JPH0861975A - Filter processing method and filter processing device for measuring data, and sectional continuous measuring system for physical quantity - Google Patents

Filter processing method and filter processing device for measuring data, and sectional continuous measuring system for physical quantity

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JPH0861975A
JPH0861975A JP6194380A JP19438094A JPH0861975A JP H0861975 A JPH0861975 A JP H0861975A JP 6194380 A JP6194380 A JP 6194380A JP 19438094 A JP19438094 A JP 19438094A JP H0861975 A JPH0861975 A JP H0861975A
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JP
Japan
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measurement data
filtering
data
filter processing
filter
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JP6194380A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuji Inazumi
祐司 稲積
Jun Torikai
潤 鳥飼
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Toray Industries Inc
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Toray Industries Inc
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  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE: To compensate a phase shift resulting from the phase characteristic of a filter without hurting the amplitude characteristic of the filter, by applying the first filtering process from the front end of a series of measured data, and the second filtering process from the terminal end of the processed measured data. CONSTITUTION: A series of measuring data obtained by a measuring device 3 is inputted to a storage device 6 once. The measuring data is outputted from the device 6 and the first filtering process is applied by a filter 1, and it is returned to the device 6. The data order of the measured data is reversed in the device 6, and it is delivered to the filter 1 again. The second filtering process with the same phase characteristic as the first filtering process is applied by the filter 1. The measured data processed twice by the filter 1 is returned to the device 6 again, and then delivered to an output device 7 after the data order is reversed in the device 6, or in the data order as it is. Consequently, an unnecessary data such as a noise can be removed without disturbing the characteristic of the waveform of the measuring data, for example.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、測定により得られた
一連の測定データを処理する方法及び装置に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method and a device for processing a series of measurement data obtained by measurement.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、測定により得られた一連の測定
データを処理する装置は、測定手段と測定データを処理
する処理手段とにより構成され、測定手段により測定さ
れた測定データは処理手段に送られて処理される。この
測定手段による測定データは、ノイズなどの様々な原因
により、求めている情報以外の不要な情報をも含んだも
のとなるのが普通である。また、測定データを処理手段
に伝達する途上で同様のノイズが混入する場合も少なく
ない。
2. Description of the Related Art Generally, an apparatus for processing a series of measurement data obtained by measurement comprises a measuring means and a processing means for processing the measured data, and the measured data measured by the measuring means is sent to the processing means. Are processed. The measured data by this measuring means usually includes unnecessary information other than the desired information due to various causes such as noise. In addition, similar noise is often mixed in the process of transmitting the measurement data to the processing means.

【0003】したがって、かかる不要な情報を除去する
ために、たとえば、処理手段の前段にフィルタ処理手段
を設け、測定データにフィルタ処理を施すことが広く行
なわれている。
Therefore, in order to remove such unnecessary information, it is widely practiced to provide a filter processing means in front of the processing means and filter the measurement data.

【0004】図6は測定データにノイズが混入する場合
について模式的に示したものである。
FIG. 6 schematically shows the case where noise is mixed in the measurement data.

【0005】たとえば本来の測定データが図6(a)に
示すようなものであった場合に、インパルス性のノイズ
50が混入したために、処理手段に至るときは図6
(b)に示す波形となる。この場合、求める情報がたと
えばこの一連の測定データの最大値と最小値であったと
すると、このインパルス性のノイズ50のために求める
情報が誤ったものとなる。そこで、正しい測定データを
求めるためフィルタ処理を行う。
For example, when the original measurement data is as shown in FIG. 6 (a), the impulsive noise 50 is mixed in, so that when the processing means is reached, the processing is performed as shown in FIG.
The waveform is as shown in (b). In this case, if the information to be obtained is, for example, the maximum value and the minimum value of the series of measurement data, the information to be obtained becomes incorrect due to the impulsive noise 50. Therefore, filter processing is performed to obtain correct measurement data.

【0006】しかし、一般に、フィルタ処理によりノイ
ズ等を除去した場合、フィルタが有する不可避な位相特
性により位相シフト(進みまたは遅れ)が生じ、フィル
タ処理後の測定データはノイズ等の混入前のものと異な
るものとなる。
However, in general, when noise or the like is removed by filtering, a phase shift (advance or delay) occurs due to the unavoidable phase characteristics of the filter, and the measured data after filtering is the same as that before mixing of noise or the like. It will be different.

【0007】たとえばアナログフィルタを考える。アナ
ログフィルタは時間の上でも振幅の上でも連続なアナロ
グ信号を取り扱い電子回路で構成されている。その関数
表現をH(jω)(ここで、ω=2πf:ωは角周波
数、fは周波数、j×j=−1、πは円周率)とする
と、このフィルタは−20log|H(jω)|と表現
される振幅特性と、arg(H(jω))と表現される
位相特性を有する。この位相特性によりフィルタ処理後
の測定データに位相シフトが生じる。
Consider, for example, an analog filter. An analog filter handles electronic signals that are continuous both in terms of time and amplitude and is composed of electronic circuits. If the functional expression is H (jω) (where ω = 2πf: ω is an angular frequency, f is a frequency, j × j = −1, and π is a circular constant), then this filter has −20log | H (jω ) | Has an amplitude characteristic represented by |, and a phase characteristic represented by arg (H (jω)). This phase characteristic causes a phase shift in the measured data after the filtering process.

【0008】また、ディジタルフィルタは時間的に一定
の間隔で離散しているディジタル信号を取り扱い、離散
的に処理をする電子回路または演算を実行する装置によ
り構成される。ディジタルフィルタは、普通、アナログ
フィルタの特性(振幅特性、位相特性)と同様の特性を
得るよう設計されたものである。たとえば、基となるア
ナログフィルタへの入力データ列(アナログ信号)をデ
ィジタル信号に変換してディジタルフィルタで処理し、
処理後のデータ列(ディジタル信号)をアナログ信号に
変換すれば、変換後のデータ列が基となるアナログフィ
ルタの出力データと一致するよう設計されている。その
ため、ディジタルフィルタで処理を施された測定データ
列(ディジタル信号)においても、基となるアナログフ
ィルタの位相特性に起因する位相シフトが生じる。
Further, the digital filter is composed of an electronic circuit which handles a digital signal which is discrete in time at a constant interval and discretely processes or a device which executes an operation. The digital filter is usually designed to obtain characteristics similar to those of the analog filter (amplitude characteristic, phase characteristic). For example, the input data string (analog signal) to the underlying analog filter is converted to a digital signal and processed by the digital filter,
When the processed data string (digital signal) is converted into an analog signal, the converted data string is designed to match the output data of the underlying analog filter. Therefore, also in the measurement data string (digital signal) processed by the digital filter, a phase shift occurs due to the phase characteristics of the analog filter which is the basis.

【0009】このように従来のフィルタ処理方法には、
この位相シフトのためフィルタ処理後の測定データが、
不要な情報を除去したとしても、本来の測定データとは
異なるものとなるという問題があった。
As described above, in the conventional filter processing method,
Due to this phase shift, the measured data after filtering is
Even if unnecessary information is removed, there is a problem that the measured data will be different from the original measured data.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明の第1の目的
は、上述の点に鑑みてなされたものであり、フィルタの
振幅特性を損なうことなく、フィルタの位相特性に起因
する位相シフトを補償する手段を備えた測定データのフ
ィルタ処理方法およびフィルタ処理装置を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION The first object of the present invention is made in view of the above-mentioned points, and compensates the phase shift caused by the phase characteristic of the filter without impairing the amplitude characteristic of the filter. It is an object of the present invention to provide a method of filtering measurement data and a filter processing apparatus including a means for performing the filtering.

【0011】また、本発明の第2の目的は、位相シフト
が補償されたフィルタ処理を行なうことができる物理量
の区分的連続測定システムを提供することにある。
A second object of the present invention is to provide a piecewise continuous measurement system for physical quantities, which is capable of performing phase-compensated filter processing.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の骨子は以下のとおりである。
The essence of the present invention for achieving the above object is as follows.

【0013】本発明の測定データのフィルタ処理方法
は、一連の測定データに先頭から第1のフィルタ処理を
施し、該第1のフィルタ処理を施された処理済み測定デ
ータに末尾から前記第1のフィルタ処理と実質的に同一
の位相特性を有する第2のフィルタ処理を施すことを特
徴としている。
In the method of filtering measured data according to the present invention, a series of measured data is subjected to a first filtering process from the beginning, and the processed measured data subjected to the first filtering process is subjected to the first filtering process from the end. It is characterized in that a second filter process having substantially the same phase characteristic as the filter process is performed.

【0014】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の好ましい態様は、前記第2のフィルタ処理を施さ
れた処理済み測定データを末尾から出力することを特徴
としている。
A preferred embodiment of the measurement data filtering method of the present invention is characterized in that the processed measurement data subjected to the second filtering is output from the end.

【0015】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の別の態様は、一連の測定データに末尾から第1の
フィルタ処理を施し、該第1のフィルタ処理を施された
処理済み測定データに先頭から前記第1のフィルタ処理
と実質的に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処理
を施すことを特徴としている。
Another aspect of the method for filtering measurement data according to the present invention is that a series of measurement data is subjected to first filter processing from the end, and the processed measurement data subjected to the first filter processing is applied. A second filter process having substantially the same phase characteristics as the first filter process is performed from the beginning.

【0016】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の別の態様は、一連の測定データの群の各一連の測
定データに先頭から第1のフィルタ処理を施し、該第1
のフィルタ処理を施された各処理済み測定データに末尾
から前記第1のフィルタ処理と実質的に同一の位相特性
を有する第2のフィルタ処理を施すことを特徴としてい
る。
Another aspect of the method for filtering measured data according to the present invention is to perform a first filtering process from the beginning on each series of measured data of a group of series of measured data,
It is characterized in that each processed measurement data subjected to the filtering process is subjected to a second filtering process having substantially the same phase characteristics as the first filtering process from the end.

