JPH083722A - Waste gas treatment - Google Patents
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- JPH083722A JPH083722A JP14052794A JP14052794A JPH083722A JP H083722 A JPH083722 A JP H083722A JP 14052794 A JP14052794 A JP 14052794A JP 14052794 A JP14052794 A JP 14052794A JP H083722 A JPH083722 A JP H083722A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、鋼板にSiCl4 を含む
無酸化性ガスを接触させることにより、鋼板を気相浸珪
処理する装置において、発生する排ガスを処理する方法
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for treating exhaust gas generated in an apparatus for vapor phase siliconizing a steel sheet by bringing the steel sheet into contact with a non-oxidizing gas containing SiCl 4 .
【0002】[0002]
【従来の技術】高珪素鋼板を製造する方法としては、従
来気相浸珪処理方法が知られている。この方法は、Si
含有量が比較的少ないので圧延が容易な鋼板に、気相浸
珪処理を施すことでSiを富化し、磁気特性等に優れた
高珪素鋼板を得る方法である。2. Description of the Related Art As a method for producing a high silicon steel sheet, a vapor phase siliconizing method has been known. This method is
This is a method for obtaining a high-silicon steel sheet having excellent magnetic properties and the like by enriching Si by subjecting a steel sheet, which has a relatively small content and can be easily rolled, to a vapor-phase immersion silicon treatment.
【0003】例えば、特開昭227078号公報や、特
開昭63ー26324号公報に開示された技術において
は、鋼板をSiCl4 (四塩化珪素)がmol分率で5〜3
5%含まれる無酸化性ガス雰囲気中において、1023
〜1200℃の温度で連続的に浸珪処理し、高珪素鋼板
を得ている。For example, in the technology disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 227078 and Japanese Patent Laid-Open No. 63-263324, SiCl 4 (silicon tetrachloride) is used as a steel sheet in a mole fraction of 5 to 3
1023 in a non-oxidizing gas atmosphere containing 5%
Silicidation is continuously performed at a temperature of up to 1200 ° C to obtain a high silicon steel sheet.
【0004】通常、この浸珪処理では、Si供給用の原
料ガスとしてSiCl4 ガスが使用される。このSiCl4 は、
下記の反応式により鋼板と反応して、Siが鋼板中に浸
透するとともに、反応生成物として多量のFeCl2 (塩化
第一鉄)が発生する。Usually, in this siliconizing process, SiCl 4 gas is used as a raw material gas for supplying Si. This SiCl 4 is
Si reacts with the steel sheet according to the following reaction formula, Si permeates into the steel sheet, and a large amount of FeCl 2 (ferrous chloride) is generated as a reaction product.
【0005】[0005]
【化1】 このFeCl2 は、排ガスの一部として浸珪処理炉から排気
される。排ガス中のFeCl2 は、1023℃以上では気相
状態であるが、炉から排気されて温度が低下するととも
に、液相を経て結晶状の固相となる。このため、排ガス
が排気部の配管等の低温壁面に接触すると、FeCl2 が壁
面に結晶化して成長し、壁面に固く堆積する。このFeCl
2 の堆積量は処理時間の経過とともに増大し、最終的に
は排気部の配管等を閉塞してしまい、浸珪処理の続行が
不可能となる。Embedded image This FeCl 2 is exhausted from the siliconizing furnace as part of the exhaust gas. Although FeCl 2 in the exhaust gas is in a vapor phase state at 1023 ° C. or higher, it is exhausted from the furnace and its temperature lowers, and then becomes a crystalline solid phase through a liquid phase. Therefore, when the exhaust gas comes into contact with a low temperature wall surface such as a pipe of the exhaust section, FeCl 2 crystallizes and grows on the wall surface, and is hard deposited on the wall surface. This FeCl
The deposition amount of 2 increases with the lapse of processing time, and eventually the piping of the exhaust part is blocked, making it impossible to continue the siliconizing process.
