JPH0875834A - Manufacture of magnetic sensor - Google Patents
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- JPH0875834A JPH0875834A JP6235999A JP23599994A JPH0875834A JP H0875834 A JPH0875834 A JP H0875834A JP 6235999 A JP6235999 A JP 6235999A JP 23599994 A JP23599994 A JP 23599994A JP H0875834 A JPH0875834 A JP H0875834A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気センサの製造方法
に関する。より詳細には、本発明は、酸化物超電導薄膜
により形成されたＳＱＵＩＤと磁束トランスとを組み合
わせて構成される磁気センサを製造する際に、その仕様
を決定する新規な方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic sensor. More specifically, the present invention relates to a novel method for determining the specifications when manufacturing a magnetic sensor configured by combining an SQUID formed of an oxide superconducting thin film and a magnetic flux transformer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】酸化物超電導材料の開発は超電導技術の
実用化に大きく寄与することが期待されている。即ち、
酸化物超電導材料はその超電導臨界温度が高く、単に高
い温度で超電導現象を利用できるだけではなく、臨界温
度よりも充分に低い温度まで容易に冷却できるので超電
導現象を安定させた状態で使用できる等、多くの利点が
知られている。2. Description of the Related Art The development of oxide superconducting materials is expected to greatly contribute to the practical application of superconducting technology. That is,
Oxide superconducting material has a high superconducting critical temperature, and not only can the superconducting phenomenon be utilized at a high temperature, but it can be easily cooled to a temperature sufficiently lower than the critical temperature so that the superconducting phenomenon can be used in a stable state. Many advantages are known.
【０００３】一方、超電導現象を利用したデバイスとし
て最も基本的なもののひとつにＳＱＵＩＤがある。ＳＱ
ＵＩＤは、少なくともひとつの弱結合を含む環状の超電
導電流路により形成されており、自身の内部を通過する
磁束の変動により出力電圧が変化する。このようなＳＱ
ＵＩＤの特性を利用して極めて高感度な磁気センサが構
成できるので、酸化物超電導材料により形成されたＳＱ
ＵＩＤは多くの分野で実用化が期待されている。On the other hand, SQUID is one of the most basic devices utilizing the superconducting phenomenon. SQ
The UID is formed by an annular superconducting flow path including at least one weak coupling, and the output voltage changes due to fluctuations in the magnetic flux passing through itself. SQ like this
Since an extremely high-sensitivity magnetic sensor can be constructed by utilizing the characteristics of UID, SQ formed by an oxide superconducting material
UIDs are expected to be put to practical use in many fields.
【０００４】図２は、ＳＱＵＩＤを用いた磁気センサの
典型的な構成とその製造過程を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a typical structure of a magnetic sensor using the SQUID and its manufacturing process.
【０００５】図２(a) に示すように、磁気センサは、第
１基板11上に形成された弱結合１ａを含む超電導ループ
からなるＳＱＵＩＤ１と、第２基板12上に形成されたピ
ックアップコイル２ａおよびインプットコイル２ｂを含
む磁束トランス２とから構成されている。ここで、第２
基板12上の磁束トランス２では、ピックアップコイル２
ａの巻き数が１回であるのに対して、インプットコイル
２ｂは巻き数が多くなっている。このため、インプット
コイル２ｂの中心側をピックアップコイル２ａに接続す
る接続線路がインプットコイル２ｂ自身と短絡しないよ
うに、インプット２ａ上には部分的に絶縁膜３が形成さ
れている。As shown in FIG. 2 (a), the magnetic sensor includes a SQUID 1 formed of a superconducting loop including a weak coupling 1a formed on a first substrate 11 and a pickup coil 2a formed on a second substrate 12. And a magnetic flux transformer 2 including an input coil 2b. Where the second
In the magnetic flux transformer 2 on the substrate 12, the pickup coil 2
While the number of turns of a is 1, the number of turns of the input coil 2b is large. Therefore, the insulating film 3 is partially formed on the input 2a so that the connection line connecting the center side of the input coil 2b to the pickup coil 2a does not short-circuit with the input coil 2b itself.
