JPH0835488A - ダイアフラムポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイアフラムポンプのダイアフラムの寿命を
延ばす。 【構成】 ダイアフラム７０の外径縁７４はダイアフラ
ム取付枠５とポンプフレ−ムＰＦに保持され図外のコア
架台に固定される。ダイアフラム７０の内径縁７３を含
む中心部はダイアフラム膜部７２の両面をセンタディス
ク９０１，９０２で挟む形で保持され、センタディスク
中心穴ＣＨを通し取付ネジ８１でセンタディスク９０
１，９０２に取付けられた振動子枠８を含む振動子によ
ってダイアフラム７０の軸方向（図の左右方向）に往復
駆動される。この時特にダイアフラムの膜部７２のセン
タディスク周縁部は屈曲が大きく発熱するが、この部分
はセンタディスク周縁に設けた金属等の伝熱性の冷却フ
ィン１０１，１０２により冷却され、熱的劣化が防止さ
れる。これは、センタディスク９０１，９０２を合成樹
脂化したとき更に有効である。また、冷却フィン１０
１，１０２には必要に応じ空気攪拌のため切込部が設け
られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、浄化槽、養魚活魚水槽
等に空気を圧送するためのダイアフラムポンプに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、浄化槽、養魚活魚水槽等に空気を
圧送するために通常、電磁式のダイアフラムポンプ（以
後、電磁ブロワ−と記載することもあるが同義語であ
る）が用いられている。以下、図面を参照しながら電磁
ブロワ−について説明するが、各図において同一の符号
は同一もしくは相当部分を示す。

【０００３】上記電磁ブロワ−１は、図７の側面断面図
及び図８の平面図に示すように構成されている。尚、図
８は図７に示したカバ−２及びフィルタ−カバ−４を取
り外した状態での平面図であり、この図７，図８は共に
駆動されていない電磁ブロワ−１を示している。次に図
９，１０は図７のダイアフラム７０部分の拡大図で、図
９はポンプ１９を含めた図、図１０はダイアフラム７０
とセンタディスク９０との結合状態を更に拡大して示し
た図である。

【０００４】また、図１１はダイアフラム７０の平面
図、図１２は図１１のＡ−Ａ断面図である。図１１，１
２に示すようにゴム状弾性材からなるダイアフラム７０
は、中心穴７１を持つ円環板状に形成され、その膜部７
２の内周縁、外周縁に夫々、内径縁７３、外径縁７４が
形成されている。この内径縁７３はセンタ−ディスク９
０に保持される一方、外径縁７４は、後述のダイアフラ
ム取付枠５，６に保持固定される。尚、一般的にいえ
ば、膜部７２は中心穴７１のない円板状に形成される場
合もある。

【０００５】ところで電磁ブロワ−１は、図７〜図１０
に示すように左右対称位置にリング状のダイアフラム取
付枠５，６を備え、更に夫々のダイアフラム取付枠５，
６に外径縁７４を介して装着されたダイアフラム７０
は、その膜部７２の両面中央部をこの例では合成樹脂か
らなる円板状のセンタディスク９０（９０Ａ，９０Ｂ）
によって挟み込まれたうえ、振動子枠８の両端部におい
て、センタディスク９０の中心軸と軸が一致するように
振動子枠８に一体に設けられた取付ネジ８１のボルト８
１ａをセンタディスク９０Ａ，９０Ｂの中心穴ＣＨに通
し、ナット８１ｂを締付けることによってセンタディス
ク９０と結合されている。

【０００６】図９，１０に示すセンタディスク９０Ａに
はダイアフラム７０の内径縁７３が嵌合しており、かつ
センタディスク９０Ａの中央凸部９２がセンタディスク
９０Ｂの対応する凹部に嵌合している。そして、各セン
タディスク９０Ａ，９０Ｂのダイアフラム側の面９５は
夫々ダイアフラム７０の膜部７２の内径縁７３付近の一
様な膜厚を持つ平坦面部に接している。またセンタディ
スク９０Ａ，９０Ｂのダイアフラム７０側の外周縁部に
は円弧状の曲面部９４が付され、ブロワ−動作時にセン
タディスク９０Ａ，９０Ｂの外周縁部からダイアフラム
７０の膜部７２に集中的に無理な力が加わらぬように構
成されている。

