JPH0864751A - Manufacture of lead frame - Google Patents
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームの製造
方法に係わり、特に、板厚の薄い多ピンのリードフレー
ムにおける、インナーリードまたはアウターリードの少
なくとも一方に絶縁樹脂のダムバーを有するリードフレ
ームの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a lead frame, and more particularly, to a lead frame having a thin plate and having at least one inner lead or outer lead having a dam bar made of an insulating resin. It relates to a manufacturing method.
【0002】[0002]
【従来の技術】リードフレームの製造工程の一例の説明
を簡単に行う。まず、リードフレームとなる金属板表面
の脱脂、整面処理を行う。次いで、、金属板の両面に、
例えば、ポリビニルアルコールおよび重クロム酸アンモ
ニウムからなる水溶性のネガ型感光性樹脂を塗布する。
次いで、リードフレームのパターンとなる部分を光透過
部とし、リードフレームのパターン部以外を遮光部とし
たマスクを二枚用い、金属板の片面に一枚のマスクを当
て、金属板の他方の片面の相対する位置にもう一枚のマ
スクを当て、両面より紫外線露光を行い、リードフレー
ムのパターンとなる部分の感光性樹脂の光硬化を行う。2. Description of the Related Art An example of a manufacturing process of a lead frame will be briefly described. First, the surface of the metal plate that will be the lead frame is degreased and surface-treated. Then, on both sides of the metal plate,
For example, a water-soluble negative photosensitive resin composed of polyvinyl alcohol and ammonium dichromate is applied.
Next, using two masks with the light-transmitting portion in the pattern of the lead frame and the light-shielding portion other than the pattern portion of the lead frame, apply one mask to one side of the metal plate, and the other side of the metal plate. Another mask is applied to the position opposite to each other, and UV exposure is performed from both surfaces to photo-cur the photosensitive resin in the pattern frame portion of the lead frame.
【0003】次いで、現像を行うことにより、未硬化部
の感光性樹脂すなわち、リードフレームのパターンとな
る部分以外の感光性樹脂の除去を行う。次いで、エッチ
ング液を用い金属板のエッチングを両側から行い、リー
ドフレームのパターンとなる部分以外の金属板をエッチ
ング除去し、リードフレームのパターンとなる部分以外
を貫通させ、リードフレームのパターンとなる部分を残
す。次いで、感光性樹脂の剥膜を行う。次いで、公知の
方法、例えば、メッキ液を噴射する等の方法によりイン
ナーリードの先端部に部分貴金属メッキ処理を行い、金
属板を必要な形に打ち抜きを行いリードフレームとす
る。Next, by developing, the photosensitive resin in the uncured portion, that is, the photosensitive resin other than the portion which becomes the pattern of the lead frame is removed. Then, the metal plate is etched from both sides using an etching solution, the metal plate other than the part to be the lead frame pattern is removed by etching, and the part other than the part to be the lead frame pattern is penetrated to form the part to be the lead frame pattern. Leave. Next, the photosensitive resin is peeled off. Then, a part of the inner lead is plated with a noble metal by a known method, for example, a method of spraying a plating solution, and the metal plate is punched into a required shape to obtain a lead frame.
【0004】次いで、半導体IC用のリードフレームに
おいては、リードフレーム上にICチップを載せ、IC
チップとリードフレームをワイヤーボンディングした
後、絶縁樹脂によるモールドを行う。そのため、リード
フレームに樹脂をモールドした際に、アウターリードの
間隙から絶縁樹脂が流出することを防止するため、図3
に示すようにリードフレームにはアウターリード3を横
切る形で土手(以下、ダムバーと記す)を付加してい
る。次いでこの図3中のダムバー1は、アウターリード
3同志を連結しておりこのまま使用するとアウターリー
ド3同志が同電位となりショートしてしまうため、絶縁
樹脂のモールド後にダムバー1は打ち抜き用金型などを
用い切断除去されている。Next, in a lead frame for a semiconductor IC, an IC chip is placed on the lead frame and the IC
After the chip and the lead frame are wire-bonded, they are molded with an insulating resin. Therefore, when the resin is molded on the lead frame, the insulating resin is prevented from flowing out from the gap between the outer leads.
