JPH0875757A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
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- JPH0875757A JPH0875757A JP6208973A JP20897394A JPH0875757A JP H0875757 A JPH0875757 A JP H0875757A JP 6208973 A JP6208973 A JP 6208973A JP 20897394 A JP20897394 A JP 20897394A JP H0875757 A JPH0875757 A JP H0875757A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】走査型プローブ顕微鏡で、プローブ６を保持す
るプローブホルダ７とスキャナ３をユニット化し、該ユ
ニットを本体フレームに着脱可能に取り付けた（第１発
明）。第２発明は、更にプローブを走査するスキャナと
これを駆動するコントローラ１１を結ぶ信号ケーブルを
コネクタ１０を介してスキャナケーブル９ａと本体ケー
ブル９ｂに分け、前者側をユニット化し、後者側を本体
フレームに取り付た。 【効果】第１発明では、観察者がプローブを交換しても
プローブホルダとスキャナ位置関係がずれない。第２発
明では、それに加え、観察者がプローブを交換したとき
に、コネクタの接続を忘れることがない。
るプローブホルダ７とスキャナ３をユニット化し、該ユ
ニットを本体フレームに着脱可能に取り付けた（第１発
明）。第２発明は、更にプローブを走査するスキャナと
これを駆動するコントローラ１１を結ぶ信号ケーブルを
コネクタ１０を介してスキャナケーブル９ａと本体ケー
ブル９ｂに分け、前者側をユニット化し、後者側を本体
フレームに取り付た。 【効果】第１発明では、観察者がプローブを交換しても
プローブホルダとスキャナ位置関係がずれない。第２発
明では、それに加え、観察者がプローブを交換したとき
に、コネクタの接続を忘れることがない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型プローブ顕微鏡
及びそれの構成部品であるユニットに関するものであ
る。
及びそれの構成部品であるユニットに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】通常の光学顕微鏡は、試料を対物レン
ズ、接眼レンズを通して拡大し、そのまま２次元画像と
して観察する。それに対して、走査型プローブ顕微鏡
は、プローブ（探針）によって試料の一地点の情報を検
知する。この場合、プローブを介して先に試料にエネル
ギーを与えることもある。一つの地点の情報を検知した
ら、次にスキャナでプローブを微小距離動かして、次の
地点の情報を検知する。以下、この動作を繰り返し、試
料の多点の情報を検知する。その上で、各点での情報を
マップ化することにより、試料の２次元画像又は３次元
画像を得る。
ズ、接眼レンズを通して拡大し、そのまま２次元画像と
して観察する。それに対して、走査型プローブ顕微鏡
は、プローブ（探針）によって試料の一地点の情報を検
知する。この場合、プローブを介して先に試料にエネル
ギーを与えることもある。一つの地点の情報を検知した
ら、次にスキャナでプローブを微小距離動かして、次の
地点の情報を検知する。以下、この動作を繰り返し、試
料の多点の情報を検知する。その上で、各点での情報を
マップ化することにより、試料の２次元画像又は３次元
画像を得る。
【０００３】情報としては、光学的な情報、例えば、吸
収、透過、反射、発光、エバネッセント波などに限ら
ず、高さ、原子間力、静電容量、フォトンエコー、音波
などがある。 これらの情報の種類に応じて、顕微鏡
は、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）、原子間力顕微鏡
（ＡＦＭ）、ニヤフィールド顕微鏡（ＮＦＭ）などと呼
ばれる。
収、透過、反射、発光、エバネッセント波などに限ら
