JPH086934B2 - 恒温空気供給装置用空気加熱器 - Google Patents
恒温空気供給装置用空気加熱器Info
- Publication number
- JPH086934B2 JPH086934B2 JP5096901A JP9690193A JPH086934B2 JP H086934 B2 JPH086934 B2 JP H086934B2 JP 5096901 A JP5096901 A JP 5096901A JP 9690193 A JP9690193 A JP 9690193A JP H086934 B2 JPH086934 B2 JP H086934B2
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- JP
- Japan
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- air
- heater
- plates
- insulator
- supply device
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- Direct Air Heating By Heater Or Combustion Gas (AREA)
- Devices For Blowing Cold Air, Devices For Blowing Warm Air, And Means For Preventing Water Condensation In Air Conditioning Units (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、所定の温度に調整した
空気を目的の空間に供給するための装置に関するもので
あり、特に、該装置において空気を目的の温度に正確に
加温する空気加熱器の改良に関するものである。
空気を目的の空間に供給するための装置に関するもので
あり、特に、該装置において空気を目的の温度に正確に
加温する空気加熱器の改良に関するものである。
【０００２】
【従来技術】例えば、半導体素子の製造におけるフォト
エッチングにおいて、シリコンウェーファにレジスト液
を塗布する工程では、レジストの均一な乾燥が製品の品
質を左右する。したがって、その工程を取り囲む雰囲気
温度は、精密な温度制御が要求される。一般に、目的空
間に所望の温度の空気を供給する装置としては、図４に
示すような構成を有している。これは、ベース６０上
に、箱形のダクトケース６３を固定し、その空気入口６
７から空気出口６８に至る空気流路６４に、空気冷却器
６５として、冷凍機の蒸発器を設置し、通過する外気
を、所望条件の空気の露点まで冷却してから、空気加熱
器としてのシーズヒータ８０を通過させて、所望の温度
まで加熱して、空気出口６８に装着した吸気ファン７０
の送気口７２から供給するものである。又、前記半導体
製造装置等の場合のように、清浄空気が要求される場合
には、送気口７２から供給される空気を、更に、超高性
能エアフィルタを通して、目的空間に供給する。６９は
ドレン排出管である。
エッチングにおいて、シリコンウェーファにレジスト液
を塗布する工程では、レジストの均一な乾燥が製品の品
質を左右する。したがって、その工程を取り囲む雰囲気
温度は、精密な温度制御が要求される。一般に、目的空
間に所望の温度の空気を供給する装置としては、図４に
示すような構成を有している。これは、ベース６０上
に、箱形のダクトケース６３を固定し、その空気入口６
７から空気出口６８に至る空気流路６４に、空気冷却器
６５として、冷凍機の蒸発器を設置し、通過する外気
を、所望条件の空気の露点まで冷却してから、空気加熱
器としてのシーズヒータ８０を通過させて、所望の温度
まで加熱して、空気出口６８に装着した吸気ファン７０
の送気口７２から供給するものである。又、前記半導体
製造装置等の場合のように、清浄空気が要求される場合
には、送気口７２から供給される空気を、更に、超高性
能エアフィルタを通して、目的空間に供給する。６９は
ドレン排出管である。
【０００３】
【問題点】しかしながら、シーズヒータ６６は、図５に
示すように、多数の伝熱フィン８３を有する円筒形のシ