As shown in FIG. 5, a bank (hereinafter referred to as a dam bar) is added to the lead frame so as to cross the outer lead 3. Next, in the dam bar 1 in FIG. 3, the outer leads 3 are connected to each other, and if they are used as they are, the outer leads 3 will have the same electric potential and will be short-circuited. It has been cut and removed.
【0005】しかし、近年、リードフレームは板厚が薄
くかつ、多ピン化の傾向にある。例えば、セラミックス
パッケージ用のレイヤーと呼称されるリードフレームに
おいては、パッケージサイズが大きく、また、ピン数も
200ピンから300ピン以上になり、かつ板厚も10
0μm〜150μmと非常に薄くなっている。そのた
め、アウターリード間のピッチも狭小となり、打ち抜き
用金型を用いたダムバーの切断除去は非常に困難になっ
て来ている。However, in recent years, the lead frame has a thin plate thickness and tends to have a large number of pins. For example, in a lead frame called a layer for a ceramic package, the package size is large, the number of pins is 200 to 300 or more, and the plate thickness is 10 as well.
It is very thin, from 0 μm to 150 μm. Therefore, the pitch between the outer leads is also narrowed, and it is becoming very difficult to cut and remove the dam bar using a punching die.
【0006】また、前述したようにインナーリードの先
端部に施す部分貴金属メッキ処理は、通常、貴金属メッ
キ液をインナーリードの先端部に噴射する方法により行
われている。そのため、貴金属メッキ処理時にはリード
フレーム上の貴金属メッキを施す面にマスキング用治具
を密着して当てたうえで、貴金属メッキ液をインナーリ
ードの先端部に噴射しメッキを行っている。Further, as described above, the partial noble metal plating treatment applied to the tips of the inner leads is usually carried out by a method of spraying a noble metal plating solution onto the tips of the inner leads. Therefore, at the time of noble metal plating, a masking jig is brought into close contact with the surface of the lead frame to be plated with noble metal, and plating is performed by spraying the noble metal plating solution onto the tip of the inner lead.
【0007】しかし、この場合、マスキング用治具を用
いることでリードフレーム上面の不必要部分へのメッキ
被膜の形成は防げるが、貴金属メッキ液がインナーリー
ド側面にもれ、メッキ液が側面に回り込むことによるイ
ンナーリード側面への不用なメッキ被膜の形成を防ぐこ
とは困難であった。In this case, however, the masking jig can be used to prevent the formation of the plating film on the unnecessary portion of the upper surface of the lead frame, but the precious metal plating solution leaks to the side surface of the inner lead and the plating solution flows to the side surface. It was difficult to prevent the formation of unnecessary plating film on the side surface of the inner lead.
【0008】そのため、インナーリード側面への不用な
メッキ液のもれが過度になり、例えば、アウターリード
付近まで不用な側面のメッキ被膜が形成された場合、絶
縁樹脂のモールドの際に、樹脂とリードフレームの密着
不良を生じ、その結果、ICパッケージとしての耐久性
に問題を生じることがあった。Therefore, when the unnecessary plating liquid leaks to the side surface of the inner lead excessively, and, for example, when the unnecessary side surface plating film is formed up to the vicinity of the outer lead, when the insulating resin is molded, the resin does not come into contact with the resin. Poor adhesion of the lead frame may occur, resulting in a problem in durability as an IC package.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、板厚
が薄い多ピンのリードフレームにおいて、ダムバーを絶
縁樹脂で形成するリードフレームの製造方法を提供する
ことにより、上記したような問題を有しないリードフレ
ームを得ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a lead frame in which a dam bar is made of an insulating resin in a multi-pin lead frame having a thin plate thickness, thereby solving the above problems. To obtain a lead frame that does not have.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、ア
ウターリードまたはインナーリードの少なくとも一方
に、絶縁樹脂製のダムバーを有するリードフレームの製
造方法において、ダムバーに相当する形状に凹部を有
し、かつダムバーの無いリードフレームの形状に凹部を
有する凹型部に、ダムバーの無いリードフレームを挿入
し、前記ダムバーに相当する形状の該凹部にスキージで
かきならすことにより絶縁樹脂を充填し、光もしくは紫
外線により充填した樹脂を硬化させることを特徴とする
リードフレームの製造方法を提供することにより上記の
課題を解決しようとするものである。That is, the present invention provides a method of manufacturing a lead frame having a dam bar made of an insulating resin on at least one of the outer lead and the inner lead, and having a recess in a shape corresponding to the dam bar, In addition, the lead frame without a dam bar is inserted into a recessed portion having a recess in the shape of a lead frame without a dam bar, and the insulating resin is filled by scratching the recess having a shape corresponding to the dam bar with a squeegee, and then light or ultraviolet rays are used. The present invention is intended to solve the above-mentioned problems by providing a method for manufacturing a lead frame, which is characterized in that the resin filled with is cured.
