JPH0875636A - Electrodeless discharge lamp lighting apparatus for atomic absorptiometer - Google Patents

Electrodeless discharge lamp lighting apparatus for atomic absorptiometer

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Publication number
JPH0875636A
JPH0875636A JP20841694A JP20841694A JPH0875636A JP H0875636 A JPH0875636 A JP H0875636A JP 20841694 A JP20841694 A JP 20841694A JP 20841694 A JP20841694 A JP 20841694A JP H0875636 A JPH0875636 A JP H0875636A
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JP
Japan
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power
output
discharge lamp
electrodeless discharge
modulation signal
Prior art date
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Pending
Application number
JP20841694A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuo Kawachi
勝男 河内
Yoshisada Ehata
佳定 江畠
Takeshi Nishitarumi
剛 西垂水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To realize an electrodeless discharge lamp lighting apparatus, for an atomic absorptiometer, by which reflected power is suppressed even in the initial state of an atomic absorptiometric measurement and by which measuring light of stable brightenss can be generated. CONSTITUTION: In a period in which a modulating signal (d) is not output from a waveform shaping circuit 10, a pseudomodulating signal (c) is supplied to a signal (f) main power amplifier 21 from a pseudomodulating signal generation circuit 17 via a selector circuit 16, and power (g) at 27.12MHz which has been modulated by the pseudomodulating signal (c) is supplied to an electrodeless discharge lamp 1. When the modulating signal (d) is output from the waveform shaping circuit 10, the modulating signal (d) is supplied to the main power amplifier 21 as a signal (f) by means of a changeover signal (e) from a detection circuit 15, and the power (g) which has been modulated by the modulating signal (d) is supplied to the lamp 1. A change in the impedance of an exciting coil for the lamp 1 due to a change from the modulating signal (c) into the modulating signal (d) is small, and it is possible to avoid a drop in the brightness of the lamp due to reflected power at the early stage of a measurement.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、原子吸光光度計の測定
用光源として用いる無電極放電ランプの点灯装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lighting device for an electrodeless discharge lamp used as a light source for measurement of an atomic absorption spectrophotometer.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、砒素、アンチモン、ビスマス等
の元素を分析する原子吸光光度計がある。この原子吸光
光度計の測定用光源として、無電極放電ランプ(EDL
(Electrode less Discharge Lamp))が使用される。こ
の無電極放電ランプの本体には、コイルが巻回されてお
り、内部には、例えば、クリプトンガス等が封入されて
いる。そして、ランプ本体に巻回されたコイルに電力が
供給されると、ランプ本体が点灯される。
2. Description of the Related Art For example, there is an atomic absorption photometer for analyzing elements such as arsenic, antimony and bismuth. An electrodeless discharge lamp (EDL) is used as a light source for measurement of this atomic absorption photometer.
(Electrode less Discharge Lamp)) is used. A coil is wound around the body of this electrodeless discharge lamp, and for example, krypton gas or the like is sealed inside. When power is supplied to the coil wound around the lamp body, the lamp body is turned on.

【0003】燃焼され、原子化された試料中に上記無電
極放電ランプからの光が通過され、この通過した光は、
回折格子、偏光子、チョッパ手段等を介してホトマルチ
プライヤに照射される。このチョッパ手段は、試料の燃
焼炎のゆらぎによる低周波数成分を、測定光から除去す
るためのものである。そして、このチョッパ手段から発
生される測定光変調信号により無電極放電ランプに供給
される電力が変調される。
Light from the electrodeless discharge lamp is passed through a sample that has been burned and atomized, and the passed light is
The photomultiplier is irradiated through a diffraction grating, a polarizer, a chopper means, and the like. This chopper means is for removing the low frequency component due to the fluctuation of the combustion flame of the sample from the measurement light. Then, the electric power supplied to the electrodeless discharge lamp is modulated by the measurement light modulation signal generated from the chopper means.

【0004】無電極放電ランプの例としては、例えば、
特開昭58−194244号公報に記載された「マイク
ロ波放電光源装置」がある。このマイクロ波放電光源装
置においては、マイクロ波空洞内に配置される主光源で
ある第1の無電極ランプと、マイクロ波によって励起さ
れ、紫外線を放射する始動補助用の第2の無電極ランプ
とが備えられている。この第2の無電極放電ランプは、
導波管又はマイクロ波空洞内に配置される。そして、マ
イクロ波発振器からマイクロ波が発振されると、この発
振されたマイクロ波は、導波管を介してマイクロ波空洞
に供給される。これにより、まず、第2の無電極ランプ
が始動され、紫外線が放射される。そして、第2の無電
極ランプから放射された紫外線により、第1の無電極ラ
ンプが励起され、微弱なマイクロ波エネルギーによって
も第1の無電極ランプは、容易に始動可能となってい
る。これにより、簡単な構成で、主光源の始動が確実な
ものとされている。
As an example of the electrodeless discharge lamp, for example,
There is a "microwave discharge light source device" described in JP-A-58-194244. In this microwave discharge light source device, a first electrodeless lamp that is a main light source arranged in a microwave cavity and a second electrodeless lamp for starting assistance that is excited by microwaves and emits ultraviolet rays are provided. Is provided. This second electrodeless discharge lamp
It is placed in a waveguide or microwave cavity. Then, when microwaves are oscillated from the microwave oscillator, the oscillated microwaves are supplied to the microwave cavity through the waveguide. As a result, first, the second electrodeless lamp is started and ultraviolet rays are emitted. Then, the first electrodeless lamp is excited by the ultraviolet rays emitted from the second electrodeless lamp, and the first electrodeless lamp can be easily started by the weak microwave energy. This ensures that the main light source can be started with a simple structure.