【０００６】これらの部材は、図２(b) に示すように、
第１基板11および第２基板12を貼り合わせることにより
磁気センサとして完成する。このとき、ＳＱＵＩＤ１の
中心と、インプットトコイル２ｂの中心とが一致するよ
うに両者は貼り合わされ、磁界の検出はピックアップコ
イル２ａ側で行われる。なお、ＳＱＵＩＤと磁束トラン
スとは、絶縁性接着剤あるいは適当なスペーサにより相
互に絶縁されている。このような構成により、磁気セン
サとしての入力感度を調節することができるほか、物理
的なレイアウトの選択の範囲が広くなる。These members are, as shown in FIG. 2 (b),
The first substrate 11 and the second substrate 12 are bonded together to complete a magnetic sensor. At this time, the SQUID 1 and the input coil 2b are attached so that the center thereof coincides with the center of the input coil 2b, and the magnetic field is detected on the pickup coil 2a side. The SQUID and the magnetic flux transformer are insulated from each other by an insulating adhesive or a suitable spacer. With such a configuration, the input sensitivity of the magnetic sensor can be adjusted, and the range of physical layout selection can be widened.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上述のような磁気セン
サを作製する場合、使用するＳＱＵＩＤの特性とそれに
組み合わせる磁束トランスの特性とは相互に関係があ
り、両者を組み合わせて得られる磁気センサの性能は、
各構成要素単独の特性もさることながら、両者のマッチ
ングにより強く影響される。このため、ＳＱＵＩＤを用
いた磁気センサを作製する場合は、ＳＱＵＩＤ単独の特
性、例えばインダクタンスに合わせて磁束トランスのイ
ンプットコイルの仕様を決定する必要がある。When manufacturing the magnetic sensor as described above, the characteristics of the SQUID used and the characteristics of the magnetic flux transformer to be combined with each other are mutually related, and the performance of the magnetic sensor obtained by combining the two. Is
Not only the characteristics of each component alone, but also strongly influenced by the matching of both. Therefore, when manufacturing a magnetic sensor using SQUID, it is necessary to determine the specifications of the input coil of the magnetic flux transformer in accordance with the characteristics of SQUID alone, for example, the inductance.
【０００８】しかしながら、同じ仕様で作製されたＳＱ
ＵＩＤでも、実際に完成した各製品の特性は必ずしも一
定ではない。また、用途によっては磁気センサをマルチ
チャンネルで使用するために各ＳＱＵＩＤのインダクタ
ンスを意図的に変える場合もある。このために、ＳＱＵ
ＩＤを用いた磁気センサを製造する場合は、対応するＳ
ＱＵＩＤのインダクタンスに合わせて磁束トランスのイ
ンプットコイルの巻き数を個別に決定しなければならず
設計段階でも製造段階でも極めて効率が悪いという問題
がある。However, the SQ manufactured with the same specifications
Even in UID, the characteristics of each actually completed product are not always constant. Depending on the application, the inductance of each SQUID may be intentionally changed in order to use the magnetic sensor in multiple channels. Because of this, SQU
When manufacturing a magnetic sensor using an ID, the corresponding S
Since the number of turns of the input coil of the magnetic flux transformer must be individually determined according to the inductance of the QUID, there is a problem that the efficiency is extremely low in both the design stage and the manufacturing stage.
