JPH0845784A - Manufacture of compound electronic component - Google Patents

Manufacture of compound electronic component

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JPH0845784A
JPH0845784A JP19270194A JP19270194A JPH0845784A JP H0845784 A JPH0845784 A JP H0845784A JP 19270194 A JP19270194 A JP 19270194A JP 19270194 A JP19270194 A JP 19270194A JP H0845784 A JPH0845784 A JP H0845784A
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JP
Japan
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capacitor
resistor
semiconductor layer
ceramic
electronic component
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Withdrawn
Application number
JP19270194A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideki Kabasawa
英樹 樺澤
Kazuyuki Shibuya
和行 渋谷
Junichi Yagi
淳一 八木
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0845784A publication Critical patent/JPH0845784A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To form a capacitor and a resistor in constitution members using the same material, by forming a semiconductor layer wherein at least a part of an inner electrode is connected with at least one side of an outer electrode, and compounding a resistor and a capacitor of the semiconductor layer. CONSTITUTION:Connection parts between inner electrodes 1, 1... and an outer electrode 4, and connection parts between inner electrodes 2, 2... and an outer electrode 5 are formed by using semiconductor layers 6 and 7, respectively. A series connection element constituted of a resistor and a capacitor is formed. The resistor consists of the semiconductor layers 6, 7. The capacitor consists of the outer electrodes 4, 5, the inner electrodes 1, 1..., 2, 2..., and dielectric layers 3, 3.... Thereby the capacitor and the resistor are compounded in the constitution members using the same material. A compound electronic component having a compound element composed of a resistor and a capacitor in which mechanical defect like cracks is not generated can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、セラミック素体に形成
した半導体層を抵抗体としてコンデンサと複合させた抵
抗体・コンデンサ複合素子を有する複合電子部品及びそ
の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite electronic component having a resistor / capacitor composite element in which a semiconductor layer formed on a ceramic body is combined with a capacitor as a resistor, and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】抵抗体とコンデンサの結合回路は、例え
ばデジタル回路のスイッチングのスピードアップコンデ
ンサやアナログ回路の信号バイパスコンデンサなどのコ
ンデンサと抵抗体の並列回路や、ダイオードのサージア
ブソーバ、音響回路などの抵抗体とコンデンサの直列回
路その他に多く用いられている。これらの抵抗体素子と
コンデンサ素子を一つの電子部品として複合化するに
は、誘電体材料、抵抗体材料の異種材料を積層して同時
に焼成するか、あるいはどちらか一方の材料を焼成させ
た後、他方の材料からなる層を厚膜印刷したり、スパッ
タリング等により膜を形成し、両素子を複合化してい
る。
2. Description of the Related Art A combination circuit of a resistor and a capacitor is a parallel circuit of a capacitor and a resistor such as a speed-up capacitor for switching a digital circuit or a signal bypass capacitor for an analog circuit, a surge absorber for a diode, an acoustic circuit, etc. It is widely used in series circuits of resistors and capacitors, and others. To combine these resistor element and capacitor element as one electronic component, different materials such as dielectric material and resistor material are laminated and fired at the same time, or either one of them is fired and then fired. By thickly printing a layer made of the other material or forming a film by sputtering or the like, both elements are combined.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の方法による複合化は、抵抗体材料と誘電体材料の異種
材料を使用するので、前者の異種材料を積層して同時に
焼成する場合には、その焼成の際、また、後者の焼成体
に膜を形成する場合には、その膜焼付時に材料の構成原
子の相互拡散が起こって、誘電体の誘電率を変えたり、
抵抗体の抵抗値を変えたりするのみならず、その成形体
は各材料の熱膨脹率が異なることによりクラックを生じ
たりするという問題がある。それのみならず、例えばセ
ラミック誘電体層と、内部電極とが交互に積層された積
層セラミック素体の両側端面に該内部電極に接続する外
部電極を有する積層コンデンサの場合には、外部電極を
形成する際にまず内部電極に接続する抵抗体膜を形成し
てからその上に外部電極膜を形成することも行われてい
るが、抵抗体膜と外部電極膜を合わせた膜厚が厚くなり
過ぎ、そのためコンパクトなチップ部品が得られず、プ
リント基板に対する高密度実装部品としては適さないと
いう問題や、抵抗体膜は薄く形成されるため所望の抵抗
値を得ようとすると、非常に高い抵抗率の材料を使用し
なければならず、その選定や調整が難しいという問題が
ある。本発明の第1の目的は、同じ材料を用いた構成体
にコンデンサと抵抗体を複合した抵抗体・コンデンサ素
子を形成し、この素子を用いた複合電子部品及びその製
造方法を提供することにある。本発明の第2の目的は、
コンデンサの静電容量及び抵抗値の安定な抵抗体・コン
デンサ素子を有する複合電子部品及びその製造方法を提
供することにある。本発明の第3の目的は、クラック等
の機械的欠陥の生じ難い抵抗体・コンデンサ素子を有す
る複合電子部品及びその製造方法を提供することにあ
る。本発明の第4の目的は、外部電極の膜厚が厚過ぎる
ことがなく、コンパクトな抵抗体・コンデンサ素子を有
する複合電子部品及びその製造方法を提供することにあ
る。本発明の第5の目的は、プリント基板等に対する実
装面積が小さくできる抵抗体・コンデンサ素子を有する
複合電子部品及びその製造方法を提供することにある。
本発明の第6の目的は、現在の積層コンデンサの構造を
そのままにし一部内容を変更しただけの現在の製造設備
等をそのまま利用できる抵抗体・コンデンサ素子を有す
る複合電子部品及びその製造方法を提供することにあ
る。本発明の第7の目的は、簡単に抵抗値、静電容量を
選択できる抵抗体・コンデンサ素子を有する複合電子部
品の製造方法を提供することにある。本発明の第8の目
的は、製造工程を簡略化することができる抵抗体・コン
デンサ素子を有する複合電子部品の製造方法を提供する
ことにある。
However, since compounding by these methods uses different materials of a resistor material and a dielectric material, when the former different materials are laminated and fired at the same time, At the time of firing, or when forming a film on the latter fired body, mutual diffusion of constituent atoms of the material occurs at the time of baking the film, changing the dielectric constant of the dielectric,
There is a problem that not only the resistance value of the resistor body is changed, but also the molded body causes cracks due to the difference in thermal expansion coefficient of each material. Not only that, but in the case of a multilayer capacitor having external electrodes connected to the internal electrodes on both end surfaces of a multilayer ceramic body in which ceramic dielectric layers and internal electrodes are alternately laminated, the external electrodes are formed. When doing so, it is also practiced to first form a resistor film that connects to the internal electrodes and then form an external electrode film on it, but the combined thickness of the resistor film and external electrode film becomes too thick. As a result, a compact chip component cannot be obtained, and it is not suitable as a high-density mounting component for a printed circuit board. However, there is a problem that it is difficult to select and adjust the material. A first object of the present invention is to provide a resistor / capacitor element in which a capacitor and a resistor are compounded in a structure using the same material, and to provide a composite electronic component using this element and a manufacturing method thereof. is there. The second object of the present invention is to
It is an object of the present invention to provide a composite electronic component having a resistor / capacitor element having stable capacitance and resistance of a capacitor, and a method for manufacturing the same. A third object of the present invention is to provide a composite electronic component having a resistor / capacitor element in which mechanical defects such as cracks are hard to occur, and a method for manufacturing the same. A fourth object of the present invention is to provide a composite electronic component having a compact resistor / capacitor element and a method of manufacturing the same, in which the film thickness of the external electrode is not too thick. A fifth object of the present invention is to provide a composite electronic component having a resistor / capacitor element capable of reducing the mounting area for a printed circuit board and the like, and a method for manufacturing the same.
A sixth object of the present invention is to provide a composite electronic component having a resistor / capacitor element and a method of manufacturing the same, which can be used as it is in the current manufacturing equipment or the like, which is the same as the current multilayer capacitor but only partially changed. To provide. A seventh object of the present invention is to provide a method of manufacturing a composite electronic component having a resistor / capacitor element whose resistance value and electrostatic capacity can be easily selected. An eighth object of the present invention is to provide a method for manufacturing a composite electronic component having a resistor / capacitor element, which can simplify the manufacturing process.

