JPH0862000A - 流量計 - Google Patents
流量計Info
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- JPH0862000A JPH0862000A JP19340394A JP19340394A JPH0862000A JP H0862000 A JPH0862000 A JP H0862000A JP 19340394 A JP19340394 A JP 19340394A JP 19340394 A JP19340394 A JP 19340394A JP H0862000 A JPH0862000 A JP H0862000A
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Abstract
転体を有するメータ部を交換できるよう構成した流量計
を提供することを目的とする。 【構成】 タービン式流量計1は、被測流体の流量に応
じた回転数で回転するタービンロータ11と、タービン
ロータ11を回転自在に支持し、タービンロータ11の
回転を検出する磁気センサ17を有するメータ部3と、
内部に被測流体が流れる流路2b,2cが形成され、メ
ータ部3が着脱自在に装着される凹所2aが流路2b,
2cと交差するように形成されたメータ本体2とを有す
る。上流側流路2bとメータ部3の筒状部9内の流路1
0との段差を吸収する傾斜面10が上流側流路2bから
の被測流体を流路10に導くように筒状部9の上流側端
部に設けられている。
Description
流体の流量に応じて回転する回転体を有するメータ部を
交換できるよう構成した流量計に関する。
ビン式流量計においては、流量に比例した回転数で回転
するタービンロータの回転を磁気センサにより検出し、
磁気センサから得られた流量パルス数をカウントして流
量を算出するようになっている。そして、流量計は、ガ
ス配管の途中に配設され両端に設けられたフランジが複
数のボルトでガス配管のフランジに締結される。
際は、流量計内の被測流体の流れ方向が一方向に決めら
れているので、流量計内の上流側コーンが設けられた上
流側のフランジが上流側配管に連結され、流量計内の下
流側コーンが設けられた下流側のフランジが下流側配管
に連結される。
は、流量計測精度を保つため、回転体としてのタービン
ロータの回転軸を軸承する軸受に潤滑油を供給する必要
がある。
潤滑油を供給する手段として、例えばタービンロータの
下流に位置するコーン部材の内部に油溜め室を設け、回
転軸とともに回転するはねかけ板により油溜め室の潤滑
油を軸受にはねかけるよう構成されている。又、この種
の流量計では、定期点検や修理等のメンテナンスを行う
際、上記タービンロータや油溜め室を有するメータ部が
ハウジングのメータ装着部から取り外すことができるよ
うに着脱自在に設けられている。
は、流量計測精度を維持するため、定期的に点検してお
り、必要に応じてオーバホールを行っていた。このよう
に、オーバホールを行う場合、メータ部をハウジングの
メータ装着部から取り外して点検や部品交換を行うこと
になるため、かなりの作業時間を要する。その間、ガス
の供給が停止されたままであると、利用者に迷惑がかか
るので、通常バイパス配管によりガス供給を行うが、オ
ーバホール作業中は流量計測されないため、できるだけ
短時間で作業が終了することが望まれる。その対策とし
て代わりのメータ部と交換することによりガス供給停止
時間を短縮することができる。
のメータ部を装着すると、加工誤差等によりハウジング
内の上下流側流路とメータ部内の流路との間に段差が生
じてしまうことがある。このように、ハウジング内の上
下流側流路とメータ部内の流路との間に段差が生じた場
合、段差を通過するガスの流れが乱れて計測精度が低下
してしまう。
自体も一対で交換する必要があり、メンテナンスが大掛
かりになってしまうといった課題がある。
するための油溜め室の底部にはドレン孔が設けられ、こ
のドレン孔には潤滑油の液位を所定高さに保つための液
位設定パイプが挿入されている。しかるに、この液位設
定パイプがドレン孔を閉塞するドレン栓に設けられハウ
ジングに固定されているため、加工誤差により液位設定
パイプの位置がずれてしまうことがある。その場合、潤
滑油の液位が下がって潤滑不足もしくは液位が上がり負
荷トルクが増大するおそれがあった。
した際、被測流体の流れ方向と流量計の方向とが逆向き
になることがある。その場合、流量計を配管に固定した
複数のボルトを全部外して流量計の向きを変更しなけれ
ばならない。
量計の向きを逆向きにすることになり、かなり大掛かり
な作業となり、多くの作業時間及び労力が必要になる。
計を提供することを目的とする。
中央部にメータ装着部が形成され、該メータ装着部の上
下流側に前記メータ装着部より小径な流路が形成された
ハウジングと、該ハウジングのメータ装着部の上下流側
流路に設けられた一対のコーン部材と、前記一対のコー
ン部材の間で被測流体の流量に応じて回転する回転体
と、該回転体を回転自在に支持する支持部と、該支持部
から前記回転体の外周を覆うように延在して前記上下流
側流路に連通する流路を形成する枠部と、を有し、前記
メータ装着部に装着されたメータ部と、前記上流側流路
からの被測流体を前記枠部内の流路に導くように該枠部
の上流側端部に設けられ、前記上流側流路と前記枠部内
の流路との段差を吸収する段差吸収部と、よりなること
を特徴とする。
が、前記枠部の上流側端部に形成された傾斜部であるこ
とを特徴とする。
持部に、前記回転体の回転を流量指示部に伝達する回転
伝達部と、該回転伝達部に潤滑油を供給する潤滑油供給
部と、該潤滑油供給部の底部から所定液位設定高さに延
在する液位設定パイプとを設けてなることを特徴とす
る。
流れる流路が形成され、該流路と交差するようにメータ
装着部が形成されたハウジングと、該ハウジングのメー
タ装着部を挟んで形成された流路内に設けられ、前記流
路内を流れる流体を前記メータ装着部に導くように対称
に設けられた一対のコーン部材と、前記一対のコーン部
材の間で被測流体の流量に応じて回転する回転体と、該
回転体を回転自在に支持する支持部と、該支持部から前
記回転体の外周を覆うように延在して前記上下流側流路
に連通する流路を形成する枠部と、を有し、前記メータ
装着部に流量計測方向が正方向又は逆方向となるように
着脱自在に装着可能とされたメータ部と、前記被測流体
を前記枠部内の流路に導くように該枠部の両端部と前記
メータ部との間に設けられ、前記被測流体が前記回転体
に導かれる流路途中の段差を吸収する段差吸収部と、よ
りなることを特徴とする。
の枠部内の流路との段差を吸収する段差吸収部が上流側
流路からの被測流体を枠部内の流路に導くように枠部の
上流側端部に設けられているので、加工誤差等により上
流側流路とメータ部の枠部内の流路との間に段差が生じ
ても被測流体が段差吸収部により枠部内の流路にスムー
ズに流れ、計測精度を維持することが可能になる。
に形成された傾斜部が段差吸収部として機能することに
より、段差吸収部を容易に形成できる。
に、潤滑油供給部の底部から所定液位設定高さに延在す
る液位設定パイプとを設けることにより、加工誤差に関
係なく液位設定パイプを所定位置に保持することが可能
になる。
装着部に流量計測方向が正方向又は逆方向となるように
着脱自在に装着可能とされ、且つ段差吸収部により被測
流体が回転体に導かれる流路途中の段差を吸収するた
め、ハウジングが配管途中に連結されたままメータ部の
みをハウジングのメータ装着部から外してメータ部の向
きを反転したり、メータ部のみを交換しても流れが乱れ
ず、計測精度を維持することが可能になる。
施例を示す。
メータ部装着用の装着部としての凹所2aが形成された
筒状のメータ本体(ハウジング)2を有しており、凹所
2aにはカートリッジ式のメータ部3が着脱自在に取付
けられている。この凹所2aは、メータ本体2内に形成
された流路と交差しており、この被測流体が流れる流路
は凹所2aの左側に位置する上流側流路2bと凹所2a
の右側に位置する下流側流路2cとに分かれる。
上流配管(図示せず)から給送された被測流体(本実施
例では、都市ガスとする)をメータ部3に導く上流側コ
ーン部材4が挿入されている。上流側コーン部材4は、
上流側流路2bの開口部2dに嵌合固定された環状の固
定部4aと、固定部4aから流路の半径方向に延在する
複数の支柱4bと、複数の支柱4bにより支持された半
球状のコーン部4cとを有し、コーン部4cが上流配管
(Xa方向)に向くように取り付けられている。
は、下流配管(図示せず)から給送された被測流体をメ
ータ部3に導く下流側コーン部材5が挿入されている。
ーシング(支持部)6と一体に形成されている。ケーシ
ング6は、上方に延在する支柱7と下方に延在する支柱
8を介してメータ本体2の内径と略同径の内径を有する
筒状部(枠部)9と接続されている。即ち、ケーシング
6は支柱7,8により筒状部9内に支持され、筒状部9
とケーシング6との間の環状の隙間は被測流体が通過す
る流路10となる。
て示すようにテーパ状の傾斜面(段差吸収部)9aが設
けられている。この傾斜面9aは、筒状部9の上流側端
部と流路10との角部が面取りされて形成されており、
筒状部9の全周に形成されている。
被測流体を流路10に導くように設けられており、本実
施例では傾斜面9aの傾斜角が約45°に設定されてい
る。従って、タービン式流量計1では、流量計測精度を
維持するため、メータ部3を定期的に点検しており、必
要に応じてメータ部3のオーバホールを行っていた。
行う場合、メータ部3をメータ本体2から取り外して点
検や部品交換を行うことになるため、かなりの作業時間
を要する。その代わりのメータ部3と交換することによ
り作業時間を短縮することができる。
を装着すると、加工誤差等により上下流側流路2b,2
cとメータ部3内の流路10との間に段差が生じてしま
うことがある。このように、上下流側流路2b,2cと
メータ部3内の流路10との間に段差が生じた場合で
も、上流側流路2bからのガスの流れが上記傾斜面9a
に導かれて流路10に到る。
タ部3内の流路10との間に段差が生じても、ガスの流
れが乱れて流量計測精度が低下することを防止できる。
11aの外周に複数の羽根11bを有し、流路10を流
れる流量に比例した回転数で回転する。ケーシング6内
にはタービンロータ11の回転軸12を軸承する軸受1
3,14が保持され、回転軸12の軸受13,14の近
傍に設けられたはねかけ板15a,15bにより軸受1
3,14への給油が行なわれる。即ち、ケーシング6の
内部空間には油溜め室16が形成されており、はねかけ
板15a,15bはタービンロータ11の回転とともに
油溜め室16に貯溜された潤滑油をはね上げて軸受1
3,14へ給油を行う。
回転検出用の磁気センサ17により検出される。この磁
気センサ17は、例えば磁気抵抗素子よりなり、回転軸
12に設けられたマグネット18に近接し、回転軸12
の回転数に応じた信号を出力する。尚、マグネット18
は円筒状に形成され、周方向にS極,N極が交互に着磁
されている。
側が上流配管で右側が下流配管となり、被測流体である
ガスは、Xb方向に流れるため、左側の上流配管から第
1の流路2bに流入し、第1のコーン部材4によりター
ビンロータ11の羽根11bに導かれ、流路10を通過
して第2の流路2cより下流配管へ流れる。そのため、
タービンロータ11は流路10を流れる流量に比例した
回転数で回転する。このタービンロータ11の回転は、
磁気センサ17により検出され、流量演算部(図示せ
ず)で流量計測値が演算される。
内部に中空部19bの底部には上記磁気センサ17が収
納されている。尚、六角部19dの中央には中空部19
bの上端が開口しており、この開口から磁気センサ17
の信号ケーブル20が外部に引き出される。
板で、ボルト23により蓋24の上面24aに固定され
ており、蓋24はボルト25によりメータ本体2の上部
に固定され凹所2aの上部開口を閉蓋する。
は、蓋24の孔24bに挿入され、さらに垂下方向に移
動してメータ本体2の支柱7内に設けられた孔7aに挿
入される。これで、磁気センサ17が収納された円筒部
19aの下端部分がケーシング6の上部開口6aを貫通
してケーシング6内に挿入される。
が取り付けられている。このドレンバルブ30は、メー
タ本体2の下部2fに当接するドレン本体30aと、下
部2fより上方に伸びる挿入孔2gに挿入された挿入部
30bと、を有する。
に、支柱8に穿設された挿通孔8aに圧入された固定部
31aと、固定部31aより上方に延在するパイプ31
bと、固定部31a及びパイプ31bを上下方向に貫通
する貫通孔31cと、を有する。
の上端の位置が所定高さになるように固定部31aが支
柱8の挿通孔8aに圧入されて固定されているため、油
溜め室16に貯溜された潤滑油の液位がパイプ31bの
上端の位置により決まる。
る軸受13,14に安定に潤滑油を供給し、且つ回転部
分へ潤滑油を供給する潤滑油供給部としてのはねかけ板
15a,15bの負荷トルクを一定にするため、はねか
け板15a,15bの先端が潤滑油に潜る寸法が所定寸
法Lとなるように設定される。
される際も、液位設定パイプ31は、支柱8の挿通孔8
aに圧入されたままメータ部3とともにメータ本体2か
ら取り外される。そのため、ドレンバルブ30の取付け
位置が加工誤差によりずれたメータ本体2にメータ部3
が装着される場合でも、従来のように液位設定パイプ3
1の位置がずれることなく、油溜め室16に貯溜された
潤滑油の液位が常に一定に保たれる。
す。尚、図4乃至図7中、上記第1実施例と同一部分に
は同一符号を付してその説明を省略する。
にメータ部装着用の装着部としての凹所2aが形成され
た筒状のメータ本体(流量計本体)2を有しており、凹
所2aにはカートリッジ式のメータ部3が着脱自在に取
付けられている。
れた流路と交差しており、この被測流体が流れる流路は
凹所2aの左側に位置する第1の流路2bと凹所2aの
右側に位置する第2の流路2cとに分かれる。尚、図1
では、第1の流路2bが上流側流路となり、第2の流路
2cが下流側流路となる。
上流配管(図示せず)から給送された被測流体としての
ガスをメータ部3に導く第1のコーン部材4が挿入され
ている。又、メータ本体2内部の第2の流路2cには、
下流配管(図示せず)から給送された被測流体をメータ
部3に導く第2のコーン部材5が挿入されている。
部材4と同一構成であり、第2の流路2cの開口部2e
に嵌合固定された環状の固定部5aと、固定部5aから
流路の半径方向に延在する複数の支柱5bと、複数の支
柱5bにより支持された半球状のコーン部5cとを有
し、コーン部5cが第2の流路2cの開口部2eに向く
ように取り付けられている。
ン部材5とは、同一形状であるが、互いに逆向きに取り
付けられている。即ち、第1のコーン部材4と第2のコ
ーン部材5とは、メータ本体2の中央に形成された凹所
2aの中間で上下方向に伸びる軸線Oを中心として対称
となるように配設されている。
である。
左側が上流配管で右側が下流配管となり、被測流体であ
るガスは、Xb方向に流れるため、左側の上流配管から
第1の流路2bに流入し、第1のコーン部材4によりタ
ービンロータ11の羽根11bに導かれ、流路10を通
過して第2の流路2cより下流配管へ流れる。そのた
め、タービンロータ11は流路10を流れる流量に比例
した回転数で回転する。このタービンロータ11の回転
は、磁気センサ17により検出され、流量演算部(図示
せず)で流量計測値が演算される。
線OからXa方向の端面9bまでの距離Laと軸線Oか
らXb方向の端面9bまでの距離Lbとが等しく(La
=Lb)なるように形成されている。さらに、上記支持
板21及び蓋24は軸線Oを中心に対称となるように形
成されているとともに、支持板21のねじ孔21a,蓋
24の孔24b,支柱7の孔7a,ケーシング6の上部
開口6aは、夫々軸線Oと同軸的に配置されている。
Oと同軸的に穿設されており、挿入部30bの中心が軸
線Oと一致するように取り付けられている。
の上端の位置が所定高さになるように固定部31aが支
柱8の挿通孔8aに圧入されて固定されているため、後
述するようにメータ部3が反転される際にパイプ31b
の挿入位置がずれることがない。
1がガス配管(図示せず)途中に配設されメータ本体2
の両端に設けられたフランジ2i,2jが複数のボルト
によりガス配管のフランジ(図示せず)に連結された
後、タービン式流量計41の計測方向が被測流体の流れ
方向と逆向きであることに気付いた場合につき説明す
る。
とを確認してから、メータ本体2はそのままにしてメー
タ部3の計測方向を変更させる。尚、既にガスの給送が
開始されているときは、タービン式流量計1の上流配管
及び下流配管に設けられた弁装置(共に図示せず)を閉
弁させてからメータ部3の計測方向を変更させる。
ルブ30から油溜め室16の潤滑油を抜き取った後、ド
レンバルブ30をメータ本体2の下部2fから取り外
す。続いて、ボルト25を弛めて蓋24をメータ本体2
の上部から外すとともに、メータ部3をメータ本体2の
凹所2aから上方に引き上げる。尚、メータ部3は蓋2
4と一体に外しても良いし、あるいは蓋24が外された
後に凹所2aから引き上げるようにしても良い。
測方向が図1の取り付け方向に対して反対方向となるよ
うに、メータ部3の向きを180度変更する。つまり、
タービンロータ11がXb方向のコーン部材5に対向す
る向きにする。
の凹所2a内に降下させて筒状部9の両端面9b,9c
を凹所2aに嵌合させる。尚、メータ部3は、前述した
ように軸線Oから両端面9b,9cまでの距離がLa=
Lbと等しいため、計測方向が反転しても支障なくメー
タ本体2の凹所2a内に装着することができる。
タ部3内の流路10との間に段差が生じてしまうことが
ある。しかるに、筒状部9の上流側端部には、テーパ状
の傾斜面(段差吸収部)9aが設けられているため、流
路2cからのガスの流れが傾斜面9aに導かれて流路1
0に到る。
も、ガスの流れが乱れて流量計測精度が低下することを
防止できる。
中心に対称となるように形成されているとともに、支持
板21のねじ孔21a,蓋24の孔24b,支柱7の孔
7a,ケーシング6の上部開口6aは、夫々軸線Oと同
軸的に配置されているので、センサ保持部材19や蓋2
4等をメータ部3から分離させてメータ部3の計測方向
を反転させた場合でも、組立時にセンサ保持部材19の
挿入位置がずれることがなく、センサ保持部材19を軸
線O上に位置するように取り付けることができる。
タ本体2に固定された後、ドレンバルブ30がメータ本
体2の下部2fに取り付けられる。その際、上記メータ
本体2の挿入孔2g及び挿通孔8aも軸線Oと同軸的に
穿設されているので、メータ部3の計測方向を反転させ
た場合でも、挿入部30bを支障なく上記挿入孔2gに
挿入させることができる。
後、ケーシング6の油溜め室16に潤滑油を供給する。
そして、タービン式流量計1の上流配管及び下流配管に
設けられた弁装置を開弁させてガスが供給可能となる。
上流配管で左側が下流配管となり、被測流体であるガス
は、Xa方向に流れるため、右側の上流配管から第2の
流路2cに流入し、第2のコーン部材5によりタービン
ロータ11の羽根11bに導かれ、流路10を通過して
第1の流路2bより下流配管へ流れる。そのため、ター
ビンロータ11は流路10を流れる流量に比例した回転
数で回転する。このタービンロータ11の回転は、磁気
センサ17により検出され、流量演算部(図示せず)で
流量計測値が演算される。
途中に設置された後に計測方向を反転させなければなら
ないときでも、配管に固定されたメータ本体2をそのま
まにしてタービンロータ11を有するメータ部3のみを
メータ本体2から外して反転させることができるので、
従来のようにタービン式流量計全体を配管から外して反
転させるよりも、少ない労力で計測方向を反転させるこ
とができ、作業時間も短縮され、簡単に計測方向を変更
させることができる。
一例として挙げたが、これに限らず、他の形式の流量計
(例えば、容積式流量計など)にも適用することができ
る。
測する流量計として説明したが、これに限らず、これ以
外の気体あるいは液体の流量を計測する流量計にも適用
することができるのは言うまでもない。
部にのみ傾斜面9aを設けたが、これに限らず、下流側
端部にも段差吸収部として機能する傾斜面を設けるよう
にしても良い。
ば、上流側流路とメータ部の枠部内の流路との段差を吸
収する段差吸収部が上流側流路からの被測流体を枠部内
の流路に導くように枠部の上流側端部に設けられている
ため、加工誤差等により上流側流路とメータ部の枠部内
の流路との間に段差が生じても被測流体が段差吸収部に
より枠部内の流路にスムーズに流れ、計測精度を維持す
ることができる。そのため、メータ部を交換しても計測
精度が低下することを防止でき、点検や修理を行う際の
作業時間を短縮することができる。
に形成された傾斜部が段差吸収部として機能するため、
段差吸収部を容易に形成できる。
に、潤滑油供給部の底部から所定液位設定高さに延在す
る液位設定パイプとを設けるため、メータ部を交換した
場合でもハウジングの加工誤差に関係なく液位設定パイ
プを所定位置に保つことができ、軸受などへの潤滑油の
供給を安定に行うことができ、回転体の負荷を一定にす
ることができ、計測精度の低下を防止できる。
装着部に流量計測方向が正方向又は逆方向となるように
着脱自在に装着可能とされ、且つ段差吸収部により被測
流体が回転体に導かれる流路途中の段差を吸収するた
め、ハウジングが配管途中に連結されたままメータ部の
みをハウジングのメータ装着部から外してメータ部の向
きを反転したり、メータ部のみを交換しても流れが乱れ
ず、計測精度を維持することができる。さらに、ハウジ
ングが配管途中に連結されたままメータ部のみをハウジ
ングのメータ装着部から外してメータ部の向きを反転さ
せることができるので、従来のように流量計全体を配管
から外して反転させるよりも、少ない労力で計測方向を
反転させることができ、作業時間も短縮され、簡単に計
測方向を変更させることができる。
タービン式流量計の縦断面図である。
図である。
タービン式流量計の縦断面図である。
面図である。
断面図である。
態を示す縦断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 中央部にメータ装着部が形成され、該メ
ータ装着部の上下流側に前記メータ装着部より小径な流
路が形成されたハウジングと、 該ハウジングのメータ装着部に設けられたコーン部材
と、 前記コーン部材の下流で被測流体の流量に応じて回転す
る回転体と、 該回転体を回転自在に支持する支持部と、該支持部から
前記回転体の外周を覆うように延在して前記上下流側流
路に連通する流路を形成する枠部と、を有し、前記メー
タ装着部に装着されたメータ部と、 前記上流側流路からの被測流体を前記枠部内の流路に導
くように該枠部の上流側端部に設けられ、前記上流側流
路と前記枠部内の流路との段差を吸収する段差吸収部
と、 よりなることを特徴とする流量計。 - 【請求項2】 前記段差吸収部は、前記枠部の上流側端
部に形成された傾斜部であることを特徴とする請求項1
の流量計。 - 【請求項3】 前記メータ部の支持部には、前記回転体
の回転を流量指示部に伝達する回転伝達部と、該回転伝
達部に潤滑油を供給する潤滑油供給部と、該潤滑油供給
部の底部から所定液位設定高さに延在する液位設定パイ
プとを設けてなることを特徴とする請求項1の流量計。 - 【請求項4】 内部に被測流体が流れる流路が形成さ
れ、該流路と交差するようにメータ装着部が形成された
ハウジングと、 該ハウジングのメータ装着部を挟んで形成された流路内
に設けられ、前記流路内を流れる流体を前記メータ装着
部に導くように対称に設けられた一対のコーン部材と、 前記一対のコーン部材の間で被測流体の流量に応じて回
転する回転体と、 該回転体を回転自在に支持する支持部と、該支持部から
前記回転体の外周を覆うように延在して前記上下流側流
路に連通する流路を形成する枠部と、を有し、前記メー
タ装着部に流量計測方向が正方向又は逆方向となるよう
に着脱自在に装着可能とされたメータ部と、 前記被測流体を前記枠部内の流路に導くように該枠部の
両端部と前記メータ部との間に設けられ、前記被測流体
が前記回転体に導かれる流路途中の段差を吸収する段差
吸収部と、 よりなることを特徴とする流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19340394A JP3417678B2 (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19340394A JP3417678B2 (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|---|
KR100422576B1 (ko) * | 2001-10-09 | 2004-03-11 | 한국과학기술연구원 | 자기 베어링을 이용한 고정밀 터빈 유량계 |
KR101137004B1 (ko) * | 2003-08-16 | 2012-04-19 | 엘스터 게엠베하 | 유체 유동을 정류하기 위한 조립체 |
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- 1994-08-17 JP JP19340394A patent/JP3417678B2/ja not_active Expired - Fee Related
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KR100422576B1 (ko) * | 2001-10-09 | 2004-03-11 | 한국과학기술연구원 | 자기 베어링을 이용한 고정밀 터빈 유량계 |
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