ず、高さ、原子間力、静電容量、フォトンエコー、音波
などがある。 これらの情報の種類に応じて、顕微鏡
は、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）、原子間力顕微鏡
（ＡＦＭ）、ニヤフィールド顕微鏡（ＮＦＭ）などと呼
ばれる。
【０００４】従って、これらの走査型プローブ顕微鏡
は、主として、プローブ、該プローブを保持するプロー
ブホルダ、該プローブホルダを介して前記プローブを保
持し、かつ、前記プローブをして試料表面を走査させる
スキャナ、該スキャナを駆動するコントローラ、該コン
トローラと前記スキャナを結ぶ信号ケーブル（以下、単
にケーブルと言う）、前記スキャナを取り付けた本体フ
レーム、及び前記プローブを介して試料の情報を検出す
る検出系からなる。
は、主として、プローブ、該プローブを保持するプロー
ブホルダ、該プローブホルダを介して前記プローブを保
持し、かつ、前記プローブをして試料表面を走査させる
スキャナ、該スキャナを駆動するコントローラ、該コン
トローラと前記スキャナを結ぶ信号ケーブル（以下、単
にケーブルと言う）、前記スキャナを取り付けた本体フ
レーム、及び前記プローブを介して試料の情報を検出す
る検出系からなる。
【０００５】スキャナの一般的なものは圧電素子を使っ
た駆動系であり、一般にＸ、Ｙ、Ｚ方向に走査すること
ができる。そのため、スキャナを駆動するコントローラ
（電気系）及び両者の間をつなぐケーブル（電気配線）
が必要になる。スキャナは、走査範囲が限られるので、
試料の大きさに応じて交換される。得たい情報によって
プローブ、スキャナの一方又は両方が交換される。交換
のため、ケーブルはコネクタによって分断されており、
スキャナ側をスキャナケーブル、コントローラ側を本体
ケーブルと呼ぶ。コネクタはコネクタＡ、Ｂ（それぞれ
半部材）に２分でき、両者を接続（コネクト）すると、
スキャナケーブルと本体ケーブルは導通し、分離すると
絶縁となる。接続、分離は、人手により容易に繰り返し
実行できる。
た駆動系であり、一般にＸ、Ｙ、Ｚ方向に走査すること
ができる。そのため、スキャナを駆動するコントローラ
（電気系）及び両者の間をつなぐケーブル（電気配線）
が必要になる。スキャナは、走査範囲が限られるので、
試料の大きさに応じて交換される。得たい情報によって
プローブ、スキャナの一方又は両方が交換される。交換
のため、ケーブルはコネクタによって分断されており、
スキャナ側をスキャナケーブル、コントローラ側を本体
ケーブルと呼ぶ。コネクタはコネクタＡ、Ｂ（それぞれ
半部材）に２分でき、両者を接続（コネクト）すると、
スキャナケーブルと本体ケーブルは導通し、分離すると
絶縁となる。接続、分離は、人手により容易に繰り返し
実行できる。
【０００６】走査する場合、プローブを固定しておい
て試料を動かすタイプと試料を固定しておいてプロー
ブを動かすタイプとの２種ある。今のところ前者が普
及している。図５は、従来の後者に当たるＡＦＭの主
な構成を示す。これは、プローブ６（板バネ）、プロー
ブホルダ７、該プローブホルダを取り付けたスキャナ
３、該スキャナを駆動するコントローラ１１、該コント
ローラと前記スキャナを結ぶケーブル（９ａ、９ｂ）、
前記スキャナを取り付けた本体フレーム（８ａ〜８ｄ）
及び検出系からなる。本体フレームは、分解すると、水
平台８ａ、これを貫いて上に突き抜けたネジ８ｂ、この
ネジの上に乗った垂直部８ｃ、垂直部に支持された水平
な架台８ｄからなり、スキャナ３は架台８ｄに固定さ
れ、そこから懸垂している。ネジ８ｂを回すことによっ
て、架台８ｄを上下に微動させることができる。
て試料を動かすタイプと試料を固定しておいてプロー
ブを動かすタイプとの２種ある。今のところ前者が普
及している。図５は、従来の後者に当たるＡＦＭの主
な構成を示す。これは、プローブ６（板バネ）、プロー
ブホルダ７、該プローブホルダを取り付けたスキャナ
３、該スキャナを駆動するコントローラ１１、該コント
ローラと前記スキャナを結ぶケーブル（９ａ、９ｂ）、
前記スキャナを取り付けた本体フレーム（８ａ〜８ｄ）
及び検出系からなる。本体フレームは、分解すると、水