【０００７】尚、ＢＤはセンタディスク９０Ａ，９０Ｂ
のダイアフラムに接する平面部９５の上にセンタディス
クと同心のリング状に突出するように設けられた凸条
（ビ−ド）でセンタディスク９０Ａ，９０Ｂの組付時、
この凸条ＢＤがダイアフラム７０の膜部７２に喰込むこ
とによりブロア動作時における膜部７２の内径縁７３ま
わりの伸縮を防ぎセンタディスク９０によるダイアフラ
ム７０の保持を確実にしている。

【０００８】また９６は凸条ＢＤの外方（大径側）にて
センタディスク９０Ａ，９０Ｂとダイアフラム膜部７２
との間に挿入された例えばフッ素樹脂からなる減摩フィ
ルムで、ブロア動作時にダイアフラム膜部７２の伸縮に
よってセンタディスク９０Ａ，９０Ｂとの間に生ずる摩
擦による摩耗を抑制する。

【０００９】前記振動子枠８の図７上、左側には、上，
下２か所に永久磁石１０，１１が取り付けられる一方、
右側には上、下２か所に永久磁石１２，１３（図８）が
取り付けられている。振動子枠８の両側には、永久磁石
１０，１１，１２，１３の磁極面と相対し、永久磁石１
０，１１，１２，１３を吸引もしくは反発させ、振動子
枠８を左右に往復動させるための電磁石１４及び１５が
配設されている。

【００１０】電磁石１４及び１５は、それぞれコア１６
にコイル１７を巻いたもので外部の商用電源からプラグ
Ｐ及び電源コ−ドＰＣを介して供給された電力により励
磁され、商用電源の周波数に対応して、前記永久磁石１
０，１１，１２，１３の磁極面と相対する磁極面がＮ
極、Ｓ極に交互に励磁されるように構成されている。上
記電磁石１４及び１５は、鋼板等で凹字状に形成された
コア架台１８の上面に取着されており、コア架台１８の
左外側面には前記ダイアフラム取付枠５とポンプ１９と
が一体的に取り付けられているとともに、コア架台１８
の右外側面には前記ダイアフラム取付枠６とポンプ２０
とが一体的に取り付けられている。

【００１１】ポンプ１９のポンプフレ−ムＰＦには吸入
弁Ｖ１と吐出弁Ｖ２が設けられ、ポンプ２０のポンプフ
レ−ムＰＦにも同様に図示しない吸入弁と吐出弁が設け
られている。ポンプ１９には吐出弁Ｖ２から吐出される
空気を導くためのエアパイプ２１が接続される一方、ポ
ンプ２０には同様にエアパイプ２２が接続されており、
エアパイプ２１，２２の反対端部は、それぞれエアタン
ク２３に接続されている。そして、前記電磁石１４及び
１５のコイル１７に商用電源からの電力が供給され、前
記振動子枠８が左右の往復動され、ポンプ１９，２０が
ポンプ作動されたとき、ポンプ１９，２０から圧送され
た空気が上記エアタンク２３と吐出口２４と図示してい
ないホ−ス等とを介して外部の浄化槽、養魚活魚水槽等
に供給される。

【００１２】このときの電磁ブロワ−１内の送気の径路
はポンプ１９を例にとれば、図７の破線矢印のように示
される。即ち、外気は先ずフィルタ−カバ−４の周縁下
端部の、カバ−２との隙間Ｇ１から取込まれ、エア−フ
ィルタ−３、カバ−２の上部の穴２ａを経て、カバ−２
の内部に取込まれる。さらにこの空気は吸入弁Ｖ１を経
てポンプ１９の内部に取込まれたのち、吐出弁Ｖ２→エ
アパイプ２１→エアタンク２３→吐出口２４の径路で電
磁ブロワ−１外に送出される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】図１３〜図１５はブロ
ワ−動作時におけるダイアフラム７０の変形を示し、同
図１４は中立状態、図１３，１５は夫々センタディスク
９０が振動子枠８を介して夫々矢印方向に駆動された状
態を示す。この図から判るように図１３の破線円で示す
ダイアフラム７０のセンタディスク周縁部、つまりダイ
アフラム膜部７２とセンタディスク９０Ａ，９０Ｂの曲
面部９４と接する部分におけるダイアフラム膜部７２の
伸縮，屈曲が著しい。このためダイアフラム膜部７２の
内部の粘性損失，膜部７２の表面の減摩フィルム９６あ
るいはセンタディスク面９５との間の摩擦によって膜部
７２の、この部分の温度が上昇して劣化が進み、長時間
運転においてダイアフラム７０がセンタ−ディスク周縁
部から破断しやすいという問題がある。この傾向はセン
タ−ディスクを通常、量産性を上げるため非伝熱性材で
ある樹脂成形品としていることにより更に促進される。

