JPH0834876A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

Info

Publication number
JPH0834876A
JPH0834876A JP16950894A JP16950894A JPH0834876A JP H0834876 A JPH0834876 A JP H0834876A JP 16950894 A JP16950894 A JP 16950894A JP 16950894 A JP16950894 A JP 16950894A JP H0834876 A JPH0834876 A JP H0834876A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
black
pseudo
photosensitive resin
resin composition
composition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16950894A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Munehiro Hatai
宗宏 畠井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Priority to JP16950894A priority Critical patent/JPH0834876A/en
Publication of JPH0834876A publication Critical patent/JPH0834876A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce the transmittance by incorporating an electrolyte into a pseudo-black photosensitive resin composition. CONSTITUTION:In a ball mill, a dispersant comprising a surfactant such as a polyoxyethylene alkylphenyl ether is mixed with water and then with each pigment in a specific amount to form a dispersion, thus producing each coloring composition. At least two of the black, red, green, purple and yellow coloring compositions are mixed at a specific ratio to form a pseudo-black composition. The pseudo-black composition is then mixed with a binder resin, such as an arylic resin or polyacrylamide, and a photo-crosslinking agent comprising, e.g. p-diazophenylamine in an amount of about 1-30wt.% based on the binder resin to produce a pseudo-black photosensitive resin composition. This composition is mixed with at most about 10wt.%, especially pref. about 0.05-2wt.%, electrolyte such as NaCl to provide a pseudo-black photosensitive resin composition reduced in transmittance.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタを作製
するために用いる擬似黒色化感光性樹脂組成物、特に、
ブラックマトリクスを作製するための擬似黒色化感光性
樹脂組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a pseudo blackening photosensitive resin composition used for producing a color filter, and more particularly,
The present invention relates to a pseudo-blackening photosensitive resin composition for producing a black matrix.

【0002】[0002]

【従来の技術】感光性樹脂組成物(レジスト)に顔料を
分散させたカラーレジストとしては、特開平4−63870
号公報に記載のものがある。これは、通常の着色カラー
レジストと同様に透明基盤上にレジストをスピンコータ
ー等の方法により塗膜し、これをフォトリソグラフィー
法を用いてパターンを形成させて得られたもの、即ち、
カラーレジスト型ブラックマトリクスである。
2. Description of the Related Art A color resist in which a pigment is dispersed in a photosensitive resin composition (resist) is disclosed in JP-A-4-63870.
There is one described in the publication. This is obtained by coating a resist on a transparent substrate by a method such as a spin coater in the same manner as an ordinary colored color resist, and then forming a pattern using the photolithography method, that is,
It is a color resist type black matrix.

【0003】上記カラーレジスト型ブラックマトリクス
は遮光性であるため、フォトリソグラフィー法を用いて
パターンを形成するときに、塗膜中の光反応部位におけ
る光量が少なくなり架橋効率が低くなる。そして、光架
橋に必要な光量が得られなければ、パターンが現像時に
溶解し、剥がれてしまうという問題点がある。また、光
架橋効率が低くなれば(低架橋効率のカラーレジス
ト)、カラーフィルタのパターンを形成するために必要
な露光量が大きくなる結果、パターンを形成するために
相当の時間を要する(露光量は露光時間に比例するから
である)という問題点が生じる。このことは、遮光性が
高くなればなるほど、即ち、透過率を下げれば下げるほ
ど顕著になり、通常のブラックカラーレジストは着色カ
ラーレジストの3〜10倍の露光量を必要とする。
Since the color resist type black matrix has a light-shielding property, when a pattern is formed by the photolithography method, the amount of light at the photoreactive site in the coating film is small and the crosslinking efficiency is low. If the amount of light required for photocrosslinking is not obtained, the pattern will be dissolved during development and peeled off. Further, if the photocrosslinking efficiency is low (color resist having low crosslinkage efficiency), the exposure amount required for forming the pattern of the color filter becomes large, so that it takes a considerable time to form the pattern (exposure amount is Is proportional to the exposure time). This becomes more remarkable as the light-shielding property becomes higher, that is, as the transmittance is lowered, and a normal black color resist requires an exposure amount 3 to 10 times that of a colored color resist.