【０００９】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解決し、使用するＳＱＵＩＤに組み合わせる磁束トラ
ンスの仕様を容易且つ効率良く選択することができ、最
終的に磁気センサとしての高い性能を再現性良く発揮さ
せることができる新規な製造方法を提供することをその
目的としている。Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, allows the specifications of the magnetic flux transformer to be combined with the SQUID to be used to be selected easily and efficiently, and finally reproduces high performance as a magnetic sensor. It is an object of the present invention to provide a new production method that can be exhibited with good performance.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明に従うと、
ＳＱＵＩＤと該ＳＱＵＩＤと共通の磁界に配置されたイ
ンプットコイルを含む磁束トランスとを組み合わせてな
る磁気センサを製造する際に、種々の値のインダクタン
スを有する複数のＳＱＵＩＤに対して、該ＳＱＵＩＤの
各々の値について最適な巻き数のインプットコイルを備
えた磁束トランスを使用した場合に得られる有効磁束捕
獲面積に対して所定の割合の性能が得られるようなイン
プットコイルの特定の巻き数を選択し、該複数のＳＱＵ
ＩＤの何れに対しても該特定の巻き数のインプットコイ
ルを備えた磁束トランスを組み合わせるように設計する
ことを特徴とする製造方法が提供される。That is, according to the present invention,
When manufacturing a magnetic sensor comprising a combination of a SQUID and a magnetic flux transformer including an input coil arranged in a common magnetic field with the SQUID, a plurality of SQUIDs having various inductances are used for each of the SQUIDs. For the value, a specific number of turns of the input coil is selected such that a predetermined ratio of performance is obtained with respect to an effective magnetic flux trapping area obtained when a flux transformer having an input coil with an optimum number of turns is used. Multiple SQUs
A manufacturing method is provided, which is characterized in that a design is made so that a magnetic flux transformer having an input coil of the specific number of turns is combined with any of the IDs.
【００１１】[0011]
【作用】従来の磁気センサの製造方法では、使用するＳ
ＱＵＩＤ毎に、そのインダクタンスに応じてひとつずつ
最適値なインプットコイルの巻き数を算出して磁束トラ
ンスを作製しなければならなかった。これに対して、本
発明に係る方法では、特定のＳＱＵＩＤに対する最適値
ではなく、一定の範囲の値のインダクタンスを有するＳ
ＱＵＩＤに対して充分なマッチングがとれるようなイン
プットコイルの巻き数を決定して磁束トランスを作製す
る点に主要な特徴がある。In the conventional magnetic sensor manufacturing method, the S
The magnetic flux transformer had to be manufactured by calculating the optimum number of turns of the input coil one by one according to the inductance of each QUID. On the other hand, in the method according to the present invention, S having an inductance in a certain range of values rather than the optimum value for a particular SQUID is used.
The main feature is that the number of turns of the input coil is determined so that a sufficient matching can be obtained with the QUID and the magnetic flux transformer is manufactured.
【００１２】以下、実施例を挙げて本発明をより具体的
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the following disclosure is merely an example of the present invention and does not limit the technical scope of the present invention.
【００１３】[0013]
【実施例】ＳＱＵＩＤを用いた磁気センサの性能を評価
するための代表的な評価項目として磁場分解能が挙げら
れる。磁場分解能は、使用したＳＱＵＩＤの磁束分解能
を有効磁束捕獲面積Ａeff で割ることにより得られ、Ｓ
ＱＵＩＤに磁束トランスを組み合わせることは有効磁束
捕獲面積Ａeff を大きくすることができることを意味し
ている。従って、例えば、一定の磁束分解能を有するＳ
ＱＵＩＤを使用して磁気センサを設計する場合、有効磁
束捕獲面積Ａeff が大きくなるように磁束トランスの仕
様を決定する必要がある。EXAMPLE A magnetic field resolution is a typical evaluation item for evaluating the performance of a magnetic sensor using SQUID. The magnetic field resolution is obtained by dividing the magnetic flux resolution of the SQUID used by the effective magnetic flux capture area A eff , S
Combining the magnetic flux transformer with the QUID means that the effective magnetic flux trap area A eff can be increased. Therefore, for example, S having a constant magnetic flux resolution
When designing the magnetic sensor using the QUID, it is necessary to determine the specifications of the magnetic flux transformer so that the effective magnetic flux trap area A eff is large.
【００１４】磁気センサにおける有効磁束捕獲面積Ａ
eff は、下記の〔式１〕により表すことができる。Effective magnetic flux trapping area A in the magnetic sensor
eff can be represented by the following [Formula 1].
