JPH08320216A - 投光装置 - Google Patents
投光装置Info
- Publication number
- JPH08320216A JPH08320216A JP12634995A JP12634995A JPH08320216A JP H08320216 A JPH08320216 A JP H08320216A JP 12634995 A JP12634995 A JP 12634995A JP 12634995 A JP12634995 A JP 12634995A JP H08320216 A JPH08320216 A JP H08320216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- cylindrical lens
- plate
- spot
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 １台の投光装置によりスポット光とスリット
光を得ることができる装置を実現する。 【構成】 光を放射する光源１、凸円筒レンズ３ａと凹
円筒レンズ３ｂにより形成され上記光源１より光を入射
する円筒レンズ群３、同円筒レンズ群３が出射した光を
入射して通過させ互に交換可能に配設されるスポット板
５ａとスリット板５ｂ、および同スポット板５ａ又はス
リット板５ｂを通過した光を集光させる結像レンズ４に
より形成されたことによって、従来のように投光器の本
体を取替えることなく、スポット光６とスリット光７の
切替えを行うことが可能となり、設備費の低減ととも
に、取替え時における校正等が不要となり、作業時間の
大幅短縮が可能となる。
光を得ることができる装置を実現する。 【構成】 光を放射する光源１、凸円筒レンズ３ａと凹
円筒レンズ３ｂにより形成され上記光源１より光を入射
する円筒レンズ群３、同円筒レンズ群３が出射した光を
入射して通過させ互に交換可能に配設されるスポット板
５ａとスリット板５ｂ、および同スポット板５ａ又はス
リット板５ｂを通過した光を集光させる結像レンズ４に
より形成されたことによって、従来のように投光器の本
体を取替えることなく、スポット光６とスリット光７の
切替えを行うことが可能となり、設備費の低減ととも
に、取替え時における校正等が不要となり、作業時間の
大幅短縮が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非接触式形状測定機等
に適用される投光装置に関する。
に適用される投光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に非接触式の形状測定機には、ス
ポット光を被測定物体に投射して被測定物体との相対距
離を測定するセンサと、スリット光を投射して被測定物
体の表面形状を高速で測定するセンサがあり、これらの
センサに用いられる投光器は、それぞれ構造が異ってい
る。
ポット光を被測定物体に投射して被測定物体との相対距
離を測定するセンサと、スリット光を投射して被測定物
体の表面形状を高速で測定するセンサがあり、これらの
センサに用いられる投光器は、それぞれ構造が異ってい
る。
【０００３】従来のこれらのセンサに用いられる投光器
は、スポット光の場合には、図４（ａ），（ｂ）に示す
ように円形レンズ８によりスポット光６を結像させるの
に対し、スリット光の場合には、図４（ｃ），（ｄ）に
示すように凸円筒レンズ２によってスリット光７を結像
させていた。
は、スポット光の場合には、図４（ａ），（ｂ）に示す
ように円形レンズ８によりスポット光６を結像させるの
に対し、スリット光の場合には、図４（ｃ），（ｄ）に
示すように凸円筒レンズ２によってスリット光７を結像
させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の形状測定機にお
いては、前記のように２種の投光器が用途に応じて使い
分けられており、これらの投光器を１台の投光装置で兼
用することができなかった。
いては、前記のように２種の投光器が用途に応じて使い
分けられており、これらの投光器を１台の投光装置で兼
用することができなかった。
【０００５】例えば、スリット光を発生する投光器の出
射面に小径丸穴の開口部を有する板を設置したとして
も、スポット光を発生させることはできない。これは、
光源を出た光は焦点位置でＸ方向には結像するが、Ｙ方
向には伸張され、開口部径よりはＹ方向に長い光となっ
てしまい、充分収束したスポット光を得ることができな
いためである。
射面に小径丸穴の開口部を有する板を設置したとして
も、スポット光を発生させることはできない。これは、
光源を出た光は焦点位置でＸ方向には結像するが、Ｙ方