【0004】一方、透過率を上げれば、光架橋効率は向
上するが、遮光性が低下するので、遮光性カラーレジス
トの目的であるコントラストの向上には適切でない。
On the other hand, if the transmittance is increased, the photocrosslinking efficiency is improved, but the light-shielding property is deteriorated, so that it is not suitable for the purpose of improving the contrast which is the purpose of the light-shielding color resist.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
に鑑み、遮光性は落とさずに、低露光量によりブラック
マトリクスを作製することが可能な感光性樹脂組成物を
提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention aims to provide a photosensitive resin composition capable of producing a black matrix with a low exposure amount without lowering the light-shielding property. And

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
に基づいて鋭意研究を行った結果、以下に述べる感光性
樹脂組成物を開発することに成功し、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明は、黒、赤、緑、紫、黄の顔料
から少なくとも2種類以上を用いて調製した擬似黒色化
感光性樹脂組成物において、該感光性樹脂組成物が電解
質物質を含んでなることを特徴とする擬似黒色化感光性
着色組成物である。
As a result of intensive research based on the above problems, the present inventors succeeded in developing the photosensitive resin composition described below, and completed the present invention. It was That is, the present invention provides a pseudo-blackening photosensitive resin composition prepared by using at least two kinds of pigments of black, red, green, purple and yellow, wherein the photosensitive resin composition contains an electrolyte substance. This is a pseudo-blackening photosensitive coloring composition.

【0007】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
擬似黒色化感光性樹脂組成物は、以下のようにして調製
される。黒、赤、緑、紫、黄の顔料から少なくとも2種
類を選び、各色を個々に分散剤を用いて水中に分散させ
る。用いる黒色の顔料の例としては、カーボンブラッ
ク、アセチレンブラック、アイボリーブラック、黒鉛、
アニリンブラック、ミネラルブラック、鉄黒、チタンブ
ラック、シアニンブラック等が挙げられる。赤色の顔料
としては、べんがら、鉛丹、銀朱、カドミウムレッド、
アンチモン朱等の無機顔料、パーマネントレッド、クロ
モフタールレッド、キナクリドンレッド、チオインジゴ
レッド等の有機顔料等が挙げられる。青色の顔料として
は、群青、紺青、コバルトブルー、セルリアンブルー等
の無機顔料、フタロシアニンブルー、インダスレンブル
ー、インジゴ等の有機顔料が挙げられる。緑色の顔料と
しては、クロムグリーン、ビリジアン、エメラルドグリ
ーン、コバルトグリーン、ジンクグリーン等の無機顔
料、ナフトールグリーン、フタロシアニングリーン等の
有機顔料が挙げられる。紫色の顔料としては、コバルト
紫、マンガン紫等の無機顔料、ジオキサジンヴァイオレ
ット、インダスレンブリリアントヴァイオレット等の有
機顔料が挙げられる。黄色の顔料としては、黄鉛、亜鉛
黄、カドミウムイエロー、クロム酸バリウム、チタン
黄、鉛シアナミド等の無機顔料、ジスアゾイエロー、ナ
フトールイエロー、ハンザイエロー、ベンジジンイエロ
ー、パーマネントイエロー、バルカンファストイエロ
ー、クロモフタールイエロー、キノリンイエロー、アン
スラゲンイエロー、アンスラピリジンイエロー等の有機
顔料が挙げられる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The pseudo-blackening photosensitive resin composition of the present invention is prepared as follows. At least two types are selected from black, red, green, violet and yellow pigments, and each color is individually dispersed in water by using a dispersant. Examples of black pigments used include carbon black, acetylene black, ivory black, graphite,
Examples include aniline black, mineral black, iron black, titanium black, cyanine black and the like. Examples of red pigments include red iron oxide, red lead, silver vermilion, cadmium red,
Examples thereof include inorganic pigments such as antimony vermilion, organic pigments such as permanent red, chromophthal red, quinacridone red, and thioindigo red. Examples of blue pigments include inorganic pigments such as ultramarine blue, navy blue, cobalt blue, and cerulean blue, and organic pigments such as phthalocyanine blue, indanthrene blue, and indigo. Examples of green pigments include inorganic pigments such as chrome green, viridian, emerald green, cobalt green and zinc green, and organic pigments such as naphthol green and phthalocyanine green. Examples of purple pigments include inorganic pigments such as cobalt purple and manganese purple, and organic pigments such as dioxazine violet and indanthrene brilliant violet. Yellow pigments include yellow lead, zinc yellow, cadmium yellow, barium chromate, titanium yellow, lead cyanamide, and other inorganic pigments, disazo yellow, naphthol yellow, hansa yellow, benzidine yellow, permanent yellow, balkan fast yellow, chromov. Examples include organic pigments such as tar yellow, quinoline yellow, anthragen yellow, and anthrapyridine yellow.

