JPH0875698A - Gas sensor - Google Patents

Gas sensor

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JPH0875698A
JPH0875698A JP6211177A JP21117794A JPH0875698A JP H0875698 A JPH0875698 A JP H0875698A JP 6211177 A JP6211177 A JP 6211177A JP 21117794 A JP21117794 A JP 21117794A JP H0875698 A JPH0875698 A JP H0875698A
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JP
Japan
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catalyst
gas sensor
solid electrolyte
electrode
sensor
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Application number
JP6211177A
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Japanese (ja)
Inventor
Masao Maki
正雄 牧
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0875698A publication Critical patent/JPH0875698A/en
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Abstract

PURPOSE: To enhance the reliability of the gas sensor of a burner particularly to the level of detecting the deterioration of a catalyst layer of sensor characteristics of the maximum subject of a chemical sensor. CONSTITUTION: The gas sensor comprises heating means, further, a solid electrolyte layer 1, a pair of electrodes 2, 3 formed on both sides or the same side of the layer 1, a porous semiconductor metal oxide catalyst coating layer formed on the one side electrode and a third electrode 5 formed on the surface of the catalyst layer. The resistances of the catalyst layer and the electrolyte layer 1 are intermittently measured to detect the deterioration of the layer 4, and the catalyst life can be evaluated. Further, the function of controlling the burner by using an arithmetic circuit, a memory circuit, etc., via an interface by utilizing solid electrolyte output, and transmitting information of carbon monoxide concentration to a place spatially separated by using communication means are provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、一般大気中もしくはガ
ス、石油を燃料とする各種燃焼機器の排ガス中の可燃性
ガスとくに一酸化炭素を検出するための電気化学センサ
に関し、触媒を用いた化学センサにおいて最大の課題と
なる触媒の劣化を検知できる手段を備えたガスセンサに
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrochemical sensor for detecting a combustible gas, particularly carbon monoxide, in the general atmosphere or in the exhaust gas of various combustion equipment that uses gas or petroleum as a fuel, and uses a catalyst. The present invention relates to a gas sensor provided with means capable of detecting deterioration of a catalyst, which is the greatest problem in a chemical sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から提案されているガスセンサとく
に一酸化炭素検知センサとしては、電解液に一酸化炭素
(CO)を吸収させて酸化する電極を設けて、CO濃度
に比例する電流値からCO濃度を検知する方式(定電位
電解ガスセンサ)、貴金属などの微量の添加元素で増感
した酸化スズ(Sn02)などの焼結体タイプのn型半
導体酸化物を用いて、これらの半導体が可燃性ガスと接
触した際に電気電導度が変化する特性を利用してガスを
検知する方式(半導体型ガスセンサ)、20μm程度の
白金の細線にアルミナを添着し、貴金属を担持したもの
と担持しない一対の比較素子を用いて一定温度に加熱し
て使う、可燃性ガスがこの素子に接触して触媒酸化反応
を行った際の発熱差を検出する方式(接触燃焼式ガスセ
ンサ)などが知られている。これらは例えば[文献1]
大森豊明監修:「センサ実用事典」:フジ・テクノシス
テム第14章ガスセンサの基礎(春田正毅担当)、P1
12−130(1986)に詳しい記述がある。
2. Description of the Related Art As a conventionally proposed gas sensor, particularly a carbon monoxide detection sensor, an electrode for absorbing carbon monoxide (CO) to oxidize it is provided in an electrolytic solution, and a CO value is calculated from a current value proportional to the CO concentration. These semiconductors are flammable using a method of detecting the concentration (constant potential electrolysis gas sensor), and using a sintered body type n-type semiconductor oxide such as tin oxide (Sn0 2 ) sensitized with a trace amount of additional elements such as precious metals. Gas (semiconductor type gas sensor) that uses the characteristic that electric conductivity changes when it comes into contact with a conductive gas (semiconductor type gas sensor), a pair of platinum fine wire of about 20 μm with alumina attached and no precious metal supported Known as a method (catalytic combustion type gas sensor) that detects the difference in heat generation when a combustible gas comes into contact with this element to carry out a catalytic oxidation reaction using a comparative element To have. For example, [Reference 1]
Supervised by Toyoaki Omori: "Practical Encyclopedia of Sensors": Fuji Techno System Chapter 14 Basics of Gas Sensors (Masaki Takeshi Haruta), P1
12-130 (1986) for a detailed description.

【0003】とくに電気化学セルを形成して用いるガス
センサとしては、安定化ジルコニアを電解質として用い
る酸素センサが自動車の排ガス浄化の制御に実用化さ
れ、よく知られている。これは、酸素の濃淡電池の起電
力を利用する方式である。酸素と同時に一酸化炭素、二
酸化炭素を測定するガスセンサが提案されている。[文
献2]特開平4−320955号公報、[文献3]特開
平4−320956号公報。
In particular, as a gas sensor used to form an electrochemical cell, an oxygen sensor using stabilized zirconia as an electrolyte has been put to practical use for controlling exhaust gas purification of automobiles and is well known. This is a method that utilizes the electromotive force of an oxygen concentration cell. A gas sensor for measuring carbon monoxide and carbon dioxide at the same time as oxygen has been proposed. [Reference 2] JP-A-4-320955, [Reference 3] JP-A-4-320956.

【0004】ただし、この方法の場合、濃淡電池を形成
するため、一方側の電極に濃度既知の試料ガスを導入す
る必要があり、分析機器としては適用性が高くても、測
定の都度試料ガスを導入することは出来ず、家庭用機器
には不向きである。しかし、この方法は電極の劣化など
をその都度補正することができる。
However, in the case of this method, since a concentration cell is formed, it is necessary to introduce a sample gas of a known concentration into one of the electrodes, and although it is highly applicable as an analytical instrument, the sample gas is required for each measurement. Can not be introduced and is not suitable for household appliances. However, this method can correct the deterioration of the electrode each time.