【0006】特開昭63−24021号公報に開示され
た技術では、上記のような排ガス中のFeCl2 を除去する
排ガス処理装置として、熱交換方式の1次クーラで、排
ガスをFeCl2 の融点(670℃)以下の温度まで冷却す
ることで、FeCl2 を微粉状に析出させ、これをフィルタ
装置で回収するようにした装置が提案されている。[0006] In the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-24021, as an exhaust gas treating apparatus for removing FeCl 2 in exhaust gas as described above, the exhaust gas is a primary cooler of a heat exchange system and the exhaust gas has a melting point of FeCl 2 . An apparatus has been proposed in which FeCl 2 is precipitated in the form of fine powder by cooling to a temperature of (670 ° C.) or lower and is collected by a filter device.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
63−24021号公報に開示された技術に基づく排ガ
スの処理方法においては、FeCl2 を微粉状に析出させる
ために、排ガスを1次クーラの伝熱壁に接触させて冷却
する熱交換方式であるため、FeCl2 が熱交換器の管壁等
に結晶化して固く堆積し、器内のガス流路がFeCl2 によ
り閉塞され、長時間連続して浸珪処理を実施することが
できないという問題点があった。However, in the method for treating exhaust gas based on the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-24021, the exhaust gas of the primary cooler is deposited in order to deposit FeCl 2 in the form of fine powder. Since it is a heat exchange method of cooling by contacting the heat transfer wall, FeCl 2 crystallizes and solidly deposits on the tube wall of the heat exchanger, etc., and the gas flow path inside the vessel is blocked by FeCl 2 and it continues for a long time. Then, there was a problem that the siliconizing treatment cannot be carried out.
【0008】この発明は、従来技術の上述のような問題
点を解消するためになされたものであり、FeCl2 が堆積
しないので排ガスの処理、ひいては浸珪処理が連続して
長時間行える排ガス処理方法を提供することを目的とし
ている。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and since FeCl 2 does not deposit, exhaust gas treatment, and consequently, silicidation treatment, can be performed continuously for a long time. It is intended to provide a way.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明に係る排ガス冷
却法は、鋼板にSiCl4 を含む無酸化性ガスを接触させる
ことにより、鋼板を気相浸珪処理する装置において発生
する排ガスの処理方法であって、 1.浸珪処理炉から排気されたSiCl4 およびFeCl2 を含
む排ガスを1023℃以上の温度に保って、上部が円筒
状に形成され、下部が円筒部の内径から徐々に縮径して
いく円錐状に形成された冷却塔に、上方から導く工程
と、 2.FeCl2 の融点未満の温度の冷却用無酸化性ガスを冷
却塔円筒部に設けた複数の吹き出しノズルにより導入
し、冷却塔内壁面に沿う旋回流を形成させて、前記高温
のSiCl4 およびFeCl2 を含む排ガスを冷却塔内壁に接触
させることなく冷却する工程と、 3.冷却塔円筒部で冷却した排ガスを冷却塔円錐部に導
き、旋回半径が狭められ流速の上がった冷却用無酸化性
ガスと混合させ、排ガス温度をFeCl2 の融点未満の温度
にして、排ガス中のFeCl2 を微粉状に固相化する工程、
とで構成されるものである。The exhaust gas cooling method according to the present invention is a method for treating exhaust gas generated in an apparatus for vapor phase siliconizing a steel sheet by bringing the steel sheet into contact with a non-oxidizing gas containing SiCl 4. Therefore, 1. The exhaust gas containing SiCl 4 and FeCl 2 exhausted from the siliconizing furnace is maintained at a temperature of 1023 ° C. or higher, the upper part is formed into a cylindrical shape, and the lower part is gradually reduced from the inner diameter of the cylindrical part in a conical shape. 1. A step of leading from above to the cooling tower formed in 1. Introducing a cooling non-oxidizing gas having a temperature lower than the melting point of FeCl 2 by a plurality of blowing nozzles provided in the cooling tower cylindrical portion to form a swirling flow along the inner wall surface of the cooling tower, and the high temperature SiCl 4 and FeCl 2. A step of cooling the exhaust gas containing 2 without contacting the inner wall of the cooling tower. The exhaust gas cooled in the cooling tower cylinder is guided to the cone of the cooling tower and mixed with a non-oxidizing gas for cooling whose swirling radius is narrowed and the flow velocity is increased, and the exhaust gas temperature is set to a temperature below the melting point of FeCl 2 in the exhaust gas. Of solidifying FeCl 2 in the form of fine powder,
It is composed of and.