【0008】使用する分散剤としては、カチオン性界面
活性剤、アニオン性界面活性剤、両性界面活性剤等のイ
オン性界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテ
ル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビ
タンアルキルエステル類、ポリオキシエチレンソルビタ
ンアルキルエステル類等のノニオン性界面活性剤、各種
水溶性ポリマーがある。水中に顔料を分散させるために
使用する界面活性剤としては、親水性の高い、即ち、H
LB価の高い(14以上)界面活性剤が好ましい。
Examples of the dispersant to be used include cationic surfactants, anionic surfactants, ionic surfactants such as amphoteric surfactants, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, sorbitan alkyl. There are nonionic surfactants such as esters and polyoxyethylene sorbitan alkyl esters, and various water-soluble polymers. The surfactant used to disperse the pigment in water is highly hydrophilic, that is, H
A surfactant having a high LB value (14 or more) is preferable.

【0009】カチオン性界面活性剤の例としては、脂肪
族アミン類、第4アンモニウム塩類、アルキルピリジウ
ム塩類等が挙げられる。アニオン性界面活性剤の例とし
ては、脂肪酸塩類、硫酸エステル類、スルホン酸塩類、
燐酸エステル類等が挙げられる。両性界面活性剤の例と
しては、アミノ酸塩類等が挙げられる。
Examples of the cationic surfactant include aliphatic amines, quaternary ammonium salts, alkylpyridinium salts and the like. Examples of anionic surfactants include fatty acid salts, sulfates, sulfonates,
Examples thereof include phosphoric acid esters. Examples of the amphoteric surfactant include amino acid salts and the like.

【0010】水溶性ポリマーの例として、ブチラール樹
脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ア
クリル酸、メタクリル酸、2−ヒドロキシエチルアクリ
レート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒ
ドロキシプロピルメタクリレート等の重合体若しくは共
重合体からなるアクリル樹脂、ポリアクリルアミド等が
挙げられる。
Examples of water-soluble polymers are polymers or copolymers of butyral resin, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, acrylic acid, methacrylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate and the like. Examples of the acrylic resin include polyacrylamide.

【0011】上記分散剤を水と混合し、顔料を分散させ
る。顔料を分散するには、市販のサンドミル、ボールミ
ル、ホモジナイザー等が使用される。顔料を分散した各
色の着色組成物を適当な割合で混合し、擬似黒色化す
る。擬似黒色化するには、補色の関係にある色同士を混
合すればよく、かかる混合(減法混色)によりほとんど
黒に近い色となり、その後の色の微調整を他の色で行う
ことができる。
The above dispersant is mixed with water to disperse the pigment. A commercially available sand mill, ball mill, homogenizer, or the like is used to disperse the pigment. The coloring compositions of the respective colors in which the pigments are dispersed are mixed at an appropriate ratio to give a pseudo black color. In order to obtain a pseudo black color, it is only necessary to mix colors having a complementary color relationship, and by such mixing (subtractive color mixture), a color close to black is obtained, and subsequent fine adjustment of the color can be performed with another color.