【0005】また、本発明と同様に、ジルコニア電気化
学セルを構成して、電極の一方側に触媒層を形成して一
酸化炭素を検出する方法が[文献4]H.OKAMOTO、H.OBA
YASIAND T.KUDO,Solid State IonicS、1、319(1
980)に提案されている。本発明の基本的原理は、文
献4と同じである。但し、文献4では、触媒として、白
金/アルミナを用いる。
Further, as in the present invention, a method of forming a zirconia electrochemical cell, forming a catalyst layer on one side of an electrode and detecting carbon monoxide is [Reference 4] H.OKAMOTO, H.OBA.
YASIAND T. KUDO, Solid State IonicS, 1, 319 (1
980). The basic principle of the present invention is the same as in Reference 4. However, in Reference 4, platinum / alumina is used as the catalyst.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】これらの化学センサは
いずれも以下の課題を有している。すなわち定電位電解
ガスセンサ、半導体型ガスセンサ、接触燃焼式ガスセン
サとも原理的に還元性ガス(可燃性ガス)に無差別に反
応するため各種工夫をおこなったとしても基本的には、
一酸化炭素(CO)以外の水素、アルコールなども検知
してしまう特性を持っている。つまりCOの選択性が悪
いという欠点を持っている。また、センサおよびセンサ
システムが全般的に高価で、センサの信号処理回路も複
雑になる欠点を持っている。また接触燃焼式を除いて
は、CO濃度に対してセンサの出力が非線形なため制御
性が悪いという欠点もある。
All of these chemical sensors have the following problems. That is, even if a constant potential electrolysis gas sensor, a semiconductor type gas sensor, and a catalytic combustion type gas sensor react indiscriminately to a reducing gas (combustible gas) in principle, even if various measures are taken, basically,
It has the property of detecting hydrogen, alcohol, etc. other than carbon monoxide (CO). That is, it has a drawback that CO selectivity is poor. Further, the sensor and the sensor system are generally expensive, and the signal processing circuit of the sensor is complicated. Further, except for the catalytic combustion type, the controllability is poor because the output of the sensor is non-linear with respect to the CO concentration.

【0007】基本的に、触媒を応用する化学センサの場
合、一般に触媒の耐久性と選択性とは相反する面があ
り、選択性をあげるため化学センサの動作を触媒反応の
活性化支配側(低温側)で使うと触媒表面上への種々の
被毒ガスの吸着が起こり易く、触媒の劣化が速く進行し
耐久性が持たない。逆に動作を拡散支配側(高温側)で
使うと選択性が悪くなる面がある。例えば、半導体型ガ
スセンサとしてTi4+をドープしたαFe23に金微粒子
を担持した素子を用いるセンサの場合、極めてCOの水
素、アルコールなどに対する選択性は優れているが触媒
の耐久性に欠点がある。
Basically, in the case of a chemical sensor that applies a catalyst, the durability and the selectivity of the catalyst are generally contradictory to each other. In order to increase the selectivity, the operation of the chemical sensor is controlled by the activation control side of the catalytic reaction ( When used on the low temperature side, various poisonous gases are likely to be adsorbed on the surface of the catalyst, and the catalyst deteriorates rapidly and has no durability. On the contrary, if the operation is used on the diffusion control side (high temperature side), the selectivity is deteriorated. For example, in the case of a sensor using an element in which gold particles are supported on αFe 2 O 3 doped with Ti 4+ as a semiconductor type gas sensor, the selectivity of CO for hydrogen and alcohol is excellent but the durability of the catalyst is poor. There is.

【0008】これは最も重要な点であるが化学センサの
宿命として、触媒の劣化が発生した場合、基本的には感
度低下を起こすため不安全側に動作してしまうという本
質的な欠点がある。品質工学の観点からしても、一酸化
炭素発生という状況はめったに発生することのない異常
環境下での出来事となるが、いつ発生するか分からない
この非常時に、センサの信頼性の絶対保証が成立しない
と現実に人命に関わる一酸化炭素センサを安全システム
に応用することはできない。[文献1]に記載されるよ
うにこれまで数多くのセンサが提案されながら、機器に
搭載する安全センサとして実用化に至らないのは、セン
サシステムのコストなどの課題もあるが、化学センサの
本質に関わる触媒の劣化の問題についてフェールセーフ
につながる有効な解決策が見いだされなかったことによ
る。
This is the most important point, but the fate of the chemical sensor is that when the catalyst deteriorates, there is a fundamental drawback that the sensitivity is basically lowered and the sensor operates unsafely. . From the viewpoint of quality engineering, the situation of carbon monoxide generation is an event in an abnormal environment that rarely occurs, but in this emergency when we do not know when it will occur, the absolute guarantee of sensor reliability is not guaranteed. If this is not the case, the carbon monoxide sensor, which actually affects human life, cannot be applied to a safety system. Although a large number of sensors have been proposed as described in [Reference 1], the fact that they cannot be put into practical use as safety sensors to be mounted on devices has some problems such as the cost of the sensor system, but the essence of chemical sensors This is because no effective solution that could lead to fail-safe has been found for the problem of catalyst deterioration related to.

【0009】特に片側の電極を触媒で被覆した固体電解
質を用いて電気化学セルを形成して用いる文献4の方式
の最大の欠点は、触媒劣化の検出ができない点である。
In particular, the greatest drawback of the method of Document 4 in which an electrochemical cell is formed by using a solid electrolyte having one electrode coated with a catalyst is that catalyst deterioration cannot be detected.