【００１５】[0015]
【式１】Ａeff ＝ＡS ＋Ａp 〔α（Ｌi ・ＬS ）1/2 〕
／（Ｌi ＋Ｌp ） 但し、上記〔式１〕において、Ａeff は磁気センサの有
効磁束捕獲面積、ＡSはＳＱＵＩＤ単体での有効磁束捕
獲面積、Ａp はピックアップコイルの磁場検出面積、Ｌ
i 、ＬS およびＬp は、インプットコイル、ＳＱＵＩＤ
およびピックアップコイルの各インダクタンスをそれぞ
れ示す。[Equation 1] A eff = A S + A p [α (L i · L S ) 1/2 ]
/ (L i + L p ) However, in the above [Formula 1], A eff is the effective magnetic flux capture area of the magnetic sensor, A S is the effective magnetic flux capture area of the SQUID alone, A p is the magnetic field detection area of the pickup coil, L
i , L S and L p are input coils, SQUID
And the respective inductances of the pickup coil are shown respectively.
【００１６】ここで、〔式１〕において、ピックアップ
コイルの磁場検出面積Ａp に対して非常に小さいＳＱＵ
ＩＤ単体の有効磁束捕獲面積ＡS は無視し、インプット
コイルとＳＱＵＩＤとの結合係数αが理想的な状態（α
＝１）であると考え、更に、ある磁気センサにおいて、
ＳＱＵＩＤのインダクタンスＬS 、ＳＱＵＩＤ単体の磁
束捕獲面積ＡS 、ピックアップコイルのインダクタンス
Ｌp およびピックアップコイルの磁場検出面積Ａp が一
定であるとすると、インプットコイルとピックアップコ
イルの各インダクタンスが互いに等しいとき（Ｌi ＝Ｌ
p ）に有効磁束捕獲面積Ａeff が最大になる。今、イン
プットコイルの巻き数ｎに対してＬi ＝ｎ2 ＬS という
関係から、インプットコイルの最適な巻き数ｎは下記の
〔式２〕で表すことができる。Here, in [Equation 1], the SQU is very small with respect to the magnetic field detection area A p of the pickup coil.
The effective magnetic flux capture area A S of the ID alone is ignored, and the coupling coefficient α between the input coil and the SQUID is ideal (α
= 1), and further in a certain magnetic sensor,
If the inductance L S of the SQUID, the magnetic flux trapping area A S of the SQUID alone, the inductance L p of the pickup coil and the magnetic field detection area A p of the pickup coil are constant, when the respective inductances of the input coil and the pickup coil are equal to each other ( L i = L
The effective magnetic flux capture area A eff is maximized at p ). From the relationship of L i = n 2 L S with respect to the number n of turns of the input coil, the optimum number n of turns of the input coil can be expressed by the following [Equation 2].
【００１７】[0017]
【式２】ｎ＝（Ｌp ／ＬS ）1/2 [Formula 2] n = (L p / L S ) 1/2
【００１８】そこで、従来の方法で磁気センサを設計す
る場合は、使用するＳＱＵＩＤのインダクタンスに応じ
て、最終的に得られる磁気センサの有効磁束捕獲面積Ａ
effが最も大きくなるようなインプットトランスの巻き
数ｎを決定していた。但し、この方法では、複数のＳＱ
ＵＩＤに対しては、それぞれのＳＱＵＩＤのインダクタ
ンスに合わせて最適のインプットコイルの巻き数を決定
する必要があった。Therefore, when the magnetic sensor is designed by the conventional method, the effective magnetic flux trapping area A of the magnetic sensor finally obtained is determined according to the inductance of the SQUID used.
The number n of turns of the input transformer was determined so that eff would be the largest. However, in this method, multiple SQs
For the UID, it was necessary to determine the optimum number of turns of the input coil according to the inductance of each SQUID.