【0012】得られた黒色組成物に感光性ポリマーを加
える。感光性ポリマーとしては、バインダー樹脂と光架
橋剤が組み合わされて用いられる。バインダー樹脂の例
としては、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリド
ン、アクリル酸、メタクリル酸、2−ヒドロキシエチル
アクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、
2−ヒドロキシプロピルメタクリレート等の重合体若し
くは共重合体からなるアクリル樹脂、ポリアクリルアミ
ド等が挙げられる。
A photosensitive polymer is added to the obtained black composition. As the photosensitive polymer, a binder resin and a photocrosslinking agent are used in combination. Examples of the binder resin include polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, acrylic acid, methacrylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate,
Examples thereof include acrylic resins and polyacrylamides made of polymers or copolymers such as 2-hydroxypropyl methacrylate.

【0013】光架橋剤の例としては、ジアゾ化合物、ア
ジド化合物等が好ましく用いられる。本発明におけるジ
アゾ化合物とは、1分子中に1個、好ましくは2個以上
のジアゾ塩を有するものをいい、好ましくは芳香族系ジ
アゾ化合物が用いられる。この具体例として、p−ジア
ゾジフェニルアミン、2,5−ジメトキシ−4−p−ト
リルメルカプトンベンゼンジアゾニウムまたは2,5−
ジメトキシ−4−モルホリノベンゼンジアゾニウムとホ
ルムアルデヒドとの縮合物が挙げられる。
As examples of the photo-crosslinking agent, diazo compounds and azide compounds are preferably used. The diazo compound in the present invention means one having one diazo salt, preferably two or more diazo salts in one molecule, and preferably an aromatic diazo compound is used. Specific examples of this include p-diazodiphenylamine, 2,5-dimethoxy-4-p-tolylmercaptonbenzenediazonium or 2,5-
A condensate of dimethoxy-4-morpholinobenzenediazonium and formaldehyde can be mentioned.

【0014】本発明においてアジド化合物とは、1分子
中に1個好ましくは2個以上のアジド塩を有するものを
いう。アジド化合物は、通常スルホン酸またはスルホン
酸塩の形で用いられる。4,4−ジアジドスツルベン−
2,2’−ジスルホン酸ナトリウム、2,6−ビス(4
−アジドベンザール)アセトン2−スルホン酸、2,6
−ビス(4−アジドベンザール)アセトン2,2’−ジ
スルホン酸、2,6−ビス(4−アジドベンザール)シ
クロヘキサノン−2,2’−ジスルホン酸、2,6−ビ
ス(4−アジドベンザール)メチルシクロヘキサノン−
2,2’−ジスルホン酸等が挙げられる。
In the present invention, the azide compound means one having one, preferably two or more azide salts in one molecule. The azide compound is usually used in the form of sulfonic acid or sulfonate. 4,4-diazido sturben-
Sodium 2,2'-disulfonate, 2,6-bis (4
-Azidobenzal) acetone 2-sulfonic acid, 2,6
-Bis (4-azidobenzal) acetone 2,2'-disulfonic acid, 2,6-bis (4-azidobenzal) cyclohexanone-2,2'-disulfonic acid, 2,6-bis (4-azidobene Zar) methylcyclohexanone-
2,2'-disulfonic acid and the like can be mentioned.

【0015】ジアゾ化合物又はアジド化合物は、多すぎ
ると顔料分散性を低下させてしまうため、バインダー固
形分に対し、1〜30重量%加える場合が好ましい。光架
橋剤は反応性に富むので、実際に使用する直前に添加す
る場合が好ましい。以上のようにして作製された擬似黒
色化感光性樹脂組成物に電解質物質を添加する。本発明
における電解質物質とは、水中に溶解し電離する物質を
いう。電解質物質の例としては、NaCl、KCl、LiCl、KB
r、KI、Na2SO4、CaCl2、MgSO4、CuSO 4、CdSO4、AlCl3
等が挙げられる。
Too much diazo compound or azide compound
If this happens, the pigment dispersibility will decrease, so the binder solid
It is preferable to add 1 to 30% by weight to the form. Light rack
Since the cross-linking agent is highly reactive, add it just before using it.
Is preferable. Pseudo black produced as described above
An electrolyte substance is added to the colored photosensitive resin composition. The present invention
Electrolyte substance in is a substance that dissolves in water and ionizes.
Say. Examples of electrolyte substances are NaCl, KCl, LiCl, KB
r, KI, Na2SOFour, CaCl2, MgSOFour, CuSO Four, CdSOFour, AlCl3
Etc.