【００１４】この問題の解決案として例えば特開平５−
２３１３２７号公報がある。ここでは吸入口と吐出口と
を持ち、電磁石と隔離されたケ−シング内に磁性体（磁
石）を左右に備えたダイアフラムの周部を保持する構成
とし、電磁石によって加熱されていない比較的低温のポ
ンプ空気流路内にダイアフラムを置き、その劣化を軽減
すると共に防音対策を容易化することが提案されてい
る。

【００１５】しかしながらこの従来の構成はダイアフラ
ムの不安定な変形を防ぐために、磁石を大形化すること
が難しく、且つケ−シングの存在から磁石と電磁石磁極
間の空隙も大とせざるを得ないことから、大容量の電磁
ブロワ−に適用することは困難である。またこれとは別
に合成樹脂製のセンタディスク９０を伝熱性材例えばア
ルミに変えダイアフラムの放熱を助ける方法が考えられ
る。しかし我々の実験によればセンタディスク９０を従
来と同形状のまま伝熱性材に変えても若干の改善効果は
見られるものの充分ではない。

【００１６】そこで本発明では、従来の電磁ブロワ−１
の構成を大巾に変えず、ポンプ特性に与える影響を少な
くでき、センタディスク周縁部のダイアフラム劣化を有
効に低減できる手段を備えたダイアフラムポンプを提供
することを解決すべき技術的課題とするものである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記課題解決のための第
１の技術的手段は、ゴム状弾性材からなる円板状、又は
円環板状の膜部を持ち、同膜部の外周縁は固定保持され
るとともに、同膜部の中心側は同膜部の両面を、夫々膜
部の外周縁の径より小さい最大径の外周縁を持つ、剛性
材からなる中央保持手段によって挟持されたダイアフラ
ムを備え、この中央保持手段を前記膜部の中心軸方向に
往復駆動し、このときのダイアフラムによって閉じられ
る空間の体積変化を利用して空気を圧送するダイアフラ
ムポンプを、前記ダイアフラム膜部の少なくとも一面側
の前記中央保持手段のほぼ外周縁部分にて上記膜部を圧
し得るとともに、その膜部の外周縁と同心で、且つ外周
部が円形の加圧面と、外縁部の径がその加圧面の外周部
の外径より大きく表裏両面が常時空間に開放される薄肉
部分とを有する伝熱材からなる冷却フィンを備えた構成
にすることである。

【００１８】また、前記課題解決のための第２の技術的
手段は、ゴム状弾性材からなる円板状、又は円環板状の
膜部を持ち、同膜部の外周縁は固定保持されるととも
に、同膜部の中心側は同膜部の両面を、夫々膜部の外周
縁の径より小さい最大径の外周縁を持つ、剛性材からな
る中央保持手段によって挟持されたダイアフラムを備
え、この中央保持手段を前記膜部の中心軸方向に往復駆
動し、このときのダイアフラムによって閉じられる空間
の体積変化を利用して空気を圧送するダイアフラムポン
プを、前記膜部の少なくとも一面側の前記中央保持手段
の外周縁部の全周に亘り前記膜部を少なくとも圧し得る
面領域部分を金属等の伝熱材で構成すると共に、表裏両
面が常時空間に開放され、その外周縁の最大の外径が前
記中央保持手段の外径より大きい薄肉部分を有する金属
等の伝熱材からなり、且つ前記面領域部分と伝熱良好に
結合された冷却フィンを備えた構成にすることである。

【００１９】また、上記のダイアフラムポンプにおい
て、面領域部分が結合された中央保持手段と冷却フィン
は同一材質で一体に形成することである。更に、冷却フ
ィンの外周縁には複数の切込部が設けられたようにす
る。

【００２０】更にまた、前記膜部の両面側の中央保持手
段を共に金属等の伝熱材で構成し、かつ両者を伝熱良好
に結合することである。

【００２１】

【作用】上記のように構成されたダイアフラムポンプに
よれば、ダイアフラムの片面又は両面側のセンタディス
クの周縁部に、金属等の伝熱材からなる冷却フィンを設
けたことにより、その冷却フィンを介してダイアフラム
膜部の発生熱を積極的に周囲空気に放散する作用をす
る。

【００２２】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図１は、前記従来の電磁ポンプ１と基本的構
成を同じにするダイアフラムポンプの本発明の第１の実
施例としてのダイアフラム部分の構成を示した縦断面図
であり、図２は図１の要部（冷却フィン部）の側面図で
ある。また図３は、図１の要部を更に拡大した図であ
る。図１、図２及び図３において、９００（９０１，９
０２）は夫々図９，１０の９０（９０Ａ，９０Ｂ）に対
応する新たなセンタディスクであり、１００（１０１，
１０２）は夫々センタディスク９０１，９０２の周縁に
設けられた冷却フィンである。

【００２３】冷却フィン１００（１０１，１０２）は、
この例では中心穴１０３を持ち、ほぼ軸対称の円錐台状
の外形を持つ伝熱性材質の薄板からなり、この冷却フィ
ン１０１，１０２の円錐台の頂面１０５、及びこの頂面
１０５の周縁の曲面部１０４は、夫々図９，１０のセン
タディスク９０Ａ，９０Ｂの周縁の平面部９５，曲面部
９４に置換える形で、減摩フィルム９６を介しダイアフ
ラムの膜部７２（以後単に膜部７２と記載する）に圧接
するように構成されている。また前記円錐台状外形の錐
面（傾斜面）１０６には図２に示すように外周に沿っ
て、ブロワ−動作時に空気の攪拌効果を増すための複数
の切込部１０７が設けられているが、これは必須のもの
ではなく、破線のように一様な円形の外周としてもよ
い。

【００２４】上記冷却フィン１０１，１０２の材質とし
ては少なくとも合成樹脂より充分熱伝導性のよいもの、
例えば銅、アルミ、鉄、真鍮、青銅、ステンレス等の金
属、さらにはベリリア等の磁器であってもよい。また、
センタディスク９０１，９０２の材質としては、合成樹
脂（非伝熱材），金属（伝熱材）等の何れであってもよ
い。ポンプ動作時、膜部７２の特にセンタディスク周縁
部に集中して発生する熱はセンタディスク９００（９０
１，９０２）が非伝熱材の場合、矢印１０９に示す径路
で冷却フィン１０１，１０２内を外周方向に向いながら
周囲の空気に放散される。

【００２５】図４は、図３において図外の振動子枠によ
ってセンタディスク９０１，９０２が右方（矢印方向）
に駆動されたときの状態を示す。この図４から判るよう
に冷却フィン１０１と膜部７２に挟まれる空間（ほぼ破
線内）ＳＰ１，ＳＰ２の容積のポンプ動作中の変化は著
しく、この空間内の空気はダイアフラムの径大方向と径
小方向の間を激しく出入して攪拌され、この作用と冷却
フィン１０１，１０２のセンタディスク中心軸方向の往
復動作に基づく冷却フィン１０１，１０２の前記空間Ｓ
Ｐ１，ＳＰ２への対向面の逆側となる面の空気の流動攪
拌作用によって図３の矢印１０９の径路の放熱効果は高
く、これによりセンタディスク周縁部での膜部７２の周
囲空気に対する温度上昇は従来よりも著しく低減され
る。

【００２６】尚、図４において、冷却フィン１０１，１
０２の最大外径Ｄ２は、冷却フィン１０１，１０２の円
錐台状外形を形成する面内で、ポンプの動作中も常時膜
部７２を圧し続ける面の最大径Ｄ１の少なくとも１２０
％を越えるように選ばれ、冷却フィン１０１，１０２か
ら常時、自由空間に放熱可能に構成されている。これは
センタディスク９０１，９０２の外径Ｄ３が、通常前記
最大径Ｄ１の１２０％以内に選ばれており、外径Ｄ１と
Ｄ３との間では、膜部７２が冷却フィン側に接し得るか
らである。尚、冷却フィン１０１，１０２の最大外径は
互いに等しくある必要はない。

