JPH0831637B2 - リング・レ−ザの製造方法 - Google Patents
リング・レ−ザの製造方法Info
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- JPH0831637B2 JPH0831637B2 JP62157982A JP15798287A JPH0831637B2 JP H0831637 B2 JPH0831637 B2 JP H0831637B2 JP 62157982 A JP62157982 A JP 62157982A JP 15798287 A JP15798287 A JP 15798287A JP H0831637 B2 JPH0831637 B2 JP H0831637B2
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/083—Ring lasers
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- H01S3/083—Ring lasers
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、リング・レーザ角速度センサの製造方法に
関し、更に詳細には、従来の構造よりも低コストで製造
できるリング・レーザの製造方法に関する。
関し、更に詳細には、従来の構造よりも低コストで製造
できるリング・レーザの製造方法に関する。
ここ何年かの開発の結果、一般にリング・レーザ・ジ
ヤイロと呼ばれているリング・レーザ角速度センサは、
商業的に満足のいく製品となり、また多くの用途におい
て通常の機械的角速度センサと容易に取り換えることが
できるようになつた。現在、市販されている大部分のリ
ング・レーザ角速度センサは、機械的および熱的に安定
しているブロツク構造を使用し、かつ参考のため本出願
に示されている米国特許第3,390,606号、第3,467,472
号、および第3,373,650号に開示されている機械的デイ
ザーの考え方を使用している。
ヤイロと呼ばれているリング・レーザ角速度センサは、
商業的に満足のいく製品となり、また多くの用途におい
て通常の機械的角速度センサと容易に取り換えることが
できるようになつた。現在、市販されている大部分のリ
ング・レーザ角速度センサは、機械的および熱的に安定
しているブロツク構造を使用し、かつ参考のため本出願
に示されている米国特許第3,390,606号、第3,467,472
号、および第3,373,650号に開示されている機械的デイ
ザーの考え方を使用している。
これら従来のリング・レーザ角速度センサは、動作に
おいては十分満足のいくものであり、また前述したよう
にある用途においては一般的に使用されている。しか
し、これら従来のリング・レーザ角速度センサは、製造
コストが高いという問題を有していた。
おいては十分満足のいくものであり、また前述したよう
にある用途においては一般的に使用されている。しか
し、これら従来のリング・レーザ角速度センサは、製造
コストが高いという問題を有していた。
本発明の目的は、製造コストが安価なリング・レーザ
角速度センサを提供することである。
角速度センサを提供することである。
本発明の他の目的は、デイザー・モータを含む全体的
な寸法が非常に小さい、たとえば直径5.08cm（２イン
チ）未満のリング・レーザ角速度センサを提供すること
である。
な寸法が非常に小さい、たとえば直径5.08cm（２イン
チ）未満のリング・レーザ角速度センサを提供すること
である。
したがつて、本発明は、機械加工されたレージング
（lasing）通路を有する中実ガラス・ブロツクと、熱形
成気密シールでブロツクに結合されたミラーとから構成
されたリング・レーザ角速度センサを提供する。また、
湾曲半径の短いリフオーカシング（refocusing）ミラー
を、短い通路と組合せて使用することも、本発明の優れ
た構造特徴の１つである。
（lasing）通路を有する中実ガラス・ブロツクと、熱形
成気密シールでブロツクに結合されたミラーとから構成
されたリング・レーザ角速度センサを提供する。また、
湾曲半径の短いリフオーカシング（refocusing）ミラー
を、短い通路と組合せて使用することも、本発明の優れ
た構造特徴の１つである。
以下、添付の図面に基づいて、本発明の実施例につい
て説明する。
て説明する。
第１図において、たとえば硼珪酸ガラス、望ましくは
BK−７（スコツト・オプテイカルの商品表示）のような
シリケート・ガラス・ブロツク10は、機械加工された孔
12a,12b,12cを有し、これら孔は三角形のレージング（l
asing）空所を形成している。このブロツクには、通路1
2の交差部分にミラー14ac,14ab,14bcが取りつけられて
いる。なお、方形レージング空所や、立方体空所を含む
他の形状の空所を備えたリング・レーザ角速度センサ
も、本発明に基づいて構成し得ることは言うまでもな