【0010】本発明では、各種家庭用燃焼機器の排ガス
流路に設置できるだけの耐熱性、変動する排ガス特性に
対する安定性などに加えて、センサ自体の小型化、高感
度化を達成するとともに上記欠点を解決することを目的
とする。
According to the present invention, in addition to the heat resistance that can be installed in the exhaust gas flow path of various domestic combustion equipment, the stability against fluctuating exhaust gas characteristics, downsizing of the sensor itself and high sensitivity are achieved, and the above-mentioned drawbacks are also caused. The purpose is to solve.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のガスセンサは、加熱手段を備え、さらに
固体電解質層と、前記固体電解質層の両面上もしくは同
一表面上に形成された一対の電極とその片方の電極上に
形成された多孔性半導体金属酸化物触媒被覆層および当
触媒層表面に第三の電極を形成して用いる。
In order to achieve the above object, the gas sensor of the present invention is provided with a heating means, and is formed on both surfaces or the same surface of the solid electrolyte layer and the solid electrolyte layer. A pair of electrodes, a porous semiconductor metal oxide catalyst coating layer formed on one of the electrodes, and a third electrode formed on the surface of the catalyst layer are used.

【0012】またPCO(1)、PO2(1)/触媒/電極(1)/固体
電解質/電極(2)/PCO(1)、PO2(1)の電気化学セルを形
成してなる固体電解質ガスセンサにおいて、触媒として
多孔性半導体金属酸化物を用いると共に触媒表面上に形
成して成る第三の電極を用いて間欠的に触媒被覆層間の
抵抗値を測定し、抵抗値の変化値が管理範囲Rxを越え
た場合、および固体電解質の電極間の抵抗(またはイン
ピーダンス)を間欠的に測定し、抵抗値の変化値が管理
範囲rXを越えた場合、警報を発する手段を備えて用い
る。
Further, by forming an electrochemical cell of P CO (1), P O2 (1) / catalyst / electrode (1) / solid electrolyte / electrode (2) / P CO (1), P O2 (1) In this solid electrolyte gas sensor, the resistance value between the catalyst-coated layers is intermittently measured by using a porous semiconductor metal oxide as a catalyst and a third electrode formed on the catalyst surface, and the change value of the resistance value is measured. Exceeds the control range Rx, and the resistance (or impedance) between the electrodes of the solid electrolyte is intermittently measured, and when the change value of the resistance value exceeds the control range rX, it is equipped with a means for issuing an alarm. .

【0013】さらに電気化学セルの起電力が、設定値E
xを越えた場合、燃焼機器の送風ファンの回転数を増加
するもしくは燃焼を停止する制御手段を備えて用いる。
Further, the electromotive force of the electrochemical cell is the set value E
When it exceeds x, it is provided with a control means for increasing the rotation speed of the blower fan of the combustion equipment or stopping the combustion.

【0014】また電気化学セルの起電力が、設定値Ex
を越えた場合、本ガスセンサとは空間的に離れた場所に
設置された第二の機器に信号を伝達する手段を備えて用
いる。
The electromotive force of the electrochemical cell is the set value Ex
When it exceeds the above, the gas sensor is equipped with a means for transmitting a signal to a second device installed in a place spatially separated from the gas sensor.

【0015】ガスセンサの基本構造を以下に説明する。
固体電解質層としては、安定化ジルコニアや低温で安定
化ジルコニアより酸素イオン導電率が高いBi2O3ーMOO3
CeO2ーSm2O3などの酸素イオン導電体もしくは、酸素イオ
ン導電体以外のフッ化物イオン導電体やプロトン導電体
を板状、もしくはアルミナなどの耐熱性絶縁基板上にス
パッタ、CVDなどの成膜方法にて膜状で用いることが
できる。固体電解質を用いて、その両面、もしくは同一
面に一対の電極を形成した電気化学セルにおいて、電極
間の酸素濃度が異なると酸素濃淡電池が形成され起電力
が発生し、酸素センサ素子が構成できる。
The basic structure of the gas sensor will be described below.
As the solid electrolyte layer, Bi 2 O 3 -MOO 3 , which has higher oxygen ion conductivity than stabilized zirconia or stabilized zirconia at low temperature,
An oxygen ion conductor such as CeO 2 -Sm 2 O 3 or a fluoride ion conductor or a proton conductor other than the oxygen ion conductor is formed into a plate shape or formed on a heat resistant insulating substrate such as alumina by sputtering, CVD, or the like. It can be used in a film form by a film method. In an electrochemical cell in which a pair of electrodes are formed on both surfaces or the same surface using a solid electrolyte, if the oxygen concentration between the electrodes is different, an oxygen concentration battery is formed and an electromotive force is generated, and an oxygen sensor element can be configured. .

【0016】さらにその電極の一方を酸化触媒で被覆す
ると、触媒層中ではCO+1/2O2→CO2の化学反応が
生じ、厳密には、ガス拡散速度と触媒酸化反応速度によ
りことなるが、電極表面に到達する一酸化炭素濃度が減
少する。酸化触媒で被覆した側の電極上では、もっぱら
酸素のみ吸着されるのに対し、触媒の被覆のない裸の電
極の方では、一酸化炭素と酸素が吸着され、ここに両電
極間に化学ポテシャルの差が生じ、触媒層側の電極で還
元反応、裸の電極側では酸化反応が起こり、酸素濃淡電
池が形成され起電力が得られる。大気中あるいは、燃焼
機器の排ガス条件下でも酸素濃度は最低でも数%以上存
在するのに対して、一酸化炭素は多くても1000PPM
以下で検出することが必要であり、CO+1/2O2→CO
2のように一酸化炭素1モルに対し酸素1/2モルである
ことからバルクとして評価したときの酸素の違いは小さ
く、起電力においては、一酸化炭素濃度の影響が支配的
になる。これにより一酸化炭素濃度が高くなるとともに
出力が増大する。すなわち、一酸化炭素検知センサにな
る。本センサは一酸化炭素のみならず可燃性ガスであれ
ば同様に検知をおこなう。
Further, when one of the electrodes is coated with an oxidation catalyst, a chemical reaction of CO + 1 / 2O 2 → CO 2 occurs in the catalyst layer, and strictly speaking, it depends on the gas diffusion rate and the catalytic oxidation reaction rate. The concentration of carbon monoxide reaching the surface is reduced. Oxygen is exclusively adsorbed on the electrode coated with the oxidation catalyst, whereas carbon monoxide and oxygen are adsorbed on the bare electrode without the catalyst coating, and the chemical potential between both electrodes is absorbed here. Difference occurs, a reduction reaction occurs at the electrode on the catalyst layer side and an oxidation reaction occurs at the bare electrode side, and an oxygen concentration battery is formed to obtain an electromotive force. The oxygen concentration is at least a few percent or more even in the atmosphere or under the exhaust gas conditions of combustion equipment, whereas carbon monoxide is at most 1000 PPM.
It is necessary to detect the following, and CO + 1 / 2O 2 → CO
Since oxygen is 1/2 mol per mol of carbon monoxide as in 2 , the difference in oxygen when evaluated as a bulk is small, and the influence of carbon monoxide concentration is dominant in the electromotive force. This increases the carbon monoxide concentration and increases the output. That is, it becomes a carbon monoxide detection sensor. This sensor can detect not only carbon monoxide but also combustible gas.

