JPH08309664A - Manufacture of diamond grinding wheel and magnetic head - Google Patents

Manufacture of diamond grinding wheel and magnetic head

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JPH08309664A
JPH08309664A JP11693595A JP11693595A JPH08309664A JP H08309664 A JPH08309664 A JP H08309664A JP 11693595 A JP11693595 A JP 11693595A JP 11693595 A JP11693595 A JP 11693595A JP H08309664 A JPH08309664 A JP H08309664A
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JP
Japan
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diamond
magnetic head
diamond abrasive
abrasive grains
grindstone
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JP11693595A
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Japanese (ja)
Inventor
Kozo Sasakuri
耕三 笹栗
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To provide a method for manufacturing a diamond grinding wheel and a magnetic head whereby generation of cracking and chipping is reduced to improve a yield rate. CONSTITUTION: The first diamond abrasive grain 20 of 20μm to 30μm grain size and the second diamond abrasive grain 21 to 5μm to 10μm grain size are mixed by ratio of 15 to 25wt.% the second diamond abrasive grain 21 relating to the first diamond abrasive gain 20, to bind the abrasive grains by a binding agent 22.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録再生装置等に
用いられる磁気ヘッド等を加工するダイヤモンド砥石及
び磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diamond grindstone for processing a magnetic head or the like used in a magnetic recording / reproducing apparatus and a method for manufacturing the magnetic head.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気記録装置の小型化、磁気記録
の高密度化に伴い、磁気ヘッドの機械加工にも精密加工
が施されている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the downsizing of magnetic recording devices and the increasing density of magnetic recording, precision machining has been performed on magnetic heads.

【0003】以下、先ず従来の磁気ヘッドについて説明
し、続いて従来の磁気ヘッドの製造方法及びダイヤモン
ド砥石について図面を参照しながら説明する。図3は従
来の磁気ヘッドの斜視図を示すものである。図3におい
て、1はセラミックからなるスライダー、2は巻線を施
したコイルボビン、3はバックバー、4は記録再生ヘッ
ドと消去ヘッドからなるヘッド構造体である。この様な
磁気ヘッドの主要部分であるヘッド構造体4は後述する
ようにフェライトとガラスにより構成されている。
Hereinafter, a conventional magnetic head will be described first, and then a conventional magnetic head manufacturing method and a diamond grindstone will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a perspective view of a conventional magnetic head. In FIG. 3, 1 is a slider made of ceramics, 2 is a coil bobbin wound, 3 is a back bar, and 4 is a head structure composed of a recording / reproducing head and an erasing head. The head structure 4, which is the main part of such a magnetic head, is made of ferrite and glass as described later.

【0004】次に、磁気ヘッドの製造方法について説明
する。図4(a)〜(c)は従来の磁気ヘッドの製造方
法におけるヘッド構成体のギャップバーの加工を示す
図、図5(a)(b)は従来の磁気ヘッドの製造方法に
おけるヘッド構成体のギャップバーの接合と加工を示す
図、図6(a)(b)は従来の磁気ヘッドの製造方法に
おけるヘッド構造体の切断加工とラップ加工を示す図で
ある。
Next, a method of manufacturing the magnetic head will be described. 4A to 4C are views showing the processing of the gap bar of the head structure in the conventional magnetic head manufacturing method, and FIGS. 5A and 5B are head structure in the conventional magnetic head manufacturing method. 6A and 6B are views showing the joining and processing of the gap bar, and FIGS. 6A and 6B are views showing the cutting and lapping of the head structure in the conventional magnetic head manufacturing method.

【0005】先ず、図4(a)において、5はフェライ
トからなるコアバーであり、ダイヤモンド砥石により溝
6を研削し、そして、ギャップ対向面7をダイヤモンド
砥粒を用いて研磨加工する。8はフェライトからなるI
字形コアであり、I字形コア8の一方の面を研磨加工す
る。そして、スパッタリングにより軟化点温度の高いS
iO2 の膜9をコアバー5のギャップ対向面7とI字形
コア8の研磨加工した面にそれぞれ形成する。更に、コ
アバー5とI字形コア8のそれぞれの膜9の上にそれぞ
れ低融点のガラス膜10を形成する。そして、コアバー
5のガラス膜10とI字形コア8のガラス膜10を突き
合わせて磁気ギャップを形成する。
First, in FIG. 4 (a), 5 is a core bar made of ferrite, the groove 6 is ground with a diamond grindstone, and the gap facing surface 7 is ground with diamond abrasive grains. 8 is made of ferrite I
This is a V-shaped core, and one surface of the I-shaped core 8 is polished. Then, S having a high softening point temperature is formed by sputtering.
A film 9 of iO 2 is formed on the gap facing surface 7 of the core bar 5 and the polished surface of the I-shaped core 8, respectively. Further, a low melting glass film 10 is formed on each film 9 of the core bar 5 and the I-shaped core 8. Then, the glass film 10 of the core bar 5 and the glass film 10 of the I-shaped core 8 are butted against each other to form a magnetic gap.