平台８ａ、これを貫いて上に突き抜けたネジ８ｂ、この
ネジの上に乗った垂直部８ｃ、垂直部に支持された水平
な架台８ｄからなり、スキャナ３は架台８ｄに固定さ
れ、そこから懸垂している。ネジ８ｂを回すことによっ
て、架台８ｄを上下に微動させることができる。
【０００７】ケーブルは、コネクタ１０を介してスキャ
ナケーブル９ａと本体ケーブル９ｂに分かれている。コ
ネクタ１０は、半部材Ａ（オス型またはメス型のいずれ
か一方）と半部材Ｂ（オス型又はメス型のいずれか他
方）からなり、半部材Ａはスキャナケーブル９ａの一端
に取り付けられ、半部材Ｂは本体ケーブル９ｂの一端に
取り付けられる。半部材Ａ、半部材Ｂの一方を手で持ち
他方に差し込むことにより接続し、その結果、ケーブル
は導通する。手で一方を持ち他方から分離するとにより
分離し、その結果、ケーブルは断線する。
ナケーブル９ａと本体ケーブル９ｂに分かれている。コ
ネクタ１０は、半部材Ａ（オス型またはメス型のいずれ
か一方）と半部材Ｂ（オス型又はメス型のいずれか他
方）からなり、半部材Ａはスキャナケーブル９ａの一端
に取り付けられ、半部材Ｂは本体ケーブル９ｂの一端に
取り付けられる。半部材Ａ、半部材Ｂの一方を手で持ち
他方に差し込むことにより接続し、その結果、ケーブル
は導通する。手で一方を持ち他方から分離するとにより
分離し、その結果、ケーブルは断線する。
【０００８】試料１は試料ステージ２の上に載せられ
る。その上でネジ８ｂを回すことによってスキャナ３及
びその下端に取り付けられたプローブ６を下げ、プロー
ブ６を試料１に触れさせる。次にコントローラ１１によ
ってプローブ６をＸＹ方向に走査する。プローブ６の先
端は、試料１との間に原子間力が働いて所定の反発力又
は吸引力を受ける。この反発力又は吸引力をどの地点で
も常に一定になるようにプローブ６をＺ方向に動かす。
このＺ位置はＸ位置Ｙ位置と共にコントローラ１１によ
って数値として読み取られ、メモリーされる。 メモリ
ーされた数値は、別途コンピュータでマップ化され、プ
ロッターによって観察画像として出力される。
る。その上でネジ８ｂを回すことによってスキャナ３及
びその下端に取り付けられたプローブ６を下げ、プロー
ブ６を試料１に触れさせる。次にコントローラ１１によ
ってプローブ６をＸＹ方向に走査する。プローブ６の先
端は、試料１との間に原子間力が働いて所定の反発力又
は吸引力を受ける。この反発力又は吸引力をどの地点で
も常に一定になるようにプローブ６をＺ方向に動かす。
このＺ位置はＸ位置Ｙ位置と共にコントローラ１１によ
って数値として読み取られ、メモリーされる。 メモリ
ーされた数値は、別途コンピュータでマップ化され、プ
ロッターによって観察画像として出力される。
【０００９】所定の反発力又は吸引力を受けているか否
かは、プローブ６の撓み具合によって判る。光源１２ａ
からの光をプローブ６に照射し、そこで反射された光を
検出器１２ｂで受光する。プローブ６の撓み具合によっ
て受光位置が異なるので、プローブ６が所定の反発力又
は吸引力を受けているか否かが判る。検出系は、ここで
は光源１２ａ、検出器１２ｂ及びコントローラ１１の一
部からなる。
かは、プローブ６の撓み具合によって判る。光源１２ａ
からの光をプローブ６に照射し、そこで反射された光を
検出器１２ｂで受光する。プローブ６の撓み具合によっ
て受光位置が異なるので、プローブ６が所定の反発力又
は吸引力を受けているか否かが判る。検出系は、ここで
は光源１２ａ、検出器１２ｂ及びコントローラ１１の一
部からなる。
【００１０】プローブ６はプローブホルダ７に対し交換
可能に取り付けられている。ＳＴＭ用の交換可能なプロ
ーブに関しては、例えば、特開平５−40,006号を参照さ
れたい。交換する場合、まず、コネクタＡ、Ｂの接続を
外す。これによりケーブルはスキャナケーブル９ａと本
体ケーブル９ｂが断線する。次いで、スキャナ３を架台
８ｄから外す。スキャナ３とプローブホルダ７は別体で
あるので、プローブホルダ７をスキャナ３から外し、そ
れから、プローブ６をプローブホルダ７から外す。プロ
ーブ６を交換後、逆の順に取り付ける。プローブ６はど
んな情報を検知したいか、その希望によって種類を変え