【0017】一般に固体電解質の特性によりセンサ素子
の加熱が必要になるが、これはセンサが備えた加熱手段
で達成される。アルミナなどの耐熱性絶縁基板上に抵抗
体をペースト印刷する方法など従来公知の加熱手段が適
用できる。また必要に応じて、正確な温度制御の目的で
サーミスタなどの温度検知手段を併用して温度制御を実
施してもよい。
Generally, the characteristics of the solid electrolyte require heating of the sensor element, which is accomplished by the heating means provided in the sensor. Conventionally known heating means such as a method of paste-printing a resistor on a heat resistant insulating substrate such as alumina can be applied. Further, if necessary, temperature control may be carried out in combination with temperature detection means such as a thermistor for the purpose of accurate temperature control.

【0018】とくにセンサの温度が低い場合また触媒層
が、ちみつに形成されている場合は触媒層が酸素、一酸
化炭素の拡散の抵抗となること、また触媒自体の反応速
度も遅くなることから、これが酸素、一酸化炭素の濃度
差の原因となって起電力を発生することになる。従って
ある程度以上の温度が必要である。また、温度がさらに
高くなると触媒層を形成していない側の電極での、酸化
反応速度が上昇し、触媒の効果が見かけ上なくなり、起
電力を発生しなくなる。このためセンサの温度は安定化
ジルコニアを用いる場合、450℃から550℃程度の
範囲が望ましい。電極は白金、金、銀などを用いること
ができるが、センサの応答性に関わる電極への酸素の吸
着特性とイオンの電解質への拡散特性の面と耐熱安定性
の面から総合的には、白金が望ましい。
Especially when the temperature of the sensor is low and when the catalyst layer is formed on honey, the catalyst layer becomes a resistance against diffusion of oxygen and carbon monoxide, and the reaction rate of the catalyst itself becomes slow. This causes an electromotive force which causes a difference in concentration between oxygen and carbon monoxide. Therefore, a certain temperature or higher is required. Further, when the temperature is further increased, the oxidation reaction rate at the electrode on the side where the catalyst layer is not formed is increased, the effect of the catalyst is apparently lost, and the electromotive force is not generated. Therefore, the temperature of the sensor is preferably in the range of 450 to 550 ° C. when using stabilized zirconia. Platinum, gold, silver, etc. can be used for the electrode, but from the aspect of the adsorption property of oxygen to the electrode related to the response of the sensor, the diffusion property of ions to the electrolyte, and the heat resistance stability, Platinum is preferred.

【0019】この際の電極形成法としては、ペースト
法、スパッタ法、真空蒸着法、無電解メッキ法などの各
種方法が適用できる。電極特性はセンサの応答性などの
基本性能に加えて、耐久性に深く関わり重要であるが、
この方法の中では特に、電極が安定で、微粒化分散でき
る無電解メッキが望ましい。またペースト法でも電極材
料を十分に微粒化したペーストを用いることにより優れ
た特性が得られる。
As the electrode forming method at this time, various methods such as a paste method, a sputtering method, a vacuum vapor deposition method and an electroless plating method can be applied. In addition to basic performance such as sensor responsiveness, electrode characteristics are deeply related to durability, and are important.
Of these methods, electroless plating is particularly preferable because the electrodes are stable and can be atomized and dispersed. Also, in the paste method, excellent characteristics can be obtained by using a paste in which the electrode material is sufficiently atomized.

【0020】[0020]

【作用】本センサを一般大気中、もしくは燃焼機器の排
ガス流路に配置した状態でのセンサの動作について説明
する。すでにセンサ素子は内蔵する加熱手段で一定の温
度加熱されているとする。ここに、一酸化炭素などの可
燃性ガスを含まない空気を送った場合、固体電解質上の
電極において、ガス濃度差はなく、起電力は発生しな
い。次に、一酸化炭素を含む空気を送った場合には、触
媒層で一酸化炭素は酸化され触媒層が形成されている電
極側には到達しなくなることにより、固体電解質上の電
極間に起電力が発生する。
The operation of the sensor in the general atmosphere or in the exhaust gas passage of the combustion device will be described. It is assumed that the sensor element has already been heated to a constant temperature by the built-in heating means. When air containing no combustible gas such as carbon monoxide is sent to the electrode on the solid electrolyte, there is no difference in gas concentration and no electromotive force is generated. Next, when air containing carbon monoxide is sent, carbon monoxide is oxidized in the catalyst layer and does not reach the electrode side where the catalyst layer is formed, so that it occurs between the electrodes on the solid electrolyte. Electricity is generated.