【0004】本発明は、上記課題を解決するために、
(1)誘電体層と、内部電極とが交互に積層され、かつ
その積層体の両側端面に該内部電極の一方及び他方のそ
れぞれに接続する外部電極を有するセラミックコンデン
サに該外部電極の少なくとも一方の側に上記内部電極の
少なくとも一部が接続する半導体層を形成し、該半導体
層の抵抗体とコンデンサとを複合した抵抗体・コンデン
サ複合素子を有する複合電子部品を提供するものであ
る。また、本発明は、抵抗体・コンデンサ複合素子は半
導体層を形成した側の外部電極と内部電極の接続部が半
導体層であり、かつ該半導体層は該外部電極側と該内部
電極の一方に接続されており、半導体層の抵抗体とコン
デンサが直列接続された素子である上記(1)の複合電
子部品、(3)抵抗体・コンデンサ複合素子は半導体層
を形成した側の外部電極と内部電極の接続部が両者の直
接接続であり、かつ半導体層が隣接する内部電極に接続
されており、半導体層の抵抗体とコンデンサが並列接続
された素子である上記(1)の複合電子部品、(4)セ
ラミック誘電体層と、内部電極とが交互に積層されたセ
ラミック素体の両側端面に該内部電極の一方及び他方の
それぞれに接続する外部電極を有し、該外部電極の少な
くとも一方の側に上記内部電極の少なくとも一部が接続
する半導体層を形成し、該半導体層を抵抗体としてコン
デンサと複合した抵抗体・コンデンサ複合素子を有する
複合電子部品の製造方法であって、該半導体層は上記セ
ラミック素体に外部電極材料ペーストを塗布する工程
と、その塗膜を非酸化性ガス雰囲気中で加熱処理するこ
とによりバインダーを炭化して残留させる工程と、焼付
けることによりその残留させた炭化物により上記セラミ
ック素体表層部の誘電体を還元し半導体化する工程を有
することにより形成するか又は上記セラミック素体に還
元剤を含有する外部電極材料ペーストを塗布する工程
と、その塗膜を焼付けることにより該還元剤により上記
セラミック素体表層部の誘電体を還元し半導体化する工
程を有することにより形成する複合電子部品の製造方法
を提供するものである。
In order to solve the above problems, the present invention provides
(1) At least one of the external electrodes in a ceramic capacitor in which dielectric layers and internal electrodes are alternately stacked, and external electrodes connected to one and the other of the internal electrodes are provided on both end surfaces of the multilayer body. There is provided a composite electronic component having a resistor / capacitor composite element in which a semiconductor layer to which at least a part of the internal electrode is connected is formed on the side of, and the resistor and the capacitor of the semiconductor layer are composited. Further, in the present invention, in the resistor / capacitor composite element, the connecting portion between the external electrode and the internal electrode on the side where the semiconductor layer is formed is a semiconductor layer, and the semiconductor layer is provided on one of the external electrode side and the internal electrode. The composite electronic component of (1), which is an element in which a resistor of a semiconductor layer and a capacitor are connected in series, and (3) a resistor / capacitor composite element is an external electrode on the side where the semiconductor layer is formed and an internal portion. The composite electronic component according to (1) above, in which the electrode connection portion is a direct connection between the two and the semiconductor layer is connected to an adjacent internal electrode, and the resistor and the capacitor of the semiconductor layer are connected in parallel. (4) A ceramic dielectric layer and internal electrodes are alternately laminated, and external electrodes connected to one and the other of the internal electrodes are provided on both end surfaces of the ceramic element body, and at least one of the external electrodes is provided. Above on the side A method of manufacturing a composite electronic component, comprising a resistor / capacitor composite element in which a semiconductor layer to which at least a part of a partial electrode is connected is formed, and the semiconductor layer is used as a resistor to form a composite with a capacitor. The step of applying the external electrode material paste to the element body, the step of carbonizing and leaving the binder by heating the coating film in a non-oxidizing gas atmosphere, and the above-mentioned char Forming by including a step of reducing the dielectric of the surface layer part of the ceramic body to a semiconductor, or applying the external electrode material paste containing a reducing agent to the ceramic body, and baking the coating film. A composite electronic component formed by including a step of reducing the dielectric of the surface layer portion of the ceramic body with the reducing agent to form a semiconductor. There is provided a manufacturing method.