【0011】[0011]
【作用】本発明により、リードフレームのアウターリー
ドに絶縁樹脂を用いたダムバーを付すことにより、金属
製のダムバーで行っていた金型などを用いた金属製ダム
バーの切断除去作業を行う必要は無くなる。次いで、イ
ンナーリードに絶縁樹脂を用いた連結部(以下便宜的
に、インナーリード用ダムバーと記す)を付した場合、
貴金属メッキの際、噴射した貴金属メッキ液がインナー
リード側面にもれることを防止できる。また、多ピン化
で極細となったインナーリードの先端を樹脂で固定する
ことになるため、製造工程途中でのインナーリードのバ
ラつきを抑えることができ、製造途中の外圧振動や搬送
ローラー巻き込みによるインナーリードの変形不良の防
止ができる。According to the present invention, by attaching the dam bar using the insulating resin to the outer lead of the lead frame, it is not necessary to perform the cutting and removing work of the metal dam bar using the metal mold or the like which is performed with the metal dam bar. . Next, when the inner lead is provided with a connecting portion using an insulating resin (hereinafter, referred to as an inner lead dam bar for convenience),
During noble metal plating, it is possible to prevent the sprayed noble metal plating liquid from leaking to the inner lead side surface. In addition, since the tip of the inner lead, which has become extremely thin due to the increase in the number of pins, is fixed with resin, it is possible to suppress variations in the inner lead during the manufacturing process, and it is possible to prevent inner vibration due to external pressure vibration or the inclusion of the transport roller during the manufacturing process. It is possible to prevent deformation of the lead.
【0012】また、本発明では、凹型部に絶縁樹脂を充
填する際、スキージを用いてかきならすことでリード部
に施された余分な樹脂のかきとりを行うことができる。
そのため、リードフレーム上の余分な箇所に絶縁樹脂が
付着し残ることがなく、余分な樹脂付着を原因とするメ
ッキ不良やボンディング不良を防止できる。Further, according to the present invention, when the concave portion is filled with the insulating resin, the excess resin applied to the lead portion can be scraped off by scraping it with a squeegee.
Therefore, the insulating resin does not adhere to and remain on the excess portion of the lead frame, and it is possible to prevent defective plating and defective bonding due to excessive resin adhesion.
【0013】さらに、本発明では、ダムバーを形成する
絶縁樹脂として光もしくは紫外線硬化型樹脂を用いれ
ば、凹型部に充填した樹脂の硬化処理は光もしくは紫外
線光を照射することにより短時間でできる。Further, in the present invention, if a light or ultraviolet curable resin is used as the insulating resin forming the dam bar, the resin filled in the concave portion can be cured in a short time by irradiating it with light or ultraviolet light.
【0014】[0014]
【実施例】本発明の実施例を図を用い説明を行う。な
お、以下の図1は本発明の実施例の説明を行うため、リ
ードフレームのインナーリードおよびアウターリードの
一部分のみを略して記している。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In order to explain the embodiment of the present invention, FIG. 1 below illustrates only a part of the inner lead and the outer lead of the lead frame.
【0015】まず、図1(a)に示すように、型取り用
のリードフレーム10を作成する。この型取り用のリー
ドフレーム10では、アウターリード3部に、樹脂モー
ルドの際の樹脂流出防止用のダムバー1を設け、ダムバ
ー1にてアウターリード3同志をつなげている。また、
インナーリード4部の貴金属メッキエリア5に施すメッ
キ液噴射の際に、インナーリード4側面へのメッキ液の
もれを防止するためにインナーリード用ダムバー2をイ
ンナーリード4部の貴金属メッキエリア5の境界部に設
け、インナーリード用ダムバー2にてインナーリード4
同志をつなげている。First, as shown in FIG. 1A, a lead frame 10 for molding is prepared. In the lead frame 10 for molding, a dam bar 1 for preventing resin outflow at the time of resin molding is provided in the outer lead 3 portion, and the dam bar 1 connects the outer leads 3 with each other. Also,
In order to prevent the plating solution from leaking to the side surface of the inner lead 4 when the plating solution applied to the precious metal plating area 5 of the inner lead 4 is sprayed, the inner lead dam bar 2 is attached to the noble metal plating area 5 of the inner lead 4. It is provided at the boundary and the inner lead dam bar 2 is used for the inner lead 4
Connecting comrades.
【0016】次いで、上記の型取り用リードフレーム1
0を、図1(b)に示すように、例えば、シリコン樹脂
等に埋め込み、その後、型取り用リードフレーム10を
シリコン樹脂から取り除く。その結果、型取り用リード
フレーム10の型が凹部として残った凹型として、雌型
6を得る。Next, the lead frame 1 for molding as described above.
As shown in FIG. 1B, 0 is embedded in, for example, a silicone resin, and then the molding lead frame 10 is removed from the silicone resin. As a result, the female mold 6 is obtained as a concave mold in which the mold of the mold-taking lead frame 10 remains as a concave mold.
【0017】次いで、ダムバー1および、インナーリー
ド用ダムバー2が無く、それ以外は上記の型取り用リー
ドフレーム10と同一形状となっている、最終的に製品
として得るためのリードフレーム8を、上記の雌型6に
はめ込む。この状態において雌型6では、ダムバー1お
よび、インナーリード用ダムバー2の部分が凹部として
残っている。Next, a lead frame 8 for obtaining a final product, which does not have the dam bar 1 and the inner lead dam bar 2 and has the same shape as the above-described lead frame 10 for molding, except for the above, is obtained. Fit in the female mold 6 of. In this state, in the female die 6, the dam bar 1 and the inner lead dam bar 2 remain as recesses.
【0018】次いで図1(c)に示すように、雌型6に
リードフレーム8をはめ込んだまま、雌型上のダムバー
1および、インナーリード用ダムバー2の部分にあたる
凹部に、例えば、紫外線硬化型のエポキシ系樹脂等の、
絶縁性を持つ光もしくは紫外線硬化型樹脂7を充填す
る。Then, as shown in FIG. 1 (c), with the lead frame 8 fitted in the female die 6, a concave portion corresponding to the dam bar 1 and the inner lead dam bar 2 on the female die is, for example, an ultraviolet curing type. Such as epoxy resin,
An insulative light or ultraviolet curable resin 7 is filled.
【0019】次いで、図1(d)に示すように、雌型6
およびリードフレーム8上をスキージ9でかきならすこ
とにより、凹部への樹脂7の充填を密にするとともに、
リードフレーム8上に付いた余分な樹脂のかき取りを行
う。Then, as shown in FIG. 1 (d), the female mold 6
And by squeezing the lead frame 8 with a squeegee 9, the recess 7 is filled with the resin 7 densely, and
The excess resin on the lead frame 8 is scraped off.
【0020】次いで、光もしくは紫外線を照射すること
により、上記の凹部に充填した樹脂7の硬化を行う。次
いで、雌型6から樹脂7の付いたリードフレーム8を取
り出すことで図2に示す、絶縁樹脂製のダムバー1およ
びインナーリード用ダムバー2の付いたリードフレーム
を得る。次いで、このリードフレームに対し、公知の方
法により貴金属メッキおよび樹脂モールド等の製造工程
を行いICパッケージを得る。Next, by irradiating light or ultraviolet rays, the resin 7 filled in the above-mentioned recesses is cured. Next, the lead frame 8 with the resin 7 is taken out from the female die 6 to obtain the lead frame with the dam bar 1 made of an insulating resin and the dam bar 2 for the inner lead shown in FIG. Next, the lead frame is subjected to manufacturing processes such as noble metal plating and resin molding by a known method to obtain an IC package.
【0021】なお、上記の実施例では凹部に樹脂7を充
填後、スキージ9で余分な樹脂のかき取りを行っている
が、スキージ9を用いることで凹部への樹脂の充填を行
いつつ、余分な樹脂のかき取りをするという、両工程を
同時に行っても構わない。また、上記の実施例では、リ
ードフレーム8にダムバー1とインナーリード用ダムバ
ー2の両方を形成しているが、必要に応じ、どちらか一
方の形成でも構わない。In the above embodiment, the squeegee 9 is used to scrape off the excess resin after the recess 7 is filled with the resin 7. However, by using the squeegee 9, the recess is filled with the resin and the excess resin is removed. Both steps of scraping off the different resin may be performed at the same time. Further, in the above embodiment, both the dam bar 1 and the inner lead dam bar 2 are formed on the lead frame 8, but either one may be formed as necessary.
【0022】[0022]
【発明の効果】本発明により、リードフレームのアウタ
ーリードに絶縁樹脂を用いたダムバーを付すことによ
り、金属製のダムバーで行っていた打ち抜き用金型など
を用いた金属製ダムバーの切断除去作業を行う必要が無
くなるため、従来の打ち抜き用金型を用いたダムバーの
切断除去で生じていた極細のアウターリードの変形不良
を防止でき、また、生産効率の向上にもつながる。次い
で、インナーリードに絶縁樹脂を用いたインナーリード
用ダムバーを付した場合、貴金属メッキの際、噴射した
貴金属メッキ液がインナーリード側面にもれることを防
止でき、樹脂モールド不良によるICパッケージの耐久
性の低下を防止できる。また、多ピン化で極細となった
インナーリードの先端を樹脂で固定することになるた
め、製造工程途中でのインナーリードのバラつきを抑え
ることができ、製造途中の外圧振動や搬送ローラー巻き
込みによるインナーリードの変形不良の防止ができる。According to the present invention, by attaching a dam bar made of an insulating resin to the outer leads of the lead frame, the metal dam bar can be cut and removed using a punching die or the like, which has been done with a metal dam bar. Since it is not necessary to carry out, it is possible to prevent the deformation defect of the ultra-fine outer lead, which has been caused by the conventional cutting and removal of the dam bar using the punching die, and it is also possible to improve the production efficiency. Next, when the inner lead dam bar made of insulating resin is attached to the inner lead, it is possible to prevent the sprayed precious metal plating liquid from leaking to the side surface of the inner lead during noble metal plating, and the durability of the IC package due to defective resin molding. Can be prevented. Also, since the tip of the inner lead, which has become extremely thin due to the increase in the number of pins, is fixed with resin, it is possible to suppress variations in the inner lead during the manufacturing process, and it is possible to prevent inner pressure vibrations and entrainment of the transport roller during the manufacturing process. It is possible to prevent deformation of the lead.
【0023】また、本発明では、凹型部に絶縁樹脂を充
填する際、スキージを用いてかきならすことで余分な樹
脂のかきとりを行っている。そのため、リードフレーム
上の余分な箇所に絶縁樹脂が付着し残ることがなく、余
分な樹脂付着を原因とするメッキ不良やボンディング不
良を防止できる。Further, in the present invention, when the concave portion is filled with the insulating resin, the squeegee is used to scrape away the excess resin. Therefore, the insulating resin does not adhere to and remain on the excess portion of the lead frame, and it is possible to prevent defective plating and defective bonding due to excessive resin adhesion.
【0024】さらに、本発明では、ダムバーを形成する
絶縁樹脂として光もしくは紫外線硬化型樹脂を用いれ
ば、凹型部に充填した樹脂の硬化処理は光もしくは紫外
線光を照射することにより短時間でできる等、本発明は
多ピンのリードフレームを製造する上で実用上優れてい
るといえる。Further, in the present invention, if a light or ultraviolet curable resin is used as the insulating resin forming the dam bar, the resin filled in the concave portion can be cured in a short time by irradiating it with light or ultraviolet light. It can be said that the present invention is practically excellent in manufacturing a multi-pin lead frame.
【0025】[0025]
【図1】(a)〜(d)は本発明の絶縁樹脂製ダムバー
を付したリードフレームの製造方法の実施例を工程順に
示す斜視説明図。1A to 1D are perspective explanatory views showing an embodiment of a method of manufacturing a lead frame provided with an insulating resin dam bar of the present invention in the order of steps.
【図2】本発明の絶縁樹脂製ダムバーを付したリードフ
レームの一実施例を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing an embodiment of a lead frame provided with an insulating resin dam bar of the present invention.
【図3】従来のダムバーを付したリードフレームの一例
を示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing an example of a conventional lead frame provided with a dam bar.
1 ダムバー 2 インナーリード用ダムバー 3 アウターリード 4 インナリード 5 メッキエリア 6 雌型 7 絶縁樹脂 8 リードフレーム 9 スキージ 10 型取り用リードフレーム 1 Dam Bar 2 Dam Bar for Inner Lead 3 Outer Lead 4 Inner Lead 5 Plating Area 6 Female 7 Insulating Resin 8 Lead Frame 9 Squeegee 10 Lead Frame for Mold Making
Claims (3)
なくとも一方に、絶縁樹脂製のダムバーを有するリード
フレームの製造方法において、ダムバーに相当する形状
に凹部を有し、かつダムバーの無いリードフレームの形
状に凹部を有する凹型部に、ダムバーの無いリードフレ
ームを挿入し、前記ダムバーに相当する形状の凹部に絶
縁樹脂を充填し、硬化させることを特徴とするリードフ
レームの製造方法。1. A method of manufacturing a lead frame having a dam bar made of an insulating resin on at least one of an outer lead or an inner lead, wherein the shape has a recess corresponding to the dam bar, and the recess has a recess in the shape of the lead frame having no dam bar. A method of manufacturing a lead frame, comprising: inserting a lead frame having no dam bar into a concave portion having a groove; filling a recess having a shape corresponding to the dam bar with an insulating resin; and hardening the insulating resin.
ある請求項1記載のリードフレームの製造方法。2. The method for manufacturing a lead frame according to claim 1, wherein the insulating resin is a light or ultraviolet curable resin.
に施したあと、スキージでかきならすことにより該凹部
に充填する請求項1または請求項2記載のリードフレー
ムの製造方法。3. The method of manufacturing a lead frame according to claim 1, wherein the insulating resin is applied to a recess having a shape corresponding to a dam bar, and then the recess is filled with the squeegee to smooth it.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20050294A JP3358313B2 (en) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | Lead frame manufacturing method |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20050294A JP3358313B2 (en) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | Lead frame manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0864751A true JPH0864751A (en) | 1996-03-08 |
JP3358313B2 JP3358313B2 (en) | 2002-12-16 |
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ID=16425389
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Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP3358313B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002289759A (en) * | 2001-03-28 | 2002-10-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Lead frame, optical communication module and its manufacturing method |
-
1994
- 1994-08-25 JP JP20050294A patent/JP3358313B2/en not_active Expired - Fee Related
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JP4505849B2 (en) * | 2001-03-28 | 2010-07-21 | 住友電気工業株式会社 | Manufacturing method of optical communication module |
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JP3358313B2 (en) | 2002-12-16 |
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