【0005】また、無電極放電ランプの点灯装置の例と
しては、特開平5−275184号公報に記載された
「無電極放電ランプ点灯装置」がある。上記公報記載の
「無電極放電ランプ点灯装置」は、ランプ始動直後又は
経時変化による高周波電源とランプ負荷とのインピーダ
ンス整合を行うためのマッチング手段を備えるものであ
る。そして、インピーダンスの整合は、点灯用コイルと
ランプ本体との相対位置関係の変化と、点灯回路の回路
定数の変化とにより行われる。
An example of a lighting device for an electrodeless discharge lamp is the "electrodeless discharge lamp lighting device" described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-275184. The "electrodeless discharge lamp lighting device" described in the above publication is provided with a matching means for performing impedance matching between the high frequency power supply and the lamp load immediately after the lamp is started or due to changes over time. The impedance matching is performed by the change in the relative positional relationship between the lighting coil and the lamp body and the change in the circuit constant of the lighting circuit.

【0006】つまり、ランプの電源回路の出力信号と基
準信号とが比較され、この比較結果によりランプ本体と
点灯用コイルとの相対位置が変化される。次に、再び電
源回路の出力信号と基準信号とが比較され、この比較結
果により共振回路である点灯回路のバリコンの容量値が
調整される。これにより、高周波電源とランプ負荷との
インピーダンス整合が行われる。
That is, the output signal of the lamp power supply circuit is compared with the reference signal, and the relative position between the lamp body and the lighting coil is changed according to the result of this comparison. Next, the output signal of the power supply circuit is again compared with the reference signal, and the capacitance value of the variable capacitor of the lighting circuit, which is a resonance circuit, is adjusted based on the comparison result. As a result, impedance matching between the high frequency power supply and the lamp load is performed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の原子
吸光光度計用の無電極放電ランプ点灯装置にあっては、
吸光光度測定用の高周波電力が、無電極放電ランプに供
給された後、測定開始と、ほぼ同時に上記変調信号が、
高周波電力増幅器に供給される。
By the way, in the conventional electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption photometer,
After the high frequency power for absorption spectrophotometry is supplied to the electrodeless discharge lamp, at the same time as the measurement start, the modulation signal,
It is supplied to the high frequency power amplifier.

【0008】上記変調信号が、高周波電力増幅器に供給
され、変調信号により変調された高周波電力が無電極放
電ランプに供給された直後においては、無電極放電ラン
プの励振コイルのインピーダンスは不安定であり、反射
電力が増加してランプの輝度が低下してしまう。したが
って、従来の原子吸光光度計用の無電極放電ランプ点灯
装置においては、原子吸光光度測定の初期状態には、高
精度な測定が望めなかった。
Immediately after the modulation signal is supplied to the high frequency power amplifier and the high frequency power modulated by the modulation signal is supplied to the electrodeless discharge lamp, the impedance of the excitation coil of the electrodeless discharge lamp is unstable. However, the reflected power increases and the brightness of the lamp decreases. Therefore, in the conventional electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer, highly accurate measurement could not be expected in the initial state of atomic absorption spectrophotometry.

【0009】そこで、原子吸光光度計用の無電極放電ラ
ンプ点灯装置として、上記特開平5−275184号公
報に記載された「無電極放電ランプ点灯装置」を適用す
る事が考えれられる。しかしながら、上記公報記載のラ
ンプ点灯装置を原子吸光光度計のランプ点灯装置に適用
しても、ランプ本体と点灯用コイルとの相対位置移動等
のインピーダンス整合のための調整時間が必要である。
このため、変調信号が発生された直後においては、ラン
プの励振コイルのインピーダンスが不安定であり、原子
吸光光度測定の初期状態には、高精度な測定が望めな
い。
Therefore, it is conceivable to apply the "electrodeless discharge lamp lighting device" described in JP-A-5-275184 as an electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption photometer. However, even if the lamp lighting device described in the above publication is applied to a lamp lighting device of an atomic absorption spectrophotometer, adjustment time is required for impedance matching such as relative position movement between the lamp body and the lighting coil.
Therefore, immediately after the modulation signal is generated, the impedance of the excitation coil of the lamp is unstable, and highly accurate measurement cannot be expected in the initial state of atomic absorption spectrophotometry.

【0010】本発明の目的は、原子吸光光度測定初期の
状態においても、反射電力が抑制され、安定した輝度の
測定光を発生可能な、原子吸光光度計用の無電極放電ラ
ンプ点灯装置を実現することである。
An object of the present invention is to realize an electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer, which is capable of generating a measurement light with a stable brightness, in which the reflected power is suppressed even in the initial state of atomic absorption spectrophotometry. It is to be.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、次のように構成される。原子吸光光度測定
のための測定光変調信号を発生する原子吸光光度計用の
無電極放電ランプ点灯装置において、測定光変調信号と
ほぼ同様な擬似変調信号を発生する擬似変調信号発生手
段と、原子吸光光度計から測定光変調信号が発生されて
いない場合には、擬似変調信号発生手段からの擬似変調
信号を選択して出力し、原子吸光光度計から測定光変調
信号が発生されると、擬似変調信号に代えて測定光変調
信号を選択して出力する出力選択手段と、出力選択手段
から出力された変調信号により、高周波電力を変調して
増幅し、この変調して増幅された高周波電力を無電極放
電ランプに供給する電力増幅手段とを備える。
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. In an electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer that generates a measurement light modulation signal for atomic absorption spectrophotometry, a pseudo modulation signal generation unit that generates a pseudo modulation signal almost similar to the measurement light modulation signal, and an atomic When the measurement light modulation signal is not generated from the absorptiometer, the pseudo modulation signal from the pseudo modulation signal generating means is selected and output, and when the measurement light modulation signal is generated from the atomic absorption photometer, The output selection means for selecting and outputting the measurement light modulation signal instead of the modulation signal and the modulation signal output from the output selection means modulates and amplifies the high frequency power, and the modulated and amplified high frequency power is output. Power amplification means for supplying the electrodeless discharge lamp.