【0006】次に、図4(b)において、11は磁気ギ
ャップを形成したギャップバーであり、上面に磁気ヘッ
ドのトラック幅を形成する為にトラック規制溝12をダ
イヤモンド砥石により研削し形成する。そして、ギャッ
プバー11のトラック幅を形成した複数のトラック規制
溝12にモールドガラスを充填する。
Next, in FIG. 4B, reference numeral 11 is a gap bar having a magnetic gap, and a track regulating groove 12 is formed by grinding with a diamond grindstone in order to form a track width of the magnetic head on the upper surface. Then, the plurality of track regulating grooves 12 having the track width of the gap bar 11 are filled with mold glass.

【0007】次に、図4(c)において、13はカップ
型のダイヤモンド砥石であり、ギャップバー11のモー
ルドガラスを充填した部分、及び下方の部分をそれぞれ
の寸法に研削加工をする。
Next, in FIG. 4 (c), 13 is a cup-shaped diamond grindstone, and the portion of the gap bar 11 filled with the mold glass and the lower portion are ground to respective dimensions.

【0008】次に、図5(a)において、14は記録再
生用のギャップバー、15は消去用のギャップバーであ
り、ギャップバー15は記録再生用のギャップバー14
と同様な工程で形成されたものである。そして、ギャッ
プバー14,15のそれぞれのI字形コア8の磁気ギャ
ップと反対側の面を研削加工した後に、レジノイドボン
ドのダイヤモンド砥石を用いて研磨加工をする。そし
て、研磨したI字形コア8同士を背中合わせにして接着
剤を用いて接合する。
Next, in FIG. 5A, 14 is a recording / reproducing gap bar, 15 is an erasing gap bar, and the gap bar 15 is a recording / reproducing gap bar 14.
It is formed by a process similar to. Then, after grinding the surfaces of the gap bars 14 and 15 on the opposite sides of the magnetic gaps of the I-shaped core 8, the diamond bars of resinoid bond are used for polishing. Then, the polished I-shaped cores 8 are back-to-back and bonded with an adhesive.

【0009】次に、図5(b)において、16は磁気ヘ
ッドバーであり、図5(a)でギャップバー14、15
を接合した後に、磁気ギャップの深さとバック側をそれ
ぞれダイヤモンド砥石等を用いて研削、研磨加工したも
のである。
Next, in FIG. 5B, 16 is a magnetic head bar, and in FIG. 5A, the gap bars 14 and 15 are shown.
After joining, the depth of the magnetic gap and the back side were ground and polished using a diamond grindstone or the like, respectively.

【0010】次に、図6(a)において、17は磁気ヘ
ッドバー16を切断するダイヤモンド砥石、18はダイ
ヤモンド砥石17により切断された磁気ヘッドチップで
ある。
Next, in FIG. 6A, 17 is a diamond grindstone for cutting the magnetic head bar 16, and 18 is a magnetic head chip cut by the diamond grindstone 17.

【0011】次に、図6(b)において、19は磁気ヘ
ッドチップ18の切断面である。磁気ヘッドチップ18
の切断面19と回転する定盤との間に微細なダイヤモン
ド砥粒を介在させ、ラップ加工によりヘッド構造体4を
形成させる。そして、ヘッド構造体4は洗浄工程、スラ
イダー1への接着工程、摺動面のラップ加工、及びバッ
クバー3の組立工程を経て図3に示すような磁気ヘッド
を形成する。
Next, in FIG. 6B, reference numeral 19 is a cut surface of the magnetic head chip 18. Magnetic head chip 18
A fine diamond abrasive grain is interposed between the cutting surface 19 of and the rotating surface plate, and the head structure 4 is formed by lapping. Then, the head structure 4 forms a magnetic head as shown in FIG. 3 through a washing process, a bonding process to the slider 1, a lapping process of a sliding surface, and an assembling process of the back bar 3.

【0012】次に、従来のダイヤモンド砥石17につい
て説明する。従来のダイヤモンド砥石17は磁気ヘッド
バー16を切断する図6(a)のものを例にすると、直
径52mm、厚み0.21mmの大きさであって、台金
は用いずダイヤモンド砥粒を樹脂等のレジノイドボンド
材からなる結合剤で結合したものである。このダイヤモ
ンド砥石17は、ダイヤモンド砥粒の粒径を20μm〜
30μm、ダイヤモンド砥粒のコンセントレーション
(JIS B 4131)を125、即ち1100mg
/cm3 の割合のダイヤモンド砥粒を結合剤で結合する
ものである。
Next, the conventional diamond grindstone 17 will be described. 6A for cutting the magnetic head bar 16 has a diameter of 52 mm and a thickness of 0.21 mm, the conventional diamond grindstone 17 has a size of 52 mm and a thickness of 0.21 mm. The resin is bonded with a binder made of resinoid bond material. The diamond grindstone 17 has a diamond abrasive grain size of 20 μm to
30 μm, Concentration of diamond abrasive grains (JIS B 4131) is 125, that is, 1100 mg
The diamond abrasive grains having a ratio of / cm 3 are bonded with a binder.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】このように従来のダイ
ヤモンド砥石及び磁気ヘッドの製造方法では、ヘッド構
成体4を形成するそれぞれの加工工程において、研削、
研磨、切断等の加工にダイヤモンド砥石による機械加工
がなされている。しかしながら、ダイヤモンド砥石17
を構成するダイヤモンド砥粒を20μm〜30μmの単
一砥粒で形成したので、ダイヤモンド砥石17を繰り返
し使用すると、ダイヤモンド砥粒の磨耗による目つぶれ
現象や、研削屑がダイヤモンド砥石17に付着し目づま
り現象が頻繁に生じてくる。この目つぶれ現象や目づま
り現象が発生すると、ワークの切削性が悪くなると共に
切削抵抗が大きくなって発熱し、発熱した熱がワークに
局部的に蓄熱し、熱膨張等によってワークの表面に微細
な割れ目のクラックや、微少な欠けのチッピング等を発
生させる。そして、磁気記録媒体が摺動する磁気ヘッド
の摺動面付近にクラックやチッピング等が存在すると、
摺動時に磁気記録媒体を損傷させ信頼性の劣化を引き起
こすので歩留まりを低下させるという問題点を有してい
た。
As described above, in the conventional diamond grindstone and magnetic head manufacturing method, in each of the processing steps for forming the head structure 4, grinding,
Machining with a diamond grindstone is performed for processing such as polishing and cutting. However, the diamond grindstone 17
Since the diamond abrasive grains that compose the above are formed with single abrasive grains of 20 μm to 30 μm, repeated use of the diamond grindstone 17 causes a phenomenon of clogging due to wear of the diamond abrasive grains and grinding debris attached to the diamond grindstone 17 to cause clogging. The phenomenon occurs frequently. When this crushing phenomenon or clogging phenomenon occurs, the workability of the work deteriorates and the cutting resistance increases, causing heat to be generated, and the generated heat is locally stored in the work, and due to thermal expansion, etc. It causes cracks such as small cracks and chipping of minute chips. If cracks or chippings are present near the sliding surface of the magnetic head on which the magnetic recording medium slides,
There is a problem in that the yield is lowered because the magnetic recording medium is damaged during sliding and the reliability is deteriorated.