る必要がある。
可能に取り付けられている。ＳＴＭ用の交換可能なプロ
ーブに関しては、例えば、特開平５−40,006号を参照さ
れたい。交換する場合、まず、コネクタＡ、Ｂの接続を
外す。これによりケーブルはスキャナケーブル９ａと本
体ケーブル９ｂが断線する。次いで、スキャナ３を架台
８ｄから外す。スキャナ３とプローブホルダ７は別体で
あるので、プローブホルダ７をスキャナ３から外し、そ
れから、プローブ６をプローブホルダ７から外す。プロ
ーブ６を交換後、逆の順に取り付ける。プローブ６はど
んな情報を検知したいか、その希望によって種類を変え
る必要がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来、観察者がプロー
ブを交換すると、鮮明な画像が得られないと言う第１の
問題点があった。本発明の第１は、第１の問題点を解決
することを目的とする。また、スキャナ３とコネクタ１
０が無関係であるので、スキャナ３を交換したとき、コ
ネクタの接続を忘れると言う第２の問題点があった。
ブを交換すると、鮮明な画像が得られないと言う第１の
問題点があった。本発明の第１は、第１の問題点を解決
することを目的とする。また、スキャナ３とコネクタ１
０が無関係であるので、スキャナ３を交換したとき、コ
ネクタの接続を忘れると言う第２の問題点があった。
【００１２】本発明の第２は、第２の問題点を解決する
ことを目的とする。
ことを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】第１の問題点を解決する
ため、その原因について研究した結果、スキャナ３とプ
ローブホルダ７は別体であるので、プローブ交換の後、
観察者がプローブホルダ７をスキャナ３に取り付けたと
き多少ずれていることにあった。走査型プローブ顕微鏡
は、高分解能（ＳＴＭ、ＡＦＭの場合、現在１ｎｍ以
下）を示す訳であるから、取り付けには極めて厳密さが
要求され、顕微鏡を操作する観察者には取り付けは難し
い。
ため、その原因について研究した結果、スキャナ３とプ
ローブホルダ７は別体であるので、プローブ交換の後、
観察者がプローブホルダ７をスキャナ３に取り付けたと
き多少ずれていることにあった。走査型プローブ顕微鏡
は、高分解能（ＳＴＭ、ＡＦＭの場合、現在１ｎｍ以
下）を示す訳であるから、取り付けには極めて厳密さが
要求され、顕微鏡を操作する観察者には取り付けは難し
い。
【００１４】そのため、本発明の第１は、「プローブ、
該プローブを保持するプローブホルダ、該プローブホル
ダを介して前記プローブを保持し、かつ、前記プローブ
をして試料表面を走査させるスキャナ、該スキャナを駆
動するコントローラ、該コントローラと前記スキャナを
結ぶケーブル、前記スキャナを取り付けた本体フレー
ム、及び前記プローブを介して試料の情報を検出する検
出系からなる走査型プローブ顕微鏡において、前記プロ
ーブホルダと前記スキャナをユニット化し、該ユニット
を前記本体フレームに着脱可能に取り付けたことを特徴
とする走査型プローブ顕微鏡（請求項１）」並びに「少
なくともプローブホルダとスキャナとからなるユニット
（請求項３）」を提供する。
該プローブを保持するプローブホルダ、該プローブホル
ダを介して前記プローブを保持し、かつ、前記プローブ
をして試料表面を走査させるスキャナ、該スキャナを駆
動するコントローラ、該コントローラと前記スキャナを
結ぶケーブル、前記スキャナを取り付けた本体フレー
ム、及び前記プローブを介して試料の情報を検出する検
出系からなる走査型プローブ顕微鏡において、前記プロ
ーブホルダと前記スキャナをユニット化し、該ユニット
を前記本体フレームに着脱可能に取り付けたことを特徴
とする走査型プローブ顕微鏡（請求項１）」並びに「少
なくともプローブホルダとスキャナとからなるユニット
（請求項３）」を提供する。
【００１５】本発明の第２は、「プローブ、該プローブ
を保持するプローブホルダ、該プローブホルダを介して
前記プローブを保持し、かつ、前記プローブをして試料
表面を走査させるスキャナ、該スキャナを駆動するコン
トローラ、該コントローラと前記スキャナを結ぶケーブ