ーズケース８２中に、ニクロム線などの電熱線８１を収
納し、これに、アルミナ粉などのような伝熱性の絶縁性
粉体８４を充填した構造であるため、空気供給口７２に
装着した温度センサからの信号に応答して、電熱線８１
が発熱量を変化させても、熱が外部に伝わるまでに時間
がかかり、更に、粉体８４やシーズケース８２は、それ
自体が蓄熱効果を有しているので、その余熱により、制
御遅れが生じてしまう欠点があった。また、シーズヒー
タは、所定の性能基準を満たした工場生産による製品で
あるため、恒温空気供給装置の設計や製造にあたって、
大きさや形状或いは発熱量等の仕様を臨機応変に変更す
ることが困難である等の不便があった。
示すように、多数の伝熱フィン８３を有する円筒形のシ
ーズケース８２中に、ニクロム線などの電熱線８１を収
納し、これに、アルミナ粉などのような伝熱性の絶縁性
粉体８４を充填した構造であるため、空気供給口７２に
装着した温度センサからの信号に応答して、電熱線８１
が発熱量を変化させても、熱が外部に伝わるまでに時間
がかかり、更に、粉体８４やシーズケース８２は、それ
自体が蓄熱効果を有しているので、その余熱により、制
御遅れが生じてしまう欠点があった。また、シーズヒー
タは、所定の性能基準を満たした工場生産による製品で
あるため、恒温空気供給装置の設計や製造にあたって、
大きさや形状或いは発熱量等の仕様を臨機応変に変更す
ることが困難である等の不便があった。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、制御の応答性に優れ、構造が
簡単で安価であり、製造現場における組み立てや仕様変
更が容易な空気加熱器を開示することを目的としてい
る。
簡単で安価であり、製造現場における組み立てや仕様変
更が容易な空気加熱器を開示することを目的としてい
る。
【０００５】
【発明の構成】本発明の要旨は、適宜な間隔をおいて電
熱線のガイド孔が穿設されている複数の碍子プレート
と、該碍子プレートの両端部が嵌入可能な嵌入部が列設
されている一対のヒーター側板とを有し、前記複数の碍
子プレートの夫々の両端部を、対向配置した前記ヒータ
ー側板の嵌入部に嵌入させた状態で、該碍子プレートを
該ヒーター側板間に適宜な間隔をおいて保持すると共
に、任意の一対の碍子プレートの両端をヒーター側板に
固定することにより、ヒーター側板と碍子プレートとの
枠組構成を固定し、被覆のない裸の電熱線を、前記碍子
プレートのガイド孔を通して蛇行配設したことを特徴と
する恒温空気供給装置用の空気加熱器にある。以下、実
施例に基づいて、詳細に説明する。
熱線のガイド孔が穿設されている複数の碍子プレート
と、該碍子プレートの両端部が嵌入可能な嵌入部が列設
されている一対のヒーター側板とを有し、前記複数の碍
子プレートの夫々の両端部を、対向配置した前記ヒータ
ー側板の嵌入部に嵌入させた状態で、該碍子プレートを
該ヒーター側板間に適宜な間隔をおいて保持すると共
に、任意の一対の碍子プレートの両端をヒーター側板に
固定することにより、ヒーター側板と碍子プレートとの
枠組構成を固定し、被覆のない裸の電熱線を、前記碍子
プレートのガイド孔を通して蛇行配設したことを特徴と
する恒温空気供給装置用の空気加熱器にある。以下、実
施例に基づいて、詳細に説明する。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示すものであ
る。空気加熱器１は、一対のヒーター側板２、２と、磁
器製の碍子プレート５、５、…とを有しており、碍子プ
レート５の夫々には、その電熱線を挿通するための複数
（図１では、４個）のガイド孔６、６、…が、隣り合う
電熱線の接触を避けるのに十分な間隔をおいて設けられ
ている。一方、ヒーター側板２、２は、中空偏平な角パ
イプの両端を同一素材で閉塞した金属製偏平箱体から成
り、その対向面の対応する位置に、適当なピッチ間隔
で、碍子プレート５の両端付近が嵌入可能な嵌入部３、
３、…として、碍子プレートの横断面形状にほぼ等しい
長方形の開口部が設けられている。
る。空気加熱器１は、一対のヒーター側板２、２と、磁
器製の碍子プレート５、５、…とを有しており、碍子プ
レート５の夫々には、その電熱線を挿通するための複数
（図１では、４個）のガイド孔６、６、…が、隣り合う
電熱線の接触を避けるのに十分な間隔をおいて設けられ
ている。一方、ヒーター側板２、２は、中空偏平な角パ
イプの両端を同一素材で閉塞した金属製偏平箱体から成
り、その対向面の対応する位置に、適当なピッチ間隔
で、碍子プレート５の両端付近が嵌入可能な嵌入部３、
３、…として、碍子プレートの横断面形状にほぼ等しい
長方形の開口部が設けられている。
【０００７】碍子プレート５、…は、左右両側に位置す
る碍子プレート５ａ、５ｂを除いて、他は、その両端部
５ｅ、５ｅを、ヒーター側板の嵌入部３、３、…中に嵌
入されており、左右両側の碍子プレート５ａ、ｂのみ
が、その両端に設けたネジ孔７、７、…により、ヒータ
ー側板２、２の両端面２ａ、２ａに設けた雌ネジ部（図
示せず）に、ネジ７ａ、……でネジ止めされることによ
り、碍子プレート群とこれを挟持する一対のヒーター側
板から成る梯子状の枠組みが固定されている。但し、ヒ
ーター側板間に挟持される碍子プレート５と両端の碍子
プレート５ａ、ｂとの構成の差は無い。４、４は、高温
空気供給装置側への取付片で、一側の碍子プレート５ｂ
と共に、ヒーター側板の端面２ａ、２ａに螺着されてい
る。このように列設された碍子プレートのガイド孔６、
６、…を通して、電熱線９としてニクロム線が蛇行配線
されて成るものである。８、８は、ニクロム線の接続端
子である。
る碍子プレート５ａ、５ｂを除いて、他は、その両端部
５ｅ、５ｅを、ヒーター側板の嵌入部３、３、…中に嵌
入されており、左右両側の碍子プレート５ａ、ｂのみ
が、その両端に設けたネジ孔７、７、…により、ヒータ
ー側板２、２の両端面２ａ、２ａに設けた雌ネジ部（図
示せず）に、ネジ７ａ、……でネジ止めされることによ
り、碍子プレート群とこれを挟持する一対のヒーター側
板から成る梯子状の枠組みが固定されている。但し、ヒ
ーター側板間に挟持される碍子プレート５と両端の碍子
プレート５ａ、ｂとの構成の差は無い。４、４は、高温
空気供給装置側への取付片で、一側の碍子プレート５ｂ
と共に、ヒーター側板の端面２ａ、２ａに螺着されてい
る。このように列設された碍子プレートのガイド孔６、
６、…を通して、電熱線９としてニクロム線が蛇行配線
されて成るものである。８、８は、ニクロム線の接続端
子である。
【０００８】上記実施例では、碍子プレートは、偏平な
直方体をなし、その端部に至るまで、横断面形状は変化
しないものを用いたが、これは、端部を凸状をなすよう
にして、その小突起部のみを嵌入するようにしてもよ
い。また、碍子プレートの形状も、直方体に限られるも
のでなく、例えば、略楕円形をなしていても差し支えな
い。更に、ヒーター側板も、磁器により構成することが
できる。
直方体をなし、その端部に至るまで、横断面形状は変化
しないものを用いたが、これは、端部を凸状をなすよう
にして、その小突起部のみを嵌入するようにしてもよ
い。また、碍子プレートの形状も、直方体に限られるも
のでなく、例えば、略楕円形をなしていても差し支えな
い。更に、ヒーター側板も、磁器により構成することが
できる。
【０００９】このような構成から成る本願空気加熱器
は、例えば、図３及び４に示すような恒温空気供給装置
１００に組み込まれて用いられる。これは、キャスター
１０１ａ、…を有するベース１０１上に、空気冷却器１
０６の左右幅にほぼ等しい間隔をおいて、横断面がコ字
形の形鋼材から成る支持フレーム１０２、１０３が、そ
の略長方形状をなす面が、相互に向い合う状態で、左右
に一対立設されている。この左側の支持フレーム１０２
と右側の支持フレーム１０３との間に、縦断面形状が略
コ字形をなす様に折り曲げ成形された板材から成るフー
ド板１０４が、架け渡して固定されている。
は、例えば、図３及び４に示すような恒温空気供給装置
１００に組み込まれて用いられる。これは、キャスター
１０１ａ、…を有するベース１０１上に、空気冷却器１
０６の左右幅にほぼ等しい間隔をおいて、横断面がコ字
形の形鋼材から成る支持フレーム１０２、１０３が、そ
の略長方形状をなす面が、相互に向い合う状態で、左右
に一対立設されている。この左側の支持フレーム１０２
と右側の支持フレーム１０３との間に、縦断面形状が略
コ字形をなす様に折り曲げ成形された板材から成るフー
ド板１０４が、架け渡して固定されている。
【００１０】このフード板は、上部水平面をなす天板部
１０４ａと、垂直面をなす前面の側板部１０４ｂと、下
部水平面をなす底板部１０４ｃから成り、天板部１０４
ａは、左右端部付近を、フレームの頂面により支承され
ており、更に、後方に向かって、一半が、支持フレーム
から若干幅だけ突出してから下方に僅か折り曲げられた
形状を有する庇部１０４ａ1となっている。側板部１０
４ｂには、上半部に通気口１０５が開口すると共に、該
通気口の回りに、ファン取付用のボルト孔１０５ａ、１
０５ａ、…が、穿設されている。底板部１０４ｃは、支
持フレーム１０２、１０３の袖部１０２ａ、１０３ａと
の衝突干渉する部分に相当する幅だけ、左右端縁から切
除されているので、左右支持フレーム間に、フレーム１
０２、１０３の前後幅だけ入り、次いで、下方に僅かの
幅だけ折り曲げた形状をなしている。
１０４ａと、垂直面をなす前面の側板部１０４ｂと、下
部水平面をなす底板部１０４ｃから成り、天板部１０４
ａは、左右端部付近を、フレームの頂面により支承され
ており、更に、後方に向かって、一半が、支持フレーム
から若干幅だけ突出してから下方に僅か折り曲げられた
形状を有する庇部１０４ａ1となっている。側板部１０
４ｂには、上半部に通気口１０５が開口すると共に、該
通気口の回りに、ファン取付用のボルト孔１０５ａ、１
０５ａ、…が、穿設されている。底板部１０４ｃは、支
持フレーム１０２、１０３の袖部１０２ａ、１０３ａと
の衝突干渉する部分に相当する幅だけ、左右端縁から切
除されているので、左右支持フレーム間に、フレーム１
０２、１０３の前後幅だけ入り、次いで、下方に僅かの
幅だけ折り曲げた形状をなしている。
【００１１】１０５ｂ、…は、ボルト孔で、フレーム１
０３の前側の袖部１０２ａ、１０３ａに設けた取付孔１
０２ｂ、１０３ｂに重なって、フード板１０４は、支持
フレーム１０２、１０３に、ボルト結合されている。か
くして、支持フレーム１０２、１０３間には、前面が側
板部１０４ｂにより閉じられ、上下面が天板部１０４ａ
の一半と底板部１０４ｃとにより囲まれ、背面のみが開
口する、上下の長さに比べて前後方向の幅が短い偏平箱
状チャンバが形成される。このチャンバの開口部に、冷
凍機の冷媒蒸発器から成る空気冷却器１０６が、該開口
部を塞ぐように取付られている。空気冷却器１０６は、
チャンバの形状に合わせて、偏平箱状をなすように、上
下方向に細長い多数の短冊状の伝熱フィン１０６ａを左
右方向に列設し、この伝熱フィン群を左右方向に貫通し
て蛇行するように冷媒蒸発管１０６ｂを配した熱交換器
で、その上端の左右に水平方向に突設した取付片１０６
ｃを、前記天板の庇部に設けたボルト孔１０５ｃ、１０
５ｃにボルト結合して垂設される。１０６ｄは、空気冷
却器１０６の左右側面板に突設した固定片で、フレーム
のボルト孔１０２ｃ、１０３ｃにボルト結合される。
０３の前側の袖部１０２ａ、１０３ａに設けた取付孔１
０２ｂ、１０３ｂに重なって、フード板１０４は、支持
フレーム１０２、１０３に、ボルト結合されている。か
くして、支持フレーム１０２、１０３間には、前面が側
板部１０４ｂにより閉じられ、上下面が天板部１０４ａ
の一半と底板部１０４ｃとにより囲まれ、背面のみが開
口する、上下の長さに比べて前後方向の幅が短い偏平箱
状チャンバが形成される。このチャンバの開口部に、冷
凍機の冷媒蒸発器から成る空気冷却器１０６が、該開口
部を塞ぐように取付られている。空気冷却器１０６は、
チャンバの形状に合わせて、偏平箱状をなすように、上
下方向に細長い多数の短冊状の伝熱フィン１０６ａを左
右方向に列設し、この伝熱フィン群を左右方向に貫通し
て蛇行するように冷媒蒸発管１０６ｂを配した熱交換器
で、その上端の左右に水平方向に突設した取付片１０６
ｃを、前記天板の庇部に設けたボルト孔１０５ｃ、１０
５ｃにボルト結合して垂設される。１０６ｄは、空気冷
却器１０６の左右側面板に突設した固定片で、フレーム
のボルト孔１０２ｃ、１０３ｃにボルト結合される。
【００１２】この空気冷却器１０６の直下に、ドレンパ
ン１０７が、同様に、左右端部に固設した取付片１０７
ａ、１０７ａにより、支持フレーム１０２、１０３の背
面側袖部１０２ａ、１０３ａに固定されている。かくし
て、空気冷却器の伝熱フィン間からチャンバを経て通気
口１０５に至る一連の空気流路が形成される。外気は、
通気口１０５に装着された吸気ファン１０８により、空
気冷却器１０６から入り、ファン１０８の送気口１０８
ａから供給される。チャンバ中には、任意の一方の支持
フレーム１０３に開口した挿入口１０３ｄから、前記空
気加熱器１が、チャンバ内の空気流を横切る状態で挿入
され、取付片４、４を、支持フレームにネジ止めするこ
とにより、簡単に固定支持されて成るものである。１０
８ｂは、風量調節器である。また、Ｒは、空気冷却器１
０６と共に冷凍回路を構成する圧縮機や凝縮器等であ
る。
ン１０７が、同様に、左右端部に固設した取付片１０７
ａ、１０７ａにより、支持フレーム１０２、１０３の背
面側袖部１０２ａ、１０３ａに固定されている。かくし
て、空気冷却器の伝熱フィン間からチャンバを経て通気
口１０５に至る一連の空気流路が形成される。外気は、
通気口１０５に装着された吸気ファン１０８により、空
気冷却器１０６から入り、ファン１０８の送気口１０８
ａから供給される。チャンバ中には、任意の一方の支持
フレーム１０３に開口した挿入口１０３ｄから、前記空
気加熱器１が、チャンバ内の空気流を横切る状態で挿入
され、取付片４、４を、支持フレームにネジ止めするこ
とにより、簡単に固定支持されて成るものである。１０
８ｂは、風量調節器である。また、Ｒは、空気冷却器１
０６と共に冷凍回路を構成する圧縮機や凝縮器等であ
る。
【００１３】上記の恒温空気供給装置では、空気は、空
気冷却器を横方向の流れで通過して冷却され、通気口１
０５付近に臨ましめた空気加熱器１を通って、目的温度
に昇温され、供給されるものであるが、空気冷却器の伝
熱フィン間や伝熱フィンの前後に邪魔板を設けて、空気
流が、上下方向に蛇行する状態で空気冷却器を通過させ
れば、支持フレームの前後幅や空気冷却器の前後幅を一
層狭くすることができる。
気冷却器を横方向の流れで通過して冷却され、通気口１
０５付近に臨ましめた空気加熱器１を通って、目的温度
に昇温され、供給されるものであるが、空気冷却器の伝
熱フィン間や伝熱フィンの前後に邪魔板を設けて、空気
流が、上下方向に蛇行する状態で空気冷却器を通過させ
れば、支持フレームの前後幅や空気冷却器の前後幅を一
層狭くすることができる。
【００１４】
【効果】本願空気加熱器は、被覆の無い電熱線をそのま
ま露出配線できるので、熱応答性が極めてよく、従来の
ものに比べて、制御遅れを大幅に減少させることができ
る。更に、構造が簡単で電気安全性が確保されているた
め、従来のように専門メーカーへの発注に頼る必要が無
く、誰でもが容易に組み立て製造でき、発熱量や形状等
の仕様変更も、簡単に行うことができる。又、価格の面
でも、大幅なコストダウンが可能である。更に、図３、
４に示すような支持フレーム構成を有する恒温空気供給
装置への組み込みや取り外しは、他の構成部材の組付け
順序等にかかわりなく行えるので、該装置の組み立てを
容易にし、又、故障時の修理など維持管理面でも有利で
ある。
ま露出配線できるので、熱応答性が極めてよく、従来の
ものに比べて、制御遅れを大幅に減少させることができ
る。更に、構造が簡単で電気安全性が確保されているた
め、従来のように専門メーカーへの発注に頼る必要が無
く、誰でもが容易に組み立て製造でき、発熱量や形状等
の仕様変更も、簡単に行うことができる。又、価格の面
でも、大幅なコストダウンが可能である。更に、図３、
４に示すような支持フレーム構成を有する恒温空気供給
装置への組み込みや取り外しは、他の構成部材の組付け
順序等にかかわりなく行えるので、該装置の組み立てを
容易にし、又、故障時の修理など維持管理面でも有利で
ある。
【図１】本発明の一実施例を示す説明図である。
【図２】図１に示す空気加熱器を恒温空気供給装置に組
み込む場合の一例を示す分解説明図である。
み込む場合の一例を示す分解説明図である。
【図３】図２の装置の組み立て状態を示す説明図であ
る。
る。
【図４】従来技術の一例を示す説明図である。
【図５】図４におけるシーズヒーターの構成を示す説明
図である。
図である。
１ 空気加熱器 ２ ヒーター側板 ３ 嵌入部 ４ 取付片 ５、５ａ、５ｂ 碍子プレート ６ ガイド孔 ７ ネジ孔 ８ 接続端子 ９ 電熱線
Claims (2)
- 【請求項１】適宜な間隔をおいて電熱線のガイド孔が穿
設されている複数の碍子プレートと、該碍子プレートの
両端部が嵌入可能な嵌入部が列設されている一対のヒー
ター側板とを有し、前記複数の碍子プレートの夫々の両
端部を、対向する前記ヒーター側板の嵌入部に嵌入させ
た状態で、該碍子プレートを該ヒーター側板間に適宜な
間隔をおいて保持すると共に、任意の一対の碍子プレー
トの両端部をヒーター側板に固定し、電熱線を、前記ガ
イド孔を通して蛇行配線したことを特徴とする恒温空気
供給装置用空気加熱器。 - 【請求項２】対向するヒーター側板の、互いに対面する
位置にある両端面間に跨がって、一対の碍子プレートの
両端部が夫々当接して、固着具により固定されている請
求項１の空気加熱器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5096901A JPH086934B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 恒温空気供給装置用空気加熱器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5096901A JPH086934B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 恒温空気供給装置用空気加熱器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281181A JPH06281181A (ja) | 1994-10-07 |
| JPH086934B2 true JPH086934B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=14177281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5096901A Expired - Fee Related JPH086934B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | 恒温空気供給装置用空気加熱器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086934B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003018899A1 (en) | 2001-08-31 | 2003-03-06 | Lg Electronics Inc. | Insulator for electric heater and heat assembly with the same in washing machine |
| KR100835317B1 (ko) * | 2001-08-31 | 2008-06-04 | 주식회사 엘지이아이 | 전기 히터용 인슐레이터 장착구조 |
| CN100432564C (zh) * | 2004-09-24 | 2008-11-12 | 乐金电子(天津)电器有限公司 | 空调器加热器安装结构 |
| CN103148582A (zh) * | 2013-02-06 | 2013-06-12 | 泰州泰怡热工电器有限公司 | 旅客列车空气加热器 |
| JP7328590B2 (ja) * | 2021-12-03 | 2023-08-17 | ダイキン工業株式会社 | 暖房装置 |
| WO2023100624A1 (ja) * | 2021-12-03 | 2023-06-08 | ダイキン工業株式会社 | 暖房装置 |
-
1993
- 1993-03-30 JP JP5096901A patent/JPH086934B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06281181A (ja) | 1994-10-07 |
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