【0014】本発明は上記の問題点を解決するもので、
クラックやチッピングの発生を減少させ、歩留まりを向
上させたダイヤモンド砥石及び磁気ヘッドの製造方法を
提供することを目的とする。
The present invention solves the above problems.
An object of the present invention is to provide a diamond grindstone and a method for manufacturing a magnetic head, in which the occurrence of cracks and chippings is reduced and the yield is improved.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のダイヤモンド砥石は、粒径が20μm〜30
μmの第1のダイヤモンド砥粒と、粒径が5μm〜10
μmの第2のダイヤモンド砥粒を第1のダイヤモンド砥
粒に対して15〜25重量%の割合で混合し、結合剤で
結合したことを特徴としている。
To achieve this object, the diamond grindstone of the present invention has a particle size of 20 μm to 30 μm.
The first diamond abrasive grain of μm and the grain size of 5 μm to 10
It is characterized in that the second diamond abrasive grains having a diameter of μm are mixed with the first diamond abrasive grains at a ratio of 15 to 25% by weight and are bonded by a binder.

【0016】又、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、ダ
イヤモンド砥石を用いて磁気ヘッドチップを加工するも
のである。
The magnetic head manufacturing method of the present invention is to process a magnetic head chip using a diamond grindstone.

【0017】[0017]

【作用】本発明のダイヤモンド砥石は、粒径が20μm
〜30μmの第1のダイヤモンド砥粒と、粒径が5μm
〜10μmの第2のダイヤモンド砥粒で混合した構成で
あるので、熱の放熱や切り屑が逃げやすく、目つぶれ現
象や目づまり現象を減少させ、安定した研削、研磨能力
を備えることができる。
Function: The diamond grindstone of the present invention has a particle size of 20 μm.
First diamond abrasive grains of ~ 30 μm and grain size of 5 μm
Since the second diamond abrasive grains having a size of 10 μm are mixed, heat is easily dissipated and chips are easily released, and the phenomenon of crushing and clogging is reduced, and stable grinding and polishing capabilities can be provided.

【0018】又、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、切
断、研削、研磨等の機械加工の加工面が均一に行われ、
その品質を容易に維持させることができる。
Further, in the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, the machined surface such as cutting, grinding and polishing is uniformly performed,
The quality can be easily maintained.

【0019】[0019]

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。図1(a)は本発明の一実施例にお
けるダイヤモンド砥石の正面図、図1(b)は本発明の
一実施例におけるダイヤモンド砥石を拡大した一部分断
面図、図2(a)及び図2(b)は本発明の一実施例に
おけるダイヤモンド砥石の使用経過時の状態を説明する
概要図である。尚、本発明の一実施例において従来例と
同符号のものは基本的には同一であるので説明の詳細は
省略する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 (a) is a front view of a diamond grindstone according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 (b) is an enlarged partial sectional view of a diamond grindstone according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 (a) and FIG. 2 ( FIG. 6B is a schematic view for explaining a state of the diamond grindstone according to the embodiment of the present invention when the diamond grindstone is in use. Note that, in one embodiment of the present invention, the same reference numerals as those in the conventional example are basically the same, and thus detailed description thereof will be omitted.

【0020】図1(a),図1(b)及び図2(a),
図2(b)において、17は本実施例のダイヤモンド砥
石である。本実施例のダイヤモンド砥石17は磁気ヘッ
ドバー16を切断する際に用いるものであり、ダイヤモ
ンド砥石17は直径52mm、厚み0.21mmの砥粒
層からなり、この砥粒層は粒径が20μm〜30μmの
第1のダイヤモンド砥粒20と粒径が5μm〜10μm
の第2のダイヤモンド砥粒21を前者に対して後者を1
5〜25重量%の割合で混合し、樹脂等からなるレジノ
イドボンド材などの結合剤22で両者を結合したもので
ある。第1のダイヤモンド砥粒20及び第2のダイヤモ
ンド砥粒21はコンセントレーションを125、即ち、
1100mg/cm3 で結合される。そして結合剤22
内には空孔23が形成されるものである。
1 (a), 1 (b) and 2 (a),
In FIG. 2B, 17 is a diamond grindstone of this embodiment. The diamond grindstone 17 of this embodiment is used when the magnetic head bar 16 is cut, and the diamond grindstone 17 is composed of an abrasive grain layer having a diameter of 52 mm and a thickness of 0.21 mm, and the grain size of the abrasive grain layer is 20 μm to 20 μm. 30 μm of first diamond abrasive grains 20 and particle size of 5 μm to 10 μm
The second diamond abrasive grain 21 of the former to the latter one
It is mixed at a ratio of 5 to 25% by weight, and the both are bound by a binder 22 such as a resinoid bond material made of resin or the like. The first diamond abrasive grain 20 and the second diamond abrasive grain 21 have a concentration of 125, that is,
It is bound at 1100 mg / cm 3 . And the binder 22
Holes 23 are formed inside.

【0021】第1のダイヤモンド砥粒20の粒径を20
μm〜30μmとしたのは、切断の主力となる第1のダ
イヤモンド砥粒20の粒径がこの大きさのとき切味と切
削表面の粗さが適当なことを考慮してのことである。砥
粒が30μmより大きくなると研削能力は増すが表面の
粗さが荒くなりクラックやチッピングの発生の要因とな
る。砥粒が20μm以下の時はこれと逆になり、研削能
力が低下する。
The grain size of the first diamond abrasive grain 20 is set to 20.
The reason why μm to 30 μm is set is that the sharpness and the roughness of the cutting surface are appropriate when the particle size of the first diamond abrasive grain 20, which is the main force for cutting, is this size. If the abrasive grains are larger than 30 μm, the grinding ability is increased, but the surface roughness becomes rough, which causes cracks and chipping. When the abrasive grains are 20 μm or less, the reverse occurs, and the grinding ability is reduced.

【0022】このようなダイヤモンド砥石17の磨耗の
過程について説明する。図1(b)に示したダイヤモン
ド砥石17の断面状態から磁気ヘッドバー16の切断を
続けると、磁気ヘッドバー16と接触する第1のダイヤ
モンド砥粒20の先端が先ず磨耗し、さらに切断を続け
ると図2(a)に示すように、第2のダイヤモンド砥粒
21の先端が発刃となり磁気ヘッドバー16と接触し切
断を始める。そして、この第2のダイヤモンド砥粒21
の先端も、第1のダイヤモンド砥粒20と共に磨耗を続
ける。
The process of wear of the diamond grindstone 17 will be described. If the cutting of the magnetic head bar 16 is continued from the cross-sectional state of the diamond grindstone 17 shown in FIG. 1B, the tip of the first diamond abrasive grain 20 that comes into contact with the magnetic head bar 16 is first worn and the cutting is further continued. As shown in FIG. 2A, the tip of the second diamond abrasive grain 21 serves as a blade to contact the magnetic head bar 16 to start cutting. Then, this second diamond abrasive grain 21
The tip of the diamond also continues to wear together with the first diamond abrasive grains 20.

【0023】次に、第2のダイヤモンド砥粒21の脱落
の様子を図2(b)で説明する。図2(b)に示すよう
に、切断を続けると第2のダイヤモンド砥粒21は第1
のダイヤモンド砥粒20よりも結合剤22と結合してい
る表面積が小さいため結合力が弱く比較的早く脱落す
る。それは、第1のダイヤモンド砥粒20は結合剤22
と結合している表面積が大きいので十分切削抵抗に耐え
るが、第2のダイヤモンド砥粒21の場合には結合剤2
2の結合力よりも大きな切削抵抗となり第2のダイヤモ
ンド砥粒21が脱落するのである。
Next, how the second diamond abrasive grains 21 fall off will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2 (b), the second diamond abrasive grains 21 will be in the first state when the cutting is continued.
Since the surface area that is bonded to the binder 22 is smaller than that of the diamond abrasive grain 20, the bonding force is weak and the diamond abrasive grains fall off relatively early. That is, the first diamond abrasive grain 20 is a binder 22.
Since the surface area of the second diamond abrasive grain 21 is large enough to withstand the cutting resistance because it has a large surface area bound to the binder 2
The cutting force becomes larger than the bonding force of 2, and the second diamond abrasive grains 21 fall off.

【0024】そして、第1のダイヤモンド砥粒20より
も先に第2のダイヤモンド砥粒21が脱落を起こすと、
第2のダイヤモンド砥粒21の脱落したところは空孔2
3となり、空孔23はダイヤモンド砥石17と磁気ヘッ
ドバー16との間に発生する熱や切り屑を逃がし易くな
る。そして、空孔23によって第1のダイヤモンド砥粒
20、或いは第2のダイヤモンド砥粒21が新たに発刃
を生じる。これを順次繰り返して、ダイヤモンド砥石1
7は安定した研削、研磨能力を備えることができるので
ある。そして、放熱性が優れていることでクラックとチ
ッピングを防止することができるのである。
If the second diamond abrasive grains 21 fall off before the first diamond abrasive grains 20,
The place where the second diamond abrasive grain 21 has fallen off is the hole 2
Therefore, the holes 23 facilitate the escape of heat and chips generated between the diamond grindstone 17 and the magnetic head bar 16. Then, the holes 23 cause the first diamond abrasive grain 20 or the second diamond abrasive grain 21 to newly form a blade. This is repeated in sequence, and diamond whetstone 1
7 can have stable grinding and polishing ability. The excellent heat dissipation can prevent cracking and chipping.