ル、前記スキャナを取り付けた本体フレーム、及び前記
プローブを介して試料の情報を検出する検出系からなる
走査型プローブ顕微鏡において、前記ケーブルをコネク
タを介してスキャナケーブルと本体ケーブルに分け、前
記プローブホルダと前記スキャナと前記スキャナケーブ
ルと前記コネクタの半部材に当たるコネクタＡとをユニ
ット化し、前記本体フレームに前記コネクタの残り半部
材に当たるコネクタＢを取り付け、このユニットを前記
本体フレームに着脱可能に取り付けると同時にコネクタ
ＡとコネクタＢの接続が完了することを特徴とする走査
型プローブ顕微鏡（請求項２）」並びに「少なくともプ
ローブホルダとスキャナとスキャナケーブルとコネクタ
の半部材に当たるコネクタＡとからなるユニット（請求
項４）」を提供する。
を保持するプローブホルダ、該プローブホルダを介して
前記プローブを保持し、かつ、前記プローブをして試料
表面を走査させるスキャナ、該スキャナを駆動するコン
トローラ、該コントローラと前記スキャナを結ぶケーブ
ル、前記スキャナを取り付けた本体フレーム、及び前記
プローブを介して試料の情報を検出する検出系からなる
走査型プローブ顕微鏡において、前記ケーブルをコネク
タを介してスキャナケーブルと本体ケーブルに分け、前
記プローブホルダと前記スキャナと前記スキャナケーブ
ルと前記コネクタの半部材に当たるコネクタＡとをユニ
ット化し、前記本体フレームに前記コネクタの残り半部
材に当たるコネクタＢを取り付け、このユニットを前記
本体フレームに着脱可能に取り付けると同時にコネクタ
ＡとコネクタＢの接続が完了することを特徴とする走査
型プローブ顕微鏡（請求項２）」並びに「少なくともプ
ローブホルダとスキャナとスキャナケーブルとコネクタ
の半部材に当たるコネクタＡとからなるユニット（請求
項４）」を提供する。
【００１６】
【作用】本発明の第１によれば、プローブホルダとスキ
ャナをユニット化したので、顕微鏡を操作する観察者は
両者を分解できない。そのため、再び組み立てることも
ないので、プローブホルダのスキャナへの取り付けが狂
うこともない訳である。スキャナホルダは本発明にとっ
て必須のものではないが、スキャナホルダを含めてユニ
ット化してもよい。以下の実施例はその例である。
ャナをユニット化したので、顕微鏡を操作する観察者は
両者を分解できない。そのため、再び組み立てることも
ないので、プローブホルダのスキャナへの取り付けが狂
うこともない訳である。スキャナホルダは本発明にとっ
て必須のものではないが、スキャナホルダを含めてユニ
ット化してもよい。以下の実施例はその例である。
【００１７】本発明の第２によれば、プローブホルダと
スキャナとスキャナケーブルとコネクタの半部材に当た
るコネクタＡをユニット化し、本体フレームに前記コネ
クタの残り半部材に当たるコネクタＢを取り付けたの
で、このユニットを本体フレーム側に取り付けと同時に
コネクタの接続が完了することから、プローブ又はスキ
ャナを交換した後、コネクタの接続を忘れることもない
し、接続作業自体もなくなる。
スキャナとスキャナケーブルとコネクタの半部材に当た
るコネクタＡをユニット化し、本体フレームに前記コネ
クタの残り半部材に当たるコネクタＢを取り付けたの
で、このユニットを本体フレーム側に取り付けと同時に
コネクタの接続が完了することから、プローブ又はスキ
ャナを交換した後、コネクタの接続を忘れることもない
し、接続作業自体もなくなる。
【００１８】以下、実施例により本発明をより具体的に
説明するが、本発明はこれに限られるものではない。
説明するが、本発明はこれに限られるものではない。
【００１９】
【実施例１】図１の（ａ）は垂直断面を見た本実施例
（請求項３）のユニットである。ガラス管からなるＮＦ
Ｍ用プローブ６が、プローブホルダ７に交換可能に取り
付けてある（差し込み式）。プローブホルダ７はスキャ
ナ３に接着固定されている。スキャナ３はスキャナホル
ダ４に接着固定されており、プローブホルダ７、スキャ
ナ３及びスキャナホルダ４が一つのユニットを構成す
る。プローブ６は、スキャナ３の内部を通ってプローブ
ホルダ７に挿着される。
（請求項３）のユニットである。ガラス管からなるＮＦ
