JPH08339649A - 磁気ディスク装置及びこれに用いる磁気ディスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 サ−ボ信号の高精度化による高トラック密度
化と浮上量変動の低減と低コスト化を図った磁気ディス
ク装置及び磁気ディスクの製造方法を提供すること。 【構成】 磁気ディスク１のセクタ１１の位置信号の第
１、第２、第３のパタ−ン２４、２５、２６は超微粒子
の凸部で形成後、磁性層を作成し凹部は超微粒子で埋め
込む。第１、第２のパタ−ン２４、２５は、ディスクの
中心より放射線状に形成し、第３のパタ−ン２６はディ
スクの中心を通らない直線上に形成する。制御回路６
は、磁気ディスク１に形成された上記凹部と凸部は逆向
きに磁化し、検出した第１、第２パタ−ン２４、２５間
の時間差Ｔ₀と第２、第３パタ−ン２５、２６間の時間
差Ｔ₁より位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出しヘッド３を位置決
めするように制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置及びサ
ーボ信号パターンが書き込まれる磁気ディスクの製造方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置の磁気ディスクの各ト
ラックの円周方向を複数の領域に分割したセクタにあら
かじめ書き込むサーボ信号パターンは、位置信号パター
ンのゲインを一定にするＡＧＣ（オート・ゲイン・コン
トロール）のための一定周期パターンと、１回転の先頭
を示すインディクスパターンとトラックの番地を示すグ
レイコードパターンおよび位置信号を示す位置信号パタ
ーンで構成される。

【０００３】従来、位置信号パターンには、トラックの
円周方向にＡ相バーストパターンとＢ相バーストパター
ンをトラック中心でトラック円周方向にずらせて配置
し、その出力電圧の差から位置信号を検出する２相バー
スト方式がある。

【０００４】また、特開昭６０−１０４７２号公報、電
子情報通信学会秋季大会論文Ｃ−３６４，１９９２年９
月２７日、「位相差検出方式を用いた磁気ディスク用ト
ラッキングサーボ」において距離を置いて配置した２つ
のパターンの検出時間差を検出する位相差検出方式が記
載されている。このうち後者は、直動アームにて、ディ
スクに放射状に書き込むＳパターンと、サーボ信号を回
動アームにてディスクに円弧状に書き込むＲパターンの
二つの信号で構成し、再生時はＲパターンとＳパターン
の再生パルスの位相ずれを計測し、トラック位置信号と
する方式である。

【０００５】また、日経エレクトロニクス−Ｎｏ．５８
６（１９９３．７．１９）、特開平３−２５０４６４号
公報において２相バースト方式でディスク面に凹凸パタ
ーンを設け、凹部と凸部を逆向きに直流磁化しサーボパ
ターンを作成する方法が記載されている。

【０００６】また、特開昭６２−２２２２４号公報にお
いてデータトラックの隣接トラック間に溝を設けたディ
スクリートトラック記録方式が記載されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク装置の面
記録密度の向上および低コスト化が望まれている。面記
録密度を向上させるための主な課題は、ディスクの円周
方向の線記録密度の向上と半径方向のトラック密度の向
上およびリードライトヘッドの低浮上量化が必要であ
る。

【０００８】トラック密度を向上させるためには、ディ
スクの各トラックの円周方向を複数の領域に分割したセ
クタにあらかじめ書き込んでおくサーボ信号の高精度化
が必要である。

【０００９】本発明は、サーボ信号の高精度化により高
トラック密度化と浮上量変動の低減及び低コスト化を図
った磁気ディスク装置及び該磁気ディスク装置に用いら
れる磁気ディスクの製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ディスク装
置では、位相差検出方式の位置信号検出を高精度化する
ために、磁気ディスクの各セクタごとに第１のパター
ン、第２のパターン、第３のパターンを設け、第１、第
２、第３のパターンは、ディスクの回転中心から放射線
上に配置し、第１、第２のパターンは直線であって、第
３のパターンは放射線上を中心としてトラックごとに正
と負の傾きをくり返す折線パターンを形成し、第１、第
２のパターンの検出位置の時間差Ｔ₀と第２、第３のパ
ターンの検出位置の時間差Ｔ₁から位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を
検出してリードライトヘッドをトラックに位置決めす
る。

【００１１】また、本発明の磁気ディスク装置の実施例
２では、前記第３のパターンは放射線上を中心として複
数トラックごとに正と負の傾きをくり返す折線パターン
を形成し、前記と同様に位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出してリ
ードライトヘッドをトラックに位置決めすることを特徴
とする。

【００１２】また、本発明の磁気ディスク装置の実施例
３は、第３のパターンと同じパターンを第３のパターン
と位相をずらせて配置した第４のパターンを設け、第２
と第３のパターンの検出位置の時間差Ｔ₁からの位置信
号Ｔ₁／Ｔ₀と、第２と第４のパターンの検出位置の時間
差Ｔ₂からの位置信号Ｔ₂／Ｔ₀を検出することを特徴と
する。

【００１３】また、本発明の磁気ディスク装置の実施例
４は、位相差検出方式の第１、第２、第３のパターンを
凹凸で形成し、第３のパターンを外周から内周に向けて
第２のパターンに近づく、又は遠ざかるように配置する
ことにより、位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出することを特徴と
する。

【００１４】また、本発明の磁気ディスク装置の実施例
５は、位相差検出方式の位置信号検出を高精度化するた
めに、磁気ディスクの各セクタごとに第１のパターン、
第２のパターン、第３のパターンを設け、前記第１のパ
ターンと第２のパターンと第３のパターンは、磁気ディ
スクの内周から外周へかけて円弧状の曲線上に配置し、
第１のパターンと第２のパターンは円弧状の曲線であっ
て、第３のパターンは、前記曲線上を中心としてトラッ
クごとに正と負の傾きを繰り返す折線パターンであっ
て、第１のパターンと第２のパターンの検出位置の時間
差Ｔ₀と、第２のパターンと第３のパターンの検出位置
の時間差Ｔ₁とから位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出し、ヘッド
をトラックに位置決めすることを特徴とする。

【００１５】また、本発明の磁気ディスク装置の実施例
６は、実施例１、２、３で示した位相差検出方式の位置
信号のパターンを凹凸で形成したのち、磁性層を形成
し、位置信号パターンを作成することを特徴とする。

【００１６】また、本発明の磁気ディスク装置の実施例
７は、実施例１、２、３で示した位置信号パターンを、
磁性層を形成したディスク表面に位置信号のパターンに
相当する凹凸を形成することを特徴とする。

【００１７】また、本発明の磁気ディスク装置の実施例
８は、超微粒子により、ディスク面にサーボ信号のパタ
ーンに相当する凹凸を形成したのち、磁性層を作成する
ことを特徴とする。

【００１８】また、本発明の磁気ディスク装置の実施例
９は、サーボ信号のパターンを凹凸で形成したのち、凹
部に超微粒子を敷きつめ、ディスク面を平滑にすること
を特徴とする。

【００１９】また、本発明の磁気ディスクの製造方法の
実施例１は、ホトレジスト膜により超微粒子を付着させ
たくない所にマスクし、超微粒子をバインダ中に分散さ
せた溶液に基板を浸し、超微粒子を選択的に基板に付着
させ、その後加熱して固着させて、凸部を形成したの
ち、磁性層を作成することを特徴とする。

【００２０】また、本発明の磁気ディスクの製造方法の
実施例２は、ホトレジスト膜により超微粒子を付着させ
たくない所をマスクし、超微粒子をバインダ中に分散さ
せた溶液に基板を浸し、超微粒子を選択的に基板に付着
させ、凹部に超微粒子を敷き詰めることによりディスク
表面を平滑にすることを特徴とする。

【００２１】

【作用】上記構成の磁気ディスク装置の実施例１では、
第１、第２、第３のパターンを、ディスクの回転中心か
ら放射線上に配置しているので、検出時間差Ｔ₀は外周
から内周まで一定となる。第３のパターンは、トラック
ごとに正と負の傾きをくり返す折線パターンのため、第
２、第３のパターンの検出時間差Ｔ₁は２トラック周期
のくり返し信号となる。このため内周から外周まで検出
信号の周期をカウントすることにより正確に目標トラッ
クに近づくことができ、さらに１トラック以内では、ト
ラック中心に対して直線性のある高精度な位置信号が得
られるため位置決め精度を向上させることができる。

【００２２】また、ディスクは一定回転で回転している
が、一回転中には多少の速度変動がある。そのため、位
置信号をＴ₁／Ｔ₀の比で求めることにより、より高精度
な位置信号が得られる。

【００２３】また上記構成の磁気ディスク装置の実施例
２では、第３のパターンを複数トラックごとに正と負の
傾きをくり返す折線パターンとしたことにより、１トラ
ック以内の直線性の範囲が拡大する。そのため、リード
とライトヘッドが分離されているリードライトヘッドを
トラック中心よりオフセットさせて、位置決めする場合
に有利である。さらには、ヘッドが１トラック以内に近
づいた時点で、トラック中心に位置決めする場合に直線
性の範囲が広いので追従の安定性が向上する。

【００２４】上記構成の磁気ディスク装置の実施例３で
は、第３のパターンと同じパターンを第３のパターンと
位相をずらせて配置した第４のパターンを設け、第２と
第３のパターンの検出位置の時間差Ｔ₁からの位置信号
Ｔ₁／Ｔ₀と、第２と第４のパターンの検出位置の時間差
Ｔ₂からの位置信号Ｔ₂／Ｔ₀を検出する。位置信号Ｔ₁／
Ｔ₀と位置信号Ｔ₂／Ｔ₀は、位相の異なるくり返し信号
となる。このためリードライトヘッドの進む方向が判別
できるため、トラックカウントをＵｐ−Ｄｏｗｎカウン
タを用いて正確に行なうことができる。さらには、２つ
の位置信号の直線性の良い部分をつなぎ合わせて、高品
質な位置信号を作成することができ、高精度な追従性が
得られる。