【0010】[0010]
【作用】浸珪処理炉において発生したSiCl4 およびFeCl
2 を含む1023℃以上の温度の排ガスは、冷却塔の上
部を構成する円筒部に導かれる。円筒部においては、円
筒部の内周面に沿って一定の間隔をおいて設けられた複
数の吹き出しノズルから、FeCl2 の融点未満の温度の冷
却用無酸化性ガスが、円筒部の内壁面に沿って旋回流を
形成するように供給されているので、円筒部に導入され
た排ガスは、冷却用無酸化性ガスの流れに妨げられて、
円筒部の壁面に触れて急冷されることなく、円筒部を下
方へと移動していく。[Function] SiCl 4 and FeCl generated in the siliconizing furnace
Exhaust gas having a temperature of 1023 ° C. or higher including 2 is introduced into a cylindrical portion that constitutes the upper part of the cooling tower. In the cylindrical part, the non-oxidizing gas for cooling having a temperature lower than the melting point of FeCl 2 is discharged from a plurality of blowing nozzles provided at regular intervals along the inner peripheral surface of the cylindrical part. Since it is supplied so as to form a swirling flow along, the exhaust gas introduced into the cylindrical portion is hindered by the flow of the cooling non-oxidizing gas,
The cylindrical part moves downward without being rapidly cooled by touching the wall surface of the cylindrical part.
【0011】そして、排ガスは同時にその周辺部が冷却
用無酸化性ガスに触れているので、外側から徐々に温度
が低下していく。Since the peripheral portion of the exhaust gas is in contact with the cooling non-oxidizing gas at the same time, the temperature of the exhaust gas gradually decreases from the outside.
【0012】冷却用無酸化性ガスに随伴された排ガス
が、冷却塔の円錐状部に到達すると、旋回の径が徐々に
小さくなるので、冷却用無酸化性ガスの旋回流の流速が
速くなり、排ガスは冷却用無酸化性ガスと排ガス混合攪
拌され、さらに冷却が促進されて終にはFeCl2 の融点
(672℃)以下の温度となる。When the exhaust gas entrained in the cooling non-oxidizing gas reaches the conical portion of the cooling tower, the swirling diameter gradually decreases, so that the swirling flow velocity of the cooling non-oxidizing gas increases. The exhaust gas is mixed and stirred with a cooling non-oxidizing gas and the exhaust gas, and further cooling is promoted to reach a temperature below the melting point (672 ° C.) of FeCl 2 at the end.
【0013】このため、排ガス中に含まれるFeCl2 は微
粉状に固相化し、排ガス中に含まれた状態で冷却塔円錐
状部の下端から、排出される。For this reason, FeCl 2 contained in the exhaust gas is solidified into a fine powder, and is discharged from the lower end of the conical portion of the cooling tower in a state of being contained in the exhaust gas.
【0014】そして、2次クーラでさらに低温とした
後、集塵機を通して排ガス中のFeCl2の微粉を回収する
とともに、除塵後のガスは前記吹き出しノズルに送ら
れ、排ガスの冷却用に使用される。Then, after the temperature is further lowered by the secondary cooler, fine particles of FeCl 2 in the exhaust gas are recovered through the dust collector, and the gas after dust removal is sent to the blowing nozzle and used for cooling the exhaust gas.