い。
BK−７（スコツト・オプテイカルの商品表示）のような
シリケート・ガラス・ブロツク10は、機械加工された孔
12a,12b,12cを有し、これら孔は三角形のレージング（l
asing）空所を形成している。このブロツクには、通路1
2の交差部分にミラー14ac,14ab,14bcが取りつけられて
いる。なお、方形レージング空所や、立方体空所を含む
他の形状の空所を備えたリング・レーザ角速度センサ
も、本発明に基づいて構成し得ることは言うまでもな
い。
ミラー、および、これらミラーのブロツクへの取付方
法については、後に詳しく説明する。各ミラーは、レー
ザ・ビームを再指向する作用の他、いくつかの作用を行
なう。ミラー14acは読出しビーム信号を供給するよう部
分的透過性であり、ミラー14abは湾曲し対向レーザ・ビ
ームを集束し、またミラー14bcは空所通路の長さを制御
する。ミラー14abに取りつけられたセンサ15は、従来技
術におけるリング・レーザ角速度センサと同様にミラー
14bcに通路長制御信号を供給する。なお、ミラー14acと
組合せて使用される適当な読出しデイバイスについて
は、発明者キルパトリツクによる発明の名称「リング・
レーザ角速度センサの読出し」の特許出願に開示されて
いる。
法については、後に詳しく説明する。各ミラーは、レー
ザ・ビームを再指向する作用の他、いくつかの作用を行
なう。ミラー14acは読出しビーム信号を供給するよう部
分的透過性であり、ミラー14abは湾曲し対向レーザ・ビ
ームを集束し、またミラー14bcは空所通路の長さを制御
する。ミラー14abに取りつけられたセンサ15は、従来技
術におけるリング・レーザ角速度センサと同様にミラー
14bcに通路長制御信号を供給する。なお、ミラー14acと
組合せて使用される適当な読出しデイバイスについて
は、発明者キルパトリツクによる発明の名称「リング・
レーザ角速度センサの読出し」の特許出願に開示されて
いる。
さらに、ブロツク10には、アノード16と一対のカソー
ド18,20が固定され、これらについては第４図に関連し
て後述する。なお、これら電極は、空所に充填されたガ
スに電気エネルギを与えて、対向レーザ・ビームを発生
させる。
ド18,20が固定され、これらについては第４図に関連し
て後述する。なお、これら電極は、空所に充填されたガ
スに電気エネルギを与えて、対向レーザ・ビームを発生
させる。
また、ブロツク10には、カソードおよびアノードが取
りつけられているところに、円筒状通路22a,22b,22cが
機械加工されている。これら通路により、レージング・
ガスはカソードとアノードの内面と連絡している。さら
に、孔22a,22b,22cを、通路を越えてブロツク中に延ば
し貯蔵器を形成し、システムのガス全体の体積を増すと
有利である。
りつけられているところに、円筒状通路22a,22b,22cが
機械加工されている。これら通路により、レージング・
ガスはカソードとアノードの内面と連絡している。さら
に、孔22a,22b,22cを、通路を越えてブロツク中に延ば
し貯蔵器を形成し、システムのガス全体の体積を増すと
有利である。
通路12により形成された平面に垂直な方向にブロツク
10に孔26が形成されている。この通路は、望ましくは発
明者キルパトリツクにより1985年５月10日に出願され
た、発明の名称「リング・レーザ角速度センサのデイザ
・サスペンシヨン機構」の特許願に示されているような
小型のデイザ・モータを収容するのに使用し得る。
10に孔26が形成されている。この通路は、望ましくは発
明者キルパトリツクにより1985年５月10日に出願され
た、発明の名称「リング・レーザ角速度センサのデイザ
・サスペンシヨン機構」の特許願に示されているような
小型のデイザ・モータを収容するのに使用し得る。
本発明によるリング・レーザ角速度センサの構造は優
れたものであるが、この基本的動作原理は、従来のリン
グ・レーザ角速度センサと同様である。すなわち、ブロ
ツク10の空所は、ヘリウム・ネオンの混合物のレージン
グ・ガスで充填されている。アノード16とカソード18,2
0間の電界は、ブロツク10の通路12に対向レーザ・ビー
ムを形成する。ブロツク10が回転すると、対向ビームの
一方の周波数は増加し、また他方は減少する。この周波
数差は、ミラー14acに取りつけられた適当なセンサによ
り検出される。光検出器の出力信号は、当業者には周知
の適当な方法で処理される。
れたものであるが、この基本的動作原理は、従来のリン
グ・レーザ角速度センサと同様である。すなわち、ブロ
ツク10の空所は、ヘリウム・ネオンの混合物のレージン
グ・ガスで充填されている。アノード16とカソード18,2
0間の電界は、ブロツク10の通路12に対向レーザ・ビー
ムを形成する。ブロツク10が回転すると、対向ビームの
一方の周波数は増加し、また他方は減少する。この周波
数差は、ミラー14acに取りつけられた適当なセンサによ