【００２５】上記構成の磁気ディスク装置の実施例４で
は、位相差検出方式の第１、第２、第３のパターンを凹
凸で形成し、第３のパターンを外周から内周に向けて第
２のパターンに近づく、又は遠ざかるように配置するこ
とにより、位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出することができる。
従来、サーボトラックライタによりリードライトヘッド
で直接磁気ディスクに書き込んでいた場合は、第３のパ
ターンは直線とはならず階段状の波形となり、直線性の
問題があった。本発明では、第３のパターンを直線で加
工できるので、高精度の位相差検出が可能となる。

【００２６】上記構成の磁気ディスク装置の実施例５で
は、位相差検出方式の第１のパターン、第２のパター
ン、第３のパターンを磁気ディスクの内周から外周へか
けて円弧状の曲線上に設け、第１のパターンと第２のパ
ターンは円弧状の曲線とし、第３のパターンは、前記曲
線上を中心としてトラックごとに正と負の傾きを繰り返
す折線パターンとすることにより、第１のパターンと第
２のパターンの検出位置の時間差Ｔ₀と、第２のパター
ンと第３のパターンの検出位置の時間差Ｔ₁とから位置
信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出することができる。本発明ではリー
ドライトヘッドの位置信号をトラックごとの正弦波状の
繰り返し波形で得られるために高精度な位置検出が可能
になり、高密度化に対応したリードライトヘッドの高精
度位置決めが可能になる。

【００２７】上記構成の磁気ディスク装置の実施例６で
は、実施例１、２、３で示した位相差検出方式の位置信
号のパターンを凹凸で形成したのち、磁性層を形成し、
位置信号パターンを作成するので、従来サーボトラック
ライタで機械的にリードライトヘッドを位置決めし書き
込んでいた信号を、微細加工技術により高精度に作成す
ることができる。また、凹凸のパターンを直線で加工で
きるので高精度の位相差検出が可能となる。

【００２８】上記構成の磁気ディスク装置の実施例７で
は、実施例１、２、３で示した位置信号パターンを、磁
性層を形成したディスク表面に位置信号のパターンに相
当する凹凸を形成するため、磁性層が凸部のみのため検
出時間は低下するが、ディスクの製作時間が短縮される
ので製作コストを下げられる。

【００２９】上記構成の磁気ディスク装置の実施例８で
は、超微粒子により、ディスク面にサーボ信号のパター
ンに相当する凹凸を形成したのち、磁性層を形成するた
め、ディスクの製作時間が短縮されるので製作コストを
下げられる。

【００３０】上記構成の磁気ディスク装置の実施例９で
は、サーボ信号のパターンを凹凸で形成したのち、凹部
に超微粒子を敷きつめ、ディスク面を平滑にするため、
凹部でのリードライトヘッドの浮上量変動や振動、液体
浮上方式のリードライトヘッドを安定に走行させること
ができる。

【００３１】上記構成の磁気ディスクの製造方法の実施
例１では、ホトレジスト膜により超微粒子を付着させた
くない所にマスクし、超微粒子をバインダ中に分散させ
た溶液に基板を浸し、超微粒子を選択的に基板に付着さ
せ、その後加熱して固着させて、凸部を形成したのち、
磁性層を作成できるため、サーボ信号パターンを高精度
に安価に作成できる。

【００３２】上記構成の磁気ディスクの製造方法の実施
例２では、ホトレジスト膜により超微粒子を付着させた
くない所をマスクし、超微粒子をバインダ中に分散させ
た溶液に基板を浸し、超微粒子を選択的に基板に付着さ
せ、その後加熱して固着させて凹部に超微粒子を敷き詰
めることによりディスク表面を平滑にするため、凹部で
のリードライトヘッドの浮上量変動や振動、液体浮上方
式のリードライトヘッドを安定に走行させることができ
る。 なお、超微粒子で基板に凹凸を作成する方法につ
いて説明する。

【００３３】基板はＡｌ、ガラス、Ｓ_i、Ｔ_i等の材質で
前処理として、ＫＯＨ水溶液にて化成処理を行い水酸基
ＯＨを基板表面に形成する。超微粒子は１ｎｍ〜１００
ｎｍの大きさを使用し、材質はＳ_iＯ₂、Ｔ_iＯ₂、Ａｌ₂
Ｏ₃等を使用する。好ましくは触媒化成工業製のエタノ
−ル単分散１０ｎｍを用いると良い。バインダとしては
一般に有機ケイ素系を用い、好ましくはエチルシリケ−
トＳ_i(ＯＣ₂Ｈ₅)₄でアルコ−ルに可溶性のものが良い。

【００３４】超微粒子とバインダの配合の例として、 超微粒子Ｓ_iＯ₂ １０ｎｍ １wt％ エチルシリケ−ト Ｓ_i(ＯＣ₂Ｈ₅)₄ ０.２wt％ 残り エチルアルコ−ル わずかに ＨＮＯ₃（数滴） を調合して加水分解、重合を一部分起こさせる。

【００３５】 となり、基板表面の水酸基ＯＨとシロキサン結合し、加
熱後（２００℃、３０分）超微粒子は基板表面に固着す
る。

【００３６】なお、超微粒子及びバインダで形成する膜
厚の制御は、分子間距離で制御でき、粒径によって制御
する。

【００３７】また、選択的に超微粒子を付着させるため
には表面エネルギ−をコントロールすることで可能であ
る。例えば、フルオロアルキルシランを用いると表面エ
ネルギ−を下げることができ、超微粒子を付着させない
ことができる。

【００３８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１には、本発明に係る磁気ディスク装置のサー
ボ系の構成が示されている。同図において磁気ディスク
装置のサーボ系は、磁気記録媒体である磁気ディスク
１、磁気ディスク１を固定し磁気ディスク１を回転させ
るスピンドルモータ２、磁気ディスク１に情報を書き込
む又は読み出すためのリードライトヘッド３、リードラ
イトヘッド３を搭載しリードライトヘッド３を磁気ディ
スク１の半径方向に移動させるロータリアクチュエータ
４、ロータリアクチュエータ４を駆動するボイスコイル
モータ５、回転軸２１及び制御回路６からなる。

【００３９】制御回路６は、リードライト信号線７とロ
ータリアクチュエータ駆動信号線８とスピンドルモータ
駆動信号線９が接続され、リードライトヘッド３、ボイ
スコイルモータ５及びスピンドルモータ２を制御する。

【００４０】制御回路６は、外部インターフェース信号
１０の指令によりリードライトヘッド３で検出した位置
信号に基づいてボイスコイルモータ５を駆動し、目標ト
ラックにリードライトヘッド３を位置決めしたのち、情
報を読み書きする。

【００４１】次に、磁気ディスク１のサーボ信号パター
ンについて説明する。

【００４２】図１に示す磁気ディスク１は、サーボ信号
部１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８を
円周方向に等間隔に配置したセクターサーボ方式のディ
スクである。データ部はサーボ信号部とサーボ信号部の
間に位置する。図中にデータトラック２２、２３を示
す。磁気ディスク１における各サーボ信号部の構成をサ
ーボ信号部１１を用いて説明する。

【００４３】サーボ信号部１１において、位置信号の第
１のパターン２４と位置信号の第２のパターン２５は、
ディスクの中心２０より放射状に延ばした直線上に磁気
信号を記録したパターンである。また、位置信号の第３
のパターン２６はディスクの中心を通らない直線上に磁
気信号を記録したパターンである。この位置信号の第１
のパターン２４、位置信号の第２のパターン２５、位置
信号の第３のパターン２６はそれぞれ距離を置いて配置
されている。ここで点線２７は、位置信号の第３のパタ
ーン２６の外周位置よりディスクの中心を通る直線を示
す。

【００４４】次に、図１で示したサーボ信号パターンの
実施例を図２、図５を用いて説明する。

【００４５】図２は本発明に係る磁気ディスク装置に用
いられる磁気ディスク１の表面に形成されたサーボ信号
パターンを示している。同図において、Ａｌ、Ｔ_i、
Ｓ_i、ガラス等の基板４５にエッチング、スパッタ、イ
オンミーリング等により凹凸を設け、さらに磁気信号を
記録する磁性層４４を形成し、サーボ信号パターン及び
データトラックを構成する。

【００４６】図２、図５に示すサーボ信号パターンは等
間隔パターンが連続するＩＳＧ領域３３、１回転のイン
デクスを示すマーカーパターン領域３４、トラックアド
レスを示すグレイコードパターン領域３５、位置信号を
示す位置信号パターン領域３６からなる。また、データ
を書き込むためのデータ領域３７を示す。ここではデー
タ領域３７のデータトラック２２、２３、６６、６７、
６８、６９、７０、７１をトラックごとに溝、すなわち
データトラック分離部４１、４２によって分離したディ
スクリートトラックを示す。この溝はサーボ信号パター
ン形成時に同時に加工する。本発明においてこのことは
重要ではないので溝がなくても良い。さらに、図２の位
置信号パターン領域３６の構成を図２、図３を用いて説
明する。

【００４７】図２に示すように図１の位置信号パターン
２４、２５、２６を凸部で構成する。そのためパターン
分離部３８、３９、４０の溝によって分離する。この溝
はエッチング、スパッタ、イオンミーリング等により加
工する。図中にリードライトヘッド４３を示す。なお、
位置信号パターンの磁化分布を図３に示す。まず、磁気
ディスク１の全域を直流磁界Ｅ₁により磁化の向きが４
６、４８、５０、５２の方向になるように磁化する。次
にリードライトヘッド４３等を用いて直流磁界Ｅ₂によ
り磁化の向きが４７、４９、５１の方向になるように磁
化する。この場合直流磁界Ｅ₂は凸部に対しては媒体の
保磁力Ｈ_cよりも大きく、凹部に対してはＨ_cよりも小さ
くなるようにすることとリードライトヘッド４３等の磁
界発生部より溝部は距離が離れているためＥ₂磁界の影
響は小さいので、溝部の磁化の向きは変化せず凸部２
４、２５、２６のみＥ₂の方向に磁化される。また、５
３はデータトラック２２のデータの磁化分布を示してい
る。

【００４８】図４に図３の位置信号パターンをリードラ
イトヘッド４３で検出した場合の検出信号５４を示す。
磁化の向き（極性）が反転する位置、すなわち位置信号
の第１のパターン２４、位置信号の第２のパターン２
５、位置信号の第３のパターン２６のエッヂにおいて磁
界が変化し信号５５、５６、５７が発生する。この検出
信号５４を波形整形しパルス信号５８を作成する。パル
ス信号５８は、位置信号の第１のパターン２４によるパ
ルス５９、位置信号の第２のパターン２５によるパルス
６０、位置信号の第３のパターンによるパルス６１とな
る。ここで、パルス５９とパルス６０の時間差をＴ₀、
パルス６０とパルス６１の時間差をＴ₁とする。この時
間差の比Ｔ₁／Ｔ₀より、リードライトヘッドの位置を検
出する。

【００４９】図６にリードライトヘッドのトラック位置
に対するＴ₁／Ｔ₀の関係を示す。図１において、磁気デ
ィスク１は一定回転で回転しているため磁気ディスク１
の中心より放射状に位置する位置信号の第１のパターン
２４と、位置信号の第２のパターン２５で検出されるＴ
₀は一定である。しかし、位置信号の第３のパターン２
６は、磁気ディスク１の中心を通らない直線であるため
検出されるＴ₁は、リードライトヘッドの位置により変
化する。ここでは、第３のパターン２６が磁気ディスク
１の外周から内周に向かって第２のパターン２５に近づ
いていくため、図６に示すように外周より内周に近づく
につれてＴ₁／Ｔ₀は小さくなる。トラックｎ、ｎ＋１に
対するＴ₁／Ｔ₀をＰ₁、Ｐ₂、Ｐ₃、Ｐ₄、Ｐ₅で示す。こ
こで、Ｐ₂、Ｐ₄は、各トラックの中心の値を示す。ここ
では、Ｔ₁／Ｔ₀の比を位置信号として用いているがＴ₁
を位置信号として用いても良い。

【００５０】また、第３のパターン２６を第２のパター
ン２５に対して磁気ディスクの外周より内周に近づくに
つれて離れていくように構成しても良い。

【００５１】このように、本実施例では回転方向の時間
差により位置信号を得るために３つの位置信号パターン
を凹凸のパターンで形成し、各パターンのエッジ部から
得られる信号の検出時点の時間差を検出しさらに時間差
の比を位置信号とすることで回転変動に強い高精度な位
置検出が可能となる。

【００５２】さらに、サーボ信号パターンをあらかじめ
エッチング等で高精度に形成することが出来るためトラ
ック密度の高密度化の効果と、サーボ信号の書き込み時
間が短縮出来るためコスト低減に効果がある。

【００５３】次に、本発明に係る磁気ディスク装置に使
用される磁気ディスクの他の構成例を図７に示す。

【００５４】図７は、図２におけるサーボ信号パターン
の凹部に超微粒子７３、７４、７５、７６、７７、７８
を敷きつめた磁気ディスクの構成を示している。凹部に
おける超微粒子の高さは、凸部２４、２５、２６、２
２、２３と同じにして、磁気ディスクの表面を平滑にす
る。ここで超微粒子の粒径は、１００ｎｍ以下であって
凹部に一層又は多層に形成する。

【００５５】このように本実施例によれば、凹部に超微
粒子を形成し凸部との段差をなくすことにより、凹部に
おけるリードライトヘッドの沈み込み、振動等の浮上量
変動をなくす効果がある。

【００５６】また、液体浮上タイプのリードライトヘッ
ドに対しても同様の効果が得られる。したがって、浮上
量変動にともなう読み出し信号の変動をなくすことがで
きるので高密度記録に効果がある。

【００５７】次に、本発明に係る磁気ディスク装置に使
用される磁気ディスクの他の構成例を図８に示す。

【００５８】図８は、図２のサーボ信号パターン領域の
凸部を超微粒子１０２、１０３、１０４で形成する。図
８において磁気ディスク表面には、グレイコードパター
ン領域８５、位置信号パターン領域８６、データ領域８
７とが形成されている。

【００５９】位置信号パターン領域８６は、位置信号の
第１のパターン９０、位置信号の第２のパターン９２、
位置信号の第３のパターン９４、凹部のパターン分離部
９１、９３とからなる。９６、９７、９８、９９、１０
０、１０１は磁化の向きであり、９５はデータトラック
を示している。図２の凸部に相当するパターンを図８で
は基板８３に超微粒子１０２、１０３、１０４を一層又
は多層で形成する。その後、磁性層８４を形成し、直流
磁界により前記サーボ信号パターンを磁化することによ
りサーボ信号パターンを形成する。

【００６０】このように本実施例によれば、サーボ信号
パターンの凸部を超微粒子によって形成することで、パ
ターンの製作時間の短縮が図れるため低コスト化に効果
がある。

【００６１】次に本発明に係る磁気ディスク装置に使用
される磁気ディスクの他の構成例を図９に示す。

【００６２】図９は図８と同様に超微粒子によりディス
ク面に凸部を形成したもので、図８と異なる点はデータ
トラック４３５、４３８を超微粒子４４０で形成し、デ
ータトラック間にトラック分離部４３７、４３９の溝を
設けたディスクリートトラックとした。また、図中に磁
化の方向４４２とデータ磁化分布４４１を示す。

【００６３】このように本発明によれば、超微粒子によ
りデータトラックをディスクリートトラックとしたため
にデータ読み出し時の隣接トラックからのクロストーク
が低減でき信号のＳ／Ｎを改善でき高密度化とエラーレ
ートの改善に効果がある。

【００６４】また、ディスクリートトラックの形成に超
微粒子を用いることで製作時間の短縮が図れるため低コ
スト化に効果がある。

【００６５】次に本発明に係る磁気ディスク装置に用い
られる磁気ディスクの他の構成例を図１０に示す。

【００６６】図１０は、図９に示す磁気ディスクの凹部
に超微粒子４４３、４４４、４４５、４４６、４４７を
敷きつめるように構成した例を示している。凹部におけ
る超微粒子の高さは凸部９０、９２、９４、４３５、４
３８と同じにして、磁気ディスク面を平滑にする。

【００６７】このように本実施例によれば、凹部に超微
粒子を形成し凸部との段差をなくすことにより、凹部に
おけるリードライトヘッドの沈み込み、振動等の浮上量
変動をなくす効果がある。

【００６８】また、液体浮上タイプのリードライトヘッ
ドに対しても同様の効果が得られる。

【００６９】次に本発明の他の実施例を図１１、図１２
及び図１３に示す。

【００７０】図１１は２組のバーストパターンによる位
置信号検出方式を示している。図１１において磁気ディ
スク表面にはグレイコードパターン領域１０５、位置信
号パターン領域１０７、データ領域１１２が形成されて
おり、各パターンの凹凸をエッチング、スパッタ等によ
り形成したのち凹部に超微粒子１１０を一層ないし多層
に積層されている。

【００７１】また、データトラック１１３、１１６、１
１８は溝によって分離されたディスクリートトラックを
示している。

【００７２】位置信号パターンはＡ相パターン１０６、
１１９、Ｂ相パターン１０８、Ｃ相パターン１０９、１
２０、Ｄ相パターン１１１で構成される。

【００７３】また１１５、１１７はトラック中心を、１
１４はリードライトヘッドを示している。

【００７４】図１２は図１１の磁気ディスクのトラック
中心１１５における断面を示している。同図において基
板１２８をエッチング、スパッタ等により凹部を形成
し、さらに磁性層１２７を形成したのち、超微粒子１１
０を凹部に敷き詰める。超微粒子１１０の高さは凸部の
高さと同じに形成する。直流磁界により凸部と凹部を磁
化する。磁化した磁化の向きを１２１、１２２、１２
３、１２４、１２５に示す。また、１２６はデータトラ
ックの磁化分布を示している。

【００７５】図１３は図１２の位置信号パターンの磁界
の変化をリードライトヘッド１１４で検出した信号を示
している。検出信号１３０にＡ相パターンによる検出信
号１３１、Ｂ相パタ−ンによる検出信号１３２、Ｃ相パ
タ−ンによる検出信号１３３を示す。Ｄ相パタ−ンの検
出信号（図示せず）も同様である。

【００７６】また、Ａ相検出信号１３１を積分したＡ相
積分信号１３４と積分電圧値１３６とＢ相検出信号１３
２を積分したＢ相積分信号１３７と積分電圧値１３９を
示す。このＡ相積分電圧値１３６からＢ相積分電圧値１
３９を引いた値がリ−ドライトヘッドの位置信号とな
る。従って、図１１においてリ−ドライトヘッド１１４
がトラックの中心１１５に位置する場合には、Ａ相積分
電圧値１３６とＢ相積分電圧値１３９は等しく、その引
算の値は零になる。リ−ドライトヘッド１１４がトラッ
ク中心より磁気ディスクの半径方向に移動すると、位置
信号は正の電圧又は負の電圧を出力する。また、Ｃ相パ
ターンとＤ相パターンの各検出信号の積分電圧値の差も
同様手順で位置信号に変換する。この信号は、Ａ相パタ
ーンとＢ相パターンより求めた信号より９０°位相の異
なる位置信号となる。

【００７７】このように本実施例によれば、サ−ボ信号
パタ−ン及びディスクリ−トデ−タトラックをエッチン
グ等の微細加工技術により作成し、凹部に超微粒子を敷
き詰めたことにより磁気ディスク面の凹凸をなくすこと
ができるためリ−ドライトヘッドの浮上量変動をなくす
効果があり、安定なリ−ドライトが行なえるためトラッ
ク密度の高密度化が可能となる。

【００７８】次に、本発明に係る磁気ディスク装置に用
いられる磁気ディスクの他の構成例を図１４に示す。

【００７９】図１４は、図１１で示した２相バ−ストパ
タ−ンによる位置信号検出方式のサ−ボ信号パタ−ンの
凸部を反対の形状の凹部にした構成を示している。図１
４において、基板１５２をエッチング、スパッタ等によ
りサ−ボ信号パタ−ンに相当する部分、ここではＡ相パ
タ−ン１４４、Ｂ相パタ−ン１４５の凹部を形成する。
その後、磁性層１５１を形成し、凹部に超微粒子１４
１、１４３を敷き詰める。超微粒子の高さは凸部１４２
と同じ高さにする。また、磁化の向き１４６、１４７、
１４８、１４９、１５０及びリ−ドライトヘッド１４０
を示す。

【００８０】このように本実施例においても図１１に示
した実施例と同様の効果が得られる。さらにはサ−ボ信
号パタ−ン部の凹部の加工面積を低減できるため低コス
ト化に効果がある。

【００８１】次に、本発明に係る磁気ディスク装置に用
いられる磁気ディスクの他の構成例を図１５に示す。

【００８２】図１５は、図１１で示した２相バ−ストパ
タ−ンによる位置信号検出方式のサ−ボ信号パタ−ンの
凸部を超微粒子で形成し、その上に磁性層を成膜したの
ち凹部に超微粒子を敷き詰めた構成を示す。図１５に示
す磁気ディスクでは、基板１６９の上にサ−ボ信号パタ
−ンに相当する位置に超微粒子１５７、１６０で凸部１
５８、１６１を形成し、その上に磁性層１６８を形成し
たのち凹部に超微粒子１５６、１５９、１６２を敷き詰
める。超微粒子の高さは凸部と同じにする。

【００８３】また、直流磁界による磁化の方向１６３、
１６４、１６５、１６６、１６７及びリ−ドライトヘッ
ド１５５を示す。

【００８４】このように本実施例によれば、サ−ボ信号
パタ−ンの凸部を超微粒子で形成し凹部を超微粒子で敷
き詰めることにより、サ−ボ信号パタ−ンの製作時間が
短縮できコスト低減に効果がある。

【００８５】さらに、ディスク面の凹凸をなくしたため
にリ−ドライトヘッドの浮上量変動がなくなり、信頼性
向上と高密度化に効果がある。

【００８６】次に、本発明の他の実施例を図１６、図１
７及び図１８に示す。

【００８７】図１６は、３つの位置信号パタ−ンの回転
方向の検出時間差を用いてリ−ドライトヘッドをトラッ
クに位置決めする位置信号を作成する方式を示してい
る。図１６において磁気ディスク表面にはグレイコ−ド
パタ−ン領域１８０、位置信号パタ−ン領域１８３、デ
−タ領域１８５等が形成されている。グレイコ−ドパタ
−ン領域１８０は、トラックのアドレスを示すグレイコ
−ドパタ−ン１８７、１９１等で構成する。位置信号パ
タ−ン領域１８３は位置信号の第１のパタ−ン１８１、
第２のパタ−ン１８２及び第３のパタ−ン１８４で構成
する。

【００８８】また、位置信号の第３のパタ−ン１８４
は、デ−タトラックごとに右上りのスロ−プ１８８と右
下りのスロ−プ１９２を繰り返すパタ−ンで構成する。

【００８９】なお、これら３つの位置信号パタ−ンは、
図１で示す磁気ディスクの中心より放射状に延びた直線
上に位置する。なお、ここで示す各パタ−ンは一方向に
磁化する。

【００９０】デ−タ領域１８５はデ−タトラック１９
４、２００を溝１９９、１９３、１９５で分離したディ
スクリ−トトラックで構成する。本発明においてディス
クリ−トトラックは本質的なことではないのでトラック
を分離しなくても良い。また、１８９はリ−ドライトヘ
ッド、１８６、１９０はデ−タトラック中心を示してい
る。

【００９１】図１７は、図１６においてリ−ドライトヘ
ッド１８９で位置信号パタ−ン１８１、１８２、１８４
を読み出した時の検出信号２０２とその波形成形後のパ
ルス信号２０６を示している。検出信号２０２は位置信
号の第１のパタ−ン１８１に対する検出信号２０３、第
２のパタ−ン１８２に対する検出信号２０４及び第３の
パタ−ン１８４の右下りのスロ−プ１９２に対する検出
信号２０５を示す。また、パルス信号２０６は、検出信
号２０３、２０４、２０５に対応したパルス２０７、２
０８、２０９を示す。

【００９２】リ−ドライトヘッドの位置信号は、パルス
信号の時間差Ｔ_s、Ｔ_kを測定し、Ｔ_k／Ｔ_sより求める。
ここで、図１６の３つの位置信号パタ−ン１８１、１８
２、１８４は磁気ディスクの中心より放射状に延びた直
線上に配置されているため、ディスクが一定速で回転し
ている場合にはディスクの外周から内周までＴ_sは一定
の時間差を示す。また、位置信号の第３のパタ−ン１８
４はトラックごとにスロ−プ１８８、１９２が変化する
ので第２のパタ−ン１８２との時間差Ｔ_kはトラックご
とに周期的に変化する。

【００９３】図１８にリ−ドライトヘッドの位置信号Ｔ
_k／Ｔ_sを示す。位置信号２１１は、図１６のスロ−プ１
８８に対応して直線部２１２、スロ−プ１９２に対応し
て直線部２１３となる２トラック周期の正弦波状の繰り
返し波形となる。２１５はトラック中心、２１４はトラ
ック番号を示している。なお、位置信号２１１は、パタ
ーンの位置による直流オフセットを含むので除去する必
要がある。

【００９４】このように本実施例によれば、リ−ドライ
トヘッドの位置信号をトラックごとの正弦波状の繰り返
し波形で得られるために高精度な位置検出が可能とな
り、高密度化に対応した高精度位置決めが可能となる。

【００９５】さらに、これらのサ−ボ信号パタ−ンを前
述したエッチング、スパッタ等により凹凸部を形成する
加工方法や超微粒子で凸部を形成する加工方法で製作コ
ストの低減と微細加工による高精度化により高精度位置
決めができる効果がある。

【００９６】さらに、凹部を超微粒子で埋めることによ
りリ−ドライトヘッドの浮上量変動をなくすことができ
るので、より高精度位置決めができる効果がある。

【００９７】次に、本発明の他の実施例を図１９、図２
０に示す。

【００９８】図１９は、図１６の実施例に位置信号の第
４のパタ−ン２２７を設けたサ−ボ信号パタ−ンを示し
ている。図１９において磁気ディスク表面には、グレイ
コ−ドパタ−ン領域２２０、位置信号パタ−ン領域２２
１、デ−タ領域２２２等が形成されており、グレイコ−
ドパタ−ン領域２２０はグレイコ−ドパタ−ン２３２、
２３３等で構成されている。

【００９９】また位置信号パタ−ン領域２２１は位置信
号の第１のパタ−ン２２４、位置信号の第２のパタ−ン
２２５、位置信号の第３のパタ−ン２２６及び位置信号
の第４のパタ−ン２２７で構成されている。なお、前記
４つの位置信号パタ−ン２２４、２２５、２２６、２２
７はディスクの中心より放射状に延びる直線上に設け、
位置信号の第３のパタ−ン２２６、位置信号の第４のパ
タ−ン２２７はトラックごとに右上りのスロ−プ２３
６、２３８、右下りのスロ−プ２３７、２３９を繰り返
すパタ−ンであって、第３のパタ−ン２２６と第４のパ
タ−ン２２７は９０°位相が異なるように構成する。

【０１００】デ−タ領域２２２は、デ−タトラック２２
９、２３４を溝２２８、２３０、２３５で分離したディ
スクリ−トトラックである。デ−タトラックはディスク
リ−トトラックでなくても良い。また、２２３はトラッ
ク中心、２２８、２３０、２３５はトラックごとの溝、
２３１はリ−ドライトヘッドを示している。また、本実
施例では各パターンを磁気ディスクの表面に凹凸パタ−
ンとして形成すると良い。

【０１０１】図２０は、図１９に示す位置信号パタ−ン
を読み出した時の検出信号を、リ−ドライトヘッドを位
置決めするための位置信号に変換した信号を示す。図２
０は、図１６の実施例と同じ方法で位置信号の第３のパ
タ−ン２２６から求めた位置信号Ｎ２４０と第４のパタ
−ン２２７から求めた位置信号Ｑ２４３を示している。
位置信号Ｎ２４０は、位置信号の第３のパタ−ン２２
６の右上りのスロ−プ２３６に対応した直線部２４１と
右下りのスロ−プ２３７に対応した直線部２４２となる
２トラック周期の正弦波状の繰り返し波形となる。

【０１０２】位置信号Ｑ２４３は、位置信号の第４のパ
タ−ン２２７の右上りのスロ−プ２３８に対応した直線
部２４５と右下りのスロ−プ２３９に対応した直線部２
４６となる２トラック周期の正弦波状の繰り返し波形と
なる。ただし、位置信号２４０と２４３は９０°の位相
差をもった波形となる。また２４４はトラック番号、２
２３はトラック中心を示している。

【０１０３】なお、位置信号２４０、２４３はパターン
の位置による直流オフセットを含むので除去する必要が
ある。

【０１０４】このように本実施例によれば、９０°の位
相差をもつ位置信号Ｐと位置信号Ｑが得られるため、ト
ラック番号によるオフセットに、各直線部をつなぎ合わ
せることにより高精度な連続した位置信号が得られるた
め、位置決め追従性能の向上に効果がある。

【０１０５】さらに、移動方向の識別が可能となりリ−
ドライトヘッドが半径方向に移動した場合にトラックカ
ウントの精度が向上する効果がある。

【０１０６】本発明の他の実施例を図２１、図２２に示
す。

【０１０７】図２１は、図１９の実施例における位置信
号の第３のパタ−ン２２６と第４のパタ−ン２２７の繰
り返し周期を４トラックごとに変化するパタ−ン２５
２、２５３としたものである。図２１において磁気ディ
スク表面に形成されうる位置信号パターン領域は、位置
信号の第１のパタ−ン２５０、位置信号の第２のパタ−
ン２５１、位置信号の第３のパタ−ン２５２、位置信号
の第４のパタ−ン２５３で構成されている。