向には伸張され、開口部径よりはＹ方向に長い光となっ
てしまい、充分収束したスポット光を得ることができな
いためである。
【０００６】そのため、ユーザは投光器の使い分けを強
いられ、設備費の負担が増加するとともに、投光器の取
替えのための作業時間が増加するという課題を負わされ
ていた。
いられ、設備費の負担が増加するとともに、投光器の取
替えのための作業時間が増加するという課題を負わされ
ていた。
【０００７】この課題を解決するために、ミラー回転機
構によりスポット光を走査し、模擬的にスリット光を生
成するものが発明されているが、装置が複雑化し、コス
ト高となり、微妙な組立調整が必要となるといった別の
課題を生じていた。本発明は上記の課題を解決しようと
するものである。
構によりスポット光を走査し、模擬的にスリット光を生
成するものが発明されているが、装置が複雑化し、コス
ト高となり、微妙な組立調整が必要となるといった別の
課題を生じていた。本発明は上記の課題を解決しようと
するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の投光装置は、光
を放射する光源、同光源より光が入射されそれぞれの中
心軸が直交するように凸円筒レンズと凹円筒レンズが組
合せられて形成された円筒レンズ群、同円筒レンズ群よ
り出射された光を通過させ互に交換可能に配設されるス
ポット板とスリット板、および同スポット板又はスリッ
ト板を通過した光が入射され集光する結像レンズにより
形成されたことを特徴としている。
を放射する光源、同光源より光が入射されそれぞれの中
心軸が直交するように凸円筒レンズと凹円筒レンズが組
合せられて形成された円筒レンズ群、同円筒レンズ群よ
り出射された光を通過させ互に交換可能に配設されるス
ポット板とスリット板、および同スポット板又はスリッ
ト板を通過した光が入射され集光する結像レンズにより
形成されたことを特徴としている。
【０００９】
【作用】上記において、光源より放射された光が円筒レ
ンズ群に入射されると、凸円筒レンズがこの光を凹円筒
レンズの中心軸の方向（以下Ｘ方向とする）に更に広げ
て出射し、凹円筒レンズが凸円筒レンズの中心軸の方向
（以下Ｙ方向とする）を一定の幅の平行光として出射す
る。
ンズ群に入射されると、凸円筒レンズがこの光を凹円筒
レンズの中心軸の方向（以下Ｘ方向とする）に更に広げ
て出射し、凹円筒レンズが凸円筒レンズの中心軸の方向
（以下Ｙ方向とする）を一定の幅の平行光として出射す
る。
【００１０】上記円筒レンズ群と結像レンズの間にスポ
ット板を配設した場合、スポット板を通過した光の平行
なＸ方向は結像レンズにより結像され、Ｙ方向は結像レ
ンズにより平行光となるが、Ｙ方向はスポット板の穴径
によりその幅が制限されているため、スポット光を得る
ことができる。
ット板を配設した場合、スポット板を通過した光の平行
なＸ方向は結像レンズにより結像され、Ｙ方向は結像レ
ンズにより平行光となるが、Ｙ方向はスポット板の穴径
によりその幅が制限されているため、スポット光を得る
ことができる。
【００１１】また、円筒レンズ群と結像レンズの間にス
リット板を配設し、スリット穴の長手方向をＹ方向とし
た場合、Ｘ方向は上記と同様に結像レンズにより結像さ
れるが、Ｙ方向については、結像レンズを通過後は一定
の幅の平行光となり、スリット板のスリット穴の長手方
向の長さにより定まるスリット光を得ることができる。
リット板を配設し、スリット穴の長手方向をＹ方向とし
た場合、Ｘ方向は上記と同様に結像レンズにより結像さ
れるが、Ｙ方向については、結像レンズを通過後は一定
の幅の平行光となり、スリット板のスリット穴の長手方
向の長さにより定まるスリット光を得ることができる。
【００１２】
【実施例】本発明の一実施例に係る投光装置について、
図１により説明する。図１に示す本実施例は、半導体レ
ーザを用いた光源１、同光源１よりレーザ光を入射して
出射する円筒レンズ群３、同円筒レンズ群３からのレー
ザ光を通過させ互いに交換可能に配設されるスポット板
５ａとスリット板５ｂ、および同スポット板５ａ又はス
リット板５ｂを通過したレーザ光を集光させる結像レン
ズ４を備えている。
図１により説明する。図１に示す本実施例は、半導体レ
ーザを用いた光源１、同光源１よりレーザ光を入射して
出射する円筒レンズ群３、同円筒レンズ群３からのレー
ザ光を通過させ互いに交換可能に配設されるスポット板
５ａとスリット板５ｂ、および同スポット板５ａ又はス
リット板５ｂを通過したレーザ光を集光させる結像レン
ズ４を備えている。
【００１３】上記円筒レンズ群３は、図２に示すように
凸円筒レンズ３ａと凹円筒レンズ３ｂの長手方向が直交
するように組合せられたものであり、凸円筒レンズ３ａ