【0016】前記擬似黒色化感光性樹脂組成物に添加す
る電解質の量は、顔料表面のζ電位により変わるが、好
ましくは、上記擬似黒色化感光性樹脂組成物の10重量%
以下であり、さらに好ましくは、0.05〜2重量%であ
る。10重量%を越えると顔料が完全に凝集を起こしてし
まい、塗膜にならなくなってしまう。
The amount of the electrolyte added to the pseudo blackening photosensitive resin composition varies depending on the ζ potential of the pigment surface, but is preferably 10% by weight of the pseudo blackening photosensitive resin composition.
It is below, and more preferably from 0.05 to 2% by weight. If it exceeds 10% by weight, the pigment will completely agglomerate and become a coating film.

【0017】[0017]

【作用】顔料粒子が水に分散しているとき、顔料表面に
ζ電位が存在する。このζ電位の絶対値が大きいほど粒
子の斥力が働き、顔料の分散安定性は増す。このとき顔
料分散液に電解質を加えると顔料表面に対イオンが吸着
し顔料表面のζ電位は減少する。その結果、顔料粒子は
凝集を起こすようになる。そこで、電解質の添加量を調
節して軽い凝集を起こす程度の電解質を加える。そのと
きの塗膜は表面が少し荒れた状態になる。つまり、レジ
ストの表面の凹凸が通常の塗膜よりも大きくなって塗膜
の表面積が増加し、露光に関わる反応部位が増えること
になる。また、表面が荒れるために散乱の効果が生じ、
塗膜の透過率は低下する。従って、電解質を添加したレ
ジストは、電解質を添加しないレジストよりも反応部位
が多くなるために少ない露光量でパターンを形成させる
ことができ、かつ、形成されたパターンは表面の散乱の
影響で透過率を低く抑えることができる。
When the pigment particles are dispersed in water, a zeta potential exists on the surface of the pigment. The larger the absolute value of this ζ potential, the stronger the repulsive force of the particles, and the more the dispersion stability of the pigment increases. At this time, when an electrolyte is added to the pigment dispersion liquid, counter ions are adsorbed on the pigment surface, and the ζ potential on the pigment surface decreases. As a result, the pigment particles become agglomerated. Therefore, the amount of electrolyte added is adjusted to add an amount of electrolyte that causes light aggregation. At that time, the surface of the coating film becomes a little rough. That is, the unevenness of the surface of the resist becomes larger than that of a normal coating film, the surface area of the coating film increases, and the reaction sites involved in exposure increase. Also, because the surface becomes rough, the scattering effect occurs,
The transmittance of the coating film decreases. Therefore, the resist added with the electrolyte has a larger number of reaction sites than the resist not added with the electrolyte, so that the pattern can be formed with a small exposure amount, and the formed pattern has a transmittance due to the scattering of the surface. Can be kept low.

【0018】本発明では、レジストに電解質を添加する
ことにより、レジスト中の顔料粒子に軽い凝集を生じさ
せ、このレジストからできる塗膜の表面を荒れさせ、塗
膜の表面積を大きくすることにより反応に関わる部位を
多くし、これによりパターンを形成させるために必要な
露光量を小さくすることができる。また、塗膜の表面が
荒れているために表面の散乱の効果により透過率を下げ
ることができる。
In the present invention, by adding an electrolyte to the resist, the pigment particles in the resist are caused to cause a light agglomeration, the surface of the coating film formed from this resist is roughened, and the surface area of the coating film is increased to react. It is possible to reduce the amount of exposure required to form a pattern by increasing the number of areas related to the pattern. In addition, since the surface of the coating film is rough, the transmittance can be reduced due to the effect of surface scattering.

