストリップの間隔を置いた複数の
   所要箇所を支持し得られ且つＮＥＧストリップ長手方向
   へ撓み得る弾性体により形成した支持具を設け、該支持
   具を電気的絶縁部材を介して真空チェンバ本体に取り付
   けたことを特徴とする非蒸発型ゲッターポンプの支持構
   造。