【0012】好ましくは、上記原子吸光光度計用の無電
極放電ランプ点灯装置において、電力増幅手段の出力電
力値の指令値を手動で設定し、出力可能な電力値手動設
定手段と、電力増幅手段の所定の出力電力指令値を出力
する所定指令値出力手段と、電力値手動設定手段からの
電力指令値と所定指令値出力手段からの電力指令値との
どちらかを選択して、電力増幅手段に指令し、電力増幅
手段の出力電力を制御する出力電力制御手段とを備え
る。
Preferably, in the above electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer, a command value of an output power value of the power amplification means is manually set, and a power value manual setting means capable of outputting and a power amplification means. A predetermined command value output means for outputting a predetermined output power command value, a power command value from the power value manual setting means, and a power command value from the predetermined command value output means, and a power amplifying means. And output power control means for controlling the output power of the power amplification means.

【0013】また、好ましくは、上記原子吸光光度計用
の無電極放電ランプ点灯装置において、出力電力制御手
段は、電力増幅手段の出力電力を検出する電力検出手段
と、この電力検出手段により検出された電力値と上記電
力指令値とを比較手段とを備え、この比較手段による電
力指令値と検出された電力値との比較に基づいて、電力
増幅手段の出力電力を制御する。
Preferably, in the above electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption photometer, the output power control means detects the output power of the power amplification means, and the power detection means detects the power. The power value and the power command value are compared with each other, and the output power of the power amplification means is controlled based on the comparison between the power command value detected by the comparison means and the detected power value.

【0014】また、好ましくは、上記原子吸光光度計用
の無電極放電ランプ点灯装置において、電力増幅手段か
らの出力電力の反射波電力を検出する反射波電力検出手
段と、この反射波電力検出手段により検出された反射波
電力と所定値とを比較する反射波電力比較手段とを、さ
らに備え、反射波電力が、所定値以上となると、出力選
択手段からの変調信号の出力を停止させる。
Preferably, in the above electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption photometer, reflected wave power detecting means for detecting reflected wave power of output power from the power amplifying means, and this reflected wave power detecting means. Reflected wave power comparing means for comparing the reflected wave power detected by the above with a predetermined value is further provided, and when the reflected wave power exceeds a predetermined value, the output of the modulated signal from the output selecting means is stopped.

【0015】[0015]

【作用】原子吸光光度計の測定動作開始立ち上がり時に
おいては、測定光変調信号は発生されず、擬似変調信号
発生手段からの擬似変調信号が出力選択手段により、選
択され、この擬似変調信号により電力増幅手段からの高
周波電力が変調され、無電極放電ランプに供給される。
原子吸光光度計の測定動作開始から一定時間経過する
と、測定光変調信号が発生される。この測定光変調信号
が発生されると、出力選択手段は、擬似変調信号に代え
て測定光変調信号を電力増幅手段に供給し、この測定光
変調信号により変調された高周波電力が無電極放電ラン
プに供給される。これにより、原子吸光光度計の測定開
始時、つまり、測定光変調信号発生時において、無電極
放電ランプの励振コイルのインピーダンスが不安定とな
ることが回避される。
The measuring light modulation signal is not generated at the start of the measurement operation of the atomic absorption spectrophotometer, and the pseudo modulation signal from the pseudo modulation signal generating means is selected by the output selecting means. The high frequency power from the amplification means is modulated and supplied to the electrodeless discharge lamp.
When a certain time has elapsed from the start of the measurement operation of the atomic absorption spectrophotometer, a measurement light modulation signal is generated. When this measurement light modulation signal is generated, the output selection means supplies the measurement light modulation signal instead of the pseudo modulation signal to the power amplification means, and the high frequency power modulated by this measurement light modulation signal is supplied to the electrodeless discharge lamp. Is supplied to. This prevents the impedance of the excitation coil of the electrodeless discharge lamp from becoming unstable at the start of the measurement by the atomic absorption spectrophotometer, that is, when the measurement light modulation signal is generated.

【0016】また、電力値手動設定手段により、電力増
幅手段の出力電力の指令値が手動により設定される。こ
れにより、電力増幅手段から無電極放電ランプに供給さ
れる電力を徐々に増加するように設定可能となり、無電
極放電ランプの励振コイルのインピーダンスが不安定と
なることが回避される。
Further, the command value of the output power of the power amplification means is manually set by the power value manual setting means. This makes it possible to set the electric power supplied from the power amplification means to the electrodeless discharge lamp to be gradually increased, and to avoid the impedance of the excitation coil of the electrodeless discharge lamp from becoming unstable.

