JPH083512B2 - IC inspection system - Google Patents

IC inspection system

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JPH083512B2
JPH083512B2 JP61106975A JP10697586A JPH083512B2 JP H083512 B2 JPH083512 B2 JP H083512B2 JP 61106975 A JP61106975 A JP 61106975A JP 10697586 A JP10697586 A JP 10697586A JP H083512 B2 JPH083512 B2 JP H083512B2
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JP
Japan
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inspection
socket
information
socket board
identification information
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JP61106975A
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Inventor
利則 坂本
正明 望月
昌彦 平野
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日立電子エンジニアリング株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、IC(集積回路)の検査を行い、その検査
結果に応じて良品のICと不良品のICとの選別を行うため
のIC検査システムに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention is an IC for inspecting an IC (integrated circuit) and selecting good ICs from defective ICs according to the inspection result. Regarding inspection system.

[従来の技術] このようなIC検査システムの一例として、記憶内容を
消去可能なプログラマブルROM(EPROM,EEPROMなど)を
多数個同時に検査できるものがある。
[Prior Art] As an example of such an IC inspection system, there is an IC inspection system capable of simultaneously inspecting a large number of programmable ROMs (EPROM, EEPROM, etc.) capable of erasing stored contents.

このIC検査システムにあっては、複数のICソケットを
有するソケットボードが多数枚装着され、また、各ソケ
ットボードの各ICソケットに対応させてランプなどの表
示器が設けられている。装着された各ソケットボードの
ICソケットに挿着されたICが検査され、その検査の結果
は対応の表示器によって表示される。例えば、不良のIC
が挿着されたICソケットに対応した表示器だけが点灯す
る。
In this IC inspection system, a large number of socket boards each having a plurality of IC sockets are mounted, and an indicator such as a lamp is provided corresponding to each IC socket of each socket board. Of each mounted socket board
The IC inserted in the IC socket is inspected, and the result of the inspection is displayed on the corresponding display. For example, a bad IC
Only the display corresponding to the IC socket in which is attached lights up.

作業者は、その表示に基づいてICの良否を識別し、例
えば不良品のICだけをICソケットから抜き取って収納容
器へ収納した後、良品のICだけが挿着されたソケットボ
ードを取り外し、次に検査すべきICの挿着されたソケッ
トボードを改めて装着して検査を開始する。
The operator identifies the good or bad of the IC based on the display, for example, only the defective IC is extracted from the IC socket and stored in the storage container, then the socket board with only the good IC inserted is removed, and the next Then, the socket board on which the IC to be inspected is inserted is mounted again and the inspection is started.

[解決しようとする問題点] このように、ソケットボードを装着した状態で、不良
品のICと良品のICとの選別を行う必要があり、この選別
作業の間は検査動作を中断せざるをえない。
[Problems to be solved] As described above, it is necessary to sort defective ICs and non-defective ICs with the socket board mounted, and the inspection operation must be interrupted during this sorting operation. I can't.

しかるに、最近のように検査動作が高速化されると、
検査動作の時間に比較して選別のためのICの挿抜作業の
時間が長くなる。その結果、従来のIC検査システムは、
その稼働率が著しく低下するという問題があった。
However, when the inspection operation is accelerated as in recent years,
The time for inserting and removing ICs for sorting becomes longer than the time for inspection operation. As a result, the conventional IC inspection system
There was a problem that the operating rate was significantly reduced.

逆に、選別作業を連続的に行うことができず、検査動
作によって選別作業が中断される。また、検査だけを先
行して行って、検査済みのソケットボードを集積してお
き、その後都合のよい時に、手間のかかる選別作業を集
中的に行うというように、検査と選別とを切り離して行
うことができない。このように、従来のIC検査システム
は、検査・選別全体の能率も悪いという問題があった。
On the contrary, the sorting operation cannot be continuously performed, and the sorting operation is interrupted by the inspection operation. In addition, only the inspection is performed in advance, the socket boards that have been inspected are accumulated, and when it is convenient after that, the inspection work and the selection work are separately performed so that the time-consuming selection work is intensively performed. I can't. As described above, the conventional IC inspection system has a problem that the efficiency of the entire inspection / selection is poor.

