JPH0874811A - Fluid pressure actuator - Google Patents
Fluid pressure actuatorInfo
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- JPH0874811A JPH0874811A JP21476394A JP21476394A JPH0874811A JP H0874811 A JPH0874811 A JP H0874811A JP 21476394 A JP21476394 A JP 21476394A JP 21476394 A JP21476394 A JP 21476394A JP H0874811 A JPH0874811 A JP H0874811A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title abstract description 24
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は流体圧力アクチュエータ
に係わり、特にセンサを内蔵した流体圧力アクチュエー
タに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid pressure actuator, and more particularly to a fluid pressure actuator incorporating a sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】アクチュエータのコンパクト化およびピ
ストンの変位あるいは移動速度の検出精度の向上を図る
ために、センサを内蔵したアクチュエータが使用されて
いる（例えば実願昭６３−１１５７１４号公報参照）。
上記提案にかかるアクチュエータは、ピストンにピスト
ン端面にて開口し内壁に被検出機構を設けた孔を形成す
るとともに、シリンダヘッドカバーに孔内に挿入される
検出ロッドを固定した構造を有する。2. Description of the Related Art An actuator having a built-in sensor is used in order to make the actuator compact and improve the accuracy of detecting the displacement or moving speed of a piston (see, for example, Japanese Patent Application No. 63-115714).
The actuator according to the above proposal has a structure in which a piston is formed with a hole opened at the piston end surface and a detection mechanism is provided in the inner wall, and a detection rod inserted into the hole is fixed to the cylinder head cover.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記提案
にかかるアクチュエータにあっては、ピストン端面に供
給される作動流体（例えば作動油）が直接ピストンに形
成された孔内に流入し、センサと作動流体とが直接接触
するため、 （１）センサ自体を耐圧構造とすることが必要となる。However, in the actuator according to the above proposal, the working fluid (for example, working oil) supplied to the end surface of the piston directly flows into the hole formed in the piston, and the sensor and the working fluid are discharged. Since and are in direct contact with each other, (1) it is necessary that the sensor itself has a pressure resistant structure.
【０００４】（２）作動流体の温度によりセンサの検出
精度が影響を受ける。等の課題を生じる。 本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、センサ
内部と作動流体とが直接接触することのないセンサを内
蔵した流体圧力アクチュエータを提供することを目的と
する。(2) The detection accuracy of the sensor is affected by the temperature of the working fluid. And the like. The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a fluid pressure actuator incorporating a sensor in which the inside of the sensor and the working fluid do not come into direct contact with each other.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明にかかる流体圧力
アクチュエータは、シリンダと、シリンダの一端を密閉
するカバーフランジと、シリンダの内部に移動可能に挿
入されシリンダを相互にシールされた２つの圧力室に仕
切りカバーフランジと対向する面に開口する孔が形成さ
れシリンダの他の一端を貫通して延伸するピストンと、
カバーフランジに固定されピストンに形成された孔内に
シール性を保持して挿入された固定部と、ピストンに取
り付けられた移動部との相対変位あるいは相対速度に応
じた信号を出力する内蔵センサと、を具備する。SUMMARY OF THE INVENTION A fluid pressure actuator according to the present invention comprises a cylinder, a cover flange for sealing one end of the cylinder, and two pressures movably inserted into the cylinder to mutually seal the cylinder. A piston having a hole formed in the chamber on the surface facing the partition cover flange and extending through the other end of the cylinder;
A fixed part fixed to the cover flange and inserted in the hole formed in the piston while maintaining sealing performance, and a built-in sensor that outputs a signal according to the relative displacement or relative speed of the moving part attached to the piston. , Are provided.
【０００６】[0006]
【作用】本発明にかかる流体圧力アクチュエータにあっ
ては、作動流体を一方の圧力室に供給し、他方の圧力室
から排出することによってピストンが駆動されるが、セ
ンサの固定部とピストンの孔内とが直接シールされてい
るため、内蔵されるセンサ内部と作動流体とは直接接触
することがない。In the fluid pressure actuator according to the present invention, the piston is driven by supplying the working fluid to one pressure chamber and discharging it from the other pressure chamber. Since the inside is directly sealed, the inside of the built-in sensor does not come into direct contact with the working fluid.
【０００７】[0007]
【実施例】図１は本発明にかかる流体圧力アクチュエー
タの断面図であって、シリンダ１１の一端はカバーフラ
ンジ１２で密閉されている。カバーフランジ１２はシリ
ンダ１１にネジ結合され、Ｏリング１２１によってシー
ルされている。1 is a sectional view of a fluid pressure actuator according to the present invention. One end of a cylinder 11 is sealed with a cover flange 12. The cover flange 12 is screwed to the cylinder 11 and is sealed by an O-ring 121.
【０００８】シリンダ１１の他の一端からは、ピストン
１３が挿入されており、シリンダ１１を圧力室１１Ａと
１１Ｂとに仕切っている。圧力室１１Ａと１１Ｂとの間
のピストン１３にはＯリング１３１が設置され、圧力室
１１Ａと１１Ｂとの間のシール性を確保している。さら
にシリンダ１１に配置されたＯリング１１３によって、
シリンダ１１とピストン１３との間のシールが確保され
る。A piston 13 is inserted from the other end of the cylinder 11 to partition the cylinder 11 into pressure chambers 11A and 11B. An O-ring 131 is installed on the piston 13 between the pressure chambers 11A and 11B to ensure the sealing property between the pressure chambers 11A and 11B. Furthermore, by the O-ring 113 arranged on the cylinder 11,
A seal between the cylinder 11 and the piston 13 is ensured.
【０００９】シリンダ１１には作動流体を供給、排出す
るための接続口１１１および１１２が設けられている。
接続口１１１は圧力室１１Ａに、接続口１１２は圧力室
１１Ｂに、それぞれ連通している。即ち作動流体が接続
口１１１から圧力室１１Ａに供給され、接続口１１２を
経て圧力室１１Ｂから排出された場合には、ピストン１
３はシリンダ１１から排出される方向に移動する。The cylinder 11 is provided with connection ports 111 and 112 for supplying and discharging a working fluid.
The connection port 111 communicates with the pressure chamber 11A, and the connection port 112 communicates with the pressure chamber 11B. That is, when the working fluid is supplied to the pressure chamber 11A from the connection port 111 and discharged from the pressure chamber 11B via the connection port 112, the piston 1
3 moves in the direction to be discharged from the cylinder 11.
【００１０】逆に作動流体が接続口１１１を経て圧力室
１１Ａから排出され、接続口１１２から圧力室１１Ｂに
供給された場合には、ピストン１３はシリンダ１１に引
き込まれる方向に移動する。固定部２１および移動部２
２はセンサを構成し、内部構造は公知である。センサの
固定部２１の内周側には１つの１次コイルとその両端に
位置する２つの２次コイルとが設けられている。センサ
の移動部２２の一方端には強磁性体のコアが設けられ固
定部２１内に挿入されている。On the contrary, when the working fluid is discharged from the pressure chamber 11A through the connection port 111 and supplied to the pressure chamber 11B from the connection port 112, the piston 13 moves in the direction of being drawn into the cylinder 11. Fixed part 21 and moving part 2
2 constitutes a sensor, and its internal structure is known. One primary coil and two secondary coils located at both ends thereof are provided on the inner peripheral side of the fixed portion 21 of the sensor. A ferromagnetic core is provided at one end of the moving portion 22 of the sensor and is inserted into the fixed portion 21.
【００１１】ピストン１３には、カバーフランジ１２に
対向する面に開口する孔１０が形成されており、センサ
の固定部２１が差し込まれている。固定部２１の一方端
の外周部はシール２１１によってシールされた状態で、
ピストン１３の孔１０内に挿入されている。センサの固
定部２１の他方端は、カバーフランジ１２の凹部と嵌合
し、Ｏリング１２２によってシール性が確保される。A hole 10 is formed in the piston 13 so as to open on the surface facing the cover flange 12, and a fixing portion 21 of the sensor is inserted therein. The outer peripheral portion of one end of the fixed portion 21 is sealed by the seal 211,
It is inserted in the hole 10 of the piston 13. The other end of the fixed portion 21 of the sensor fits into the recess of the cover flange 12, and the O-ring 122 ensures the sealing performance.
【００１２】さらにセンサの固定部２１は、カバーフラ
ンジ１２の凹部底部で留めネジ１２３によって固定さ
れ、軸方向への移動が抑えられる。センサの移動部２２
の他方端はピストン１３に形成された孔の底面に固定さ
れており、センサの移動部２２はピストン１３の移動と
ともに移動する。センサは固定部２１と移動部２２との
間の相対位置あるいは相対速度を検出するものであれば
形式は問わず、例えばポテンショメータ、差動トラン
ス、シンクロトランスミッタ、磁気センサあるいは光セ
ンサ等を使用することができる。Further, the fixing portion 21 of the sensor is fixed at the bottom of the concave portion of the cover flange 12 by the set screw 123, and the movement in the axial direction is suppressed. Sensor moving part 22
The other end is fixed to the bottom surface of the hole formed in the piston 13, and the moving portion 22 of the sensor moves with the movement of the piston 13. The sensor may be of any type as long as it detects the relative position or relative speed between the fixed portion 21 and the moving portion 22, and for example, a potentiometer, a differential transformer, a synchrotransmitter, a magnetic sensor or an optical sensor may be used. You can
【００１３】本発明にかかる流体圧力アクチュエータに
あってはピストン１３に形成された孔の底部には作動流
体が浸入することはないため、カバーフランジ１２とセ
ンサの固定部２１とを貫通し底部と外部とを連通する貫
通孔３１、３２を設け、冷却空気を循環させてセンサを
強制冷却することによりセンサの温度の上昇を抑制し、
検出精度を高く維持することも容易である。In the fluid pressure actuator according to the present invention, the working fluid does not penetrate into the bottom portion of the hole formed in the piston 13, so that it penetrates the cover flange 12 and the fixing portion 21 of the sensor to form a bottom portion. The through holes 31 and 32 communicating with the outside are provided, and cooling air is circulated to forcibly cool the sensor to suppress an increase in the temperature of the sensor,
It is also easy to maintain high detection accuracy.
【００１４】[0014]
【発明の効果】本発明にかかる流体圧力アクチュエータ
によれば、センサの固定部とピストンの孔内とが直接シ
ールされているため、簡単な構造で作動流体と内蔵され
るセンサ内部とが直接接触することがないようにするこ
とが可能となった。従ってセンサ自体を耐圧構造とする
ことが不要となるだけでなく、作動流体の温度によるセ
ンサの検出精度の劣化が抑制される。According to the fluid pressure actuator of the present invention, since the fixed portion of the sensor and the inside of the piston hole are directly sealed, the working fluid and the inside of the built-in sensor directly contact each other with a simple structure. It has become possible to avoid doing so. Therefore, not only does the sensor itself not have a pressure resistant structure, but also the deterioration of the detection accuracy of the sensor due to the temperature of the working fluid is suppressed.
【００１５】またカバーフランジを取り外すことによ
り、センサの点検、修理を容易に行うことが可能とな
る。Further, by removing the cover flange, it is possible to easily inspect and repair the sensor.
【図１】図１は、実施例の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an embodiment.
１０…孔 １１…シリンダ １１Ａ，１１Ｂ…圧力室 １１１，１１２…接続口 １１３…Ｏリング １２…カバーフランジ １２１，１２２…Ｏリング １２３…止めネジ １３…ピストン １３１…Ｏリング ２１…センサ固定部 ２２…センサ移動部 ３１，３２…貫通孔 10 ... Hole 11 ... Cylinder 11A, 11B ... Pressure chamber 111, 112 ... Connection port 113 ... O-ring 12 ... Cover flange 121, 122 ... O-ring 123 ... Set screw 13 ... Piston 131 ... O-ring 21 ... Sensor fixing part 22 ... Sensor moving part 31, 32 ... Through hole
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 唐木 満尋 愛知県豊田市トヨタ町１番地 トヨタ自動 車株式会社内 (72)発明者 神村 敏夫 岐阜県不破郡垂井町宮代字尾崎1110−１ 帝人製機株式会社岐阜第一工場内 (72)発明者 乾 満 東京都中央区日本橋室町２丁目１番１号 岐阜精機工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Mitsuru Karaki 1 Toyota-cho, Toyota-shi, Aichi Prefecture Toyota Motor Corporation (72) Inventor Toshio Kamimura 1110-1, Miyazaki, Tarui-cho, Fuwa-gun, Gifu Pref. Machinery Co., Ltd., Gifu No. 1 Factory (72) Inventor, 2-1-1, Nihombashi Muromachi, Chuo-ku, Tokyo Inside Gifu Seiki Co., Ltd.
Claims (1)
ダを相互にシールされた２つの圧力室に仕切り、前記カ
バーフランジと対向する面に開口する孔が形成され、前
記シリンダの他の一端を貫通して延伸するピストンと、 前記カバーフランジに固定され前記ピストンに形成され
た孔内にシール性を保持して挿入された固定部と、前記
ピストンに取り付けられた移動部と、の相対変位あるい
は相対速度に応じた信号を出力する内蔵センサと、を具
備する流体圧力アクチュエータ。1. A cylinder, a cover flange for sealing one end of the cylinder, a movably inserted inside the cylinder, and partitioning the cylinder into two mutually sealed pressure chambers, facing the cover flange. And a piston extending through the other end of the cylinder and having a hole opened in the surface, and a fixing member inserted in the hole fixed to the cover flange and formed in the piston while maintaining a sealing property. And a moving unit attached to the piston, and a built-in sensor that outputs a signal according to relative displacement or relative velocity of the moving unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21476394A JPH0874811A (en) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Fluid pressure actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21476394A JPH0874811A (en) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Fluid pressure actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0874811A true JPH0874811A (en) | 1996-03-19 |
Family
ID=16661140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21476394A Pending JPH0874811A (en) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Fluid pressure actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0874811A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103742479A (en) * | 2014-01-01 | 2014-04-23 | 陈奇 | Hydraulic oil cylinder device capable of achieving displacement detection and data communication |
-
1994
- 1994-09-08 JP JP21476394A patent/JPH0874811A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103742479A (en) * | 2014-01-01 | 2014-04-23 | 陈奇 | Hydraulic oil cylinder device capable of achieving displacement detection and data communication |
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