Ｍ用プローブ６が、プローブホルダ７に交換可能に取り
付けてある（差し込み式）。プローブホルダ７はスキャ
ナ３に接着固定されている。スキャナ３はスキャナホル
ダ４に接着固定されており、プローブホルダ７、スキャ
ナ３及びスキャナホルダ４が一つのユニットを構成す
る。プローブ６は、スキャナ３の内部を通ってプローブ
ホルダ７に挿着される。
【００２０】このユニットは、例えば、アリ式又はネジ
式の取り付け部材を介して、本体フレーム側に取り付け
られる。
式の取り付け部材を介して、本体フレーム側に取り付け
られる。
【００２１】
【実施例２】図１の（ｂ）は垂直断面を見た本実施例
（請求項３）のユニットである。板バネからなるＡＦＭ
用プローブ６（板バネ）が、プローブホルダ７に交換可
能に取り付けてある。プローブホルダ７は、スキャナ３
の先端に接着固定されている。スキャナ３は、スキャナ
ホルダ４に接着固定されており、プローブホルダ７、ス
キャナ３及びスキャナホルダ４が一つのユニットを構成
する。プローブ６は、プローブホルダ７にネジで外付け
されている。
（請求項３）のユニットである。板バネからなるＡＦＭ
用プローブ６（板バネ）が、プローブホルダ７に交換可
能に取り付けてある。プローブホルダ７は、スキャナ３
の先端に接着固定されている。スキャナ３は、スキャナ
ホルダ４に接着固定されており、プローブホルダ７、ス
キャナ３及びスキャナホルダ４が一つのユニットを構成
する。プローブ６は、プローブホルダ７にネジで外付け
されている。
【００２２】このユニットは、例えば、アリ式又はネジ
式の取り付け部材を介して、本体フレーム側に取り付け
られる。
式の取り付け部材を介して、本体フレーム側に取り付け
られる。
【００２３】
【実施例３】図２は上から見た本実施例のユニット（請
求項４）である。図２には、コネクタ１０Ｂ、本体ケー
ブル９ｂ、コントローラ１１も図示してある。本ユニッ
トは、実施例１のユニット（図１の（ａ）図）にコネク
タＡとスキャナケーブル（図２では見えない）を付加し
たものである。
求項４）である。図２には、コネクタ１０Ｂ、本体ケー
ブル９ｂ、コントローラ１１も図示してある。本ユニッ
トは、実施例１のユニット（図１の（ａ）図）にコネク
タＡとスキャナケーブル（図２では見えない）を付加し
たものである。
【００２４】
【実施例４】図３は正面から見た本実施例（請求項１、
２）のＮＦＭである。本体フレームは、主として、水平
台８ａ、これの上に建てられた４本（図３では手前の２
本を省いた・４本ではなく３本でもよい）の垂直柱８
ｅ、垂直柱８ｅに支持された水平な架台８ｄからなる。
架台８ｄの下側に取り付け部材８ｆが取り付けてあり
（固定）、これにコの字形部材８ｇ（上から見たときコ
の字形）が上下にスライド可能に取り付けてある。コの
字形部材８ｇは、取り付け部材８ｆのハンドル８ｈを回
すことにより、上下にスライドする。
２）のＮＦＭである。本体フレームは、主として、水平
台８ａ、これの上に建てられた４本（図３では手前の２
本を省いた・４本ではなく３本でもよい）の垂直柱８
ｅ、垂直柱８ｅに支持された水平な架台８ｄからなる。
架台８ｄの下側に取り付け部材８ｆが取り付けてあり
（固定）、これにコの字形部材８ｇ（上から見たときコ
の字形）が上下にスライド可能に取り付けてある。コの
字形部材８ｇは、取り付け部材８ｆのハンドル８ｈを回
すことにより、上下にスライドする。
【００２５】コの字形部材８ｇは、上から見たとき、コ
の字形をしており、図３に向かって左方から実施例３
（図２）のユニットを装着可能である。コの字形部材８
ｇは、図４に示すようにアリが切ってあり、このアリに
沿って実施例３（図２）のユニットをコの字形部材８ｇ
に装着することができる。装着と同時に、ユニットの一
部となっているコネクタ１０Ａ（ユニット側）とコネク
タ１０Ｂ（コの字形部材８ｇの上に配設されている）の
接続が完了する。従って、プローブを交換したとき、コ
ネクタ１０Ａとコネクタ１０Ｂの接続を忘れることもな
い。
の字形をしており、図３に向かって左方から実施例３
（図２）のユニットを装着可能である。コの字形部材８
ｇは、図４に示すようにアリが切ってあり、このアリに