り検出される。光検出器の出力信号は、当業者には周知
の適当な方法で処理される。
第２図に示すように、本発明における製造コストを低
減する重要な要素は、従来のリング・レーザ角速度セン
サにおいて一般に使用されているオプテイカル・コンタ
クトのかわりにミラー14と中実ブロツク10との間にフリ
ツト（frit）シールを使用していることである。本実施
例では、リング・レーザ角速度センサ・ブロツク10は、
前述したようにレージング通路が機械加工されているBK
−７ガラスの中実ブロツクである。各ミラー用基板22も
また、BK−７ガラスでできている。レーザ反射コーテイ
ング24は、当業者には周知の適当な方法で基板22の表面
上に形成される。これには、二酸化チタン層と二酸化シ
リコン層から成るコーテイングが適している。
減する重要な要素は、従来のリング・レーザ角速度セン
サにおいて一般に使用されているオプテイカル・コンタ
クトのかわりにミラー14と中実ブロツク10との間にフリ
ツト（frit）シールを使用していることである。本実施
例では、リング・レーザ角速度センサ・ブロツク10は、
前述したようにレージング通路が機械加工されているBK
−７ガラスの中実ブロツクである。各ミラー用基板22も
また、BK−７ガラスでできている。レーザ反射コーテイ
ング24は、当業者には周知の適当な方法で基板22の表面
上に形成される。これには、二酸化チタン層と二酸化シ
リコン層から成るコーテイングが適している。
中実ブロツク10、基板22、およびコーテイング24用材
料の選択は、中実ブロツク10、基板22、およびコーテイ
ング24に適した膨張率にしたがつて行なわれる。適当な
膨張率とともに熱形成フリツト密封工程を使用して、基
板22をブロツク10に結合する。また、フリツト・シール
は、かなりの期間450°〜500℃の温度範囲で加熱される
工程において、接合ガラスまたはフリツト材料26で形成
され、かつ各部材は適当な温度膨張率を有していなけれ
ばならない。
料の選択は、中実ブロツク10、基板22、およびコーテイ
ング24に適した膨張率にしたがつて行なわれる。適当な
膨張率とともに熱形成フリツト密封工程を使用して、基
板22をブロツク10に結合する。また、フリツト・シール
は、かなりの期間450°〜500℃の温度範囲で加熱される
工程において、接合ガラスまたはフリツト材料26で形成
され、かつ各部材は適当な温度膨張率を有していなけれ
ばならない。
第３図において、平坦なミラー14bc,14ac,および湾曲
したミラー14abは、ブロツク10に加工された通路12ab,1
2ac,12bcにより形成された空所中に対向ビームを伝播さ
せる。空所はレーザ・ビームを閉じ込め、これをブロツ
クの角度ひずみに対して安定させ、かつレーザを特異な
横方向モードで振動させる。レーザ・ゲイン・ヒユージ
の直径は、ゲインおよび空所開口がオフ−アクセス・モ
ードと区別するように選択すべきである。なお、ゲイン
管の直径は0.76mm（0.030インチ）が最適である。
したミラー14abは、ブロツク10に加工された通路12ab,1
2ac,12bcにより形成された空所中に対向ビームを伝播さ
せる。空所はレーザ・ビームを閉じ込め、これをブロツ
クの角度ひずみに対して安定させ、かつレーザを特異な
横方向モードで振動させる。レーザ・ゲイン・ヒユージ
の直径は、ゲインおよび空所開口がオフ−アクセス・モ
ードと区別するように選択すべきである。なお、ゲイン
管の直径は0.76mm（0.030インチ）が最適である。
重要なことは、本発明に基づいて構成されたリング・
レーザ角速度センサの空所が短いことである。空所の長
さは、約6.10cm（2.4インチ）が最適であることがわか
つている。また、空所の長さが15.24cm（６インチ）よ
り長いと通常役に立たない。
レーザ角速度センサの空所が短いことである。空所の長
さは、約6.10cm（2.4インチ）が最適であることがわか
つている。また、空所の長さが15.24cm（６インチ）よ
り長いと通常役に立たない。
集束ミラー14abは短い湾曲半径の、湾曲した反射面を
有している。ミラー14abの湾曲半形が減少すると、半径
と通路の長さが等しくなる限界まで、許容し得る空所の
不整合量は増加する。これを超えると、すなわち半径が
空所の長さより短くなると、レージング・ビームは不安
定になる。本実施例では、ミラー14abの湾曲半径は、空
所の長さが約6cmの場合15cm〜20cmである。この半径
は、通路の長さに等しい内側限界と通路の長さの６倍の
外側限界の範囲内での空所の長さの変化に伴つて変化し
得る。
有している。ミラー14abの湾曲半形が減少すると、半径
と通路の長さが等しくなる限界まで、許容し得る空所の
不整合量は増加する。これを超えると、すなわち半径が
空所の長さより短くなると、レージング・ビームは不安
定になる。本実施例では、ミラー14abの湾曲半径は、空
所の長さが約6cmの場合15cm〜20cmである。この半径