【００１９】これに対して、本発明に係る製造方法によ
れば、特定のＳＱＵＩＤに対して最適なインプットコイ
ルの巻き数を選択するのではなく、ＳＱＵＩＤのインダ
クタンスについて一定の範囲を想定し、その範囲内で、
最適な巻き数のインプットコイルを有する磁束トランス
を使用した場合に対して一定の範囲以上の性能が常に得
られるような磁束トランスのインプットコイルの巻き数
を選択する。On the other hand, according to the manufacturing method of the present invention, the optimum number of turns of the input coil is not selected for a specific SQUID, but a certain range is assumed for the inductance of the SQUID. within,
The number of turns of the input coil of the magnetic flux transformer is selected so that the performance over a certain range can always be obtained as compared with the case of using the magnetic flux transformer having the input coil of the optimum number of turns.
【００２０】即ち、例えば、前記した〔式１〕におい
て、Ａeff の最大値に対して85％以上の有効磁束捕獲面
積Ａeff を得るためには、下記の式〔式３〕を満足する
ようなｎを捜せばよい。That is, for example, in order to obtain an effective magnetic flux trap area A eff of 85% or more with respect to the maximum value of A eff in the above-mentioned [Equation 1], the following Equation [Equation 3] should be satisfied. You just have to search for n.
【００２１】[0021]
【式３】Ａp 〔ｎＬS ／（ｎ2 ＬS ＋Ｌp ）〕≧0.85Ａ
p ／〔２（Ｌp ／ＬS ）1/2 〕[Formula 3] A p [nL S / (n 2 L S + L p )] ≧ 0.85A
p / [2 (L p / L S ) 1/2 ]
【００２２】即ち、下記の〔式４〕を解けばよい。That is, it is sufficient to solve the following [formula 4].
【００２３】[0023]
【式４】ＬS ｎ2 −〔（１／0.85）｛２（Ｌp ／ＬS ）
1/2 ｝ＬS 〕ｎ＋Ｌp ≦０[Formula 4] L S n 2 − [(1 / 0.85) {2 (L p / L S )
1/2 } L S ] n + L p ≦ 0
【００２４】尚、Ｙ1Ba2Cu3Ｏ7-x なる組成を有する酸
化物超電導薄膜によりＳＱＵＩＤを作製する場合、イン
ダクタンスが20ｐＨよりも低いものを作製することは酸
化物超電導薄膜に対するパターニング技術の限界等から
難しい。一方、インダクタンスが 100ｐＨを越えると77
Ｋで動作させたときのＳＱＵＩＤの出力電圧ＶPPが低下
して結局は磁束分解能が低下してしまう。従って、実際
に使用できるＳＱＵＩＤのインダクタンスは20〜100 ｐ
Ｈの範囲内となる。When an SQUID is made of an oxide superconducting thin film having a composition of Y 1 Ba 2 Cu 3 O 7-x, it is a patterning technique for an oxide superconducting thin film that an inductance is lower than 20 pH. Difficult due to limitations etc. On the other hand, if the inductance exceeds 100 pH, 77
When operated at K, the output voltage V PP of the SQUID lowers and eventually the magnetic flux resolution lowers. Therefore, the inductance of SQUID that can be actually used is 20 to 100 p
It is within the range of H.
【００２５】図１は、磁気センサにおける磁束トランス
のインプットコイルの巻き数と有効磁束捕獲面積Ａeff
との関係を、20、40、60、80および100 ｐＨのインダク
タンスを有するＳＱＵＩＤについて併せて示すグラフで
ある。尚、図１では、ピックアップコイルのインダクタ
ンスは23ｎＨ、ピックアップコイルの磁場検出面積は24
0mm2 としている。このグラフから有効磁束捕獲面積Ａ
eff が最適値の85％以上になる巻き数を読み取るか〔式
４〕を計算することにより下記の表１に示すような値が
得られる。FIG. 1 shows the number of turns of the input coil of the magnetic flux transformer in the magnetic sensor and the effective magnetic flux trapping area A eff.