【0017】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の別の態様は、測定データ列に先頭から第1のフィ
ルタ処理を施し、該第1のフィルタ処理を施された処理
済み測定データ列に末尾から前記第1のフィルタ処理と
実質的に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処理を
施すことを特徴としている。
Another aspect of the method for filtering measurement data according to the present invention is that the first filtering process is applied to the measurement data sequence from the beginning, and the processed measurement data sequence subjected to the first filtering process is performed. A second filtering process having substantially the same phase characteristics as the first filtering process is performed from the end.

【0018】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の別の態様は、測定データ列に末尾から第1のフィ
ルタ処理を施し、該第1のフィルタ処理を施された処理
済み測定データ列に先頭から前記第1のフィルタ処理と
実質的に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処理を
施すことを特徴としている。
Another aspect of the method for filtering measured data according to the present invention is that the first filtered data is applied to the measured data string from the end and the processed data string subjected to the first filtered data is processed. A second filter process having substantially the same phase characteristics as the first filter process is performed from the beginning.

【0019】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の別の態様は、測定データ列群の各測定データに先
頭から第1のフィルタ処理を施し、該第1のフィルタ処
理を施された各処理済み測定データ列を末尾から前記第
1のフィルタ処理と実質的に同一の位相特性を有する第
2のフィルタ処理を施すことを特徴としている。
Another aspect of the measurement data filtering method of the present invention is that each measurement data of the measurement data string group is subjected to the first filter processing from the beginning, and each of the measurement data is subjected to the first filter processing. It is characterized in that the processed measurement data string is subjected to a second filtering process having substantially the same phase characteristics as the first filtering process from the end.

【0020】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の好ましい態様は、第1または第2のフィルタ処理
がディジタルフィルタ処理であることを特徴としてい
る。
A preferred embodiment of the method for filtering measured data according to the present invention is characterized in that the first or second filtering is digital filtering.

【0021】また、本発明の測定データのフィルタ処理
装置は、一連の測定データを得る測定データ取得手段
と、該測定データをフィルタ処理するフィルタ処理手段
と、該フィルタ処理手段による処理を施された処理済み
測定データのデータ順反転手段とを備え、かつ、前記フ
ィルタ処理手段は、該処理済み測定データのデータ順反
転手段の出力をフィルタ処理する機能を兼ね備えるもの
であることを特徴としている。
Further, the measurement data filter processing apparatus of the present invention is provided with the measurement data acquisition means for obtaining a series of measurement data, the filter processing means for filtering the measurement data, and the processing by the filter processing means. It is characterized in that it is provided with a data order inverting means for the processed measurement data, and the filter processing means also has a function of filtering the output of the data order inverting means for the processed measurement data.

【0022】また、本発明の測定データのフィルタ処理
装置の別の態様は、一連の測定データを得る測定データ
取得手段と、該測定データをフィルタ処理する第1のフ
ィルタ処理手段と、該第1のフィルタ処理手段による処
理を施された処理済み測定データのデータ順反転手段と
該処理済み測定データのデータ順反転手段の出力をフィ
ルタ処理する第2のフィルタ処理手段とを備え、かつ、
該第2のフィルタ処理手段が実質的に前記第1のフィル
タ処理手段と同一の位相特性を備えてなることを特徴と
している。
Another aspect of the measurement data filter processing apparatus of the present invention is a measurement data acquisition means for obtaining a series of measurement data, a first filter processing means for filtering the measurement data, and a first filter processing means. And a second filter processing means for filtering the output of the data order inversion means of the processed measurement data processed by the filter processing means, and the output of the data order inversion means of the processed measurement data.
The second filter processing means has substantially the same phase characteristic as that of the first filter processing means.

【0023】また、本発明の物理量の区分的連続測定シ
ステムは、物理量の測定手段と、該測定手段の出力をフ
ィルタ処理する第1のフィルタ処理手段と、一定の間隔
ごとに該第1のフィルタ処理手段の出力を時間的に反転
させるデータ順反転手段と、該データ順反転手段の出力
をフィルタ処理する第2のフィルタ処理手段とを備え、
かつ、該第2のフィルタ処理手段が実質的に前記第1の
フィルタ処理手段と同一の位相特性を備えてなることを
特徴としている。
Further, the physical quantity piecewise continuous measuring system of the present invention comprises a physical quantity measuring means, a first filtering means for filtering the output of the measuring means, and the first filter at regular intervals. Data forward inverting means for inverting the output of the processing means in time, and second filter processing means for filtering the output of the data forward inverting means are provided.
Moreover, the second filter processing means has substantially the same phase characteristic as that of the first filter processing means.

【0024】また、本発明の物理量の区分的連続測定シ
ステムの好ましい態様は、前記第2のフィルタ処理手段
の出力を一定の間隔ごとに時間的に反転させるデータ順
再反転手段を備えてなることを特徴としている。
A preferred embodiment of the physical quantity piecewise continuous measurement system of the present invention comprises a data re-reversal means for reversing the output of the second filter processing means with time at regular intervals. Is characterized by.

【0025】また、本発明の物理量の区分的連続測定シ
ステムの好ましい態様は、前記データ順反転手段は、前
記第2のフィルタ処理手段の出力を一定の間隔ごとに時
間的に反転させる機能をも兼ね備えたものであることを
特徴としている。
In a preferred embodiment of the physical quantity piecewise continuous measurement system of the present invention, the data forward inverting means also has a function of inverting the output of the second filter processing means at regular intervals. It is characterized by having both.

【0026】[0026]

【作用】本発明のフィルタ処理方法および装置では、第
1のフィルタ処理を施した一連の測定データのデータ順
を反転させ、実質的に同一の位相特性でフィルタ処理す
る。この第2のフィルタ処理の際にデータ順がはじめと
反転しているために、各成分の第1のフィルタ処理によ
る位相シフトと第2のフィルタ処理による位相シフトが
逆方向でかつ同一の量となる。したがって、この第2の
フィルタ処理を経た測定データは、位相シフトがほぼゼ
ロで、しかも、振幅特性においては上記のフィルタ処理
を2回施したのと同じ効果を受けたものとなる。
In the filtering method and apparatus of the present invention, the data order of the series of measurement data that has been subjected to the first filtering process is reversed, and filtering is performed with substantially the same phase characteristics. Since the data order is reversed at the beginning of the second filter processing, the phase shift of each component by the first filter processing and the phase shift by the second filter processing are in opposite directions and have the same amount. Become. Therefore, the measurement data that has been subjected to this second filter processing has a phase shift of substantially zero and, in addition, has the same effect as the above-described filter processing performed twice in terms of amplitude characteristics.

【0027】さらに、第2のフィルタ処理を経た測定デ
ータのデータ順を反転させれば、データ順も初めの測定
データと同じとなり、実質的に位相シフトを受けずに振
幅特性のみを変化させるフィルタ処理を行なうことがで
きる。
Furthermore, if the data order of the measurement data that has been subjected to the second filter processing is reversed, the data order will also be the same as the first measurement data, and a filter that changes substantially only the amplitude characteristic without receiving a phase shift. Processing can be performed.

【0028】以下、図7(a)に示す振幅−周波数特性
と図7(b)に示す位相特性を持つ低域通過フィルタ
で、図8(a)に示す一連の測定データにフィルタ処理
を施す場合を例にとり、本発明のフィルタ処理方法およ
び装置について説明する。
Hereinafter, with a low-pass filter having the amplitude-frequency characteristic shown in FIG. 7A and the phase characteristic shown in FIG. 7B, a series of measurement data shown in FIG. 8A is filtered. Taking the case as an example, the filtering method and apparatus of the present invention will be described.

【0029】いま、図8(a)に示すような一連の測定
データがあり、このデータが図7(a)〜(b)に示す
フィルタの通過領域の周波数範囲70に含まれる成分を
主体として構成され、その構成要素が測定データの先頭
72の振幅74のオフセット(直流)成分と、測定デー
タの先頭72から末尾73の方向へ単調増加する成分
と、凸部80と、図示しない高周波のノイズからなると
する。この凸部80と上記オフセット成分と上記単調増
加成分とが、求める情報を持っている成分である。
Now, there is a series of measurement data as shown in FIG. 8A, and this data is mainly composed of components included in the frequency range 70 of the pass region of the filter shown in FIGS. 7A and 7B. The components of which are composed of offset (DC) components of the amplitude 74 at the beginning 72 of the measurement data, components that monotonically increase from the beginning 72 to the end 73 of the measurement data, the convex portion 80, and high-frequency noise not shown. It consists of The convex portion 80, the offset component, and the monotonically increasing component are components that have information to be obtained.

【0030】この測定データに図7に示す特性の第1の
フィルタ処理を施す。
The measurement data is subjected to the first filter processing having the characteristics shown in FIG.

【0031】この結果、まず、データ列の先頭72の振
幅74のオフセット成分と、データ列の先頭72から末
尾73の方向へ単調増加する成分とは、非常に低い周波
数成分を主体としているため、この第1のフィルタ処理
によっては位相シフトがほとんど発生しない。
As a result, first, the offset component of the amplitude 74 at the head 72 of the data string and the component that monotonically increases in the direction from the head 72 to the tail 73 of the data string are mainly low frequency components. Phase shift hardly occurs by this first filter processing.