[発明の目的] したがって、この発明の目的は、ICの検査と選別とを
並行して実行したり、切り離して実行できるようにし
て、システムの稼働率および検査・選別全体の能率の向
上を図ったIC検査システムを提供することにある。
[Object of the Invention] Therefore, an object of the present invention is to improve the operating rate of the system and the efficiency of the entire inspection / selection by enabling IC inspection and selection to be executed in parallel or separately. To provide the IC inspection system.

[問題点を解決するための手段] この目的を達成するために、この発明によればIC検査
システムは、ICソケットを有するソケットボードをそれ
ぞれ着脱可能な検査装置および選別装置と、検査の結果
の情報を記憶するための記憶装置を有し、 前記検査装置は、それに装着されたソケットボードに
固有の識別情報を検出する手段と、そのソケットボード
のICソケットに挿着されているICの検査を行う手段と、
その検査の結果の情報を前記識別情報によって決まる前
記記憶装置のアドレスに記憶させる手段とを有し、 前記選別装置は、それに装着されたソケットボードに
固有の識別情報を検出する手段と、その識別情報によっ
て決まる前記記憶装置のアドレスから検査結果の情報を
読み出す手段と、その読み出された検査結果の情報を表
示する手段とを有する構成とされる。
[Means for Solving Problems] In order to achieve this object, according to the present invention, an IC inspection system includes an inspection device and a sorting device to which a socket board having an IC socket can be attached and detached, respectively, and an inspection result Having a storage device for storing information, the inspection device, means for detecting the identification information unique to the socket board attached to it, and the inspection of the IC inserted in the IC socket of the socket board Means to do
Means for storing the information of the result of the inspection at the address of the storage device determined by the identification information, the sorting device, means for detecting the identification information unique to the socket board attached to it, and its identification It is configured to have a unit for reading out the inspection result information from the address of the storage device determined by the information, and a unit for displaying the read out inspection result information.

[作用] 検査装置に装着されたソケットボード上のICソケット
に挿着されたICの検査結果の情報は、そのソケットボー
ドに固有の、記憶装置のアドレスに記憶される。そのソ
ケットボードを検査装置から取り外しても、そのソケッ
トボードを再び検査装置に装着して検査を行わない限
り、その検査結果の情報は記憶装置に保存される。
[Operation] The information of the inspection result of the IC inserted into the IC socket on the socket board attached to the inspection device is stored in the address of the storage device, which is unique to the socket board. Even if the socket board is removed from the inspection device, the information of the inspection result is stored in the storage device unless the socket board is attached to the inspection device again to perform the inspection.

そして、ソケットボードを選別装置に装着すると、記
憶装置に記憶されている、そのICソケットに挿着されて
いるICの検査結果の情報が記憶装置から読み出されて表
示される。
Then, when the socket board is mounted on the sorting device, the information of the inspection result of the IC inserted in the IC socket, which is stored in the storage device, is read from the storage device and displayed.

したがって、検査を終えたソケットボードを検査装置
から取り外し、直ちに別のソケットボードを検査装置に
装着して検査を始めることができる。
Therefore, it is possible to remove the socket board that has been inspected from the inspection apparatus, immediately mount another socket board in the inspection apparatus, and start the inspection.

また、その検査動作と並行して、または、検査動作を
全く関係なく、検査済みのICが挿着されたソケットボー
ドを選別装置に装着し、その検査結果の情報に従って不
良品のICと良品のICとの選別を行うことができる。
In addition, in parallel with the inspection operation, or irrespective of the inspection operation, the socket board with the inspected IC is attached to the sorting device, and the defective IC and the non-defective product are classified according to the information of the inspection result. You can sort with IC.

このように、選別作業により検査動作が中断されるこ
とがなくなり、ソケットボードの着脱時を除いて検査動
作を連続的に実行させることができるため、この発明に
よるIC検査システムはその稼働率が従来のシステムより
も大幅に向上する。
In this way, the inspection operation is not interrupted by the sorting work, and the inspection operation can be continuously executed except when the socket board is attached or detached. The system is significantly improved.

また、検査と選別とを切り離して行うことができるた
め、例えば検査と並行して選別作業を連続的に行った
り、検査だけを先行して行って検査済みのソケットボー
ドを集積しておき、その後都合のよい時に、手間のかか
る選別作業を集中的に行うというような作業方法を採用
でき、検査・選別全体の能率を従来よりも向上できる。
Further, since the inspection and the sorting can be performed separately, for example, the sorting work is continuously performed in parallel with the inspection, or only the inspection is performed in advance and the socket boards that have been tested are accumulated, and then the It is possible to adopt a work method in which time-consuming sorting work is intensively performed at a convenient time, and the efficiency of the whole inspection / sorting can be improved more than ever.

[実施例] 以下、図面を参照し、この発明の一実施例について説
明する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は、この発明によるIC検査システムの一実施例
の概念的システム構成図である。この図に示されるよう
に、このIC検査システム10は、概念的には検査装置12、
記憶装置14および選別装置16からなり、それぞれが電気
的に接続されている。
FIG. 1 is a conceptual system configuration diagram of an embodiment of an IC inspection system according to the present invention. As shown in this figure, this IC inspection system 10 conceptually includes an inspection device 12,
The storage device 14 and the sorting device 16 are electrically connected to each other.

なお物理的には、これら各装置はそれぞれ独立のユニ
ットとして作られても、あるいは二つまたは全部が一つ
のユニットに集約されてもよい。さらに、これら各装置
を制御するための上位装置が設けられてもよい。
Physically, each of these devices may be formed as an independent unit, or two or all of them may be integrated into one unit. Furthermore, a host device for controlling each of these devices may be provided.

検査装置12は、その前面部にソケットボード18を20個
(これは一例である)着脱可能に装着できる。その着脱
機構は従来のEPROM検査装置のものと同様でよいので、
その説明および図示を省略する。同様に、選別装置16
も、その前面部にソケットボード18を1個(複数でもよ
い)着脱可能に装着できる。
The inspection device 12 can detachably mount 20 socket boards 18 (this is an example) on the front surface thereof. Since the attachment / detachment mechanism may be the same as that of the conventional EPROM inspection device,
The description and illustration thereof are omitted. Similarly, the sorting device 16
Also, one (or more than one) socket board 18 may be detachably attached to the front surface thereof.

第2図は、ソケットボード18の一例を示す概略平面図
である。図示のように、ソケットボード18は基板20の表
側に5個のICソケット22が配列して設けられている。
FIG. 2 is a schematic plan view showing an example of the socket board 18. As shown in the figure, the socket board 18 is provided with five IC sockets 22 arranged on the front side of the substrate 20.

また、基板20には、そのソケットボード18に固有の識
別情報(識別番号)を表す2進コードの、光学的に検出
可能なマーク24が付されている。このマーク24は具体的
には、例えば基板20の裏面に光学的パターンとして直接
的に印刷したり、同等のパターンを印刷したシールまた
はフエルトペンなどによって記入したシールを貼り付け
たり、反射率の良いシールを2進コードに対応して選択
的に貼り付けたり、表裏に貫通した孔を2進コードに対
応して選択的に形成するなどによって実現される。
The board 20 is provided with an optically detectable mark 24 which is a binary code representing identification information (identification number) unique to the socket board 18. Specifically, the mark 24 is, for example, directly printed on the back surface of the substrate 20 as an optical pattern, or a sticker printed with an equivalent pattern or a sticker filled with a felt pen or the like is attached, and the mark 24 has a high reflectance. It is realized by selectively attaching a seal corresponding to a binary code or selectively forming holes penetrating through the front and back sides corresponding to a binary code.

このような識別情報のマーク24を光学的に検出するた
めの光センサが、検査装置12および選別装置16の前面部
に配設されているが、第1図には示されていない(第3
図参照)。
An optical sensor for optically detecting the mark 24 of such identification information is arranged on the front surface of the inspection device 12 and the sorting device 16, but is not shown in FIG. 1 (third embodiment).
See figure).

また、選別装置16の前面部には、そこに装着されるソ
ケットボード18上の各ICソケット22に位置を対応させ
て、ランプ、発光ダイオードなどの表示器26(この例で
は5個)が配設されている。
Further, on the front surface of the sorting device 16, indicators 26 (five in this example) such as lamps and light emitting diodes are arranged in correspondence with the positions of the IC sockets 22 on the socket board 18 mounted therein. It is set up.

第3図は、前記の検査装置12,記憶装置14および選別
装置16の要部の機能的構成を簡略化して示す機能的ブロ
ック図である。
FIG. 3 is a functional block diagram showing a simplified functional structure of essential parts of the inspection device 12, the storage device 14 and the sorting device 16.

この図において、まず検査装置12について説明する。
30は一つのソケットボード18に対応するソケットボード
対応部であり、これは合計20個ある。いずれのソケット
ボード対応部30も同様の構成であって、ICソケット22と
接続するための5個のソケット32と、識別情報のマーク
24を検出するための前記光センサ34(この例ては4個)
とからなっている。
In this figure, the inspection device 12 will be described first.
Reference numeral 30 is a socket board corresponding portion corresponding to one socket board 18, and there are 20 in total. All the socket board corresponding parts 30 have the same structure, and five sockets 32 for connecting to the IC socket 22 and a mark of identification information.
The optical sensor 34 for detecting 24 (four in this example)
It consists of

各ソケットボード対応部30の各ソケット32は検査部36
に接続され、また各光センサ34はセンサ回路38に接続さ
れている。
Each socket 32 of each socket board corresponding part 30 has an inspection part 36
, And each photosensor 34 is connected to a sensor circuit 38.

40は検査結果の情報の記憶アドレス情報を保持すため
のレジスタであり、その記憶アドレス情報はセンサ回路
38から入力される。
Reference numeral 40 is a register for holding the storage address information of the inspection result information, and the storage address information is the sensor circuit.
Input from 38.

42は制御部である。この制御部42によって、前記の検
査部36、センサ回路38およびレジスタ40が制御される。
また、記憶装置14に対する検査結果情報の書込み要求
が、この制御部42より出される。41は検査装置12に設け
られたスタートスイッチであり(第1図には示されてい
ない)、これを押下することによってスタート信号を制
御部42に与えることができる。
42 is a control unit. The control unit 42 controls the inspection unit 36, the sensor circuit 38, and the register 40.
Further, the controller 42 issues a request for writing the inspection result information to the storage device 14. Reference numeral 41 is a start switch provided in the inspection device 12 (not shown in FIG. 1), and by pressing this switch, a start signal can be given to the control unit 42.

次に選別装置16について説明する。44はソケットボー
ド18の識別情報のマーク24を検出するための前記光セン
サであって、この例では5個ある。各光センナ44はセン
サ回路46に接続されている。
Next, the sorting device 16 will be described. Reference numeral 44 denotes the optical sensor for detecting the mark 24 of the identification information of the socket board 18, and there are five optical sensors in this example. Each optical senna 44 is connected to a sensor circuit 46.

48はセンサ回路46から出力される検査結果情報の読み
出しアドレス情報を保持するためのレジスタである。50
は妥当な記憶アドレス情報がセンサ回路46から出力され
たときに、読み出し要求を記憶装置14に対して送る読み
出し要求回路である。
Reference numeral 48 is a register for holding the read address information of the inspection result information output from the sensor circuit 46. 50
Is a read request circuit that sends a read request to the storage device 14 when valid storage address information is output from the sensor circuit 46.

52は記憶装置14から出力された検査結果の情報に従っ
て表示器26を駆動する表示回路である。
Reference numeral 52 is a display circuit that drives the display device 26 in accordance with the inspection result information output from the storage device 14.

記憶装置14について説明する。54は情報を記憶するた
めのメモリ回路である。56はメモリ回路54に対する書込
み情報を保持するためのレジスタであり、この場合は書
込み情報は検査装置12から送られる検査結果の情報であ
る。58はメモリ回路54にデータを読み書きするためのア
ドレス情報を保持するためのレジスタであり、そのアド
レス情報はマルチプレクサ60を介してレジスタ40または
48から入力される。62はメモリ回路54から読み出された
情報を保持するためのレジスタである。46は検査装置12
および選別回路16からの要求に応じてマルチプレクサ60
およびメモリ回路54を制御する制御回路である。
The storage device 14 will be described. 54 is a memory circuit for storing information. Reference numeral 56 is a register for holding write information for the memory circuit 54, and in this case, the write information is information on the inspection result sent from the inspection device 12. Reference numeral 58 is a register for holding address information for reading / writing data from / to the memory circuit 54. The address information is transferred to the register 40 or the register 40 via the multiplexer 60.
Input from 48. Reference numeral 62 is a register for holding the information read from the memory circuit 54. 46 is the inspection device 12
And multiplexer 60 as required by the sorting circuit 16
And a control circuit for controlling the memory circuit 54.

次に、このIC検査システム10における検査動作および
選別動作について説明する。
Next, the inspection operation and the selection operation in this IC inspection system 10 will be described.

まず検査動作について説明する。ICを挿着したソケッ
トボード18を検査装置12の前面部に装着してスタートス
イッチ41を押下すると、制御部42は検査動作を開始させ
る。
First, the inspection operation will be described. When the socket board 18 with the IC inserted therein is mounted on the front surface of the inspection device 12 and the start switch 41 is pressed, the control unit 42 starts the inspection operation.

1番目のソケットボード対応部30が制御部42によって
選択され、対応するソケットボード18のICソケット22に
挿着されているICが検査部36によって検査される。ま
た、その選択されたソケットボード対応部30の光センサ
34の出力信号(つまり対応したソケットボード18の識別
情報の検出信号)がセンサ回路38によって選択され、そ
の識別情報そのもの(または、適当な2進数を加算した
もの)がアドレス情報としてセンサ回路38より出力され
る。
The first socket board corresponding portion 30 is selected by the control portion 42, and the IC inserted in the IC socket 22 of the corresponding socket board 18 is inspected by the inspection portion 36. Also, the optical sensor of the selected socket board corresponding part 30
The output signal of 34 (that is, the detection signal of the identification information of the corresponding socket board 18) is selected by the sensor circuit 38, and the identification information itself (or an addition of an appropriate binary number) is used as address information from the sensor circuit 38. Is output.

1番目のソケットボード対応部30に対応したソケット
ボード18に挿着されたICの検査が終わると、そのソケッ
トボード18に挿着された5個のICの良否を示す5ビット
の検査結果情報が検査部36より出力される。制御部42か
らレジスタ40にロード信号が送られて、センサ回路38か
ら出力されているアドレス情報がレジスタ40にセットさ
れる。次に制御部42から記憶装置14に対する書込み要求
信号が出される。
When the inspection of the ICs attached to the socket board 18 corresponding to the first socket board corresponding portion 30 is completed, 5-bit inspection result information indicating the quality of the five ICs attached to the socket board 18 is displayed. It is output from the inspection unit 36. A load signal is sent from the control unit 42 to the register 40, and the address information output from the sensor circuit 38 is set in the register 40. Next, the control unit 42 issues a write request signal to the storage device 14.

この書込み要求信号に対応して、記憶装置14の制御回
路64は検査結果の情報をレジスタ56にセットさせ、また
マルチプレクサ60を検査装置12側に切り換えて、レジス
タ40に保持されているアドレス情報をレジスタ58にセッ
トさせる。そして制御回路64はメモリ回路54を書込みモ
ードで動作させ、1番目のソケットボード18に挿着され
ているICの検査結果の情報を、そのソケットボード18に
固有のアドレスに記憶させる。
In response to this write request signal, the control circuit 64 of the memory device 14 sets the information of the inspection result in the register 56, switches the multiplexer 60 to the inspection device 12 side, and changes the address information held in the register 40. The register 58 is set. Then, the control circuit 64 operates the memory circuit 54 in the write mode to store the information of the inspection result of the IC inserted in the first socket board 18 in the unique address of the socket board 18.

なお、制御回路64は、検査装置12および選別装置16の
両方から同時に要求を受けた場合、検査装置12からの要
求を優先して受け付ける。
When the control circuit 64 receives requests from both the inspection device 12 and the sorting device 16 at the same time, the control circuit 64 preferentially receives the request from the inspection device 12.

このようにして、1番目のソケットボード18に関連し
た検査結果情報の書込みを終わると、制御部42は2番目
のソケットボード対応部30を選択し、同様の制御を行
い、対応する2番目のソケットボード18に挿着されたIC
の検査結果の情報を記憶装置14に記憶させる。
In this way, when the writing of the inspection result information related to the first socket board 18 is completed, the control unit 42 selects the second socket board corresponding unit 30 and performs the same control, and the corresponding second IC attached to socket board 18
The information of the inspection result of (1) is stored in the storage device (14).

以下同様にして、最後のソケットボード対応回路30に
対応したソケットボード18に関する動作を終わると、検
査部42は検査動作を停止させ、その完了を検査装置12に
設けられている表示器など(図示されていない)によっ
て作業者に知らせる。
Similarly, when the operation relating to the socket board 18 corresponding to the last socket board corresponding circuit 30 is completed, the inspection unit 42 stops the inspection operation, and the completion thereof is indicated by an indicator or the like provided in the inspection device 12 (shown in the figure. Notify the worker).

作業者は、その終了表示を確認すれば、ICの選別作業
を行うことなく、直ちに装着されているソケットボード
18を取り外し、新たに検査すべきICを挿着したソケット
ボード18を検査装置12に装着し、その検査を開始させる
ことができる。このように、検査動作が中断されるのは
ソケットボードの交換時間だけとなるため、このIC検査
システム10の稼働率は従来システムよりも大幅に向上す
る。
If the operator confirms the completion display, the socket board installed immediately without performing IC sorting work.
It is possible to remove the 18 and mount the socket board 18 on which an IC to be inspected newly is inserted in the inspecting device 12 to start the inspection. As described above, the inspection operation is interrupted only for the time to replace the socket board, so that the operation rate of the IC inspection system 10 is significantly improved as compared with the conventional system.

このような検査動作と並行して、または切り離して、
ICの選別を行うことができる。この選別動作について説
明する。
In parallel with such inspection operation, or separated,
IC can be selected. This sorting operation will be described.

検査済みのソケットボード18を選別装置16の前面部に
装着すると、その識別情報のマーク24が光センサ44によ
って検出され、その識別情報に対応した検出信号がセン
サ回路46に入力される。その結果、そん識別情報そのも
の(または適当な2進数を加算したもの)がアドレス情
報としてセンサ回路46から出力される。そのアドレス情
報が妥当な情報であれば、読み出し要求回路50からレジ
スタ48に対するロード信号が送出され、そのアドレス情
報がレジスタ48にセットされる。その直後に、記憶装置
14に対する読み出し要求信号が読み出し要求回路50から
送出される。
When the tested socket board 18 is mounted on the front surface of the sorting device 16, the mark 24 of the identification information is detected by the optical sensor 44, and the detection signal corresponding to the identification information is input to the sensor circuit 46. As a result, the identification information itself (or the sum of appropriate binary numbers) is output from the sensor circuit 46 as address information. If the address information is valid information, the read request circuit 50 sends a load signal to the register 48, and the address information is set in the register 48. Immediately after that, the storage device
A read request signal for 14 is sent from the read request circuit 50.

この読み出し要求に応答して、記憶装置14の制御回路
64はマルチプレクサ60をレジスタ48側に切り換えてレジ
スタ58にロード信号を送ることにより、レジスタ48に保
持されているアドレス情報をレジスタ58にセットさせ
る。次に制御回路64はメモリ回路54を読み出しモードで
動作させ、レジスタ62に対してロード信号を与えて読み
出し情報をレジスタ62にセットさせる。
In response to the read request, the control circuit of the storage device 14
The multiplexer 64 switches the multiplexer 60 to the register 48 side and sends a load signal to the register 58 to set the address information held in the register 48 in the register 58. Next, the control circuit 64 operates the memory circuit 54 in the read mode and gives a load signal to the register 62 to set the read information in the register 62.

このようにして、選別装置16に装着されているソケッ
トボード18に対応した検査結果の情報が記憶装置14から
読み出され、その情報に応じて表示回路52により表示器
26が駆動される。例えば、不良品のICに対応する表示器
26だけが発光させられる。
In this way, the information of the inspection result corresponding to the socket board 18 mounted on the sorting device 16 is read from the storage device 14, and the display circuit 52 displays the information according to the information.
26 is driven. For example, the display corresponding to the defective IC
Only 26 can fire.

作業者は、その表示から不良品と良品とICを識別でき
るから、不良品と良品とを区別してICソケット22から抜
き、容器などに分別して収容することができる。
Since the worker can distinguish the defective product from the good product and the IC from the display, the defective product and the good product can be distinguished from each other, pulled out from the IC socket 22, and separately stored in a container or the like.

このような選別作業は検査動作と並行して、検査動作
によって中断されることなく、連続的に行うことができ
る。
Such a sorting operation can be continuously performed in parallel with the inspection operation without being interrupted by the inspection operation.

また、ソケットボード18に挿着されたICの検査結果の
情報は、そのソケットボード18に固有のアドレスに記憶
されるため、その検査結果情報は同じソケットボード18
が検査装置12に装着されるまで保存される。したがっ
て、検査済みのソケットボード18をICを装着したまま集
積しておき、検査と関係なく、都合のよい時に、そのソ
ケットボード18を選別装置16に装着して良品と不良品の
ICの選別作業を行うことができる。
Further, since the information of the inspection result of the IC inserted in the socket board 18 is stored in the address unique to the socket board 18, the inspection result information is the same.
Are stored until they are attached to the inspection device 12. Therefore, the socket boards 18 that have been inspected are integrated with the ICs attached, and regardless of the inspection, the socket boards 18 are attached to the sorting device 16 at a convenient time to determine whether the ICs are good or bad.
IC selection work can be performed.

以上、一実施例について説明したが、この発明はそれ
だけに限定されるものではない。
Although one embodiment has been described above, the present invention is not limited to this.

例えば、選別装置を複数台設けたり、あるいは同時に
複数枚のソケットボードを選別装置に同時に装着し、そ
れぞれの検査結果情報を表示できるようにしてもよい。
そのようにすれば、複数の作業者によって同時に選別作
業を行うことができ、選別作業の能率を一層改善でき
る。なお、そのような変形は当業者であれば以上の説明
から容易に実現できるであろうから、その具体例は提示
しない。
For example, a plurality of sorting devices may be provided, or a plurality of socket boards may be simultaneously attached to the sorting device so that the inspection result information of each can be displayed.
By doing so, the sorting work can be simultaneously performed by a plurality of workers, and the efficiency of the sorting work can be further improved. It should be noted that since such modifications can be easily realized by those skilled in the art from the above description, specific examples thereof will not be presented.

また、ソケットボードに設けられるICソケットの個数
や識別情報の表示方法、識別情報の検出手段、検査結果
情報の表示手段なども適宜変更してよい。
Further, the number of IC sockets provided on the socket board, the method of displaying the identification information, the means for detecting the identification information, the means for displaying the inspection result information, and the like may be appropriately changed.

これ以外にも、この発明は、その要旨を逸脱しない範
囲内で種々変形して実施し得るものである。
In addition to this, the present invention can be variously modified and implemented within the scope of the invention.

[発明の効果] 以上説明したように、この発明によれば、IC検査シス
テムはICソケットを有するソケットボードをそれぞれ着
脱可能な検査装置および選別装置と、検査の結果の情報
を記憶するための記憶装置を有し、前記検査装置は、そ
れに装着されたソケットボードに固有の識別情報を検出
する手段と、そのソケットボードのICソケットに挿着さ
れているICの検査を行う手段と、その検査の結果の情報
を前記識別情報によって決まる前記記憶装置のアドレス
に記憶させる手段とを有し、前記選別装置は、それに装
着されたソケットボードに固有の識別情報を検出する手
段と、その識別情報によって決まる前記記憶装置のアド
レスから検査の結果の情報を読み出す手段と、その読み
出された検査結果の情報を表示する手段とを有する構成
とされるから、選別作業により検査動作が中断されるこ
とがなく、また検査と選別とを切り離して行うことがで
きるようになる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, an IC inspection system has an inspection device and a sorting device to which a socket board having an IC socket can be attached and detached respectively, and a memory for storing information of inspection results. The inspection device has a device, a means for detecting identification information unique to the socket board attached to the device, a means for inspecting the IC inserted in the IC socket of the socket board, and the inspection Means for storing the resulting information at an address of the storage device determined by the identification information, and the selection device is determined by the means for detecting the identification information unique to the socket board attached to the selection device and the identification information. It is configured to have means for reading out information on the inspection result from the address of the storage device and means for displaying the information on the read-out inspection result. From without testing operation by selection operation is interrupted, and it is possible to perform separately a screening inspection.

したがって、この発明によれば、システム稼働率およ
び検査・選別全体の能率の高いIC検査システムを実現で
きる。
Therefore, according to the present invention, it is possible to realize an IC inspection system having a high system operation rate and high efficiency of the entire inspection and selection.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、この発明によるIC検査システムの一実施例を
示す概念的システム構成図、第2図はソケットボードの
一例を示す概略平面図、第3図は検査装置、記憶装置お
よび選別装置の要部の機能的構成を簡略化して示す機能
的ブロック図である。 12…検査装置、14…記憶装置、16…選別装置、18…ソケ
ットボード、22…ICソケット、24…識別情報のマーク、
26…表示器、34…光センサ、36…検査部、38…センサ回
路、42…制御部、44…光センサ、46…センサ回路、50…
読み出し要求回路、52…表示回路。
FIG. 1 is a conceptual system configuration diagram showing an embodiment of an IC inspection system according to the present invention, FIG. 2 is a schematic plan view showing an example of a socket board, and FIG. 3 shows an inspection device, a storage device and a sorting device. It is a functional block diagram which simplifies and shows the functional composition of an important section. 12 ... Inspection device, 14 ... Storage device, 16 ... Sorting device, 18 ... Socket board, 22 ... IC socket, 24 ... Identification information mark,
26 ... Display unit, 34 ... Optical sensor, 36 ... Inspection unit, 38 ... Sensor circuit, 42 ... Control unit, 44 ... Optical sensor, 46 ... Sensor circuit, 50 ...
Read request circuit, 52 ... Display circuit.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ICソケットを有するソケットボードをそれ
ぞれ着脱可能な検査装置および選別装置と、検査の結果
の情報を記憶するための記憶装置を有し、 前記検査装置は、それに装着されたソケットボードに固
有の識別情報を検出する手段と、そのソケットボードの
ICソケットに挿着されているICの検査を行う手段と、そ
の検査の結果の情報を前記識別情報によって決まる前記
記憶装置のアドレスに記憶させる手段とを有し、 前記選別装置は、それに装着されたソケットボードに固
有の識別情報を検出する手段と、その識別情報によって
決まる前記記憶装置のアドレスから検査結果の情報を読
み出すための手段と、その読み出された検査結果の情報
を表示する手段とを有することを特徴とするIC検査シス
テム。
1. An inspection device and a selection device to which a socket board having an IC socket can be attached and detached, respectively, and a storage device for storing information of inspection results, wherein the inspection device is mounted on the socket board. To detect the identification information unique to the socket board and its socket board
It has means for inspecting the IC inserted in the IC socket, and means for storing information on the result of the inspection at the address of the storage device determined by the identification information, and the sorting device is attached to it. Means for detecting identification information unique to the socket board, means for reading out information on the inspection result from the address of the storage device determined by the identification information, and means for displaying information on the read-out inspection result IC inspection system characterized by having.
【請求項2】検査装置は複数のソケットボードを装着可
能であり、装着された各ソケットボードのICソケットに
挿着されているICの検査の結果の情報は、その各ソケッ
トボードに固有の識別情報によって決まる記憶装置のア
ドレスにそれぞれ記憶されるようにしてなる特許請求の
範囲第1項記載のIC検査システム。
2. The inspection device is capable of mounting a plurality of socket boards, and the information on the inspection results of the ICs inserted in the IC sockets of the mounted socket boards is unique to each socket board. The IC inspection system according to claim 1, wherein the IC inspection system is configured to be stored at addresses of a storage device determined by information.
【請求項3】ソケットボードに固有の識別情報は光学的
に検出可能に、そのソケットボードに表示され、その識
別情報は識別情報検出のための手段によって光学的に読
み取られるようにしてなる特許請求の範囲第1項または
第2項に記載のIC検査システム。
3. The identification information unique to the socket board is optically detectable and is displayed on the socket board, and the identification information is optically read by a means for detecting the identification information. The IC inspection system according to item 1 or item 2 in the range.
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