は、通路の長さに等しい内側限界と通路の長さの６倍の
外側限界の範囲内での空所の長さの変化に伴つて変化し
得る。
第４図において、従来装置と同様に、電極はレーザ・
ガスに対して電気的接続を行なう。各電極、すなわち１
つのアノードと２つのカソードは、ブロツク10の熱膨張
率に合うように構成されている。したがつて、電極をブ
ロツク10に取りつけ、それらの間に密封シールを形成す
るのに熱接合工程を使用することができる。ニツケル−
鉄合金で作られたベース32とその内面は、アルミニウム
の薄い層34でコーテイングされている。Ni-Feの割合
は、このインバール・タイプの材料がブロツクの熱膨張
率と適合する熱膨張率を有しているように調節すること
ができる。BK−７のブロツクと適合するには、約Ni-49
％、Fe-50％、１％のマシネリ改善用材料の混合物が最
適である。なお、電極の壁は、電極をブロツク10に取り
つける際に可撓性があるように薄くなければならない。
この構造は、熱的または機械的に生じる応力によるブロ
ツクと電極との間の相対運動を補償する。
ガスに対して電気的接続を行なう。各電極、すなわち１
つのアノードと２つのカソードは、ブロツク10の熱膨張
率に合うように構成されている。したがつて、電極をブ
ロツク10に取りつけ、それらの間に密封シールを形成す
るのに熱接合工程を使用することができる。ニツケル−
鉄合金で作られたベース32とその内面は、アルミニウム
の薄い層34でコーテイングされている。Ni-Feの割合
は、このインバール・タイプの材料がブロツクの熱膨張
率と適合する熱膨張率を有しているように調節すること
ができる。BK−７のブロツクと適合するには、約Ni-49
％、Fe-50％、１％のマシネリ改善用材料の混合物が最
適である。なお、電極の壁は、電極をブロツク10に取り
つける際に可撓性があるように薄くなければならない。
この構造は、熱的または機械的に生じる応力によるブロ
ツクと電極との間の相対運動を補償する。
第５図において、従来技術と同様に、通路長制御ミラ
ーは、当業者には周知の技術にしたがつて空所の長さを
波長の整数に保持している。しかし、第５図に示された
通路長制御ミラーの構造は、従来技術において使用され
ているものよりもかなり簡単であるという利点を有して
いる。
ーは、当業者には周知の技術にしたがつて空所の長さを
波長の整数に保持している。しかし、第５図に示された
通路長制御ミラーの構造は、従来技術において使用され
ているものよりもかなり簡単であるという利点を有して
いる。
この優れた通路長制御装置は、BK−７のブロツク10と
BK−７の基板42に関して第２図において説明した方法で
ブロツク10に固定された反射コーテイング24を備えた基
板42を有している。基板42は、本実施例では、たとえば
0.508mm（0.020インチ）と、比較的薄い。ミラー基板42
には、２つの圧電ウエハ44,46が接合されている。これ
らウエハ44,46は、温度変化の影響をなくすように配置
されている。なお、各ウエハは、ミラー基板の厚さの1/
2であることが望ましい。
BK−７の基板42に関して第２図において説明した方法で
ブロツク10に固定された反射コーテイング24を備えた基
板42を有している。基板42は、本実施例では、たとえば
0.508mm（0.020インチ）と、比較的薄い。ミラー基板42
には、２つの圧電ウエハ44,46が接合されている。これ
らウエハ44,46は、温度変化の影響をなくすように配置
されている。なお、各ウエハは、ミラー基板の厚さの1/
2であることが望ましい。
第６図に示すように、各圧電ウエハ44,46の上下面全
体12は導電性電極48が被着されている。下のウエハ44は
適当なエポキシによりミラー基板42に接合され、同様に
上のウエハ46は下のウエハ44にエポキシ接合されてい
る。電極の表面には、圧電水晶に適当な信号を送る導電
性タブ52が取りつけられており、これにより、ミラー基
板を撓ませて、通路の長さが波長の整数であるように通
路の長さを変えることができる。
体12は導電性電極48が被着されている。下のウエハ44は
適当なエポキシによりミラー基板42に接合され、同様に
上のウエハ46は下のウエハ44にエポキシ接合されてい
る。電極の表面には、圧電水晶に適当な信号を送る導電
性タブ52が取りつけられており、これにより、ミラー基
板を撓ませて、通路の長さが波長の整数であるように通
路の長さを変えることができる。
ここに示されている優れたリング・レーザ角速度セン
サと組合わせるのに特に適した小型の機械的デイザー・
モータは、本出願人に譲渡されかつ発明者ハンス他によ
り1985年５月10日に出願された、発明の名称「リング・
レーザ角速度センサのデイザ・サスペンシヨン機構」の
特許願に開示されている。
サと組合わせるのに特に適した小型の機械的デイザー・
モータは、本出願人に譲渡されかつ発明者ハンス他によ
り1985年５月10日に出願された、発明の名称「リング・