【0021】固体電解質の電極間の起電力の出力を増幅
して、空気中の一酸化炭素濃度に関係した信号を取り出
す。これは一酸化炭素濃度が大きくなると増大する。燃
焼機器の排気ガス中では、実使用時には、燃焼制御に関
係して、排気条件が変化する。すなわち、排気温度およ
び排気ガス組成(酸素濃度、窒素ガス濃度、炭酸ガス濃
度、水蒸気濃度)などが大きく経時的に変化するが、こ
れらは触媒層では反応しないのでセンサ出力には関係せ
ず、一酸化炭素など可燃性ガスのみに関係する安定した
出力が得られる。N型半導体金属酸化物は、P型と比較
してきわめて安定であるが、使用環境によっては、表面
上への不純物の付着などにより劣化するリスクは0では
ない。従来の固体電解質化学センサでは、触媒層の劣化
の確認方法が不可能であったが、本発明では、触媒層は
導電性のあるN型半導体金属酸化物を用いているので、
触媒の劣化を触媒層に配置した電極間の抵抗値を測定す
ることで評価できる。この値があるしきい値を越えて変
化した時に、または固体電解質の電極間の抵抗(または
インピーダンス)があるしきい値を越えた時に、入出力
インターフェースを介して、マイコン、メモリーなどの
演算、記憶装置と組み合わせて触媒層の劣化を推定し
て、警報を発することができる。このしきい値に関して
は、本ガスセンサの使用目的と使用環境条件に応じて、
その値を設定することができる。
The output of the electromotive force between the electrodes of the solid electrolyte is amplified to extract a signal related to the concentration of carbon monoxide in the air. This increases with increasing carbon monoxide concentration. In the exhaust gas of the combustion equipment, the exhaust conditions change in actual use in relation to combustion control. That is, the exhaust temperature and the exhaust gas composition (oxygen concentration, nitrogen gas concentration, carbon dioxide concentration, water vapor concentration), etc. change greatly over time, but since they do not react in the catalyst layer, they do not affect the sensor output. A stable output related to only combustible gas such as carbon oxide can be obtained. The N-type semiconductor metal oxide is extremely stable as compared with the P-type, but the risk of deterioration due to adhesion of impurities on the surface is not zero depending on the use environment. In the conventional solid electrolyte chemical sensor, the method of confirming the deterioration of the catalyst layer was impossible, but in the present invention, since the catalyst layer uses the conductive N-type semiconductor metal oxide,
The deterioration of the catalyst can be evaluated by measuring the resistance value between the electrodes arranged in the catalyst layer. When this value changes beyond a certain threshold value, or when the resistance (or impedance) between the electrodes of the solid electrolyte exceeds a certain threshold value, calculation of microcomputer, memory, etc. via the input / output interface, In combination with a storage device, the deterioration of the catalyst layer can be estimated and an alarm can be issued. Regarding this threshold, depending on the purpose of use of this gas sensor and the operating environment conditions,
You can set its value.

【0022】また固体電解質出力の値によって、同様に
入出力インターフェースを介して、マイコン、メモリー
などの演算記憶装置と組み合わせて出力値がある設定値
を越えた場合、燃焼機器の送風を制御したり、燃焼機器
を停止したりすることができる。従来からもセンサ出力
を利用して、燃焼機器を制御する方法は色々と提案され
ているが、ガスセンサについては、センサ自身の劣化に
関わるフェールセーフ性の確保が不十分なため、最終安
全センサとしてリスクがあって燃焼制御はあまり意味が
無かった。燃焼機器において、一般に一酸化炭素の発生
は空気不足の条件で起こりやすいので、燃焼機器の送風
量を増加させることで、環境の安全性を確保できる場合
が多い。またガスセンサを第一の機器に内蔵、もしくは
単独に近い形で用いる場合、前記と同様の方法で出力値
がある設定値を越えた場合、無線の通信手段でガスセン
サとは空間的に離れた位置にある第二の機器に信号を電
送し、第二の機器を制御することができる。ここで第二
の機器としては、換気扇や燃焼機器などを指す。ただ
し、第二の機器に第一の機器より発せられた信号を受信
できる受信機とマイコン、メモリーなどの演算、記憶装
置が必要である。
In addition, depending on the value of the solid electrolyte output, when the output value exceeds a certain set value through the input / output interface in combination with a calculation storage device such as a microcomputer or a memory, it is possible to control the blowing of the combustion equipment. , You can stop the combustion equipment. Conventionally, various methods have been proposed to control combustion equipment by using sensor output, but for gas sensors, fail-safeness related to deterioration of the sensor itself has not been sufficiently secured, so as a final safety sensor. There was a risk and combustion control didn't make much sense. Generally, in combustion equipment, carbon monoxide is easily generated under a condition of insufficient air. Therefore, it is often possible to ensure environmental safety by increasing the air flow rate of the combustion equipment. In addition, when the gas sensor is built into the first device or used in a form close to that of the first device, if the output value exceeds a certain set value by the same method as described above, a position that is spatially separated from the gas sensor by wireless communication means. The second device can be controlled by transmitting a signal to the second device at. Here, the second device refers to a ventilation fan, a combustion device, or the like. However, the second device requires a receiver capable of receiving the signal emitted from the first device, a microcomputer, and an arithmetic and storage device such as a memory.

【0023】また通信手段により、当ガスセンサを設置
した部屋または機器などの一酸化炭素濃度の異常を、離
れた別の場所にいる人に知らせることができる。
Further, the communication means can inform a person in a remote place of the abnormality of the carbon monoxide concentration in the room or equipment in which the gas sensor is installed.

【0024】[0024]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は本発明の1実施例の断面図である。図1に
おいて、1が固体電解質層であり、2、3が一対の電
極、片側の3の電極上に多孔性半導体酸化物よりなる触
媒層4が形成され、同触媒層4の表面上に第三の電極5
が形成されている。図1では、加熱手段は省略してある
が、ヒータ回路を本素子とは独立して設置しても良い。
図2も本発明の1実施例の断面図で、図2においては、
図1と異なり電極2、3が固体電解質1と同じ側に形成
されている。他には、固体電解質1上に形成された電極
とは反対側に基板6および基板上に形成されたヒータ回
路7を備えている。それ以外は、図1と同様である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of one embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is a solid electrolyte layer, 2 and 3 are a pair of electrodes, a catalyst layer 4 made of a porous semiconductor oxide is formed on 3 electrodes on one side, and a catalyst layer 4 is formed on the surface of the catalyst layer 4. Three electrodes 5
Are formed. Although the heating means is omitted in FIG. 1, the heater circuit may be installed independently of the present element.
FIG. 2 is also a sectional view of one embodiment of the present invention. In FIG.
Unlike FIG. 1, electrodes 2 and 3 are formed on the same side as the solid electrolyte 1. In addition, the substrate 6 and the heater circuit 7 formed on the substrate are provided on the side opposite to the electrodes formed on the solid electrolyte 1. Other than that, it is the same as FIG.

【0025】片側の電極3上に形成する触媒としては、
単なるガスセンサ素子を得る目的のみからすれば、各種
触媒が適用できるが、本発明では、触媒の劣化挙動を検
知する目的があることから、材料が選択される。触媒活
性のみからすれば、貴金属の方が優れているが、触媒層
の表面に第三の電極を設け、触媒層の抵抗値を検出する
目的から、多孔性半導体金属酸化物が選択される。半導
体金属酸化物としては、P型とN型がある。両者を比較
するとP型の方が反応性に富み、触媒活性は高いが逆に
安定性、耐久性で劣ることからN型半導体酸化物の方
が、望ましい。N型では、触媒活性は劣るが、触媒層温
度を固体電解質の動作の目的およびガスの拡散抵抗の面
から高温に設定していることからN型でも、十分に酸化
活性をもつ。
As a catalyst formed on the electrode 3 on one side,
Various catalysts can be applied only for the purpose of obtaining a gas sensor element, but in the present invention, the material is selected because it has the purpose of detecting the deterioration behavior of the catalyst. A noble metal is superior only in terms of catalytic activity, but a porous semiconductor metal oxide is selected for the purpose of providing a third electrode on the surface of the catalyst layer and detecting the resistance value of the catalyst layer. Semiconductor metal oxides include P type and N type. Comparing the two, the N-type semiconductor oxide is preferable because the P-type is more reactive and the catalytic activity is higher but the stability and durability are conversely inferior. Although the catalytic activity of the N type is inferior, the catalytic layer temperature is set to a high temperature in view of the purpose of the operation of the solid electrolyte and the diffusion resistance of gas.

【0026】N型としては、Fe2O3,Nb205,Nb2O3,Ta2O3,
CeO2,ZnO,SnO2,TiO2、BaTiO3,PbTiO 3,SrTiO3などの酸化
物を単独もしくは混合物で用いる。これらの酸化物は室
温では絶縁体であるが、高温では半導体としての特性を
示す。またこれらの酸化物を主成分として、Li2O,Nb
2O3,CaO,Gd2O3など微量のドープ材を添加することもで
きる。多孔質触媒層の形成は、ガラスなどの結合剤とと
もに金属酸化物とポリエチレンなどの有機物の微粉末を
混合して作製したペーストを塗布焼成して作製しても良
いし、またナフテン酸、オクチル酸などの金属有機酸塩
をメチルセルロースなどのバインダーとともにペースト
化したのち、ペーストを塗布焼成して作製することもで
きる。前者の方法の方が、多孔体の細孔径を制御しやす
い。
As N-type, Fe2O3, Nb20Five, Nb2O3, Ta2O3,
CeO2, ZnO, SnO2, TiO2, BaTiO3, PbTiO 3, SrTiO3Oxidation such as
The substances are used alone or as a mixture. These oxides are
It is an insulator at high temperature, but at high temperatures it has the characteristics of a semiconductor.
Show. Also, with these oxides as the main components, Li2O, Nb
2O3, CaO, Gd2O3It is also possible to add a small amount of doping material such as
Wear. The porous catalyst layer is formed with a binder such as glass.
Metal oxide and fine powder of organic materials such as polyethylene
It may be prepared by coating and baking the mixed paste.
Inorganic acid salts such as naphthenic acid and octylic acid
Paste with a binder such as methylcellulose
It is also possible to make paste by coating and baking it
Wear. The former method is easier to control the pore size of the porous body
Yes.

【0027】N型半導体酸化物としては、半導体式ガス
センサに酸化錫や酸化亜鉛が応用されておりガスセンサ
としての実績がある。酸化銅はN型でなく、P型に属す
るが、本発明でとくに有効であることを見いだしたもの
である。ただし、同じガスセンサとはいっても機能の面
では全く異なっている。すなわち、従来の半導体式ガス
センサでは、ガスの吸着による半導体金属酸化物の表面
抵抗の増加を利用して検出しているのに対し本発明では
酸化触媒として活用している。その電気電導性は、劣化
検出のみに用いる。
As the N-type semiconductor oxide, tin oxide or zinc oxide is applied to a semiconductor type gas sensor and has a track record as a gas sensor. Although copper oxide belongs to the P-type rather than the N-type, it has been found to be particularly effective in the present invention. However, even though they are the same gas sensor, they are completely different in terms of function. That is, in the conventional semiconductor gas sensor, detection is performed by utilizing the increase in surface resistance of the semiconductor metal oxide due to adsorption of gas, whereas in the present invention, it is utilized as an oxidation catalyst. Its electrical conductivity is used only for deterioration detection.

