JPH08327691A - 電気特性測定装置及び電圧発生回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数のグループで構成される電圧発生回路を
用いた電気特性測定装置において、安価で且つ装置や回
路自身の破壊を防止するようにする。 【構成】 ＤＵＴ１００に過大電流が流れると、ウィン
ドウ比較器１１６がＣＬＥＡＲ信号を生成する。ＣＬＥ
ＡＲ信号によって、電圧発生回路１０２を構成する各グ
ループの増幅器の出力端子と基準電位端子が結合される
が、このとき出力端子と基準電位端子の電位が逆転する
ことはないので、測定装置や回路の破壊を防止しつつ最
終出力電圧を低下させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電気特性測定装置及びこ
れに用いる電圧発生回路に関し、特に高電圧を広範囲且
つ高精度に供給して被測定素子（ＤＵＴ）の電気特性を
測定する場合において、被測定素子に過大電流が流れる
のを防止するとともに装置自身の破壊を防止できる電気
特性測定装置及び電圧発生回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】電気特性測定装置は、トランジスタ、ダ
イオードなど種々の素子の電気特性を測定するのに使用
される。電気特性測定装置は、これら被測定素子（ＤＵ
Ｔ）に電圧を供給し、このときの被測定素子に発生する
電圧及び流れる電流を測定する。図１は、電気特性測定
装置の１例のブロック図である。ＤＵＴ１００には電圧
発生回路１０２から電圧が供給され、ＤＵＴ１００に生
じる電圧が電圧検出回路１０４で検出され、ＤＵＴ１０
０に流れる電流が電流検出回路１０６で検出される。検
出された結果は表示回路１０８に送られて表示される。
こうした測定装置全体は、マイクロプロセッサを含む中
央制御手段により制御される。

【０００３】電流検出回路１０６では、ＤＵＴ１００に
流れる電流が電流検出抵抗器Ｒｓにより電圧に変換され
る。電流検出抵抗器Ｒｓの両端間電圧は、バッファ１１
０及び１１２を介して差動増幅器１１４で検出される。
同様に電圧検出回路１０４では、ＤＵＴ１００の電圧を
検出する。これら検出された値は、図示せずもアナログ
・デジタル変換器でデジタル・データに変換し、上述の
中央制御手段で処理するようにしても良い。

【０００４】被測定半導体素子（ＤＵＴ）が絶縁ゲート
・バイポーラ・トランス（ＩＧＢＴ）やサイリスタなど
の場合には、供給する電圧として１５キロボルト程度の
可変高電圧が必要な場合もある。よって電圧発生回路１
０２には、高電圧出力とともに高い測定精度を出すため
に出力を高精度で制御できることが要求される。

【０００５】図３及び図４は、従来の高電圧且つ高精度
の電圧発生回路を説明するブロック図である。このよう
な回路は、例えば本願出願人による特願平７−２３４４
０号「電圧発生装置」に示されている。

【０００６】この電圧発生回路は、夫々増幅器１０及び
電圧制御手段２０を有する複数のグループ（電圧発生
段）を縦続接続することによって構成される。どのグル
ープも同様の構成なので、図３では第１及び第２グルー
プのみより詳細なブロック図を示す。また、参照符号の
アルファベット部分を第１グループのＡに対して、第２
グループをＢとし、第３グループをＣとし、第４グルー
プをＤとして示す。なお、以下の説明で、アルファベッ
トを付けない参照符号は、第１〜第４グループの各々の
構成要素を共通に示す。

【０００７】第１増幅器１０Ａの基準電位端子１２Ａは
接地されており、第１電圧制御手段２０Ａはこの接地電
位に対する第１増幅器１０Ａの入力電圧を制御する。ま
た、第２増幅器１０Ｂの基準電位端子１２Ｂが、第１増
幅器の出力端子１４Ａに結合され、第２電圧制御手段
（３０Ｂ、２８Ｂ、２６Ｂ、２４Ｂ）が第１増幅器の出
力端子の電位Ｆ２に対する第２増幅器の入力電圧を制御
する。一般的にいえば、Ｍ番目（Ｍは、２からＮまでの
整数）の増幅器の基準電位端子をＭ−１番目の上記増幅
器の出力端子に結合する。図３では、電圧制御手段と増
幅器で構成されるグループが４個（ただし、一般には複
数Ｎ個でよい。Ｎは２以上の整数）の例を示す。Ｎ番目
のグループ（ここでは第４グループ）の増幅器１０の出
力端子１４（最終出力端子３４）から接地電位に対する
電圧発生回路１０２の最終的な出力電圧を得ることがで
きる。中央制御手段３２は、各グループの電圧制御手段
２０夫々に電圧制御データを送り、これによって最終出
力電圧を制御する。

