JPH0848042A - ノズル部材表面の中断部 - Google Patents
ノズル部材表面の中断部Info
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Abstract
流れを阻止する、安価で信頼性のある方法を提供するこ
と。 【構成】ノズル部材を構成するポリマーテープ18表面
のノズル17と窓45の間に、スクラッチング、または
エッチング等によって中断部または表面の不連続部56
を設け、窓45を覆うための接着剤52がノズル17に
流れ込まないようにし、接着剤52の供給工程におい
て、その量を正確に調整する必要をなくしている。
Description
ット・プリンタに関し、特に、改良して信頼性を高め、
製造歩留まりを増したインク・ジェット・プリントヘッ
ドの設計に関する。
ード社のインク・ジェットプリントカートリッジ10を
示しており、本発明はこれを改良するために考案した。
2およびプリントヘッド14を含み、プリントヘッド1
4は通常テープ・オートメーテッド・ボンディング(T
AB)を用いて形成される。プリントヘッド14はノズ
ル部材16を含み、ノズル部材16は、たとえばレーザ
・アブレーションによって柔軟性を有するポリマーテー
プ18に形成された、ずれが設けられた2列の平行なノ
ズル17を含む。テープ18は、Kapton(商標)
テープとしてスリーエム社から販売され、市場で購入す
ることができる。他の好適なテープとしては、Upil
ex(商標)またはその同等物があろう。
ォトリソグラフィック・エッチングまたはメッキ工程を
用いてその上に形成された導電トレース19を含む。こ
れらの導電トレース19の端には大きい接触パッド20
が設けられている。接触パッド20はプリンタの電極と
相互接続するように設計されており、外部で発生した付
勢信号をプリントヘッドに供給する。
面に搭載された長方形のシリコン基板28上の露出電極
29(図3)に接合されている。図3は、トレース19
の、基板28上の電極29との接続を示す、図2のA−
A線断面図である。バリア層30(たとえばフォトレジ
ストによって形成されている)は、インク・チャネル3
2を通ってインクが流れ込むインク射出チャンバ(図示
せず)を画定するようなパターンになっている。インク
射出装置(たとえば加熱抵抗器)が電極29に印加され
た信号によって付勢されたときに、インクは滴36とし
てノズル17から射出される。絶縁体42が基板28上
に形成されていて、トレース19を基板28から絶縁し
ている。
り、これらは導電トレース19の端が基板28上の電極
29へ接合しやすいようにするために用いられている。
窓44、45は、従来のフォトリソグラフィ技術を用い
て形成してもよい。
り外され、窓44、45が封入体で満たされる前の、テ
ープ18の正面図である。
ス19および電極29は長方形の窓44、45を通して
露出したままであり、インクおよび物理的な損傷から保
護せねばならない。このような保護を行うために、図1
および図3に示す接着剤48のビーズが露出したトレー
ス19を覆うように与えられ、トレース19を内部に封
じ込める。接着剤48は、紫外線で硬化する接着剤で
も、他のいかなる好適な接着剤でもよい。
造において、トレース19を内部に封じ込めるのに十分
であるか、その一方ではノズル17の1つに近すぎると
ころまで、あるいはそれを越えて流れることがないよう
な、適切な量の接着剤48を与えることが困難であるこ
とがわかっている。接着剤48は一般に粘度が低い。こ
のように粘度が低いため、窓44、45のてっぺんから
あふれ出た接着剤48は容易にノズル17に向かって流
れる。この接着剤48はいったん硬化すると、ノズル1
7をぬぐったりノズル部材16にふたをしたりしなけれ
ばならないということを含む、プリントカートリッジ1
0の様々な面に関する問題を引き起こす。
から1つまたはそれ以上のノズル17の上に流れた接着
剤48を示す、プリントヘッド14のノズルおよび窓部
の平面図である。図6は、窓45から出てノズル17を
覆う接着剤48のあふれを示す、図5のA−A線拡大断
面図である。
まで流れることを防ぐために従来ヒューレット・パッカ
ード社が用いた主要な技術は、接着剤の供給器における
液体圧力を調整して、与える接着剤48の量を変化さ
せ、窓44または45を充填するのに必要な様々な量に
合うようにする、というものであった。窓44/45の
大きさのばらつきはプリントカートリッジ間で、また時
間の経過によっても比較的大きいため、この解決法は満
足できるものではないことがわかっている。したがっ
て、液体圧力は製造するそれぞれのプリントカートリッ
ジ10について調整しなければならないであろう。この
ような調整工程を入れてもまた、結局は接着剤のあふれ
に関する問題が見つかる前に欠陥があるプリントカート
リッジを作り出すことになるので、製造歩留まりが低く
なる結果となる。
御可能な方法でポリマーテープ18の表面への接着剤4
8の流れを阻止する、安価で信頼性のある方法を提供す
ることである。
に形成されたノズルに向かう、制御できない接着剤の流
れに関する上記の問題は、ポリマーのノズル部材表面の
窓とノズルの間に中断部または表面の不連続部を作り出
すことによって解決された。この中断部または表面の不
連続部は、テープ表面のスクラッチング、エッチング、
切削、ブレードのテープ表面へのプレス加工、テープ表
面のレーザ・アブレーション、テープ表面上に高くした
壁を作り出すことのどれかによって形成してもよく、接
着剤の流れが機械的および表面張力のために阻止される
ようになっている。
って形成されたノズル17を有するポリマーテープ18
の関連する部分を示す、本発明の一実施例の平面図であ
る。接着剤52(たとえば、紫外線で硬化する接着剤)
よりなる盛り上がったビーズが窓44、45を充填し
て、基板28上の電極に接続されたトレース19を内部
に封じ込めているのが示されている。ポリマーテープ1
8は、図2ないし図4に示すものと同一のTAB回路の
一部を形成する。接着剤52は透明で、窓44、45が
透けて見えるようになっているようになっているものと
しているが、使用する接着剤52は半透明あるいは不透
明であってもよい。
に、表面の不連続部または中断部56がポリマーテープ
18の上面内または上面上の窓44、45のそれぞれと
ノズル17の間に形成されている。中断部56だけであ
っても前述の問題を解決することができるが、窓44、
45の反対側に第2の中断部58を配置してノズル17
から離れるように接着剤52の流れを制限してもよい。
0.56mm(約22mil)であり、窓44、45の長さは約4.8mm
(約190mil)である。中断部56、58の長さは約5.3mm
(約210mil)であり、中断部56、58のそれぞれの幅は
約51μm(約2mil)である。中断部56と最も近いノズル
17の間の離隔距離は約0.51mm(約20mil)であり、中断
部58と最も近いノズル17の間の離隔距離は約1.7mm
(約65mil)であり、窓44または45の端と、最も近い
中断部56または58の間の離隔距離は約0.25mm(約10m
il)である。しかし、もちろんこれらの寸法はプリント
ヘッド14の特有の必要条件によって修正されるもので
ある。重要なことは、中断部56の長さおよび形は、接
着剤52のノズル17に向かう流れを予想しながら制限
するのに十分であるので、窓44/45の大きさと窓の
容積がプリントカートリッジ間でばらついても、接着剤
52と端のノズル17の分離が確実に維持されるという
ことである。
ることによって形成された中断部56を示す、図7に示
すテープ18の一部のA−A線断面図である。一実施例
において、中断部56は窓45の最も近い端から約0.25
mm(約10mil)、第1のノズル17から約0.51mm(約20mil)
の間隔をおいて配置されている。図8には、基板28、
バリア層30、導電トレース19、基板電極29の一部
も示されている。図示のとおり、接着剤52のビーズの
流れは中断部56の高さまで上がるが、中断部56を越
えてノズル17へ向かって流れることは阻止される。一
実施例において、接着剤52のビーズは、窓44または
45の可変の容積によって、0.1から0.5mmの間の可変の
高さを有する。好適な実施例において、窓44または4
5のそれぞれに施される接着剤の量は一定であるように
意図される。
にある第2の中断部58(図7に示す)は図示していな
い。中断部58は、プリントカートリッジの特有の構成
によって、接着剤52の流れを制限するのに必要である
かもしれないし、不要かもしれない。第2の中断部58
は窓45から遠ざかる接着剤52の流れを同様に阻止す
るように中断部56と対称であってもよい。
通した間隙によって形成されている、本発明の他の実施
例を示す。図示の通り、この中断部56もまた、接着剤
52の流れが中断部56を越えて広がることを阻止して
いる。この間隙は当業者に公知のように機械的スタンピ
ングまたはフォトリソグラフィ工程を用いた化学的エッ
チングによって形成してもよい。
18の表面の一部にアブレーションを行って中断部56
を形成している、本発明の他の実施例を示す。図10は
また、フォトリソグラフィ工程を用いて化学的エッチン
グにより中断部56が形成されるときのテープ18の表
面の外観を示すのにも役立つ。テープ18の表面に機械
的スクラッチングを行うことによって中断部56を形成
しても、同様の中断部56が形成される。
を形成し、接着剤の流れを阻止する方法を示す。このよ
うな高くした壁は、テープ18の背面上のトレース19
を形成するのに用いるのと同じ導電材料の細長片よりな
っていてもよい。このような高くした壁は、公知のフォ
トリソグラフィ工程を用いて形成してもよく、いかなる
好適な材料より形成されていてもよい。この高くした壁
はまた、接着剤または他の好適な材料の細長片を堆積さ
せることによって形成してもよい。
する他の方法としては、反応性イオンエッチング、イオ
ンビームミリング、写真によって画定したパターンへの
鋳造が含まれる。中断部56、58を形成する前述の様
々な方法は、窓44、45およびノズル17を形成する
のに用いる工程とともに、ステップアンドリピート式の
リールからリールへ送る工程で行ってもよい。
は、ホットメルト、シリコーン、エポキシ、およびそれ
らの混合物が含まれる。
十μm程度(たとえば、約50μm)であり、好適な実施
例においては、中断部56/58は深さまたは高さが約
6.4μm(約0.25mil)を超えるものである。もちろん、
接着剤52の流れを十分阻止するのに必要な中断部56
/58の深さおよび幅は、各種の要因のうちでもとりわ
け接着剤52の予期される最大あふれ、接着剤52の粘
度、およびその他の要因によって決まる。このような中
断部56/58の必要な寸法は経験的に決定してよい。
は窓44/45の全長に沿って延び、窓44/45に沿
って流出点がないようになっている。これにより、接着
剤52は、ぬぐったりふたをしたりする領域の全幅に沿
って明確な寸法内に保たれる。
る接着剤の量)を調整する代わりに中断部56/58を
形成することの利点としては、接着剤を与える工程をそ
の前の工程からもっとよく独立させることができること
と、窓44/45からあふれ出る接着剤52の悪影響を
除去することができることが含まれる。従って本発明を
用いることにより、最終的な接着剤の寸法に対してより
高度の制御を行うことができ、それに付随して製造歩留
まりおよび信頼性を増大することができる。
が、当業者にはそのより広い態様において本発明から逸
脱することなく変更および修正を行うことができ、従っ
て、本願特許請求の範囲は、本発明の真の趣旨および範
囲内にあるすべての変更および修正をその範囲内に包含
するものであることが明白であろう。
す。
けたプリントヘッド構造: (a)その中にノズルが形成されたポリマーのノズル部
材; (b)前記ノズル部材の背面に搭載された半導体基板で
あって、前記半導体基板から離れたところに導通する1
つまたはそれ以上の導線に接合された、1つまたはそれ
以上の電極がその上に形成された前記半導体基板; (c)前記ノズル部材の前面から前記導線および前記電
極にアクセスできるように、つまり、前記導線の前記電
極への接合を可能にするために、その中に形成した窓を
有し、前記窓が前記ノズルから第1の距離だけ隔てられ
ていることを特徴とする、前記ノズル部材; (d)前記前面における前記窓と前記ノズルの間に形成
された中断部を有する前記ノズル部材; (e)前記窓内に配置され、前記窓によって露出した前
記導線を本質的に内部に封じ込める接着剤; (f)前記ノズルに向かう前記接着剤の流れを阻止する
前記中断部。
材の前記前面にエッチングされていることを特徴とす
る、請求項1に記載の構造。
材の前記前面にレーザ・アブレーションによって設けら
れていることを特徴とする、請求項1に記載の構造。
材の前記表面にブレードをプレス加工することによって
形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の構
造。
記ノズル部材を完全に貫通した、前記ノズル部材におけ
る間隙からなることを特徴とする、請求項1に記載の構
造。
材の前記前面をスクラッチングすることにより形成され
ていることを特徴とする、請求項1に記載の構造。
材の前記前面上の高くした壁であることを特徴とする、
請求項1に記載の構造。
記窓の長さだけ広がっていることを特徴とする、請求項
1に記載の構造。
6.4μm(約0.25mil)の深さまたは高さを有することを特
徴とする、請求項1に記載の構造。
面の、前記窓の前記ノズルに対向する側と反対側に形成
され、前記接着剤がそれを越えて流れることを阻止する
第2の中断部をさらに含む、請求項1に記載の構造。
ステップを含む、プリントヘッドを形成する方法: (a)ポリマーのノズル部材においてノズルを形成する
ステップ; (b)前記ポリマーのノズル部材において、それを通っ
て導線が、インクを前記ノズルを通して射出するインク
射出装置を有する半導体基板上の電極に接合されるよう
な窓を形成するステップ; (c)前記ノズル部材の上面の前記窓と前記ノズルの間
に中断部を形成するステップ; (d)前記中断部を形成する前記ステップの後に、前記
窓を通して接着剤を施して前記導線を接着剤の内部に封
じ込めるステップ; (e)前記中断部が前記接着剤の流れを阻止して前記接
着剤と前記ノズルの間の最小限の距離を保つステップ。
部材の前記前面にエッチングされていることを特徴とす
る、請求項11に記載の方法。
部材の前記前面にレーザ・アブレーションによって設け
られていることを特徴とする、請求項11に記載の方
法。
部材の前記表面にブレードをプレス加工することによっ
て形成されていることを特徴とする、請求項11に記載
の方法。
前記ノズル部材を完全に貫通した、前記ノズル部材にお
ける間隙からなることを特徴とする、請求項11に記載
の方法。
部材の前記前面をスクラッチングすることにより形成さ
れていることを特徴とする、請求項11に記載の方法。
部材の前記前面上の高くした壁であることを特徴とす
る、請求項11に記載の方法。
前記窓の長さだけ広がっていることを特徴とする、請求
項11に記載の方法。
約6.5μm(約0.25mil)の深さまたは高さを有すること
を特徴とする、請求項11に記載の方法。
面の、前記窓の前記ノズルに対向する側と反対側に、前
記接着剤がそれを越えて流れることを阻止する第2の中
断部を形成することをさらに含む、請求項11に記載の
方法。
れば、ポリマーのノズル部材表面の窓とノズルの間に中
断部または表面の不連続部を設けることにより、接着剤
で窓を覆う工程において、接着剤がノズルに流れ込むこ
とを阻止する効果があり、供給する接着剤の量を正確に
調整する必要がなくなる。
ト・プリントカートリッジの斜視図である。
ードを接合した、図1のポリマーテープ/TAB回路の
背面の斜視図である。
ある。
図である。
す、TAB回路のポリマーのノズル部材部の平面図であ
る。
ない接着剤の流れの影響を示す図5のA−A線に沿った
断面図である。
た中断部または表面の不連続部を有するポリマーのノズ
ル部材の平面図である。
よって接着剤の流れを阻止することを示す、図7のA−
A線に沿った断面図である。
れを阻止することを示す、図7のA−A線に沿った断面
図である。
アブレーション、スクラッチング、またはエッチングに
よって設けることによって接着剤の流れを阻止すること
を示す、図7のA−A線に沿った断面図である。
よって接着剤の流れを阻止することを示す、図7のA−
A線に沿った断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】以下の(a)〜(f)を設けたプリントヘ
ッド構造: (a)その中にノズルが形成されたポリマーのノズル部
材; (b)前記ノズル部材の背面に搭載された半導体基板で
あって、前記半導体基板から離れたところに導通する1
つまたはそれ以上の導線に接合された、1つまたはそれ
以上の電極がその上に形成された前記半導体基板; (c)前記ノズル部材の前面から前記導線および前記電
極にアクセスできるように、つまり、前記導線の前記電
極への接合を可能にするために、その中に形成した窓を
有し、前記窓が前記ノズルから第1の距離だけ隔てられ
ていることを特徴とする、前記ノズル部材; (d)前記前面における前記窓と前記ノズルの間に形成
された中断部を有する前記ノズル部材; (e)前記窓内に配置され、前記窓によって露出した前
記導線を本質的に内部に封じ込める接着剤; (f)前記ノズルに向かう前記接着剤の流れを阻止する
前記中断部。
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