【０１０８】位置信号の第３のパタ−ン２５２は、右上
りのスロ−プ２５４と右下りのスロ−プ２５５を２トラ
ックごとに周期的に繰り返すパタ−ンで構成する。

【０１０９】位置信号の第４のパタ−ン２５３は、右上
りのスロ−プ２５６と右下りのスロ−プ２５７を２トラ
ックごとに周期的に繰り返すパタ−ンで構成する。位置
信号の第１のパタ−ン２５０、第２のパタ−ン２５１、
第３のパタ−ン２５２、第４のパタ−ン２５３は、磁気
ディスクの中心より放射状に延びる直線上に配置され
る。また、２５９はトラック中心、２５８はリ−ドライ
トヘッドを示している。また本実施例のサ−ボ信号パタ
−ンは磁気ディスクの表面に凹凸パタ−ンとして形成す
ると良い。

【０１１０】図２２は、図２１の位置信号パタ−ンより
図１６の実施例と同じ方法で位置信号に変換した場合の
位置信号Ｎ２６０と位置信号Ｑ２６３を示している。

【０１１１】位置信号Ｎ２６０は、図２１の位置信号の
第３のパタ−ン２５２の右上りのスロ−プ２５４に対応
した直線部２６１と右下りのスロ−プ２５５に対応した
直線部２６２となる４トラック周期の正弦波状の繰り返
し波形となる。

【０１１２】位置信号Ｑ２６３は、図２１の位置信号の
第４のパタ−ン２５３の右上りのスロ−プ２５６に対応
した直線部２６５と右下りのスロ−プ２５７に対応した
直線部２６６となる４トラック周期の正弦波状の繰り返
し波形となる。ただし、位置信号２６０と２６３は、９
０°の位相差をもった波形となる。また２５９はトラッ
ク中心、２６４はトラック番号を示している。また、本
実施例のサ−ボ信号パタ−ンは磁気ディスクの表面に凹
凸パターンとして形成するのが良い。

【０１１３】このように本実施例によれば、位置信号Ｎ
２６０と位置信号Ｑ２６３の繰り返し周期を４トラック
とすることで図１９に示す実施例と同様の効果が得ら
れ、さらには１トラック内における直線部２６１、２６
２、２６５、２６６を広くとれるため位置決め時の追従
性能が向上する効果がある。

【０１１４】本発明の他の実施例を図２３に示す。

【０１１５】図２３は、磁気ディスク２８２の円周方向
に等間隔に配置された位置信号パタ−ン２７６、２７
５、２７４、２７３、２７２、２７１、２７０、２７８
を示している。上記位置信号パタ−ンの構成を位置信号
パタ−ン２７６で説明する。位置信号パタ−ン２７６
は、位置信号の第１のパタ−ン２７９、第２のパタ−ン
２８０、第３のパタ−ン２８１で構成されている。上記
第１のパタ−ン２７９、２８０は、図１のリ−ドライト
ヘッド３の半径方向に移動する軌跡１９と同じ軌跡上に
配置する。

【０１１６】上記第３のパタ−ン２８１は、リ−ドライ
トヘッド３の半径方向に移動する軌跡２８２と外周では
一致し、内周に向かうにつれて前記第２のパタ−ンに近
づくように配置する。

【０１１７】また、本実施例のサ−ボ信号パタ−ンは磁
気ディスク表面に凹凸パタ−ンとして形成すると良い。

【０１１８】このように本実施例によれば、図１の実施
例と同様の位置信号が得られる。

【０１１９】さらに、位置信号パタ−ンとリ−ドライト
ヘッドはどの位置でも交差角が零で交わるため検出信号
電圧が安定し、最高出力が得られ高密度化に効果があ
る。

【０１２０】本発明の他の実施例を図２４に示す。

【０１２１】図２４は、位置信号パタ−ンを示し、位置
信号パタ−ンは、位置信号の第１のパタ−ン２７９、第
２のパタ−ン２８０、第３のパタ−ン２８３で構成され
ている。上記第１、第２、第３のパタ−ンは、リ−ドラ
イトヘッドが半径方向に移動する時の軌跡上に配置す
る。ただし、上記第３のパタ−ン２８３は右上りのスロ
−プと右下りのスロ−プをトラックごとに繰り返す構成
とする。また、２８５、２８６はトラックを示してい
る。また、本実施例のサ−ボ信号パタ−ンは磁気ディス
クの表面に凹凸パタ−ンとして形成すると良い。

【０１２２】このように本実施例によれば、位置信号の
第３のパタ−ンをトラックごとに三角波状のパタ−ンを
繰り返すため、図１６の実施例と同様の位置信号が得ら
れ、高精度の位置検出が可能となり高密度化に効果があ
る。

【０１２３】本発明に係る磁気ディスクの製造方法の一
実施例を図２５に示す。

【０１２４】図２５は、図７、図１０、図１２、図１５
に示した凹部に超微粒子を単層及び多層に形成する磁気
ディスクの加工工程を示している。同図においてプロセ
ス３００は、基板３０２にレジスト膜３０１を塗布する
工程を示す。

【０１２５】プロセス３０５は、マスク３０７と露光光
３０６によりレジスト膜３０１にサ−ボパタ−ン等をパ
タ−ンニングする工程を示す。

【０１２６】プロセス３１０は、レジスト膜３０１が露
光された部分とその下の基板３０２をエッチングにより
加工し除去する工程を示す。

【０１２７】プロセス３１５は、レジスト膜３０１を除
去する工程を示し、プロセス３２０は、磁性層３２１を
形成する工程を示している。

【０１２８】またプロセス３２５は、磁性層３２１の上
にレジスト膜３２６を塗布する工程を示し、プロセス３
３０は、マスク３３２と露光光３３１によりレジスト膜
３２６にサ−ボパタ−ン等をパタ−ンニングする工程を
示している。ただし、マスク３３２はマスク３０７と同
じでも良い。また、マスク３３２の位置は基板の凹部に
一致するように位置決めする必要がある。

【０１２９】プロセス３３５は、レジスト膜３２６が露
光された部分をエッチングにより除去する工程を示し、
プロセス３４０は、超微粒子をバインダ溶液に分散させ
た溶液中にプロセス３３５で加工した基板を入れてレジ
スト膜のない凹部に超微粒子を付着させる工程を示して
いる。ここで超微粒子はＳ_iＯ₂、Ｔ_iＯ₂、Ｚ_rＯ₂、Ａｌ
₂Ｏ₃等の材質を用い、直径は１ｎｍ〜100ｎｍの粒子で
ある。超微粒子を付着させた基板の表面をＫＯＨ水溶液
で化成処理し水酸基ＯＨを形成する。超微粒子として好
ましくは触媒化成工業製のエタノ−ル単分散１０ｎｍを
使用すると良い。バインダとしては一般に有機ケイ素
系、好ましくはエチルシリケ−トＳ_i(ＯＣ₂Ｈ₅)₄でアル
コ−ルに可溶なものが良い。

【０１３０】超微粒子とバインダの配合の例として、 超微粒子Ｓ_iＯ₂ １０ｎｍ １wt％ エチルシリケ−ト Ｓ_i(ＯＣ₂Ｈ₅)₄ ０.２wt％ 残り エチルアルコ−ル わずかに ＨＮＯ₃（数滴） を調合して加水分解、重合を一部分起こさせる。このバ
インダと超微粒子を分散させた溶液中に前記付着させた
い基板を浸したのち、これを取り出し２００℃で３０分
加熱するとシロキサン結合により基板の表面に超微粒子
が固着する。

【０１３１】なお、選択的に超微粒子を付着させるため
には表面エネルギ−を変えることで対応できる。この場
合レジスト膜の部分は表面エネルギ−が低いために超微
粒子は付着しない。

【０１３２】また、表面エネルギ−を下げる手段として
フルオロアルキルシラン等を用いても良い。また、超微
粒子及びバインダで形成する膜厚制御はバインダ中に分
散させる超微粒子の径で制御できる。

【０１３３】プロセス３４５は、加熱により付着させた
超微粒子を基板に固着させるとともにレジスト膜を除去
する工程を示している。

【０１３４】このように本実施例によれば、選択的に基
板の凹部に超微粒子を固着することができるため磁気デ
ィスクの表面が平滑な任意のサ−ボ信号パタ−ン等が安
価に形成できるためリ−ドライトヘッドの浮上量を安定
に保つことができ、高密度化と低コスト化が実現できる
効果がある。

【０１３５】本発明に係る磁気ディスクの製造方法の他
の実施例を図２６を用いて説明する。

【０１３６】図２６は、図２５の実施例と同様に凹部に
超微粒子を付着させる磁気ディスクの加工工程を示して
いる。同図においてプロセス３５０は、基板３５２に磁
性層３５１を形成する工程を示し、プロセス３５５は、
レジスト膜３５６を塗布する工程を示している。

【０１３７】またプロセス３６０は、マスク３６２と露
光光３６１でレジスト膜３５６にサ−ボ信号パタ−ン等
をパタ−ンニングする工程を示し、プロセス３６５は、
レジスト膜３５６の露光された部分とその下の基板をエ
ッチング加工により凹部を形成する工程を示している。

【０１３８】さらにプロセス３７０は、バインダ中に超
微粒子を分散させた溶液中で凹部に超微粒子３７１を付
着させる工程を示し、プロセス３７５は、加熱により付
着させた超微粒子を基板に固着させるとともにレジスト
膜を除去する工程を示している。

【０１３９】このように本実施例によれば、図２５に示
した実施例と同様な効果が得られるとともに、加工工程
が簡略化されるため、さらに低コスト化が実現できる効
果がある。

【０１４０】本発明に係る磁気ディスクの製造方法の他
の実施例を図２７に示す。

【０１４１】図２７は、超微粒子によりサ−ボ信号パタ
−ン等の凸部を形成し、さらに凹部に超微粒子を形成す
る磁気ディスクの加工工程を示している。同図において
プロセス３８０は基板３８２にレジスト膜３８１を塗布
する工程を示し、プロセス３８５は、マスク３８７と露
光光３８６でレジスト膜３８１にサ−ボ信号パタ−ン等
をパタ−ンニングする工程を示している。