レーザ角速度センサのデイザ・サスペンシヨン機構」の
特許願に開示されている。
ここには、低コストのリング・レーザ角速度センサを
提供する優れた構造が示されている。この技術は、リン
グ・レーザ、特にリング・レーザ角速度センサとして使
用されるレーザ・ブロツクを構成する方法を提供してい
る。
提供する優れた構造が示されている。この技術は、リン
グ・レーザ、特にリング・レーザ角速度センサとして使
用されるレーザ・ブロツクを構成する方法を提供してい
る。
第７図は、リング・レーザ・ブロツクを低コストで製
造する技術を提供する製造方法を示している。大きいブ
ロツク600は第１図に示したレーザ・ブロツク10に関し
て説明した材料と同じ材料でできている。ブロツクは平
坦な表面601,602,603を形成するようフライス削り、ま
たは切削されている。この平坦な表面は各平坦な表面の
法線が全て同一平面に存在するような方法でブロツクの
長さに沿つて配置されている。
造する技術を提供する製造方法を示している。大きいブ
ロツク600は第１図に示したレーザ・ブロツク10に関し
て説明した材料と同じ材料でできている。ブロツクは平
坦な表面601,602,603を形成するようフライス削り、ま
たは切削されている。この平坦な表面は各平坦な表面の
法線が全て同一平面に存在するような方法でブロツクの
長さに沿つて配置されている。
さらに、平坦な表面は後述するように相互に配置され
ている。なお、レーザ・ビームは、レーザ・ビームがオ
プテイカル閉ループ多角形通路を通るよう、光学の法則
にしたがわなければならないことは明白であろう。たと
えば、レーザ・ビームが反射面に照射すると、入射角は
反射角と等しくなければならない。平坦な表面を互いに
適切に配置することにより、平坦な表面間を結ぶ接続線
分（ライン・セグメント）が閉ループ多角形を形成し、
その閉ループ多角形において各平坦な表面の法線は、平
坦な表面に交差する隣りあう接続線分の頂点を通る。ブ
ロツクを孔あけして、平坦な表面601,602,603の間に線
分に沿つて空所を形成し、かつ反射部材を各表面に配置
することにより、空所は閉ループ・オプテイカル・ビー
ムを伝播することができる。
ている。なお、レーザ・ビームは、レーザ・ビームがオ
プテイカル閉ループ多角形通路を通るよう、光学の法則
にしたがわなければならないことは明白であろう。たと
えば、レーザ・ビームが反射面に照射すると、入射角は
反射角と等しくなければならない。平坦な表面を互いに
適切に配置することにより、平坦な表面間を結ぶ接続線
分（ライン・セグメント）が閉ループ多角形を形成し、
その閉ループ多角形において各平坦な表面の法線は、平
坦な表面に交差する隣りあう接続線分の頂点を通る。ブ
ロツクを孔あけして、平坦な表面601,602,603の間に線
分に沿つて空所を形成し、かつ反射部材を各表面に配置
することにより、空所は閉ループ・オプテイカル・ビー
ムを伝播することができる。
第７図において、トンネル、すなわち空所610a〜610h
がブロツク600に孔あけされて、表面601,602の間に延び
ている。各トンネル610a〜610hは距離Ｄだけ離間され、
互いにほぼ平行している。同様に、ブロツク600には表
面602,603の間に延びたトンネル615a〜615hが孔あけさ
れ、また表面601,603の間に延びたトンネル620a〜620h
がブロツク600に孔あけされている。
がブロツク600に孔あけされて、表面601,602の間に延び
ている。各トンネル610a〜610hは距離Ｄだけ離間され、
互いにほぼ平行している。同様に、ブロツク600には表
面602,603の間に延びたトンネル615a〜615hが孔あけさ
れ、また表面601,603の間に延びたトンネル620a〜620h
がブロツク600に孔あけされている。
トンネル610a〜610h,615s〜615h,620a〜620hは、三角
形の形状で示されている多角形通路を形成し、平坦な表
面601,602,603は、これら表面において多角形の頂点を
形成している。多角形を形成しているトンネルは、複数
のトンネルによつて形成された各多角形がほぼ平行して
いるように、ブロツクに孔あけされている。最後に、隣
りあう接続トンネルの頂点を貫通する、表面の法線が、
トンネル間の角度を二等分するように、表面は相互に配
置されている。この配置により、オプテイカル閉ループ
通路が形成される。
形の形状で示されている多角形通路を形成し、平坦な表
面601,602,603は、これら表面において多角形の頂点を
形成している。多角形を形成しているトンネルは、複数
のトンネルによつて形成された各多角形がほぼ平行して
いるように、ブロツクに孔あけされている。最後に、隣
りあう接続トンネルの頂点を貫通する、表面の法線が、
トンネル間の角度を二等分するように、表面は相互に配
置されている。この配置により、オプテイカル閉ループ
通路が形成される。
リング・レーザを形成するには、第１図に示すように
レーザ・ビームが伝播するオプテイカル閉ループ通路を
形成するよう、ミラーを表面601,602,603に取りつけな
ければならない。また、ブロツクにミラーを取りつける
には、ミラーをブロツクに取りつけるため選択された材
料および技術に要する程度の平滑さを得るよう、表面60
1,602,603を研摩しなければならない。
レーザ・ビームが伝播するオプテイカル閉ループ通路を
形成するよう、ミラーを表面601,602,603に取りつけな
ければならない。また、ブロツクにミラーを取りつける
には、ミラーをブロツクに取りつけるため選択された材
料および技術に要する程度の平滑さを得るよう、表面60
1,602,603を研摩しなければならない。
ブロツクが適切に孔あけされかつ研摩された後、ブロ
ツク600は、スライス・マーカ“S"のところでスライス
されて、各リング・レーザ・ブロツクを形成し、その後
これらは第１図に示したように本発明にしたがつて処理
される。
ツク600は、スライス・マーカ“S"のところでスライス
されて、各リング・レーザ・ブロツクを形成し、その後
これらは第１図に示したように本発明にしたがつて処理
される。
なお、スライスする前にミラー14ab,14ac,14bcをブロ
ツクに取りつけてもよい。本発明の一実施例では、全て
のミラー14は表面601,602,603においてブロツクに圧着
（pressfit）されている。さらに、フリツト・シールが
ミラーに設けられる。その後、ブロツクと全アセンブリ
は、気密シールを形成するような温度に加熱される。
ツクに取りつけてもよい。本発明の一実施例では、全て
のミラー14は表面601,602,603においてブロツクに圧着
（pressfit）されている。さらに、フリツト・シールが
ミラーに設けられる。その後、ブロツクと全アセンブリ
は、気密シールを形成するような温度に加熱される。
ミラー組立の後、各アセンブリはブロツクからスライ
スされるが、ミラーとブロツクの熱形成シール結合を含
んでいる各リング・レーザ・ブロツクを提供する。
スされるが、ミラーとブロツクの熱形成シール結合を含
んでいる各リング・レーザ・ブロツクを提供する。
なお、前述した組立方法は、ミラーがオプテイカル・
コンタクト技術を用いてブロツクにシールされているア
センブリにも適用し得ることは、当業者には明白であろ
う。具体的には、表面601,602,603を先ず高度に研摩し
て、オプテイカル・シールを供給する。このオプテイカ
ル・コンタクト・シールには、非常に高度に研摩された
表面が要求される。
コンタクト技術を用いてブロツクにシールされているア
センブリにも適用し得ることは、当業者には明白であろ
う。具体的には、表面601,602,603を先ず高度に研摩し
て、オプテイカル・シールを供給する。このオプテイカ
ル・コンタクト・シールには、非常に高度に研摩された
表面が要求される。
ブロツク材料およびミラーは、BK−７またはZerodur
のようなガラス、水晶、または用途に適した特性を有す
る他の材料でできている。
のようなガラス、水晶、または用途に適した特性を有す
る他の材料でできている。
ここには、本発明の望ましい実施例のみが示されてい
るが、本実施例は本発明の思想の範囲から離れることな
く改変することができることは、当業者には明白であろ
う。
るが、本実施例は本発明の思想の範囲から離れることな
く改変することができることは、当業者には明白であろ
う。
第１図は本発明にしたがつて構成されたリング・レーザ
角速度センサの断面図である。 第２図はリング・レーザ角速度センサ・ブロツクにシー
ルされたミラーの詳細を示した部分的断面図である。 第３図は、レーザ空所と湾曲した集束ミラーの概要図で
ある。 第４図はレーザ電極の構造を示した部分的断面図であ
る。 第５図は本発明の実施に有効な、簡単でしかも優れた通
路長制御装置の断面図である。 第６図は第５図の構造の拡大詳細図である。 第７図は三角形のレーザ通路を有する複数のリング・レ
ーザ・ブロツクを供給するよう形成されかつ孔あけされ
たブロツクの概要図である。 第８図は方形のレーザ通路を有する複数のリング・レー
ザ・ブロツクを供給するよう形成されかつ孔あけされた
ブロツクの概要図である。 10……ブロツク、12……通路、14……ミラー、15……セ
ンサ、16……アノード、18,20……カソード、22……円
筒状通路、24……レーザ反射コーテイング、42……基
板、44,46……圧電ウエハ、48……電極、52……タブ、6
00……ブロツク、601,602,603……平坦な表面、610,61
5,620……トンネル。
角速度センサの断面図である。 第２図はリング・レーザ角速度センサ・ブロツクにシー
ルされたミラーの詳細を示した部分的断面図である。 第３図は、レーザ空所と湾曲した集束ミラーの概要図で
ある。 第４図はレーザ電極の構造を示した部分的断面図であ
る。 第５図は本発明の実施に有効な、簡単でしかも優れた通
路長制御装置の断面図である。 第６図は第５図の構造の拡大詳細図である。 第７図は三角形のレーザ通路を有する複数のリング・レ
ーザ・ブロツクを供給するよう形成されかつ孔あけされ
たブロツクの概要図である。 第８図は方形のレーザ通路を有する複数のリング・レー
ザ・ブロツクを供給するよう形成されかつ孔あけされた
ブロツクの概要図である。 10……ブロツク、12……通路、14……ミラー、15……セ
ンサ、16……アノード、18,20……カソード、22……円
筒状通路、24……レーザ反射コーテイング、42……基
板、44,46……圧電ウエハ、48……電極、52……タブ、6
00……ブロツク、601,602,603……平坦な表面、610,61
5,620……トンネル。
Claims (2)
- 【請求項１】ブロツクに少くとも３つの平坦な表面を形
成する工程にして、上記各平坦な表面はその各法線の全
てが、ほぼ同一平面にあり、上記表面は、上記平坦な表
面間を結ぶ接続線分のうちの選択されたグループの線分
が閉ループ多角形を形成するように相互に配置されてお
り、上記閉ループ多角形において上記各平坦な表面の法
線は上記平坦な表面に交差する隣りあう接続線分の頂点
を通りかつ上記隣接した線分間の角度を二等分してい
る、ブロツクに少くとも３つの平坦な表面を形成する工
程と； 上記選択されたグループの線分に沿つて上記ブロツクに
第１組の空所を孔あけする工程と； 上記第１組の空所と同じように配置された少くとも第２
組の空所をブロツクに孔あけする工程と； 単一組の空所を有するブロツク部分を分離するよう上記
ブロツクをスライスする工程と から成ることを特徴とするリング・レーザの製造方法。 - 【請求項２】ブロツクに少くとも３つの平坦な表面を形
成する工程にして、上記各平坦な表面はその各法線の全
てがほぼ同一平面にあり、上記表面は上記平坦な表面間
を結ぶ接続線分のうちの選択されたグループの線分が閉
ループ多角形を形成するように相互に配置されており、
上記閉ループ多角形において上記各平坦な表面の法線は
上記平坦な表面に交差する隣りあう接続線分の頂点を通
りかつ上記隣接した線分間の角度を二等分している、ブ
ロツクに少くとも３つの平坦な表面を形成する工程と； 上記選択されたグループの線分に沿つて上記ブロツクに
第１組の空所を孔あけする工程と； 上記第１組の空所と同じように配置された少くとも第２
組の空所をブロツクに孔あけする工程と； 上記平坦な表面にミラーを取りつける工程と； 単一組の空所を有するブロツク部分を分離するよう上記
ブロツクをスライスする工程と から成ることを特徴とする、リング・レーザの製造方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US879746 | 1986-06-27 | ||
| US06/879,746 US4727638A (en) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | Low cost ring laser angular rate sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310578A JPS6310578A (ja) | 1988-01-18 |
| JPH0831637B2 true JPH0831637B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=25374807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62157982A Expired - Lifetime JPH0831637B2 (ja) | 1986-06-27 | 1987-06-26 | リング・レ−ザの製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4727638A (ja) |
| EP (1) | EP0251128B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0831637B2 (ja) |
| CA (1) | CA1285056C (ja) |
| DE (1) | DE3778069D1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4009728A1 (de) * | 1989-04-03 | 1990-10-04 | Teldix Gmbh | Verfahren zum herstellen eines grundkoerpers fuer einen laserkreisel |
| US4976765A (en) * | 1989-05-15 | 1990-12-11 | Corning Incorporated | Method of making glass-ceramic laser gyroscope frame |