【0032】たとえば、ディジタルフィルタ処理におい
ては次の2つの場合が想定されるが、いずれの場合も位
相シフトがほとんど発生しない。すなわち、ディジタル
フィルタ処理の一実施態様では測定データの先頭以前の
状況を条件として設定しており、この条件の設定を単調
増加成分の継続処理と設定した(測定データの先頭以前
も単調増加していたものと仮定する)場合には、上述の
ように単調増加成分やオフセット成分にフィルタ処理後
の位相シフトは通常極めて小さく、位相遅れはほとんど
生じない。また、上述の該条件の設定をオフセット成分
の継続処理と設定した(測定データの先頭以前は先頭と
同じ値であったと仮定する)場合には、直流から単調増
加へ変化するデータ列のフィルタ処理になり、その変化
する点(測定データ列の先頭)でフィルタ処理後の若干
の位相遅れが生じる。この場合のフィルタ処理結果は上
述の条件の設定により単調増加成分とオフセット成分が
測定データの先頭から末尾の方向へシフトしたもので、
測定データ列全体が移動したような結果となる。なお、
この場合には第1のフィルタ処理後の測定データのシフ
トを見込んで、測定データのデータ量より余裕のあるデ
ータ処理量を有するフィルタ処理手段または処理後の測
定データのバッファ等を用いるのが好ましい。
For example, the following two cases are assumed in digital filter processing, but in either case, phase shift hardly occurs. That is, in one embodiment of the digital filter processing, the condition before the beginning of the measurement data is set as a condition, and the setting of this condition is set as the continuous processing of the monotonically increasing component (even before the beginning of the measurement data, monotonically increasing. As described above, the phase shift after filtering the monotonically increasing component and the offset component is usually extremely small, and the phase delay hardly occurs. Further, when the setting of the above condition is set as the continuous processing of the offset component (assuming that the same value as the head before the head of the measurement data is assumed to be the same), the filter processing of the data string that changes from DC to monotonically increases And a slight phase delay after the filter processing occurs at the changing point (the head of the measurement data string). The filter processing result in this case is that the monotonically increasing component and the offset component are shifted from the beginning to the end of the measurement data by setting the above conditions,
The result is that the entire measurement data string has moved. In addition,
In this case, it is preferable to use a filter processing unit having a data processing amount having a margin larger than the data amount of the measurement data, a buffer of the measurement data after the processing, or the like in consideration of the shift of the measurement data after the first filtering. .

【0033】これに対し、凸部80は、上記フィルタの
通過領域の周波数範囲70には含まれるが遮断領域の周
波数範囲との境界に近い領域の周波数成分を主体として
いる。したがって、上記第1のフィルタ処理を施される
と、振幅はわずかしか減衰しないが大きな位相遅れ78
を受ける。
On the other hand, the convex portion 80 is mainly composed of a frequency component of a region which is included in the frequency range 70 of the pass region of the filter but is close to the boundary with the frequency range of the cutoff region. Therefore, when the first filtering process is performed, the amplitude is slightly attenuated but the large phase delay 78 is generated.
Receive.

【0034】また、ノイズ成分は周波数が高く、フィル
タの遮断領域の周波数範囲に属する成分が主体であり、
図7の特性の第1のフィルタ処理によればかなり減衰さ
れる。
The noise component has a high frequency, and the components mainly belonging to the frequency range of the cutoff region of the filter are
The first filtering of the characteristic of FIG. 7 results in a significant attenuation.

【0035】その結果、図7の特性を有するフィルタに
よるフィルタ処理を受けると、図8(a)の測定データ
は同図(b)に示したように、凸部80のみが位相遅れ
78のために相対的にずれたデータとなり、ノイズ成分
もかなり減衰される。
As a result, when subjected to the filtering process by the filter having the characteristic of FIG. 7, the measured data of FIG. 8A has only the convex portion 80 due to the phase delay 78 as shown in FIG. 8B. The data is relatively deviated from, and the noise component is considerably attenuated.

【0036】続いて、第1のフィルタ処理後の測定デー
タ(図8(b))を末尾73から第1のフィルタ処理と
同じ特性を有する第2のフィルタ処理を施す。すると、
上記と同様に、凸部80にのみ図8(c)に示す位相遅
れ79が発生する。データの末尾73からフィルタ処理
を施すので、この位相遅れ79の方向は末尾73から先
頭72へ向かうものである。オフセット(直流)成分と
単調増加する成分とは上記第1のフィルタ処理の場合と
同様に、位相とともに振幅もほとんど影響を受けず、高
周波のノイズはさらに減衰する。
Subsequently, the measurement data after the first filtering (FIG. 8B) is subjected to the second filtering from the end 73 having the same characteristics as the first filtering. Then
Similarly to the above, the phase delay 79 shown in FIG. Since the filtering process is performed from the tail 73 of the data, the direction of the phase delay 79 is from the tail 73 to the head 72. The offset (direct current) component and the monotonically increasing component are hardly affected by the amplitude as well as the phase, as in the case of the first filter processing, and high-frequency noise is further attenuated.

【0037】ここで位相遅れ78と位相遅れ79の量を
考える。図8(a)の測定データに先頭72から第1の
フィルタ処理を施して図8(b)の結果を得る場合と図
8(b)の処理済み測定データに末尾73から第2のフ
ィルタ処理を施して図8(c)の結果を得る場合とは、
同じ位相特性のフィルタ処理を施すため、図8(a)と
図8(b)との間の凸部80の位相遅れ78の量と、図
8(b)と図8(c)との間の位相遅れ79の量は、あ
らゆる周波数領域において同じである。しかも、位相遅
れ78と位相遅れ79の方向は逆であるため、これらの
位相遅れが互いに相殺し合う。したがって、上記第1の
フィルタ処理による位相シフトは、第2のフィルタ処理
によりあらゆる周波数領域において原理的には完全に除
去される。
Now, consider the amounts of the phase delay 78 and the phase delay 79. When the first filtering process is performed on the measurement data of FIG. 8A from the beginning 72 to obtain the result of FIG. 8B, and when the processed measurement data of FIG. 8B is processed from the end 73 to the second filtering process. To obtain the result shown in FIG. 8 (c),
Since the filtering process with the same phase characteristic is performed, the amount of the phase delay 78 of the convex portion 80 between FIG. 8A and FIG. 8B and the amount of the phase delay 78 between FIG. 8B and FIG. The amount of phase lag 79 in is the same in all frequency regions. Moreover, since the directions of the phase delay 78 and the phase delay 79 are opposite, these phase delays cancel each other out. Therefore, in principle, the phase shift caused by the first filtering process is completely removed by the second filtering process in all frequency regions.

【0038】しかも、図7(a)の振幅特性を持つフィ
ルタ処理2回施すため、ノイズなど測定データ中の遮断
領域の周波数範囲71に属する成分は図7(a)の特性
よりも2倍急峻な特性により減衰する。
Moreover, since the filtering process having the amplitude characteristic of FIG. 7A is performed twice, the components such as noises belonging to the frequency range 71 of the cutoff region in the measurement data are twice as steep as the characteristic of FIG. 7A. Attenuates due to various characteristics.

【0039】これにより、求める情報を担う凸部80と
オフセット成分と単調増加成分とをほとんど損なうこと
なく、ノイズ成分のみ減衰させることができる。
As a result, only the noise component can be attenuated with almost no loss of the convex portion 80 that carries the desired information, the offset component, and the monotonically increasing component.

【0040】上記フィルタ処理はディジタルフィルタに
よるものであってもアナログフィルタによるものであっ
てもよい。また、ディジタルフィルタによる場合は、一
連の測定データは多数の測定データの一連の列(測定デ
ータ列)となるが、上記の議論は成立する。
The filtering process may be performed by a digital filter or an analog filter. Further, in the case of using a digital filter, a series of measurement data is a series of a large number of measurement data (a series of measurement data), but the above argument holds.

【0041】以下、本発明の測定データの処理方法を実
施する装置の一実施態様を図面に基づいて詳述する。
An embodiment of an apparatus for carrying out the measurement data processing method of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0042】まず、本実施態様のフィルタ処理装置の構
成について説明する。
First, the configuration of the filter processing apparatus of this embodiment will be described.

【0043】図1は測定データのフィルタ処理装置の一
実施態様の概略構成を示すブロック図で、フィルタ処理
装置は、測定器3からなる測定手段と、この測定器3と
は別個に設けられる処理手段40とを備えており、処理
手段40は、フィルタ1、フィルタ1と同じ特性のフィ
ルタ2、記憶装置4、出力装置5を有している。このよ
うな構成は、測定データがアナログデータである場合に
好ましい。
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of an embodiment of a filter processing device for measurement data. The filter processing device comprises a measuring means including a measuring device 3 and a process provided separately from the measuring device 3. The processing means 40 has a filter 1, a filter 2 having the same characteristics as the filter 1, a storage device 4, and an output device 5. Such a configuration is preferable when the measurement data is analog data.

【0044】測定器3によって得られた一連の測定デー
タは、フィルタ1により第1のフィルタ処理を施された
のち記憶装置4に入力される。この記憶装置4で測定デ
ータはそのデータ順を反転され、フィルタ2へ送られ
る。フィルタ2によりフィルタ1とほぼ同一の位相特性
のフィルタ処理を施されたこの測定データは出力装置5
に入力される。さらに、データ順を測定器3で得られた
順序に復元するため、出力装置5で再びデータ順を反転
されてから出力されてもよく、かかるデータ順の復元な
しに出力されてもよい。
A series of measurement data obtained by the measuring device 3 is first filtered by the filter 1 and then input to the storage device 4. The data order of the measurement data is inverted in the storage device 4 and sent to the filter 2. The measurement data, which has been subjected to the filtering process having substantially the same phase characteristic as that of the filter 1 by the filter 2, outputs the measured data
Is input to Further, in order to restore the data order to the order obtained by the measuring instrument 3, the data order may be output again after being inverted by the output device 5, or may be output without such data order restoration.

【0045】また、測定データのフィルタ処理装置の別
の実施態様例の概略構成を図2に示す。図2でフィルタ
処理装置は、測定器3からなる検出手段と、この測定器
とは別個に設けられる処理手段40とを備えており、処
理手段40は、フィルタ1、記憶装置6、出力装置7を
有している。このような構成は測定データがディジタル
の測定データ列である場合に好ましい。
FIG. 2 shows a schematic configuration of another embodiment of the measurement data filtering device. In FIG. 2, the filter processing device is provided with a detecting means including the measuring device 3 and a processing device 40 provided separately from the measuring device. The processing device 40 includes the filter 1, the storage device 6, and the output device 7. have. Such a configuration is preferable when the measurement data is a digital measurement data string.