FIG. 5 is a graph showing the relationship with the relationship for SQUIDs having inductances of 20, 40, 60, 80 and 100 pH. In FIG. 1, the pickup coil has an inductance of 23 nH and the pickup coil has a magnetic field detection area of 24 nH.
It is set to 0 mm 2 . From this graph, the effective magnetic flux capture area A
The values shown in Table 1 below can be obtained by reading the number of turns at which eff is 85% or more of the optimum value or by calculating [Equation 4].
【００２６】[0026]
【表１】 [Table 1]
【００２７】即ち、上記表１から、インプットコイルの
巻き数を19〜27とすれば、20ｐＨから 100ｐＨのインダ
クタンスを有するＳＱＵＩＤに対して、最適値の85％以
上の有効磁束捕獲面積が得られるということが判る。そ
こで、本実施例では、インプットコイルの巻き数として
20回を選択し、 240mm2 の磁場検出面積Ａp と23ｎＨの
インダクタンスＬp とを有するピックアップコイルと組
み合わせた磁束トランスを設計して、前記した種々のイ
ンダクタンスを有するＳＱＵＩＤに組み合わせて磁気セ
ンサを構成した。それぞれの組合せにより得られる磁気
センサの有効磁束捕獲面積Ａeff の計算値を、各ＳＱＵ
ＩＤに対する最適値で設計した磁束トランスを使用した
磁気センサの有効磁束捕獲面積Ａeff の計算値と比較し
て表２に示す。That is, from Table 1 above, it is said that if the number of turns of the input coil is 19 to 27, an effective magnetic flux trapping area of 85% or more of the optimum value can be obtained for SQUID having an inductance of 20 pH to 100 pH. I understand. Therefore, in this embodiment, as the number of turns of the input coil,
A magnetic flux transformer was designed by selecting 20 times and combining it with a pickup coil having a magnetic field detection area A p of 240 mm 2 and an inductance L p of 23 nH and combining it with the SQUID having the various inductances described above to form a magnetic sensor. did. The calculated value of the effective magnetic flux capture area A eff of the magnetic sensor obtained by each combination is calculated as SQU.
Table 2 shows a comparison with the calculated value of the effective magnetic flux trap area A eff of the magnetic sensor using the magnetic flux transformer designed with the optimum value for ID.
【００２８】[0028]
【表２】 [Table 2]
【００２９】表２に示す結果から明らかなように、巻き
数を20としたインプットコイルを備えた磁束トランス
は、20〜100 ｐＨのインダクタンスを有するＳＱＵＩＤ
に対しても最適値で設定した磁束トランスを使用した場
合に比較して87％以上の有効磁束捕獲面積Ａeff が実現
される。このように、本発明によれば、単一の仕様の磁
束トランスを用いているにもかかわらず大きな有効磁束
捕獲面積を有する複数の磁気センサが得られる。As is clear from the results shown in Table 2, the magnetic flux transformer provided with the input coil having 20 turns has a SQUID having an inductance of 20 to 100 pH.
As for the above, an effective magnetic flux trap area A eff of 87% or more is realized as compared with the case of using the magnetic flux transformer set to the optimum value. As described above, according to the present invention, a plurality of magnetic sensors having a large effective magnetic flux trapping area can be obtained even though the magnetic flux transformer having a single specification is used.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る磁気センサの製造方法によれば、単一の仕様の磁束ト
ランスを使用しながら、様々なインダクタンス値を有す
るＳＱＵＩＤを用いて特性の良好な磁気センサを製造す
ることが可能になる。As described in detail above, according to the method of manufacturing a magnetic sensor of the present invention, while using a magnetic flux transformer having a single specification, SQUIDs having various inductance values can be used to obtain characteristics. It becomes possible to manufacture a good magnetic sensor.
【００３１】また、マルチチャンネルシステムにおいて
ＳＱＵＩＤのインダクタンスを変えてある場合でも、一
定の仕様の磁束トランスで対応できる。Further, even if the SQUID inductance is changed in the multi-channel system, a magnetic flux transformer having a fixed specification can be used.