【0025】このように、本発明のダイヤモンド砥石1
7は、第1のダイヤモンド砥粒20の砥粒を20μm〜
30μm、第2のダイヤモンド砥粒21の粒径を5μm
〜10μm、第1のダイヤモンド砥粒20に対して第2
のダイヤモンド砥粒21を15〜25重量%の割合で混
合することによってクラックとチッピングを防止するも
のであるが、次に、この条件をはずれるとどのようにな
るかについて説明する。
Thus, the diamond grindstone 1 of the present invention
No. 7 is the first diamond abrasive grain 20 having a grain size of 20 μm to
30 μm, the diameter of the second diamond abrasive grain 21 is 5 μm
-10 μm, second for the first diamond abrasive 20
The cracks and chipping are prevented by mixing the diamond abrasive grains 21 of No. 1 in the proportion of 15 to 25% by weight. Next, what will happen if this condition is not satisfied will be explained.

【0026】先ず、第2のダイヤモンド砥粒21の粒径
が5μmより小さい場合について説明する。切断中の第
1のダイヤモンド砥粒20と第2のダイヤモンド砥粒2
1は共に研削、研磨しながら磨耗していく。そして、第
2のダイヤモンド砥粒21に結合剤22の結合力よりも
大きな切削抵抗が生じた時に、第2のダイヤモンド砥粒
21が脱落する。ところで、第2のダイヤモンド砥粒2
1の粒径は5μmより小さいから、第2のダイヤモンド
砥粒21が脱落して発生した空孔23の形状は小さなも
のとなる。従って、空孔23ではダイヤモンド砥石17
と磁気ヘッドバー16との間に発生する熱の放熱や切り
屑を逃がす働きが小さなものとなる。その為に、ダイヤ
モンド砥石17の研削、研磨能力を低下させる。すると
ダイヤモンド砥石17と磁気ヘッドバー16との間に生
じた熱が蓄積し、蓄積した熱が磁気ヘッドチップ18を
切断する際にクラックを発生させる要因となり、磁気ヘ
ッドチップ18の切断した面にはクラックとチッピング
を発生する。
First, the case where the grain size of the second diamond abrasive grain 21 is smaller than 5 μm will be described. First diamond abrasive grain 20 and second diamond abrasive grain 2 during cutting
No. 1 wears while grinding and polishing together. Then, when a cutting resistance larger than the bonding force of the binder 22 is generated in the second diamond abrasive grain 21, the second diamond abrasive grain 21 falls off. By the way, the second diamond abrasive grain 2
Since the grain size of No. 1 is smaller than 5 μm, the shape of the pores 23 generated by the dropping of the second diamond abrasive grains 21 becomes small. Therefore, in the hole 23, the diamond grindstone 17
The function of radiating heat generated between the magnetic head bar 16 and the magnetic head bar 16 and releasing chips is reduced. Therefore, the grinding and polishing ability of the diamond grindstone 17 is reduced. Then, heat generated between the diamond grindstone 17 and the magnetic head bar 16 is accumulated, and the accumulated heat causes a crack when the magnetic head chip 18 is cut. Cracks and chipping occur.

【0027】次に、第2のダイヤモンド砥粒21の粒径
が10μmより大きくなった場合について説明する。切
断中の第2のダイヤモンド砥粒21が脱落する頻度を検
討すると、第2のダイヤモンド砥粒21の粒径が5μm
〜10μmと比較して小さいものとなる。それは第2の
ダイヤモンド砥粒21の表面積が広いから結合剤22の
結合力も大きくなり、切削抵抗が生じても第2のダイヤ
モンド砥粒21は容易には脱落しないからである。従っ
て、切削抵抗が増した状態で磁気ヘッドバー16の切断
を続けると、ダイヤモンド砥石17と磁気ヘッドバー1
6との間に生じた熱が磁気ヘッドバー16に蓄積し、蓄
積した熱が切断時の磁気ヘッドチップ18にクラックを
発生させる要因となり、磁気ヘッドチップ18の切断し
た面にクラックとチッピングを生じさせるのである。
Next, the case where the grain size of the second diamond abrasive grain 21 becomes larger than 10 μm will be described. Considering the frequency with which the second diamond abrasive grains 21 fall during cutting, the particle diameter of the second diamond abrasive grains 21 is 5 μm.
It is smaller than 10 μm. This is because the surface area of the second diamond abrasive grains 21 is large and the bonding force of the binder 22 is also large, and the second diamond abrasive grains 21 do not easily fall off even if cutting resistance occurs. Therefore, if the cutting of the magnetic head bar 16 is continued with the cutting resistance increased, the diamond grindstone 17 and the magnetic head bar 1
The heat generated between the magnetic head chip 16 and the magnetic head 6 accumulates in the magnetic head bar 16, and the accumulated heat causes a crack in the magnetic head chip 18 at the time of cutting, causing cracks and chipping on the cut surface of the magnetic head chip 18. Let them do it.