には焦点距離２０mmのもの、凹円筒レンズ３ｂには焦点
距離−３１．４mmのものを用いている。また、結像レン
ズ４には焦点距離１００mmのものを用いている。
凸円筒レンズ３ａと凹円筒レンズ３ｂの長手方向が直交
するように組合せられたものであり、凸円筒レンズ３ａ
には焦点距離２０mmのもの、凹円筒レンズ３ｂには焦点
距離−３１．４mmのものを用いている。また、結像レン
ズ４には焦点距離１００mmのものを用いている。
【００１４】また、スリット板５ｂおよびスポット板５
ａは、図３に示すように同一外形寸法のフレーム１１に
長穴開口部１２ａを有する鉄板１２と、丸穴開口部１３
ａを有する鉄板１３を接合して形成されている。
ａは、図３に示すように同一外形寸法のフレーム１１に
長穴開口部１２ａを有する鉄板１２と、丸穴開口部１３
ａを有する鉄板１３を接合して形成されている。
【００１５】レンズ系を収納する筐体１０には、このス
リット板５ｂおよびスポット板５ａを挿入できるように
ガイド穴１０ａが設けられており、このガイド穴１０ａ
へスリット板５ｂあるいはスポット板５ａを挿入し直す
ことにより、スリット光７とスポット光６の切換えが可
能となっている。
リット板５ｂおよびスポット板５ａを挿入できるように
ガイド穴１０ａが設けられており、このガイド穴１０ａ
へスリット板５ｂあるいはスポット板５ａを挿入し直す
ことにより、スリット光７とスポット光６の切換えが可
能となっている。
【００１６】上記において、光源１から出射された光
は、円筒レンズ群３を形成する凸円筒レンズ３ａにより
Ｙ方向にのみ広がる。また、Ｘ方向については、光源１
が凹円筒レンズ３ｂの前焦点位置に設置されているた
め、凹円筒レンズ３ｂ出射時には平行な光となる。
は、円筒レンズ群３を形成する凸円筒レンズ３ａにより
Ｙ方向にのみ広がる。また、Ｘ方向については、光源１
が凹円筒レンズ３ｂの前焦点位置に設置されているた
め、凹円筒レンズ３ｂ出射時には平行な光となる。
【００１７】円筒レンズ群３から出射した光は、結像レ
ンズ４により結像レンズ４の焦点位置でＸ方向が結像す
る。また、Ｙ方向については、凸円筒レンズ３ａから出
射する光の光源位置が結像レンズ４の前焦点位置にくる
よう設置されているため、結像レンズ４から出射した光
はＹ方向に、平行な光となる。
ンズ４により結像レンズ４の焦点位置でＸ方向が結像す
る。また、Ｙ方向については、凸円筒レンズ３ａから出
射する光の光源位置が結像レンズ４の前焦点位置にくる
よう設置されているため、結像レンズ４から出射した光
はＹ方向に、平行な光となる。
【００１８】上記円筒レンズ群３と結像レンズ４の間に
は、スリット板５ｂ又はスポット板５ａのいずれかが設
置されるが、スリット板５ａがその長穴開口部１２ａの
長辺をｙ軸と平行に設置した場合は、図１（ｃ），
（ｄ）に示すようにＸ方向には結像し、Ｙ方向には平行
かつ伸張されたスリット光７が得られる。
は、スリット板５ｂ又はスポット板５ａのいずれかが設
置されるが、スリット板５ａがその長穴開口部１２ａの
長辺をｙ軸と平行に設置した場合は、図１（ｃ），
（ｄ）に示すようにＸ方向には結像し、Ｙ方向には平行
かつ伸張されたスリット光７が得られる。
【００１９】また、スポット板５ａを設置した場合は、
図１（ａ），（ｂ）に示すようにＹ方向に広げられた平
行な光はその一部がスポット板５ａによって遮光され、
丸穴開口部１３ａの径程度の平行光６となって出射さ
れ、Ｘ方向はスリット光と同様に結像する光となる。
図１（ａ），（ｂ）に示すようにＹ方向に広げられた平
行な光はその一部がスポット板５ａによって遮光され、
丸穴開口部１３ａの径程度の平行光６となって出射さ
れ、Ｘ方向はスリット光と同様に結像する光となる。
【００２０】上記のように、スリット板を用いること
で、Ｘ方向に結像しＹ方向には広げられた長さ３０mm×
幅０．１mmのスリット光が得られ、スポット板を用いる
ことで、Ｘ，Ｙ方向ともに充分絞られた直径０．５mm程
度のスポット光を得ることができるため、スリット光と
スポット光の切替えが容易となった。
で、Ｘ方向に結像しＹ方向には広げられた長さ３０mm×
幅０．１mmのスリット光が得られ、スポット板を用いる
ことで、Ｘ，Ｙ方向ともに充分絞られた直径０．５mm程
度のスポット光を得ることができるため、スリット光と
スポット光の切替えが容易となった。
【００２１】なお、本実施例においては、スリットとス
ポットを形成するためにそれぞれ個別の鉄板１２，１３
を用いているが、その構造については特に規定しない。
他の構造のものとしては、例えば、１枚の板の別の場所
にそれぞれ長穴と丸穴開口部を加工したものや、１枚の
板を用い、しぼり機構等により長穴、丸穴の変更を可能
とするもの、液晶シャッターにより穴形状を電気的に切