沿って実施例３（図２）のユニットをコの字形部材８ｇ
に装着することができる。装着と同時に、ユニットの一
部となっているコネクタ１０Ａ（ユニット側）とコネク
タ１０Ｂ（コの字形部材８ｇの上に配設されている）の
接続が完了する。従って、プローブを交換したとき、コ
ネクタ１０Ａとコネクタ１０Ｂの接続を忘れることもな
い。
【００２６】図３には検出系を省いてある。検出系を簡
単に説明すると、光源（レーザー）があり、この光源か
らの光をライトガイド（光ファイバー）でプローブまで
誘導する。プローブの先端には光源光の波長より小さい
径の孔が開いており、そこから、エバネッセント波が出
射する。出射したエバネッセント波は試料を照明し、そ
の透過光又は反射光を光検出器で検出する。検出した信
号（情報）は、コンピュータでマップ化され、プロッタ
ーによって観察画像として出力される。
単に説明すると、光源（レーザー）があり、この光源か
らの光をライトガイド（光ファイバー）でプローブまで
誘導する。プローブの先端には光源光の波長より小さい
径の孔が開いており、そこから、エバネッセント波が出
射する。出射したエバネッセント波は試料を照明し、そ
の透過光又は反射光を光検出器で検出する。検出した信
号（情報）は、コンピュータでマップ化され、プロッタ
ーによって観察画像として出力される。
【００２７】
【発明の効果】以上の通り、本発明（請求項１、３）に
よれば、プローブホルダとスキャナをユニット化したの
で、観察者がプローブを交換しても両者の位置関係がず
れることがない。そのため、プローブを交換しても鮮明
な観察画像が得られる。また、本発明の第２（請求項
２、４）によれば、プローブホルダとスキャナとスキャ
ナケーブルとコネクタの半部材に当たるコネクタＡとを
ユニット化したので、観察者がプローブを交換したとき
に、コネクタの接続を忘れることがない。
よれば、プローブホルダとスキャナをユニット化したの
で、観察者がプローブを交換しても両者の位置関係がず
れることがない。そのため、プローブを交換しても鮮明
な観察画像が得られる。また、本発明の第２（請求項
２、４）によれば、プローブホルダとスキャナとスキャ
ナケーブルとコネクタの半部材に当たるコネクタＡとを
ユニット化したので、観察者がプローブを交換したとき
に、コネクタの接続を忘れることがない。
【図１】の（ａ）は、本発明の実施例１にかかるユニッ
トを左方から見た垂直断面図であり、（ｂ）は、本発明
の実施例２にかかるユニットを左方から見た垂直断面図
である。
トを左方から見た垂直断面図であり、（ｂ）は、本発明
の実施例２にかかるユニットを左方から見た垂直断面図
である。
【図２】は、本発明の実施例３にかかるユニットの上面
図である。
図である。
【図３】は、本発明の実施例４にかかる顕微鏡の正面図
である。
である。
【図４】は、図３のＸ−Ｙ矢視断面図である。
【図５】は、従来の顕微鏡の正面図である。
１・・・・試料 ２・・・・試料ステージ ３・・・・スキャナ ４・・・・スキャナホルダ ５・・・・欠番 ６・・・・プローブ ７・・・・プローブホルダ ８ａ〜８ｈ・・・・本体フレーム ９ａ・・・スキャナケーブル ９ｂ・・・本体ケーブル １０・・・コネクタ １１・・・コントローラ 以上
Claims (4)
- 【請求項１】 プローブ、該プローブを保持するプロー
ブホルダ、該プローブホルダを介して前記プローブを保
持し、かつ、前記プローブをして試料表面を走査させる
スキャナ、該スキャナを駆動するコントローラ、該コン
トローラと前記スキャナを結ぶ信号ケーブル、前記スキ
ャナを取り付けた本体フレーム、及び前記プローブを介
して試料の情報を検出する検出系からなる走査型プロー
ブ顕微鏡において、 前記プローブホルダと前記スキャナをユニット化し、該
ユニットを前記本体フレームに着脱可能に取り付けたこ
とを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】 プローブ、該プローブを保持するプロー
ブホルダ、該プローブホルダを介して前記プローブを保
持し、かつ、前記プローブをして試料表面を走査させる
スキャナ、該スキャナを駆動するコントローラ、該コン
