JPH08504486A - パルプ脱リグニン反応器へ導入する加圧オゾン流の制御方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 大気圧より高い圧力下にあるオゾン含有ガスをオゾン脱リグニン装置へ供給する方法および装置を提供する。水封式圧縮機の速度を制御して、オゾン脱リグニン装置が使用するに足るだけの時間当たりのオゾンガスを所望の高気圧へ圧縮し、過剰のガスはほとんど圧縮しないようにする。オゾン含有ガスは、水封式圧縮機から分離／緩衝タンクを経由して供給される。分離／緩衝タンクでは、圧力の脈動が平準化され、圧縮されたオゾンガスか冷却水が分離され、その後でガスはオゾン脱リグニン装置へ導入される。ガスは制御弁を通り、制御弁は、オゾン脱リグニン装置へ供給されるセルロースパルプの量を検出する質量流量計によって制御される。圧縮機の速度制御は、前記制御弁前後に接続された差圧制御器によって行うことが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 パルプ脱リグニン反応器へ導入する加圧オゾン流の制御方法および装置 発明の背景および概要 セルロースパルプの脱リグニン化技術は少なくとも商業的現実性を帯びてきて いる。オゾン含有ガスをオゾン脱リグニン装置において使う前に、これを大気圧 より高い圧力（例えば５〜２０気圧）になるように圧縮するのが必須ではないが 、極めて好ましいことが判明した。しかしオゾンを圧縮するときにその温度を常 温またはそれ以下に保つことに留意する必要があり、さもないと重大な毒性上お よび／または操作上の困難性を生じる。これは水封式圧縮機を用いて行うのが好 ましい。（オゾンガスからの熱圧縮を吸収する）水封式圧縮機からの加熱水はオ ゾン含有ガスから分離され、熱変換器で外部冷却される。 オゾン含有ガスを圧縮したガスをオゾン脱リグニン装置へ供給する時には、オ ゾン分解を最小限に抑えるために小さな緩衝タンクだけを用いてオゾンを脱リグ ニン装置へほとんど直接的に供給することが極めて好ましい。この小さな緩衝タ ンクは、圧縮機からの圧力の脈動を平準化するということと、圧縮ガスと冷却水 とを分離する場所を提供するということの二つの目的を果たす。この槽の大きさ は、ガスと液との分離を行うに必要な大きさがあればよいということであり、オ ゾン脱リグニン化プロセスを行うために圧縮機を連続的に運転することが必須で あることを意味する。従来の技術では、圧縮機の連続運転は、過剰の圧縮オゾン を圧縮機の入口側に戻すアンローダー弁付き圧縮機を運転することによって行う のが常であった。しかし、このようにガスを入口側に戻すと、オゾンが幾分かは 分解するので、これはもちろん望ましいものではなく、この従来的な技法を商業 運転に適用するのは許容され得ないものである。 本発明に従えば、圧縮機を連続的に運転し、しかもオゾン脱リグニン装置が必 要とするオゾン量のみを供給することを可能とする方法および装置が提供される 。基本的には、本発明においては、これは圧縮機の運転速度を制御し、オゾン脱 リグニン装置が使用するに足るだけの時間当たりのオゾンガスを大気圧よりも高 い、所望の圧力に圧縮するようにし、過剰のガスはほとんど圧縮しないようにす ることによって達成される。 本発明の実施態様の一においては、セルロースパルプのオゾン脱リグニン化を 行うために、圧縮機を用いて、大気圧よりも高い圧力下にあるオゾン含有ガスを 供給する方法が提供される。本発明の方法は、（ａ）オゾン脱リグニン装置が使 用するに足るだけの時間当たりのオゾンガスを大気圧より高い圧力に圧縮し、過 剰のガスはほとんど圧縮しないように圧縮機の運転速度を制御する工程、および （ｂ）同伴ガス中のオゾンを圧縮機から実質上直接的にオゾン脱リグニン化プロ セスヘ供給する工程の二つの工程を包含する。圧縮機は、水封式圧縮機であるこ とが好ましく、工程（ａ）は、圧縮機中の水封の役目を果たす水のリングを形成 するに必要な最小速度に一般に対応する水封式圧縮機の最小運転速度を確実に維 持するように行われる。