【0015】[0015]
【実施例】本発明の実施例の排ガス処理法を、図1によ
り説明する。図1はこの排ガス処理法を実施する場合の
設備構成を示す説明図である。連続浸珪処理炉1で鋼板
21を気相浸珪処理をするときに発生したSiCl4 および
FeCl2 を含む1200℃程度の高温排ガスは、炉床1a
に設置された排ガスダクト2を通して1次冷却塔3に排
出される。EXAMPLE An exhaust gas treatment method according to an example of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an explanatory diagram showing the equipment configuration when implementing this exhaust gas treatment method. SiCl 4 generated when the steel plate 21 was vapor-phase siliconized in the continuous siliconization furnace 1 and
High-temperature exhaust gas containing FeCl 2 at a temperature of about 1200 ° C is used for the hearth
It is discharged to the primary cooling tower 3 through the exhaust gas duct 2 installed at.
【0016】排ガスダクト2は排ガス排出筒2a、断熱
材2b、ダクトヒータ2cおよび、排出筒受けブロック
2dより構成されている。排ガス排出筒2a内部での詰
まりを防ぐため、長さは極力短くするとともに、この間
の排ガスの温度低下を極力少なくし、FeCl2 の沸点(1
023℃)以上の温度に保つようになっている。排ガス
ダクト2を炉床1aに設置した理由は、排ガス排出筒2
aの長さを極力短かくするとともに、排ガスの温度降下
を防止するためである。ダクト断熱材2bの一部は炉内
壁を構成しているので、排ガスダクト2からの外気への
放熱は少ない。また、ダクトヒータ2cでダクト2の外
面温度を上昇させることにより、ダクト2からの放熱量
を減少させることができるようになっている。内壁面を
平滑にして、排ガス中に含まれる粉体の付着を防止する
ために、排ガス排出筒2aには耐熱、耐食性に優れたフ
ァインセラミックス製スリーブが使用されている。ファ
インセラミックスの材質には、窒化珪素、緻密質のアル
ミナ、または緻密質のムライト材が適している。本実施
例では、高アルミナ質の微密質ムライトを使用してい
る。このセラミックスリーブで構成する排ガス排出筒2
aは、下側端部が排出筒受けブロック2dで支持されて
いる。排出筒受けブロック2dの上面には、排ガス排出
筒2aの荷重がかかるため、高温強度を有するプレキャ
ストブロックの焼成品を使用している。プレキャストブ
ロックはその直下に設置する1次冷却塔3の水冷ジャケ
ット4上部の受板5で支持されている。この受板5に
は、普通鋼の厚板が使用されている。The exhaust gas duct 2 comprises an exhaust gas exhaust pipe 2a, a heat insulating material 2b, a duct heater 2c, and an exhaust pipe receiving block 2d. In order to prevent clogging inside the exhaust gas discharge tube 2a, the length is shortened as much as possible, and the temperature drop of the exhaust gas during this period is minimized to reduce the boiling point of FeCl 2 (1
The temperature is maintained above 023 ° C. The reason for installing the exhaust gas duct 2 in the hearth 1a is that the exhaust gas exhaust pipe 2
This is because the length of a is made as short as possible and the temperature drop of the exhaust gas is prevented. Since a part of the duct heat insulating material 2b constitutes the inner wall of the furnace, heat radiation from the exhaust gas duct 2 to the outside air is small. Further, the amount of heat radiated from the duct 2 can be reduced by increasing the outer surface temperature of the duct 2 with the duct heater 2c. In order to prevent the powder contained in the exhaust gas from adhering to the inner wall surface by smoothing it, a fine ceramic sleeve having excellent heat resistance and corrosion resistance is used for the exhaust gas discharge tube 2a. Silicon nitride, dense alumina, or dense mullite material is suitable for the material of the fine ceramics. In the present embodiment, high-alumina microdense mullite is used. Exhaust gas exhaust tube 2 composed of this ceramic sleeve
The lower end of a is supported by the discharge tube receiving block 2d. Since the load of the exhaust gas discharge cylinder 2a is applied to the upper surface of the discharge cylinder receiving block 2d, a fired product of a precast block having high temperature strength is used. The precast block is supported by a receiving plate 5 above the water cooling jacket 4 of the primary cooling tower 3 installed immediately below it. A thick plate of ordinary steel is used for the receiving plate 5.
【0017】1次冷却塔3は、上部が円筒部3a、下部
が円錐状部3bから構成されており、全体として二重構
造の鋼製水冷ジャケット4で構成されている。円筒部3
aの内面には円筒軸に平行に冷風吹き出し用のスリット
ノズル6が設けてある。このスリットノズル6から、冷
却用の無酸化性ガスが1次冷却塔3内に供給されるが、
この冷却用ガスには、1次冷却塔3を出て、2次クーラ
7でさらに60℃以下に冷却された排ガスが循環使用され
ている。The primary cooling tower 3 has a cylindrical portion 3a at the upper portion and a conical portion 3b at the lower portion, and is constituted by a steel water cooling jacket 4 having a double structure as a whole. Cylindrical part 3
A slit nozzle 6 for blowing cold air is provided on the inner surface of a in parallel with the cylindrical axis. The non-oxidizing gas for cooling is supplied from the slit nozzle 6 into the primary cooling tower 3,
Exhaust gas that has left the primary cooling tower 3 and is further cooled to 60 ° C. or less by the secondary cooler 7 is circulated and used as this cooling gas.
【0018】スリットノズル6の吹き出し方向は、図1
のA−A矢視図である図2に示すように、円筒部3a内
壁の接線方向となっており、吹き出しガスが円筒部3a
内壁に沿って流れるようにしてある。そのため、冷却用
ガスがより効果的に壁面を沿って流れるように、スリッ
トノズル6の先端部分に、ノズルプレート8が設けられ
ている。スリットノズル6は、円筒部3a内周面に円周
方向に沿って複数設けられているが、その設置間隔は吹
き出し口から吹き出しガスが内壁面から剥離しようとす
る点までの距離よりも小さくする。すなわち、図3に示
すように、幅dのスリットノズル6から吹き出された冷
却用ガスは、当初スリットノズル6の幅方向にわたって
均一な流速Vであるが、内壁面3cに接触する部分の冷
却用ガスは、壁面からの抵抗を受けて流速は遅くなり、
終には0(剥離点B)となる。これから先の内壁面3c
は流れが乱れ、冷却用ガスは壁面から離れることにな
る。すなわち、冷却用ガスの流れは、点線と点線で囲ま
れる範囲となり、この流れと内壁面3cとの間に逆流に
よる乱流域Cが発生する。このような状態になると、冷
却する排ガスがこのような内壁面に接触し、内壁面が腐
食されたり、熱影響を受けて変形したりするしたがっ
て、スリットノズル6の設置間隔は、吹き出し口から剥
離点Bまでの距離Lよりも短くする必要がある。The blowing direction of the slit nozzle 6 is as shown in FIG.
2, which is a view taken along the line AA of FIG. 2, is in the tangential direction of the inner wall of the cylindrical portion 3a, and the blowing gas is
It is designed to flow along the inner wall. Therefore, the nozzle plate 8 is provided at the tip of the slit nozzle 6 so that the cooling gas flows more effectively along the wall surface. A plurality of slit nozzles 6 are provided on the inner peripheral surface of the cylindrical portion 3a along the circumferential direction, but the installation interval between them is smaller than the distance from the outlet to the point where the blown gas tries to separate from the inner wall surface. . That is, as shown in FIG. 3, the cooling gas blown out from the slit nozzle 6 having the width d has a uniform flow velocity V initially in the width direction of the slit nozzle 6, but for cooling the portion in contact with the inner wall surface 3c. The flow velocity of the gas becomes slower due to the resistance from the wall,
At the end, it becomes 0 (peeling point B). Inner wall surface 3c ahead
Flow is disturbed and the cooling gas leaves the wall. That is, the flow of the cooling gas is in the range surrounded by the dotted lines, and a turbulent flow region C due to the backflow is generated between this flow and the inner wall surface 3c. In such a state, the exhaust gas to be cooled comes into contact with such an inner wall surface, and the inner wall surface is corroded or deformed under the influence of heat. Therefore, the installation interval of the slit nozzle 6 is separated from the blowout port. It must be shorter than the distance L to the point B.
【0019】このノズル間距離Lはノズルの吹出し流速
V, ノズル幅d, 内筒部3aの曲率等の影響を受けるの
で、実験的な方法で決定する必要がある。1次冷却塔3
の下部円錐状部3bでは,上部円筒部3aで形成された
旋回流が回転半径の減少により旋回速度を増やしつつ出
口配管へ流出される。その過程で1次冷却塔3中心部を
上から下へ流れる高温の炉排ガスは、高速旋回流に巻き
込まれる。これにより排ガス排出筒2aから1次冷却塔
3内部へ導入される高温の炉排ガスは、1次冷却塔3内
壁に接触することなく、下部円錐状部3bでスリットノ
ズル6から吹き出した低温ガスと撹拌混合され、約40
0℃にまで急速冷却される。一方、1次冷却塔3自体
も、高温の炉排ガスに直接接触しないため、熱と腐食の
影響を受けないので、普通鋼で十分設計が可能である。
急速冷却の過程で炉排ガス中のFeCl 2 が、気相から微粉
状の固相として析出する。1次冷却塔3出口での混合後
のガス温度はFeCl2 の融点(672℃)より低い温度にと
り、完全に固相として析出させる必要がある。但し、こ
の温度を低く取り過ぎると戻り循環ガス量が増え、循環
ブロワ9、2次クーラ7および集塵器10の容量が増え
設備的に不経済な構成となる。以上に述べた方法によ
り、発生したFeCl2 の微粉は、管内流速をおよそ 30 m/
s 以上とることにより1次冷却塔3下流の配管内での堆
積、閉塞の問題を起こさないことが確認された。The distance L between the nozzles is the flow velocity of the air blown out from the nozzles.
V, nozzle width d, curvature of inner cylinder 3a, etc.
Therefore, it is necessary to make an experimental determination. Primary cooling tower 3
In the lower conical portion 3b of the, formed by the upper cylindrical portion 3a
The swirling flow exits while increasing the swirling speed due to the decrease of the turning radius.
Spilled into the mouth pipe. In the process, the central part of the primary cooling tower 3
The high-temperature furnace exhaust gas flowing from top to bottom is wound into a high-speed swirl flow.
Get caught. As a result, the exhaust gas exhaust pipe 2a is connected to the primary cooling tower.
The high-temperature furnace exhaust gas introduced into the interior of the primary cooling tower 3
Without touching the wall, the lower cone 3b can
About 40 g
It is rapidly cooled to 0 ° C. On the other hand, the primary cooling tower 3 itself
Does not come into direct contact with high temperature furnace exhaust gas, so heat and corrosion
Since it is not affected, ordinary steel can be sufficiently designed.
FeCl in the furnace exhaust gas during the rapid cooling process 2But from the gas phase to fine powder
Precipitates as a solid phase. After mixing at the outlet of the primary cooling tower 3
The gas temperature of FeCl2Below the melting point (672 ° C) of
Therefore, it is necessary to completely precipitate it as a solid phase. However, this
If the temperature is too low, the amount of return circulation gas increases and the
Blower 9, secondary cooler 7 and dust collector 10 have increased capacity
It is an uneconomical structure in terms of equipment. According to the method described above
Generated FeCl2The fine powder has a flow velocity of about 30 m /
By taking more than s, the deposit in the piping downstream of the primary cooling tower 3
It was confirmed that the problems of accumulation and blockage do not occur.
【0020】1次冷却塔3を出たFeCl2 の微粉を含むガ
スは、2次クーラ7で、1次冷却塔3のスリットノズル
6への供給温度(約60℃以下)まで冷却される。この温度
は集塵器10の耐熱温度以下に取ることは言うまでもな
い。2次クーラ7では、含塵ガスの冷却を行うため、冷
却過程で熱交換部分へのFeCl2 の微粉の付着、堆積を除
去する機構が必要である。集塵器はガス中の塩化鉄微粉
を除去する。集塵器10通過後のガスは、循環ブロワ9
で昇圧し、戻り循環ガスとして1次冷却塔3のスリット
ノズル6へ供給される。The gas containing the fine FeCl 2 powder that has exited the primary cooling tower 3 is cooled by the secondary cooler 7 to the supply temperature (about 60 ° C. or less) to the slit nozzle 6 of the primary cooling tower 3. Needless to say, this temperature is set to be lower than the heat resistant temperature of the dust collector 10. Since the secondary cooler 7 cools the dust-containing gas, it is necessary to have a mechanism for removing the adhesion and deposition of FeCl 2 fine powder on the heat exchange portion in the cooling process. The dust collector removes iron chloride fine powder in the gas. The gas that has passed through the dust collector 10 is the circulating blower 9
The pressure is increased by and is supplied to the slit nozzle 6 of the primary cooling tower 3 as a return circulation gas.
【0021】また、冷却したガス中には、未反応のSiCl
4 が含まれているので、循環ガスの一部を排気ブロワ1
1でSiCl4 回収設備に送り、回収するようにしている。In the cooled gas, unreacted SiCl
Exhaust blower 1 part of the circulating gas because 4 is included
In step 1, it is sent to the SiCl 4 recovery facility for recovery.
【0022】[0022]
【発明の効果】本発明により、気相浸珪処理装置で発生
する最終冷却温度では固体となる反応生成ガスを含んだ
高温かつ腐食性の排ガスを、その冷却過程で析出固体に
よる流路閉塞等の問題を起こすことなく冷却することが
できる。According to the present invention, a high temperature and corrosive exhaust gas containing a reaction product gas which becomes a solid at the final cooling temperature generated in the vapor phase silicon treatment equipment is used to block the flow path due to the precipitated solid during the cooling process. Can be cooled without causing problems.
【0023】また、排ガスの冷却と反応生成物の除去
を、未反応SiCl4 の回収とは分離して行うことができる
ので、SiCl4 の回収が効率良く、かつ連続的に行えるの
で、高濃度(約6.5%)珪素鋼板製造用の営業生産用大型気
相浸珪処理装置の建設が可能となった。Further, since the exhaust gas can be cooled and the reaction product can be removed separately from the recovery of the unreacted SiCl 4 , the recovery of the SiCl 4 can be carried out efficiently and continuously, so that the high concentration can be achieved. (Approximately 6.5%) Construction of a large-scale vapor-phase immersion silicon treatment equipment for commercial production for the production of silicon steel sheets has become possible.
【図1】本発明の実施例の排ガス処理方法を示す説明図
である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an exhaust gas treatment method according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1のA−A断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図3】吹き出しノズルの設置間隔の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of an installation interval of blowing nozzles.
1 連続浸珪処理炉 2 排ガスダクト 2a 排ガス排出筒 2b 断熱材 2c ダクトヒータ 2d 排出筒受けブロック 3 1次冷却塔 3a 円筒部 3b 円錐状部 4 水冷ジャケット 5 受板 6 スリットノズル 7 2次クーラ 8 ノズルプレート 9 循環ブロワ 10 集塵器 11 排気ブロワ 1 Continuous Silica Treatment Furnace 2 Exhaust Gas Duct 2a Exhaust Gas Exhaust Cylinder 2b Insulation Material 2c Duct Heater 2d Exhaust Cylinder Receiver Block 3 Primary Cooling Tower 3a Cylindrical Part 3b Conical Part 4 Water Cooling Jacket 5 Catch Plate 6 Slit Nozzle 7 Secondary Cooler 8 Nozzle Plate 9 Circulation blower 10 Dust collector 11 Exhaust blower
Claims (1)
させることにより、鋼板を気相浸珪処理する装置におい
て発生する排ガスの処理方法であって、次の各工程から
なることを特徴とするSiCl4 およびFeCl2 を含む高温排
ガス処理方法。 1.浸珪処理炉から排気されたSiCl4 およびFeCl2 を含
む排ガスを1023℃以上の温度に保って、上部が円筒
状に形成され、下部が円筒部の内径から徐々に縮径して
いく円錐状に形成された冷却塔に、上方から導く工程。 2.FeCl2 の融点未満の温度の冷却用無酸化性ガスを冷
却塔円筒部に設けた複数の吹き出しノズルにより導入
し、冷却塔内壁面に沿う旋回流を形成させて、前記高温
のSiCl4 およびFeCl2 を含む排ガスを冷却塔内壁に接触
させることなく冷却する工程。 3.冷却塔円筒部で冷却した排ガスを冷却塔円錐部に導
き、旋回半径が狭められ流速の上がった冷却用無酸化性
ガスと混合させ、排ガス温度をFeCl2 の融点未満の温度
にして、排ガス中のFeCl2 を微粉状に固相化する工程。1. A method for treating exhaust gas generated in an apparatus for vapor phase siliconizing a steel sheet by bringing the steel sheet into contact with a non-oxidizing gas containing SiCl 4 , comprising the following steps: A method for treating high temperature exhaust gas containing SiCl 4 and FeCl 2 . 1. The exhaust gas containing SiCl 4 and FeCl 2 exhausted from the siliconizing furnace is maintained at a temperature of 1023 ° C. or higher, the upper part is formed into a cylindrical shape, and the lower part is gradually reduced from the inner diameter of the cylindrical part in a conical shape. A step of leading from above to the cooling tower formed in. 2. Introducing a cooling non-oxidizing gas having a temperature lower than the melting point of FeCl 2 by a plurality of blowing nozzles provided in the cooling tower cylindrical portion to form a swirling flow along the inner wall surface of the cooling tower, and the high temperature SiCl 4 and FeCl A step of cooling the exhaust gas containing 2 without contacting the inner wall of the cooling tower. 3. The exhaust gas cooled in the cooling tower cylinder is guided to the cone of the cooling tower and mixed with a non-oxidizing gas for cooling whose swirling radius is narrowed and the flow velocity is increased, and the exhaust gas temperature is set to a temperature below the melting point of FeCl 2 in the exhaust gas. Step of solidifying FeCl 2 in the form of fine powder.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14052794A JPH083722A (en) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | Waste gas treatment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14052794A JPH083722A (en) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | Waste gas treatment |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH083722A true JPH083722A (en) | 1996-01-09 |
Family
ID=15270747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP14052794A Withdrawn JPH083722A (en) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | Waste gas treatment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH083722A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007044577A (en) * | 2005-08-05 | 2007-02-22 | Ube Ind Ltd | Solid-gas separation method and apparatus |
JP2014219137A (en) * | 2013-05-08 | 2014-11-20 | スチールプランテック株式会社 | Gas mixed cooler |
-
1994
- 1994-06-22 JP JP14052794A patent/JPH083722A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007044577A (en) * | 2005-08-05 | 2007-02-22 | Ube Ind Ltd | Solid-gas separation method and apparatus |
JP2014219137A (en) * | 2013-05-08 | 2014-11-20 | スチールプランテック株式会社 | Gas mixed cooler |
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