トローラと前記スキャナを結ぶ信号ケーブル、前記スキ
ャナを取り付けた本体フレーム、及び前記プローブを介
して試料の情報を検出する検出系からなる走査型プロー
ブ顕微鏡において、 前記ケーブルをコネクタを介してスキャナケーブルと本
体ケーブルに分け、前記プローブホルダと前記スキャナ
と前記スキャナケーブルと前記コネクタの半部材に当た
るコネクタＡとをユニット化し、前記本体フレームに前
記コネクタの残り半部材に当たるコネクタＢを取り付
け、このユニットを前記本体フレームに着脱可能に取り
付けると同時にコネクタＡとコネクタＢの接続が完了す
ることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 【請求項３】 少なくともプローブホルダとスキャナと
からなるユニット。 - 【請求項４】 少なくともプローブホルダとスキャナと
スキャナケーブルとコネクタの半部材に当たるコネクタ
Ａとからなるユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6208973A JPH0875757A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6208973A JPH0875757A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875757A true JPH0875757A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16565232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6208973A Pending JPH0875757A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0875757A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006349459A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Jeol Ltd | 走査形プローブ顕微鏡 |
| JP2007033117A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Sii Nanotechnology Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
| CN111796122A (zh) * | 2019-04-04 | 2020-10-20 | 株式会社岛津制作所 | 表面分析装置 |
-
1994
- 1994-09-01 JP JP6208973A patent/JPH0875757A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006349459A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Jeol Ltd | 走査形プローブ顕微鏡 |
| JP2007033117A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Sii Nanotechnology Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP4575250B2 (ja) * | 2005-07-25 | 2010-11-04 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| CN111796122A (zh) * | 2019-04-04 | 2020-10-20 | 株式会社岛津制作所 | 表面分析装置 |
| CN111796122B (zh) * | 2019-04-04 | 2023-09-29 | 株式会社岛津制作所 | 表面分析装置 |
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