替えるもの等が考えられる。
ポットを形成するためにそれぞれ個別の鉄板１２，１３
を用いているが、その構造については特に規定しない。
他の構造のものとしては、例えば、１枚の板の別の場所
にそれぞれ長穴と丸穴開口部を加工したものや、１枚の
板を用い、しぼり機構等により長穴、丸穴の変更を可能
とするもの、液晶シャッターにより穴形状を電気的に切
替えるもの等が考えられる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の投光装置は、光を放射する光
源、凸円筒レンズと凹円筒レンズにより形成され上記光
源より光を入射する円筒レンズ群、同円筒レンズ群が出
射した光を入射して通過させ互に交換可能に配設される
スポット板とスリット板、および同スポット板又はスリ
ット板を通過した光を集光させる結像レンズにより形成
されたことによって、従来のように投光器の本体を取替
えることなく、スポット光とスリット光の切替えを行う
ことが可能となり、設備費の低減とともに、取替え時に
おける校正等が不要となり、作業時間の大幅短縮が可能
となる。
源、凸円筒レンズと凹円筒レンズにより形成され上記光
源より光を入射する円筒レンズ群、同円筒レンズ群が出
射した光を入射して通過させ互に交換可能に配設される
スポット板とスリット板、および同スポット板又はスリ
ット板を通過した光を集光させる結像レンズにより形成
されたことによって、従来のように投光器の本体を取替
えることなく、スポット光とスリット光の切替えを行う
ことが可能となり、設備費の低減とともに、取替え時に
おける校正等が不要となり、作業時間の大幅短縮が可能
となる。
【図１】本発明の一実施例に係る投光装置の説明図で、
（ａ）はスポット板を用いた場合の側面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ矢視図、（ｃ）はスリット板を用いた場
合の側面図、（ｄ）は（ｃ）のＢ−Ｂ矢視図である。
（ａ）はスポット板を用いた場合の側面図、（ｂ）は
（ａ）のＡ−Ａ矢視図、（ｃ）はスリット板を用いた場
合の側面図、（ｄ）は（ｃ）のＢ−Ｂ矢視図である。
【図２】上記実施例に係る円筒レンズ群の斜視図であ
る。
る。
【図３】上記一実施例に係るスポット板とスリット板の
説明図で、（ａ）はスポット板の正面図、（ｂ）は
（ａ）のＣ−Ｃ矢視図、（ｃ）はスリット板の正面図、
（ｄ）は（ｃ）のＤ−Ｄ矢視図である。
説明図で、（ａ）はスポット板の正面図、（ｂ）は
（ａ）のＣ−Ｃ矢視図、（ｃ）はスリット板の正面図、
（ｄ）は（ｃ）のＤ−Ｄ矢視図である。
【図４】従来の装置の説明図で、（ａ）はスポット光を
得る場合の側面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ矢視図、
（ｃ）はスリット光を得る場合の側面図、（ｄ）は
（ｃ）のＦ−Ｆ矢視図である。
得る場合の側面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ矢視図、
（ｃ）はスリット光を得る場合の側面図、（ｄ）は
（ｃ）のＦ−Ｆ矢視図である。
１ 光源 ３ 円筒レンズ群 ３ａ 凸円筒レンズ ３ｂ 凹円筒レンズ ４ 結像レンズ ５ａ スポット板 ５ｂ スリット板 ６ スポット光 ７ スリット光 １０ 筐体 １０ａ ガイド穴 １１ フレーム １２ 長穴開口部を有する鉄板 １２ａ 長穴開口部 １３ 丸穴開口部を有する鉄板 １３ａ 丸穴開口部
Claims (1)
- 【請求項１】 光を放射する光源、同光源より光が入射
されそれぞれの中心軸が直交するように凸円筒レンズと
凹円筒レンズが組合せられて形成された円筒レンズ群、
同円筒レンズ群より出射された光を通過させ互に交換可
能に配設されるスポット板とスリット板、および同スポ
ット板又はスリット板を通過した光が入射され集光する
結像レンズにより形成されたことを特徴とする投光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12634995A JPH08320216A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 投光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12634995A JPH08320216A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 投光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08320216A true