【０００８】電圧制御データを受ける各グループの電圧
制御手段２０では、Ｅ／Ｏ変換器３０及びＯ／Ｅ変換器
２６の間は、光ファイバ２８により絶縁されているの
で、構成要素１０〜２６は、フローティングされる。Ｏ
／Ｅ変換器２６からの電圧制御データは、一旦ラッチ２
４にラッチされた後、ＤＡＣ（デジタル・アナログ変換
器）２２で電圧に変換される。

【０００９】これによれば、第２〜４増幅器１４がフロ
ーティング動作し、全体の出力電圧は、第１〜４増幅器
の出力電圧が加算された電圧である。また、第１〜４電
圧制御手段が第１〜４増幅器の入力電圧を夫々独立に制
御するのであって、従来技術のように１個の電圧制御手
段で全体の出力電圧をまとめて制御するものではない。
すなわち、１個の増幅器の入力電圧及び出力電圧の比
は、入力電圧と電圧発生装置の総合出力電圧との比より
も小さいので、個々の増幅器の出力電圧を高精度に制御
できる。これら高精度に制御された個別の増幅器の出力
電圧を加算して最終出力電圧を得るので、この最終出力
電圧も高精度に制御できる。また、各増幅器は、全体の
出力電圧の一部を負担するのみであるので、各増幅器及
びそれに関連した部品の耐圧は、最終出力電圧未満でよ
く、安価な部品を使用できる。さらに多数のフローティ
ングしたグループを縦続結合することにより、最終出力
電圧を更に高くすることができる。ただし、最低２個の
グループがあれば良い。

【００１０】図４は、図３の各グループ用の駆動電圧を
発生する駆動電圧発生手段の一実施例のブロック図であ
る。商業交流電源又はパルス電圧発生器３８は、第１ト
ランス４０の１次巻線を駆動する。この第１トランス４
０の２次巻線の中点は、所定電位源（接地）に結合さ
れ、この２次巻線の両端は、整流平滑回路４２に供給さ
れて、接地電位に対する駆動電圧、例えば、接地電位に
対して対称な＋ＶＦ１及び−ＶＦ１を発生する。また、
第１トランス４０の２次巻線は、第２トランス４４の１
次巻線を駆動する。この第２トランス４４の２次巻線の
中点は、フローティング電位Ｆ２となり、この２次巻線
の両端は、整流平滑回路４６に供給されて、フローティ
ング電位Ｆ２に対する電圧、例えば、対称な駆動電圧＋
ＶＦ２及び−ＶＦ２を発生する。他についても同様であ
る。この場合、トランス４４、４８及び５２を用いたた
め、フローティング電位Ｆ２、Ｆ３及びＦ４の値を異な
らせることができる。

【００１１】ＩＧＢＴ（絶縁ゲート・バイポーラ・トラ
ンジスタ）など半導体素子の測定では、その特性が未知
であったり、非線形な部分があり、また、場合によって
は印可した電圧が過大でるために被測定素子が破壊され
短絡することもある。こうした要因により、被測定素子
（ＤＵＴ）に予期し得ない過大な電流が流れると、測定
装置自体が破壊される危険がある。そのため、ＤＵＴか
らの電流を検出し、電圧発生回路の出力電圧を低下させ
る安全回路が設けられる。これによって、電圧発生回路
の出力電圧は安全なレベルまで落とされる。