【0028】イットリア安定化ジルコニアから成る固体
電解質(10mm×10mm×0.5mm)の両面にスクリー
ン印刷法により白金ペーストを塗布し、1000℃で1
時間焼成し、リード線の取り出し端子を端面に配置し
て、5mm角で厚み5μmの寸法の電極を作製した。これ
に白金線のリード線を接合した状態で、サンプルを多数
用意した。前記サンプルに各種N型半導体酸化物を用い
て作製したペーストを8mm角で約20μmの膜厚で塗布
し、700℃で2時間焼成しでセンサ素子を作製した。
ペーストは金属酸化物粉末を用いてポリエチレン微粉
末、ポリビニルアルコール、水などとボールミルにて分
散させペースト化した。作製したセンサ素子について、
流通型の測定装置の中に試作したセンサを配し雰囲気温
度を450℃にした条件下で、1000PPMの一酸化炭
素を含む空気を送り試験した。SnO2、Fe2O3、MnO2、SnO
2、ZnO、CuO、Nb2O5、TiO2、CeO2、BaTiO3などで、10
〜20mVのセンサ出力が得られる確認した。次に感度
を厳しくして、一酸化炭素濃度を200PPMとして、同
様の試験を実施したところ、多くの素子で良好な出力は
得られなかったが、SnO2、ZnO、CuOの場合は2〜3mV
の出力を確認した。とくに、SnO2ーCuOが1/1の組成のも
のでは、5mVのセンサ出力が得られた。
Platinum paste was applied to both sides of a solid electrolyte (10 mm × 10 mm × 0.5 mm) made of yttria-stabilized zirconia by the screen printing method and the mixture was heated at 1000 ° C. for 1 hour.
After firing for a period of time, the lead-wire take-out terminals were placed on the end faces to prepare electrodes of 5 mm square and 5 μm thick. A large number of samples were prepared with the platinum lead wire joined thereto. A paste prepared by using various N-type semiconductor oxides was applied to the sample with a thickness of about 20 μm in an 8 mm square and baked at 700 ° C. for 2 hours to prepare a sensor element.
The paste was a metal oxide powder, which was dispersed with polyethylene fine powder, polyvinyl alcohol, water and the like in a ball mill to form a paste. Regarding the manufactured sensor element,
A test sensor was placed in a flow-through type measuring device, and air containing 1000 PPM of carbon monoxide was sent and tested under the condition that the ambient temperature was 450 ° C. SnO 2 , Fe 2 O 3 , MnO 2 , SnO
2, Zn O, Cu O, etc. Nb 2 O 5, TiO 2, CeO 2, BaTiO 3, 10
It was confirmed that a sensor output of -20 mV was obtained. Next, when the sensitivity was tightened and the carbon monoxide concentration was set to 200 PPM and the same test was carried out, good output was not obtained in many devices, but in the case of SnO 2 , ZnO and CuO, it was 2-3 mV.
I checked the output of. In particular, a sensor output of 5 mV was obtained when the composition of SnO 2 —CuO was 1/1.

【0029】図3に一酸化炭素濃度を変えた場合の本セ
ンサの出力特性との関係を示す。極めて高感度なセンサ
が得られている。さらに、触媒素子上に3mm角の電極を
形成して、触媒層の抵抗値を評価したところ、数百Ωか
ら数百KΩの範囲にあり、この抵抗値を一般大気環境で
間欠的に計測することで触媒層の劣化を十分検知でき
る。
FIG. 3 shows the relationship with the output characteristics of the present sensor when the carbon monoxide concentration is changed. An extremely sensitive sensor has been obtained. Furthermore, when a 3 mm square electrode was formed on the catalyst element and the resistance value of the catalyst layer was evaluated, it was in the range of several hundred Ω to several hundred KΩ, and this resistance value was intermittently measured in a general atmospheric environment. Therefore, the deterioration of the catalyst layer can be sufficiently detected.

【0030】ただし一酸化炭素など可燃性ガスの存在下
では、この触媒層の抵抗は変化し不安定になるので、実
用上的には、固体電解質の出力を確認し、固体電解質の
出力が安定している時、すなわち可燃性ガスが発生して
いない時に、触媒層の抵抗を評価することが必要であ
る。これが、間欠的に触媒層の抵抗値を測定する際の条
件になる。
However, in the presence of a combustible gas such as carbon monoxide, the resistance of the catalyst layer changes and becomes unstable. Therefore, in practice, the output of the solid electrolyte is confirmed and the output of the solid electrolyte is stable. It is necessary to evaluate the resistance of the catalyst layer during the operation, that is, when the combustible gas is not generated. This is a condition for intermittently measuring the resistance value of the catalyst layer.

【0031】なお触媒層の劣化要因としては、物理的要
因と化学的要因に分けられるが、目詰まりなどの変化や
異物の付着による被毒など抵抗値の変化により検出でき
る。同様に、回路を切り換えて、固体電解質に配置した
電極間の抵抗を測定することで、固体電解質の電極の劣
化も確認できる。固体電解質の電極も一種の触媒であり
固体電解質セルの劣化に関し、この電極の占める位置は
大きいためである。ただし、通常は触媒層と比較して、
固体電解質の電極はあるかに安定しているので、実用
上、その必要性は少ないが、これによりいざという際の
安全性はさらに向上する。
The deterioration factor of the catalyst layer can be divided into a physical factor and a chemical factor, which can be detected by a change in resistance such as a change in clogging or poisoning due to adhesion of foreign matter. Similarly, by switching the circuit and measuring the resistance between the electrodes arranged in the solid electrolyte, deterioration of the electrodes of the solid electrolyte can be confirmed. This is because the electrode of the solid electrolyte is also a kind of catalyst, and this electrode occupies a large position for deterioration of the solid electrolyte cell. However, compared to the catalyst layer,
Since the electrode of the solid electrolyte is somewhat stable, it is less necessary for practical use, but this further improves safety in an emergency.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上のように本発明のガスセンサによれ
ば、次の効果が得られる。
As described above, according to the gas sensor of the present invention, the following effects can be obtained.