【０１４２】またプロセス３９０は、レジスト膜３８１
の露光された部分をエッチングで除去する工程を示し、
プロセス３９５は、バインダに超微粒子を分散させた溶
液に基板を浸し、選択的に超微粒子３９６を付着させる
工程を示している。

【０１４３】さらにプロセス４００は、加熱により超微
粒子３９６を基板に固着させ、さらにレジスト膜を除去
する工程を示し、プロセス４０５は、選択的に超微粒子
３９６の固着した基板に磁性層３９６を形成する工程を
示している。

【０１４４】またプロセス４１０は、レジスト膜４１１
を塗布する工程を示し、プロセス４１５は、マスク４１
７と露光光４１６でレジスト膜４１１にサ−ボ信号パタ
−ン等をパタ−ンニングする工程を示している。また、
露光された部分をエッチングする方法と露光されていな
い部分をエッチングする加工方法があるのでプロセス３
８５で用いたマスク３８７とマスク４１７はここでは別
なマスクを用いるが、同じものでも良い。

【０１４５】さらにプロセス４２０は、レジスト膜４１
１の露光された部分をエッチングにより除去する工程を
示し、プロセス４２５は、選択的に凹部に超微粒子４２
６を付着させる工程を示している。

【０１４６】プロセス４３０は加熱により凹部の超微粒
子を基板に固着させる工程とレジスト膜を除去する工程
を示している。なお、プロセス４０５までで製品化して
も良い。

【０１４７】このように本実施例によれば、磁気ディス
クの表面に超微粒子によりサ−ボ信号パタ−ン等の凸部
を形成できるためサ−ボ信号パタ−ンの加工の低コスト
化と、さらに高密度化に対応したサ−ボ信号パタ−ンが
得られる効果がある。

【０１４８】さらに、凹部を超微粒子で埋めることがで
きるので磁気ディスク表面が平滑になり、リ−ドライト
ヘッドの浮上量変動がなくなり検出信号の信頼性と高密
度化に効果がある。

【０１４９】次に本発明の他の実施例を図２８に示す。

【０１５０】図２８は、本発明に係る磁気ディスク装置
に用いられる磁気ディスクの位置信号パターンを示し、
これは図１９の位置信号パタ−ンの配置を変形したもの
で番号の同じものは同様な機能を示す。

【０１５１】図２８において位置信号パタ−ンは、第１
のパタ−ン２２４、第２のパタ−ン２２５、第３のパタ
−ン２２６に、さらに、第４のパタ−ン４５０、第５の
パタ−ン４５１、第６のパタ−ン４５２で構成されてい
る。なお、第４、第５、第６のパタ−ンは第１、第２、
第３のパタ−ンと同様にディスクの中心からの放射線上
に配置する。

【０１５２】このように本実施例によれば、図１９の第
１、第２、第３のパタ−ンから位置信号を求めたのと同
じ条件で第４、第５のパタ−ンの検出時間差Ｔ₂と、第
５、第６のパタ−ンの検出時間差Ｔ₃より位置信号Ｔ₃／
Ｔ₂を検出できるための位置信号の検出精度が向上する
効果がある。

【０１５３】次に本発明の他の実施例を図２９に示す。

【０１５４】図２９は、図１９の位置信号パタ−ンの配
置を変形したもので番号の同じものは同様な機能を示
す。

【０１５５】図２９において、位置信号パタ−ンは第１
のパタ−ン２２４、第２のパタ−ン２２５、第３のパタ
−ン２２６に、さらに第４のパタ−ンは、ディスクの中
心からの放射線上に配置する。第３のパタ−ンは２トラ
ックづつの繰り返しパタ−ンで、第４のパタ−ンは図２
１で示す４トラックづつの繰り返しパタ−ンで構成す
る。

【０１５６】このように本実施例によれば、第３のパタ
−ンによる２トラックごとの正弦波状に変化する位置信
号と、第４のパタ−ンによる４トラックごとの正弦波状
に変化する位置信号が得られるので、トラックカウント
には第３のパタ−ンの位置信号を使用し、１トラック内
でリ−ドライトヘッドをオフセットするときには直線性
の広い第４のパタ−ンの位置信号を使用できる効果があ
る。

【０１５７】また、図２９の実施例は図２８の実施例と
同じように配置することができ、さらに高精度位置検出
ができる効果がある。

【０１５８】次に本発明の他の実施例を図３０に示す。
図３０は図１６の位置信号パターンを変形したもので番
号の同じものは同様な機能を示す。図３０において位置
信号パターンは、第１のパターン１８１と、第２のパタ
ーン１８２及び第３のパターン１８４で構成されてい
る。

【０１５９】また、位置信号の第３のパターン１８４は
データトラックごとに右上がりのスロープ４７１と右下
がりのスロープ４７２を繰り返すパターンで構成され、
スロープ４７１とスロープ４７２は、トラックとトラッ
クの間で分離されている。

【０１６０】このように本実施例によれば、スロープ４
７１とスロープ４７２を分離することで２つのスロープ
が接近した位置でのヘッドの再生信号に一方のスロープ
の信号が再生されなくなるので図１８に示す位置信号２
１１の直線部２１２、２１３の範囲が広がるため、ヘッ
ドの高精度な位置決めが可能となる効果がある。

【０１６１】同様に図１９のパターン２２６、２２７、
図２１のパターン２５５、２５４、図２４のパターン２
８３、図２８のパターン２２６、４５２、図２９のパタ
ーン２２６、４６０に適用できる。そして、図１６と同
じ効果が得られる。

【０１６２】このように各実施例で説明した位置信号パ
タ−ンを組み合わせて、他の位置信号パタ−ンを作成で
きることはいうまでもない。

【０１６３】本発明に係る磁気ディスク装置に使用され
る磁気ディスクを製造するのに用いられる超微粒子とし
て、磁性層を有する超微粒子を使用することもできる。
この場合、超微粒子をディスクに固着した後で磁性層を
形成する必要がなくなるため、プロセスが簡略化され、
コスト低減に効果がある。

【０１６４】なお、これまで説明した本発明の実施例で
は、磁気ディスクの片面に凹凸部を形成した例を説明し
たが、もちろん両面の加工ができることは言うまでもな
い。

【０１６５】また、本発明の実施例ではサ−ボ信号をデ
−タ面に埋め込んだセクタ−サ−ボ方式について説明し
たが、サ−ボ信号のみのサ−ボ面サ−ボ方式への適用も
できる。

【０１６６】また、本発明は磁気ディスク装置以外の光
ディスク装置、フロッピ−ディスク装置、磁気テ−プ装
置等に応用できることは言うまでもない。

【０１６７】

【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
トラックごとに周期的な位置信号が得られ高精度位置決
めに効果がある。

【０１６８】また、前記位置信号パタ−ンを微細加工技
術により凹凸パターンで形成できるのでより高精度な位
置信号パタ−ンが得られ、高トラック密度化に効果があ
る。

【０１６９】また、位置信号パタ−ンの凹凸パターンを
超微粒子で形成することにより高精度で安価なサ−ボ信
号パタ−ンを有する磁気ディスクを製作できる効果があ
る。

【０１７０】また、位置信号パタ−ンの凹凸の凹部を超
微粒子で埋めることにより、ディスク表面を平滑にでき
るため凹部でのリ−ドライトヘッドの浮上量変動、振動
又は液体浮上方式でのリ−ドライトヘッドの安定走行が
確保される効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る位相差検出方式の位置信号パタ−
ンを用いた磁気ディスク装置の構成を示すブロック図で
ある。

【図２】本発明に係る位相差検出方式の磁気ディスク装
置に用いられる磁気ディスクに形成された位置信号パタ
−ンを示す説明図である。

【図３】図２に示した磁気ディスクの断面構造と磁化の
向きを示す図である。

【図４】図３に示した位置信号パターンの検出信号を示
す説明図である。

【図５】本発明に係る磁気ディスク装置に用いられる磁
気ディスクに形成されたサ−ボ信号パタ−ンを示す説明
図である。

【図６】図１に示した磁気ディスク装置におけるリード
ライトヘッドのトラック位置に対する出力信号Ｔ₁／Ｔ₀
の関係を示す特性図である。

【図７】図２に示した磁気ディスクにおける位相差検出
方式のサーボ信号パタ−ンの凹部を超微粒子で埋めた構
成を示す説明図である。

【図８】図２に示した磁気ディスクにおける位相差検出
方式のサーボ信号パタ−ンの凸部を超微粒子で形成した
構成を示す説明図である。

【図９】図８に示した磁気ディスクのデータ領域を超微
粒子によりディスクリ−トトラックに形成した構成を示
す説明図である。

【図１０】図９に示した磁気ディスクの凹部に超微粒子
で埋めた構成を示す説明図である。

【図１１】２相バ−ストパタ−ンによる位置信号検出方
式を示す説明図である。

【図１２】図１１に示した磁気ディスクのトラック中心
における断面構造と磁化の向きを示す説明図である。

【図１３】図１２に示した磁気ディスクの位置信号パタ
ーンの検出信号を示す説明図である。

【図１４】図１２に示した磁気ディスクのパタ−ンの凸
部を凹部で形成し凹部に超微粒子を埋めた構成を示す説
明図である。

【図１５】図１１に示した２相バ−ストパターンの凹凸
部を超微粒子で形成した構成を示す説明図である。

【図１６】本発明に係る位相差検出方式の磁気ディスク
装置に用いられる磁気ディスクに形成された三つの位置
信号パタ−ンのうち第３のパタ−ンを周期的に変化させ
た構成を示す説明図である。

【図１７】図１６に示した磁気ディスクの位置信号パタ
ーンの検出信号を示す説明図である。

【図１８】図１７に示した磁気ディスクの位置信号パタ
ーンの検出信号から得られる位相差検出方式の位置信号
を示す説明図である。

【図１９】図１６に示した実施例に位置信号パターンと
して第４のパターンを設け、位相差検出方式の第３、第
４のパタ−ンを位相をずらせて周期的に変化させた構成
を示す説明図である。

【図２０】図１９に示した磁気ディスクの位置信号パタ
ーンの検出信号から得られる位相差検出方式の位置信号
を示す説明図である。

【図２１】図１９に示した実施例における位相差検出方
式の第３、第４のパタ−ンの繰り返し周期を複数トラッ
クとした構成を示す説明図である。

【図２２】図２１に示した磁気ディスクの位置信号パタ
ーンの検出信号から得られる位相差検出方式の位置信号
を示す説明図である。

【図２３】図１に示した磁気ディスクにおける位相差検
出方式の位置信号パタ−ンをリ−ドライトヘッドの軌跡
に沿って形成した構成を示す説明図である。

【図２４】図２３に示した磁気ディスクにおける位置信
号パターンのうち第３のパタ−ンを周期的に変化させる
ように形成した構成を示す説明図である。

【図２５】凹部と凸部に磁性層を有する凹凸パタ−ンの
凹部に超微粒子を埋め込む磁気ディスクの加工工程を示
す説明図である。

【図２６】凸部のみ磁性層を有する凹凸パタ−ンの凹部
に超微粒子を埋め込む磁気ディスクの加工工程を示す説
明図である。

【図２７】凸部を超微粒子で形成後、磁性層を形成し凹
部に超微粒子を埋め込む磁気ディスクの加工工程を示す
説明図である。

【図２８】図１９に示した実施例のの位置信号パタ−ン
の変形例を示す説明図である。

【図２９】図１９に示した実施例の位置信号パタ−ンの
他の変形例を示す説明図である。

【図３０】図１９に示した実施例の位置信号パタ−ンの
他の変形例を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 磁気ディスク ２ スピンドルモ−タ ３ リ−ドライトヘッド ４ ロ−タリアクチュエ−タ ５ ボイスコイルモ−タ ６ 制御回路 １０ 外部インタ−フェ−ス信号 ２１ 回転軸 ２２ デ−タトラック ２３ デ−タトラック ２４ 位置信号の第１のパタ−ン ２５ 位置信号の第２のパタ−ン ２６ 位置信号の第３のパタ−ン ２７ ディスクの回転中心を通る線 ３３ ＩＳＧ領域 ３４ マーカーパターン領域 ３５ グレイコードパターン領域 ３６ 位置信号パターン領域 ３７ データ領域

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浜田 洋介 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 遠山 聡一 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 小林 正人 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 山口 高司 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレ−ジシステム事業部内