【0017】また、反射波電力検出手段により検出され
た反射波電力と所定値とが、反射波電力比較手段により
比較された結果、反射波電力が、所定値以上となると、
上記出力選択手段からの変調信号の出力が停止される。
これにより、反射波電力による電力増幅器の発熱破損が
防止される。
Further, when the reflected wave power detected by the reflected wave power detecting means and the predetermined value are compared by the reflected wave power comparing means, the reflected wave power becomes equal to or more than the predetermined value.
The output of the modulation signal from the output selection means is stopped.
This prevents heat damage to the power amplifier due to reflected wave power.

【0018】[0018]

【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図1は、本発明の一実施例である原子吸光
光度計用の無電極放電ランプ点灯装置の全体概略構成図
である。図1において、無電極放電ランプ1から発生さ
れた光は、試料Sが注入されるキュベット2で燃焼され
原子化された試料Sを通過する。そして、試料Sを通過
した光は、スリット3を通過し、回折格子4に到達し、
この回折格子4により分光される。分光された光は、さ
らに偏光子5及びチョッパ手段6を通過して、フォトマ
ルチプライヤ7に到達する。フォトマルチプライヤ7に
到達した光は、電気信号に変換され、この電気信号が増
幅器8に供給されて信号増幅される。そして、この増幅
された信号が、特定波長で測光した試料の吸光度を示す
測定信号となる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an overall schematic configuration diagram of an electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption photometer, which is an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the light generated from the electrodeless discharge lamp 1 passes through the atomized sample S which is burned in the cuvette 2 into which the sample S is injected. Then, the light passing through the sample S passes through the slit 3 and reaches the diffraction grating 4,
The light is dispersed by the diffraction grating 4. The dispersed light further passes through the polarizer 5 and the chopper means 6, and reaches the photomultiplier 7. The light that has reached the photomultiplier 7 is converted into an electric signal, and this electric signal is supplied to the amplifier 8 to be amplified. Then, this amplified signal becomes a measurement signal indicating the absorbance of the sample measured at a specific wavelength.

【0019】チョッパ手段6は、モータ11により回転
される。このモータ11への回転駆動指令信号は、コン
ピュータ12からコントローラ14を介して供給され
る。測定開始、終了等の指令は、キーボード等の操作部
13からコンピュータ12に供給される。チョッパ手段
6から発生される測定光変調信号がフォトカプラ9に伝
達され、伝達された変調信号は、波形成形回路10に供
給される。そして、この波形成形回路10により成形さ
れた信号は後述する信号選択回路16に供給される。
The chopper means 6 is rotated by a motor 11. The rotation drive command signal to the motor 11 is supplied from the computer 12 via the controller 14. Commands such as measurement start and end are supplied to the computer 12 from the operation unit 13 such as a keyboard. The measurement light modulation signal generated from the chopper means 6 is transmitted to the photocoupler 9, and the transmitted modulation signal is supplied to the waveform shaping circuit 10. The signal shaped by the waveform shaping circuit 10 is supplied to the signal selection circuit 16 described later.

【0020】なお、チョッパ手段6から発生される変調
信号は、例えば、電源周波数が50Hzであれば150
0Hzとなり、電源周波数が60Hzであれば1800
Hzとなる。
The modulation signal generated from the chopper means 6 is, for example, 150 if the power supply frequency is 50 Hz.
0 Hz, and if the power supply frequency is 60 Hz, 1800
It becomes Hz.

【0021】上述したキュベット2、スリット3、回折
格子4、偏光子5、チョッパ手段6、フォトマルチプラ
イヤ7、増幅器8、フォトカプラ9、波形成形回路1
0、モータ11、コンピュータ12、操作部13、コン
トローラ14により原子吸光光度計の検出部36が構成
される。
The above-mentioned cuvette 2, slit 3, diffraction grating 4, polarizer 5, chopper means 6, photomultiplier 7, amplifier 8, photocoupler 9, waveform shaping circuit 1
0, the motor 11, the computer 12, the operation unit 13, and the controller 14 constitute a detection unit 36 of the atomic absorption spectrophotometer.

【0022】次に、無電極放電ランプ点灯装置について
説明する。水晶発振回路18から発生される27.12
MHzの発振周波数の正弦波信号がアッテネータ19に
入力される。このアッテネータ19からの出力信号は、
前置電力増幅器20で増幅され、次段の主電力増幅器2
1に供給される。この主電力増幅器21には、波形成形
回路10からの変調信号又は擬似変調信号発生回路17
からの擬似変調信号が、選択回路16を介して供給され
る。
Next, the electrodeless discharge lamp lighting device will be described. 27.12 generated from crystal oscillator circuit 18
A sine wave signal having an oscillation frequency of MHz is input to the attenuator 19. The output signal from this attenuator 19 is
The main power amplifier 2 of the next stage, which is amplified by the front power amplifier 20
1 is supplied. The main power amplifier 21 includes a modulation signal or pseudo modulation signal generation circuit 17 from the waveform shaping circuit 10.
The pseudo-modulated signal from is supplied via the selection circuit 16.

【0023】つまり、波形成形回路10から変調信号d
が出力されていない場合には、擬似変調信号発生回路1
7からの擬似変調信号が、選択回路16により選択さ
れ、変調信号fとして主電力増幅器21に供給される。
そして、波形成形回路10から変調信号dが出力される
と、検出回路15によりこれが検出され、切り替え信号
eが選択回路16に供給される。選択回路16は、検出
回路15から切り替え信号eが供給されると、擬似変調
信号cから変調信号dに選択信号を切り替え、変調信号
dを、信号fとして、主電力増幅器21に供給する。
That is, the modulation signal d from the waveform shaping circuit 10
Is not output, the pseudo modulation signal generation circuit 1
The pseudo modulation signal from 7 is selected by the selection circuit 16 and supplied to the main power amplifier 21 as the modulation signal f.
When the modulation signal d is output from the waveform shaping circuit 10, the detection circuit 15 detects it and the switching signal e is supplied to the selection circuit 16. When the switching signal e is supplied from the detection circuit 15, the selection circuit 16 switches the selection signal from the pseudo modulation signal c to the modulation signal d, and supplies the modulation signal d to the main power amplifier 21 as the signal f.

【0024】主電力増幅器21の出力gは、入射波電力
と反射波電力とを検出するための方向性カプラ22を介
して、特性インピーダンス50Ωの同軸ケーブルにて無
電極放電ランプ1の励振コイル(50Ω)に供給され
る。
The output g of the main power amplifier 21 is passed through the directional coupler 22 for detecting the incident wave power and the reflected wave power, and the excitation coil (of the electrodeless discharge lamp 1 with a coaxial cable having a characteristic impedance of 50Ω). 50 Ω).

【0025】方向性カプラ22から入反射検出回路23
を介して検出された入射波電力は、増幅器26を介して
電力メータ27に供給され、この電力メータにより、入
射波電力がモニタされる。また、入反射検出回路23に
より検出された入射波電力は、演算増幅器25に一方の
入力端に供給される。この演算増幅器25の他方の入力
端には、マルチプレクサ28からの電力設定指令信号が
供給される。そして、演算増幅器25により入射波電力
と電力設定指令信号との差が演算され、この演算された
結果に基づいて、アッテネータ19の減衰動作が制御さ
れる。つまり、増幅器25により、主電力増幅器21の
出力が負帰還制御される。
Directional coupler 22 to incident / reflection detection circuit 23
The incident wave power detected via the is supplied to the power meter 27 via the amplifier 26, and the incident wave power is monitored by this power meter. The incident wave power detected by the incident / reflection detection circuit 23 is supplied to the operational amplifier 25 at one input end. A power setting command signal from the multiplexer 28 is supplied to the other input terminal of the operational amplifier 25. Then, the difference between the incident wave power and the power setting command signal is calculated by the operational amplifier 25, and the attenuation operation of the attenuator 19 is controlled based on the calculated result. That is, the output of the main power amplifier 21 is negatively feedback controlled by the amplifier 25.

【0026】マルチプレクサ28には、D/A変換器3
2からの指令信号aとD/A変換器33からの指令信号
bとが入力信号として供給されており、コントローラ1
4からの切り替え信号により、指令信号aかbかを選択
して、増幅器25に供給する構成となっている。つま
り、手動操作により電力設定を行う場合には、指令信号
aが選択され、自動操作により電力設定を行う場合に
は、指令信号bが選択される。
The multiplexer 28 includes a D / A converter 3
The command signal a from the controller 2 and the command signal b from the D / A converter 33 are supplied as input signals.
The command signal a or b is selected according to the switching signal from 4 and supplied to the amplifier 25. That is, the command signal a is selected when the power is set manually, and the command signal b is selected when the power is set automatically.

【0027】発振器29から発生される50Hzの低周
波クロックパルスは、ゲート30及びカウンタ31を介
してD/A変換器32に供給され、D/A変換され、指
令信号aとしてマルチプレクサ28に供給される。ま
た、ゲート30には、アップスイッチ34及びダウンス
イッチ35が接続されている。
The low-frequency clock pulse of 50 Hz generated from the oscillator 29 is supplied to the D / A converter 32 via the gate 30 and the counter 31, is D / A converted, and is supplied to the multiplexer 28 as the command signal a. It Further, an up switch 34 and a down switch 35 are connected to the gate 30.

【0028】また、コンピュータ12から出力された電
力設定指令信号は、コントローラ14を介してD/A変
換器33に供給され、D/A変換され、指令信号bとし
て、マルチプレクサ28に供給される。
Further, the power setting command signal output from the computer 12 is supplied to the D / A converter 33 via the controller 14, is D / A converted, and is supplied to the multiplexer 28 as a command signal b.

【0029】まず、手動操作では、アップスイッチ34
が手動により押し続けられると、発振器29から発生す
る低周波クロックパルスがゲート回路30を介してアッ
プダウンカウンタ31のカウントアップ側に入力され
る。アップダウンカンタ31は、入力されたクロックパ
ルスをカウントアップし、カウントアップした内容のパ
ラレル信号をD/A変換器32に供給する。
First, in the manual operation, the up switch 34
When is manually pushed, the low frequency clock pulse generated from the oscillator 29 is input to the count-up side of the up-down counter 31 via the gate circuit 30. The up-down counter 31 counts up the input clock pulse and supplies the parallel signal having the counted-up content to the D / A converter 32.

【0030】また、ダウンスイッチ35が手動により押
し続けられると、発振器29から発生する低周波クロッ
クパルスがゲート回路30を介してアップダウンカウン
タ31のカウントダウン側に入力される。アップダウン
カンタ31は、入力されたクロックパルスをカウントダ
ウンし、カウントダウンした内容のパラレル信号をD/
A変換器32に供給される。
When the down switch 35 is continuously pressed manually, the low frequency clock pulse generated from the oscillator 29 is input to the countdown side of the up / down counter 31 via the gate circuit 30. The up / down counter 31 counts down the input clock pulse and outputs the parallel signal of the counted down D / D.
It is supplied to the A converter 32.

【0031】手動操作及び自動操作の切り替えは、例え
ば、無電極放電ランプ1への電力供給初期時には、フィ
ードバック制御を実行しながら、手動操作により、供給
電力を緩やかに立ち上げる(ソフトスタート)。そし
て、無電極放電ランプ1への供給電力が一定値となる
と、自動操作に切り替え、供給電力が一定値となるよう
に、フィードバック制御が実行される。
For switching between the manual operation and the automatic operation, for example, at the initial stage of the power supply to the electrodeless discharge lamp 1, while the feedback control is being executed, the supplied power is gradually raised by the manual operation (soft start). Then, when the electric power supplied to the electrodeless discharge lamp 1 becomes a constant value, the automatic control is performed, and the feedback control is executed so that the supplied electric power becomes a constant value.

【0032】また、方向性カプラ22から入反射検出回
路23を介して検出された反射電力は、アナログ比較器
24の一方端に供給される。このアナログ比較器24の
他方端には、基準信号が供給されている。そして、反射
電力が基準信号より大となると、アナログ比較器24か
ら選択回路16に停止信号が供給され、主電力増幅器2
1への変調信号(バイアス信号)の供給が停止される。
The reflected power detected by the directional coupler 22 via the incident / reflection detection circuit 23 is supplied to one end of the analog comparator 24. A reference signal is supplied to the other end of the analog comparator 24. Then, when the reflected power becomes larger than the reference signal, the analog comparator 24 supplies a stop signal to the selection circuit 16, and the main power amplifier 2
The supply of the modulation signal (bias signal) to 1 is stopped.

【0033】これは、無電極放電ランプ1への電力供給
時に、点灯を失敗すると、励振コイルのインピーダンス
変動あるいは高周波回路の不安定等が起こり、反射波電
力が増加して主電力増幅器21が発熱破損を起こす可能
性がある。そこで、主電力増幅器21を発熱破損から保
護するため、反射電力が基準値より大となると、アナロ
グ比較器24から選択回路16に停止信号が供給され、
主電力増幅器21への変調信号の供給が停止され、主電
力増幅器21の出力を停止させる。なお、マルチプレク
サ28、増幅器20及び25、アッテネータ19、発振
回路18、入反射検出回路23により、出力電力制御手
段が構成される。
This is because if the lighting fails when power is supplied to the electrodeless discharge lamp 1, fluctuations in the impedance of the excitation coil or instability of the high frequency circuit occur, the reflected wave power increases and the main power amplifier 21 generates heat. May cause damage. Therefore, in order to protect the main power amplifier 21 from heat damage, when the reflected power becomes larger than the reference value, a stop signal is supplied from the analog comparator 24 to the selection circuit 16,
The supply of the modulation signal to the main power amplifier 21 is stopped, and the output of the main power amplifier 21 is stopped. The multiplexer 28, the amplifiers 20 and 25, the attenuator 19, the oscillation circuit 18, and the entrance / exit detection circuit 23 constitute an output power control means.

【0034】図2は、無電極放電ランプ点灯装置におけ
る信号a〜gのタイミングチャートである。図2におい
て、時点t0から時点t1まで、電力設定指令信号a又は
bが、傾斜状に増加する(図2の(A))。この間、波
形成形回路10から変調信号d(図2の(C))は、出
力されていないので、擬似変調信号発生回路17からの
1650Hzの擬似変調信号c(図2の(B))が、選
択回路16を介して信号f(図2の(E))として主電
力増幅器21に供給される。したがって、擬似変調信号
cで変調された27.12MHzの電力gが無電極放電
ランプ1に供給される(図2の(F))。
FIG. 2 is a timing chart of the signals a to g in the electrodeless discharge lamp lighting device. In FIG. 2, from time t0 to time t1, the power setting command signal a or b increases in an inclined manner ((A) in FIG. 2). During this period, since the modulation signal d ((C) of FIG. 2) is not output from the waveform shaping circuit 10, the 1650 Hz pseudo modulation signal c ((B) of FIG. 2) from the pseudo modulation signal generation circuit 17 is The signal f ((E) in FIG. 2) is supplied to the main power amplifier 21 via the selection circuit 16. Therefore, the electric power g of 27.12 MHz modulated by the pseudo modulation signal c is supplied to the electrodeless discharge lamp 1 ((F) of FIG. 2).

【0035】そして、時点t2となると、波形整形回路
10から1800Hzの変調信号dが出力される(図2
の(C))。このとき、検出回路15からの切り替え信
号eが“H”レベルとなり(図2の(D))、変調信号
dが信号fとして、主電力増幅器21に供給される。
At time t2, the waveform shaping circuit 10 outputs the modulated signal d of 1800 Hz (see FIG. 2).
(C)). At this time, the switching signal e from the detection circuit 15 becomes the “H” level ((D) of FIG. 2), and the modulation signal d is supplied to the main power amplifier 21 as the signal f.

【0036】擬似変調信号cが供給される時点t0〜t2
は、無電極放電ランプ1の予備点灯時間となっており、
時点t2において、変調信号dに切り替えられても、変
調信号が1650Hzから1800Hzへと変化するの
みであるので、無電極放電ランプ1の励振コイルのイン
ピーダンスの変動は少なく安定している。これにより、
測定開始時t2においては、反射電力によるランプの輝
度低下が回避される。
Time points t0 to t2 when the pseudo modulation signal c is supplied
Is the preliminary lighting time of the electrodeless discharge lamp 1,
Even if the modulation signal is switched to the modulation signal d at the time point t2, the modulation signal only changes from 1650 Hz to 1800 Hz, so that the fluctuation of the impedance of the excitation coil of the electrodeless discharge lamp 1 is small and stable. This allows
At the time t2 when the measurement is started, the decrease in the brightness of the lamp due to the reflected power is avoided.