【0046】測定器3によって得られた一連の測定デー
タはいったん記憶装置6に入力される。測定データはこ
の記憶装置6から一度フィルタ1により第1のフィルタ
処理を施され、この記憶装置6に戻る。そしてこの記憶
装置6で測定データはデータ順を反転し、再びフィルタ
1へ送られる。このフィルタ1で第1のフィルタ処理と
同一の位相特性の第2のフィルタ処理を施される。こう
して二度フィルタ1によるフィルタ処理を施された測定
データは再び記憶装置6に戻り、記憶装置6でデータ順
を反転されまたはそのまま出力装置7に送られる。デー
タ順の反転は出力装置7において行なわれてもよい。
The series of measurement data obtained by the measuring device 3 is once input to the storage device 6. The measurement data is once subjected to the first filtering process from the storage device 6 by the filter 1 and then returned to the storage device 6. Then, the data order of the measurement data is inverted in the storage device 6 and is sent to the filter 1 again. The filter 1 performs a second filter process having the same phase characteristic as the first filter process. In this way, the measurement data that has been subjected to the filtering process by the filter 1 twice returns to the storage device 6 again, and the data order is inverted in the storage device 6 or sent to the output device 7 as it is. The inversion of the data order may be performed at the output device 7.

【0047】また、記憶装置6でフィルタ1を通過させ
る前に測定データのデータ順を反転し、このデータ列を
一度フィルタ1に通して記憶装置6に戻し、記憶装置6
で再びフィルタ1を通過させる前にデータ順を復元し、
この順序を復元したデータ列を再度フィルタ1に通して
記憶装置6に戻してもよい。この場合も出力装置7でデ
ータ列の順序を反転せずに出力する。この場合、第1の
フィルタ処理は測定データの末尾から行ない、第2のフ
ィルタ処理は先頭から行なうことになるが、この場合に
おいても本発明の作用は上述の場合とまったく同じであ
る。
Further, the data order of the measurement data is inverted before passing through the filter 1 in the memory device 6, this data string is once passed through the filter 1 and returned to the memory device 6, and the memory device 6
Restore the data order before passing filter 1 again with
The data sequence whose order has been restored may be passed through the filter 1 again and returned to the storage device 6. Also in this case, the output device 7 outputs the data sequence without inverting the order. In this case, the first filtering process is performed from the end of the measurement data and the second filtering process is performed from the beginning. In this case as well, the operation of the present invention is exactly the same as the above case.

【0048】また、上記のような実施態様例のように測
定手段をも含めるのではなく、測定データを磁気テープ
などの記録媒体に記録しておき、これを読みだし装置な
どによって再生することにより測定データを取得するも
のであってもよい。
Further, instead of including the measuring means as in the above-described embodiment, the measured data is recorded on a recording medium such as a magnetic tape and is reproduced by a reading device or the like. The measurement data may be acquired.

【0049】以下、図2に示す本発明のフィルタ処理装
置の一実施態様における手順を図3、図4および図5に
示すフローチャートを参照しながら説明する。なお、こ
こでは測定データはディジタルの測定データ列であるも
のとする。
The procedure in one embodiment of the filter processing apparatus of the present invention shown in FIG. 2 will be described below with reference to the flowcharts shown in FIGS. 3, 4 and 5. Note that here, the measurement data is assumed to be a digital measurement data string.

【0050】一連の測定およびフィルタ処理の大略は以
下の手順で行なう。測定器3が測定を開始し、処理手段
40は測定器3からの測定データを取り込み処理手段4
0の記憶装置6に記録する(スッテプS1)。データ取
り込み(ステップS1)終了後、得られた測定データ列
に対して本発明のフィルタ処理を実施する(ステップS
2)。こののち、処理結果を出力(ステップS3)して
一連の動作を終了する。
An outline of a series of measurement and filter processing is performed in the following procedure. The measuring instrument 3 starts the measurement, and the processing means 40 fetches the measurement data from the measuring instrument 3 and the processing means 4
It is recorded in the memory device 6 of 0 (step S1). After the data acquisition (step S1) is completed, the filtering process of the present invention is performed on the obtained measurement data string (step S).
2). After this, the processing result is output (step S3) and the series of operations is ended.

【0051】以後は本発明によるフィルタ処理方法の実
行(図3、ステップS2)の詳細を図4、図5を参照し
つつ説明する。
Hereinafter, details of execution of the filtering method according to the present invention (FIG. 3, step S2) will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

【0052】フィルタ処理の実行(図3、ステップS
2)が開始されると処理手段40では記憶装置6から測
定データ列をフィルタ1へ送る(図4、ステップS
7)。次に送った測定データ列に先頭からフィルタ1で
第1のフィルタ処理を施す(ステップS8)。ついで、
この第1のフィルタ処理を施された測定データ列を記憶
装置6へ送り、記憶装置6で処理後の測定データ列の順
序を反転する(ステップS9)。次に、フィルタ処理後
の測定データ列の末尾からステップS8と同じフィルタ
1で第2のフィルタ処理を施す(ステップS10)。
Execution of filter processing (FIG. 3, step S)
When 2) is started, the processing means 40 sends the measurement data string from the storage device 6 to the filter 1 (FIG. 4, step S).
7). The measurement data string sent next is subjected to first filter processing by the filter 1 from the beginning (step S8). Then,
The measurement data string that has been subjected to the first filter processing is sent to the storage device 6, and the order of the measurement data string after processing in the storage device 6 is reversed (step S9). Next, the second filter process is performed from the end of the measured data string after the filter process with the same filter 1 as in step S8 (step S10).

【0053】最後に末尾からフィルタ処理したデータ列
を記憶装置6へ送り、処理したデータ列の順序を再反転
する。(ステップS11)。
Finally, the filtered data string is sent from the end to the storage device 6, and the order of the processed data string is reversed again. (Step S11).

【0054】以下、データ列の先頭(末尾)からフィル
タ処理するステップS8(ステップS10)の詳細を説
明する。
The details of step S8 (step S10) for filtering the data string from the beginning (end) will be described below.

【0055】まず、データ列の先頭(末尾)の値をオフ
セット値とする(ステップS12)。
First, the value at the beginning (end) of the data string is set as the offset value (step S12).

【0056】次に測定データ列の各測定値からこのオフ
セット分を除去する(ステップS13)。これは、デー
タ列の各値からオフセット値を引き算することであり、
たとえばデータ列を X1 、X2 、・・・、Xn (n は整数) としオフセット値をX1 とした場合、オフセット除去後
のデータ列は、 X1 −X1 、X2 −X1 、・・・、Xn −X1 (n は
整数) となる。これにより測定データ列の先頭の前がオフセッ
ト値と同一の値であったものとする仮定に基づくフィル
タ処理が可能となる。
Next, this offset is removed from each measured value of the measured data string (step S13). This is to subtract the offset value from each value in the data string,
For example, when the data string is X 1 , X 2 , ..., X n (n is an integer) and the offset value is X 1 , the data string after the offset removal is X 1 -X 1 , X 2 -X 1 , ..., X n −X 1 (n is an integer). This enables the filtering process based on the assumption that the value before the head of the measurement data string is the same as the offset value.

【0057】オフセット除去後のデータ列を、データ列
の先頭(末尾)からフィルタ処理する(ステップS1
4)。このフィルタ処理については後述する。フィルタ
処理したデータ列のオフセットを復元し(ステップS1
5)、データ列の先頭(末尾)からフィルタ処理するス
テップS8(ステップS10)の処理を終了する。
The data sequence after the offset is removed is filtered from the beginning (end) of the data sequence (step S1).
4). This filtering process will be described later. The offset of the filtered data string is restored (step S1
5) Then, the process of step S8 (step S10) of filtering the data string from the beginning (end) is completed.

【0058】このオフセット復元とは、データ列の各値
にステップS13で除去したのと同じ量のオフセット値
を足し算することであり、これにより測定データ列の直
流成分を復元する。
This offset restoration means adding the same amount of offset value removed in step S13 to each value of the data string, thereby restoring the DC component of the measured data string.

【0059】このようなオフセットの除去(ステップS
13)やオフセットの復元(ステップ15)の代わり
に、測定データ列の先頭の前のデータを測定データ列の
先頭と同じ値とすることによっても可能である。この場
合は、先頭の前の仮想的データを作成しておく。また、
測定データが単調増加する基本データに図8の凸部80
のような変化分が重畳したものとなることがあらかじめ
判明している場合は、測定データ列の先頭の前にも先頭
以降と同じ傾きの単調増加のデータがあるものとして処
理を行なってもよい。また、上記の例では測定データ列
に属するすべての測定データから同一のオフセットを除
去したが、たとえば、先頭と末尾の測定データから(あ
るいは最小二乗法などにより)上記単調増加(減少)の
傾きを求め、オフセットを測定データごとに設定してこ
れを除去し、第2のフィルタ処理後にこれを復元するこ
とも好ましい。
Removal of such offset (step S
Instead of 13) or the restoration of the offset (step 15), the data before the beginning of the measurement data sequence can be set to the same value as the beginning of the measurement data sequence. In this case, the virtual data before the beginning is created. Also,
The convex portion 80 of FIG.
If it is known in advance that such a change will be superposed, the processing may be performed assuming that there is monotonically increasing data with the same slope as before and after the beginning of the measurement data sequence. . Further, in the above example, the same offset is removed from all the measurement data belonging to the measurement data string, but for example, the slope of the monotonic increase (decrease) from the measurement data at the beginning and the end (or by the least squares method) is used. It is also preferable to obtain the offset, set the offset for each measurement data, remove it, and restore it after the second filtering.

【0060】ここでフィルタ処理について述べる。この
実施態様例では処理手段40のフィルタ1でディジタル
フィルタを用いフィルタ処理を実現している。たとえ
ば、フィルタ処理するデータ列を、 X1 、X2 、・・・、Xn (n は整数) フィルタ処理後のデータ列を、 Y1 、Y2 、・・・、Yn (n は整数) とし、フィルタの関数表現が、 H(Xn-2 、Xn-1 、Xn 、Yn-2 、Yn-1 ) であるとすると、この実施態様例のフィルタ処理の関数
表現は、 Yn = H(Xn-2 、Xn-1 、Xn 、Yn-2 、Yn-1 ) となる。このとき入力測定データ列の先頭X1 から順次
演算していけば、 Y1 = H(X-1、X0 、X1 、Y-1、Y0 )、 Y2 = H(X0 、X1 、X2 、Y0 、Y1 )、 ・ ・ ・ Yn = H(Xn-2 、Xn-1 、Xn 、Yn-2 、Yn-1 ) といった手順で順次フィルタ処理後の測定データ列が得
られる。
Here, the filter processing will be described. In this embodiment example, the filter 1 of the processing means 40 realizes the filter processing by using a digital filter. For example, the data string to be filtered is X 1 , X 2 , ..., X n (n is an integer) The data string after filtering is Y 1 , Y 2 , ..., Y n (n is an integer) ) And the functional expression of the filter is H (X n-2 , X n-1 , X n , Y n-2 , Y n-1 ), the functional expression of the filtering process of this embodiment is , Y n = H (X n-2 , X n-1 , X n , Y n-2 , Y n-1 ). At this time, if sequentially calculating from the head X 1 of the input measurement data string, Y 1 = H (X -1 , X 0 , X 1 , Y -1 , Y 0 ), Y 2 = H (X 0 , X 1 , X 2 , Y 0 , Y 1 ), ... Yn = H (X n-2 , X n-1 , X n , Y n-2 , Y n-1 ) The measurement data sequence of is obtained.

【0061】この例ではフィルタ処理するデータ列の先
頭X1 より前のデータ(X-1、X0)の値およびフィル
タ処理後のデータ列の先頭Y1 より前のデータ(Y-1
0)の値をゼロ(X-1=X0 =Y-1=Y0 =0)とす
るために、データ列の先頭(末尾)の値をオフセット値
とする(ステップ12)処理、データ列のオフセットを
除去する(ステップS13)処理およびフィルタ処理し
たデータ列のオフセットを復元する(ステップS15)
処理を実施している。
[0061] the top X 1 than the previous data (X -1, X 0) of the data string to filter in this example of the value and the previous data from the head Y 1 data string after filtering (Y -1,
In order to set the value of Y 0 ) to zero (X −1 = X 0 = Y −1 = Y 0 = 0), the value at the beginning (end) of the data string is used as an offset value (step 12) Column offset is removed (step S13) and the offset of the filtered and filtered data row is restored (step S15).
Processing is being carried out.

【0062】なお、上記のような処理を連続的または断
続的に実施するためには、測定データを適当な間隔で区
分し、測定データの群を作る。区分された各一連の測定
データ(測定データ列)に対して上記のようなフィルタ
処理を行ない、得られたフィルタ処理済みの測定データ
の群を繋ぐという処理を行なうことによって実現する。
なおこの間隔は常に一定である必要はなく、データの値
などによって変更されてもよい。また、測定を切れ目な
く実施するためには、一連の測定データのデータ順の反
転中に次の一連の測定データの取り込みを行なうための
記憶を行なうのがよい。そのために、測定データのデー
タ順の反転手段を2組用意し、これを順次切り替えなが
ら使用することが好ましい。
In order to carry out the above processing continuously or intermittently, the measurement data are divided at appropriate intervals to form a group of measurement data. This is achieved by performing the above-described filter processing on each of a series of divided measurement data (measurement data string) and connecting the obtained groups of filtered measurement data.
It should be noted that this interval need not always be constant, and may be changed depending on the value of data. Further, in order to perform the measurement seamlessly, it is preferable to store data for fetching the next series of measurement data during the inversion of the data order of the series of measurement data. Therefore, it is preferable to prepare two sets of means for inverting the data order of the measurement data and use them while sequentially switching them.

【0063】また、測定データの群に含まれる一連の測
定データは、同一の測定手段の出力をたとえば適当な時
間間隔で区切ったものであってもよく、めいめい独立の
測定手段の出力を同時に測定したものに順次上記の処理
を施すものであってもよい。このようなフィルタ処理を
行ないながら同一の測定手段の測定値を継続的に測定す
る物理量の区分的連続測定システムを構築することもで
きる。この場合、概略同様の測定結果が得られるべき多
数の測定対象を順次測定した結果をそれぞれ測定データ
列とし、各測定データ列ごとに上記のフィルタ処理を行
なって、各測定対象ごとの測定結果としてもよい。この
ような測定システムのフィルタ処理はデータ順の反転を
行なうだけでよいため、極めて高速に実施することがで
きる。したがって、たとえば、位相シフトをほとんど除
去できる高速フィルタ処理機能つきのリアルタイム測定
システムを簡単に構成することができる。
Further, the series of measurement data contained in the group of measurement data may be obtained by dividing the output of the same measuring means at appropriate time intervals, for example, and measuring the output of each independent measuring means at the same time. The processed products may be sequentially subjected to the above-mentioned processing. It is also possible to construct a piecewise continuous measurement system of physical quantities that continuously measures the measurement values of the same measurement means while performing such filter processing. In this case, the measurement results are obtained by sequentially measuring a large number of measurement targets that should be able to obtain roughly the same measurement results, and the above filter processing is performed for each measurement data sequence to obtain the measurement results for each measurement target. Good. Since the filtering process of such a measurement system only needs to reverse the data order, it can be performed at extremely high speed. Therefore, for example, it is possible to easily configure a real-time measurement system with a high-speed filtering function that can almost eliminate the phase shift.

【0064】本発明において、一連の測定データとは、
物理量を適当な測定手段により測定した一連の測定値を
指す。たとえば、物体表面の変位を位置または時間に対
して連続的に測定した測定値のように、位置(時間)を
独立変数とし、変位を従属変数とする関数のように表現
できるものである。上記独立変数や従属変数はディジタ
ル的な量であってもよくアナログ的な量であってもよ
い。独立変数がディジタル的な量である場合は、一連の
測定データは測定データ列と呼ぶこともできる。また、
一連の測定データはデータ順を反転するために、測定デ
ータの独立変数のとりうる範囲は有限である必要があ
る。したがって、独立変数がディジタル的な量の場合
は、測定データ列に含まれるデータの個数は常に有限と
なる。また独立変数は、たとえば、多数の測定器を用い
て物理量を測定する場合には、測定器の識別番号のよう
なものであってもよい。また、本発明において一連の測
定データの群とは、上記のような一連の測定データを複
数有する測定データのグループを指す。
In the present invention, the series of measurement data means
Refers to a series of measured values obtained by measuring a physical quantity by an appropriate measuring means. For example, it can be expressed as a function in which the position (time) is an independent variable and the displacement is a dependent variable, such as a measurement value obtained by continuously measuring the displacement of the object surface with respect to the position or time. The independent variable and the dependent variable may be digital quantities or analog quantities. When the independent variable is a digital quantity, a series of measurement data can also be called a measurement data string. Also,
Since the data order of a series of measurement data is reversed, the range of the independent variable of the measurement data needs to be finite. Therefore, when the independent variable is a digital quantity, the number of data contained in the measurement data string is always finite. Further, the independent variable may be, for example, an identification number of a measuring device when a physical quantity is measured using a large number of measuring devices. Further, in the present invention, a group of a series of measurement data refers to a group of measurement data having a plurality of series of measurement data as described above.

【0065】また、本発明において一連の測定データの
先頭とは、測定されまたは取得された測定データの初め
の部分を指し、末尾とは測定されまたは取得された測定
データの最後の部分を指す。また、データ順を反転した
場合であっても、元来測定データの先頭であった部分に
対応する部分は反転されたデータの先頭と呼ぶ。したが
って、第1のフィルタ処理の後、データ順を反転された
処理済み測定データの最後の部分はこのデータの「先
頭」である。「末尾」についても同様とする。
Further, in the present invention, the head of a series of measurement data refers to the beginning part of the measured or acquired measurement data, and the end refers to the last part of the measured or acquired measurement data. Even when the data order is reversed, the part corresponding to the part that was originally the beginning of the measurement data is called the beginning of the inverted data. Therefore, after the first filtering, the last part of the processed measurement data whose data order has been inverted is the "head" of this data. The same applies to the "tail".

【0066】また、本発明において、測定データのデー
タ順を測定後に反転させ、第1のフィルタ処理を測定デ
ータの末尾から施してもよい。この場合は第1のフィル
タ処理の後のデータ順の反転により第2のフィルタ処理
を施された測定データのデータ順が初めの測定データの
データ順と同一になる。この場合も第1のフィルタ処理
を測定データの先頭から行なう場合と全く同じ作用を有
する。したがって、測定データを測定器で測定し、いっ
たん記憶手段に記憶し、これを読み出してデータを取得
する場合は、処理時間を短縮でき、好ましい。
Further, in the present invention, the data order of the measurement data may be reversed after the measurement, and the first filtering process may be performed from the end of the measurement data. In this case, the data order of the measurement data subjected to the second filter processing becomes the same as the data order of the first measurement data due to the inversion of the data order after the first filter processing. Also in this case, the same operation as in the case where the first filter processing is performed from the beginning of the measurement data is obtained. Therefore, it is preferable to measure the measurement data with the measuring device, store it in the storage means once, and read it to obtain the data because the processing time can be shortened.

【0067】また、本発明において物理量とは、長さ、
温度、質量、時間など定量的に測定可能な量なら何でも
よい。こうした物理量は測定手段により測定されると、
フィルタ処理を施しやすくするために電圧、電流あるい
は磁気的な量などに変換される場合が多いが、本発明に
おいてはこのような変換を受けたものも含めて測定値と
して扱うことができる。
In the present invention, the physical quantity means the length,
Any quantity that can be quantitatively measured such as temperature, mass, and time may be used. When these physical quantities are measured by measuring means,
In order to facilitate filter processing, it is often converted into a voltage, a current, a magnetic quantity, or the like, but in the present invention, a value that includes such a conversion can be treated as a measured value.

【0068】本発明において、フィルタ処理としてはア
ナログ的およびディジタル的なフィルタ処理がともに好
ましく用いられる。第1のフィルタ処理の特性と第2の
フィルタ処理の特性とを一致させやすく、データ順の反
転が容易なディジタル的なフィルタが特に好ましく用い
られる。また、フィルタの特性は空間または時間の周波
数特性として、ローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、
バンドパスならびにバンドエリミネートフィルタなどあ
らゆる特性のものが好ましく用いられる。
In the present invention, both analog and digital filter processing are preferably used as the filter processing. A digital filter that easily matches the characteristics of the first filter processing and the characteristics of the second filter processing and that easily reverses the data order is particularly preferably used. In addition, the characteristics of the filter include a low-pass filter, a high-pass filter, and a frequency characteristic of space or time.
Bandpass filters and band eliminate filters having all characteristics are preferably used.

【0069】本発明において、第1のフィルタ処理と第
2のフィルタ処理は実質的に同一の特性を有するもので
ある必要がある。ここで、実質的に同一の位相特性を有
するとは、求める情報を得るのに十分な程度まで第1の
フィルタ処理による位相シフトの影響を除去することが
できる程度に近似していることを意味する。測定データ
がディジタル的なデータである場合は、第1のフィルタ
処理と第2のフィルタ処理の位相特性を実質的に完全に
一致させられるため好ましい。したがって、再現性も高
くなる。
In the present invention, the first filtering process and the second filtering process need to have substantially the same characteristics. Here, having substantially the same phase characteristic means that the phase characteristics are approximated to the extent that the effect of the phase shift due to the first filtering process can be removed to an extent sufficient to obtain the desired information. To do. When the measurement data is digital data, the phase characteristics of the first filtering process and the second filtering process can be substantially completely matched, which is preferable. Therefore, the reproducibility is also high.

【0070】本発明において、一連の測定データのデー
タ順を反転する手段(あるいは測定データの末尾から処
理するための手段)または再反転手段としては、次のよ
うな手段が好ましく用いられる。すなわち、測定データ
がアナログ的な場合(特に独立変数がアナログ的な場
合)は、まず一連の測定データを磁気テープ、写真フィ
ルムなどのアナログ記録媒体に媒体を正方向に巻きかえ
しながら記録し、しかる後にこのアナログ記録媒体を逆
方向に巻き返しながら再生するなどの方法によって実現
する。一方測定データがディジタル的な場合(特に独立
変数がディジタル的な場合)は、まず一連の測定データ
を半導体メモリなどディジタル記憶媒体に順次アドレス
順に記憶させ、しかる後に、メモリの最後からアドレス
の逆順に再生することにより実現する。測定データの処
理速度の点からはディジタル的な測定データ列を用い
て、上述のように半導体メモリ等によりデータ順を反転
させるのが好ましい。この点からも測定データはディジ
タル的な量である場合が好ましい。なお、データの再反
転を行なう場合は、測定データやこれをフィルタ処理し
た処理済み測定データの反転手段と同一の間隔でデータ
を反転するのが好ましい。
In the present invention, the following means are preferably used as means for inverting the data order of a series of measurement data (or means for processing from the end of measurement data) or re-inversion means. That is, when the measurement data is analog (especially when the independent variable is analog), first, a series of measurement data is recorded on an analog recording medium such as a magnetic tape or a photographic film while the medium is rewound in the forward direction. This is realized by a method such as later reproducing the analog recording medium while rewinding it in the opposite direction. On the other hand, when the measured data is digital (especially when the independent variable is digital), a series of measured data is first stored in a digital storage medium such as a semiconductor memory in order of address, and then from the end of the memory in reverse order of address. It is realized by playing. From the viewpoint of the processing speed of the measurement data, it is preferable to use a digital measurement data sequence and invert the data order by the semiconductor memory or the like as described above. From this point as well, it is preferable that the measurement data be a digital quantity. When re-inverting the data, it is preferable to invert the data at the same intervals as the inversion means for the measurement data and the processed measurement data obtained by filtering the measurement data.

【0071】また、本発明において、測定データ取得手
段としては、物理量を測定する測定器や、測定器による
測定データを記録した記憶手段もしくは記録媒体が好ま
しく用いられる。
Further, in the present invention, as the measurement data acquisition means, a measuring instrument for measuring a physical quantity, a storage means or a recording medium recording the measurement data by the measuring instrument are preferably used.

【0072】[0072]

【実施例】以下に、本発明の測定データのフィルタ処理
方法、フィルタ処理装置、物理量の区分的連続測定シス
テムの実施例について説明する。
EXAMPLES Examples of the method for filtering measured data, the filtering apparatus, and the system for continuously measuring physical quantities in a piecewise manner according to the present invention will be described below.

【0073】実施例1 図1の構成の測定データのフィルタ処理装置を用いた金
属部品の形状測定システムを製造した。
Example 1 A shape measuring system for metal parts was manufactured using the measurement data filtering apparatus having the configuration shown in FIG.

【0074】測定器3として、金属部品の表面変位を測
定する接触型プロフィルメータを用い、多数の金属部品
の表面の形状を順次連続的に測定する装置を構成した。
各金属部品は同一の設計(表面は同一の高さで平坦)に
基づいて機械的切削によって製造したものであり、表面
形状はほぼ同一である。したがって、この装置では、こ
れら各金属部品のわずかな凹凸を測定することを目的と
している。この装置では、各金属部品ごとに1個の一連
の測定データを取得することとし、各部品の中間ではプ
ロフィルメータの出力は0となる。したがって、全体で
1個の測定データ群を取得することができる。なお、出
力は電圧値として取り出すことができる。
As the measuring device 3, a contact profilometer for measuring the surface displacement of the metal parts was used, and an apparatus for successively measuring the shapes of the surfaces of many metal parts was constructed.
Each metal part is manufactured by mechanical cutting based on the same design (the surface is flat at the same height), and the surface shape is almost the same. Therefore, this device aims to measure the slight unevenness of each of these metal parts. In this device, one series of measurement data is acquired for each metal part, and the output of the profile meter becomes 0 in the middle of each part. Therefore, one measurement data group can be acquired as a whole. The output can be taken out as a voltage value.

【0075】測定器3の出力は、図示しないA/D変換
器でディジタルデータに変換した。フィルタ1としては
図7に示す周波数特性を有する低域通過バターワースフ
ィルタをディジタルフィルタで実現した。
The output of the measuring device 3 was converted into digital data by an A / D converter (not shown). As the filter 1, a low-pass Butterworth filter having the frequency characteristic shown in FIG. 7 is realized by a digital filter.

【0076】この例では周期的にサンプリングした測定
データ列を処理するので、数学的に離散したデータの間
隔を一定とした。フィルタ特性とサンプリング周期との
関係による折り返し誤差(エイリアジング)の発生を避
けるため双一次Z変換により、元となるアナログフィル
タ特性を近似したものを用いた。
In this example, since the measurement data string sampled periodically is processed, the interval of the mathematically discrete data is set to be constant. In order to avoid the occurrence of aliasing error due to the relationship between the filter characteristic and the sampling period, the original analog filter characteristic is approximated by bilinear Z conversion.

【0077】記憶装置4としては、マイクロコンピュー
タとそのメモリ装置を用いた。フィルタ1で第1のフィ
ルタ処理を施された測定データをいったんメモリ装置に
アドレス順に順次蓄積し、ついで、データのアドレスの
最後尾からアドレスの逆順にデータを取り出し、フィル
タ2に送ることができる。
As the storage device 4, a microcomputer and its memory device were used. The measurement data subjected to the first filter processing by the filter 1 can be temporarily stored in the memory device in the order of addresses, and then the data can be taken out from the end of the address of the data in the reverse order of the addresses and sent to the filter 2.

【0078】フィルタ2としてはフィルタ1と全く同じ
設計のものを用いた。
As the filter 2, a filter having exactly the same design as the filter 1 was used.

【0079】出力装置5としては、上記のマイクロコン
ピュータの画面やそのスクリーンハードコピーを用い
た。なお、出力に先立って測定データ列の再反転を行な
うようにした。
As the output device 5, the above-mentioned microcomputer screen or its screen hard copy was used. It should be noted that the measurement data string was re-inverted prior to output.

【0080】このような装置により金属部品の群の各部
品の表面形状を測定した。
The surface shape of each part of the group of metal parts was measured by such an apparatus.

【0081】図9はこの金属部品の群のうちの1個の表
面形状の測定値(測定器3の出力)をモデル的に示した
ものである。図9の左側に存在する凸部は金属部品の変
形を示しているが、これに重畳した周期の短い成分は明
らかにノイズである。この測定データ列に対し上記装置
によりフィルタ処理した。その結果、図10に示すよう
に位相遅れなしに測定データに混入したノイズを除去し
た。
FIG. 9 shows, as a model, the measured value (output of the measuring device 3) of the surface shape of one of the groups of metal parts. The convex portion on the left side of FIG. 9 indicates the deformation of the metal part, and the component with a short cycle superimposed on this is apparently noise. This measurement data string was filtered by the above device. As a result, as shown in FIG. 10, noise mixed in the measurement data was removed without phase delay.

【0082】このような処理を群に属するすべての金属
部品について行なった。その結果、図10に示したよう
な異常な凸部を有するいくつかの金属部品を発見した。
The above processing was performed on all metal parts belonging to the group. As a result, some metal parts having abnormal protrusions as shown in FIG. 10 were discovered.

【0083】なお、上記では第1のフィルタ処理は測定
データの先頭から行なったが、逆にこれを末尾から行な
い、第2のフィルタ処理を先頭から行なったところ、ほ
ぼ同一の結果を得た。
In the above, the first filter processing was performed from the beginning of the measurement data, but conversely, when this was performed from the end and the second filter processing was performed from the beginning, almost the same results were obtained.

【0084】実施例2 測定器3の出力のA/D変換を行なわず、上記のディジ
タルフィルタと同一の特性を有するアナログフィルタを
用い、磁気テープによるデータ順の反転を行なうことの
他は実施例1と同様の金属部品の形状測定システムを製
造した。
Embodiment 2 The embodiment is different from Embodiment 2 except that the output of the measuring device 3 is not subjected to A / D conversion, an analog filter having the same characteristics as the above digital filter is used, and the data order is reversed by a magnetic tape. A shape measuring system for metal parts similar to that of 1 was manufactured.

【0085】このシステムで、実施例1と同一の金属部
品の群の各金属部品の形状の測定を行ない、実施例1と
同様の結果を得ることができた。
With this system, the shape of each metal part of the same group of metal parts as in Example 1 was measured, and the same results as in Example 1 could be obtained.

【0086】実施例3 フィルタ2を使用せず、フィルタ1により第2のフィル
タ処理を行なう他は実施例1と同一の金属部品の形状測
定システムを製造した。
Example 3 The same metal part shape measuring system as in Example 1 was manufactured except that the filter 2 was not used and the second filtering was performed by the filter 1.

【0087】このシステムで、実施例1と同一の金属部
品の群の各金属部品の形状の測定を行ない、実施例1と
同様の結果を得ることができた。
With this system, the shape of each metal part of the same group of metal parts as in Example 1 was measured, and the same results as in Example 1 could be obtained.

【0088】比較例 上記の第2のフィルタ処理とデータ順の反転を行なわな
いことの他は実施例1と同様の金属部品の形状測定シス
テムを製造した。
Comparative Example A metal part shape measuring system similar to that of Example 1 was manufactured except that the second filtering process and the data order inversion were not performed.

【0089】このシステムで、実施例1と同一の金属部
品の形状の測定を行ない、図9とほぼ同様の測定データ
列を取得した。この測定データ列に対してフィルタ1に
よるフィルタ処理を施した結果、図11に示すような処
理済み測定データを得た。フィルタ1の位相遅れのため
データ列先頭の凸部がデータ列末尾の方向へ移動し、波
形が実施例1と異なったものとなった。また、ノイズ成
分が図10の場合に比べて若干多く認められた。
With this system, the shape of the same metal part as in Example 1 was measured, and a measurement data string similar to that in FIG. 9 was acquired. As a result of filtering the measurement data string with the filter 1, processed measurement data as shown in FIG. 11 was obtained. Due to the phase delay of the filter 1, the convex portion at the beginning of the data string moved toward the end of the data string, and the waveform was different from that of the first embodiment. Further, the noise component was recognized to be slightly larger than that in the case of FIG.

【0090】[0090]

【発明の効果】本発明の測定データのフィルタ処理方法
によれば、一連の測定データに先頭(または末尾)から
第1のフィルタ処理を施し、処理済み測定データに末尾
(または先頭)から第1のフィルタ処理と実質的に同一
の位相特性を有する第2のフィルタ処理を施すため、あ
らゆる周波数領域においてほとんど位相シフトを発生し
ないフィルタ処理を実現することができる。これによ
り、たとえば、測定データの波形の特徴を乱すことなく
ノイズ等の不要な情報を除去できる。
According to the measurement data filtering method of the present invention, a series of measurement data is subjected to the first filter processing from the beginning (or the end), and the processed measurement data is processed from the end (or the beginning) to the first. Since the second filter processing having substantially the same phase characteristic as that of the second filter processing is performed, it is possible to realize the filter processing in which almost no phase shift occurs in any frequency region. Thereby, for example, unnecessary information such as noise can be removed without disturbing the characteristics of the waveform of the measurement data.

【0091】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の別の態様によれば、一連の測定データの群の各一
連の測定データに先頭から第1のフィルタ処理を施し、
各処理済み測定データに末尾から前記第1のフィルタ処
理と実質的に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処
理を施すため、あらゆる周波数領域において位相シフト
を発生しないフィルタ処理を連続的あるいは断続的に行
なうことができる。
According to another aspect of the measurement data filtering method of the present invention, each series of measurement data in the series of measurement data is subjected to the first filter processing from the beginning,
Since each processed measurement data is subjected from the end to the second filtering process having substantially the same phase characteristic as the first filtering process, the filtering process that does not generate the phase shift in every frequency region is performed continuously or intermittently. Can be done

【0092】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の別の態様によれば、測定データ列に先頭(または
末尾)から第1のフィルタ処理を施し、処理済みの測定
データ列に末尾(または先頭)から前記第1のフィルタ
処理と実質的に同一の位相特性を有する第2のフィルタ
処理を施すため、ディジタルデータ処理において高速か
つ再現性よく、あらゆる周波数領域においてほとんど位
相シフトを発生しないフィルタ処理を実現することがで
きる。
According to another aspect of the measurement data filtering method of the present invention, the measurement data string is subjected to the first filtering process from the beginning (or end) and the processed measurement data string is terminated (or Since the second filtering process having substantially the same phase characteristics as the first filtering process is performed from the first), the filtering process is fast and reproducible in digital data processing and hardly causes phase shift in all frequency regions. Can be realized.

【0093】また、本発明の測定データのフィルタ処理
方法の別の態様によれば、測定データ列の群の各測定デ
ータ列に先頭から第1のフィルタ処理を施し、各処理済
み測定データに末尾から前記第1のフィルタ処理と実質
的に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処理を施す
ため、ディジタルデータ処理において高速かつ再現性よ
く、あらゆる周波数領域においてほとんど位相シフトを
発生しないフィルタ処理を連続的あるいは断続的に行な
うことができる。
According to another aspect of the measurement data filtering method of the present invention, each measurement data string in the group of measurement data strings is subjected to the first filter processing from the beginning, and each processed measurement data is added to the end. Since the second filter processing having substantially the same phase characteristic as that of the first filter processing is performed, the filter processing is continuously performed at high speed and reproducibility in digital data processing and almost no phase shift occurs in any frequency region. Can be done intermittently or intermittently.

【0094】また、本発明の測定データのフィルタ処理
装置によれば、一連の測定データを得る測定データ取得
手段と、該測定データをフィルタ処理するフィルタ処理
手段と、該フィルタ処理手段による処理を施された処理
済み測定データのデータ順反転手段とを備え、かつ、前
記フィルタ処理手段は、該処理済み測定データのデータ
順反転手段の出力をフィルタ処理する機能をも兼ね備え
るものであるため、あらゆる周波数領域においてほとん
ど位相シフトを発生しないフィルタ処理装置を実現する
ことができる。
Further, according to the measurement data filter processing apparatus of the present invention, the measurement data acquisition means for obtaining a series of measurement data, the filter processing means for filtering the measurement data, and the processing by the filter processing means are performed. And a filtering means for filtering the output of the data order reversing means for the processed measurement data. It is possible to realize a filter processing device that hardly generates a phase shift in a region.

【0095】また、本発明の測定データのフィルタ処理
装置の別の態様によれば、一連の測定データを得る測定
データ取得手段と、該測定データをフィルタ処理する第
1のフィルタ処理手段と、該第1のフィルタ処理手段に
よる処理を施された処理済み測定データのデータ順反転
手段と該処理済み測定データのデータ順反転手段の出力
をフィルタ処理する第2のフィルタ処理手段とを備え、
かつ、該第2のフィルタ処理手段が実質的に前記第1の
フィルタ処理手段と同一の位相特性を備えているため、
あらゆる周波数領域においてほとんど位相シフトを発生
しないフィルタ処理装置を実現することができる。
According to another aspect of the measurement data filter processing apparatus of the present invention, a measurement data acquisition means for obtaining a series of measurement data, a first filter processing means for filtering the measurement data, and A data order inversion means for the processed measurement data that has been processed by the first filter processing means, and a second filter processing means for filtering the output of the data order inversion means for the processed measurement data.
And since the second filter processing means has substantially the same phase characteristics as the first filter processing means,
It is possible to realize a filter processing device that causes almost no phase shift in any frequency region.

【0096】また、本発明の物理量の区分的連続測定シ
ステムによれば、物理量の測定手段と、該測定手段の出
力をフィルタ処理する第1のフィルタ処理手段と、一定
の間隔ごとに該第1のフィルタ処理手段の出力を時間的
に反転させるデータ順反転手段と、該データ順反転手段
の出力をフィルタ処理する第2のフィルタ処理手段とを
備え、かつ、該第2のフィルタ処理手段が実質的に前記
第1のフィルタ処理手段と同一の位相特性を備えている
ため、あらゆる周波数成分につきほとんど位相シフトを
起こすことないフィルタ処理を行ないながら区分的な測
定データ群のデータ処理を行なうことができる。これに
より、たとえば、同一の測定装置の出力を順次位相シフ
トなくリアルタイムでフィルタ処理する測定システムを
構成することができる。
According to the physical quantity piecewise continuous measuring system of the present invention, the physical quantity measuring means, the first filter processing means for filtering the output of the measuring means, and the first physical quantity measuring means at regular intervals. Data forward inverting means for inverting the output of the filter processing means in time, and second filter processing means for filtering the output of the data forward inverting means, and the second filter processing means is substantially Since it has the same phase characteristic as that of the first filter processing means, it is possible to perform the data processing of the group of measurement data while performing the filter processing with almost no phase shift for all frequency components. . As a result, for example, it is possible to configure a measurement system that sequentially filters the outputs of the same measurement device without phase shift in real time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の測定データのフィルタ処理方法および
フィルタ処理装置の一実施態様の概略構成を示すブロッ
ク図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of an embodiment of a measurement data filtering method and filtering apparatus of the present invention.

【図2】本発明の測定データのフィルタ処理方法および
フィルタ処理装置の一実施態様の概略構成を示すブロッ
ク図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of an embodiment of a measurement data filtering method and filtering apparatus of the present invention.

【図3】本発明のフィルタ処理方法の一実施態様におけ
る手順の大略を示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing an outline of a procedure in one embodiment of the filtering method of the present invention.

【図4】本発明のフィルタ処理方法の一実施態様におけ
るフィルタ処理の手順の概略を示すフローチャートであ
る。
FIG. 4 is a flowchart showing an outline of a procedure of filter processing in an embodiment of the filter processing method of the present invention.