【図１】磁気センサにおける磁束トランスのインプット
コイルの巻き数ｎと、磁気センサの有効磁束捕獲面積Ａ
eff との関係を、種々のインダクタンスを有するＳＱＵ
ＩＤについて計算した結果を示すグラフである。FIG. 1 is the number of turns n of an input coil of a magnetic flux transformer in a magnetic sensor and an effective magnetic flux trap area A of the magnetic sensor.
The relation with eff is SQU with various inductances.
It is a graph which shows the result calculated about ID.
【図２】ＳＱＵＩＤを用いた磁気センサの一般的な構成
とその製造過程とを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a general configuration of a magnetic sensor using SQUID and a manufacturing process thereof.
１・・・ＳＱＵＩＤ、 １ａ・・弱結合、 ２・・・磁束トランス、 ２ａ・・ピックアップコイル、 ２ｂ・・インプットコイル、 ３・・・絶縁膜、 11・・・第１基板、 12・・・第２基板 1 ... SQUID, 1a ... weak coupling, 2 ... flux transformer, 2a..pickup coil, 2b..input coil, 3 ... insulating film, 11 ... first substrate, 12 ... Second substrate
Claims (3)
配置されたインプットコイルを含む磁束トランスとを組
み合わせてなる磁気センサを製造する際に、 種々の値のインダクタンスを有する複数のＳＱＵＩＤに
対して、該ＳＱＵＩＤの各々の値について最適な巻き数
のインプットコイルを備えた磁束トランスを使用した場
合に得られる有効磁束捕獲面積に対して所定の割合の性
能が得られるようなインプットコイルの巻き数を選択
し、 該複数のＳＱＵＩＤの何れに対しても上記選択した巻き
数のインプットコイルを備えた磁束トランスを組み合わ
せることを特徴とする製造方法。1. When manufacturing a magnetic sensor comprising a combination of a SQUID and a magnetic flux transformer including an input coil arranged in a common magnetic field with the SQUID, a plurality of SQUIDs having various inductances are provided. For each value of the SQUID, select the number of turns of the input coil so that a predetermined ratio of performance is obtained with respect to the effective magnetic flux trapping area obtained when using the flux transformer having the input coil with the optimum number of turns. A magnetic flux transformer having an input coil with the selected number of turns is combined with any of the plurality of SQUIDs.
前記ＳＱＵＩＤおよび前記磁気トランスが、Ｙ1Ba2Cu3
Ｏ7-x なる組成の複合酸化物超電導薄膜により形成され
ていることを特徴とする製造方法。2. The manufacturing method according to claim 1, wherein
The SQUID and the magnetic transformer are Y 1 Ba 2 Cu 3
A method for producing a composite oxide superconducting thin film having a composition of O 7-x .
20〜100 ｐＨの範囲のインダクタンスを有する複数のＳ
ＱＵＩＤに対して、各ＳＱＵＩＤに対応した最適仕様の
磁束トランスを使用した場合の有効磁束捕獲面積の85％
以上が常に得られるような磁束トランスの巻き数を選択
することを特徴とする製造方法。3. The manufacturing method according to claim 2,
Multiple S with inductance in the range of 20-100 pH
85% of the effective magnetic flux capture area when using the magnetic flux transformer of the optimum specifications corresponding to each SQUID for the QUID
A manufacturing method characterized in that the number of turns of the magnetic flux transformer is selected so that the above is always obtained.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23599994A JP3351122B2 (en) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | Manufacturing method of magnetic sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23599994A JP3351122B2 (en) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | Manufacturing method of magnetic sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875834A true JPH0875834A (en) | 1996-03-22 |
| JP3351122B2 JP3351122B2 (en) | 2002-11-25 |
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1994
- 1994-09-05 JP JP23599994A patent/JP3351122B2/en not_active Expired - Fee Related
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