【0037】以上のように、本発明の一実施例によれ
ば、原子吸光光度計の検出部36から変調信号dが発生
されない、測定開始前期間において、擬似変調信号発生
回路17から発生される擬似信号cにより、無電極放電
ランプ1に供給する高周波電力が変調される。そして、
検出部36から変調信号dが発生されると、擬似変調信
号cに代えて、変調信号dにより、無電極放電ランプ1
に供給される高周波電力が変調される。したがって、原
子吸光光度測定初期の状態においても、反射電力が抑制
され、安定した輝度の測定光を発生可能な、原子吸光光
度計用の無電極放電ランプ点灯装置を実現することがで
きる。
As described above, according to the embodiment of the present invention, the modulation signal d is generated from the pseudo modulation signal generation circuit 17 in the pre-measurement period in which the modulation signal d is not generated from the detection unit 36 of the atomic absorption spectrophotometer. The high frequency power supplied to the electrodeless discharge lamp 1 is modulated by the pseudo signal c. And
When the modulation signal d is generated from the detection unit 36, the electrodeless discharge lamp 1 is replaced by the modulation signal d instead of the pseudo modulation signal c.
The high frequency power supplied to is modulated. Therefore, it is possible to realize an electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer, in which reflected power is suppressed even in the initial state of atomic absorption spectrophotometry, and measurement light with stable luminance can be generated.

【0038】また、本発明の一実施例によれば、無電極
放電ランプ1に供給される高周波電力の反射波電力が増
大すると、自動的に主電力増幅器21への変調信号の供
給が停止される。これにより、反射波電力による主電力
増幅器21の発熱破損を防止することができる。
According to the embodiment of the present invention, when the reflected wave power of the high frequency power supplied to the electrodeless discharge lamp 1 increases, the supply of the modulation signal to the main power amplifier 21 is automatically stopped. It As a result, it is possible to prevent heat damage to the main power amplifier 21 due to reflected wave power.

【0039】さらに、本発明の一実施例によれば、無電
極放電ランプ1への電力供給初期時には、フィードバッ
ク制御を実行しながら、手動操作により、供給電力を緩
やかに立ち上げている。これにより、反射波電力の発生
を抑制して、高周波電力の効率を向上することができ
る。
Further, according to the embodiment of the present invention, at the initial stage of the power supply to the electrodeless discharge lamp 1, the power supply is gradually raised by the manual operation while executing the feedback control. Thereby, the generation of reflected wave power can be suppressed and the efficiency of high frequency power can be improved.

【0040】なお、上述した一実施例においては、擬似
変調信号を1800Hzと1500Hzの中間値である
1650Hzとしたが、これに限らず、擬似変調信号の
周波数は、1800Hzから1500Hzまでの任意の
周波数であってもよい。また、変調信号が、1800H
z又は1500Hzではない場合であっても、本発明
は、適用可能であり、擬似変調信号の周波数は、変調信
号の周波数と同一又は近い周波数とすることができる。
In the above-described embodiment, the pseudo modulation signal is set to 1650 Hz which is an intermediate value between 1800 Hz and 1500 Hz. However, the frequency of the pseudo modulation signal is not limited to this, and any frequency from 1800 Hz to 1500 Hz can be used. May be In addition, the modulation signal is 1800H
Even if it is not z or 1500 Hz, the present invention is applicable, and the frequency of the pseudo modulation signal can be the same as or close to the frequency of the modulation signal.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているため、次のような効果がある。原子吸光光度計に
用いる光源である無電極放電ランプ(EDL)を安定し
た高周波電力供給で輝度を一定に保ことができ信頼性の
高い電源を提供すると同時に、自動的に電力設定を行う
機能によって顧客への操作性の向上に効果がある。
Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. The electrodeless discharge lamp (EDL), which is the light source used in the atomic absorption spectrophotometer, can maintain a constant brightness with a stable high-frequency power supply and provides a highly reliable power source. Effective in improving operability for customers.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例である原子吸光光度計用の無
電極ランプ点灯装置の概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an electrodeless lamp lighting device for an atomic absorption photometer, which is an embodiment of the present invention.

【図2】図1の例である無電極放電ランプ点灯装置にお
ける信号のタイミングチャートである。
FIG. 2 is a timing chart of signals in the electrodeless discharge lamp lighting device which is the example of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 無電極放電ランプ(EDL) 2 キュベット 3 スリット 4 回折格子 5 偏光子 6 チョッパ手段 7 ホトマルチプライヤ 8、25、26 増幅器 9 フォトカプラ 10 波形整形回路 11 モータ 12 コンピュータ 13 操作部 14 コントローラ 15 信号検出回路 16 信号選択回路 17 擬似変調信号発生回路 18 水晶発振回路 19 アッテネータ 20 前置電力増幅器 21 主電力増幅器 22 方向性カプラ 23 入反射電力検出器 24 比較器 27 電力メータ 28 マルチプレクサ 29 低周波発振器 30 ゲート回路 31 アップダウンカウンタ 32、33 D/A変換器 34 アップスイッチ 35 ダウンスイッチ 36 検出部 1 Electrode Discharge Lamp (EDL) 2 Cuvette 3 Slit 4 Diffraction Grating 5 Polarizer 6 Chopper Means 7 Photomultipliers 8, 25, 26 Amplifier 9 Photocoupler 10 Waveform Shaping Circuit 11 Motor 12 Computer 13 Operating Unit 14 Controller 15 Signal Detection Circuit 16 Signal Selection Circuit 17 Pseudo Modulation Signal Generation Circuit 18 Crystal Oscillation Circuit 19 Attenuator 20 Front Power Amplifier 21 Main Power Amplifier 22 Directional Coupler 23 Ingress Reflection Power Detector 24 Comparator 27 Power Meter 28 Multiplexer 29 Low Frequency Oscillator 30 Gate Circuit 31 Up / down counter 32, 33 D / A converter 34 Up switch 35 Down switch 36 Detector