JPH08320216A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=14932981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12634995A Withdrawn JPH08320216A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 投光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08320216A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020521142A (ja) * | 2017-05-24 | 2020-07-16 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | 一定の向きを備える少なくとも１つのビームによって走査角度を走査するためのライダー装置及び方法 |
-
1995
- 1995-05-25 JP JP12634995A patent/JPH08320216A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020521142A (ja) * | 2017-05-24 | 2020-07-16 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | 一定の向きを備える少なくとも１つのビームによって走査角度を走査するためのライダー装置及び方法 |
| US11493608B2 (en) | 2017-05-24 | 2022-11-08 | Robert Bosch Gmbh | LIDAR device and method for scanning a scanning angle using at least one beam of constant alignment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7072040B2 (en) | Mask for inspecting an exposure apparatus, a method of inspecting an exposure apparatus, and an exposure apparatus | |
| JP2000180139A (ja) | マルチスリット走査撮像装置 | |
| US20220137425A1 (en) | Collimator | |
| US7315358B2 (en) | Evaluation apparatus and method of optical parts | |
| KR20080016494A (ko) | 묘화 위치 측정 방법 및 장치, 그리고 묘화 방법 및 장치 | |
| JPH0484705A (ja) | 光学式寸法測定装置 | |
| JPH08320216A (ja) | 投光装置 | |
| JP5105719B2 (ja) | 光学部品の評価装置、評価方法及びそれを用いた光軸調整装置 | |
| KR100558148B1 (ko) | 투영 노광 장치 | |
| JP2012084713A (ja) | 露光装置 | |
| JPH04212120A (ja) | 線に沿って面を光学的に走査する走査装置 | |
| KR20030076206A (ko) | 투영 노광 장치 | |
| JPH04283608A (ja) | 表面形状測定用光学装置 | |
| JP2787699B2 (ja) | 干渉パターンの強度測定方法および露光装置 | |
| JPH11201719A (ja) | 位置測定装置及びレーザ加工装置 | |
| JPS61128522A (ja) | 焦点合せ装置 | |
| JP3584277B2 (ja) | 照明光学系、アライメント光学系及び投影露光装置 | |
| JP2579977Y2 (ja) | 測距用補助投光装置 | |
| JP2948662B2 (ja) | 放射線像拡大観察装置 | |
| JP2018106894A (ja) | 照明システム | |
| JPH09257643A (ja) | レンズメーター | |
| JPH07235475A (ja) | 投影露光装置 | |
| JP2021006903A5 (ja) | ||
| JP2589073B2 (ja) | 投影光学装置 | |
| JP2990546B2 (ja) | 形状測定顕微鏡用光源 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |