JPH0874961A - ラック−ピニオン駆動機構 - Google Patents
ラック−ピニオン駆動機構Info
- Publication number
- JPH0874961A JPH0874961A JP21458294A JP21458294A JPH0874961A JP H0874961 A JPH0874961 A JP H0874961A JP 21458294 A JP21458294 A JP 21458294A JP 21458294 A JP21458294 A JP 21458294A JP H0874961 A JPH0874961 A JP H0874961A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pinion
- rack
- guide
- drive mechanism
- teeth
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はラック−ピニオン駆動機構に関し、
簡単な機構にもかかわらず歯先の衝突を回避しつつ、ス
ムーズなかみ合いを実現することを目的とする。 【構成】 ピニオン軸10上にカム３と、カム３の凹面上
辺3-1 に接触するようばね付勢される球体４よりなる停
止機構が設けられると共に、ピニオン６の片側にピニオ
ンに対して間引きした歯を有したピニオンガイド５とラ
ック８の先端にラックの歯と位相が合致するように設け
られたラックガイド７よりなる位相合わせ機構が具備さ
れる。ピニオン軸10を停止機構により所定角度位置に停
止させた後、ラック８を前進させ、ラックガイド７とピ
ニオンガイド５とを係合させることによりラック８とピ
ニオン３とを噛み合わせる。
簡単な機構にもかかわらず歯先の衝突を回避しつつ、ス
ムーズなかみ合いを実現することを目的とする。 【構成】 ピニオン軸10上にカム３と、カム３の凹面上
辺3-1 に接触するようばね付勢される球体４よりなる停
止機構が設けられると共に、ピニオン６の片側にピニオ
ンに対して間引きした歯を有したピニオンガイド５とラ
ック８の先端にラックの歯と位相が合致するように設け
られたラックガイド７よりなる位相合わせ機構が具備さ
れる。ピニオン軸10を停止機構により所定角度位置に停
止させた後、ラック８を前進させ、ラックガイド７とピ
ニオンガイド５とを係合させることによりラック８とピ
ニオン３とを噛み合わせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はラック−ピニオン駆動
機構に関するものであり、プラズマＣＶＤ装置などの真
空処理装置における基板トレイの搬送機構のほか、機械
分野全般で用いられる駆動伝達機構として使用すること
ができるものである。
機構に関するものであり、プラズマＣＶＤ装置などの真
空処理装置における基板トレイの搬送機構のほか、機械
分野全般で用いられる駆動伝達機構として使用すること
ができるものである。
【０００２】
【従来の技術】真空処理装置では、基板を積載したトレ
イを各処理室の間で順次搬送して基板に所望の処理を行
う。その搬送機構では、トレイに固定されたラックを各
処理室に設けられたピニオンに順次かみ合わせて搬送す
る。この時、ピニオンから離れた状態にあるラックが、
ピニオンに接近してこれとかみ合う際に歯先の衝突がし
ばしば発生する。歯先の衝突が発生すると、駆動機構を
破損したり、搬送不能になったり、正常なかみ合いに戻
る際の衝突で、基板の破損や発塵による基板不良を招い
たりする。
イを各処理室の間で順次搬送して基板に所望の処理を行
う。その搬送機構では、トレイに固定されたラックを各
処理室に設けられたピニオンに順次かみ合わせて搬送す
る。この時、ピニオンから離れた状態にあるラックが、
ピニオンに接近してこれとかみ合う際に歯先の衝突がし
ばしば発生する。歯先の衝突が発生すると、駆動機構を
破損したり、搬送不能になったり、正常なかみ合いに戻
る際の衝突で、基板の破損や発塵による基板不良を招い
たりする。
【０００３】従来技術では、一方向クラッチを設けた
り、ピニオンを軸に垂直な方向または軸の方向に逃す技
術が提案されている。これらの技術は歯先の衝突があっ
ても自動ですぐに正常なかみ合いに復帰せしめようとす
る思想のものである。また、ピニオンの停止角度をセン
サ及び制御機構によって正確に管理することによってラ
ックをピニオンに歯先と衝突を起こすことなしに係合せ
しめるものも提案されている。
り、ピニオンを軸に垂直な方向または軸の方向に逃す技
術が提案されている。これらの技術は歯先の衝突があっ
ても自動ですぐに正常なかみ合いに復帰せしめようとす
る思想のものである。また、ピニオンの停止角度をセン
サ及び制御機構によって正確に管理することによってラ
ックをピニオンに歯先と衝突を起こすことなしに係合せ
しめるものも提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一方向クラッチを設け
たり、ピニオンを軸に垂直な方向または軸の方向に逃す
技術はラックとピニオンとの位相関係は当初は修正せず
に、その後正常なかみ合いに復帰せしめようとするもの
であることからそもそもラックとピニオンとの衝突は回
避できず、早期の損傷のおそれがあった。また、クラッ
チの使用の場合はラックの運動方向が一方向に制限され
る。また、ピニオンを垂直又は軸方向に逃す技術は、中
間ギヤの必要からスペースが増大すると共に、摺動部分
が増加し、機構的に複雑となる。
たり、ピニオンを軸に垂直な方向または軸の方向に逃す
技術はラックとピニオンとの位相関係は当初は修正せず
に、その後正常なかみ合いに復帰せしめようとするもの
であることからそもそもラックとピニオンとの衝突は回
避できず、早期の損傷のおそれがあった。また、クラッ
チの使用の場合はラックの運動方向が一方向に制限され
る。また、ピニオンを垂直又は軸方向に逃す技術は、中
間ギヤの必要からスペースが増大すると共に、摺動部分
が増加し、機構的に複雑となる。
【０００５】センサと制御機構によりピニオンの停止位
置を管理する技術はピニオンとラックとの位相を完全に
一致させてから係合を許容することから原理的に歯先の
衝突は皆無の筈である。しかしながら、真空処理装置へ
の応用を考えると、同装置では、300 〜400 °Ｃといっ
た高温処理を行うため、ラックとピニオンとの間にガタ
（遊び）を設けることによりスムーズな動きを実現して
いる。このガタはラックの垂直方向に３〜５mm程もあ
り、せっかくピニオンの停止角度を正確に管理しても歯
先の衝突は現実には発生する。それは、モジュール２〜
３程度のピニオンはラックのガタの許容値として２〜３
mmしかないからである。
置を管理する技術はピニオンとラックとの位相を完全に
一致させてから係合を許容することから原理的に歯先の
衝突は皆無の筈である。しかしながら、真空処理装置へ
の応用を考えると、同装置では、300 〜400 °Ｃといっ
た高温処理を行うため、ラックとピニオンとの間にガタ
（遊び）を設けることによりスムーズな動きを実現して
いる。このガタはラックの垂直方向に３〜５mm程もあ
り、せっかくピニオンの停止角度を正確に管理しても歯
先の衝突は現実には発生する。それは、モジュール２〜
３程度のピニオンはラックのガタの許容値として２〜３
mmしかないからである。
【０００６】この発明の目的は上記した従来技術の欠点
に鑑み、簡単な機構で歯先の衝突を回避し、スムーズな
かみ合いを実現することにある。
に鑑み、簡単な機構で歯先の衝突を回避し、スムーズな
かみ合いを実現することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明のラックと、ピ
ニオンとを備え、ラックとピニオンとを係合させること
により相互間の動力伝達を行うラック−ピニオン駆動機
構は、ピニオンを所定の回転角度位置に停止させるピニ
オン停止手段と、前記ラックから延設され、ラックの歯
と同位相のラックガイドと、ピニオンの歯と同位相であ
るが、それより間引きした係合部を有したピニオンガイ
ドとを具備し、前記ピニオン停止手段によるピニオンの
停止角度位置はラックガイドがピニオンガイドに向かっ
て前進したときにラックガイドと係合部との歯先の衝突
を回避することができる角度位置であることを特徴とす
る。
ニオンとを備え、ラックとピニオンとを係合させること
により相互間の動力伝達を行うラック−ピニオン駆動機
構は、ピニオンを所定の回転角度位置に停止させるピニ
オン停止手段と、前記ラックから延設され、ラックの歯
と同位相のラックガイドと、ピニオンの歯と同位相であ
るが、それより間引きした係合部を有したピニオンガイ
ドとを具備し、前記ピニオン停止手段によるピニオンの
停止角度位置はラックガイドがピニオンガイドに向かっ
て前進したときにラックガイドと係合部との歯先の衝突
を回避することができる角度位置であることを特徴とす
る。
【０００８】
【作用】ラックとピニオンとの係合に先立ってピニオン
停止手段はピニオンを所定の回転角度位置に停止せしめ
る。この停止角度位置はラックガイドがピニオンガイド
に向かって前進したときにラックガイドと係合部との歯
先の衝突を起こさない角度位置である。
停止手段はピニオンを所定の回転角度位置に停止せしめ
る。この停止角度位置はラックガイドがピニオンガイド
に向かって前進したときにラックガイドと係合部との歯
先の衝突を起こさない角度位置である。
【０００９】ラックは前記所定角度位置にピニオンが停
止されている状態において後退位置から前進される。ピ
ニオンの停止角度位置はラックガイドがピニオンガイド
に向かって前進したときにラックガイドと係合部との歯
先の衝突を起こさない角度位置であるため、ラックガイ
ドとピニオンガイドとは歯先の衝突を起こすことなく係
合される。
止されている状態において後退位置から前進される。ピ
ニオンの停止角度位置はラックガイドがピニオンガイド
に向かって前進したときにラックガイドと係合部との歯
先の衝突を起こさない角度位置であるため、ラックガイ
ドとピニオンガイドとは歯先の衝突を起こすことなく係
合される。
【００１０】ラックガイドが更に前進されることによ
り、ラックガイドとラックの歯の位相とピニオンガイド
の係合部とピニオンの歯の位相はそれぞれラックとピニ
オンが円滑に噛み合うように調整されていることから、
ラックガイドとピニオンガイドの係合部との係合により
ラックとピニオンとの円滑なかみ合い状態に移行され
る。
り、ラックガイドとラックの歯の位相とピニオンガイド
の係合部とピニオンの歯の位相はそれぞれラックとピニ
オンが円滑に噛み合うように調整されていることから、
ラックガイドとピニオンガイドの係合部との係合により
ラックとピニオンとの円滑なかみ合い状態に移行され
る。
【００１１】
【実施例】図１に本発明の構成を示す。モータ１の駆動
力は電磁クラッチ２によりピニオンシャフト１０に伝達
される。ピニオンシャフト１０には、ピニオン６の他、
カム３とばね１１と球４よりなるピニオン停止手段と、
ピニオン６に重ねて設けられるピニオンガイド５と、基
板トレイ９の側のラック８の両端に設けられるラックガ
イド７とを具備する。前記ピニオン停止手段を構成する
カム３は、図３に示すように上面よりみて実質的に５角
形をなし、その辺３─１は幾分内方に凹んでおり、この
辺３─１に球体４がばね１１によって当接付勢せしめら
れる。従って、カム３は回転力を加えない限りは球体４
が辺３─１の中央部に係合する図示の位置に保持される
が、カム３に軽微であっても回転力が加わると、球体４
はばね１１に抗して半径外方に変位することによりカム
３の回転が許容される。
力は電磁クラッチ２によりピニオンシャフト１０に伝達
される。ピニオンシャフト１０には、ピニオン６の他、
カム３とばね１１と球４よりなるピニオン停止手段と、
ピニオン６に重ねて設けられるピニオンガイド５と、基
板トレイ９の側のラック８の両端に設けられるラックガ
イド７とを具備する。前記ピニオン停止手段を構成する
カム３は、図３に示すように上面よりみて実質的に５角
形をなし、その辺３─１は幾分内方に凹んでおり、この
辺３─１に球体４がばね１１によって当接付勢せしめら
れる。従って、カム３は回転力を加えない限りは球体４
が辺３─１の中央部に係合する図示の位置に保持される
が、カム３に軽微であっても回転力が加わると、球体４
はばね１１に抗して半径外方に変位することによりカム
３の回転が許容される。
【００１２】ピニオンガイド５は、ピニオン６の歯を等
間隔で間引いた形状の歯５−１（本発明の係合部）を有
し、かつピニオン６とピニオンガイド５の歯５−１の位
相は一致させるように組まれている。ラックガイド７
は、ラック８の最端の歯よりも飛び出した位置に別の歯
７─１を置いた形状で、ラック８とラックガイド７の歯
先の位相は一致させるように組まれており、ピニオンガ
イド５の歯の数はカム３の辺３─１の数と等しくなって
いる。カム３の凹面３─１とピニオンガイド５の歯とは
どの停止位置でも一定の位相関係にある。また辺３─１
が図１、３のように球体４に係合することにより得られ
る保持位置では、ピニオンガイド５とカム３との位相関
係は図２に示すようにピニオンガイド５の一つの歯がラ
ック８の移動方向（矢印Ｆ）に平行な接線上に略位置す
るようにされている。
間隔で間引いた形状の歯５−１（本発明の係合部）を有
し、かつピニオン６とピニオンガイド５の歯５−１の位
相は一致させるように組まれている。ラックガイド７
は、ラック８の最端の歯よりも飛び出した位置に別の歯
７─１を置いた形状で、ラック８とラックガイド７の歯
先の位相は一致させるように組まれており、ピニオンガ
イド５の歯の数はカム３の辺３─１の数と等しくなって
いる。カム３の凹面３─１とピニオンガイド５の歯とは
どの停止位置でも一定の位相関係にある。また辺３─１
が図１、３のように球体４に係合することにより得られ
る保持位置では、ピニオンガイド５とカム３との位相関
係は図２に示すようにピニオンガイド５の一つの歯がラ
ック８の移動方向（矢印Ｆ）に平行な接線上に略位置す
るようにされている。
【００１３】ピニオン６から離れた状態にあるラック８
が、ピニオン６に接近して移動するときに、ラックガイ
ド７の歯先７─１の位置はラック８の歯のそれと位相が
合っていることから、ラックガイド７とピニオンガイド
５との係合時にピニオン６の位相はラック８と一致して
おり、ラック８とピニオン６の歯先は衝突することなく
かみ合い状態に移行される。
が、ピニオン６に接近して移動するときに、ラックガイ
ド７の歯先７─１の位置はラック８の歯のそれと位相が
合っていることから、ラックガイド７とピニオンガイド
５との係合時にピニオン６の位相はラック８と一致して
おり、ラック８とピニオン６の歯先は衝突することなく
かみ合い状態に移行される。
【００１４】一方、ラックガイド７とピニオンガイド５
の歯先の衝突が問題となるが、これは次のように回避し
ている。ラック８とピニオン６がかみ合う前には電磁ク
ラッチ２を断の状態にしておき、ピニオンシャフト１０
はピニオン停止機構により決められた回転角度で停止し
ている。その停止角度角度は、ラックガイド６とピニオ
ンガイド７とが作用する時に、それぞれの歯先の衝突が
生じないような角度である。図２のようにピニオンガイ
ド５の一つの歯５−１はラック８の移動方向に平行な接
線上にある。そのため、ラック８の移動時にラックガイ
ド７の先端７─１はピニオンガイド５とで歯先の直接の
衝突を回避可能な角度位置でピニオン６は停止されてい
る。ピニオンガイドは、ピニオンの歯を等間隔で間引い
た形状であるため、上記の歯先の衝突が生じないような
角度は、通常のピニオンに比べて十分に広い。従って、
図１に示すような簡単な機構でピニオンの停止をすれ
ば、ラックガイドとピニオンガイドの歯先の衝突も皆無
とすることができる。
の歯先の衝突が問題となるが、これは次のように回避し
ている。ラック８とピニオン６がかみ合う前には電磁ク
ラッチ２を断の状態にしておき、ピニオンシャフト１０
はピニオン停止機構により決められた回転角度で停止し
ている。その停止角度角度は、ラックガイド６とピニオ
ンガイド７とが作用する時に、それぞれの歯先の衝突が
生じないような角度である。図２のようにピニオンガイ
ド５の一つの歯５−１はラック８の移動方向に平行な接
線上にある。そのため、ラック８の移動時にラックガイ
ド７の先端７─１はピニオンガイド５とで歯先の直接の
衝突を回避可能な角度位置でピニオン６は停止されてい
る。ピニオンガイドは、ピニオンの歯を等間隔で間引い
た形状であるため、上記の歯先の衝突が生じないような
角度は、通常のピニオンに比べて十分に広い。従って、
図１に示すような簡単な機構でピニオンの停止をすれ
ば、ラックガイドとピニオンガイドの歯先の衝突も皆無
とすることができる。
【００１５】ラック８とピニオン６が正常にかみ合った
後に電磁クラッチ２を接続し、ピニオン６よりラック８
に駆動力を伝達することができる。モータ１の回転によ
りカム３が回転する際に玉４がばね１１に抗して半径方
向に変位することで、カム３は玉４を乗り越えながら回
転を継続する。図４に板ばねを用いたピニオン停止機構
の別の実施例を示す。ピニオンシャフト１１０にカム１
０３が組み付けられる。板ばね１０４はその内端が曲面
状をなしており、カム１０３の凹面状の辺１０３─１の
一つに接触し、他端はリング状の、不動の保持ハウジン
グ２０にねじ２２によって固定されている。板ばね１０
４が凹面状の辺１０３─１に係合することによりカム１
０３（即ちカムに連結されるピニオン）は或る回転角度
位置に停止され、第１実施例のカム３と球体４と同等に
機能することができる。即ち、停止時の角度位置では板
バネ１０４はカムの谷の部分に傾向しており、このとき
の角度位置は図２に関して説明したように歯先の衝突を
起こさない角度位置である。また、カム１０３の回転時
に板ばね１０４は軽微な力で半径方向に変位し、カム１
０３の回転（ピニオン軸１１０の回転）を許容し、ピニ
オンの回転はラックに伝達される。
後に電磁クラッチ２を接続し、ピニオン６よりラック８
に駆動力を伝達することができる。モータ１の回転によ
りカム３が回転する際に玉４がばね１１に抗して半径方
向に変位することで、カム３は玉４を乗り越えながら回
転を継続する。図４に板ばねを用いたピニオン停止機構
の別の実施例を示す。ピニオンシャフト１１０にカム１
０３が組み付けられる。板ばね１０４はその内端が曲面
状をなしており、カム１０３の凹面状の辺１０３─１の
一つに接触し、他端はリング状の、不動の保持ハウジン
グ２０にねじ２２によって固定されている。板ばね１０
４が凹面状の辺１０３─１に係合することによりカム１
０３（即ちカムに連結されるピニオン）は或る回転角度
位置に停止され、第１実施例のカム３と球体４と同等に
機能することができる。即ち、停止時の角度位置では板
バネ１０４はカムの谷の部分に傾向しており、このとき
の角度位置は図２に関して説明したように歯先の衝突を
起こさない角度位置である。また、カム１０３の回転時
に板ばね１０４は軽微な力で半径方向に変位し、カム１
０３の回転（ピニオン軸１１０の回転）を許容し、ピニ
オンの回転はラックに伝達される。
【００１６】図５に、ピニオンガイドとラックガイドの
別の形状を示す。この場合、ピニオンガイドはピニオン
２０６の端面にその歯に対して間引かれた位置に植設固
定されるピン３０により構成される。ラックガイド２０
７はラック２０８の先端に固定され、先端にピン状の係
合部２０７─１を有している。この図で分かるように、
ピニオンガイドとラックガイドの形状は、ラックとピニ
オンのかみ合い前にそれぞれの歯先の位相を同調させ得
るものであればどのような形状でもよい。
別の形状を示す。この場合、ピニオンガイドはピニオン
２０６の端面にその歯に対して間引かれた位置に植設固
定されるピン３０により構成される。ラックガイド２０
７はラック２０８の先端に固定され、先端にピン状の係
合部２０７─１を有している。この図で分かるように、
ピニオンガイドとラックガイドの形状は、ラックとピニ
オンのかみ合い前にそれぞれの歯先の位相を同調させ得
るものであればどのような形状でもよい。
【００１７】
【発明の効果】この発明によれば、ラック−ピニオン駆
動機構に、ピニオンを所定の回転角度位置にピニオン停
止手段と、前記ラックから延設され、ラックの歯と同位
相のラックガイドと、ピニオンの歯と同位相であるが、
それより間引きした係合部を有したピニオンガイドとを
具備させ、かつピニオン停止手段によるピニオンの停止
角度位置はラックガイドがピニオンガイドに向かって前
進したときにラックガイドと係合部との歯先の衝突を回
避する角度位置とすることにより、簡単な機構にもかか
わらずピニオンとラックとの歯先の衝突を回避しスムー
ズな係合が行われる効果がある。
動機構に、ピニオンを所定の回転角度位置にピニオン停
止手段と、前記ラックから延設され、ラックの歯と同位
相のラックガイドと、ピニオンの歯と同位相であるが、
それより間引きした係合部を有したピニオンガイドとを
具備させ、かつピニオン停止手段によるピニオンの停止
角度位置はラックガイドがピニオンガイドに向かって前
進したときにラックガイドと係合部との歯先の衝突を回
避する角度位置とすることにより、簡単な機構にもかか
わらずピニオンとラックとの歯先の衝突を回避しスムー
ズな係合が行われる効果がある。
【図１】図１はこの発明のラック−ピニオン駆動機構の
概略的斜視図である。
概略的斜視図である。
【図２】図２はこの発明のラック−ピニオン駆動機構の
概略的平面図である。
概略的平面図である。
【図３】図３は第１実施例のピニオン停止手段の概略的
平面図である。
平面図である。
【図４】図４は第２実施例のピニオン停止手段の概略的
平面図である。
平面図である。
【図５】図５は位相合わせ手段の別実施例を示す斜視図
である。
である。
１…モータ ２…クラッチ ３…カム ４…玉 ５…ピニオンガイド ５−１…ピニオンガイドの歯（係合部） ７…ラックガイド ６…ピニオン ８…ラック １０…ピニオン軸 １０３…カム １０４…板ばね ２０７…ラックガイド