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 原子吸光光度測定のための測定光変調信
号を発生する原子吸光光度計用の無電極放電ランプ点灯
装置において、 上記測定光変調信号とほぼ同様な擬似変調信号を発生す
る擬似変調信号発生手段と、 原子吸光光度計から測定光変調信号が発生されていない
場合には、擬似変調信号発生手段からの擬似変調信号を
選択して出力し、原子吸光光度計から測定光変調信号が
発生されると、擬似変調信号に代えて測定光変調信号を
選択して出力する出力選択手段と、 上記出力選択手段から出力された変調信号により、高周
波電力を変調して増幅し、この変調して増幅された高周
波電力を無電極放電ランプに供給する電力増幅手段と、 を備えることを特徴とする原子吸光光度計用の無電極放
電ランプ点灯装置。
1. An electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer that generates a measurement light modulation signal for measuring atomic absorption photometry, and a pseudo modulation that generates a pseudo modulation signal substantially similar to the measurement light modulation signal. When the measurement light modulation signal is not generated from the signal generation means and the atomic absorption photometer, the pseudo modulation signal from the pseudo modulation signal generation means is selected and output, and the measurement light modulation signal is output from the atomic absorption photometer. When generated, the high-frequency power is modulated and amplified by the output selection means that selects and outputs the measurement light modulation signal instead of the pseudo modulation signal, and the modulation signal output from the output selection means. An electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer, comprising: power amplification means for supplying high-frequency power amplified by the electrodeless discharge lamp to the electrodeless discharge lamp.
【請求項2】 請求項1記載の原子吸光光度計用の無電
極放電ランプ点灯装置において、上記電力増幅手段の出
力電力の指令値を手動で設定し、出力可能な電力値手動
設定手段と、上記電力増幅手段の所定の出力電力指令値
を出力する所定指令値出力手段と、上記電力値手動設定
手段からの電力指令値と所定指令値出力手段からの電力
指令値とのどちらかを選択して、上記電力増幅手段に指
令し、上記電力増幅手段の出力電力を制御する出力電力
制御手段とを備えることを特徴とする原子吸光光度計用
の無電極放電ランプ点灯装置。
2. The electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer according to claim 1, wherein a command value of the output power of the power amplification means is manually set, and a power value manual setting means capable of outputting is provided. A predetermined command value output means for outputting a predetermined output power command value of the power amplification means, or a power command value from the power value manual setting means or a power command value from the predetermined command value output means is selected. And an output power control unit for controlling the output power of the power amplification unit by issuing a command to the power amplification unit, and an electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption photometer.
【請求項3】 請求項2記載の原子吸光光度計用の無電
極放電ランプ点灯装置において、上記出力電力制御手段
は、電力増幅手段の出力電力を検出する電力検出手段
と、この電力検出手段により検出された電力値と上記電
力指令値とを比較手段とを備え、この比較手段による電
力指令値と検出された電力値との比較に基づいて、上記
電力増幅手段の出力電力を制御することを特徴とする原
子吸光光度計用の無電極放電ランプ点灯装置。
3. The electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer according to claim 2, wherein the output power control means includes power detection means for detecting output power of the power amplification means, and the power detection means. Comprising a means for comparing the detected power value and the power command value, based on the comparison of the power command value and the detected power value by the comparison means, to control the output power of the power amplification means A characteristic electrodeless discharge lamp lighting device for atomic absorption spectrophotometers.
【請求項4】 請求項1又は2記載の原子吸光光度計用
の無電極放電ランプ点灯装置において、電力増幅手段か
らの出力電力の反射波電力を検出する反射波電力検出手
段と、この反射波電力検出手段により検出された反射波
電力と所定値とを比較する反射波電力比較手段とを、さ
らに備え、上記反射波電力が、所定値以上となると、上
記出力選択手段からの変調信号の出力を停止させること
を特徴とする原子吸光光度計用の無電極放電ランプ点灯
装置。
4. The electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer according to claim 1 or 2, and a reflected wave power detecting means for detecting reflected wave power of output power from the power amplifying means, and the reflected wave. A reflected wave power comparison means for comparing the reflected wave power detected by the power detection means with a predetermined value is further provided, and when the reflected wave power becomes a predetermined value or more, the output of the modulated signal from the output selection means. An electrodeless discharge lamp lighting device for an atomic absorption spectrophotometer, which is characterized by stopping.
JP20841694A 1994-09-01 1994-09-01 Electrodeless discharge lamp lighting apparatus for atomic absorptiometer Pending JPH0875636A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006147454A (en) * 2004-11-24 2006-06-08 Koito Mfg Co Ltd Electrodeless discharge lamp device

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