JPH0831326A

JPH0831326A - プラズマディスプレイパネル

Info

Publication number: JPH0831326A
Application number: JP18887894A
Authority: JP
Inventors: Kazunari Tanaka; 一成田中; Shozo Otomo; 省三大友; Toshihiro Kato; 俊宏加藤; Takashi Kawai; 貴志河井; Hiroshi Murakami; 宏村上; Takao Kuriyama; 孝夫栗山; Eiji Munemoto; 英治宗本
Original assignee: Sumitomo Metal Ceramics Inc; Nippon Hoso Kyokai NHK; Japan Broadcasting Corp
Current assignee: Nippon Steel and Sumikin Electronics Devices Inc; Japan Broadcasting Corp
Priority date: 1994-07-18
Filing date: 1994-07-18
Publication date: 1996-02-02
Anticipated expiration: 2019-10-13
Also published as: JP3576215B2

Abstract

(57)【要約】【目的】フォトリソグラフィ法により障壁パターンを
形成し、該障壁パターンを焼成して得た密閉型の障壁の
欠け、欠落、あるいは亀裂の発生を防止し、歩留のよい
プラズマディスプレイパネルを提供する。【構成】フォトリソグラフィ法により障壁パターンを
形成し、該障壁パターンを焼成して得た密閉型の障壁を
有し、該障壁により多角形のセルを形成したプラズマデ
ィスプレイパネルである。そして、該障壁のセル内側コ
ーナー部を曲面とし、または交差する障壁の一方の障壁
の線幅を他方の障壁の線幅より細くし、あるいは前記セ
ルを形成する障壁の隣接セル側または外周側の障壁交差
部に、該隣接セル側または外周側から延びる楔状開口部
を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネルに係り、より詳細には、各表示セルを形成する障
壁の交差部に発生する亀裂を防止し、発光時のクロスト
ーク、誤放電などを防止できるようにしたプラズマディ
スプレイパネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】まず、プラズマディスプレイパネルの構
造に関し、直流（ＤＣ）型プラズマディスプレイパネル
を例にとって説明する。ＤＣ型カラープラズマディスプ
レイパネルの一例として模式図を図５に示す。このプラ
ズマディスプレイパネルは、一定の空間を隔てて絶縁板
よりなる前面板１と背面板２を配し、該両板１、２間に
相対向して交差するアノード電極群（陽極）３とカソー
ド電極群（陰極）４を設け、また両電極群３、４間に、
光のクロストークを防ぎ、両電極群３、４間を一定に隔
て、放電空間を確保するための障壁５を設け、該障壁５
により表示セル６と補助セル７を形成し、かつ両電極群
３、４間に希ガスを封入した構成とされている。

【０００３】そして、このプラズマディスプレイパネル
の発光は、補助セル７における種火放電から荷電粒子な
どの供給をプライミングパス２８を通して受けながら表
示セル６の内部に表示用放電を起こして紫外線を発生さ
せる。この紫外線によって励起された蛍光面８、９、１
０から可視光を得る。従って、このカラープラズマディ
スプレイパネルでは、高輝度を得るためのメモリー駆動
のため、あるいは色滲み防止のため、表示セルを形成す
る障壁は密閉型が必要となる。

【０００４】ところで、このプラズマディスプレイパネ
ルにおける障壁は、近年、障壁幅の微細化、寸法精度の
向上およびパネルの大型化の観点から、フォトリソグラ
フィ法を用いた形成法が提案されている（特開平２−１
６５５３８号公報参照）。このフォトリソグラフィ法
は、図６に示すように、基板１１上に、障壁粉末と紫外
線硬化樹脂を混合したペースト（スリップ）を塗布して
塗布膜１２を設け、この塗布膜１２に、遮光マスク１３
を用いて障壁パターン部分に紫外線１４を照射し露光・
硬化させ、この工程を複数回繰り返すことにより塗布層
１５を得る。そして、この塗布層１５を一括現像してパ
ターンニングし、非露光部１６を溶出することにより所
望とする高さの障壁パターン１７を得た後、この障壁パ
ターン１７を焼成することにより障壁１８を形成する方
法である。そして、この方法によれば、１００μｍ以下
のライン幅およびライン間隔をもち、かつ１００μｍ以
上の障壁高さを有するプラズマディスプレイパネル用の
障壁を得ることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このフォトリ
ソグラフィ法による障壁形成法の場合、次のような問題
がある。すなわち、感光性ペースト中に、多くの紫外線硬化樹脂を必要
とするため障壁粉末の充填が阻害されるので、焼成時の
障壁パターン収縮率が大きい。このため密閉型の障壁形状では、該障壁の焼成収縮
方向の均衡が保たれず、コーナー部に亀裂が発生しやす
い。この亀裂は、発光時の発光漏れ（色滲み）となり、
パネル作成の歩留を低下させる。また、この亀裂は隣接するセルから荷電粒子などを
過剰に通すため、誤放電を起こす原因となり、パネル作
成の歩留を低下させる。等の問題がある。