【0005】本発明において、複合電子部品とは、内部
電極と誘電体層を積層した少なくとも一つの構造単位を
有するコンデンサに半導体層を形成し、コンデンサと抵
抗体を複合した抵抗体・コンデンサ複合素子を有する電
子部品をいい、その抵抗体・コンデンサ複合素子そのも
のを複合電子部品としても良いが、これに他のコンデン
サ、インダクタ、抵抗体、多層配線基板等の単数又は複
数の素子を組み合わせた複合電子部品でも良い。抵抗体
・コンデンサ複合素子としては、図1に示すように、一
方の側の内部電極1、1・・と、他方の側の内部電極
2、2・・とが誘電体層3、3・・とを挟んで一つおき
に積層され、さらに上下両側に誘電体層3、3が積層さ
れ、かつその積層体の両側端面に内部電極1、1・・に
接続する外部電極4、内部電極2、2・・に接続する外
部電極5を有する積層コンデンサにおいて、内部電極
1、1・・と外部電極4、内部電極2、2・・と外部電
極5の接続部をそれぞれ半導体層6、7により構成し、
図2に示すように半導体層6、7からなる抵抗体R1
と、外部電極4、5と内部電極1、1・・、2、2・・
と誘電体層3、3・・により形成されるコンデンサC1
とからなるRC直列の等価回路で示される素子を挙げる
ことができる。また、図3に示すように、図1に示す構
造において、内部電極1、1・・と外部電極4、内部電
極2、2・・と外部電極5をそれぞれの内部電極の端部
を伸ばすことにより直接に接続し、さらに外部電極4、
5のそれぞれの近傍において内部電極2、2・・、内部
電極1、1・・に接続する半導体層8、9を形成し、図
4に示すように、半導体層8、9からなる抵抗体R2
と、外部電極4、5と内部電極1、1・・、2、2・・
と誘電体層3、3・・により形成されるコンデンサをC
2とするRC並列の等価回路で示される素子を挙げるこ
とができる。なお、図1と図3のそれぞれの構造を併用
し、図2と図4を例えば直列接続により結合した回路も
構成することができる。
In the present invention, the composite electronic component means a resistor / capacitor composite element in which a semiconductor layer is formed on a capacitor having at least one structural unit in which an internal electrode and a dielectric layer are laminated, and the capacitor and the resistor are combined. A composite electronic component in which a resistor / capacitor composite element itself may be used as a composite electronic component, but a single or a plurality of elements such as other capacitors, inductors, resistors, and multilayer wiring boards are combined with this. It can be a part. In the resistor / capacitor composite element, as shown in FIG. 1, the internal electrodes 1, 1 ... On one side and the internal electrodes 2, 2 ... On the other side are dielectric layers 3, 3 ... , And dielectric layers 3 and 3 are laminated on both upper and lower sides, and external electrodes 4 and internal electrodes 2 connected to the internal electrodes 1, 1 ... On both end faces of the laminated body. In the multilayer capacitor having the external electrodes 5 connected to 2, ..., The connection portions of the internal electrodes 1, 1 ... And the external electrodes 4, and the internal electrodes 2, 2 ... And the external electrodes 5 are respectively formed by the semiconductor layers 6 and 7. Configure and
As shown in FIG. 2, the resistor R1 including the semiconductor layers 6 and 7
And the external electrodes 4, 5 and the internal electrodes 1, 1, ..., 2, 2.
And a capacitor C1 formed by the dielectric layers 3, 3 ...
An element shown by an RC series equivalent circuit consisting of Further, as shown in FIG. 3, in the structure shown in FIG. 1, the inner electrodes 1, 1 ... And the outer electrodes 4, the inner electrodes 2, 2 ,. Directly connected by the external electrode 4,
5, the semiconductor layers 8 and 9 connected to the internal electrodes 2, 2 ... And the internal electrodes 1, 1 ... Are formed, and as shown in FIG. 4, the resistor R2 including the semiconductor layers 8 and 9 is formed.
And the external electrodes 4, 5 and the internal electrodes 1, 1, ..., 2, 2.
And a capacitor formed by the dielectric layers 3, 3 ...
An element shown by an RC parallel equivalent circuit of 2. 1 and 3 can be used together to form a circuit in which FIGS. 2 and 4 are connected by, for example, series connection.

【0006】上記のRC直列の等価回路で示される、い
わゆる積層セラミンクコンデンサを利用した抵抗体・コ
ンデンサ複合素子を製造するには、まず通常の積層セラ
ミックコンデンサを製造するように、チタン酸バリウム
等の誘電体材料とバインダーを含有するセラミックグリ
ーンシート用組成物を用いてセラミック誘電体グリーン
シートを形成する工程と、このセラミック誘電体グリー
ンシートの複数枚のそれぞれにニッケル等の導電性粉末
を含有する内部電極材料ペーストを用いて導電体部を形
成する工程と、この導電体部を形成したセラミック誘電
体グリーンシートを積層する工程と、この積層体を圧着
する工程と、この圧着積層体を酸化性又は非酸化性雰囲
気中で仮焼成を経てあるいはこれを経ずに中性又は還元
性雰囲気中で焼成し積層セラミック素体を形成する工程
と、上記導電体部が焼成されることにより形成された内
部電極に接続する外部電極を形成する外部電極形成工程
を有する製造方法において、上記内部電極がセラミック
誘電体グリーンシートの焼成体の素地に埋没する上記積
層セラミック素体を形成した後、上記外部電極を形成す
る。この外部電極形成工程は、外部電極材料ペーストを
積層セラミック素体の内部電極のそれぞれの端部が相対
している両側端面に塗布する工程と、該塗布した外部電
極材料ペースト塗膜を有する積層セラミック素体を非酸
化性雰囲気中で仮焼成を行なってバインダーを炭化し、
カーボン等の炭化物を該塗膜に残留させる工程と、該積
層セラミック素体に対する該外部電極材料ペースト塗膜
を焼付けて該炭化物を還元剤として作用させて該積層セ
ラミック素体の端面近傍の誘電体の還元を行いその部分
を半導体化し、好ましくは炭化物の酸化物をガスとして
揮散させる焼付け工程を有するか、又は還元剤を含有す
る外部電極材料ペーストを積層セラミック素体の内部電
極のそれぞれの端部が相対している両側端面に塗布する
工程と、該積層セラミック素体に対する該外部電極材料
ペースト塗膜を焼付けて該還元剤により該積層セラミッ
ク素体の端面近傍の誘電体の還元を行いその部分を半導
体化する焼付け工程を有する。なお、還元剤を用いる場
合にも、外部電極材料ペースト塗膜を焼付ける前工程に
おいて、外部電極材料ペースト塗膜を有する積層セラミ
ック素体を非酸化性雰囲気中で仮焼成を行なってバイン
ダーを炭化し、カーボン等の炭化物を該塗膜に残留させ
る工程を付加しても良く、これとは逆にバインダーの炭
化物が残らないように酸化性雰囲気中で仮焼成し、脱バ
イする工程を設けても良い。
In order to manufacture a resistor / capacitor composite element using a so-called laminated ceramink capacitor shown by the above RC series equivalent circuit, first, a barium titanate or the like is manufactured as in the case of manufacturing a usual laminated ceramic capacitor. Forming a ceramic dielectric green sheet using the composition for a ceramic green sheet containing a dielectric material and a binder, and containing a conductive powder such as nickel in each of the plurality of ceramic dielectric green sheets A step of forming a conductor portion using the internal electrode material paste, a step of laminating a ceramic dielectric green sheet on which the conductor portion is formed, a step of crimping the laminated body, and an oxidation of the crimped laminated body. Or, firing in a neutral or reducing atmosphere with or without calcination in a non-oxidizing atmosphere In a manufacturing method including a step of forming a monolithic ceramic body and an external electrode forming step of forming an external electrode connected to an internal electrode formed by firing the conductor part, the internal electrode is a ceramic dielectric. The external electrodes are formed after forming the laminated ceramic body that is buried in the body of the fired body of the green sheet. In this external electrode forming step, a step of applying the external electrode material paste to both end surfaces of the laminated ceramic body where the respective ends of the internal electrodes face each other, and a laminated ceramic having the applied external electrode material paste coating film The element body is calcinated in a non-oxidizing atmosphere to carbonize the binder,
A step of allowing a carbide such as carbon to remain in the coating film; and baking the external electrode material paste coating film on the laminated ceramic body to cause the carbide to act as a reducing agent so that the dielectric near the end face of the laminated ceramic body. Of the internal electrode of the multilayer ceramic body by applying a reduction step to reduce the semiconductor to a semiconductor and preferably vaporize an oxide of a carbide as a gas, or an external electrode material paste containing a reducing agent. Are applied to both end surfaces facing each other, and the external electrode material paste coating film is baked on the laminated ceramic element body to reduce the dielectric near the end surface of the laminated ceramic element body with the reducing agent. Has a baking step for converting the semiconductor into a semiconductor Even when a reducing agent is used, the multilayer ceramic body having the external electrode material paste coating film is pre-baked in a non-oxidizing atmosphere to carbonize the binder in the step before baking the external electrode material paste coating film. However, a step of leaving a carbide such as carbon in the coating film may be added. On the contrary, a step of temporarily firing in an oxidizing atmosphere so as to prevent the carbide of the binder from remaining and providing a step for removing by-heat is provided. Is also good.