Claims (5)
- 【請求項１】 ラックとピニオンとを備え、ラックとピ
ニオンとを係合させることにより相互間の動力伝達を行
うラック−ピニオン駆動機構において、ピニオンを所定
の回転角度位置に停止させるピニオン停止手段と、前記
ラックから延設され、ラックの歯と同位相のラックガイ
ドと、ピニオンの歯と同位相であるが、それより間引き
した係合部を有したピニオンガイドとを具備し、前記ピ
ニオン停止手段によるピニオンの停止角度位置はラック
ガイドがピニオンガイドに向かって前進したときにラッ
クガイドと係合部との歯先の衝突を回避する角度位置で
あることを特徴とするラック−ピニオン駆動機構。 - 【請求項２】 前記ピニオン停止手段は、前記回転駆動
手段とピニオンとの間に配置され、複数の周方向に間隔
をおいた滑らかな凹部と、該凹部に載置される球状部材
と、該球状部材をして前記凹部に接触するべく付勢する
弾性部材とから構成されることを特徴とする請求項１に
記載のラック−ピニオン駆動機構。 - 【請求項３】 前記ピニオン停止手段は、前記回転駆動
手段とピニオンとの間に配置され、複数の周方向に間隔
をおいた滑らかな凹部と、該凹部に一端がフリーに接触
するべく付勢された他端は拘束された板ばねとから構成
されることを特徴とする請求項１に記載のラック−ピニ
オン駆動機構。 - 【請求項４】 前記ピニオンガイドはピニオンの片側面
に固着され、ピニオンの歯と比較して間引いた歯部とし
ての係合部を有した歯付き部材として構成されることを
特徴とする請求項１に記載のラック−ピニオン駆動機
構。 - 【請求項５】 前記ピニオンガイドは、ピニオンの片側
面に周方向に間隔をおいてピニオンの歯のピッチより大
きなピッチで植設した係合ピンより構成されることを特
徴とする請求項１に記載のラック−ピニオン駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21458294A JPH0874961A (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | ラック−ピニオン駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21458294A JPH0874961A (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | ラック−ピニオン駆動機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0874961A true JPH0874961A (ja) | 1996-03-19 |
Family
ID=16658111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21458294A Withdrawn JPH0874961A (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | ラック−ピニオン駆動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0874961A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011098677A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Denso Corp | パーキングロック装置 |
| KR101232392B1 (ko) * | 2006-07-03 | 2013-02-12 | 현대자동차주식회사 | 차량용 변속장치 |
| KR101309659B1 (ko) * | 2012-02-01 | 2013-09-17 | 주식회사 자연이준식품 | 캠 기어를 이용한 길이 가변 프레임 모듈 및 이를 구비하는 보행형 이동 로봇 |
| JP2015093670A (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-18 | エンブラエル ソシエダージ アノーニマ | 航空機ステアの支援された上昇／下降のために特に有用な力平衡機構 |
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