【００２７】センタディスク９０１，９０２が伝熱材の
場合、図３に示すように破線矢印１１０の径路による放
熱に、前述した冷却フィン１０１，１０２による実線矢
印１０９の径路の放熱が加わるが、冷却フィン１０１，
１０２は短い放熱径路で放熱面積を大きく稼げる構造
（即ち、冷却フィン１０１，１０２の両面で放熱され、
かつ放熱面積が外径の二乗に比例して増大する。但し、
切込部１０７の面積は放熱状況やポンプ効率に応じて可
変される）であるので、何れにせよ、センタディスク周
縁部の膜部７２の温度上昇を大きく低減させることがで
きる。

【００２８】図５は本発明の第２の実施例としてのダイ
アフラム部分の縦断面図、図６は図５の要部を更に拡大
した図である。図５，図６において９１０（９１１，９
１２）は冷却フィン１０１，１０２を同一の伝熱性材質
により一体として持つセンタディスクで、センタディス
ク９１１は、ほぼ図１におけるセンタディスク９０１と
振動子枠８側の冷却フィン１０１とを一体とした形状を
持ち、センタディスク９１２は、ほぼ図１におけるセン
タディスク９０２とポンプ側の冷却フィン１０２とを一
体とした形状を持っている。そしてセンタディスク９１
１，９１２はダイアフラム中心穴７１を経て相互に伝熱
良好に結合されている。この例ではポンプ効率の低下を
防ぐため、ポンプ側の冷却フィン１０２の最大外径Ｄ２
２は振動子枠８側の冷却フィン１０１の最大外径Ｄ２１
より小に構成されている。

【００２９】このように構成した場合、図１〜図３で示
した径路１０９による放熱が行われるが、ポンプ側セン
タディスク９１２の周囲空気の温度は振動子枠側（つま
り空気の吸入口側）のセンタディスク９１１の周囲空気
の温度より高く、従ってセンタディスク９１２の温度も
センタディスク９１１の温度より高くなる。これにより
センタディスク９１２から９１１へ向う破線矢印１１１
のような熱流が生じ、冷却フィン１０２の外径が小にな
ったことによる放熱効果の減少によるセンタディスク９
１２側の温度の増大を防ぐ方向に仂く。以上の実施例で
は冷却フィン１０１，１０２を膜部７２の両面に設ける
ものとしたが、膜部７２の片面のみに設けても有効であ
ることには変わりがない。

【００３０】また図５における冷却フィン１０１，１０
２に相当する部分の一部を本体側から機械的に分離し、
分離した部分と分離された部分（本体例）とを相互に伝
熱良好に結合しても本発明に包含される。

【００３１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、外周縁が
固定保持された、円形板状又は円環板状の膜部を持つダ
イアフラムの中央部の膜部両面をセンタディスクで挟
み、このセンタディスクを介してダイアフラムの膜面を
ダイアフラムの軸方向に往復振動させる構成を持つダイ
アフラムポンプにおいて、少なくともダイアフラム片面
側のセンタディスクの外周縁に、この部分の膜部からの
発熱を、同膜部の自由空間対向部分との間の空気の流動
作用をも充分受けて周囲空気に放散させる冷却フィンを
設けたため、従来のダイアフラムポンプの構造を大きく
変更することなくダイアフラムの最も屈曲が激しく発熱
の大きい部分を有効に冷却することができ、ダイアフラ
ムの熱的劣化を抑え、その寿命を向上させることができ
るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例のダイアフラム部分の構
成を示した縦断面図である。

【図２】図１の冷却フィン部分の側面図である。

【図３】図１の要部拡大図である。

【図４】図３のダイアフラムの駆動変形状態を示す図で
ある。

【図５】本発明の第２の実施例のダイアフラム部分の構
成を示した縦断面図である。

【図６】図５の要部の拡大図である。

【図７】従来の電磁式ブロワ−の全体的な構成を示した
縦断面図である。

【図８】図７の電磁式ブロワ−の平面図である。

【図９】図７の電磁式ブロワ−のダイアフラム部分の構
造を示した縦断面図である。

【図１０】図９の部分拡大図である。

【図１１】ダイアフラムの平面図である。

【図１２】図１１のＡ−Ａ断面図である。

【図１３】ポンプ動作時のダイアフラムの屈曲変形の説
明図である。

【図１４】ポンプ動作が行われていないときのダイアフ
ラムの状態説明図である。

【図１５】ポンプ動作時のダイアフラムの屈曲変形の説
明図である。

【符号の説明】

１ 電磁ブロワ−（ダイアフラ
ムポンプ） ５，６ ダイアフラム取付枠 ８ 振動子枠 １０，１１，１２，１３ 永久磁石 １４，１５ 電磁石 １８ コア架台 １９，２０ ポンプ ＰＦ ポンプフレ−ム ７０ ダイアフラム ７１ ダイアフラム中心穴 ７２ 膜部 ７３ 内径縁 ７４ 外径縁 ８１ 取付ネジ ９５ 平面部 ９６ 減摩フィルム １０１，１０２ 冷却フィン １０３ 冷却フィン中心穴 １０４ 曲面部 １０５ 頂面 １０６ 錐面 １０７ 切込部 １０９ 放熱経路 １１０ 放熱経路 １１１ 放熱経路 ９００（９０１，９０２） センタディスク ９１０（９１１，９１２） センタディスク ＢＤ 凸条 ＣＨ センタディスク中心穴

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ゴム状弾性材からなる円板状、ないしは
   円環板状の膜部を持ち、同膜部の外周縁は固定保持され
   るとともに、同膜部の中心側は同膜部の両面を、夫々膜
   部の外周縁の径より小さい最大径の外周縁を持つ剛性材
   からなる中央保持手段によって挟持されたダイアフラム
   を備え、この中央保持手段を前記膜部の中心軸方向に往
   復駆動し、このときのダイアフラムによって閉じられる
   空間の体積変化を利用して空気を圧送するダイアフラム
   ポンプにおいて、 前記ダイアフラム膜部の少なくとも一面側の前記中央保
   持手段のほぼ外周縁部分にて上記膜部を圧し得るととも
   に、その膜部の外周縁と同心で、且つ外周部が円形の加
   圧面と、外縁部の径がその加圧面の外周部の外径より大
   きく表裏両面が常時空間に開放される薄肉部分とを有す
   る伝熱材からなる冷却フィンを備えたことを特徴とする
   ダイアフラムポンプ。
2. 【請求項２】 ゴム状弾性材からなる円板状、ないしは
   円環板状の膜部を持ち、同膜部の外周縁は固定保持され
   るとともに、同膜部の中心側は同膜部の両面を、夫々同
   膜部の外周縁の径より小さい最大径の外周縁を持つ剛性
   材からなる中央保持手段によって挟持されたダイアフラ
   ムを備え、この中央保持手段を前記膜部の中心軸方向に
   往復駆動し、このときのダイアフラムによって閉じられ
   る空間の体積変化を利用して空気を圧送するダイアフラ
   ムポンプにおいて、 前記膜部の少なくとも一面側の前記中央保持手段の外周
   縁部の全周に亘り前記膜部を少なくとも圧し得る面領域
   部分を金属等の伝熱材で構成すると共に、表裏両面が常
   時空間に開放され、その外周縁の最大の外径が前記中央
   保持手段の外径より大きい薄肉部分を有する金属等の伝
   熱材からなり、且つ前記面領域部分と伝熱良好に結合さ
   れた冷却フィンを備えたことを特徴とするダイアフラム
   ポンプ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のダイアフラムポンプに
   おいて、 前記面領域部分が結合された中央保持手段と冷却フィン
   は同一材質で一体に形成されたものであることを特徴と
   するダイアフラムポンプ。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３の何れかに記載のダイ
   アフラムポンプにおいて、 冷却フィンの外周縁には、この外周縁に沿って複数の切
   込部が設けられたことを特徴とするダイアフラムポン
   プ。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４の何れかに記載のダイ
   アフラムポンプにおいて、 膜部の両面側の中央保持手段を共に金属等の伝熱材で構
   成し、かつ両者を伝熱良好に結合したことを特徴とする
   ダイアフラムポンプ。