【0007】また、上記のRC並列の等価回路で示され
る、いわゆる積層セラミックコンデンサを利用した抵抗
体コンデンサ複合素子を製造するには、上記と同様にし
てチタン酸バリウム等の誘電体材料とバインダーを含有
するセラミックグリーンシート用組成物を用いてセラミ
ック誘電体グリーンシートを形成する工程と、このセラ
ミック誘電体グリーンシートの複数枚のそれぞれにニッ
ケル等の導電性粉末を含有する内部電極材料ペーストを
用いて導電体部を形成する工程と、この導電体部を形成
したセラミック誘電体グリーンシートを積層する工程
と、この積層体を圧着する工程と、この圧着積層体を酸
化性又は非酸化性雰囲気中で仮焼成を経てあるいはこれ
を経ずに中性又は還元性雰囲気中で焼成して積層セラミ
ック素体を形成する工程と、上記導電体部が焼成される
ことにより形成された内部電極に接続する外部電極を形
成する外部電極形成工程を有する製造方法において、両
側端面に上記内部電極が交互に導出された上記積層セラ
ミック素体を形成した後、上記外部電極形成工程と同様
の方法により外部電極を形成する。なお、図1と図3の
それぞれの構造を組み合わせたものについても、上記に
準じて製造できる。
Further, in order to manufacture a resistor capacitor composite element using a so-called laminated ceramic capacitor, which is shown by the above RC parallel equivalent circuit, a dielectric material such as barium titanate and a binder are manufactured in the same manner as above. A step of forming a ceramic dielectric green sheet using the composition for a ceramic green sheet containing, and using an internal electrode material paste containing a conductive powder such as nickel in each of the plurality of ceramic dielectric green sheets The step of forming the conductor portion, the step of laminating the ceramic dielectric green sheets having the conductor portion formed thereon, the step of crimping the laminated body, and the step of adhering the crimped laminated body in an oxidizing or non-oxidizing atmosphere. Form a monolithic ceramic body by firing in a neutral or reducing atmosphere with or without calcination And a manufacturing method having an external electrode forming step of forming an external electrode connected to the internal electrode formed by firing the conductor part, the laminated structure in which the internal electrodes are alternately led out on both end faces. After forming the ceramic body, external electrodes are formed by the same method as the external electrode forming step. A combination of the structures of FIGS. 1 and 3 can also be manufactured according to the above.

【0008】上記において、積層セラミック素体の両側
端面近傍に半導体層を形成したが、その片方に形成して
も良い。その場合には半導体層を形成しない側には外部
電極材料ペーストのバインダーとしては炭化し難い材料
を用いたり、その量を少なくしたり、低温で分解し易い
材料を用いる。また、還元剤を用いたものと用いないも
のにより区別しても良い。
In the above description, the semiconductor layer is formed in the vicinity of both end faces of the monolithic ceramic element body, but it may be formed on one of them. In that case, on the side where the semiconductor layer is not formed, a material that does not easily carbonize is used as the binder of the external electrode material paste, the amount thereof is reduced, or a material that easily decomposes at low temperature is used. Moreover, you may distinguish by the thing using a reducing agent and the thing not using it.

【0009】上記において、非酸化性雰囲気としては窒
素ガスその他の不活性ガスを挙げることができるが、残
留させる炭化物の量が多くなり過ぎないようにするに
は、その雰囲気に酸素を含有させ、バインダーの一部を
酸化除去するようにしても良い。また、バインダーを炭
化する場合の仮焼成の温度、時間は非酸化性雰囲気中で
バインダーが炭化し、その炭化物が残留できる条件が好
ましく、バインダーの種類にもよるが例えば後述の実施
例の図5に示したプロファイルや、300℃〜350℃
で10分〜30分が例示できる。外部電極材料塗膜の本
式の焼付けは仮焼成温度以上の温度で行なうが、その温
度は外部電極材料に用いる金属の融点により異なり、A
gでは700℃、Ag−Pdでは750℃、Niでは7
50〜800℃、Cuでは750〜800℃が例示され
るが、これらに限るものではない。焼付け温度が高いほ
ど形成される半導体層の領域が広がる。この焼付けの
際、炭化物は還元剤として作用し、その還元反応により
自らは酸化されるが、炭酸化物としてガスとして除去さ
れることが半導体化のため、また、外部電極の性能の点
で好ましい。なお、炭化物とはカーボンのみならず、バ
インダーの炭化過程におけるものをいうが、還元性のあ
るものを主とする。
In the above, as the non-oxidizing atmosphere, nitrogen gas and other inert gases can be mentioned. However, in order to prevent the amount of the remaining carbides from becoming too large, the atmosphere should contain oxygen. Part of the binder may be removed by oxidation. Further, the temperature and time of calcination when carbonizing the binder are preferably conditions under which the binder carbonizes in a non-oxidizing atmosphere and the carbide can remain, for example, depending on the kind of the binder, for example, FIG. Profile shown in, and 300 ℃ ~ 350 ℃
Can be 10 minutes to 30 minutes. This type of baking of the coating film for the external electrode material is performed at a temperature equal to or higher than the calcination temperature. The temperature depends on the melting point of the metal used for the external electrode material.
700 ° C for g, 750 ° C for Ag-Pd, 7 for Ni
The temperature is, for example, 50 to 800 ° C. and Cu is 750 to 800 ° C., but not limited thereto. The higher the baking temperature, the wider the region of the semiconductor layer to be formed. During this baking, the carbide acts as a reducing agent and is itself oxidized by the reducing reaction, but it is preferable that it is removed as a carbon dioxide as a gas in order to form a semiconductor and in terms of the performance of the external electrode. The term "carbide" refers not only to carbon but also to carbon in the carbonization process of the binder, but is mainly reducing.