【０００６】本発明は、上述した課題に対処して創作し
たものであって、その目的とする処は、障壁の欠け、欠
落、あるいは亀裂の発生を防止し、歩留のよいプラズマ
ディスプレイパネルを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】そして、上記課題を解決
するための手段としての本発明のプラズマディスプレイ
パネルは、一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配し、該
両絶縁板間に相対向して交差するアノード電極群とカソ
ード電極群を設け、かつ該両電極群間にフォトリソグラ
フィ法により形成した障壁パターンを焼成して得た密閉
型の障壁を設け、該障壁により多角形のセルを形成した
プラズマディスプレイパネルにおいて、該障壁のセル内
側コーナー部を曲面とした構成よりなる。

【０００８】また、本発明のプラズマディスプレイパネ
ルは、一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配し、該両絶
縁板間に相対向して交差するアノード電極群とカソード
電極群を設け、該両電極群間にフォトリソグラフィ法に
より形成した障壁パターンを焼成して得た密閉型の障壁
を設け、該障壁により多角形のセルを形成したプラズマ
ディスプレイパネルにおいて、該障壁が、線幅の細い障
壁と線幅の広い障壁を有し、かつ該線幅の異なる障壁が
交差する構成としている。

【０００９】更に、本発明のプラズマディスプレイパネ
ルは、一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配し、該両絶
縁板間に相対向して交差するアノード電極群とカソード
電極群を設け、かつ該両電極群間にフォトリソグラフィ
法により形成した障壁パターンを焼成して得た密閉型の
障壁を設け、該障壁により多角形のセルを形成したプラ
ズマディスプレイパネルにおいて、該セルを形成する障
壁の隣接セル側または外周側の障壁交差部に、該隣接セ
ル側または外周側から延びる楔状開口部を設けた構成と
している。

【００１０】更にまた、本発明のプラズマディスプレイ
パネルは、一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配し、該
両絶縁板間に相対向して交差するアノード電極群とカソ
ード電極群を設け、かつ該両電極群間にフォトリソグラ
フィ法により形成した障壁パターンを焼成して得た密閉
型の障壁を設け、該障壁により多角形のセルを形成した
プラズマディスプレイパネルにおいて、該障壁が、線幅
の細い障壁と線幅の広い障壁を有し、かつ該線幅の異な
る障壁が交差し、また該各セルを形成する障壁のセル内
側コーナー部を曲面とした構成よりなる。

【００１１】

【作用】本発明のプラズマディスプレイパネルは、各セ
ルを形成する障壁のセル内側コーナー部を曲面としてい
るので、該障壁を焼成して形成する際に、障壁収縮の方
向性が緩和され、その亀裂の発生を抑制でき、発光時の
発光濡れ（色滲み）を防止できる。

【００１２】また、各セルを形成する障壁を、線幅の細
い障壁と線幅の広い障壁で形成すると共に、該線幅の異
なる障壁を交差させているので、該障壁の焼成の際に、
線幅の細い障壁の焼成収縮の絶対値が、線幅の広い障壁
の焼成収縮に対してより小さくなることにより、向きの
異なる障壁の収縮バランスが良くなり、その交差部の亀
裂の発生を抑制できる。

【００１３】また、各セルを形成する障壁の隣接セル側
または外周側の障壁交差部に、該隣接セル側または外周
側から延びるスリットを設けた後、該障壁の焼成収縮に
より該スリットを開口させる場合は、該スリットが開口
して焼成収縮を緩和・吸収することになるので、亀裂の
発生を抑制できる。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明を具体化
した実施例について説明する。

【００１５】−実施例１− 本実施例のプラズマディスプレイパネルは、前述した従
来技術で説明したように、一定の空間を隔てて絶縁板よ
りなる前面板１と背面板２を配し、該両板１、２間に相
対向して交差するアノード電極３，とカソード電極４，
を設け、また両電極３、４間に、光のクロストークを防
ぎ、両電極群３、４間を一定に隔て、放電空間を確保す
るための密閉状の障壁５を設け、該障壁５により表示セ
ル６と補助セル７を形成し、かつ両電極３、４間に希ガ
スを封入した構成とされている（図５参照）。

【００１６】前面板１と背面板２は、ガラス板等よりな
る絶縁基板であって、前面板１の内側には、カソード電
極４が平行に複数本設けられ、また背面板２の内側に
は、アノード電極３が、カソード電極と直交するように
複数本設けられている。アノード電極３は、Ｎｉ，Ａｌ
等の導体金属、あるいはこれらの合金、更にこれらの金
属に少量のガラスを混入したペーストが用いられ、表示
電極３ａと補助電極３ｂからなる。またカソード電極４
は、酸化インジウム、酸化スズを蒸着した透明電極が用
いられている。

【００１７】障壁５は、図１、図５に示すように、アノ
ード電極３に平行な三本の縦障壁５ｂと、カソード電極
４に平行で、縦障壁５ｂと直交する複数本の横障壁５ａ
で形成され、縦障壁５ｂと横障壁５ａにより区画された
複数個の空間に、カソード電極４と表示電極３ａにより
四角形の表示セル６が形成されている。そして、この障
壁５が、複数個並列に設けられ、隣接する障壁５，５間
の空間に、補助電極３ｂとカソード電極４により補助セ
ル７が形成されている。

【００１８】ここで、縦障壁５ｂと横障壁５ａの障壁側
コーナー部には、図１に示すように、アール部２３が形
成されている。そして、そのアール（曲面）は、その曲
率半径が、障壁幅の１／２以上であることが好ましい。
これは、後述する試験結果を総合的に検討した結果に基
づくものである。

【００１９】次に、本実施例のプラズマディスプレイに
おける障壁構造について、その作用・効果を確認するた
めに、図１に示される密閉型の障壁５として、障壁幅：
６０μｍ、表示セルの内径：４６０×５６０μｍ、障壁
高さ：２００μｍの形状を有する密閉型のコーナー部の
アール（曲面）部の曲率半径を変更して、フォトリソグ
ラフィ法を利用し、No. １〜No. ５の５種類の障壁を作
成し、それぞれの障壁のコーナー部の亀裂の発生の有
無、アール部を設けたことによる表示セルの開口部の減
少率について観察、測定した。ここで、障壁材料、焼成
温度は一定条件とした。そして、その結果を表１に示
す。

【００２０】

【表１】

【００２１】そして、表１に示すように、障壁幅：６０
μｍ、表示セルの内径：４６０×５６０μｍ、障壁高
さ：２００μｍの形状の障壁で、該障壁のコーナー部に
アール部がない場合、該コーナー部に亀裂が認められた
（No. ５参照）。これに対して、該コーナー部にアール
部を設けた場合、亀裂は認められなかった（No. ２，３
参照）。ただ、その曲率半径が２００μｍ以上の場合
は、表示セルの開口部が１３．４％程度減少するため、
パネル化したとき発光輝度の低下が予想される。またア
ール部を有し、その曲率半径が２５μｍ以下の場合は、
亀裂が認められた（No. １参照）。これは、焼成の際の
収縮を完全に吸収することができないことによると考え
られる。このことより、該障壁のコーナー部にアール部
を設けることの作用・効果が確認できると共に、該アー
ル部は、障壁幅の１／２以上が好ましいことが確認でき
た。

【００２２】なお、前述した実施例は、障壁幅：６０μ
ｍ、表示セルの内径：４６０×５６０μｍ、障壁高さ：
２００μｍの形状の障壁のもので説明したが、該アール
部の寸法は、障壁幅、表示セルの大きさ（障壁の長さ、
高さ）、障壁焼成収縮率（障壁材料、焼成温度等によっ
て可変）等によって決定される。

【００２３】−実施例２− 本実施例のプラズマディスプレイパネルは、図２に示す
ように、横障壁５ａの障壁幅Ａを、縦障壁５ｂの障壁幅
Ｂより細くした障壁構造を有している。すなわち、フォ
トリソグラフィ法によって障壁パターンを作成する際
に、該横方向の障壁パターンの線幅を、縦方向の障壁パ
ターンの線幅より細くし、該障壁パターンを焼成の際の
収縮による影響を除いた障壁構造を有している。

【００２４】ここで、縦障壁５ｂの障壁幅Ｂと、横障壁
５ａの障壁幅Ａは、障壁高さが、２００μｍ、表示セル
の内径が、４２０μｍ×５５０μｍの場合で、横障壁５
ａの障壁幅Ａを縦壁壁５ｂの障壁幅Ｂより、好ましくは
２０μｍ以上細くした場合が好ましい。これは、後述す
る試験結果を総合的に検討した結果に基づくものであ
る。

【００２５】次に、本実施例のプラズマディスプレイに
おける障壁構造について、その作用・効果を確認するた
めに、図２に示される密閉型の障壁５を、障壁高さが、
２００μｍ、表示セル内径が、４２０μｍ×５５０μｍ
とし、その縦障壁と横障壁の障壁幅を変えて、フォトリ
ソグラフィ法を利用し、No. １〜No. ５の５種類の障壁
を作成し、それぞれの障壁のコーナー部の亀裂の発生の
有無について、観察、測定した。ここで、障壁材料、焼
成温度は一定条件とした。そして、その結果を表２に示
す。

【００２６】

【表２】

【００２７】そして、その結果、表２に示すように、横
障壁の障壁幅と、縦障壁の障壁幅を同幅とした場合（N
o. ５参照）、および横障壁の障壁幅を、縦障壁の障壁
幅より太くした場合（No. ４参照）は、該障壁のコーナ
ー部に亀裂が認められた。これに対して、該横障壁の障
壁幅を縦障壁の障壁幅より細くした場合、該亀裂が認め
られなかった。これは、前述した通り、横障壁の焼成収
縮の絶対値が、縦障壁の焼成収縮に対してより小さくな
ることにより、特に補助セル側の縦障壁とそれに交差す
る横障壁の収縮バランスが良くなるためと考えられる。
ただし、横障壁の障壁幅が、３０μｍ未満の場合（No.
３参照）は、該横障壁に欠落や欠けが発生した。これ
は、後述する実施例４により解決することができる。こ
のことより、該横障壁の障壁幅を縦障壁の障壁幅より細
くすることによる作用・効果が確認できると共に、該横
障壁の障壁幅を縦障壁の障壁幅より好ましくは２０μｍ
以上細くした場合が好ましいことが確認できた。

【００２８】従って、本実施例のプラズマディスプレイ
の場合、各セルを形成する障壁のうち、該セルの短辺方
向の障壁幅を、該セルの長辺方向の障壁幅より細くして
いるので、該障壁の焼成の際に、該短辺方向の障壁の焼
成収縮の絶対値が、該長辺方向の障壁の焼成収縮に対し
てより小さくなることにより、両者のバランスが良くな
り、その交差部の亀裂の発生を抑制できる。

【００２９】−実施例３− 本実施例のプラズマディスプレイパネルは、図３に示す
ように、各表示セル６を形成する障壁５の補助セル７側
の障壁交差部２５に、該補助セル７側から延びる楔状開
口部２６を設けた構成よりなる。そして、この構成とす
ることにより、障壁パターンを焼成する際に、横障壁５
ａの焼成収縮の絶対値が、縦障壁５ｂの焼成収縮に対し
てより小さくなることにより、特に補助セル側の縦障壁
とそれに交差する横障壁５ａの収縮バランスが良くな
り、その交差部の亀裂の発生を抑制できる。

【００３０】ここで、楔状開口部２６は、焼成前の障壁
パターンにおいて、図４に示すように、スリットであっ
て、そのスリット幅Ｅが、横障壁５ａの障壁幅Ａの１／
２以上で、そのスリット長さＦが縦障壁５ｂの障壁幅Ｂ
と同幅若しくはそれ以上であることが好ましい。これ
は、後述する試験結果を総合的に検討した結果に基づく
ものである。

【００３１】次に、本実施例のプラズマディスプレイに
おける障壁構造について、その作用・効果を確認するた
めに、図３に示される密閉型の障壁５を、図４の説明図
に示すように、障壁高さ：１５０μｍ、表示セルの内
径：４２０μｍ×５５０μｍ：横障壁の障壁幅Ａ：６０
μｍ、縦障壁の障壁幅Ｂ：６０μｍとし、楔状開口部２
６のスリット幅Ｅ、スリット長さＦ、および障壁交差部
２５におけるスリット幅Ｇを変えて、フォトリソグラフ
ィ法を利用して作成し、それぞれの障壁の剥がれ、障壁
のコーナー部の亀裂の発生の有無について、観察、測定
した。ここで、障壁材料、焼成温度は一定条件とした。
そして、その結果を表３に示す。

【００３２】

【表３】

【００３３】そして、その結果、表３に示すように、ス
リットを設けなかった場合（No. ５参照）は、コーナー
部に亀裂が発生したのに対して、障壁パターンに、前記
スリットを形成し、該障壁パターンを焼成して障壁４を
作成した場合、収縮による障壁剥がれ、障壁のコーナー
部の亀裂が認められなかった（No. １、２参照）。た
だ、スリット幅Ｅが、障壁交差部におけるスリット幅Ｇ
より小さいとスリットが形成できず、またスリット幅Ｅ
がスリット幅Ｇの３倍以上であると、スリット形成の効
果が表れなかった（No. ３参照）。またスリット幅Ｅ
は、スリット幅Ｇ以上であって、スリット幅の３倍未満
であることが好ましいことが確認できた。また、横障壁
の障壁幅Ａと、スリット幅Ｇとの差は、４０μｍ以上確
保することが好ましく、横障壁の障壁幅Ａとスリット幅
Ｇとの差が４０μｍ未満の場合は、障壁強度が確保でき
ず、障壁の欠け、剥がれが発生するため好ましくないこ
とが確認できた（No. ４参照）。このことより、３Ｇ＞Ｅ＞Ｇ，Ａ−Ｇ≧４０の関係にすることが、より好ましいことが確認できた。

【００３４】従って、本実施例のプラズマディスプレイ
によれば、各セルを形成する障壁の隣接セル側の障壁交
差部に、該隣接セル側から延びる楔状開口部を設けてい
るので、該隣接セルの放電空間を広くできると共に、該
障壁の焼成の際に、該開口部が熱収縮を吸収し、その交
差部の断線および亀裂の発生を抑制できる。

【００３５】−実施例４− 本実施例のプラズマディスプレイパネルは、前述した実
施例１と実施例２の障壁構造を組み合わせた障壁構造を
有する構成よりなる。すなわち、図７に示すように、縦
障壁５ｂと横障壁５ａの障壁側コーナー部にアール部２
３が形成されると共に、横障壁５ａの障壁幅Ａを、縦障
壁５ｂの障壁幅Ｂより細くした障壁構造を有している。

【００３６】次に、本実施例のプラズマディスプレイに
おける障壁構造について、その作用・効果を確認するた
めに、図７に示される密閉型の障壁５を、障壁のセル内
側コーナー部の曲率半径が５０μｍ、２５μｍ、０μ
ｍ、障壁高さが、２００μｍ、表示セルの内径が、４２
０μｍ×５５０μｍとし、その縦障壁と横障壁の障壁幅
を変え、フォトリソグラフィ法を利用し、No. １〜No.
６の６種類の障壁を作成し、それぞれの障壁のコーナー
部の亀裂の発生の有無について、観察、測定した。ここ
で、障壁材料、焼成温度は一定条件とした。そして、そ
の結果を表４に示す。

【００３７】

【表４】

【００３８】そして、その結果、焼成後の障壁外観評価
において、欠落の認められた横障壁幅：２５μｍ、縦障
壁幅：５０μｍで、コーナー部にアール部が形成されて
いないの障壁（実施例２のNo. ３参照）、また亀裂の認
められた縦横障壁幅：６０μｍ、コーナー部に曲率半
径：２５μｍのアール部が形成されている障壁（実施例
１のNo. １参照）であっても、表４に示すように、欠
落、欠け、および亀裂が認められなかった（No. ３、N
o. ６参照）。このことから、障壁のコーナー部にアー
ル部を形成し、かつ横障壁を縦障壁より細くすることに
よって、欠け、欠落、亀裂のない障壁が形成できること
が確認できた。

【００３９】従って、本実施例のプラズマディスプレイ
によれば、各セルを形成する障壁のコーナー部を曲面と
し、かつ該セルの短辺方向の障壁幅を、該セルの長辺方
向の障壁幅より細くしているので、前述した実施例１と
実施例２の利点を合わせもち、いっそう欠けや亀裂の発
生を防止できる。

【００４０】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。因に、セル配列は、千鳥格子
状等の配列よりなる密閉型の障壁についても同様であ
り、また表示セルの放電空間（開口部）の形状は、四角
形に限定されるものでなく、六角形等の多角形としても
よい。

【００４１】ところで、前述した各実施例においては、
セルが、表示セルと補助セルを有する構成で説明した
が、補助セルを有しない構成であってもよい。すなわ
ち、図８に示すような基本単位を有するプラズマディス
プレイに、前述した実施例１〜実施例４を具体化した構
成としてもよい（図９〜図１１参照）。さらに前述した
各実施例においては、ＤＣ型プラズマディスプレイを例
にとって説明したが、本発明は、その他すべてのプラズ
マディスプレイにもあてはまる。

【００４２】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の請求項１のプラズマディスプレイパネルによれば、各
セルを形成する障壁のコーナー部を曲面としているの
で、該障壁を焼成して形成する際に、障壁収縮の方向性
が緩和され、その亀裂の発生を抑制でき、発光時の発光
濡れ（色滲み）を防止できるという効果を有する。

【００４３】また、本発明の請求項２のプラズマディス
プレイパネルによれば、各セルを形成する障壁を、線幅
の細い障壁と線幅の広い障壁で形成すると共に、該線幅
の異なる障壁を交差させているので、該障壁の焼成の際
に、線幅の細い障壁の焼成収縮の絶対値が、線幅の広い
障壁の焼成収縮に対してより小さくなることにより、向
きの異なる障壁の収縮バランスが良くなり、その交差部
の亀裂の発生を抑制できる。

【００４４】また、本発明の請求項３のプラズマディス
プレイパネルによれば、各セルを形成する障壁の隣接セ
ル側または外周側の障壁交差部に、該隣接セル側または
外周側から延びるスリットを設けた後、該障壁の焼成収
縮により該スリットを開口させる場合は、該スリットが
開口して焼成収縮を緩和・吸収することになるので、亀
裂の発生を抑制できる。

【００４５】また、本発明の請求項４のプラズマディス
プレイパネルによれば、該障壁が、線幅の細い障壁と線
幅の広い障壁を有し、かつ該線幅の異なる障壁が交差
し、また該各セルを形成する障壁のセル内側コーナー部
を曲面としてなるので、前述した請求項１と請求項２の
効果を合わせもち、いっそう欠けや亀裂の発生を防止で
きるという効果を有する。

【００４６】従って、本発明によれば、発光特性に優れ
たプラズマディスプレイパネルの作成が可能で、かつ高
精細なプラズマディスプレイパネルが歩留よく作成でき
るという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示し、密閉型障壁の表示セ
ルのコーナー部に曲面を設けた密閉型障壁の構造を示す
概略図である。

【図２】本発明の実施例を示し、各表示セルを構成す
る横障壁を縦障壁に対して細くした障壁構造を示す概略
図である。

【図３】本発明の実施例を示し、各セルを構成する隣
接セル側の障壁交差部に、隣接セル側から延びる楔状開
口部を設けた密閉型障壁の構造を示す概略図である。

【図４】密閉型障壁に設ける楔状開口部の寸法を説明
するための参照図である。

【図５】プラズマディスプレイパネルの基本単位を示
す模式図である。

【図６】フォトリソグラフィ法による障壁の形成方法
の説明図である。

【図７】本発明の実施例を示し、密閉型障壁の表示セ
ルのコーナー部に曲面を設け、かつ各表示セルを構成す
る横障壁を縦障壁に対して細くした密閉型障壁の構造を
示す概略図である。

【図８】補助セルを有しないプラズマディスプレイパ
ネルの基本単位を示す模式図である。

【図９】図８のプラズマディスプレイパネルに具体化
した本発明の他の実施例の概略図である。

【図１０】図８のプラズマディスプレイパネルに具体
化した本発明の他の実施例の概略図である。

【図１１】図８のプラズマディスプレイパネルに具体
化した本発明の他の実施例の概略図である。

【符号の説明】

１・・・前面板、２・・・背面板、３・・・アノード電
極群（陽極）、４・・・カソード電極群（陰極）、５・
・・障壁、５ａ・・・横障壁、５ｂ・・・縦障壁、６・
・・表示セル、７・・・補助セル、８，９，１０・・・
蛍光面、１１・・・基板、１２・・・塗布膜、１３・・
・遮光マスク、１４・・・紫外線、１５・・・塗布層、
１６・・・非露光部、１７・・・障壁パターン、１８・
・・障壁、２１・・・障壁交差部、２３・・・アール
部、２５・・・障壁交差部、２６・・・楔状開口部、２
８・・・プライミングパス

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者加藤俊宏東京都世田谷区砧一丁目10番11号日本放送協会放送技術研究所内 (72)発明者河井貴志東京都世田谷区砧一丁目10番11号日本放送協会放送技術研究所内 (72)発明者村上宏東京都世田谷区砧一丁目10番11号日本放送協会放送技術研究所内 (72)発明者栗山孝夫東京都世田谷区砧一丁目10番11号日本放送協会放送技術研究所内 (72)発明者宗本英治東京都世田谷区砧一丁目10番11号日本放送協会放送技術研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配
し、該両絶縁板間に複数の電極群およびフォトリソグラ
フィ法により形成した障壁パターンを焼成して得た密閉
型の障壁を設け、該障壁により多角形のセルを形成した
プラズマディスプレイパネルにおいて、該障壁のセル内
側コーナー部を曲面としたことを特徴とするプラズマデ
ィスプレイパネル。
【請求項２】一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配
し、該両絶縁板間に複数の電極群およびフォトリソグラ
フィ法により形成した障壁パターンを焼成して得た密閉
型の障壁を設け、該障壁により多角形のセルを形成した
プラズマディスプレイパネルにおいて、該障壁が、線幅
の細い障壁と線幅の広い障壁を有し、かつ該線幅の異な
る障壁が交差することを特徴とするプラズマディスプレ
イパネル。
【請求項３】一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配
し、該両絶縁板間に複数の電極群およびフォトリソグラ
フィ法により形成した障壁パターンを焼成して得た密閉
型の障壁を設け、該障壁により多角形のセルを形成した
プラズマディスプレイパネルにおいて、該セルを形成す
る障壁の隣接セル側または外周側の障壁交差部に、該隣
接セル側または外周側から延びる楔状開口部を設けたこ
とを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】一定の空間を隔てて一対の絶縁板を配
し、該両絶縁板間に複数の電極群およびフォトリソグラ
フィ法により形成した障壁パターンを焼成して得た密閉
型の障壁を設け、該障壁により多角形のセルを形成した
プラズマディスプレイパネルにおいて、該障壁が、線幅
の細い障壁と線幅の広い障壁を有し、かつ該線幅の異な
る障壁が交差し、また該各セルを形成する障壁のセル内
側コーナー部を曲面としてなることを特徴とするプラズ
マディスプレイパネル。