【0019】[0019]

【実施例】以下、実施例により本発明を更に具体的に説
明する。但し、本発明はこれら実施例に限定されるもの
ではない。 〔実施例1〕青、黄、紫、黒の顔料として、それぞれフ
タロシアニンブルー、ジスアゾイエロー、ジオキサジン
ヴァイオレット、カーボンブラックを選択し、以下の配
合によりサンドミルを用いて分散を行った。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the present invention is not limited to these examples. [Example 1] Phthalocyanine blue, disazo yellow, dioxazine violet and carbon black were selected as the blue, yellow, purple and black pigments, respectively, and dispersed using a sand mill according to the following formulation.

【0020】 顔料 20 % ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル 5 % 水 75 % 上記各色組成物を以下の組成比で混合する。 青:黄色:紫:黒=12:9:1:4 上記着色樹脂組成物100重量部に2−ヒドロキシエチル
メタクリルアミドの10%水溶液を50重量部、更にp−ジ
アゾジフェニルアミンを1重量部添加した。
Pigment 20% Polyoxyethylene alkylphenyl ether 5% Water 75% The above color compositions are mixed in the following composition ratios. Blue: yellow: purple: black = 12: 9: 1: 4 To 100 parts by weight of the above colored resin composition was added 50 parts by weight of a 10% aqueous solution of 2-hydroxyethylmethacrylamide, and further 1 part by weight of p-diazodiphenylamine. .

【0021】このようにしてできた感光性樹脂組成物に
電解質物質として塩化ナトリウムを上記樹脂組成物の0.
1重量%加えた。上記サンプルをスピンコーターによっ
てガラス基板に塗布した。膜厚は1.0μmで最大透過率は
700nmにおいて2.0%であった。この塗膜を50℃で3分間
プリベークを行い、高圧水銀灯によって解像度がわかる
テストパターンを介し、400mJ/cm2で露光した。露光後
1%リンゴ酸水溶液によって現像を行った。
Sodium chloride was added as an electrolyte substance to the photosensitive resin composition thus prepared in an amount of 0.
1 wt% was added. The above sample was applied onto a glass substrate by a spin coater. The film thickness is 1.0 μm and the maximum transmittance is
It was 2.0% at 700 nm. This coating film was pre-baked at 50 ° C. for 3 minutes and exposed at 400 mJ / cm 2 through a test pattern whose resolution was understood by a high pressure mercury lamp. After exposure, it was developed with a 1% aqueous solution of malic acid.

【0022】このときパターンが10μm線まで現像によ
って流れずに形成された。 〔比較例1〕比較例として、上記実施例の組成において
電解質物質を添加しない組成物を作製し、同じ評価を行
った。上記サンプルをスピンコーターによってガラス基
板に塗布した。膜厚は1.0μmで最大透過率は700nmにお
いて3.0%であった。
At this time, the pattern was formed without flowing up to 10 μm lines by the development. [Comparative Example 1] As a comparative example, a composition obtained by adding no electrolyte substance to the composition of the above-described example was prepared and evaluated in the same manner. The above sample was applied onto a glass substrate by a spin coater. The film thickness was 1.0 μm and the maximum transmittance was 3.0% at 700 nm.

【0023】以下、実施例1と同様にプリベーク、露
光、現像を行った。その結果、400mJ/cm2の露光量では
露光不足で光架橋反応が不完全なため、現像時にパター
ンが流れてしまった。ここで、テストパターンにおける
10μm線が形成されるところまで露光量を上げていく
と、その露光量は2000mJ/cm2であることがわかった。
Thereafter, prebaking, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1. As a result, at an exposure dose of 400 mJ / cm 2, the photocrosslinking reaction was incomplete due to insufficient exposure, and the pattern flowed during development. Where in the test pattern
It was found that the exposure amount was 2000 mJ / cm 2 when the exposure amount was increased to the point where the 10 μm line was formed.

【0024】以上より、擬似黒色化感光性樹脂組成物に
電解質物質を加えることによりパターンを形成させるの
に必要な紫外線照射量を減らすことができることがわか
った。
From the above, it was found that the amount of UV irradiation required for forming a pattern can be reduced by adding an electrolyte substance to the pseudo-blackening photosensitive resin composition.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明により、透過率を下げ、かつ、架
橋効率を向上させることができる擬似黒色化感光性樹脂
組成物を提供することができる。本発明によれば、電解
質物質を添加し、塗膜の表面を荒れさせることにより透
過率が下がるため、電解質を添加しない塗膜に比べて膜
厚を薄くすることが可能である。このことは、液晶モジ
ュールに組み込む際に極めて有用である。
According to the present invention, it is possible to provide a pseudo-blackening photosensitive resin composition which can reduce the transmittance and improve the crosslinking efficiency. According to the present invention, the transmittance is lowered by adding an electrolyte substance and roughening the surface of the coating film, so that the film thickness can be made smaller than that of the coating film without adding the electrolyte. This is extremely useful when incorporated in a liquid crystal module.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/038 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location G03F 7/038

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 黒、赤、緑、紫、黄の顔料から少なくと
も2種類以上を用いて調製した擬似黒色化感光性樹脂組
成物において、該感光性樹脂組成物が電解質物質を含ん
でなることを特徴とする擬似黒色化感光性着色組成物。
1. A pseudo-blackening photosensitive resin composition prepared by using at least two kinds of pigments of black, red, green, violet, and yellow, wherein the photosensitive resin composition contains an electrolyte substance. A pseudo-blackening photosensitive coloring composition comprising:
JP16950894A 1994-07-21 1994-07-21 Photosensitive resin composition Pending JPH0834876A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16950894A JPH0834876A (en) 1994-07-21 1994-07-21 Photosensitive resin composition

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16950894A JPH0834876A (en) 1994-07-21 1994-07-21 Photosensitive resin composition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0834876A true JPH0834876A (en) 1996-02-06

Family

ID=15887818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16950894A Pending JPH0834876A (en) 1994-07-21 1994-07-21 Photosensitive resin composition

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0834876A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11194213A (en) * 1997-10-31 1999-07-21 Toray Ind Inc Color paste for color filter, its production and color filter
JP2010091876A (en) * 2008-10-09 2010-04-22 Taiyo Ink Mfg Ltd Black solder resist composition and cured material thereof

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11194213A (en) * 1997-10-31 1999-07-21 Toray Ind Inc Color paste for color filter, its production and color filter
JP2010091876A (en) * 2008-10-09 2010-04-22 Taiyo Ink Mfg Ltd Black solder resist composition and cured material thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2762511B2 (en) Color filter and manufacturing method thereof
JP2002520679A (en) Photosensitive black matrix composition and method for producing the same
JPH0812292B2 (en) Heat resistant color filter and manufacturing method thereof
JPH0834923A (en) Black photosensitive resin composition and manufacture of black matrix
JPH01200353A (en) Radiation sensitive coloring resin composition
JP2004123853A (en) Method for modifying organic pigment and pigment-dispersed composition using the pigment
TW201624113A (en) Red pigment dispersion resist composition for color filter
JPH0834876A (en) Photosensitive resin composition
JPH0812290B2 (en) Color filter and manufacturing method thereof
TW201609990A (en) A red coloring agent composition for a color filter
JPH10104412A (en) Color photosensitive resin composition and color filter
JPH04204656A (en) Negative type photosensitive composition and formation of color filter using same
JPH1039501A (en) Colored photosensitive resin composition and color filter
JP2005195941A (en) Pigment-dispersed liquid for color filter, pigment-dispersed resist composition for color filter, and color filter using them
JPH05247354A (en) Photo-setting coloring composition
JP2007023266A (en) Pigment composition and use thereof
JPH0836260A (en) Black photosensitive resin composition
JPH05323607A (en) Aqueous colored resist material, method for developing the same and production of color filter
JPH10268124A (en) Colored composition for color filter, color filter, and its manufacture
JPH09178932A (en) Colored photosensitive resin composition and color filter
JPH0834875A (en) Photosensitive resin composition
JPH0350271A (en) Photosensitive coating composition
JPH0277749A (en) Production of solder mask
JP3109868B2 (en) Photocurable coloring composition
JPH06329940A (en) Production of color filter and photocurable coloring composition for color filter