工程（ｂ）は、圧縮機からの圧力脈動の平準化、および オゾンガスをオゾン脱リグニン装置へ導入する前での水封式圧縮機からの冷却水 と圧縮されたオゾンガスとの分離という二つのサブ工程（ｂ１）および（ｂ２） によって行われるのが好ましい。 また、本発明は圧縮機からの圧力出力が予め定められた所望の最大値を超えた かどうかを測定し、そのような検出値に応答してオゾンガスを圧縮機へ戻す段階 をも包含する。典型的には制御弁を圧縮機とオゾン脱リグニン化プロセスとの間 に配設するのであるが、オゾン脱リグニン化プロセスへ供給されているセルロー スパルプ量の質量流量検出値に応答して制御弁を通過するオゾンの量を制御する 工程（ｃ）がある。工程（ａ）は、制御弁前後に接続された差圧制御器を用いて 圧縮機の速度制御を行い、制御弁の前後の圧力降下が最小となるようにすること によって行うのが好ましい。また、工程（ａ）は前記装置へ供給されるオゾンの 質量を、流量とオゾン濃度検出の読みとを合わせて決めるサブ工程（ａ１）をも 包含する。 また、本発明はセルロースパルプのオゾン脱リグニン化を行う装置も包含する 。該装置は、同伴ガス中のオゾンガスの供給源、大気圧よりも高い圧力下の、同 伴ガス中のオゾンをセルロースパルプと混合してオゾンでパルプの脱リグニン化 を行わせるオゾン利用装置、前記供給源とオゾン利用装置との間に接続され、同 伴ガス中のオゾンを圧縮し圧縮されたオゾンを前記装置へ供給する水封式圧縮機 、およびオゾン脱リグニン装置が使用するに足るだけの時間当たりのオゾンガス を大気圧よりも高い圧力に圧縮するようにし、過剰のガスはほとんど圧縮しない ようにする水封式圧縮機の速度を制御するための速度制御手段を包含する。 また、本発明は圧縮機と上記利用装置との間に配設された分離／緩衝タンクも 包含することが好ましい。該タンクは、圧縮機からの圧力脈動を平準化し、かつ 圧縮ガスに起因する水を分離する目的で配設される。該タンクは、オゾンの分解 を最小限に抑えるために、平準化および分離の二機能を果たす最小の容積を有す るものとする。制御弁は、分離／緩衝タンクと上記利用装置との間に配設される 。質量計が設けられ、上記利用装置へのパルプの質量流量を検出し、さらに質量 流量検出値に応答して制御弁通過のガス量を制御する手段が設けられる。 上記速度制御手段は、制御弁前後に運転上取り付けられた差圧制御器を包含す ることが好ましい。この差圧制御器は、圧縮機吐出とオゾン利用装置との間の圧 力差を測定するためのもので、運転上水封式圧縮機へ接続されている。また、ガ スのラインが、分離／緩衝タンクと制御弁と間から出て、オゾンガス源と水封式 圧縮機との間へ戻って延びており、背圧調節手段がこのガスのラインに配設され 、圧力が、装置の構成部品を損傷する恐れがある水準までは絶対に上がらないよ うにしている。 また、熱交換器と水循環ラインが分離／緩衝タンクと圧縮機とに運転上関連し ている。水循環ラインは、分離／緩衝タンクの底部から該熱交換器へ、さらにオ ゾン源と水封式圧縮機との間の点まで延びている。また、熱交換器を通過する水 を冷却するために冷却流体を熱交換器へ循環する手段も設けられている。制御弁 と上記利用装置との間には逆止弁が配設され、流体流がオゾン利用装置から圧縮 機の方へ戻らないようにしている。またオゾン源と水封式圧縮機との間にも逆止 弁が設けられ、流体が圧縮機からオゾン源へ通過するのを防止している。 本発明の主な目的は、オゾン消費プロセスに必要とされるオゾン量を連続的に 製造し、分解する余地を実質的になくする方法および装置を提供することである 。本発明のこの目的および他の目的は、本発明の詳細な説明や後記の特許請求の 範囲ををよく吟味して読めば明快になろう。 図面の簡単な説明 図１は、本発明の例示的な装置の概略図である。 図面の詳細な説明 図１は本発明の例示的装置を概略的に示すものである。該装置には、同伴ガス 源９、同伴ガス中へオゾンを供給するオゾン発生機１０、および圧力調節器８が 含まれる。該調節器８は発生機１０内の特定圧力を維持し、流れの要求値が変わ っても十分な同伴ガスが得られるようにするものである。同伴ガス中のオゾンの 量は、同伴ガスが酸素の場合は典型的には約１０％であるが、実際に所望の量な らばどんな量でも供給し得る。オゾン発生機への電気入力はオゾン濃度制御器４ ４を用いて制御される。この制御器は、運転上オゾン濃度検出器４５に接続され ている。オゾン濃度が所要ガス流に従って変化すると、発生機への電気入力が変 化し、所定の濃度が維持される。オゾン発生機１０は、逆止弁１１を経て圧縮機 １２、好ましくは水封式圧縮機へ接続されている。水封式圧縮機１２にはこれを 駆動するモーター１３があり、これはモーター制御器１４によって制御されてい る。オゾンガスの圧力は、所望の水準、典型的には２〜２０バール（例えば、約 ５〜１５バール）まで圧縮機によって上げられる。 水封式圧縮機１２からの出口は、分離／緩衝タンク１５へ接続されている。分 離／緩衝タンク１５は、圧縮機１２からの圧力脈動を平準化する手段を包含し、 圧縮されたオゾン含有ガスと冷却水とが分離する場所を提供する。タンク１５は 最小の容積を有するのが好ましく、この容積は、上記の意図する機能を果たすに 十分な大きでありさえすればよい。１６に示されるように圧力逃がし手段をタン ク１５から設けてもよい。タンク１５の底部から水循環ライン１７が設けられる が、これは熱交換器１８に接続され、次いで…１９に示されるように…逆止弁１ １と圧縮機１２との間の点に戻るようにされている。冷却水は、図１の２０、２ １の所に示されているように、熱交換器１８に供給され、使用後にこれから取り 出される。こうすることによって、同じ水を水封式圧縮機１２に対して循環する ことが可能となり、圧縮されたオゾン含有ガスの温度が実質的に常温またはそれ 以下の温度に確実に保たれるのである。補給水は、タンク１５の水位を一定に保 つように４１の所から必要に応じて添加される。 タンク１５から下流に延びているライン２３は最終的にはオゾン脱リグニン装 置２４へ至るが、この装置は好適な脱リグニン装置または漂白装置ならどんなも のでもよい。例えば、１９９０年３月２０日出願の公開欧州特許出願第０３９７ ３０８号に示される装置がそうである。装置２４は高、低、または中程度コンシ ステンシーのパルプをいずれも処理することができる。系の安全性を確保するた めに、背圧調節器２６をライン２３と圧縮機１２への入口との間の循環ライン２ ５に設けることが好ましい。この背圧調節器２６は、圧縮機１２からの出力圧力 が系の設計圧力を決して超えないようにするものである。背圧調節器２６は、設 定された（予め定められた）値で開となり、圧縮されたオゾンを圧縮機入口に開 放することによってその値を維持するものである。逃がし弁１６と破裂板４２も 背圧調節器２６をバックアップするために設けることもできる。 ライン２３に付いているのは、制御弁２７、流量計３７、制御弁２７の上下流 側の圧力取り出し口２９、３０、逆止弁２８、およびオゾン濃度検出器４３であ る。制御弁２７は、質量流量計３２へ運転上接続されている制御器３１によって 制御される。質量流量計３２は、蒸解カンまたは他のパルプ源３３からオゾン利 用装置２４へ至るセルロースパルプ（高、低、または中程度コンシステンシーの いずれでもよい）の量を検出する。質量流量計３２を経由して供給されているパ ルプの質量が多ければ多いほど、制御弁２７が開き、相応のオゾン含有ガスが利 用装置２４へ導入される。制御弁２７は、質量基準でオゾン：パルプが一定の比 となるように設定される。オゾンの質量流量は、全流量４０にオゾンモニター３ ９のオゾン濃度を乗じることによって定められる。 モーター１３の速度制御は、差圧制御器３６を用いて行われる。該差圧制御器 は、制御弁２７の上下流側の圧力取り出し口２９、３０に接続されている。圧力 取り出し口３０は逆止弁２８の下流側に位置している。差圧制御器３６は圧縮機 １２とオゾン利用装置２４との間の圧力を測定するものである。この差圧は、制 御器１４を経て、モーター１３を制御するのに用いられ、前記利用装置２４の圧 力より高い一定の差圧でこの装置にオゾンガスを供給するものである。この差圧 は、通常５〜１０ｐｓｉｇ（ポンド／平方インチ、ゲージ）であるが、この差圧 のために、弁２７の前後の圧力降下が、ある範囲にあって、弁２７が制御可能な 範囲で操作されるようになることが確実に行われる。また、これがあるが故に圧 縮機１２を最低の圧力で運転することが可能となる。 制御器１４および／またはモーター１３は、水封式圧縮機１２中で遠心力によ り水のリングが形成する最小速度以上で水封式圧縮機１２が常に運転されるよう に特別に設計される。 図１に示される装置を用いると、オゾン脱リグニン（漂白）パルプが同伴ガス 中の、大気圧よりも高い圧力のオゾンを用いて製造される。オゾンガスは、常温 またはそれ以下の温度で安全に供給され、制御弁２７前後の圧力降下が最小とな るので、損失は最小限に抑えられる。従って本発明によれば、従来的な、容易に 入手可能な機器を用いて、同伴ガス中の正当な量のオゾンが脱リグニン装置２４ へ常に供給される。 本発明については、最も実際的でかつ好ましい態様であると現在考えられたも のを本明細書に示し、かつ説明したものであるので、多くの部分的改変点が本発 明の範囲内で当業者には明らかになろう。従って、本発明の特許請求の範囲につ いては、すべての等価の構造および方法を含むように最も広く解釈すべきである 。

【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９４年１１月９日 【補正内容】請求の範囲 １．セルロースパルプ（３３）のオゾン脱リグニン化を行うために、圧縮機（１ ２）を用いて、大気圧よりも高い圧力下に同伴ガス中のオゾンを（１０から）供 給する方法において、 （ａ）オゾン脱リグニンプロセスが（２４の所で）使用する時間当たりのオゾ ンガスだけを、大気圧よりも高い所望の圧力に圧縮し、過剰のガスはほとんど圧 縮しないように圧縮機（１２）の運転速度を制御する工程、および （ｂ）同伴ガス中のオゾンを圧縮機（１２）から実質上直接的にオゾン脱リグ ニン化プロセス（２４）へ供給する（ライン２３の所で）工程、 を包含するオゾン供給方法。 ２．工程（ｂ）が、（タンク１５を用いて）圧縮機（１２）からの圧力脈動の平 準化するサブ工程（ｂ１）によって行われることを特徴とする請求項１記載の方 法。 ３．上記圧縮機（１２）が水封式圧縮機であり、工程（ｂ）が、オゾンガスをオ ゾン脱リグニンプロセス（２４）へ導入する前で（１７における）冷却水と（２ ３における）圧縮されたオゾンガスとを（タンク１５において）分離するサブ工 程（ｂ２）によって更に行われることを特徴とする請求項２記載の方法。 ４．二つのサブ工程（ｂ１）と（ｂ２）とが、圧縮機（１２）とオゾン脱リグニ ン化プロセス（２４）との間に分離／緩衝タンク（１５）を設けることによって 行われることを特徴とする請求項３記載の方法。 ５．上記圧縮機（１２）が水封式圧縮機であり、工程（ｂ）が、オゾンをオゾン 脱リグニンプロセス（２４）へ導入する前で（１７における）冷却水と（２３に おける）圧縮されたオゾンとを（タンク１５において）分離するサブ工程によっ て行われることを特徴とする請求項１記載の方法。 ６．工程（ａ）が、圧縮機中の水封の役目を果たす水のリングを形成するに必要 な速度以上である、水封式圧縮機（１２）の最低運転速度にて行われることを特 徴とする請求項５記載の方法。 ７．圧縮機（１２）からの（２６を経る）圧力出力が予め定められた所望の最大 値を超えたかどうかを測定し、そのような検出値に応答してオゾン含有ガスを（ ２５において）圧縮機へ戻す工程をも更に包含することを特徴とする請求項６記 載の方法。 ８．圧縮機（１２）とオゾン脱リグニン化プロセス（２４）との間の制御弁（２ ７）を更に用い、オゾン脱リグニン化プロセス（２４）へ供給されているセルロ ースパルプ量の（３２を経由する）質量流量検出値に応答して制御弁（２７）を 通過するオゾンの量を制御する工程（ｃ）を更に包含することを特徴とする請求 項５記載の方法。 ９．工程（ａ）が、制御弁（２７）前後に接続された差圧制御器（３６）を用い て、圧縮機（１２）の速度制御を行い、制御弁（２７）の前後の圧力降下の最小 化を行うことによって行われることを特徴とする請求項８記載の方法。 １０．上記圧縮機（１２）が水封式圧縮機であり、工程（ａ）と（ｂ）とが、水 封式圧縮機に用いられる（１８の所の）水を外部冷却し、これを圧縮機に再循環 することによって、圧縮されたオゾンと同伴ガスとの温度を実質的に常温または それ以下の温度に保つように行われ、そして圧縮された（２３の所の）オゾン含 有ガスの圧力が２〜２０バールであることを特徴とする請求項１記載の方法。 １１．セルロースパルプのオゾン脱リグニン化を行わせる装置において、 同伴ガス中のオゾンガス源（１０）、 同伴ガス中の、大気圧よりも高い圧力下のオゾンと（３３からの）セルロース パルプとを混合して、オゾンによるパルプの脱リグニン化を行わせる反応装置（ ２４）、 前記ガス源（１０）と前記反応装置（２４）との間に接続されており、オゾン と同伴ガスを圧縮し、圧縮された（２３の所の）オゾン含有ガスを前記反応装置 へ供給するための水封式圧縮機（１２）、 圧縮機（１２）と反応装置（２４）との間の圧力を検出する手段（３６）、お よび 前記圧縮機（１２）が、前記反応装置（２４）が使用する時間当たりのオゾン だけを、大気よりも高い所望の圧力に圧縮し、過剰のガスはほとんど圧縮しない ように、そして前記大気圧よりも高い圧力が反応装置の圧力より高く維持される ように、前記検出手段に応答して前記水封式圧縮機の速度を制御する速度制御手 段（１３、１４）、 を包含するセルロースパルプのオゾン脱リグニン化装置。 １２．前記圧縮機（１２）と前記反応装置（２４）との間に配設され、前記圧縮 機からの圧力脈動を平準化し、圧縮されたガスから水を分離するための分離／緩 衝タンク（１５）であって、該タンクはオゾンの分解を最小限に抑えるために前 記平準化と分離という二つの機能を果たす最小の容積を有する分離／緩衝タンク （１５）を更に包含することを特徴とする請求項１１記載の装置。 １３．前記分離／緩衝タンク（１５）と前記反応装置（２４）との間に配設され た制御弁（２７）を更に包含することを特徴とする請求項１２記載の装置。 １４．前記反応装置へのセルロースパルプの質量流量を検出する質量流量計（３ ２）を更に包含し、そして前記制御弁（２７）を通過するガス量を該質量流量計 （３２）に応答して制御する手段（３８、３１）を更に包含することを特徴とす る請求項１３記載の装置。 １５．前記圧力検出手段と速度制御手段とが、前記制御弁（２７）前後の圧力を 測定するための、前記制御弁（２７）前後に運転上接続され、そして前記水封式 圧縮機（１２）にも（１４、１３を通じて）運転上接続されている差圧制御器（ ３６）を包含することを特徴とする請求項１４記載の装置。 １６．前記速度制御手段によって、前記制御弁（２７）が制御可能な範囲で操作 されることを特徴とする請求項１４記載の装置。 １７．前記オゾン源がオゾン発生機（１０）を包含し、そして前記速度制御手段 によって、前記オゾン発生機が最適圧力で運転されることを特徴とする請求項１ ４記載の装置。 １８．前記速度制御手段が、前記圧縮機中に水封の役目を果たす水のリングを常 に形成するのを確実にするのに必要な速度以上である、前記圧縮機（１２）の最 低速度を維持する手段を更に包含することを特徴とする請求項１５記載の装置。 １９．前記分離／緩衝タンク（１５）と前記制御弁（２７）との間から出て、前 記オゾンガス源と前記水封式圧縮機（１２）との間へ戻って延びているガスのラ イン（２５）、および該ガスラインに配設されて圧縮機出力圧力が前記反応装置 （２４）、制御弁（２７）、または他の装置構成部品を損傷する恐れがある水準 までは上がらないようにする背圧調節手段（２６）を更に包含することを特徴と する請求項１８記載の装置。 ２０．熱交換器（１８）と水循環ライン（１７、１９）（該水循環ライン（１７ 、１９）は、前記分離／緩衝タンク（１５）の底部から該熱交換器（１８）へ、 さらに前記オゾン源と前記水封式圧縮機との中間点まで延びている）、および前 記熱交換器を通過する水を冷却するために冷却流体を前記熱交換器へ循環する手 段（２０、２１）を更に包含することを特徴とする請求項１５記載の方法。 ２１．前記制御弁（２７）と前記反応装置（２４）との間に配設され、流体流が 前記反応装置から前記圧縮機の方へ戻らないようにしている逆止弁（２８）を更 に包含することを特徴とする請求項１５記載の装置。 ２２．前記オゾン源（１０）と前記水封式圧縮機（１２）との間に配設され、流 体が前記圧縮機から前記オゾン源の方へ戻らないようにしている逆止弁（１１） を更に包含することを特徴とする請求項２１記載の装置。 ２３．前記反応装置（２４）を通過するオゾンの量をモニターし、このオゾン濃 度を容量流量と合わせることによってオゾン注入量を定めることを可能とするた めのオゾン濃度検出器（４３）を更に包含することを特徴とする請求項１４記載 の装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダン，ステファン ジェイ アメリカ合衆国、ニューヨーク州 12801 グレンス フォールス、リッジセンター （番地なし） カミヤー インコーポレー テッド内

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．セルロースパルプのオゾン脱リグニン化を行うために、圧縮機を用いて、大 気圧よりも高い圧力下に同伴ガス中のオゾンを供給する方法において、 （ａ）オゾン脱リグニンプロセスが使用する時間当たりのオゾンガスだけを、 大気圧よりも高い所望の圧力に圧縮し、過剰のガスはほとんど圧縮しないように 圧縮機の運転速度を制御する工程、および （ｂ）同伴ガス中のオゾンを圧縮機から実質上直接的にオゾン脱リグニン化プ ロセスヘ供給する工程、 を包含するオゾン供給方法。 ２．工程（ｂ）が、圧縮機からの圧力脈動を平準化するサブ工程（ｂ１）によっ て行われることを特徴とする請求項１記載の方法。 ３．上記圧縮機が水封式圧縮機であり、工程（ｂ）が、オゾンガスをオゾン脱リ グニンプロセスへ導入する前で冷却水と圧縮されたオゾンガスとを分離するサブ 工程（ｂ２）によって更に行われることを特徴とする請求項２記載の方法。 ４．二つのサブ工程（ｂ１）と（ｂ２）とが、圧縮機とオゾン脱リグニン化プロ セスとの間に分離／緩衝タンクを設けることによって行われることを特徴とする 請求項３記載の方法。 ５．上記圧縮機が水封式圧縮機であり、工程（ｂ）が、オゾンをオゾン脱リグニ ン化プロセスへ導入する前で冷却水と圧縮されたオゾンとを分離するサブ工程に よって行われることを特徴とする請求項１記載の方法。 ６．工程（ａ）が、圧縮機中の水封の役目を果たす水のリングを形成するに必要 な速度以上である、水封式圧縮機の最小運転速度にて行われることを特徴とする 請求項５記載の方法。 ７．圧縮機からの圧力出力が予め定められた所望の最大値を超えたかどうかを測 定し、そのような検出値に応答してオゾン含有ガスを圧縮機へ戻す工程をも更に 包含することを特徴とする請求項６記載の方法。 ８．圧縮機とオゾン脱リグニン化プロセスとの間の制御弁を更に用い、オゾン脱 リグニン化プロセスへ供給されているセルロースパルプの量の質量流量検出値に 応答して制御弁を通過するオゾンの量を制御する工程（ｃ）を更に包含すること を特徴とする請求項５記載の方法。 ９．工程（ａ）が、制御弁前後に接続された差圧制御器を用いて、圧縮機の速度 制御を行い、制御弁の前後の圧力降下を最小にすることによって行われることを 特徴とする請求項８記載の方法。 １０．上記圧縮機が水封式圧縮機であり、工程（ａ）と（ｂ）とが、水封式圧縮 機に用いられる冷却水を外部冷却し、これを圧縮機に再循環することによって、 圧縮されたオゾンと同伴ガスとの温度を実質的に常温またはそれ以下の温度に保 つように行われ、そして圧縮されたオゾン含有ガスの圧力が２〜２０バールであ ることを特徴とする請求項１記載の方法。 １１．セルロースパルプのオゾン脱リグニン化を行わせる装置において、 同伴ガス中のオゾンガス源、 同伴ガス中の大気圧よりも高い圧力にあるオゾンとセルロースパルプとを混合 して、オゾンによるパルプの脱リグニン化を行わせるオゾン利用装置、 前記ガス源とオゾン利用装置との間に接続されており、オゾンと同伴ガスを圧 縮し、圧縮されたオゾン含有ガスを前記オゾン利用装置へ供給するための水封式 圧縮機、および オゾン脱リグニン装置が使用するに足るだけの時間当たりのオゾンガスを、大 気圧よりも高い所望の圧力に圧縮し、過剰のガスはほとんど圧縮しないように水 封式圧縮機の速度を制御する速度制御手段を包含するセルロースパルプオゾン脱 リグニン化装置。 １２．前記圧縮機と利用装置との間に配設され、前記圧縮機からの圧力脈動を平 準化し、圧縮されたガスから冷却水を分離するための分離／緩衝タンクであって 、該タンクはオゾンの分解を最小限に抑えるために前記平準化と分離という二つ の機能を果たす最小の容積を有することを特徴とする請求項１１記載の装置。 １３．前記分離／緩衝タンクと前記利用装置との間に配設された制御弁を更に包 含することを特徴とする請求項１２記載の装置。 １４．前記利用装置へのセルロースパルプの質量流量を検出する質量流量計を更 に包含し、さらに前記制御弁を通過するガス量を該質量流量検出値に応答して制 御する手段を更に包含することを特徴とする請求項１３記載の装置。 １５．前記速度制御手段が、前記制御弁前後の圧力を測定するための、前記制御 弁前後に運転上接続され、そして前記水封式圧縮機にも運転上接続されている差 圧制御器を包含することを特徴とする請求項１４記載の装置。 １６．前記速度制御手段によって、前記制御弁が制御可能な範囲で操作されるこ とを特徴とする請求項１４記載の装置。 １７．前記速度制御手段によって、オゾン発生機が最適圧力で運転されることを 特徴とする請求項１４記載の装置。 １８．前記速度制御手段が、前記圧縮機中に水封の役目を果たす水のリングを常 に形成するのを確実にするのに必要な速度以上である、前記圧縮機の最小運転速 度を維持する手段を更に包含することを特徴とする請求項１５記載の装置。 １９．前記分離／緩衝タンクと前記制御弁との間から出て、前記オゾンガス源と 前記水封式圧縮機との間へ戻って延びているガスのライン、および該ガスライン に配設されて圧縮機出力圧力が前記オゾン利用装置、制御弁、または他の装置構 成部品を損傷する恐れがある水準までは上がらないようにする背圧調節手段を更 に包含することを特徴とする請求項１８記載の装置。 ２０．熱交換器と水循環ライン（該水循環ラインは、前記分離／緩衝タンクの底 部から前記熱交換器へ、さらに前記オゾン源と前記水封式圧縮機との間の点まで 延びている）、および前記熱交換器を通過する水を冷却するために冷却流体を前 記熱交換器へ循環する手段を更に包含することを特徴とする請求項１５記載の方 法。 ２１．前記制御弁と前記利用装置との間に配設され、流体流が前記利用装置から 前記圧縮機の方へ戻らないようにしている逆止弁を更に包含することを特徴とす る請求項１５記載の装置。 ２２．前記オゾン源と前記水封式圧縮機との間に配設され、流体が前記圧縮機か ら前記オゾン源の方へ、戻らないようにしている逆止弁を更に包含することを特 徴とする請求項２１記載の装置。 ２３．前記オゾン利用装置を通過するオゾンの量をモニターし、このオゾン濃度 を容量流量と合わせることによってオゾン注入量を定めることを可能とするため のオゾン濃度検出器を更に包含することを特徴とする請求項１４記載の装置。