【0028】次に、第1のダイヤモンド砥粒20の中に
第2のダイヤモンド砥粒21を25重量%以上混合した
場合について説明する。切断中の第1のダイヤモンド砥
粒20と、第2のダイヤモンド砥粒21は共に研削、研
磨しながら磨耗する。しかし、第1のダイヤモンド砥粒
20より粒径の小さい第2のダイヤモンド砥粒21が多
いので、切削表面はきめが細かくなるがダイヤモンド砥
石17の研削、研磨能力自体は低いものとなる。そし
て、研削、研磨能力が低いダイヤモンド砥石17で切断
を続けると、ダイヤモンド砥石17に目つぶれを生じ、
ダイヤモンド砥石17と磁気ヘッドバー16との間に生
じた熱が磁気ヘッドバー16に蓄積し、蓄積した熱が磁
気ヘッドチップ18にクラックを発生させる要因とな
り、当初はきめの細かい磁気ヘッドチップ18の切断面
も次第にクラックとチッピングが生じるようになる。
Next, the case where 25 wt% or more of the second diamond abrasive grains 21 are mixed in the first diamond abrasive grains 20 will be described. Both the first diamond abrasive grains 20 and the second diamond abrasive grains 21 during cutting are worn while grinding and polishing. However, since the second diamond abrasive grains 21 having a smaller grain size than the first diamond abrasive grains 20 are many, the cutting surface has a fine texture, but the grinding and polishing ability itself of the diamond grindstone 17 is low. Then, if the diamond grindstone 17 having low grinding and polishing ability is continuously cut, the diamond grindstone 17 is blunted,
The heat generated between the diamond grindstone 17 and the magnetic head bar 16 is accumulated in the magnetic head bar 16, and the accumulated heat causes a crack in the magnetic head chip 18. Cracks and chipping also gradually occur on the cut surface.

【0029】次に、第1のダイヤモンド砥粒20の中に
第2のダイヤモンド砥粒21を15重量%未満混合した
場合にどうなるか説明する。切断する中で第1のダイヤ
モンド砥粒20や第2のダイヤモンド砥粒21の先端が
研削、研磨しながら磨耗する。そして、第2のダイヤモ
ンド砥粒21の結合剤22の結合力よりも大きな切削抵
抗が生じた時に、第2のダイヤモンド砥粒21は脱落す
るが混合した第2のダイヤモンド砥粒21が少ないか
ら、第2のダイヤモンド砥粒21が脱落して発生する空
孔23が減少する。すると目つぶれ現象や切り屑がダイ
ヤモンド砥石17に付着する目づまり現象が生じやすく
なる。磁気ヘッドバー16にかかる切削抵抗が増大し、
ダイヤモンド砥石17と磁気ヘッドバー16との間に摩
擦熱を生じ、この摩擦熱が切断する際に磁気ヘッドチッ
プ18にクラックを発生させる要因となり、磁気ヘッド
チップ18の切断した面にクラックとチッピングを生じ
させるのである。
Next, a description will be given of what happens when the second diamond abrasive grains 21 are mixed in the first diamond abrasive grains 20 in an amount of less than 15% by weight. During the cutting, the tips of the first diamond abrasive grains 20 and the second diamond abrasive grains 21 wear while grinding and polishing. Then, when a cutting resistance larger than the binding force of the binder 22 of the second diamond abrasive grains 21 is generated, the second diamond abrasive grains 21 fall off but the second diamond abrasive grains 21 mixed are small, The number of voids 23 generated when the second diamond abrasive grains 21 fall off is reduced. Then, a crushing phenomenon or a clogging phenomenon in which chips are attached to the diamond grindstone 17 is likely to occur. The cutting resistance applied to the magnetic head bar 16 increases,
Frictional heat is generated between the diamond grindstone 17 and the magnetic head bar 16, and this frictional heat causes a crack in the magnetic head chip 18 at the time of cutting, causing cracks and chipping on the cut surface of the magnetic head chip 18. It causes it.

【0030】以上のような理由から本発明のダイヤモン
ド砥石17は、砥粒が20μm〜30μmの第1のダイ
ヤモンド砥粒20と、砥粒が5μm〜10μmの第2の
ダイヤモンド砥粒21を第1のダイヤモンド砥粒20に
対して15〜25重量%の割合で混合し、結合剤22で
結合させる必要がある。これによって目つぶれ現象や目
づまり現象が少なくなり、研削、研磨、切断等の加工に
おいてクラックやチッピングを減少させるものである。
For the above reasons, the diamond grindstone 17 of the present invention comprises the first diamond abrasive grain 20 having an abrasive grain of 20 μm to 30 μm and the second diamond abrasive grain 21 having an abrasive grain of 5 μm to 10 μm. It is necessary to mix the diamond abrasive grains 20 at a ratio of 15 to 25% by weight and bond them with the binder 22. As a result, the phenomenon of crushing and clogging is reduced, and cracks and chipping are reduced in processing such as grinding, polishing, and cutting.

【0031】次に、本発明の磁気ヘッドの製造方法につ
いて説明する。磁気ヘッドのヘッド構造体の加工は、従
来例の図4(a)〜(c)、図5(a)(b)、そして
図6(a)(b)に示したものと同様であり、少なくと
もいずれかの工程で本発明のダイヤモンド砥石17を用
いて加工している点で従来例と相違する。図4(a)の
溝6加工には、研削する溝6が幅広であるからダイヤモ
ンド砥石は、本発明の第1のダイヤモンド砥粒20と第
2のダイヤモンド砥粒21をレジノイドボンド材により
台金に結合したものを用いる。図4(b)のトラック規
制溝12の加工、及び図6(a)の磁気ヘッドバー16
を磁気ヘッドチップ18に切断するには、本実施例の直
径52mm,厚み0.21mmのダイヤモンド砥石17
を用いる。
Next, a method of manufacturing the magnetic head of the present invention will be described. The processing of the head structure of the magnetic head is similar to that shown in FIGS. 4A to 4C, 5A and 5B, and 6A and 6B of the conventional example, This is different from the conventional example in that the diamond grindstone 17 of the present invention is used for processing in at least one of the steps. In the processing of the groove 6 of FIG. 4A, the groove 6 to be ground is wide, so that the diamond grindstone has a first diamond abrasive grain 20 and a second diamond abrasive grain 21 of the present invention which are metallized with a resinoid bond material. Used in combination with. Processing of the track regulating groove 12 of FIG. 4B and magnetic head bar 16 of FIG. 6A
To cut the magnetic head chip 18, the diamond grindstone 17 having a diameter of 52 mm and a thickness of 0.21 mm in this embodiment is used.
To use.

【0032】又、図4(c)及び図5(b)の研削加工
には、本発明のカップ型のダイヤモンド砥石を用いる。
但し、いずれの加工も切削力を優先するので場合によっ
てこの工程は切削力が優れた単一砥粒のダイヤモンド砥
石を用いてもよい。図5(a)の研磨加工には、本発明
のカップ型のダイヤモンド砥石を用いる。この際第2の
ダイヤモンド砥粒21の割合を所定の割合のうちで増す
のがよい。又、図6(b)の研磨加工には、表面のきめ
細かさを優先するので磁気ヘッドチップ18の切断面1
9と定盤との間に微細なダイヤモンド砥粒を介在させた
ラップ加工を用いる。
Further, the cup type diamond grindstone of the present invention is used for the grinding process of FIGS. 4 (c) and 5 (b).
However, since the cutting force is prioritized in any of the processes, a single abrasive grain diamond grindstone having an excellent cutting force may be used in this step in some cases. The cup-shaped diamond grindstone of the present invention is used for the polishing process of FIG. At this time, it is preferable to increase the ratio of the second diamond abrasive grains 21 within a predetermined ratio. Further, in the polishing process of FIG. 6B, the fineness of the surface is prioritized.
Lapping is performed by interposing fine diamond abrasive grains between 9 and the surface plate.

【0033】次に、図6(a)に示した磁気ヘッドバー
16を磁気ヘッドチップ18に切断する例にあげて、詳
細に説明する。磁気ヘッドバー16を切断加工する際に
用いた本実施例のダイヤモンド砥石17は、スピンドル
回転数を30000回転/分、送り速度を1.0mm/
秒の条件下で、高さ2mmの磁気ヘッドバー16を切断
ピッチ0.62mmで繰り返し切断して、複数の磁気ヘ
ッドチップ18を形成するものである。
Next, the magnetic head bar 16 shown in FIG. 6A will be described in detail by taking an example of cutting it into the magnetic head chips 18. The diamond grindstone 17 of this embodiment used when cutting the magnetic head bar 16 has a spindle rotation speed of 30,000 rpm and a feed speed of 1.0 mm / min.
Under the condition of seconds, the magnetic head bar 16 having a height of 2 mm is repeatedly cut at a cutting pitch of 0.62 mm to form a plurality of magnetic head chips 18.

【0034】従来例のダイヤモンド砥石と本発明のダイ
ヤモンド砥石17とを同じ条件下で使用して切断加工
し、クラック及びチッピングの発生がどのように違うか
について検討を行った。クラック及びチッピングの評価
の判定は、光学顕微鏡を用いて倍率200倍で磁気ヘッ
ドチップ18の正面及び両側面から観察し、クラックは
発生しているもの全てをカウントし、チッピングは後工
程の側面ラップ加工等で除去できない長径が30μm以
上のものをカウントして発生率を調べた。
The diamond grindstone of the conventional example and the diamond grindstone 17 of the present invention were used for cutting under the same conditions, and the difference in the occurrence of cracks and chippings was examined. The evaluation of cracks and chippings is made by observing from the front and both side surfaces of the magnetic head chip 18 at a magnification of 200 times using an optical microscope, counting all the cracks that have occurred, and chipping is a side wrap in a post process. The generation rate was examined by counting those having a major axis of 30 μm or more that cannot be removed by processing or the like.

【0035】このようにして調べたクラックとチッピン
グの発生率は、従来例ではそれぞれが2.30%と0.
80%であるのに対して、本実施例ではそれぞれが0.
60%と0.05%であった。このように磁気ヘッドバ
ー16の切断加工に、本実施例のダイヤモンド砥石17
を用いるから歩留まりを向上させるものである。
The crack and chipping occurrence rates examined in this way were 2.30% and 0.
80%, whereas in the present embodiment, each is 0.
It was 60% and 0.05%. In this way, the diamond grindstone 17 of this embodiment is used for cutting the magnetic head bar 16.
Is used, the yield is improved.

【0036】このように本発明の磁気ヘッドの製造方法
においては、図4(a)の加工では台金に本発明の第1
のダイヤモンド砥粒20と第2のダイヤモンド砥粒21
をレジノイドボンド材により結合したもの、図4
(b)、及び図6(a)の加工では本発明のダイヤモン
ド砥石17をそれぞれ用いることで、それぞれの加工で
クラックとチッピングの発生率は低下し、歩留まりが極
めて向上するものである。
As described above, in the method of manufacturing the magnetic head of the present invention, in the processing of FIG.
Diamond abrasive grains 20 and second diamond abrasive grains 21
Fig. 4 which is obtained by bonding resin with a resinoid bond material.
By using the diamond grindstone 17 of the present invention in the processing of (b) and FIG. 6 (a) respectively, the occurrence rate of cracks and chippings is reduced in each processing, and the yield is extremely improved.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上のように本発明のダイヤモンド砥石
では、粒径が20μm〜30μmの第1のダイヤモンド
砥粒と、粒径が5μm〜10μmの第2のダイヤモンド
砥粒とするから、目つぶれ現象や目づまり現象が少なく
なり、安定した研削、研磨能力を備えクラックやチッピ
ングを減少させることができる。
As described above, in the diamond grindstone of the present invention, the first diamond abrasive grains having a particle size of 20 μm to 30 μm and the second diamond abrasive grains having a particle size of 5 μm to 10 μm are used. The phenomenon and clogging phenomenon are reduced, and stable grinding and polishing ability is provided, and cracks and chipping can be reduced.

【0038】又、本発明の磁気ヘッドの製造方法では、
第1のダイヤモンド砥粒と第2のダイヤモンド砥粒から
なるダイヤモンド砥石を用いて磁気ヘッドチップを形成
するので、クラックやチッピングの発生率を低下し、歩
留まりを極めて向上させることができる。
In the method of manufacturing the magnetic head of the present invention,
Since the magnetic head chip is formed by using the diamond grindstone composed of the first diamond abrasive grains and the second diamond abrasive grains, the occurrence rate of cracks and chippings can be reduced and the yield can be extremely improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)は本発明の一実施例におけるダイヤモン
ド砥石の正面図 (b)は本発明の一実施例におけるダイヤモンド砥石を
拡大した一部分断面図
FIG. 1A is a front view of a diamond grindstone according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is an enlarged partial sectional view of a diamond grindstone according to an embodiment of the present invention.

【図2】(a)及び(b)は本発明の一実施例における
ダイヤモンド砥石の使用経過時の状態を説明する概要図
2 (a) and 2 (b) are schematic diagrams for explaining a state of a diamond grindstone according to an embodiment of the present invention during use.

【図3】従来の磁気ヘッドの斜視図FIG. 3 is a perspective view of a conventional magnetic head.

【図4】(a)〜(c)は従来の磁気ヘッドの製造方法
におけるヘッド構成体のギャップバーの加工を示す図
4A to 4C are views showing processing of a gap bar of a head structure in a conventional magnetic head manufacturing method.

【図5】(a)及び(b)は従来の磁気ヘッドの製造方
法におけるヘッド構成体のギャップバーの接合と加工を
示す図
5A and 5B are views showing joining and processing of a gap bar of a head structure in a conventional method of manufacturing a magnetic head.

【図6】(a)及び(b)は従来の磁気ヘッドの製造方
法におけるヘッド構造体の切断加工とラップ加工を示す
6A and 6B are views showing a cutting process and a lapping process of a head structure in a conventional method of manufacturing a magnetic head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 溝 12 トラック規制溝 16 磁気ヘッドバー 17 ダイヤモンド砥石 18 磁気ヘッドチップ 19 切断面 20 第1のダイヤモンド砥粒 21 第2のダイヤモンド砥粒 22 結合剤 23 空孔 6 Grooves 12 Track Restriction Grooves 16 Magnetic Head Bar 17 Diamond Grindstone 18 Magnetic Head Chip 19 Cutting Surface 20 First Diamond Abrasive Grains 21 Second Diamond Abrasive Grains 22 Binder 23 Voids

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】粒径が20μm〜30μmの第1のダイヤ
モンド砥粒と、粒径が5μm〜10μmの第2のダイヤ
モンド砥粒を前記第1のダイヤモンド砥粒に対して15
〜25重量%の割合で混合し、結合剤で結合したことを
特徴とするダイヤモンド砥石。
1. A first diamond abrasive grain having a grain size of 20 μm to 30 μm, and a second diamond abrasive grain having a grain size of 5 μm to 10 μm with respect to the first diamond abrasive grain.
A diamond grindstone characterized by being mixed at a ratio of up to 25% by weight and bonded by a binder.
【請求項2】請求項1記載のダイヤモンド砥石で磁気ヘ
ッドチップを加工することを特徴とする磁気ヘッドの製
造方法。
2. A method of manufacturing a magnetic head, wherein a magnetic head chip is processed with the diamond grindstone according to claim 1.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2000051789A1 (en) * 1999-02-26 2000-09-08 Sankyo Diamond Industrial Co., Ltd. Diamond saw blade
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