【0033】(1)一酸化炭素の検出に関し、高感度で
小型のガスセンサが得られる。安定性が高く燃焼機器等
に設置するのに好適である。
(1) Regarding detection of carbon monoxide, a highly sensitive and small gas sensor can be obtained. It is highly stable and suitable for installation in combustion equipment.

【0034】(2)一般に化学センサで課題となる触媒
層の劣化および固体電解質の電極劣化について、劣化挙
動がチェックでき、本ガスセンサの寿命が検知できるた
め、極めて安全性が高く、燃焼機器の安全センサとして
信頼性高く用いることができる。
(2) The deterioration behavior of the catalyst layer and the electrode deterioration of the solid electrolyte, which are generally problems in chemical sensors, can be checked, and the life of the gas sensor can be detected. Therefore, the safety is extremely high and the combustion equipment is safe. It can be used as a sensor with high reliability.

【0035】(3)本センサの通信手段で、本センサと
は離れた場所にいる人に本センサを内蔵した機器または
本センサが配置された空間の一酸化炭素発生の異常情報
が伝達され、セキュリティ保持に極めて有用である。
(3) Abnormal information of carbon monoxide generation is transmitted to a person who is far from the sensor by the communication means of the sensor, the device containing the sensor or the space in which the sensor is arranged. It is extremely useful for maintaining security.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の1実施例に係わるガスセンサを示した
断面図
FIG. 1 is a sectional view showing a gas sensor according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の1実施例に係わる第二のガスセンサを
示した断面図
FIG. 2 is a sectional view showing a second gas sensor according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の1実施例における一酸化炭素濃度とセ
ンサの出力特性との関係を示した特性図
FIG. 3 is a characteristic diagram showing the relationship between the carbon monoxide concentration and the output characteristic of the sensor in one example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 固体電解質 2、3 一対の電極 4 触媒層 5 触媒層表面上の第3の電極 6 支持基板 7 加熱手段としてのヒータ回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Solid electrolyte 2, 3 A pair of electrodes 4 Catalyst layer 5 3rd electrode on the catalyst layer surface 6 Support substrate 7 Heater circuit as a heating means

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】加熱手段を備え、さらに固体電解質層と、
前記固体電解質層の両面上もしくは同一表面上に形成さ
れた一対の電極とその片方の電極上に形成された多孔性
半導体金属酸化物触媒被覆層および当触媒層表面に第三
の電極を形成して成るガスセンサ。
1. A solid electrolyte layer further comprising heating means,
A pair of electrodes formed on both surfaces or the same surface of the solid electrolyte layer, a porous semiconductor metal oxide catalyst coating layer formed on one of the electrodes, and a third electrode formed on the surface of the catalyst layer. Gas sensor consisting of.
【請求項2】固体電解質として、酸素イオン導電体を用
いて成る請求項1記載のガスセンサ。
2. The gas sensor according to claim 1, wherein an oxygen ion conductor is used as the solid electrolyte.
【請求項3】多孔性半導体金属酸化物触媒として、N型
半導体金属酸化物を用いてなる請求項1記載のガスセン
サ。
3. The gas sensor according to claim 1, wherein an N-type semiconductor metal oxide is used as the porous semiconductor metal oxide catalyst.
【請求項4】多孔性半導体金属酸化物触媒として、酸化
錫、酸化亜鉛もしくは酸化銅の群から選んだ一種以上の
酸化物を主成分とする触媒を用いてなる請求項1記載の
ガスセンサ。
4. The gas sensor according to claim 1, wherein the porous semiconductor metal oxide catalyst is a catalyst whose main component is one or more oxides selected from the group consisting of tin oxide, zinc oxide and copper oxide.
【請求項5】第三の電極表面上にガラス成分よりなる保
護膜を形成して成る請求項1記載のガスセンサ。
5. The gas sensor according to claim 1, wherein a protective film made of a glass component is formed on the surface of the third electrode.
【請求項6】PCO(1)、PO2(1)/触媒/電極(1)/固体電解
質/電極(2)/PCO(1)、PO2(1)の電気化学セルを形成し
てなる固体電解質ガスセンサにおいて、触媒として多孔
性半導体金属酸化物を用いると共に触媒表面上に形成し
て成る第三の電極を用いて間欠的に触媒被覆層間の抵抗
値を測定し、抵抗値の変化値が管理範囲Rxを越えた場
合、および固体電解質の電極間の抵抗を間欠的に測定
し、抵抗値の変化値が管理範囲rXを越えた場合、警報を
発する手段を備えてなるガスセンサ。
6. An electrochemical cell of P CO (1), P O2 (1) / catalyst / electrode (1) / solid electrolyte / electrode (2) / P CO (1), P O2 (1) is formed. In this solid electrolyte gas sensor, the resistance value between the catalyst-coated layers was intermittently measured by using a porous semiconductor metal oxide as a catalyst and a third electrode formed on the catalyst surface, and the resistance value changed. A gas sensor comprising means for giving an alarm when the value exceeds a control range Rx and when the resistance between the electrodes of the solid electrolyte is intermittently measured, and the change value of the resistance value exceeds the control range rX.
【請求項7】電気化学セルの起電力が、設定値Exを越
えた場合、燃焼機器の送風ファンの回転数を増加するも
しくは燃焼を停止する制御手段を備えてなる請求項6記
載のガスセンサ。
7. The gas sensor according to claim 6, further comprising control means for increasing the rotation speed of the blower fan of the combustion device or stopping the combustion when the electromotive force of the electrochemical cell exceeds the set value Ex.
【請求項8】電気化学セルの起電力が、設定値Exを越
えた場合、本ガスセンサとは空間的に離れた場所に設置
された第二の機器に信号を伝達する手段を備えてなる請
求項6記載のガスセンサ。
8. When the electromotive force of the electrochemical cell exceeds a set value Ex, a means for transmitting a signal to a second device installed spatially apart from the gas sensor is provided. Item 6. The gas sensor according to item 6.
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