【0010】外部電極材料ペーストとしては、上記の金
属のそれぞれにバインダー、ガラスフリットを加えたも
のが用いられる。そのバインダーとしては、少なくとも
樹脂成分を有し、さらに必要に応じて溶剤及び添加剤か
らなり、この樹脂成分としては、ポリビニルブチラール
樹脂等のポリアセタール樹脂、ポリエチレンテレフタレ
ート樹脂、エチルセルロース等のセルロース誘導体、ア
クリル樹脂、ポリビニルアルコール等の非硬化型樹脂、
エポキシ、アクリル等の好ましくは過酸化物を併用した
熱硬化性樹脂、さらには紫外線硬化型樹脂、電子硬化型
樹脂その他の樹脂が挙げられ、後者の2つの例として
は、エポキシアクリレート、ポリブタジエンアクリレー
ト、ウレタンアクリレート等のアクリル酸、メタクリル
酸変性物、不飽和ポリエステル等が挙げられる、紫外線
硬化型樹脂として使用するときは、ベンゾイン、アセト
フエノン、ベンゾインブチルエーテル等を使用すること
ができる。また、溶剤としては、テルピネオール(ター
ピネオール)、テトラリン、ブチルカルビトール、カー
ビトールアセテート等が単独又は複数混合して用いられ
る。ガラスフリットとしては、ホウケイ酸鉛ガラス、ホ
ウ酸鉛ガラス、ホウケイ酸亜鉛ガラス、ホウケイ酸アル
カリ酸化物系ガラス等が挙げられ、ホウケイ酸アルカリ
酸化物系ガラスは銅、ニッケルとともに用いると濡れの
点で好ましい。外部電極材料ペーストの成分比として
は、金属粉末70〜80重量%、ガラスフリット2〜3
重量%、バインダー17〜28重量%が好ましい。樹脂
量は多い程、上記仮焼成の際炭化物が多く残留するの
で、焼付け時に形成される半導体層の領域が広がる。
As the external electrode material paste, one obtained by adding a binder and a glass frit to each of the above metals is used. The binder has at least a resin component, and further comprises a solvent and an additive as required, and as the resin component, a polyacetal resin such as polyvinyl butyral resin, a polyethylene terephthalate resin, a cellulose derivative such as ethyl cellulose, an acrylic resin. , Non-curable resin such as polyvinyl alcohol,
Thermosetting resins such as epoxies and acrylics, which are preferably used in combination with peroxides, and further ultraviolet curable resins, electron curable resins and other resins can be mentioned. The latter two examples include epoxy acrylate, polybutadiene acrylate, When used as an ultraviolet-curable resin, such as acrylic acid such as urethane acrylate, methacrylic acid modified product, unsaturated polyester, and the like, benzoin, acetophenone, benzoin butyl ether and the like can be used. As the solvent, terpineol (terpineol), tetralin, butyl carbitol, carbitol acetate, etc. may be used alone or in combination. Examples of the glass frit include lead borosilicate glass, lead borate glass, zinc borosilicate glass, borosilicate alkali oxide glass, and the like, and borosilicate alkali oxide glass is used in combination with copper and nickel in terms of wettability. preferable. As the component ratio of the external electrode material paste, metal powder 70 to 80% by weight, glass frit 2 to 3
% By weight and 17 to 28% by weight of binder are preferred. The larger the amount of resin, the larger the amount of carbide remaining during the pre-baking, so that the region of the semiconductor layer formed during baking expands.

【0011】外部電極材料ペーストに還元剤を含有させ
る場合のその還元剤としては、Li2 CO3 、CaCO
3 等の炭酸化合物、NiB等のBとNiからなるホウ素
化合物、BとSiとの化合物、PとLiとの化合物等の
還元剤が挙げられる。この還元剤としてはバインダー、
樹脂等の有機物の炭化物でも良いことがある。還元剤を
用いる場合には、脱バイ(バインダーの除去)性の良い
アクリル樹脂を使用するが好ましいこともある。外部電
極材料ペースト中の還元剤の量としては例えば数パーセ
ント以下が例示される。
When the external electrode material paste contains a reducing agent, the reducing agent includes Li 2 CO 3 and CaCO.
Examples of the reducing agent include carbonic acid compounds such as 3; boron compounds including B and Ni such as NiB; compounds including B and Si; and compounds including P and Li. This reducing agent is a binder,
Carbides of organic materials such as resins may be used. When a reducing agent is used, it may be preferable to use an acrylic resin having good debye (removal of binder) property. The amount of the reducing agent in the external electrode material paste is, for example, several percent or less.

【0012】[0012]

【作用】仮焼成工程で外部電極材料ペーストの塗膜中の
バンダーは炭化し、その炭化物が焼付け時に還元剤とし
て作用し、セラミック素体の端面近傍の誘電体を還元
し、半導体化する。このように一つの誘電体層に半導体
部分を抵抗体とコンデンサの2つの領域を形成でき、両
方の素子を有する複合素子を形成できる。このことは、
外部電極材料ペーストに還元剤を含有させ、その塗膜焼
付けの際にセラミック素体の端面近傍の誘電体を還元
し、半導体化することによっても可能である。
In the calcination process, the bander in the coating film of the external electrode material paste is carbonized, and the carbide acts as a reducing agent during baking, reducing the dielectric near the end face of the ceramic body and converting it into a semiconductor. In this way, a semiconductor portion can be formed in one dielectric layer as two regions of a resistor and a capacitor, and a composite element having both elements can be formed. This is
It is also possible to include a reducing agent in the external electrode material paste and reduce the dielectric in the vicinity of the end face of the ceramic body to make it a semiconductor when the coating film is baked.

【0013】[0013]

【実施例】次に本発明の実施例を説明する。 実施例 1 下記各成分を秤量して得た配合物を1 リットルのポリエ
チレン製ポットに仕込み、60rpm、15時間ボールミ
ル法により湿式混合し、スラリーを得た。 セラミック粉末(チタン酸バリウム) 88.65重量部 バインダー樹脂(ポリビニルブチラール樹脂)9.85重量部 (ガラス転移点65℃) ジ−n−ブチルフタレート(Dn−BP) 1.50重量部 エタノール 100重量部 トルエン 100重量部
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. Example 1 A blend obtained by weighing the following components was placed in a 1-liter polyethylene pot and wet mixed by a ball mill method at 60 rpm for 15 hours to obtain a slurry. Ceramic powder (barium titanate) 88.65 parts by weight Binder resin (polyvinyl butyral resin) 9.85 parts by weight (glass transition point 65 ° C.) Di-n-butylphthalate (Dn-BP) 1.50 parts by weight Ethanol 100 parts by weight Part Toluene 100 parts by weight

【0014】得られたスラリーを脱泡処理した後、寸法
100×100mmのシリコン系離型剤処理したPET
フィルムからなるキャリヤフィルム上に、隙間100μ
mのドクターブレードにて、寸法50×50mmとなる
ように塗布し、乾燥させ、剥離させて厚さ約30μmの
セラミック誘電体グリーンシートを得た。
PET obtained by defoaming the obtained slurry and then treating it with a silicone type release agent having a size of 100 × 100 mm
100μ gap on the carrier film made of film
It was applied with a doctor blade of m to a size of 50 × 50 mm, dried, and peeled to obtain a ceramic dielectric green sheet having a thickness of about 30 μm.

【0015】このようにして作製したセラミック誘電体
グリーンシートの片面にパラジウム、エチルセルロー
ス、テルピネオール等からなる内部電極材料ペーストを
スクリーン印刷により塗布し、120℃、2分間乾燥さ
せた。このような内部電極材料膜を印刷したセラミック
誘電体グリーンシートを所定枚数作製して表裏重ねて積
層し、その両側にさらに内部電極材料塗膜を印刷してな
いセラミック誘電体グリーンシートを重ねて熱圧着(8
0℃で150Kgf/cm2 )し、未焼成圧着積体を作
製する。
An internal electrode material paste made of palladium, ethyl cellulose, terpineol, etc. was applied by screen printing to one surface of the ceramic dielectric green sheet thus produced, and dried at 120 ° C. for 2 minutes. A predetermined number of ceramic dielectric green sheets printed with such an internal electrode material film are prepared and laminated back and forth, and ceramic dielectric green sheets without an internal electrode material coating film are further laminated on both sides of the ceramic dielectric green sheets. Crimping (8
150 Kgf / cm 2 ) at 0 ° C. to prepare an unsintered pressure-bonded product.

【0016】次に上記の圧着未焼成積層体について、こ
れは多数のコンデンサ単位を含むように作製されている
ので、個々の単位毎に裁断してチップ化する。これらの
チップを500℃で通常の方法で加熱して脱バインダー
処理を行い、さらに1300℃で焼成して積層セラミッ
クコンデンサ素体を得た。この積層セラミックコンデン
サ素体は、最終的には3.2mm×1.6mm形状の
4.7μF用の積層セラミックコンデンサとなるように
作製される。このようにして形成された積層セラミック
コンデンサ素体は、図3に示すように、内部電極1、1
・・と、内部電極2、2・・がその積層セラミックコン
デンサ素体の両側端面に導出されるようにする。その両
側端面に次の外部電極材料ペーストを乾燥膜厚が25μ
mになるようにディッピング(浸漬)法により塗布す
る。 銅粉末 70重量% ガラスフリット(ホウケイ酸鉛系ガラス) 3重量% エチルセルロース 2重量% ターピネオール(溶剤) 25重量% この外部電極材料ペーストは、銅粉末、ガラスフリット
を乳鉢で良く混ぜた後、エチルセルロースをターピネオ
ールに溶かした樹脂溶液を前者の固形分に対して20重
量%添加し、再度乳鉢中で良くかきまぜ、さらに三本ロ
ールで練り合わせ、ペーストしたものである。その粘度
は回転円板型粘度計で測定した。
Next, since the above-mentioned pressure-bonded unsintered laminate is manufactured so as to include a large number of capacitor units, it is cut into individual chips to form chips. These chips were heated at 500 ° C. by a usual method to remove the binder, and further fired at 1300 ° C. to obtain a monolithic ceramic capacitor body. This monolithic ceramic capacitor element body is finally manufactured to be a 3.2 mm × 1.6 mm shaped monolithic ceramic capacitor for 4.7 μF. As shown in FIG. 3, the monolithic ceramic capacitor element body thus formed has internal electrodes 1, 1
.. and the internal electrodes 2, 2 ... Are led out to both end faces of the monolithic ceramic capacitor body. Apply the following external electrode material paste on both end surfaces to a dry film thickness of 25μ.
It is applied by a dipping (dipping) method so that the thickness becomes m. Copper powder 70% by weight Glass frit (lead borosilicate glass) 3% by weight Ethylcellulose 2% by weight Terpineol (solvent) 25% by weight This external electrode material paste is prepared by thoroughly mixing copper powder and glass frit in a mortar and then adding ethylcellulose. The resin solution dissolved in terpineol was added in an amount of 20% by weight based on the solid content of the former, well stirred again in a mortar, further kneaded with a three-roll mill, and pasted. The viscosity was measured with a rotating disk type viscometer.

【0017】次に、窒素雰囲気中、図5に示すプロファ
イル、すなわち常温から毎分30℃で750℃まで昇温
し、750℃の温度で10分間保持し、さらに毎分30
℃で常温まで冷却する方法により、仮焼成及び焼付けを
行う。このようにすると、400℃以下で脱バイ(バイ
ンダーの除去)が不十分になり、バインダーが炭化し、
外部電極材料膜中に炭化物が残留する。600℃になる
と、その残留した炭化物が積層セラミックコンデンサ素
体の端面近傍において誘電体の例えばチタン酸バリウム
の酸素と結合し、その誘電体の還元反応が起こり、その
ため誘電体が半導体化する。このようにして、積層セラ
ミックコンデンサ素体の端面から内側に150μmを半
導体化することができ、この半導体層を抵抗体とする図
3に示す抵抗体・コンデンサ複合素子を作製することが
できる。なお、この後、図3の外部電極4、5にニッケ
ルメッキ、さらにはんだメッキを行っても良い。この抵
抗体・コンデンサ複合素子について、抵抗値Rとインピ
ーダンスZの絶対値の周波数特性を測定したところ(Y
HP−4149Aを使用し、100Hz〜40MHz、
1ボルトで測定)、図6に示す測定結果を得た。これよ
り、図4において、R2が3.3KΩ、C2が4.7μ
FのRC並列回路が形成されていることがわかる。
Next, in a nitrogen atmosphere, the profile shown in FIG. 5, that is, the temperature was raised from room temperature to 750 ° C. at 30 ° C./min, held at 750 ° C. for 10 minutes, and further 30 ° C./min.
Pre-baking and baking are performed by a method of cooling to room temperature at ℃. By doing this, de-biogenesis (removal of binder) becomes insufficient at 400 ° C or lower, and the binder carbonizes,
Carbides remain in the external electrode material film. When the temperature reaches 600 ° C., the remaining carbides are combined with oxygen, such as barium titanate, of the dielectric in the vicinity of the end face of the monolithic ceramic capacitor body, and a reduction reaction of the dielectric occurs, so that the dielectric becomes a semiconductor. In this manner, 150 μm can be made into a semiconductor from the end face of the monolithic ceramic capacitor body to the inside, and the resistor / capacitor composite element shown in FIG. 3 having this semiconductor layer as a resistor can be manufactured. After this, the external electrodes 4 and 5 in FIG. 3 may be nickel-plated and then solder-plated. When the frequency characteristics of the absolute value of the resistance value R and the impedance Z of this resistor / capacitor composite element were measured (Y
Using HP-4149A, 100Hz-40MHz,
(Measured at 1 volt), the measurement results shown in FIG. 6 were obtained. From this, in FIG. 4, R2 is 3.3 KΩ and C2 is 4.7 μ.
It can be seen that an RC parallel circuit of F is formed.

【0018】実施例2 図3の内部電極1、1・・・と2、2・・・を積層セラ
ミックコンデンサ素体内に埋没させ、それぞれの内部電
極の端部とこれらが相対する積層セラミックコンデンサ
素体の端面との距離を150μmとした以外は実施例1
と同様にして図1に示す抵抗体・コンデンサ複合素子を
形成し、これについても実施例1と同様に測定したとこ
ろ、図2において、R1が30KΩ、C1が4.7μF
のRC直列が形成されていることがわかった。
Example 2 The internal electrodes 1, 1, ... And 2, 2 ... In FIG. 3 are buried in a monolithic ceramic capacitor element body, and the end portions of the respective internal electrodes are opposed to the monolithic ceramic capacitor element. Example 1 except that the distance from the end face of the body was 150 μm
The resistor / capacitor composite element shown in FIG. 1 was formed in the same manner as above, and the same measurement as in Example 1 was carried out. In FIG. 2, R1 was 30 KΩ and C1 was 4.7 μF.
It was found that the RC series was formed.

【0019】実施例1と同様にして、図3に示す積層セ
ラミックコンデンサ素体を形成し、ついで下記組成の外
部電極材料ペーストを作製し、塗布する。 銅粉末 70重量% ガラスフリット(ホウケイ酸鉛系ガラス) 2.7重量% アクリル樹脂 2重量% ターピネオール(溶剤) 25重量% 還元剤(Li2 CO3 ) 0.3重量% 次に窒素雰囲気中、常温から毎分30℃で350℃まで
昇温し、そこで10分間保持し、その後毎分30℃で7
50℃まで昇温し、その温度で10分間保持し、さらに
毎分30℃で常温まで冷却する方法により仮焼成及び焼
付けを行う。このようにすると、350℃で10分間保
持することによりアクリル樹脂が十分に脱バイされ、樹
脂成分の炭化物が残留することがない。その後600℃
になると還元剤が作用し、積層セラミックコンデンサ素
体の端面近傍において誘電体の例えばチタン酸バリウム
の還元反応が起こり、そのため誘電体が半導体化し、実
施例1と同様な構造の抵抗体・コンデンサ複合素子が得
られる。この場合、樹脂成分の炭化物の影響がないの
で、還元剤の量によるその還元反応、すなわち半導体化
を制御することが容易になる。
In the same manner as in Example 1, the monolithic ceramic capacitor element body shown in FIG. 3 is formed, and then an external electrode material paste having the following composition is prepared and applied. Copper powder 70% by weight Glass frit (lead borosilicate glass) 2.7% by weight Acrylic resin 2% by weight Terpineol (solvent) 25% by weight Reducing agent (Li 2 CO 3 ) 0.3% by weight Next, in a nitrogen atmosphere, The temperature is raised from room temperature to 350 ° C. at 30 ° C./min.
Temporary firing and baking are performed by a method of raising the temperature to 50 ° C., maintaining the temperature for 10 minutes, and further cooling to normal temperature at 30 ° C. per minute. By doing so, the acrylic resin is sufficiently debyeed by holding at 350 ° C. for 10 minutes, and the carbide of the resin component does not remain. 600 ° C thereafter
Then, the reducing agent acts, and a reduction reaction of the dielectric such as barium titanate occurs near the end face of the monolithic ceramic capacitor element body, so that the dielectric material becomes a semiconductor and the resistor / capacitor composite having the same structure as that of the first embodiment is formed. The device is obtained. In this case, since there is no effect of the carbide of the resin component, it becomes easy to control the reduction reaction, that is, semiconductor formation, depending on the amount of the reducing agent.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明によれば、誘電体層に抵抗体層と
コンデンサ層の2つの領域を形成したので、同じ材料を
用いた構成体にコンデンサと抵抗体を複合することがで
き、また、同じ材料を用いているので異種材料の場合の
ように原子の相互拡散のようなことがなく、静電容量及
び抵抗値が安定であるとともに、クラック等の機械的欠
陥の生じない抵抗体・コンデンサ複合素子を有する複合
電子部品を提供できる。また、抵抗体を介して外部電極
を設ける必要がないから膜厚が厚過ぎることがなく、コ
ンパクトな外部電極を形成でき、抵抗体を誘電体層内に
組み込んだことと合わせてプリント基板等に対する実装
面積を小さくすることができる抵抗体・コンデンサ複合
素子を有する複合電子部品を提供できる。また、現在の
積層コンデンサの構造をそのままにして抵抗体を内部に
組み込み、しかも簡単に半導体化の度合により抵抗値、
誘電体層の層数により静電容量を選択できる抵抗体・コ
ンデンサ素子を製造できるので、需要者の要求に応じた
RC特性を有する部品を現在の製造設備をそのまま利用
して簡単な製造方法で提供することができ、抵抗体を新
たに形成する場合にくらべて製造工程を簡略化できるこ
ととともにコストを低減することができる。
According to the present invention, since the two regions of the resistor layer and the capacitor layer are formed in the dielectric layer, it is possible to combine the capacitor and the resistor into a structure using the same material. Since the same material is used, there is no mutual diffusion of atoms as in the case of dissimilar materials, the capacitance and resistance value are stable, and a resistor that does not cause mechanical defects such as cracks. A composite electronic component having a capacitor composite element can be provided. Further, since it is not necessary to provide the external electrode via the resistor, the film thickness is not too thick, a compact external electrode can be formed, and the resistor is incorporated in the dielectric layer. It is possible to provide a composite electronic component having a resistor / capacitor composite element capable of reducing the mounting area. In addition, the current structure of the multilayer capacitor is left as it is, the resistor is built into the inside, and the resistance value can be easily changed depending on the degree of semiconductorization.
Since it is possible to manufacture a resistor / capacitor element whose capacitance can be selected according to the number of dielectric layers, it is possible to manufacture parts having RC characteristics that meet the demands of customers with a simple manufacturing method using the current manufacturing equipment. The manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced as compared with the case where the resistor is newly formed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の複合電子部品としての抵抗
体・コンデンサ複合素子の概略を説明するための断面図
である。
FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining an outline of a resistor / capacitor composite element as a composite electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図2】その等価回路図である。FIG. 2 is an equivalent circuit diagram thereof.

【図3】本発明の他の実施例の複合電子部品としての対
抗体・コンデンサ複合素子の概略を説明するための断面
図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining an outline of an anti-antibody / capacitor composite element as a composite electronic component of another embodiment of the present invention.

【図4】その等価回路図であるFIG. 4 is an equivalent circuit diagram thereof.

【図5】本発明の製造方法の実施例における仮焼成及び
焼付けを行うプロファイルである。
FIG. 5 is a profile for performing pre-baking and baking in the example of the manufacturing method of the present invention.

【図6】本発明の実施例1の抵抗体・コンデンサ複合素
子の周波数特性を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing frequency characteristics of the resistor / capacitor composite element of Example 1 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、2 内部電極 3 誘電体層 4、5 外部電極 6、7、8、9 半導体層 1, 2 Internal electrode 3 Dielectric layer 4, 5 External electrode 6, 7, 8, 9 Semiconductor layer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 誘電体層と、内部電極とが交互に積層さ
れ、かつその積層体の両側端面に該内部電極の一方及び
他方のそれぞれに接続する外部電極を有するセラミック
コンデンサに該外部電極の少なくとも一方の側に上記内
部電極の少なくとも一部が接続する半導体層を形成し、
該半導体層の抵抗体とコンデンサとを複合した抵抗体・
コンデンサ複合素子を有する複合電子部品。
1. A ceramic capacitor in which dielectric layers and internal electrodes are alternately laminated, and external electrodes connected to one and the other of the internal electrodes are provided on both end faces of the laminated body. A semiconductor layer to which at least a part of the internal electrode is connected is formed on at least one side,
A resistor which is a combination of a resistor of the semiconductor layer and a capacitor.
A composite electronic component having a capacitor composite element.
【請求項2】 抵抗体・コンデンサ複合素子は半導体層
を形成した側の外部電極と内部電極の接続部が半導体層
であり、かつ該半導体層は該外部電極側と該内部電極の
一方に接続されており、半導体層の抵抗体とコンデンサ
が直列接続された素子である請求項1記載の複合電子部
品。
2. The resistor / capacitor composite element has a semiconductor layer at a connecting portion between an external electrode and an internal electrode on which a semiconductor layer is formed, and the semiconductor layer is connected to the external electrode side and one of the internal electrodes. The composite electronic component according to claim 1, which is an element in which a resistor of a semiconductor layer and a capacitor are connected in series.
【請求項3】 抵抗体・コンデンサ複合素子は半導体層
を形成した側の外部電極と内部電極の接続部が両者の直
接接続であり、かつ半導体層が隣接する内部電極に接続
されており、半導体層の抵抗体とコンデンサが並列接続
された素子である請求項1記載の複合電子部品。
3. The resistor / capacitor composite element has a semiconductor layer formed on the side where the external electrode and the internal electrode are connected directly to each other, and the semiconductor layer is connected to an adjacent internal electrode. The composite electronic component according to claim 1, which is an element in which a layer resistor and a capacitor are connected in parallel.
【請求項4】 セラミック誘電体層と、内部電極とが交
互に積層されたセラミック素体の両側端面に該内部電極
の一方及び他方のそれぞれに接続する外部電極を有し、
該外部電極の少なくとも一方の側に上記内部電極の少な
くとも一部が接続する半導体層を形成し、該半導体層を
抵抗体としてコンデンサと複合した抵抗体・コンデンサ
複合素子を有する複合電子部品の製造方法であって、該
半導体層は上記セラミック素体に外部電極材料ペースト
を塗布する工程と、その塗膜を非酸化性ガス雰囲気中で
加熱処理することによりバインダーを炭化して残留させ
る工程と、焼付けることによりその残留させた炭化物に
より上記セラミック素体表層部の誘電体を還元し半導体
化する工程を有することにより形成するか又は上記セラ
ミック素体に還元剤を含有する外部電極材料ペーストを
塗布する工程と、その塗膜を焼付けることにより該還元
剤により上記セラミック素体表層部の誘電体を還元し半
導体化する工程を有することにより形成する複合電子部
品の製造方法。
4. A ceramic dielectric layer and internal electrodes are alternately laminated, and external electrodes connected to one and the other of the internal electrodes are provided on both end surfaces of the ceramic body.
A method of manufacturing a composite electronic component having a resistor / capacitor composite element in which a semiconductor layer to which at least a part of the internal electrode is connected is formed on at least one side of the external electrode, and the semiconductor layer is used as a resistor in combination with a capacitor. In the semiconductor layer, a step of applying an external electrode material paste to the ceramic body, a step of carbonizing the binder by heating the coating film in a non-oxidizing gas atmosphere to remain, and a baking step It is formed by having a step of reducing the dielectric of the surface layer part of the ceramic element body to a semiconductor by the remaining carbide by applying or applying an external electrode material paste containing a reducing agent to the ceramic element body. And a step of baking the coating film to reduce the dielectric in the surface layer of the ceramic element body to a semiconductor by the reducing agent. Method for manufacturing a composite electronic component to be formed by.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11283860A (en) * 1998-03-30 1999-10-15 Kyocera Corp Laminated ceramic capacitor
US6956731B2 (en) 2002-03-07 2005-10-18 Tdk Corporation Laminate type electronic component

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11283860A (en) * 1998-03-30 1999-10-15 Kyocera Corp Laminated ceramic capacitor
US6956731B2 (en) 2002-03-07 2005-10-18 Tdk Corporation Laminate type electronic component

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