【００１２】図１を参照すると、ウィンドウ比較器１１
６には正負の所定基準電圧＋Ｖｒ／−Ｖｒが設定され、
この範囲を越える電圧が基準抵抗器Ｒｓに発生する場
合、つまり、ＤＵＴに過大電流が流れる場合に出力（パ
ルス）信号（ＣＬＥＡＲ信号）を生成する。ウィンドウ
比較器１１６からのＣＬＥＡＲ信号は、電圧発生回路１
０２に供給され、電圧発生回路１０２ではその出力電圧
を落とす動作が行われる。このためには一般に電圧発生
回路にその出力端子と接地電位を結合するスイッチが設
けられ、ＣＬＥＡＲ信号に応じてスイッチをオンにする
ことにより、電圧発生回路の出力電圧を接地電位まで下
落させる。こうしたスイッチには、例えば、トランジス
タを用いた半導体スイッチが使用される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】特願平７−２３４４０
号「電圧発生装置」を参照して上述した電圧発生回路に
おいて、その最終出力端子３４と接地電位を結合するス
イッチを設け、ＣＬＥＡＲ信号に応じて電圧発生回路の
出力電圧を接地電位まで下落させる場合について考察す
る。即ち、図３に示すように、電圧発生回路１０２にお
いてスイッチ（ＳＷ）３６を設けたと仮定する。この場
合、電圧発生回路１０２は複数の電圧発生段（グルー
プ）で構成されているので、最終出力端子３４がいきな
り接地電位に落ちても第４（Ｎ番目）の電圧発生段の基
準電位Ｆ４を含めた各電圧発生段の基準電位はすぐには
追従できない。よって、最終出力電位と特に第４（Ｎ番
目の）電圧発生段の基準電位Ｆ４の電位の高低関係はそ
れまでとは急激に逆になり、他の電圧発生段についても
例えばＦ３とＦ４の関係がそれまでとは逆になるので、
電圧発生回路１０２の各電圧発生段には夫々逆バイアス
がかかることになる。言い換えると、各増幅器１０の出
力端子１４の電位と基準電位端子１２の電位が急激に逆
転してしまう。特に第４電圧発生段にはその影響が一番
強く現れ、回路の寿命を縮めたり破壊の危険がある。こ
れは各電圧発生段の耐圧は、コスト削減のために上述の
ごとく最終出力電圧未満としているからである。

【００１４】また、電圧発生回路１０２は複数の電圧発
生段を用いた構成によって、高い出力電圧を実現してお
り、スイッチ３６にはその高い出力電圧と接地電位間の
電位差に耐える高耐圧性能が要求される。高耐圧性能を
実現するには、機械式のリレーを使用しても良いが、こ
れは高価であり性能維持（メインテナンス）や高速応答
性に問題がある。半導体スイッチを用いると、高速では
あるが高耐圧を実現するには高価となる。

【００１５】そこで本発明の目的は、夫々フローティン
グされて電圧を生成する複数の電圧発生段を用いた電圧
発生回路を有する電気特性測定装置において、被測定素
子に過大電流が流れた場合においても装置自身の破壊を
防止できる安価な電気特性測定装置を提供することであ
る。本発明の他の目的は、夫々フローティングされて電
圧を生成する複数の電圧発生段を用いた電圧発生回路に
おいて、回路自身の破壊を起こすことなく出力電圧を低
減させることができる電圧発生回路を提供することであ
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、被測定素子に
所望の電圧を供給して被測定素子の特性を測定する電気
特性測定装置に関する。本発明の電気特性測定装置は、
被測定素子に流れる電流を検出する電流検出抵抗器Ｒｓ
と、電流検出抵抗器Ｒｓが生成する電圧と所定基準電圧
とを比較し、所定基準電圧を越えると出力信号を生成す
る比較手段１１６と、中央制御手段３２と、中央制御手
段３２からの電圧制御データに応じて被測定素子に所望
電圧を供給する電圧発生回路１０２とを具えている。こ
の電圧発生回路１０２は、Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の
増幅器１０と、Ｎ個の増幅器の夫々の入力電圧を制御す
る電圧制御手段２０とを有し、１番目の増幅器の基準電
位端子を所定電位源（例えば、接地電位）に結合し、Ｍ
番目（Ｍは、２からＮまでの整数）の増幅器の基準電位
端子をＭ−１番目の増幅器の出力端子に結合し、Ｎ番目
の増幅器の出力端子から所望電圧を出力する。また、比
較手段１１６の出力（ＣＬＥＡＲ信号）に応じてｋ番目
（ｋは、１からＮまでの整数）の増幅器の出力端子及び
基準電位端子を結合する。

【００１７】本発明による電圧発生回路は、例えば、上
述した電気特性測定装置での利用に適したものである。
電圧発生回路が供給した電圧によって、被測定素子等の
負荷に過大電流が流れるとこれに応答して、例えば、Ｃ
ＬＥＡＲ（リセット）信号等の所定信号を生成させるこ
とは従来から行われている。本発明の電圧発生回路は、
こうした所定信号に応答して出力電圧を低下させること
ができるものであって、Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の増
幅器と、Ｎ個の増幅器の夫々の入力電圧を制御する電圧
制御手段とを具えている。このとき、１番目の増幅器の
基準電位端子を所定電位源（例えば、接地電位）に結合
し、Ｍ番目（Ｍは、２からＮまでの整数）の増幅器の基
準電位端子をＭ−１番目の増幅器の出力端子に結合し、
Ｎ番目の増幅器の出力端子から所望電圧を出力し、上記
所定信号に応じてｋ番目（ｋは、１からＮまでの整数）
の増幅器の出力端子及び基準電位端子を結合する。

【００１８】また、ｋ番目の電圧制御手段２０が中央制
御手段３２からの電圧制御データを受けるラッチ手段２
４を有し、所定信号（例えば、比較器１１６のＣＬＥＡ
Ｒ信号など）に応じてラッチ手段２４をリセットするよ
うにしても良い。これによって、ｋ番目の増幅器の出力
電圧はその基準電位まで低下する。

【００１９】さらに所定信号（例えば、比較器１１６の
ＣＬＥＡＲ信号など）応じて中央制御手段３２がｋ番目
の電圧制御手段２０への電圧制御データの出力を中止す
るようにしても良い。これによって、ｋ番目の増幅器の
出力電圧はその基準電位まで低下する。

【００２０】

【作用】被測定素子等の負荷に過大電流が流れた場合、
電圧発生回路の少なくとも１つの増幅器の出力端子と基
準電位端子が結合されるので、最終的な出力電圧が低下
し、過大電流が流れ続けることによる装置自身の破壊を
防止できる。また、このとき、電圧発生回路の最終出力
端子と所定電位源（例えば、接地電位）を結合するので
はないので装置の回路、例えば増幅器夫々に急激な逆バ
イアスがかかることがなく、装置や回路自身の破壊を防
止できる。増幅器の出力端子と基準電位端子を結合する
には、出力端子及び基準電位端子間の電位差にさえ耐え
らるスイッチでよく、安価なものでよい。

【００２１】

【実施例】図２は、本発明の電圧発生回路のブロック図
である。これは、上述した電圧発生回路と同様に複数の
グループ（電圧発生段）で構成される。どのグループも
構成は同様であるため、第２グループのみより詳細なブ
ロック図で示す。また、従来例と対応するブロックには
同じ符号を付すとともに、参照符号のアルファベット部
分を第１グループのＡに対して、第２グループをＢと
し、第３グループをＣとし、第４グループをＤとしてす
る。なお、以下の説明で、アルファベットを付けない参
照符号は、第１〜第４グループの各々の構成要素を共通
に示す。

【００２２】図１に関し説明したように、ウィンドウ比
較器（比較手段）１１６は、所定基準電圧を越えると所
定の出力信号（ＣＬＥＡＲ信号）を生成する。ＣＬＥＡ
Ｒ信号（又はリセット信号）は、中央制御手段との同期
を取る場合にはラッチ１１８で一旦保持されるが、非同
期の場合にはラッチ１１８は必ずしも必要でない。図２
を参照すると、各グループには、そのグループの出力端
子１４をその同じグループの基準電位端子１２に選択的
に結合させるスイッチ（ＳＷ）３７が夫々設けられる。
ＣＬＥＡＲ信号がスイッチ３７に入力されると、スイッ
チ３７はオンする。これによって、各グループの増幅器
１０の出力端子１４が同じグループの基準電位端子１２
と結合される。例えば、第２グループの例では、スイッ
チ３７ＢがＣＬＥＡＲ信号を受けて増幅器１０Ｂの出力
端子１４Ｂと基準電位端子１２Ｂを電気的に結合し、よ
って出力端子１４Ｂの電位が第２グループの基準電位Ｆ
２まで落ちる。全グループの増幅器１０の出力端子１４
と基準電位端子１２が結合されると、結果として最終出
力端子３４の電位が接地電位まで落ちることになる。

【００２３】上述のように各グループのスイッチ３７が
オンすると、増幅器１０の出力端子１４が同じグループ
の基準電位端子１２と結合されるが、従来と異なりスイ
ッチがオンになっても出力端子１４と基準電位端子１２
の電位の関係が等しくなるだけで、逆転まですることは
ない。よって、各グループに逆バイアスがかかることは
なく、測定装置自身の回路を破壊する危険はない。

【００２４】各グループのスイッチ３７の耐圧は、各グ
ループの基準電位に対する出力電圧に対して十分に耐え
うる程度であればよく、最終出力端子３４及び接地電位
間の電位差にまで耐えうるものである必要はない。よっ
て、最終出力端子３４及び接地電位間の電位差に対応し
た耐圧のスイッチを用いる場合と比較して、安価なもの
でよい。

【００２５】ウィンドウ比較器１１６からのＣＬＥＡＲ
信号は、中央制御手段３２にも送られる。中央制御手段
３２は、ＣＬＥＡＲ信号に応答し、それまで各グループ
の電圧制御手段２０に送っていた電圧制御データの出力
を中止し、そのグループの基準電位に対するＤＡＣ２２
の出力電圧をゼロにするようにしても良い。別の見方に
よれば、出力電圧をゼロにする電圧制御データを各グル
ープの電圧制御手段２０に送るようにしても良い。

【００２６】中央制御手段３２は、バス３１を介して電
圧制御データを各グループの電圧制御手段２０に送る。
よって、中央制御手段３２がＣＬＥＡＲ信号を受けてか
ら、そのグループの電位に対するＤＡＣ２２の出力をゼ
ロにするには遅延が生じる。そこで、より高速にＤＡＣ
２２の出力を落とすために、ＤＡＣ２２に電圧制御デー
タを供給するラッチ２４にもＣＬＥＡＲ信号を供給し、
ラッチ２４をリセットすることによりＤＡＣ２２のその
グループの電位に対する出力電圧をゼロにする。即ち、
ＣＬＥＡＲ信号はリセット信号として機能する。その後
は、中央制御手段３２からの電圧制御データは来ない
か、または、来ても出力ゼロに対応した電圧制御データ
であるため、ＤＡＣ２２の出力電位はそのグループの基
準電位に維持される。例えば、第２グループのＤＡＣ２
２Ｂの出力電位がＦ２に落ちて、これの状態が必要なだ
け維持される。

【００２７】以上本発明の好適実施例について説明した
が、本発明はここに説明した実施例のみに限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱することなく必要に応
じて種々の変形及び変更を実施し得ることは当業者には
明らかである。例えば、スイッチ（ＳＷ）３７は必ずし
も全てのグループに夫々設ける必要はない。複数Ｎ個の
あるグループの内の少なくとも１つ（ｋ番目、ｋは１か
らＮまでの整数）のグループにスイッチ３７を設け、被
測定素子１００に過大電流が流れたところでそのグルー
プの増幅器の出力端子と基準電位端子を結合し、これに
よって最終出力端子の電圧が過大と判定されるレベルを
下回るようにすれば良い。各グループのラッチをリセッ
トすることについても同様で、必ずしも全てのグループ
のラッチをリセットする必要はなく、少なくとも１つの
グループのラッチ２４をリセットするようにすれば良
い。

【００２８】また、本発明の電圧発生回路に関し、電気
特性発生装置での利用を例に説明したが、被測定素子等
の負荷に過大電流が発生したことを検出して所定信号
（例えば、この実施例におけるＣＬＥＡＲ信号など）を
生成することは周知である。よって、こうした所定信号
に応答して電圧を低下させる安全機構のある装置であっ
て、高電圧及び高精度の出力電圧が要求されるものに対
して、本発明の電圧発生回路は広く効果的に利用でき
る。

【００２９】

【発明の効果】本発明の電気特性装置は、複数の電圧制
御手段及び出力及び基準電位端子を有する増幅器で構成
された電圧発生回路を具える。このとき、被測定素子等
の負荷に過大電流が流れたことが検出されると、少なく
とも１つの増幅器の出力及び基準電位端子が結合される
ことによって、最終出力端子の電位が低下する。これに
よると、最終出力端子の電圧を落とす場合でも増幅器の
出力端子と基準電位端子の電位の関係が逆転することは
なく、測定装置の回路に急激な逆バイアスがかからない
ので測定装置自身を破壊する危険がない。また、増幅器
の出力端子と基準電位端子を結合するには、出力端子及
び基準電位端子間の電位差にさえ耐えらるスイッチでよ
く、安価なものでよい。また、本発明の電圧発生回路
は、電気特性装置での利用に限らず、被測定素子等の負
荷に過大電流が流れたときになどに生成される所定信号
に応答し、回路自身の破壊を防止しつつ出力電圧を低下
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による電気特性測定装置の実施例のブロ
ック図である。

【図２】本発明による電圧発生回路の実施例のブロック
図である。

【図３】従来の電圧発生回路の例のブロック図である。

【図４】電圧発生回路の駆動電源回路の例のブロック図
である。

【符号の説明】

１０ 増幅器 １２ 増幅器の基準出力端子 １４ 増幅器の出力端子 ２０ 電圧制御手段 ２２ デジタル・アナログ変換器 ２４ ラッチ手段 ２６ 光電気変換器 ３０ 電気光変換器 ３１ バス ３２ 中央制御手段 ３４ 最終出力端子 ３７ スイッチ手段 １００ 被測定素子 １０２ 電圧発生回路 １１６ 比較手段 Ｒｓ 電流検出抵抗器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 結城 勝成 宮城県亘理郡亘理町逢隈鹿島字西鹿島137 番１号 エム・イー・テック株式会社内 (72)発明者 小田川 尚美 宮城県亘理郡亘理町逢隈鹿島字西鹿島137 番１号 エム・イー・テック株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定素子に所望の電圧を供給して上記
   被測定素子の特性を測定する電気特性測定装置におい
   て、 上記被測定素子に流れる電流を検出する電流検出抵抗器
   と、 該電流検出抵抗器が生成する電圧と所定基準電圧とを比
   較し、該所定基準電圧を越えると出力信号を生成する比
   較手段と、 中央制御手段と、 該中央制御手段からの電圧制御データに応じて上記被測
   定素子に所望電圧を供給する電圧発生回路とを具え、 該電圧発生回路が夫々基準電位端子及び出力端子を有す
   るＮ個（Ｎは２以上の整数）の増幅器と、 該Ｎ個の増幅器の夫々への入力電圧を制御する電圧制御
   手段と、 ｋ番目（ｋは、１からＮまでの整数）の上記増幅器の上
   記基準電位端子及び出力端子を結合するスイッチ手段と
   を有し、 １番目の増幅器の基準電位端子を所定電位源に結合し、
   Ｍ番目（Ｍは、２からＮまでの整数）の上記増幅器の基
   準電位端子をＭ−１番目の上記増幅器の出力端子に結合
   し、Ｎ番目の上記増幅器の出力端子から上記所望電圧を
   出力し、上記比較手段の出力に応じて上記スイッチ手段
   がｋ番目の上記増幅器の出力端子及び基準電位端子を結
   合することを特徴とする電気特性測定装置。
2. 【請求項２】 上記電圧制御手段が上記中央制御手段か
   らの上記電圧制御データを受けるラッチ手段を夫々有
   し、上記比較手段の出力に応じてｋ番目の上記電圧制御
   手段の上記ラッチ手段をリセットすることを特徴とする
   請求項１記載の電気特性測定装置。
3. 【請求項３】 上記比較手段の出力に応じて上記中央制
   御手段がｋ番目の上記電圧制御手段への上記電圧制御デ
   ータの出力を中止することを特徴とする請求項１又は２
   記載の電気特性測定装置。
4. 【請求項４】 所定信号に応じて出力電圧を低下させる
   ことができる電圧発生回路であって、 夫々基準電位端子及び出力端子を有するＮ個（Ｎは２以
   上の整数）の電圧発生段と、 ｋ番目（ｋは、１からＮまでの整数）の上記電圧発生段
   の上記基準電位端子及び出力端子を結合するスイッチ手
   段とを具え、 １番目の上記電圧発生段の基準電位端子を所定電位源に
   結合し、Ｍ番目（Ｍは、２からＮまでの整数）の上記電
   圧発生段の基準電位端子をＭ−１番目の上記増幅器の出
   力端子に結合し、Ｎ番目の上記電圧発生段の出力端子か
   ら所望電圧を出力し、上記所定信号に応じて上記スイッ
   チ手段がｋ番目の上記電圧発生段の出力端子及び基準電
   位端子を結合することを特徴とする電圧発生回路。
5. 【請求項５】 上記Ｎ個の電圧発生段が該電圧発生段の
   出力電圧を制御する電圧制御手段を夫々有し、該電圧制
   御手段は上記中央制御手段からの上記電圧制御データを
   受けるラッチ手段を夫々有し、上記所定信号に応じてｋ
   番目の上記電圧制御手段の上記ラッチ手段をリセットす
   ることを特徴とする請求項４記載の電圧発生回路。