| DE4017188A1 (de) * | 1990-05-29 | 1991-12-05 | Bodenseewerk Geraetetech | Gas-ringlaser |
| DE4103789A1 (de) * | 1991-02-08 | 1992-08-13 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur herstellung von laserkreisel-resonatorbloecken |
| JPH08335735A (ja) * | 1995-04-07 | 1996-12-17 | Toshiba Electron Eng Corp | 紫外域レーザ装置及びその製造方法 |
| US6516018B2 (en) * | 1999-05-04 | 2003-02-04 | Honeywell International Inc. | Corrosive resistant plated electrode for a RLG |
| US20070137079A1 (en) * | 2005-12-20 | 2007-06-21 | Mcneil Mark S | Systems and methods to maintain confidentiality of posted or written information |
| US20100258527A1 (en) * | 2009-04-08 | 2010-10-14 | Honeywell International Inc. | Methods of protecting surfaces from polishing residue |
| CN114289872B (zh) * | 2022-03-07 | 2022-08-23 | 西安中科华芯测控有限公司 | 一种微型激光陀螺用超快激光反射镜的装配方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3390606A (en) * | 1965-03-01 | 1968-07-02 | Honeywell Inc | Control apparatus |
| US3503005A (en) * | 1967-10-17 | 1970-03-24 | Honeywell Inc | Ring laser which is biased to permit two equal intensity transition frequencies to be generated in opposite directions |
| US4047186A (en) * | 1976-01-26 | 1977-09-06 | International Business Machines Corporation | Pre-aimed nozzle for ink jet recorder and method of manufacture |
| JPS5691487A (en) * | 1979-12-25 | 1981-07-24 | Kenji Aoshima | Manufacture of ring laser oscillator |
-
1986
- 1986-06-27 US US06/879,746 patent/US4727638A/en not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-05-28 CA CA000538254A patent/CA1285056C/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-23 DE DE8787108964T patent/DE3778069D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-06-23 EP EP87108964A patent/EP0251128B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-06-26 JP JP62157982A patent/JPH0831637B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4727638A (en) | 1988-03-01 |
| EP0251128A2 (en) | 1988-01-07 |
| CA1285056C (en) | 1991-06-18 |
| EP0251128A3 (en) | 1989-10-18 |
| JPS6310578A (ja) | 1988-01-18 |
| DE3778069D1 (de) | 1992-05-14 |
| EP0251128B1 (en) | 1992-04-08 |
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