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気記録媒体である回転する磁気ディス
   クと、該磁気ディスクに同心円状に形成されたトラック
   の円周方向に複数分割されたセクタにあらかじめ書き込
   まれてあるトラックの位置を示すサーボ信号より位置信
   号を読み出し、各トラックに情報を読み書きするヘッド
   と、情報を読み書きするためのトラックに位置決めする
   前記ヘッドを搭載したアクチュエータと、各部の動作を
   制御する制御手段とを有する磁気ディスク装置におい
   て、 前記磁気ディスクの各セクタに書き込まれた位置信号
   は、第１のパターンと第２のパターンと第３のパターン
   からなり、前記第１のパターンと第２のパターンと第３
   のパターンは、磁気ディスク回転中心から放射線上に伸
   びる直線上に配置され、第１のパターンと第２のパター
   ンは直線であって、第３のパターンは前記放射線上を中
   心としてトラックごとに正と負の傾きをくり返す折線パ
   ターンであって、 前記制御手段は、第１のパターンと第２のパターンの検
   出位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパターン
   の検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出
   しヘッドをトラックに位置決めすることを特徴とする磁
   気ディスク装置。
2. 【請求項２】 前記磁気ディスクの各セクタに書き込ま
   れた位置信号の第３のパターンは前記放射線上を中心と
   して複数トラックごとに正と負の傾きをくり返す折線パ
   ターンであって、 前記制御手段は第１のパターンと第２のパターンの検出
   位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパターンの
   検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出し
   ヘッドをトラックに位置決めすることを特徴とする請求
   項１に記載の磁気ディスク装置。
3. 【請求項３】 前記磁気ディスクに位置信号の第３のパ
   ターンと同じ折線の第４のパターンを設け、第３のパタ
   ーンと第４のパターンは磁気ディスクの半径方向に位相
   をずらせて配置し、 前記制御手段は第１のパターンと第２のパターンの検出
   位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパターンの
   検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号ＮのＴ₁／Ｔ₀を検
   出し、第２のパターンと第４のパターンの検出位置の時
   間差Ｔ₂とから位置信号ＱのＴ₂／Ｔ₀を検出し、ヘッド
   をトラックに位置決めすることを特徴とする請求項１に
   記載の磁気ディスク装置。
4. 【請求項４】 前記磁気ディスクに位置信号の第３のパ
   ターンと同じ折線の第４のパターンを設け、第３のパタ
   ーンと第４のパターンは磁気ディスクの半径方向に位相
   をずらせて配置し、 前記制御手段は、第１のパターンと第２のパターンの検
   出位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパターン
   の検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号ＮのＴ₁／Ｔ₀を
   検出し、第２のパターンと第４のパターンの検出位置の
   時間差Ｔ₂とから位置信号ＱのＴ₂／Ｔ₀を検出し、ヘッ
   ドをトラックに位置決めすることを特徴とする請求項２
   に記載の磁気ディスク装置。
5. 【請求項５】 前記磁気ディスクの前記セクタに書き込
   まれた位置信号は、第１のパターンと第２のパターンと
   第３のパターンからなり、前記第１のパターンと第２の
   パターンと第３のパターンは、磁気ディスクの内周から
   外周へかけて円弧状の曲線上に配置し、第１のパターン
   と第２のパターンは円弧状の曲線であって、第３のパタ
   ーンは、前記曲線上を中心としてトラックごとに正と負
   の傾きを繰り返す折線パターンであって、 前記制御手段は第１のパターンと第２のパターンの検出
   位置の時間差Ｔ₀と、第２のパターンと第３のパターン
   の検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出
   し、ヘッドをトラックに位置決めすることを特徴とする
   請求項１に記載の磁気ディスク装置。
6. 【請求項６】 前記磁気ディスクの各セクタに書き込ま
   れた位置信号の第３のパターンは前記曲線線上を中心と
   して複数トラックごとに正と負の傾きをくり返す折線パ
   ターンであって、 前記制御手段は第１のパターンと第２のパターンの検出
   位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパターンの
   検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号Ｔ₁／Ｔ₀を検出し
   ヘッドをトラックに位置決めすることを特徴とする請求
   項５に記載の磁気ディスク装置。
7. 【請求項７】 前記磁気ディスクに位置信号の第３のパ
   ターンと同じ折線の第４のパターンを設け、第３のパタ
   ーンと第４のパターンは磁気ディスクの半径方向に位相
   をずらせて配置し、 前記制御手段は第１のパターンと第２のパターンの検出
   位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパターンの
   検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号ＮのＴ₁／Ｔ₀を検
   出し、第２のパターンと第４のパターンの検出位置の時
   間差Ｔ₂とから位置信号ＱのＴ₂／Ｔ₀を検出し、ヘッド
   をトラックに位置決めすることを特徴とする請求項５に
   記載の磁気ディスク装置。
8. 【請求項８】 前記磁気ディスクに位置信号の第３のパ
   ターンと同じ折線の第４のパターンを設け、第３のパタ
   ーンと第４のパターンは磁気ディスクの半径方向に位相
   をずらせて配置し、 前記制御手段は、第１のパターンと第２のパターンの検
   出位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパターン
   の検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号ＮのＴ₁／Ｔ₀を
   検出し、第２のパターンと第４のパターンの検出位置の
   時間差Ｔ₂とから位置信号ＱのＴ₂／Ｔ₀を検出し、ヘッ
   ドをトラックに位置決めすることを特徴とする請求項６
   に記載の磁気ディスク装置。
9. 【請求項９】 前記磁気ディスクの前記セクタに書き込
   まれた位置信号は、第１のパターンと第２のパターンと
   第３のパターンからなり、前記第１のパターンと第２の
   パターンは磁気ディスク中心から放射線上に配置し、第
   ３のパターンは磁気ディスクの中心を通らない直線上に
   配置し、前記第１、第２、第３のパターンはトラックの
   円周方向に凹凸状に形成し、 前記制御手段は前記各パターンを形成する凸部と凹部を
   逆向きに一様に磁化し、第１のパターンと第２のパター
   ンの検出位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパ
   ターンの検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号Ｔ₁／Ｔ₀
   を検出しヘッドをトラックに位置決めすることを特徴と
   する請求項１に記載の磁気ディスク装置。
10. 【請求項１０】 前記磁気ディスクの前記セクタに書き
    込まれた位置信号は、第１のパターンと第２のパターン
    と第３のパターンからなり、前記第１のパターンと第２
    のパターンは磁気ディスクの内周から外周へかけて円弧
    状の曲線上に配置し、第３のパターンは磁気ディスクの
    外周から内周へかけて第２のパターンに近づく円弧上の
    曲線上に配置し、前記第１、第２、第３のパターンはト
    ラックの円周方向に凹凸状に形成し、 前記制御手段は前記各パターンを形成する凸部と凹部を
    逆向きに一様に磁化し、第１のパターンと第２のパター
    ンの検出位置の時間差Ｔ₀と第２のパターンと第３のパ
    ターンの検出位置の時間差Ｔ₁とから位置信号Ｔ₁／Ｔ₀
    を検出しヘッドをトラックに位置決めすることを特徴と
    する請求項１に記載の磁気ディスク装置。
11. 【請求項１１】 前記磁気ディスクの前記セクタに書き
    込まれた位置信号のパターンはトラックの円周方向に凹
    凸で形成し、 前記制御手段は、前記凸部と凹部を逆向きに一様に磁化
    し、各パターンの検出位置の時間差から位置信号を検出
    しヘッドをトラックに位置決めすることを特徴とする請
    求項１乃至８のいずれかに記載の磁気ディスク装置。
12. 【請求項１２】 前記磁気ディスクの基板に超微粒子を
    固着させその上に磁性層を形成し、 前記制御手段は前記位置信号のパターンを形成する凸部
    と凹部を逆向きに一様に磁化して位置信号を形成するこ
    とを特徴とする請求項１０または１１のいずれかに記載
    の磁気ディスク装置。
13. 【請求項１３】 前記磁気ディスクの基板に磁性層を形
    成したのち凹凸を形成し、 前記制御手段は凸部を一様に磁化して位置信号を形成す
    ることを特徴とする請求項１０または１１のいずれかに
    記載の磁気ディスク装置。
14. 【請求項１４】 前記磁気ディスクに形成された前記凹
    部に超微粒子を固着させ磁気ディスクの表面を平滑面に
    することを特徴とする請求項６乃至９のいずれかに記載
    の磁気ディスク装置。
15. 【請求項１５】 磁気記録媒体である回転する磁気ディ
    スクと、該磁気ディスクに同心円状に形成されたトラッ
    クの円周方向に複数分割されたセクタにあらかじめ書き
    込まれてあるトラックの位置を示すサーボ信号より位置
    信号を読み出し各トラックに情報の読み書きをするヘッ
    ドと、情報を読み書きするためのトラックに位置決めす
    る前記ヘッドを搭載したアクチュエータと、各部の動作
    を制御する制御手段とを有する磁気ディスク装置におい
    て、 前記磁気ディスクのセクタに書き込む少なくとも同期パ
    ターン、インディクスパターン、トラックアドレスパタ
    ーン、位置信号パターンを含むサーボ信号パターンを磁
    気ディスク表面に超微粒子を固着させて凹凸を形成し、
    その上に磁性層を形成し、 前記制御手段は凸部と凹部を逆向きに一様に磁化しサー
    ボ信号を形成することを特徴とする磁気ディスク装置。
16. 【請求項１６】 前記凹部に超微粒子を固着させ磁気デ
    ィスクの表面を平滑面にすることを特徴とする請求項１
    ５に記載の磁気ディスク装置。
17. 【請求項１７】 磁気記録媒体である回転する磁気ディ
    スクと、該磁気ディスクに同心円状に形成されたトラッ
    クの円周方向に複数分割されたセクタにあらかじめ書き
    込まれてあるトラックの位置を示すサーボ信号より位置
    信号を読み出し、各トラックに情報を読み書きするヘッ
    ドと、情報を読み書きするためのトラックに位置決めす
    る前記ヘッドを搭載したアクチュエータと、各部の動作
    を制御する制御手段とを有する磁気ディスク装置におい
    て、 前記磁気ディスクにおける位置信号パターンは、トラッ
    クの円周方向に第１のパターンと第２のパターンをオフ
    セットして千鳥に配置し、第１のパターンと第２のパタ
    ーンは一定周期でトラックの中心から次のトラックの中
    心まで直線パターンを交互にくり返すパターンであっ
    て、前記第１、第２のパターンは、凹凸で形成し、該凹
    部に超微粒子を固着させて磁気ディスクの表面を平滑面
    にし、 前記制御手段は前記凸部と凹部を逆向きに一様に磁化
    し、第１のパターンの出力値Ａと第２のパターンの出力
    値Ｂから位置信号（Ａ−Ｂ）を検出し、ヘッドをトラッ
    クに位置決めすることを特徴とする磁気ディスク装置。
18. 【請求項１８】 前記磁気ディスクにおける位置信号パ
    ターンは第１のパターンと第２のパターンと第３のパタ
    ーンと第４のパターンを有し、第３と第４のパターンは
    第１のパターンと第２のパターンより半径方向に位相ず
    らせたパターンであって、第１、第２、第３、第４のパ
    ターンは凹凸で形成し、凹部に超微粒子を固着させて磁
    気ディスクの表面を平滑面にし、 前記制御手段は前記凸部と凹部を逆向きに一様に磁化
    し、第１のパターンの出力値Ａと第２のパターンの出力
    値Ｂから位置信号（Ａ−Ｂ）を検出し、第３のパターン
    の出力値Ｃと第４のパターンの出力値Ｄから位置信号
    （Ｃ−Ｄ）を検出し、ヘッドをトラックに位置決めする
    ことを特徴とする請求項１７に記載の磁気ディスク装
    置。
19. 【請求項１９】 前記磁気ディスク面に超微粒子を固着
    させデータトラックに凸部を形成し、隣接するトラック
    間に溝を設け、その上に磁性層を形成したことを特徴と
    する請求項１５に記載の磁気ディスク装置。
20. 【請求項２０】 前記磁気ディスクに形成された隣接す
    るトラック間の溝に超微粒子を固着させ磁気ディスクの
    表面を平滑面にすることを特徴とする請求項１９に記載
    の磁気ディスク装置。
21. 【請求項２１】 磁気記録媒体である回転する磁気ディ
    スクと、該磁気ディスクに同心円状に形成されたトラッ
    クの円周方向に複数分割されたセクタにあらかじめ書き
    込まれてあるトラックの位置を示すサーボ信号より位置
    信号を読み出し、各トラックに情報を読み書きするヘッ
    ドと、情報を読み書きするためのトラックに位置決めす
    るヘッドを搭載したアクチュエータと、各部の動作を制
    御する制御手段とを有する磁気ディスク装置に使用され
    る磁気ディスクの製造方法において、 磁気ディスクの基板にレジスト膜を塗布し、前記磁気デ
    ィスクのセクタに書き込む、少なくとも同期パターン、
    インディクスパターン、トラック番号パターン、位置信
    号パターンを含むサーボ信号パターンを書いたマスクに
    よりレジスト膜を露光しサーボ信号パターンを形成し、
    エッチング等によりレジスト膜の露光部とその下の基板
    の一部を除去し、残ったレジスト膜を除去後磁性層を形
    成し、さらにレジスト膜を塗布し、サーボ信号パターン
    を書いたマスクにより基板の凹部に対応する位置のレジ
    スト膜を露光しサーボ信号パターンを形成し、エッチン
    グ等によりレジスト膜の露光部を除去し、超微粒子をバ
    インダ中に分散させた溶液に該基板を入れて、レジスト
    膜のない凹部に超微粒子を付着させ、該溶液より基板を
    取り出し加熱し、超微粒子を固着させ、レジスト膜を除
    去することにより、サーボ信号パターンを有する磁気デ
    ィスクを製作することを特徴とする磁気ディスクの製造
    方法。
22. 【請求項２２】 磁気記録媒体である回転する磁気ディ
    スクと、該磁気ディスクに同心円状に形成されたトラッ
    クの円周方向に複数分割されたセクタにあらかじめ書き
    込まれてあるトラックの位置を示すサーボ信号より位置
    信号を読み出し、各トラックに情報を読み書きするヘッ
    ドと、情報を読み書きするためのトラックに位置決めす
    るヘッドを搭載したアクチュエータと、各部の動作を制
    御する制御手段とを有する磁気ディスク装置に使用され
    る磁気ディスク製造方法において、 磁気ディスクの基板に磁性層を形成し、レジスト膜を塗
    布し、前記磁気ディスクのセクタに書き込む、少なくと
    も同期パターン、インディクスパターン、トラック番号
    ターン、位置信号パターンを含むサーボ信号パターンを
    書いたマスクによりレジスト膜を露光しサーボ信号パタ
    ーンを形成し、エッチング等によりレジスト膜の露光部
    とその下の磁性層と基板の一部を除去し、超微粒子をバ
    インダ中に分散させた溶液に該基板を入れて、レジスト
    膜のない凹部に超微粒子を付着させ、該溶液より基板を
    取り出し加熱し、超微粒子を固着させ、レジスト膜を除
    去することにより、サーボ信号パターンを有する磁気デ
    ィスクを製作することを特徴とする磁気ディスクの製造
    方法。
23. 【請求項２３】 磁気記録媒体である回転する磁気ディ
    スクと、該磁気ディスクに同心円状に形成されたトラッ
    クの円周方向に複数分割されたセクタにあらかじめ書き
    込まれてあるトラックの位置を示すサーボ信号より位置
    信号を読み出し、各トラックに情報を読み書きするヘッ
    ドと、情報を読み書きするためのトラックに位置決めす
    るヘッドを搭載したアクチュエータと、各部の動作を制
    御する制御手段とを有する磁気ディスク装置に使用され
    る磁気ディスクの製造方法において、 磁気ディスクの基板にレジスト膜を塗布し、前記磁気デ
    ィスクのセクタに書き込む少なくとも同期パターン、イ
    ンディクスパターン、トラック番号パターン、位置信号
    パターンを含むサーボ信号パターンをサーボ信号パター
    ンを書いたマスクによりレジスト膜を露光しサーボ信号
    パターンを形成し、エッチング等によりレジスト膜の露
    光部を除去し、超微粒子をバインダ中に分散させた溶液
    に該基板を入れて、レジスト膜のない凹部に超微粒子を
    付着させ、該溶液より基板を取り出し加熱し、超微粒子
    を固着させ、レジスト膜を除去し、この上に磁性層を形
    成することによりサーボ信号パターンを有する磁気ディ
    スクを製作することを特徴とする磁気ディスクの製造方
    法。
24. 【請求項２４】前記磁性層を形成したのち、レジスト膜
    を塗布し、サーボ信号パターンを書いたマスクにより基
    板の凹部に対応する位置のレジスト膜を露光しサーボ信
    号パターンを形成し、エッチング等によりレジスト膜の
    露光部を除去し、超微粒子をバインダ中に分散させた溶
    液に該基板を入れて、レジスト膜のない凹部に超微粒子
    を付着させ、該溶液より基板を取り出し加熱し、超微粒
    子を固着させ、レジスト膜を除去し、サーボ信号パター
    ンを有する磁気ディスクを製作することを特徴とする請
    求項２３に記載の磁気ディスク製造方法。