【図5】本発明のフィルタ処理方法の一実施態様におけ
るフィルタ処理の手順の詳細示すフローチャートであ
る。
FIG. 5 is a flowchart showing details of a procedure of filter processing in one embodiment of the filter processing method of the present invention.

【図6】本発明のフィルタ処理方法の目的を説明するた
めの例を示した図である。
FIG. 6 is a diagram showing an example for explaining the purpose of the filtering method of the present invention.

【図7】本発明のフィルタ処理方法およびフィルタ処理
装置に用いるフィルタ処理手段のフィルタ特性の例を示
した図である。
FIG. 7 is a diagram showing an example of filter characteristics of filter processing means used in the filter processing method and filter processing apparatus of the present invention.

【図8】本発明のフィルタ処理方法およびフィルタ処理
装置の作用を説明するためのモデル図である。
FIG. 8 is a model diagram for explaining the operation of the filter processing method and filter processing apparatus of the present invention.

【図9】本発明のフィルタ処理方法、フィルタ処理装置
および物理量の区分的連続測定システムの一実施例にお
ける測定器の出力をモデル的に示す図である。
FIG. 9 is a model view showing the output of the measuring device in one embodiment of the filtering method, the filtering device and the physical quantity piecewise continuous measuring system of the present invention.

【図10】本発明のフィルタ処理方法、フィルタ処理装
置および物理量の区分的連続測定システムの一実施例に
おけるフィルタ処理済みの出力をモデル的に示す図であ
る。
FIG. 10 is a diagram showing a model of a filtered output in one embodiment of the filtering method, the filtering device and the physical quantity piecewise continuous measuring system of the present invention.

【図11】従来のフィルタ処理方法を用いた場合のフィ
ルタ処理済みの出力をモデル的に示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a modeled output that has been subjected to filter processing when a conventional filter processing method is used.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:フィルタ 2:フィルタ 3:測定器 4:記憶装置 5:出力装置 6:記憶装置 7:出力装置 40:処理手段 50:インパルス性ノイズ 70:通過領域の周波数範囲 71:遮断領域の周波数範囲 72:測定データ列先頭 73:測定データ列末尾 74:測定データ列先頭振幅 75:凸部振幅 76:凸部振幅 77:測定データ列末尾振幅 78:位相遅れ 79:位相遅れ 80:凸部 1: Filter 2: Filter 3: Measuring device 4: Storage device 5: Output device 6: Storage device 7: Output device 40: Processing means 50: Impulsive noise 70: Frequency range of pass region 71: Frequency range of cut-off region 72 : Measurement data sequence head 73: Measurement data sequence end 74: Measurement data sequence start amplitude 75: Convex part amplitude 76: Convex part amplitude 77: Measurement data sequence end amplitude 78: Phase delay 79: Phase delay 80: Convex part

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】一連の測定データに先頭から第1のフィル
タ処理を施し、該第1のフィルタ処理を施された処理済
み測定データに末尾から前記第1のフィルタ処理と実質
的に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処理を施す
ことを特徴とする測定データのフィルタ処理方法。
1. A series of measurement data is subjected to a first filtering process from the beginning, and the processed measurement data subjected to the first filtering process has a phase substantially the same as that of the first filtering process from the end. A method for filtering measurement data, characterized by performing a second filtering process having characteristics.
【請求項2】前記第2のフィルタ処理を施された処理済
み測定データを先頭から出力することを特徴とする請求
項1に記載の測定データのフィルタ処理方法。
2. The measurement data filtering method according to claim 1, wherein the processed measurement data subjected to the second filtering is output from the beginning.
【請求項3】一連の測定データに末尾から第1のフィル
タ処理を施し、該第1のフィルタ処理を施された処理済
み測定データに先頭から前記第1のフィルタ処理と実質
的に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処理を施す
ことを特徴とする測定データのフィルタ処理方法。
3. A series of measurement data is subjected to a first filtering process from the end, and the processed data subjected to the first filtering process has a phase substantially the same as that of the first filtering process from the beginning. A method for filtering measurement data, characterized by performing a second filtering process having characteristics.
【請求項4】一連の測定データの群の各一連の測定デー
タに先頭から第1のフィルタ処理を施し、該第1のフィ
ルタ処理を施された各処理済み測定データに末尾から前
記第1のフィルタ処理と実質的に同一の位相特性を有す
る第2のフィルタ処理を施すことを特徴とする測定デー
タのフィルタ処理方法。
4. A first filter process is applied to each series of measurement data of a series of measurement data from the beginning, and each processed measurement data subjected to the first filter process is applied to the first from the end. A method for filtering measurement data, which comprises performing a second filtering process having substantially the same phase characteristics as the filtering process.
【請求項5】測定データ列に先頭から第1のフィルタ処
理を施し、該第1のフィルタ処理を施された処理済み測
定データ列に末尾から前記第1のフィルタ処理と実質的
に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処理を施すこ
とを特徴とする測定データのフィルタ処理方法。
5. A first filtering process is applied to the measurement data sequence from the beginning, and a processed measurement data sequence subjected to the first filtering process has a phase substantially the same as that of the first filtering process from the end. A method for filtering measurement data, characterized by performing a second filtering process having characteristics.
【請求項6】測定データ列に末尾から第1のフィルタ処
理を施し、該第1のフィルタ処理を施された処理済み測
定データ列に先頭から前記第1のフィルタ処理と実質的
に同一の位相特性を有する第2のフィルタ処理を施すこ
とを特徴とする測定データのフィルタ処理方法。
6. A measurement data string is subjected to a first filtering process from the end, and a processed measurement data string subjected to the first filtering process has a phase substantially the same as that of the first filtering process from the beginning. A method for filtering measurement data, characterized by performing a second filtering process having characteristics.
【請求項7】測定データ列群の各測定データに先頭から
第1のフィルタ処理を施し、該第1のフィルタ処理を施
された各処理済み測定データ列を末尾から前記第1のフ
ィルタ処理と実質的に同一の位相特性を有する第2のフ
ィルタ処理を施すことを特徴とする測定データのフィル
タ処理方法。
7. A first filter process is applied to each measurement data of the measurement data string group from the beginning, and each processed measurement data string subjected to the first filter process is added to the first filter process from the end. A method for filtering measurement data, characterized by performing a second filtering process having substantially the same phase characteristics.
【請求項8】前記第1または第2のフィルタ処理がディ
ジタルフィルタ処理であることを特徴とする請求項5〜
7のいずれかに記載の測定データのフィルタ処理方法。
8. The method according to claim 5, wherein the first or second filter processing is digital filter processing.
7. The method for filtering measurement data according to any one of 7.
【請求項9】一連の測定データを得る測定データ取得手
段と、該測定データをフィルタ処理するフィルタ処理手
段と、該フィルタ処理手段による処理を施された処理済
み測定データのデータ順反転手段とを備え、かつ、前記
フィルタ処理手段は、該処理済み測定データのデータ順
反転手段の出力をフィルタ処理する機能をも兼ね備える
ものであることを特徴とするフィルタ処理装置。
9. A measurement data acquisition means for obtaining a series of measurement data, a filter processing means for filtering the measurement data, and a data forward inverting means for the processed measurement data processed by the filter processing means. A filter processing apparatus, comprising: the filter processing means also having a function of filtering the output of the data forward inversion means of the processed measurement data.
【請求項10】一連の測定データを得る測定データ取得
手段と、該測定データをフィルタ処理する第1のフィル
タ処理手段と、該第1のフィルタ処理手段による処理を
施された処理済み測定データのデータ順反転手段と該処
理済み測定データのデータ順反転手段の出力をフィルタ
処理する第2のフィルタ処理手段とを備え、かつ、該第
2のフィルタ処理手段が実質的に前記第1のフィルタ処
理手段と同一の位相特性を備えてなることを特徴とする
フィルタ処理装置。
10. A measurement data acquisition means for obtaining a series of measurement data, a first filter processing means for filtering the measurement data, and a processed measurement data processed by the first filter processing means. Data forward inverting means and second filter processing means for filtering the output of the data forward inverting means of the processed measurement data are provided, and the second filter processing means is substantially the first filter processing. A filtering apparatus having the same phase characteristic as that of the means.
【請求項11】物理量の測定手段と、該測定手段の出力
をフィルタ処理する第1のフィルタ処理手段と、一定の
間隔ごとに該第1のフィルタ処理手段の出力を時間的に
反転させるデータ順反転手段と、該データ順反転手段の
出力をフィルタ処理する第2のフィルタ処理手段とを備
え、かつ、該第2のフィルタ処理手段が実質的に前記第
1のフィルタ処理手段と同一の位相特性を備えてなるこ
とを特徴とする物理量の区分的連続測定システム。
11. A physical quantity measuring means, a first filter processing means for filtering the output of the measuring means, and a data sequence for inverting the output of the first filter processing means at regular intervals. It comprises an inverting means and a second filter processing means for filtering the output of the data forward inverting means, and the second filter processing means has substantially the same phase characteristic as the first filter processing means. A piecewise continuous measurement system for physical quantities, comprising:
【請求項12】前記第2のフィルタ処理手段の出力を一
定の間隔ごとに時間的に反転させるデータ順再反転手段
を備えてなることを特徴とする請求項11に記載の物理
量の区分的連続測定システム。
12. A piecewise continuous physical quantity according to claim 11, further comprising data forward re-inversion means for inverting the output of said second filter processing means at regular intervals. Measuring system.
【請求項13】前記データ順反転手段は、前記第2のフ
ィルタ処理手段の出力を一定の間隔ごとに時間的に反転
させる機能をも兼ね備えたものであることを特徴とする
請求項11に記載の物理量の区分的連続測定システム。
13. The data forward inverting means also has a function of inverting the output of the second filter processing means temporally at regular intervals. A system for continuous measurement of physical quantities.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1944493A3 (en) * 2007-01-10 2009-09-16 Denso Corporation Apparatus for filtering measured analog signal used to control vehicle engine

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